JP2009302209A - リードフレーム、半導体装置、リードフレームの製造方法および半導体装置の製造方法 - Google Patents
リードフレーム、半導体装置、リードフレームの製造方法および半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】リードフレーム200は、半導体チップが搭載されるダイパッド202と、複数のリード206と、ダイパッド202の表面側から窪んで設けられた第1の凹部210と、各リード206それぞれの表面側および裏面側から窪んで設けられた第2の凹部および第3の凹部(貫通孔212)と、を含む。第1の凹部210、第2の凹部および第3の凹部(貫通孔212)は、それぞれ、内壁面が凹凸形状に形成されている。
【選択図】図2
Description
リードフレームの表面に、たとえば特許文献2に記載されたような凹凸部が形成されている場合、リードフレームと封止樹脂との密着性は向上すると考えられる。しかし、各リードの一表面にこのような凹凸部を設けただけでは、各リードが封止樹脂から抜け出やすいという問題がある。本発明者らは、リードの凹凸部が設けられていない面での密着性が低いために、リードがリードフレームの厚さ方向に回転移動してしまい、リードが封止樹脂から抜けやすいということを見いだした。とくにリードが封止樹脂の外部に露出しているタイプの半導体装置では、このようなリード抜けの問題が顕著である。特許文献1に記載の技術でも、ダイパッドにしか貫通孔が設けられておらず、リード抜けの問題が依然としてある。
半導体チップが搭載されるダイパッドと、
前記ダイパッドの周囲に当該ダイパッドから間隔を隔てて配置された複数のリードと、
前記ダイパッドの表面側から窪んで設けられた第1の凹部と、
各前記複数のリードそれぞれの表面側から窪んで設けられた第2の凹部と、
各前記複数のリードそれぞれの裏面側から窪んで設けられた第3の凹部と、
を含み、
前記第1の凹部、前記第2の凹部および前記第3の凹部は、それぞれ、内壁面が凹凸形状に形成されたリードフレームが提供される。
半導体チップと、
表面側に前記半導体チップが搭載されたダイパッド、当該ダイパッドの周囲に当該ダイパッドから間隔を隔てて配置された複数のリード、前記ダイパッドの表面側から窪んで設けられた第1の凹部、各前記複数のリードそれぞれの表面側から窪んで設けられた第2の凹部、および各前記複数のリードそれぞれの裏面側から窪んで設けられた第3の凹部を含むリードフレームと、
前記半導体チップを封止するとともに前記第1の凹部、前記第2の凹部および前記第3の凹部を埋め込む封止樹脂と、
を含み、
前記第1の凹部、前記第2の凹部および前記第3の凹部は、それぞれ、内壁面が凹凸形状に形成された半導体装置が提供される。
半導体チップが搭載されるダイパッドおよび当該ダイパッドの周囲に当該ダイパッドから間隔を隔てて配置された複数のリードを含むリードフレームの表面側および裏面側にそれぞれ第1のレジスト膜および第2のレジスト膜を形成する工程と、
前記第1のレジスト膜の前記ダイパッドに対応する第1の位置、および各前記複数のリードそれぞれに対応する第2の位置にそれぞれ第1の開口部および第2の開口部を形成する工程と、
前記第2のレジスト膜の各前記複数のリードそれぞれに対応する第3の位置にそれぞれ第3の開口部を形成する工程と、
前記第1のレジスト膜および前記第2のレジスト膜をマスクとして、等方性エッチングにより前記リードフレームをエッチングし、当該リードフレームに、前記ダイパッドの表面側から窪んで設けられた第1の凹部、各前記複数のリードそれぞれの表面側から窪んで設けられた第2の凹部、および各前記複数のリードそれぞれの裏面側から窪んで設けられた第3の凹部を形成する工程と、
を含み、
前記第1の凹部、前記第2の凹部および前記第3の凹部は、それぞれ、表面から当該凹部の形成方向に沿って当該表面の開口幅よりも拡開した形状を有するように形成されるリードフレームの製造方法が提供される。
前記半導体チップを封止樹脂で封止するとともに当該封止樹脂で前記第1の凹部、前記第2の凹部および前記第3の凹部を埋め込む工程と、
を含む半導体装置の製造方法が提供される。
図1は、本実施の形態におけるリードフレームの構成を示す上面図である。
リードフレーム200は、表面側に半導体チップが搭載されるダイパッド202と、吊りリード204と、複数のリード206と、外枠208を含む。ダイパッド202は、矩形形状を有する。吊りリード204は、ダイパッド202の四隅に設けられている。ダイパッド202は、吊りリード204を介して外枠208に接続されている。また、複数のリード206も、外枠208に接続されている。この状態では、ダイパッド202、吊りリード204、リード206、および外枠208は、一体に形成されている。ここで、リード206は、ダイパッド202に近い側の幅が広く形成されたT字形状を有する。このような形状とすることにより、リード206抜けが生じにくいようにしている。
本実施の形態において、凹部210、および貫通孔212は、それぞれ、内壁面が凹凸形状に形成されている。ここで、凹凸形状とは、内壁面の一部に他の部分より突出した少なくとも一つの凸部が形成された形状とすることもでき、また内壁面の一部に他の部分よりも窪んだ少なくとも一つの凹部が形成された形状とすることもできる。すなわち、凹凸形状は、リードフレーム200の表面から内部に向かう方向(凹部の形成方向)に対向する面を有する構成とすることができる。このような構成とすることにより、凹部210、および貫通孔212内に封止樹脂が充填されたときに、対向する面が引っかかり部となり、封止樹脂とリードフレーム200との密着性を高めることができる。
