JP2017168848A - デュアルパス走査 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、マスクレス荷電(チャージ)粒子リソグラフィ装置に関し、特に、この装置のためのデータパスと、補正を実施する方法と、走査(スキャン)方法とに関する。
集積回路の設計は、典型的に、コンピュータ読み取り可能なファイルの中に表現される。GDS−IIファイル・フォーマット(GDSは、グラフィック・データ・シグナルの略語である)は、集積回路又はICレイアウトアートワークのデータ交換のためのリソグラフィ工業規格であるデータベース・ファイル・フォーマットである。マスクを用いるリソグラフィ装置に対し、GDS−IIファイルは、典型的に、後でリソグラフィ装置によって使用されるマスク又はマスクの組を生産するため使用される。マスクレス・リソグラフィ装置に対し、GDS−IIファイルは、リソグラフィ装置を制御するため適したフォーマットに置き換えるため電子的に処理される。荷電粒子リソグラフィ装置に対し、GDS−IIファイルは、リソグラフィプロセスで用いられる荷電粒子ビームを制御する制御信号の組に変換される。
図1は、3つの上位レベル・サブシステム、すなわち、ウェハ位置決めシステム101と、電子光学カラム102と、データパス103とに分割されている荷電粒子リソグラフィ・システム100を示す概念図である。ウェハ位置決めシステム101は、x方向に電子光学カラム102の下でウェハを移動する。ウェハ位置決めシステム101には、ウェハを電子光学カラム102によって生成された電子ビームレットと位置合わせするためデータパス103から同期化信号が供給される。
データパス103の一実施形態の簡易図が図2Bに示され、データパスの一部分は、図2Aにも現れている。ビームレット・ブランカ・アレイ117の切り替えは、データパスを介して制御される。前処理ユニット140は、リソグラフィ装置によって生産されるべきデバイスのレイアウトを記述する情報を受信する。この情報は、典型的に、GDS−IIファイル・フォーマットで供給される。前処理ユニットは、ビームレット・ブランカ・アレイ117を制御するためオン/オフ制御信号を生成するためにGDS−IIファイルの一連の変換を実行する。
データパスは、ある程度の数のチャネルに分割されることがある。チャネルは、前処理ユニットからリソグラフィ・システムまでの電子データパスである。一実施形態では、チャネルは、電気・光変換装置(例えば、レーザーダイオード)と、ビームレット制御信号を送信する単独の光ファイバと、光・電気変換装置(例えば、フォトダイオード)とを備える。このチャネルは、ある程度の数の個別のビームレット(例えば、1個のパターン化電子ビームを作る49個のビームレット)を備える単独のパターン化ビームのための制御信号を送信するため割り当てられることがある。1個のパターン化ビームは、ウェハに単独のストライプを書き込むため使用されることがある。本構成では、チャネルは、複数のビームレット(例えば、49個のビームレット)を備え、パターン・データに応じて1本のストライプを書き込むビームレット制御信号を搬送する1個のパターン化ビームの制御に専用であるデータパス・コンポーネントを表現する。サブチャネルは、パターン化ビームの中の単独のビームレットの制御に専用であるデータパス・コンポーネントを表現する。
データパス101は、レイアウトデータを、電子ビームレットを制御するオン/オフ信号に変換する。上述されているように、この変換は、典型的に、GDS−II又は同様のファイルのフォーマットの形式でレイアウトデータに一連の変換を実行する前処理ユニット140の中で実行されることがある。このプロセスは、平坦化/前処理ステップ、ラスタライゼーションステップ、及び、多重化ステップを含む。
データパスによって実行されるデータ処理は、様々な種類の補正及び補償を行うため、ある程度の数の異なった調整をビームレット制御信号に与えることがある。これらの処理は、例えば、使用されたレジストの特性の結果として起こる効果を補償するため、近接補正及びレジスト加熱補正を含むことがある。データ調整は、リソグラフィ装置に発生するエラー又は故障を補償するため設計された補正をさらに含むことがある。
上述の荷電粒子リソグラフィ装置の実施形態は、データパス内の多数の光ファイバ及びレーザーダイオードと、各パターン化ビームのための多数の静電レンズ及びデフレクタと、ビームレット・ブランカ・アレイの中の非常に多数のブランカ要素とを有する。故障がこれらの部品のうちの一部で発生するか、又は、これらの部品が劣化するか、若しくは、汚染物による影響を受けることになり、その結果、これらの部品が仕様の範囲内で動作しないというかなりの可能性がある。できる限りシステムの保守の間隔を延長するため、欠陥、又は、仕様から外れたビームレット若しくはデータチャネルを特定する点検が定期的に行われることがある。この点検は、各ウェハ走査前、ウェハの個別の第1の走査前、又は、何らかの他の都合の良い時期に実行されることがある。点検は、例えば、全体がそのまま参照によって本明細書に組み込まれる同時係属中の米国出願第61/122,591号に記載されていることを含めて、1回以上のビーム測定を含むことがある。冗長走査の主な目的は、カラム内の故障部品の交換に時間がかかるので、EOカラムで発生する故障を補償することである。しかし、冗長走査は、データパス内の故障に対処するため使用されることもある。例えば、1チャネル内のレーザーダイオードの故障した光ファイバは、このチャネルをオフに切り替え、そして、故障したチャネルによって書き込まれることになっていたストライプを書き込むために冗長走査の間に別のチャネルを使用することにより補正されることがある。
第1の走査は、「マルチパス走査」型実施形態では、機能するビームレットと同様に欠陥のあるビームレットのための第1の走査を補強するためにも使用することができるが、依然として、冗長走査機能を達成する。マルチパス走査では、ウェハの第1の走査は、フィールドストライプの一部分を書き込み、第2の走査は、ストライプの残りの部分を書き込み、結果としてウェハの各フィールドのストライプの全部が書き込まれる。この原理は、3回の走査又は4回の走査などに拡張することもできるが、走査回数の増加は、ウェハを露光する総時間を増加させ、ウェハスループットを低下させる。よって、2パス走査、すなわち、デュアルパス走査アプローチが好ましい。
