JP2013077011A5 - 液晶表示装置 - Google Patents

Claims (4)

1. 半導体を有し、
   前記半導体上方に絶縁膜を有し、
   前記絶縁膜上方に第１の導電膜を有し、
   前記第１の導電膜上方に第１の窒化シリコン膜を有し、
   前記第１の窒化シリコン膜上方に有機樹脂膜を有し、
   前記有機樹脂膜上方に第２の窒化シリコン膜を有し、
   前記第２の窒化シリコン膜上方に第２の導電膜を有し、
   前記第２の導電膜上方に液晶を有し、
   前記半導体は、ソース領域、ドレイン領域、及びチャネル形成領域を有し、
   前記第１の導電膜は、前記チャネル形成領域と重なる領域を有し、
   前記第２の導電膜は、画素電極として機能する領域を有し、
   前記第１の窒化シリコン膜は、第１の開口部を有し、
   前記有機樹脂膜は、第２の開口部を有し、
   前記第２の窒化シリコン膜は、第３の開口部を有し、
   前記第２の開口部の内側に、前記第１の窒化シリコン膜と前記第２の窒化シリコン膜とが接する領域を有し、
   前記第２の導電膜は、前記第１の開口部、前記第２の開口部、及び前記第３の開口部を介して前記ソース領域又は前記ドレイン領域の一方と電気的に接続されることを特徴とする液晶表示装置。
2. 複数の画素を有し、
   前記複数の画素は、それぞれ、
   半導体を有し、
   前記半導体上方に絶縁膜を有し、
   前記絶縁膜上方に第１の導電膜を有し、
   前記第１の導電膜上方に第１の窒化シリコン膜を有し、
   前記第１の窒化シリコン膜上方に有機樹脂膜を有し、
   前記有機樹脂膜上方に第２の窒化シリコン膜を有し、
   前記第２の窒化シリコン膜上方に第２の導電膜を有し、
   前記第２の導電膜上方に液晶を有し、
   前記半導体は、ソース領域、ドレイン領域、及びチャネル形成領域を有し、
   前記第１の導電膜は、前記チャネル形成領域と重なる領域を有し、
   前記第２の導電膜は、画素電極として機能する領域を有し、
   前記第１の窒化シリコン膜は、第１の開口部を有し、
   前記有機樹脂膜は、第２の開口部を有し、
   前記第２の窒化シリコン膜は、第３の開口部を有し、
   前記第２の開口部の内側に、前記第１の窒化シリコン膜と前記第２の窒化シリコン膜とが接する領域を有し、
   前記第２の導電膜は、前記第１の開口部、前記第２の開口部、及び前記第３の開口部を介して前記ソース領域又は前記ドレイン領域の一方と電気的に接続されることを特徴とする液晶表示装置。
3. 半導体を有し、
   前記半導体上方に絶縁膜を有し、
   前記絶縁膜上方に第１の導電膜を有し、
   前記第１の導電膜上方に第１の窒化シリコン膜を有し、
   前記第１の窒化シリコン膜上方に有機樹脂膜を有し、
   前記有機樹脂膜上方に第２の窒化シリコン膜を有し、
   前記第２の窒化シリコン膜上方に第２の導電膜を有し、
   前記第２の導電膜上方に液晶を有し、
   前記半導体は、ソース領域、ドレイン領域、及びチャネル形成領域を有し、
   前記第１の導電膜は、前記チャネル形成領域と重なる領域を有し、
   前記第２の導電膜は、画素電極として機能する領域を有し、
   前記第１の窒化シリコン膜は、第１の開口部を有し、
   前記有機樹脂膜は、第２の開口部を有し、
   前記第２の窒化シリコン膜は、第３の開口部を有し、
   前記第２の開口部の内側に、前記第１の窒化シリコン膜と前記第２の窒化シリコン膜とが接する領域を有し、
   前記第２の導電膜は、前記第１の開口部、前記第２の開口部、及び前記第３の開口部を介して前記ソース領域又は前記ドレイン領域の一方と電気的に接続され、
   前記第２の開口部において前記有機樹脂膜の側面は、上端部が丸みを有し、
   前記第２の開口部において前記有機樹脂膜の側面は、前記第２の窒化シリコン膜で覆われた領域を有することを特徴とする液晶表示装置。
4. 複数の画素を有し、
   前記複数の画素は、それぞれ、
   半導体を有し、
   前記半導体上方に絶縁膜を有し、
   前記絶縁膜上方に第１の導電膜を有し、
   前記第１の導電膜上方に第１の窒化シリコン膜を有し、
   前記第１の窒化シリコン膜上方に有機樹脂膜を有し、
   前記有機樹脂膜上方に第２の窒化シリコン膜を有し、
   前記第２の窒化シリコン膜上方に第２の導電膜を有し、
   前記第２の導電膜上方に液晶を有し、
   前記半導体は、ソース領域、ドレイン領域、及びチャネル形成領域を有し、
   前記第１の導電膜は、前記チャネル形成領域と重なる領域を有し、
   前記第２の導電膜は、画素電極として機能する領域を有し、
   前記第１の窒化シリコン膜は、第１の開口部を有し、
   前記有機樹脂膜は、第２の開口部を有し、
   前記第２の窒化シリコン膜は、第３の開口部を有し、
   前記第２の開口部の内側に、前記第１の窒化シリコン膜と前記第２の窒化シリコン膜とが接する領域を有し、
   前記第２の導電膜は、前記第１の開口部、前記第２の開口部、及び前記第３の開口部を介して前記ソース領域又は前記ドレイン領域の一方と電気的に接続され、
   前記第２の開口部において前記有機樹脂膜の側面は、上端部が丸みを有し、
   前記第２の開口部において前記有機樹脂膜の側面は、前記第２の窒化シリコン膜で覆われた領域を有することを特徴とする液晶表示装置。