図7(a)に示すように、再度リードフレーム200の表面側(図中上側)および裏面側(図中下側)にレジスト242aおよびレジスト242bをそれぞれ配置する。ここで、リードフレーム200には既に凹部が形成されているため、レジスト242aおよびレジスト242bとしては、フィルム状のものを用いることができる。
まず、ダイパッド202上に、ダイボンド材112を用いて半導体チップ102を搭載する(図8(a))。つづいて、ボンディングワイヤ110を用いて半導体チップ102とリード206を電気的に接続する(図8(b))。次に、封止樹脂120を用い、リードフレーム200、半導体チップ102およびボンディングワイヤ110の樹脂封止を行う(図9(a))。また、このとき、リードフレーム200の凹部210および貫通孔212内に封止樹脂120が充填される。これにより、リードフレーム200と封止樹脂120との密着面積が増加し、双方の密着度が向上する。その後、ブレードや金型を用いて、破線300に沿ってリードフレーム200を切断して個片化する(図9(b))。このとき、リードフレーム200の外枠208も切断除去され、リード206がダイパッド202から分離される。以上の手順により、本実施の形態における半導体装置100が得られる。
図10(a)は、ダイパッド202のチップ配置領域203(図1参照)にも凹部210が形成された例を示す断面図である。ここでは簡略化のために半導体チップ102の下に凹部210が1つだけ形成された例を示しているが、半導体チップ102のサイズと凹部210のサイズに応じて、半導体チップ102の下に複数の凹部210を設けることができる。本例のように、半導体チップ102のチップ配置領域203にも凹部210を設けることにより、ダイパッド202とダイボンド材112との密着性も高めることができる。
本例では、ダイパッド202のチップ配置領域203外周部に凹部210を連続的に設けている。ダイパッド202のチップ配置領域203の外周部に凹部210がドーナツ状に繋げて配置されている。ここでも、ドーナツ状の凹部210内に封止樹脂120が充填される。
本例では、リード206の形状が矩形形状に形成される。本実施の形態において、リード206に貫通孔212が形成されることにより、封止樹脂120が貫通孔212内に充填され、リード206と封止樹脂120との密着性を向上させることができる。そのため、リード206を矩形形状としても、封止樹脂120からのリード206の抜けを防ぐことができる。これにより、リード206のサイズを小さくすることができるとともに、リードピッチを狭くすることが可能となり、パッケージの小型化が実現可能となる。
本実施の形態において、リード206には、内壁面が凹凸形状に形成された貫通孔212が形成されているため、リード206の表面側と裏面側の双方でリード206と封止樹脂120との密着性を良好にすることができる。そのため、リード206が封止樹脂120から抜けるのを防ぐことができる。
図13は、本実施の形態における半導体装置の構成を示す上面図である。図14は、図13のC−C’断面図である。
本実施の形態において、リード206が封止樹脂120から露出しており、リードフレーム200の裏面側にも封止樹脂120が形成されている点で第1の実施の形態における半導体装置100と構成が異なる。
102 半導体チップ
110 ボンディングワイヤ
112 ダイボンド材
120 封止樹脂
200 リードフレーム
201 付着物
202 ダイパッド
203 チップ配置領域
204 吊りリード
206 リード
208 外枠
210 凹部
212 貫通孔
214a 凹部
214b 凹部
230a レジスト
230b レジスト
232a 露光マスク
232b 露光マスク
234a 開口部
234b 開口部
234c 開口部
236a 開口部
236b 開口部
236c 開口部
238 凹部
239 凸部
240a 凹部
240b 凹部
241a 凸部
241b 凸部
241c 凸部
242a レジスト
242b レジスト
244a 露光マスク
244b 露光マスク
246a 開口部
246b 開口部
246c 開口部
248a 開口部
248b 開口部
248c 開口部
250 凹部
251 凸部
252a 凹部
252b 凹部
253a 凸部
253b 凸部
300 破線
Claims (18)
- 半導体チップが搭載されるダイパッドと、
前記ダイパッドの周囲に当該ダイパッドから間隔を隔てて配置された複数のリードと、
前記ダイパッドの表面側から窪んで設けられた第1の凹部と、
各前記複数のリードそれぞれの表面側から窪んで設けられた第2の凹部と、
各前記複数のリードそれぞれの裏面側から窪んで設けられた第3の凹部と、
を含み、
前記第1の凹部、前記第2の凹部および前記第3の凹部は、それぞれ、内壁面が凹凸形状に形成されたリードフレーム。 - 請求項1に記載のリードフレームにおいて、
各前記複数のリードそれぞれにおいて、前記第2の凹部および前記第3の凹部は、連続して形成され、前記リードの前記表面から前記裏面まで貫通した貫通孔を構成するリードフレーム。 - 請求項2に記載のリードフレームにおいて、
各前記複数のリードそれぞれにおいて、前記第2の凹部および前記第3の凹部は、平面視で少なくとも一部が重ならない位置に設けられたリードフレーム。 - 請求項1に記載のリードフレームにおいて、
各前記複数のリードそれぞれにおいて、前記第2の凹部および前記第3の凹部は、平面視で異なる位置に設けられ、互いに接続していないリードフレーム。 - 請求項1から4いずれかに記載のリードフレームにおいて、