現行の工業規格は、300mmウェハである。ウェハは、26mm×33mmの最大寸法をもつ固定サイズのフィールドに分割される。各フィールドは、複数のICを生産するため処理されることがある(すなわち、複数のチップのためのレイアウトが単独のフィールドに書き込まれることがある)が、ICは、フィールド境界を越えない。最大サイズが26mm×33mmとすると、単独の標準的なウェハ上で63個のフィールドが利用できる。より小さいフィールドが可能であり、1ウェハ当たりにより多数のフィールドをもたらすことになる。図5は、フィールドに分割されたウェハと、フィールドを書き込む方向とを示す。フィールドは、ウェハ上の矩形エリアであり、典型的に、最大サイズ26mm×33mmをもつ。GDS−IIファイルは、フィールドの特徴的形体を記述する。例えば、完全なフィールドを部分的なフィールドに書き込み、ウェハ境界を越えることにより、部分的(不完全)なフィールドを書き込むことも可能である。
ビーム・デフレクタ・アレイ119は、すべてのビームに対して並列に三角形状偏向信号を生成することになる。偏向信号は、図6の概略図に示されるように走査フェーズ及びフライバック・フェーズを含む。走査フェーズ中に、偏向信号は、(オンに切り替えられたとき)ビームレットをy方向にゆっくり移動し、ビームレット・ブランカ・アレイは、ビームレット制御信号に応じてビームレットをオン及びオフに切り替えることになる。走査フェーズ後、フライバック・フェーズが始まる。フライバック・フェーズ中に、ビームレットは、オフに切り替えられ、偏向信号は、次の走査フェーズが開始することになる位置へビームレットを素早く移動する。
上述された実施形態では、各サブビームは、49個のビームレットに分割され、チャネルは、ストライプを書き込むための49個のビームレットを結合する。ストライプを書き込む多数の異なる書き込み戦略が存在する。ビームレット書き込み戦略は、どのようにビームがストライプ書き込みのため配置されるかを定義する。スキームは、スタッキング、インターリービング、又は、オーバーラッピングの組み合わせでもよい。ビームレットは、走査及びフライバックの2フェーズで偏向される。走査フェーズ中に、ビームレットは、ウェハの上でビームレットの走査線に沿って(ビームレットがオンに切り替えられたとき)偏向される。走査線ビットフレームのパターン区間は、望ましいチップ特徴的形体を露光するビットパターンで充填されることになる。
ビームレットは、重ならない走査線を書き込むことができるようにEOスリットに対しある角度で方向付けられる。偏向方向に対するEOスリットのチルトは、図11に示されるように、y方向に位置差を生じさせる。この位置差は、補正されることがある。あらゆるビームレットに対し、このシフトの値は、投影ピッチの倍数である。図11では、上部穴と中心穴との間の差は、Wproj/2に等しい。これらの値は、結果としてフル画素シフト成分とサブ画素シフト成分とを生じる。フル画素シフト成分は、好ましくは、常に補償されるが、サブ画素成分は、リアルタイム・ラスタライゼーションを使用したときに限り補償することができる。
システムコストを削減するため、1つの光ファイバが多数(例えば、7×7=49)のブランカ穴を制御するため使用されることがある。一実施形態では、各ファイバを介して送信された連続的な制御ビットは、ビームレット・ブランカ・アレイの連続的なブランカ穴を制御するため(すなわち、一連のビームレットを制御するため)使用される。一実施形態では、各ファイバは、単独のパターン化ビーム上の49個のビームレットの制御のための49個のサブチャネルに対する制御情報を送信するチャネルを備える。この制御情報は、各ビームレットのためのブランカ電極へ供給される前に、最初に一時記憶することが可能であるか、又は、制御情報は、一時記憶なしにそのまま供給することが可能である。バッファは、この目的のためビームレット・ブランカ・アレイに設けることができる。インターリーブ型/多重化型サブフレームを含むデータパスの略図は、図55に示され、各ビームレットに対する個別の制御ビットを分離するために多重化サブチャネルを復号化するため行選択器及び列選択器を使用する逆多重化スキームの略図は、図56に示される。
フィールドは複数のビームによって書き込まれるので、ステッチングは、好ましくは、異なるビームによって書き込まれたビームの部分間で使用される。ステッチングエラー(近傍ビームによって書き込まれたパターンに対する1個のビームで書き込まれたパターンのシフト)は、結果として2種類のリソグラフィックエラー、すなわち、臨界寸法(CD)エラー(ステッチング境界での線があまりに厚いか、又は、あまりに薄い)と、オーバーレイエラーとを生じる。オーバーレイエラーに対し、5nmは、典型的に許容される。ステッチングアプローチは、ステッチングエラーから生じるCDエラーを免れる方法である。様々なステッチング戦略が使用されることがある。これらの戦略は、例えば、ノー・ステッチング、ラギッド・エッジ、ソフト・エッジ、スマート・バウンダリである。
2回の走査を伴うマルチパス走査の使用は、結果として、最大容量の半分で書き込みを行うリソグラフィ装置をもたらす。この書き込み容量の削減は、データパスのため必要とされるハードウェアの量の著しい減少を可能にする。
図24のフローチャートは、リソグラフィ・システムに含まれるプロセスと、プロセスの依存関係との概要を示す。依存関係を理解することは、(所要時間に関する)性能の解析を可能とし、スループットを高めるために並列実行の機会を顕在化する。重要な原理は、走査のためのパターン・データが前の走査の実行中に処理され、及び/又は、RAMにロードされることである。
クロック及び同期化信号は、光ファイバを介して(デフレクタ及びウェハステージのような)他のサブシステムへ分配されることがある。これは、サブシステム間のガルバニック絶縁と、電磁作用への不感度性との利点を有する。クロック変動は、線量を変化させるため使用できる。しかし、線量変動は、画素サイズを変えることによって補償できるので、クロック変動は、好ましくは、データをブランカへ送信する役割を担うデータパスの物理的部品の組み込みを簡単化し、クロック周波数の変化後に再同期化するため必要な時間を除くため回避される。
上述の荷電粒子リソグラフィ装置の実施例では、ビームレット位置、サイズ、電流、又は、ビームの他の特性のエラーを補正するために個別の電子ビームレットを調整する設備は、リソグラフィ装置の中に構築されない。リソグラフィ装置は、付加的なコンポーネントを物理的なビーム補正を行う電子光学カラムに組み入れる際に伴う付加的な複雑さ及びコストを避けるため、そして、このような付加的なコンポーネントを組み入れることによって必要とされるカラムのサイズ増加を避けるため、ビームレットに個別の補正を行う矯正レンズ又は回路を含まない。
パターンがウェハに書き込まれるとき、パターンを書き込むビームレットがすべて完全に位置合わせされる可能性は低い。この位置合わせミスを補正し、ビームが位置合わせされたストライプを書き込むことを可能にするため、パターン・データは、位置合わせエラーを補償するため調整される。この調整は、ソフトウェア又はハードウェアを使用して行われることがあり、パターン・データの処理中に様々な段階で行うことができる。例えば、補正は、ベクトル・フォーマット、又は、マルチレベル・グレイスケール・フォーマット、又は、2レベル黒/白ビットマップでパターン・データに対して行うことができる。
多数のサブチャネルのためのビームレット制御信号は、好ましくは、単独のチャネルを介して多重化される。ブランカ設計に依存して、これは、結果として、異なる時点に次の画素への個別のビームレット切り替えを生じる。ブランカ・タイミング・オフセット補正は、典型的に、1画素未満の最大シフト範囲と0.1nmのシフト精度とを用いて、サブチャネル毎にYにおける補正を必要とする。ブランカ・タイミング・オフセットは、ブランカ設計に依存するので、シフトパラメータは静的である。
ブランカ図形のため、異なる穴は、ある特定の基準点から異なるオフセットを有する。穴のXのオフセットは、インターリーブ型パターンを生成するため使用される(図9を参照)。ブランカの予測可能なタイミング遅延は、リアルタイムで考慮され、この補正の一部とは考えられない。基準(例えば、中間ストライプ)と相対的なYのオフセットは、補償される。エラーは、フル画素成分及びサブ画素成分に分割される。フル画素シフトは、常に補償されるべきであるが、リアルタイム・ラスタライゼーションだけがサブ画素成分を取り扱う能力をもつ。ブランカ穴オフセット補正は、典型的に、最大シフト範囲±Wproj/2又は±210μm(すなわち、(N−1)*Pproj)と、0.1nmのシフト精度とを用いて、サブチャネル1個当たりのサブ画素成分のためのYの補正を必要とする。ブランカ穴オフセットは、ブランカ図形の関数であるので、補正パラメータは静的である。
リソグラフィ装置における生産中の公差変動のため、有効線量は、ビームレット毎に変化する。ビームレット走査偏向強度の変動は、結果として、線量強度の変動を生じることもある。線量率は、線量係数;結果の線量率=線量率マップ*線量係数を使用して補正されることがある。この式は、数学的に補正を記述するが、線量補正は、好ましくは、画素白色値及び/又は閾値を調整することにより、ディザリングプロセスにおいて実現される。例えば、ビームレットが線量係数90%を用いてキャリブレーションされるとき、ビームレットの強度は、100%/90%=111.1%である。このように、100がデフォルトである場合、ディザリングのため使用される白色値は、111.1であることになり、デフォルトが50である場合、ディザリング閾値は、55.6であることになる。
ビームは、各走査中にy方向に偏向され、ストライプの一方側からもう一方側へパターンを書き込む。偏向距離は、好ましくは、両方のストライプ幅と、オーバースキャン距離の2倍とをカバーする。偏向が完全には均一でない場合、1個のビームが他のビームより強く偏向されるので、偏向距離は、様々である。走査偏向の強度の差は、アレイ両端に現れる電圧降下のために走査偏向アレイの表面の一面に亘って現れる。これらの電圧降下は、結果として、アレイの遠端により弱い偏向場を生じ、偏向距離は、より弱い偏向場を受けるビームレットに対してより短くなる。
動的パターンシフティングは、ウェハ加熱を補償するためさらに設けられることがある。動的パターンシフティングは、時間の関数として変化する値と共に、チャネル毎にXオフセット及びYオフセット表を使用して完成することができる。1ms当たりの最大傾斜0.1nm(X方向に−10μmに等しい)が使用されることがあり、オフセット表は、300nm(ウェハサイズ)当たりに30,000個のエントリを含む。
走査偏向アレイの表面を横切るビームレット走査偏向の強度の差のため、ビームレットの偏向距離は、変化することになる。この偏向距離は、(上述の)パターンスケーリング又はパターンサイジング補正を使用して補償されることがある。パターンサイジング補正のための要件は、一般に、パターンスケーリングのための要件と同じである。
データパスは、指定フォーマットでパターン・レイアウト・データを受信し、このデータが電子ビームを使用してウェハに書き込むことができるように、このデータを処理する。データパスは、リソグラフィ装置の中のエラーを補償するためパターン・データへの調整をさらに実行し、同期化信号を他のサブシステムへ供給する。
データパス・サブシステムのための入力は、ウェハに「書き込まれる」レイアウトの情報を収容する(通常は、GDS−II又はMEBESのような工業規格ファイル・フォーマットから導き出される)前処理済みフォーマットということがある。この工業規格ファイル・フォーマット上で、予め定義されたシステム補償がオフラインプロセスの中で適用される。オフライン処理後、データは、データパスの次の段階のため保存されることになる。データは、後に続く処理のため使い易いファイル・フォーマットに、例えば、個別のチャネル毎に1ファイルずつ保存されることがある。
線量マップは、典型的に、ベクトル・フォーマットを使用して、単一線量率の面積を定義する。線量率は、単位面積当たりの放射線強度である。パターンを適切な線量率で書き込むことは本質的であり、そうでなければ、書き込み済みパターンは、レジストの中に正確に現れることがない。線量率の範囲は、例えば、0.2%のステップの中の50から100%でもよく、線量マップの空間分解能は、10から15nmでもよい。これらのエリアは、重なり合わないので、これらのエリアを記述する多角形の線は、交差しない。これらのエリアは、0°、45°又は90°の角度にある線を使用して、ベクトル・フォーマットで定義されることがある。リアルタイム描画の場合、オフラインプロセスは、複雑な多角形をより単純な多角形に解体することがあり、例えば、多角形は、走査線が最大で2回に限り境界と交差するように単純化することができる。これは、ハードウェアにおける描画を簡略化する。
前処理機能は、典型的に、設計毎に1回ずつ実行される。このステップは、完了するために大量の計算能力を必要とする。以下の機能性が通常は前処理に含まれる。(a)GDS−IIチップ設計を読み出し、チップ生産プロセスの中の特定のステップのため必要とされる情報を抽出する。これは、典型的に、結果として、このステップで必要とされる特徴的形体のための多角形のマップを生じる。(b)レジスト加熱補正を線量マップに適用する。この補正は、典型的に、結果として、特徴的形***置のための調整を生じる。(c)多角形に近接補正を適用する。この補正は、結果として、異なる線量率が結合されたさらに多くの多角形を含む線量マップを生じることになる。(d)各フィールドのための線量マップをベクトル・フォーマットで出力する。
チャネルは、好ましくは、さらなる処理のための単位として使用される。これを可能にするため、フィールド線量マップは、チャネル毎の線量マップに分割される。多角形は、1個のチャネルによって書き込まれたストライプエリアに縮小される。ストライプエリアは、好ましくは、ステッチング戦略及びディザリング開始アーティファクトを考慮するため、ストライプの境界を越えて広がる。重要な特徴的形体が単独のチャネル/ストライプに割り当てられる「スマート境界」ステッチング戦略が使用される場合、線量マップを解体するとき、ストライプ境界上の重要な特徴的形体多角形が特別なチャネルに割り当てられる。