前記第1の凹部、前記第2の凹部および前記第3の凹部は、等方性エッチングにより形成され、それぞれ、表面から当該凹部の形成方向に沿って当該表面の開口幅よりも拡開した形状を有するリードフレーム。 - 請求項1から5いずれかに記載のリードフレームにおいて、
前記ダイパッドの裏面側から窪んで設けられた第4の凹部をさらに含むリードフレーム。 - 請求項1から6いずれかに記載のリードフレームにおいて、
前記第1の凹部は、前記ダイパッドの前記半導体チップが搭載される領域の周囲に複数設けられたリードフレーム。 - 半導体チップと、
表面側に前記半導体チップが搭載されたダイパッド、当該ダイパッドの周囲に当該ダイパッドから間隔を隔てて配置された複数のリード、前記ダイパッドの表面側から窪んで設けられた第1の凹部、各前記複数のリードそれぞれの表面側から窪んで設けられた第2の凹部、および各前記複数のリードそれぞれの裏面側から窪んで設けられた第3の凹部を含むリードフレームと、
前記半導体チップを封止するとともに前記第1の凹部、前記第2の凹部および前記第3の凹部を埋め込む封止樹脂と、
を含み、
前記第1の凹部、前記第2の凹部および前記第3の凹部は、それぞれ、内壁面が凹凸形状に形成された半導体装置。 - 請求項8に記載の半導体装置において、
各前記複数のリードそれぞれにおいて、前記第2の凹部および前記第3の凹部は、連続して形成され、前記リードの前記表面から前記裏面まで貫通した貫通孔を構成する半導体装置。 - 請求項9に記載の半導体装置において、
各前記複数のリードそれぞれにおいて、前記第2の凹部および前記第3の凹部は、平面視で少なくとも一部が重ならない位置に設けられた半導体装置。 - 請求項8に記載の半導体装置において、
各前記複数のリードそれぞれにおいて、前記第2の凹部および前記第3の凹部は、平面視で異なる位置に設けられ、互いに接続していない半導体装置。 - 請求項8から11いずれかに記載の半導体装置において、
前記第1の凹部、前記第2の凹部および前記第3の凹部は、等方性エッチングにより形成され、それぞれ、表面から当該凹部の形成方向に沿って当該表面の開口幅よりも拡開した形状を有する半導体装置。 - 請求項8から12いずれかに記載の半導体装置において、
前記封止樹脂は、前記リードフレームの前記ダイパッドの裏面側にも設けられた半導体装置。 - 請求項13に記載の半導体装置において、
前記ダイパッドの裏面側から窪んで設けられた第4の凹部をさらに含み、前記封止樹脂が、前記第4の凹部にも埋め込まれた半導体装置。 - 請求項8から14いずれかに記載の半導体装置において、
前記第1の凹部は、前記ダイパッドの前記半導体チップが搭載される領域の周囲に複数設けられた半導体装置。 - 半導体チップが搭載されるダイパッドおよび当該ダイパッドの周囲に当該ダイパッドから間隔を隔てて配置された複数のリードを含むリードフレームの表面側および裏面側にそれぞれ第1のレジスト膜および第2のレジスト膜を形成する工程と、
前記第1のレジスト膜の前記ダイパッドに対応する第1の位置、および各前記複数のリードそれぞれに対応する第2の位置にそれぞれ第1の開口部および第2の開口部を形成する工程と、
前記第2のレジスト膜の各前記複数のリードそれぞれに対応する第3の位置にそれぞれ第3の開口部を形成する工程と、
前記第1のレジスト膜および前記第2のレジスト膜をマスクとして、等方性エッチングにより前記リードフレームをエッチングし、当該リードフレームに、前記ダイパッドの表面側から窪んで設けられた第1の凹部、各前記複数のリードそれぞれの表面側から窪んで設けられた第2の凹部、および各前記複数のリードそれぞれの裏面側から窪んで設けられた第3の凹部を形成する工程と、
を含み、
前記第1の凹部、前記第2の凹部および前記第3の凹部は、それぞれ、表面から当該凹部の形成方向に沿って当該表面の開口幅よりも拡開した形状を有するように形成されるリードフレームの製造方法。 - 請求項16に記載のリードフレームの製造方法において、
前記第1のレジスト膜および前記第2のレジスト膜をマスクとした前記等方性エッチングの後、前記リードフレームの表面側および裏面側にそれぞれ第3のレジスト膜および第4のレジスト膜を形成する工程と、
前記第3のレジスト膜の前記ダイパッドに対応する第4の位置、および各前記複数のリードそれぞれに対応する第5の位置にそれぞれ、前記第1の開口部よりも開口幅が広い第4の開口部および前記第2の開口部よりも開口幅が広い第5の開口部を形成する工程と、
前記第3のレジスト膜の各前記複数のリードそれぞれに対応する第6の位置にそれぞれ前記第3の開口部よりも開口幅が広い第6の開口部を形成する工程と、
前記第3のレジスト膜および前記第4のレジスト膜をマスクとして、等方性エッチングにより前記リードフレームをエッチングする工程と、
を含み、
前記第3のレジスト膜および前記第4のレジスト膜をマスクとして前記リードフレームをエッチングする工程において、前記第1のレジスト膜および前記第2のレジスト膜をマスクとして前記リードフレームをエッチングする工程よりもエッチング時間を短くして、前記第1の凹部、前記第2の凹部および前記第3の凹部内に、それぞれ、開口幅がより広いとともに深さが浅い凹部を形成するリードフレームの製造方法。 - 請求項16に記載のリードフレームの製造方法で製造した前記リードフレームの前記ダイパッドの表面側に半導体チップを搭載する工程と、
前記半導体チップを封止樹脂で封止するとともに当該封止樹脂で前記第1の凹部、前記第2の凹部および前記第3の凹部を埋め込む工程と、
を含む半導体装置の製造方法。
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---|---|---|---|
JP2008153473A JP2009302209A (ja) | 2008-06-11 | 2008-06-11 | リードフレーム、半導体装置、リードフレームの製造方法および半導体装置の製造方法 |
TW098116897A TW201005901A (en) | 2008-06-11 | 2009-05-21 | Lead frame, semiconductor device, method for manufacturing lead frame and method for manufacturing semiconductor device |
US12/478,074 US20090309201A1 (en) | 2008-06-11 | 2009-06-04 | Lead frame, semiconductor device, method for manufacturing lead frame and method for manufacturing semiconductor device |
CN200910145931XA CN101604679B (zh) | 2008-06-11 | 2009-06-11 | 引线框、半导体器件以及引线框和半导体器件的制造方法 |
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---|---|---|---|
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TW (1) | TW201005901A (ja) |
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012108469A1 (ja) * | 2011-02-08 | 2012-08-16 | ローム株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP2012164862A (ja) * | 2011-02-08 | 2012-08-30 | Rohm Co Ltd | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP2012164863A (ja) * | 2011-02-08 | 2012-08-30 | Rohm Co Ltd | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP2012195497A (ja) * | 2011-03-17 | 2012-10-11 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2013058739A (ja) * | 2011-08-17 | 2013-03-28 | Dainippon Printing Co Ltd | 光半導体装置用リードフレーム、樹脂付き光半導体装置用リードフレーム、光半導体装置、および、光半導体装置用リードフレームの製造方法 |
JP2014099534A (ja) * | 2012-11-15 | 2014-05-29 | Dainippon Printing Co Ltd | リードフレームおよびその製造方法、ならびに半導体装置およびその製造方法 |
JP2014138155A (ja) * | 2013-01-18 | 2014-07-28 | Sh Materials Co Ltd | 半導体素子搭載用基板及び半導体装置 |
JP2014165262A (ja) * | 2013-02-22 | 2014-09-08 | Dainippon Printing Co Ltd | リードフレーム、樹脂付きリードフレーム、リードフレームの多面付け体、樹脂付きリードフレームの多面付け体、光半導体装置、光半導体装置の多面付け体 |
JP2014207430A (ja) * | 2013-03-21 | 2014-10-30 | ローム株式会社 | 半導体装置 |
WO2016027776A1 (ja) * | 2014-08-22 | 2016-02-25 | オムロン株式会社 | 接合構造体の製造方法および接合構造体 |
JP2016105432A (ja) * | 2014-12-01 | 2016-06-09 | Shマテリアル株式会社 | リードフレームの製造方法 |
JP2016129942A (ja) * | 2015-01-13 | 2016-07-21 | オムロン株式会社 | 接合構造体の製造方法および接合構造体 |
JP2016132155A (ja) * | 2015-01-19 | 2016-07-25 | オムロン株式会社 | レーザ溶着方法および接合構造体 |
JP2016132156A (ja) * | 2015-01-19 | 2016-07-25 | オムロン株式会社 | 接合構造体及び接合構造体の製造方法 |
JP2016136648A (ja) * | 2016-04-12 | 2016-07-28 | 日亜化学工業株式会社 | リードフレーム、樹脂付きリードフレーム、光半導体装置 |
KR101833312B1 (ko) * | 2013-05-06 | 2018-03-02 | 해성디에스 주식회사 | 리드 프레임 제조 방법 |
JP2018046057A (ja) * | 2016-09-12 | 2018-03-22 | 株式会社東芝 | 半導体パッケージ |