描画は、ラスタライゼーションプロセスの第1のステップである。形状情報及び線量情報は、画素の中に描画される。図29は、描画プロセスを例示するためストライプの上に被されたレイアウトパターン特徴的形体を示す。形状情報及び線量情報は、線量マップの中にベクトル・フォーマットで記述され、通常は、フィールドに基づいている。Xにおける画素境界値は、装置の開始点によって固定されている(第1行は、ビームレット0によって書き込まれることをさらに仮定する)。これは、すべてのX座標(図29における画素X idx)と走査線を書き込むことになる対応するビームレット(図29のビームレットidx)との間の関係を決定することになる。走査線は、Y方向での画素の行である。
ディザリングは、ラスタライゼーションプロセスの第2のステップである。ディザリングを用いて、特別な線量率がサブチャネルのための系列を切り替えることにより実現される。ディザリングは、マルチレベルグレイスケール画素を2レベル黒/白画素に本質的に量子化し、各画素の中の量子化エラーを近傍画素に伝播し、特別な平均線量率を局所的に余儀なくさせる。図30は、このプロセスを示す。ディザリング技術は、典型的に、印刷時にグレイスケール又は色変動を実現するため使用される。一部の周知のアルゴリズムは、エラー拡散法(2×2形行列)、及び、フロイド・スタインバーグ法(2×3形行列)である。
このプロセスは、ディザリング後に様々な課題を実行する。ディザリングされた画素ビットは、走査線ビットフレームに投影される。特定のフル画素シフトは、この演算中に実行されることがある。適切なビットは、その後、単独偏向走査のため組み立てられる。
最後の(選択的な)ステップとして、偏向走査ビットフレームは、データの伝送を改良するため符号化されることになる。
図33は、オフライン処理及び中央記憶ユニット(サーバ)と、数個のパターン・ストリーマ・ノードと、ブランカチップ(ビームレット・ブランカ・アレイ)とを備えるデータパスの主要なデータ処理及び記憶要素を示す略ブロック図である。
データパスの機能ユニット:(1)前処理、(2)チャネル分割、(3)チャネル描画、(4)チャネルディザリング、(5)サブチャネルマッピング、及び、(6)チャネル多重化及び符号化は、図28に示される。
図59は、オフライン・ラスタライゼーションを使用する実施形態を示す。GDS−IIフォーマット・パターンは、近接効果補正及びレジスト加熱補正を含むオフライン処理を受ける。スマート・バウンダリが使用される場合、境界は、この段階で計算される。ラスタライゼーション(描画及びディザリング)は、ベクトル・パターン・データを2レベル黒/白ビットマップに変換するため実行され、このビットマップは、この実施形態のためのツール入力データフォーマット(すなわち、リソグラフィ・システムへの送信用のデータフォーマット)である。このオフライン処理は、ウェハの1つ以上のバッチに対して、所与のパターン設計のため1回ずつ実行される。
・線量マップは、好ましくは、依然として入力ビットマップに追加され、FPGAによって使用される。
図60は、インライン・ラスタライゼーションを使用する実施形態を示す。GDS−IIフォーマット・パターン・データは、図59のオフライン実施形態に関しては、近接効果補正、レジスト加熱補正、及び、使用される場合にスマート・バウンダリを含むオフライン処理を受ける。補正されたベクトル・パターン・データ及び線量マップは、この実施形態のためのツール入力データフォーマットである。このオフライン処理は、所定のパターン設計に対して、ウェハの1個以上のバッチのため1回ずつ実行される。
不利点には、プロセッサの費用、多量の電力消費(Intel Core 2 Extreme quad−コアプロセッサ:TDP=130W)、及び、比較的低い並列化の程度(Intel Core 2 quad−コアプロセッサに対し4コア)が含まれる。
図62は、リアルライン・ラスタライゼーションを使用する実施形態を示す。この実施形態は、ラスタライゼーションが典型的にハードウェアで実行されるリアルタイム処理中に、プロセスの中のさらに先の1ステップで実行される点を除いて、図61の実施形態に類似する。ビーム位置キャリブレーション、フィールドサイズ調整、及び/又は、フィールド位置調整のための補正がベクトル・フォーマットであるPSSフォーマット・データに行われ、その後、ラスタライゼーションがこのPSSフォーマット・データを黒/白ビットマップに変換する。補正は、ベクトル・データに行われるので、X方向及びY方向のフル画素シフト及びサブ画素シフトの両方を行うことができる。
ベクトル表現は、典型的に、GDS−II又はOASISフォーマットのようなパターン・データを生成するため使用される。上述されるように、様々な動作モードが荷電粒子リソグラフィ装置のため可能である。上述の1つのモードは、ベクトルベース入力フォーマットのパターン・データがリアルタイムで(FPGAのような)処理ユニットによって使用され、処理される(すなわち、ウェハのフィールドの集合のためのパターン・データが少なくとも部分的に処理され、同時に、このフィールドの集合の走査が行われる)リアルタイム・ラスタライゼーション・モードである。
最小特徴的形体ピッチは、セル内に最大数のコーナーを確保する。45度の方向のエッジをもつ特徴的形体を考慮するとき、セルの最大寸法は、セルの対角線であり、対角線の長さは、正方形セルに対してセルサイズに2の平方根を乗じた長さに等しい(例えば、64nm正方形セルに対し、64×√2)。最小特徴的形体ピッチがこの対角線の長さ未満であるとき、セル1個当たりに5個以上のコーナーが存在する危険がある。図72には、この状況が示される。左側で、同図は、64nmのピッチをもち、64nmのセルの中に位置決めされ、1セル当たりに4個のコーナー(コーナーは、小円によって指示される)を含む正方形の特徴的形体の規則的なグリッドを示す。右側では、正方形の特徴的形体のグリッドは、45度だけ回転されている。強調表示されたコーナーは、6個のコーナーがセルの真ん中に現れることを示す。
近接効果補正は、ウェハを処理した後、パターン(特に、コーナー)を改良するため必要とされる。近接効果補正は、図形又は線量のいずれかを局所的に微調整することにより扱われることを可能にする。近接効果補正は、典型的に1/3CDの長さをもつコーナーの周りの小さいセリフを使用する図形変更によって行われることが仮定される。
特徴的形体図形に加えて、線量率は、微小スケールで関連した重要なシステムパラメータである。線量情報は、1セル毎に1個の線量率を収容する線量グリッドを与えることにより記述されることがある(線量情報は、他の方法で、例えば、各特徴的形体のための線量値を関連付けることによって与えられることがある)。セルサイズは、典型的に、望ましい臨界寸法(CD)以下である。理論上、線量グリッドは、描画セルグリッドと独立している。
・互いに独立したグリッドで両方を定義すること
・両方のグリッドの位置合わせを行い、場合によっては、両方のグリッドを統合することである。
画素セルサイズ及び位置は、好ましくは、柔軟性がある。画素は、正方形でなくてもよいが、ストライプ/チャネルの範囲内で常に同じ寸法を有することになる。画素は、(最悪ケースに)4個の描画セルによって描画されることがある。行毎に、サブ画素シフトのため、様々な(Y方向)位置合わせが使用できる。
以下の仕様は、一実施形態に与えられる。描画セルは、最大で4個のコーナーと追加情報とを収容する64×64nmのブロックを備える。エッジは、コーナーで始まるベクトル、Edge1又はEdge2のいずれかであり、Edge1からEdge2までの時計回りの角度は、アクティブ状態側を定義する。コーナーは、セル内の特徴的形体のコーナーである。コーナーは、線が現実のコーナーなしにセルを横切るとき角度180度を有することがある。描画セル1個当たりに最大で4個のコーナーが仮定される。
大きい固定数のコーナーと小さい固定数のコーナーとの間の二者択一として、1つの可能性は、データのより大きいブロックに対し、例えば、機械的走査方向で約16倍大きいブロックに対し、コーナーの最大数を制限することである。このより大きいブロックの1つの領域の中のコーナーの局所最大数は、このブロックの別の領域にあるより少ない数のコーナーによって補償されることになる。
図74は、すべての電子ビームレットの共通交差のない電子ビーム光学システムに基づく荷電粒子マルチビームレット・リソグラフィ・システム1の実施形態の簡易図である。この光学システムは、米国特許出願公開第61/045243号に詳細に記載され、この特許出願は、全体がそのまま参照によって本明細書に組み込まれる。
以下の事項は、本発明のある特定の対象に関して定義としてさらなる説明を表し、請求項と呼ばれることもある。
ベクトル・フォーマットでパターン・データを与えることと、
マルチレベル・パターン・データを生成するためベクトル・パターン・データを描画することと、
2レベル・パターン・データを生成するためマルチレベル・パターン・データをディザリングすることと、
2レベル・パターン・データを荷電粒子リソグラフィ装置に供給することと、
2レベル・パターン・データに基づいて、荷電粒子リソグラフィ装置によって生成されたビームレットをオン及びオフに切り替えることと、
を備え、パターン・データは、補正データに基づいて調整される方法。
画素のアレイを定義することと、
画素のアレイを各部分が異なるビームレットによって露光されるように割り当てられている部分に分割することと、
各部分のためのエラー伝播パラメータ値を決定することと、
エラー伝播パラメータ値を使用して2レベル値を各部分の内部の画素に割り当てることと、
を備える、直前請求項の方法。
装置設計の複数の層を記述する設計データを与えることと、
ベクトル・フォーマットで2次元パターン・データを生成するため設計データの層を変換することと、
を備える、前請求項のうちのいずれかの方法。
ビームレットをオン又はオフに切り替えるビームレット・ブランカ・アレイを含み、ウェハを露光する複数の電子ビームレットを生成する電子光学カラムと、
ビームレットの切り替えの制御のためのビームレット制御データを伝達するデータパスと、
ウェハを電子光学カラムからの電子ビームと位置合わせするため、データパスから同期化信号が供給され、X方向に電子光学カラムの下でウェハを移動するウェハ位置決めシステムと、
を備え、
データパスは、ビームレット制御データを生成する1個以上の処理ユニットと、ビームレット制御データをビームレット・ブランカ・アレイへ送信する1個以上の伝送チャネルとを備える、荷電粒子リソグラフィ・システム。
交差接続スイッチは、処理ユニットをウェハの第1の部分の走査のためのビームレットの第1の部分集合に対応する伝送チャネルの第1の部分集合に接続し、処理ユニットをウェハの第2の部分の走査のためのビームレットの第2の部分集合に対応する伝送チャネルの第2の部分集合に接続する、2つの直前請求項のうちのいずれかのシステム。
処理ユニットは、第1のパターン・データを記憶する第1のメモリ部分と第2のパターン・データを記憶する第2のメモリ部分とに分割されているメモリを備え、
現在のウェハのバッチの中のウェハの第2の部分の露光中に、次のウェハのバッチの中のウェハのための第1のパターン・データが第1のメモリ部分にロードされる、前請求項のうちのいずれかのシステム。
グループ状に配置され、各グループがビームレットのアレイを備える複数の荷電粒子ビームレットを生成することと、
ウェハ走査速度で第1の方向にビームレットの下でウェハを移動することと、
偏向走査速度で第1の方向と実質的に直交する第2の方向にビームレットを偏向することと、
ビームレットによってウェハに加えられた線量を調整するためウェハ走査速度を調整することと、
を備える方法。
グループ状に配置され、各グループがビームレットのアレイを備える複数の荷電粒子ビームレットを生成することと、
ウェハ走査速度で第1の方向にビームレットの下でウェハを移動することと、
偏向走査速度で第1の方向と実質的に直交する第2の方向にビームレットを偏向することと、
画素をウェハに露光するためビームレットが偏向されるとき、パターン・データに応じてビームレットをオン及びオフに切り替えることと、
第1の方向で画素幅を調整するため偏向走査速度と相対的にウェハ走査速度を調整することと、
を備える方法。
グループ状に配置され、各グループがビームレットのアレイを備える複数の荷電粒子ビームレットを生成することと、
ビームレットとウェハとの間で第1の方向に相対移動を作り出すことと、
各ビームレットがウェハ上の複数の走査線を露光するように、偏向走査速度でx方向と実質的に直交する第2の方向にビームレットを偏向することと、
ビームレットによってウェハに加えられた線量を調整するため、第1の方向での相対移動と、第2方向でのビームレットの偏向とを調整することと、
を備え、
ビームレットの各アレイが、アレイの中のビームレットの間で第1の方向に投影ピッチPprojと、アレイ内のビームレットの数が乗じられた投影ピッチPprojに等しい群距離とを有し、
各走査の間のビームレットとウェハとの間のx方向における相対移動が整数Kで除した群距離に等しくされている、方法。
特徴的形体が1個以上のセルを占有するセルのアレイを定義することと、
各セルに対し、セルの範囲内に含まれる特徴的形体のコーナーを記述することと、
を備える方法。
パターン・データをベクトル・フォーマットで与えることと、
セル・ベース・フォーマットでパターン・データを生成するためベクトル・パターン・データを変換することと、
リソグラフィプロセスで用いられる2レベル・パターン・データを生成するためセル・ベース・パターン・データをラスタライジングすることと、