JP2020188083A (ja) * | 2019-05-13 | 2020-11-19 | ローム株式会社 | 半導体装置、その製造方法、及びモジュール |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW201106456A (en) * | 2009-08-04 | 2011-02-16 | Everlight Electronics Co Ltd | Fabrication method for lead frame of light emitting diode |
US8749074B2 (en) * | 2009-11-30 | 2014-06-10 | Micron Technology, Inc. | Package including an interposer having at least one topological feature |
CN103392242B (zh) * | 2011-02-28 | 2017-02-22 | 日亚化学工业株式会社 | 发光装置 |
JP2014203861A (ja) * | 2013-04-02 | 2014-10-27 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置および半導体モジュール |
JP6650723B2 (ja) * | 2015-10-16 | 2020-02-19 | 新光電気工業株式会社 | リードフレーム及びその製造方法、半導体装置 |
US10727085B2 (en) * | 2015-12-30 | 2020-07-28 | Texas Instruments Incorporated | Printed adhesion deposition to mitigate integrated circuit package delamination |
JP6695166B2 (ja) * | 2016-02-23 | 2020-05-20 | 株式会社三井ハイテック | リードフレーム、及び半導体パッケージの製造方法 |
CN105938826A (zh) * | 2016-06-14 | 2016-09-14 | 上海凯虹科技电子有限公司 | 改善框架表面与塑封体分层的引线框架及封装体 |
JP6828959B2 (ja) * | 2017-01-17 | 2021-02-10 | 大口マテリアル株式会社 | リードフレームおよびその製造方法 |
CN107564878B (zh) * | 2017-08-15 | 2020-01-14 | 华天科技(昆山)电子有限公司 | 凸点增强型封装结构 |
JP7271381B2 (ja) * | 2019-09-20 | 2023-05-11 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
JP2021174883A (ja) * | 2020-04-24 | 2021-11-01 | Jx金属株式会社 | 金属板、金属樹脂複合体、および半導体ディバイス |
US20230036009A1 (en) * | 2021-03-10 | 2023-02-02 | Innoscience (suzhou) Semiconductor Co., Ltd. | Iii-nitride-based semiconductor packaged structure and method for manufacturing the same |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63239967A (ja) * | 1987-03-27 | 1988-10-05 | Toshiba Corp | 樹脂封止型半導体装置及びその製造方法 |
JPH02246359A (ja) * | 1989-03-20 | 1990-10-02 | Fujitsu Ltd | 半導体装置 |
JPH03187252A (ja) * | 1989-12-15 | 1991-08-15 | Sanyo Electric Co Ltd | リードフレームの製造方法 |
JPH0621308A (ja) * | 1993-04-30 | 1994-01-28 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JPH0710939U (ja) * | 1993-07-28 | 1995-02-14 | サンケン電気株式会社 | 回路基板を有する半導体装置 |
JP2000031371A (ja) * | 1998-07-09 | 2000-01-28 | Seiko Epson Corp | リードフレームおよびそれを用いて構成された半導体装置 |
JP2000133763A (ja) * | 1998-10-26 | 2000-05-12 | Dainippon Printing Co Ltd | 樹脂封止型半導体装置用の回路部材およびその製造方法 |
JP2000252403A (ja) * | 1999-02-26 | 2000-09-14 | Mitsui High Tec Inc | 半導体装置 |
US20040063244A1 (en) * | 2002-09-23 | 2004-04-01 | Mahle Richard L. | Leadframe-to-plastic lock for IC package |
JP2004522297A (ja) * | 2001-02-27 | 2004-07-22 | チップパック,インク. | プラスチック半導体パッケージ |