を備える方法。
マルチレベル・パターン・データを生成するためセル・ベース・パターン・データを描画することと、
2レベル・パターン・データを生成するためマルチレベル・パターン・データをディザリングすることと、
を備える、請求項20〜22のうちのいずれかの方法。
パターン・データをベクトル・フォーマットで与えることと、
セル・ベース・フォーマットでパターン・データを生成するためベクトル・パターン・データを変換することと、
2レベル・パターン・データを生成するためセル・ベース・パターン・データをラスタライジングすることと、
荷電粒子リソグラフィ装置によって生成されたビームレットのオン及びオフを切り替えるため2レベル・パターン・データをビームレット・ブランカ・アレイへストリーミングすることと、
2レベル・パターン・データに基づいてビームレットのオン及びオフを切り替えることと、
を備える方法。
マルチレベル・パターン・データを生成するためセル・ベース・パターン・データを描画することと、
2レベル・パターン・データを生成するためマルチレベル・パターン・データをディザリングすることと、
を備える、請求項24〜26のうちのいずれかの方法。
マルチレベル・パターン・データを生成するためセル・ベース・パターン・データを描画することと、
2レベル・パターン・データを生成するためマルチレベル・パターン・データをディザリングすることと、
を備える、請求項24〜26のうちのいずれかの方法。
以下に、出願時の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[C1]
複数の荷電粒子ビームレットを使用してウェハを露光する方法であって、
前記ビームレットのうちで機能しないビームレットを特定することと、
前記特定された機能しないビームレットが除外された、前記ウェハの第1の部分を露光するための前記ビームレットの第1の部分集合、を割り付けることと、
前記ビームレットの前記第1の部分集合を使用して前記ウェハの前記第1の部分を露光するための第1の走査を実行することと、
前記特定された機能しないビームレットが同様に除外された、前記ウェハの第2の部分を露光するための前記ビームレットの第2の部分集合、を割り付けることと、
前記ビームレットの前記第2の部分集合を使用して前記ウェハの前記第2の部分を露光するための第2の走査を実行することと、
を備え、前記ウェハの前記第1及び第2の部分とは、重なり合わず、合わせて露光されるべき前記ウェハの全エリアを備える、方法。
[C2]
前記第1及び第2の部分集合は、サイズが実質的に等しくされている、C1の方法。
[C3]
前記第1及び第2の部分は、サイズが実質的に等しくされている、C1の方法。
[C4]
前記第1及び第2の部分は、それぞれ前記ウェハの複数のフィールドから選択されたストライプを備える、C1乃至3のうちのいずれか1項の方法。
[C5]
前記機能しないビームレットを特定することは、前記ビームレットを測定し、不成功、又は、仕様外のビームレットを特定することを備える、C1乃至4のうちのいずれか1項の方法。
[C6]
前記ビームレットを測定することは、前記複数のビームレットをセンサの方へ向けることと、前記ビームレットの有無を検出することとを備える、C5の方法。
[C7]
前記ビームレットを測定することは、前記複数のビームレットをセンサの方へ向けることと、ビームレット位置を測定することとを備える、C1乃至6のうちのいずれか1項の方法。
[C8]
前記ビームレットを測定することは、前記複数のビームレットをセンサ上に走査することと、ビームレット偏向を測定することとを備える、C1乃至7のうちのいずれか1項の方法。
[C9]
前記ビームレットを測定することは、前記複数のビームレットをセンサ上に走査することと、ビームレット電流を測定することとを備える、C1乃至8のうちのいずれか1項の方法。
[C10]
前記複数のビームレットは、ビームレットの各グループが前記ウェハの各フィールド内の対応するストライプを露光するグループに分割される、C1乃至9のうちのいずれか1項の方法。
[C11]
前記複数のビームレットに関する前記ウェハの位置は、前記第1の走査の開始時と前記第2の走査の開始時とで異なっている、C1乃至10のうちのいずれか1項の方法。
[C12]
前記複数のビームレットに関して前記ウェハの第1のウェハ位置を計算することと、
前記第1の走査を開始する前に前記ウェハを前記第1の位置まで移動させることと、
前記複数のビームレットに関して前記ウェハの第2のウェハ位置を計算することと、
前記第2の走査を開始する前に前記ウェハを前記第2の位置まで移動させることと、
をさらに備え、前記ウェハの前記第1の部分への前記ビームレットの前記第1の部分集合の割り付けに関連した前記第1の位置と、前記ウェハの前記第2の位置への前記ビームレットの前記第2の部分集合の割り付けに関連した前記第2の位置とは、前記第1及び第2の部分が前記ビームレットの部分集合のうちの一方だけのビームレットによって露光されるようにする、C1乃至11のうちのいずれか1項の方法。
[C13]
前記ウェハの前記第1の部分への前記ビームレットの前記第1の部分集合の割り付けに関連した第1の位置と、前記ウェハの前記第2の部分への前記ビームレットの前記第2の部分集合の割り付けに関連した第2の位置とを決定するためアルゴリズムを実行することをさらに備え、前記第1及び第2の部分が前記ビームレットの部分集合のうちの一方だけのビームレットによって露光されるようにする、C1乃至11のうちのいずれか1項の方法。
[C14]
前記ビームレットは、ビームレット制御データにしたがって、各走査中にビームレット・ブランカ・アレイによりオン及びオフに切り替えられる、C1乃至13のうちのいずれか1項の方法。
[C15]
前記ビームレット制御データは、前記第1の走査中に前記ビームレットの第1の部分集合を切り替えるための第1のビームレット制御データと、前記第2の走査中に前記ビームレットの第2の部分集合を切り替えるための第2のビームレット制御データとを備え、
前記第1の走査中に前記第1のビームレット制御データを前記ビームレット・ブランカ・アレイに送信することと、前記第2の走査中に前記第2のビームレット制御データを前記ビームレット・ブランカ・アレイに送信することと、をさらに備える、C14の方法。
[C16]
パターン・データを処理して前記ビームレット制御データを生成することをさらに備え、前記第2のビームレット制御データは、前記第1の走査中に生成される、C15の方法。
[C17]
前記パターン・データを処理することは、前記パターン・データをラスタライジングして前記ビームレット制御データを生成することを備え、前記第2のビームレット制御データのためのラスタライジングは、前記第1の走査中に実行される、C16の方法。
[C18]