JP2006210489A (ja) * | 2005-01-26 | 2006-08-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置用リードフレームとその製造方法 |
JP2007258587A (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Rohm Co Ltd | リードフレームおよびその製造方法並びにリードフレームを備えた半導体装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09232475A (ja) * | 1996-02-22 | 1997-09-05 | Nitto Denko Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
KR100230515B1 (ko) * | 1997-04-04 | 1999-11-15 | 윤종용 | 요철이 형성된 리드 프레임의 제조방법 |
US6143981A (en) * | 1998-06-24 | 2000-11-07 | Amkor Technology, Inc. | Plastic integrated circuit package and method and leadframe for making the package |
JP3062192B1 (ja) * | 1999-09-01 | 2000-07-10 | 松下電子工業株式会社 | リ―ドフレ―ムとそれを用いた樹脂封止型半導体装置の製造方法 |
US6812552B2 (en) * | 2002-04-29 | 2004-11-02 | Advanced Interconnect Technologies Limited | Partially patterned lead frames and methods of making and using the same in semiconductor packaging |
JP2004207277A (ja) * | 2002-12-20 | 2004-07-22 | Sanyo Electric Co Ltd | 回路装置およびその製造方法 |
US7443015B2 (en) * | 2005-05-05 | 2008-10-28 | Stats Chippac Ltd. | Integrated circuit package system with downset lead |
US7399658B2 (en) * | 2005-10-21 | 2008-07-15 | Stats Chippac Ltd. | Pre-molded leadframe and method therefor |
-
2008
- 2008-06-11 JP JP2008153473A patent/JP2009302209A/ja active Pending
-
2009
- 2009-05-21 TW TW098116897A patent/TW201005901A/zh unknown
- 2009-06-04 US US12/478,074 patent/US20090309201A1/en not_active Abandoned
- 2009-06-11 CN CN200910145931XA patent/CN101604679B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63239967A (ja) * | 1987-03-27 | 1988-10-05 | Toshiba Corp | 樹脂封止型半導体装置及びその製造方法 |
JPH02246359A (ja) * | 1989-03-20 | 1990-10-02 | Fujitsu Ltd | 半導体装置 |
JPH03187252A (ja) * | 1989-12-15 | 1991-08-15 | Sanyo Electric Co Ltd | リードフレームの製造方法 |
JPH0621308A (ja) * | 1993-04-30 | 1994-01-28 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JPH0710939U (ja) * | 1993-07-28 | 1995-02-14 | サンケン電気株式会社 | 回路基板を有する半導体装置 |
JP2000031371A (ja) * | 1998-07-09 | 2000-01-28 | Seiko Epson Corp | リードフレームおよびそれを用いて構成された半導体装置 |
JP2000133763A (ja) * | 1998-10-26 | 2000-05-12 | Dainippon Printing Co Ltd | 樹脂封止型半導体装置用の回路部材およびその製造方法 |
JP2000252403A (ja) * | 1999-02-26 | 2000-09-14 | Mitsui High Tec Inc | 半導体装置 |
JP2004522297A (ja) * | 2001-02-27 | 2004-07-22 | チップパック,インク. | プラスチック半導体パッケージ |
US20040063244A1 (en) * | 2002-09-23 | 2004-04-01 | Mahle Richard L. | Leadframe-to-plastic lock for IC package |