前記パターン・データを処理することは、前記ビームレット・ブランカ・アレイへのストリーミングのために前記ビームレット制御データを準備することを備え、前記第2のビームレット制御データは、前記第1の走査中に前記ブランカ・アレイへのストリーミングのために準備される、C16の方法。
[C19]
パターン・データを処理して前記ビームレット制御データを生成することをさらに備え、露光されるべき次のウェハの前記第1のビームレット制御データは、現在露光中のウェハの前記第2の走査中に生成される、C15の方法。
[C20]
前記パターン・データを処理することは、前記パターン・データをラスタライジングして前記ビームレット制御データを生成することを備え、露光されるべき次のウェハの前記第1のビームレット制御データのための前記ラスタライジングは、現在露光中のウェハの前記第1の走査中に実行される、C19の方法。
[C21]
前記パターン・データを処理することは、前記ビームレット・ブランカ・アレイへのストリーミングのために前記ビームレット制御データを準備することを備え、露光されるべき次のウェハの前記第1のビームレット制御データは、現在露光中のウェハの前記第2の走査中に前記ブランカ・アレイへのストリーミングのために準備される、C19の方法。
[C22]
前記パターン・データを処理するために十分な第1の数の処理ユニットを備えて、前記第1のビームレット制御データを生成することと、
それぞれが対応するビームレットのグループへデータを送信し、前記ビームレット制御データを前記ビームレット・ブランカ・アレイへ送信するための第2の数のチャネルを備えることと、
前記ウェハの前記第1の部分を露光するために前記ビームレットの前記第1の部分集合に対応するチャネルに前記処理ユニットを接続することと、
前記処理ユニットにおいて前記パターン・データを処理して前記第1のビームレット制御データを生成することと、
前記第1のビーム制御データを前記ビームレット・ブランカ・アレイに送信することと、をさらに備える、C15の方法。
[C23]
前記パターン・データを処理するために十分な第3の数の処理ユニットを備えて、前記第2のビームレット制御データを生成することと、
それぞれが対応するビームレットのグループへデータを送信し、前記ビームレット制御データを前記ビームレット・ブランカ・アレイへ送信するための第4の数のチャネルを備えることと、
前記ウェハの前記第2の部分を露光するために前記ビームレットの前記第2の部分集合に対応するチャネルに前記処理ユニットを接続することと、
前記処理ユニットにおいて前記パターン・データを処理して前記第2のビームレット制御データを生成することと、
前記第2のビーム制御データを前記ビームレット・ブランカ・アレイに送信することと、をさらに備える、C15の方法。
[C24]
前記第1の数の処理ユニットは、前記第1のビームレット制御データを生成するために前記パターン・データを処理し及び前記第2のビームレット制御データを生成するために前記パターン・データを処理するため十分であるが、前記第1及び第2のビームレット制御データを同時に生成するために前記パターン・データを処理するためには十分ではない、C19の方法。
[C25]
7台の処理ユニットが12個のチャネル毎に設けられている、C19の方法。
[C26]
ターゲットへのパターンの投影のために荷電粒子ビームレットを生成するためのブランカを含む荷電粒子光学カラムと、ターゲット支持体と、を備え、前記カラムと前記ターゲット支持体とがシステム内で互いに相対移動可能であり、前記システムは、前記カラムのブランカへのパターン・データを処理及び転送するデータパスをさらに備え、前記ブランカは、前記ターゲットへの投影に関してそれぞれ前記ビームレットをオン及びオフに切り替えることができるよう配置され、前記データパスは、パターン・データを、前記ターゲット支持体と前記カラムとの相対移動でビームレットの投影エリアを形成する前記ターゲット上のストライプに関連する投影データに処理するための処理ユニットを備え、前記データパスは、前記投影データによってビームレットを個別に制御する前記ブランカに接続されているチャネルをさらに備え、前記システムは、異なるチャネルの間で処理ユニットへの接続を切り替えるスイッチがさらに設けられている、リソグラフィ・システム。
Claims (26)
- 複数の荷電粒子ビームレットを使用してウェハを露光する方法であって、
前記ビームレットのうちで機能しないビームレットを特定することと、
前記特定された機能しないビームレットが除外された、前記ウェハの第1の部分を露光するための前記ビームレットの第1の部分集合、を割り付けることと、
前記ビームレットの前記第1の部分集合を使用して前記ウェハの前記第1の部分を露光するための第1の走査を実行することと、
前記特定された機能しないビームレットが同様に除外された、前記ウェハの第2の部分を露光するための前記ビームレットの第2の部分集合、を割り付けることと、
前記ビームレットの前記第2の部分集合を使用して前記ウェハの前記第2の部分を露光するための第2の走査を実行することと、
を備え、前記ウェハの前記第1及び第2の部分とは、重なり合わず、合わせて露光されるべき前記ウェハの全エリアを備える、方法。 - 前記第1及び第2の部分集合は、サイズが実質的に等しくされている、請求項1の方法。
- 前記第1及び第2の部分は、サイズが実質的に等しくされている、請求項1の方法。
- 前記第1及び第2の部分は、それぞれ前記ウェハの複数のフィールドから選択されたストライプを備える、請求項1乃至3のうちのいずれか1項の方法。
- 前記機能しないビームレットを特定することは、前記ビームレットを測定し、不成功、又は、仕様外のビームレットを特定することを備える、請求項1乃至4のうちのいずれか1項の方法。
- 前記ビームレットを測定することは、前記複数のビームレットをセンサの方へ向けることと、前記ビームレットの有無を検出することとを備える、請求項5の方法。
- 前記ビームレットを測定することは、前記複数のビームレットをセンサの方へ向けることと、ビームレット位置を測定することとを備える、請求項1乃至6のうちのいずれか1項の方法。
- 前記ビームレットを測定することは、前記複数のビームレットをセンサ上に走査することと、ビームレット偏向を測定することとを備える、請求項1乃至7のうちのいずれか1項の方法。
- 前記ビームレットを測定することは、前記複数のビームレットをセンサ上に走査することと、ビームレット電流を測定することとを備える、請求項1乃至8のうちのいずれか1項の方法。
- 前記複数のビームレットは、ビームレットの各グループが前記ウェハの各フィールド内の対応するストライプを露光するグループに分割される、請求項1乃至9のうちのいずれか1項の方法。
- 前記複数のビームレットに関する前記ウェハの位置は、前記第1の走査の開始時と前記第2の走査の開始時とで異なっている、請求項1乃至10のうちのいずれか1項の方法。