JP2006210489A (ja) * | 2005-01-26 | 2006-08-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置用リードフレームとその製造方法 |
JP2007258587A (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Rohm Co Ltd | リードフレームおよびその製造方法並びにリードフレームを備えた半導体装置 |
Cited By (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9331041B2 (en) | 2011-02-08 | 2016-05-03 | Rohm Co., Ltd. | Semiconductor device and semiconductor device manufacturing method |
JP2012164862A (ja) * | 2011-02-08 | 2012-08-30 | Rohm Co Ltd | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP2012164863A (ja) * | 2011-02-08 | 2012-08-30 | Rohm Co Ltd | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
WO2012108469A1 (ja) * | 2011-02-08 | 2012-08-16 | ローム株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP2012195497A (ja) * | 2011-03-17 | 2012-10-11 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2013058739A (ja) * | 2011-08-17 | 2013-03-28 | Dainippon Printing Co Ltd | 光半導体装置用リードフレーム、樹脂付き光半導体装置用リードフレーム、光半導体装置、および、光半導体装置用リードフレームの製造方法 |
JP2015213198A (ja) * | 2011-08-17 | 2015-11-26 | 大日本印刷株式会社 | 光半導体装置用リードフレーム、樹脂付き光半導体装置用リードフレーム、光半導体装置、および、光半導体装置用リードフレームの製造方法 |
JP2014099534A (ja) * | 2012-11-15 | 2014-05-29 | Dainippon Printing Co Ltd | リードフレームおよびその製造方法、ならびに半導体装置およびその製造方法 |
JP2014138155A (ja) * | 2013-01-18 | 2014-07-28 | Sh Materials Co Ltd | 半導体素子搭載用基板及び半導体装置 |
JP2014165262A (ja) * | 2013-02-22 | 2014-09-08 | Dainippon Printing Co Ltd | リードフレーム、樹脂付きリードフレーム、リードフレームの多面付け体、樹脂付きリードフレームの多面付け体、光半導体装置、光半導体装置の多面付け体 |
US10083900B2 (en) | 2013-03-21 | 2018-09-25 | Rohm Co., Ltd. | Semiconductor device |
US10825758B2 (en) | 2013-03-21 | 2020-11-03 | Rohm Co., Ltd. | Semiconductor device |
US10431529B2 (en) | 2013-03-21 | 2019-10-01 | Rohm Co., Ltd. | Semiconductor device |
JP2014207430A (ja) * | 2013-03-21 | 2014-10-30 | ローム株式会社 | 半導体装置 |
KR101833312B1 (ko) * | 2013-05-06 | 2018-03-02 | 해성디에스 주식회사 | 리드 프레임 제조 방법 |
US10471660B2 (en) | 2014-08-22 | 2019-11-12 | Omron Corporation | Manufacturing method of bonding structure and bonding structure |
JP2016043561A (ja) * | 2014-08-22 | 2016-04-04 | オムロン株式会社 | 接合構造体の製造方法および接合構造体 |
WO2016027776A1 (ja) * | 2014-08-22 | 2016-02-25 | オムロン株式会社 | 接合構造体の製造方法および接合構造体 |
KR101773260B1 (ko) * | 2014-12-01 | 2017-08-31 | 에스에이치 메테리얼스 코퍼레이션 리미티드 | 리드 프레임의 제조 방법 |
JP2016105432A (ja) * | 2014-12-01 | 2016-06-09 | Shマテリアル株式会社 | リードフレームの製造方法 |
JP2016129942A (ja) * | 2015-01-13 | 2016-07-21 | オムロン株式会社 | 接合構造体の製造方法および接合構造体 |
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