- 前記複数のビームレットに関して前記ウェハの第1のウェハ位置を計算することと、
前記第1の走査を開始する前に前記ウェハを前記第1の位置まで移動させることと、
前記複数のビームレットに関して前記ウェハの第2のウェハ位置を計算することと、
前記第2の走査を開始する前に前記ウェハを前記第2の位置まで移動させることと、
をさらに備え、前記ウェハの前記第1の部分への前記ビームレットの前記第1の部分集合の割り付けに関連した前記第1の位置と、前記ウェハの前記第2の位置への前記ビームレットの前記第2の部分集合の割り付けに関連した前記第2の位置とは、前記第1及び第2の部分が前記ビームレットの部分集合のうちの一方だけのビームレットによって露光されるようにする、請求項1乃至11のうちのいずれか1項の方法。 - 前記ウェハの前記第1の部分への前記ビームレットの前記第1の部分集合の割り付けに関連した第1の位置と、前記ウェハの前記第2の部分への前記ビームレットの前記第2の部分集合の割り付けに関連した第2の位置とを決定するためアルゴリズムを実行することをさらに備え、前記第1及び第2の部分が前記ビームレットの部分集合のうちの一方だけのビームレットによって露光されるようにする、請求項1乃至11のうちのいずれか1項の方法。
- 前記ビームレットは、ビームレット制御データにしたがって、各走査中にビームレット・ブランカ・アレイによりオン及びオフに切り替えられる、請求項1乃至13のうちのいずれか1項の方法。
- 前記ビームレット制御データは、前記第1の走査中に前記ビームレットの第1の部分集合を切り替えるための第1のビームレット制御データと、前記第2の走査中に前記ビームレットの第2の部分集合を切り替えるための第2のビームレット制御データとを備え、
前記第1の走査中に前記第1のビームレット制御データを前記ビームレット・ブランカ・アレイに送信することと、前記第2の走査中に前記第2のビームレット制御データを前記ビームレット・ブランカ・アレイに送信することと、をさらに備える、請求項14の方法。 - パターン・データを処理して前記ビームレット制御データを生成することをさらに備え、前記第2のビームレット制御データは、前記第1の走査中に生成される、請求項15の方法。
- 前記パターン・データを処理することは、前記パターン・データをラスタライジングして前記ビームレット制御データを生成することを備え、前記第2のビームレット制御データのためのラスタライジングは、前記第1の走査中に実行される、請求項16の方法。
- 前記パターン・データを処理することは、前記ビームレット・ブランカ・アレイへのストリーミングのために前記ビームレット制御データを準備することを備え、前記第2のビームレット制御データは、前記第1の走査中に前記ブランカ・アレイへのストリーミングのために準備される、請求項16の方法。
- パターン・データを処理して前記ビームレット制御データを生成することをさらに備え、露光されるべき次のウェハの前記第1のビームレット制御データは、現在露光中のウェハの前記第2の走査中に生成される、請求項15の方法。
- 前記パターン・データを処理することは、前記パターン・データをラスタライジングして前記ビームレット制御データを生成することを備え、露光されるべき次のウェハの前記第1のビームレット制御データのための前記ラスタライジングは、現在露光中のウェハの前記第1の走査中に実行される、請求項19の方法。
- 前記パターン・データを処理することは、前記ビームレット・ブランカ・アレイへのストリーミングのために前記ビームレット制御データを準備することを備え、露光されるべき次のウェハの前記第1のビームレット制御データは、現在露光中のウェハの前記第2の走査中に前記ブランカ・アレイへのストリーミングのために準備される、請求項19の方法。
- 前記パターン・データを処理するために十分な第1の数の処理ユニットを備えて、前記第1のビームレット制御データを生成することと、
それぞれが対応するビームレットのグループへデータを送信し、前記ビームレット制御データを前記ビームレット・ブランカ・アレイへ送信するための第2の数のチャネルを備えることと、
前記ウェハの前記第1の部分を露光するために前記ビームレットの前記第1の部分集合に対応するチャネルに前記処理ユニットを接続することと、
前記処理ユニットにおいて前記パターン・データを処理して前記第1のビームレット制御データを生成することと、
前記第1のビーム制御データを前記ビームレット・ブランカ・アレイに送信することと、をさらに備える、請求項15の方法。 - 前記パターン・データを処理するために十分な第3の数の処理ユニットを備えて、前記第2のビームレット制御データを生成することと、
それぞれが対応するビームレットのグループへデータを送信し、前記ビームレット制御データを前記ビームレット・ブランカ・アレイへ送信するための第4の数のチャネルを備えることと、
前記ウェハの前記第2の部分を露光するために前記ビームレットの前記第2の部分集合に対応するチャネルに前記処理ユニットを接続することと、
前記処理ユニットにおいて前記パターン・データを処理して前記第2のビームレット制御データを生成することと、
前記第2のビーム制御データを前記ビームレット・ブランカ・アレイに送信することと、をさらに備える、請求項15の方法。 - 前記第1の数の処理ユニットは、前記第1のビームレット制御データを生成するために前記パターン・データを処理し及び前記第2のビームレット制御データを生成するために前記パターン・データを処理するため十分であるが、前記第1及び第2のビームレット制御データを同時に生成するために前記パターン・データを処理するためには十分ではない、請求項19の方法。
- 7台の処理ユニットが12個のチャネル毎に設けられている、請求項19の方法。
- ターゲットへのパターンの投影のために荷電粒子ビームレットを生成するためのブランカを含む荷電粒子光学カラムと、ターゲット支持体と、を備え、前記カラムと前記ターゲット支持体とがシステム内で互いに相対移動可能であり、前記システムは、前記カラムのブランカへのパターン・データを処理及び転送するデータパスをさらに備え、前記ブランカは、前記ターゲットへの投影に関してそれぞれ前記ビームレットをオン及びオフに切り替えることができるよう配置され、前記データパスは、パターン・データを、前記ターゲット支持体と前記カラムとの相対移動でビームレットの投影エリアを形成する前記ターゲット上のストライプに関連する投影データに処理するための処理ユニットを備え、前記データパスは、前記投影データによってビームレットを個別に制御する前記ブランカに接続されているチャネルをさらに備え、前記システムは、異なるチャネルの間で処理ユニットへの接続を切り替えるスイッチがさらに設けられている、リソグラフィ・システム。
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