JP2001093791A - 真空処理装置の運転方法及びウエハの処理方法 - Google Patents
真空処理装置の運転方法及びウエハの処理方法Info
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Abstract
ウエハの処理方法を提供する。 【解決手段】各ウエハに対して一連の異なるプロセス処
理を行う複数のプロセス処理装置2−1,2,3,4
と、前記ウェハの搬送を行う搬送処理装置1と、前記各
プロセス処理装置3及び搬送処理装置を制御する制御装
置とで構成された真空処理装置の運転方法またはウエハ
の処理方法であって、各々前記一連のプロセス処理を行
う複数のプロセス処理装置を含む少なくとも2組のウエ
ハの処理経路を有する真空処理装置の運転方法におい
て、前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス
処理装置が運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、
該判断で運転無効のプロセス処理装置のみを切り放し、
運転有効のプロセス処理装置を使用して、前記一連のプ
ロセス処理を行うための前記処理経路を再構築し、該運
転有効なプロセス処理装置のみを使って前記ウェハの処
理を行う。
Description
うプロセス処理装置と、ウェハの搬送を行う搬送処理装
置で構成され、少なくとも2つ以上のプロセス処理装置
を使ってウェハ処理する真空処理装置の運転方法及びウ
エハの処理方法に関する。
63−133532号公報のように搬送室に処理室を接
続したシステムにおいて、正常な運転状態で試料処理が
実施される場合、別々のウェハを別々の処理室で同時に
実行したり、又はウェハを順次2つ以上の処理室を経由
して処理することのできる装置及びその搬送に関するも
のであった。
−274746号公報のように2つの経路のプロセス処
理を同時に行う運転で、一つの経路に含まれる処理室に
メンテナンス作業を実施する場合は、他の経路の処理室
を過渡的に2つの経路のプロセス処理に共用する装置の
運転方法に関するものであった。
は、各プロセス処理装置の運転有効又は運転無効である
ことを示す各運転情報信号を発生する運転情報信号発生
手段を各プロセス処理装置毎に設け、その各運転情報信
号を記憶する運転情報信号記憶手段を設け、各運転情報
信号を元にして運転無効である該プロセス処理装置を使
用せず、他の運転有効なプロセス処理装置を使って運転
続行する装置制御手段を設けたものが開示されている。
3532号公報や特開平3−274746号公報の真空
処理装置では、2つ以上の処理室を処理経路として使っ
て運転している運転中に、どれかの処理室が故障等で使
用できなくなった時に正常な処理室を使って処理を続行
する運転及び復旧処置については、考慮されていなかっ
た。又、2つ以上の処理室を処理経路として使って運転
中にその運転を一時中断させ、中断させる迄にその運転
の処理経路に使っていなかった処理室を処理経路として
使った割り込み処理を優先的に実行し、その割り込み処
理が終了した後は一時中断させていた処理を続行させる
運転する方法、手順についても考慮されていなかった。
は、各ウエハに対して一連の異なるプロセス処理を行う
複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬送を行う搬
送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び搬送処理装
置を制御する制御装置とで構成された真空処理装置の運
転方法であって、各々前記一連のプロセス処理を行う複
数のプロセス処理装置を含む少なくとも2組のウエハの
処理経路を有し、前記プロセス処理を複数並行して行い
ウェハを処理する真空処理装置の運転方法において、運
転開始時修復する必要のある処理室がある場合に、正常
な処理室の組を使って、装置を運転する方法、手順につ
いて記載されている。しかし、組を構成する処理室の中
に正常なものがある場合でも、その組を構成する処理室
全体を切り離していた。
合、運転中に他方の正常な処理室を使って運転を続行す
るという装置の運転方法については考慮されておらず、
稼働率の低い装置であった。
るために行うクリーニング処理や、ウエハ処理を行う前
にプロセス処理装置内をウエハ処理状態にするために行
うエージング処理に関しても、稼働率を高めるという観
点で十分な配慮がなされていなかった。
ロセス処理装置を使って処理する真空処理装置により運
転中に、どれかの処理室が故障等で使用できなくなった
時に、各2組を構成するプロセス処理装置の関係に拘束
されず、正常な処理室を処理経路として使って運転して
より稼働率を高めることのできる真空処理装置の運転方
法及びウエハの処理方法を提供することにある。
エージング処理に関しても、稼働率を高めることのでき
る真空処理装置の運転方法及びウエハの処理方法を提供
することにある。
に、本発明は、各ウエハに対して一連の異なるプロセス
処理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬
送を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び
搬送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処
理装置の運転方法であって、各々前記一連のプロセス処
理を行う複数のプロセス処理装置を含む少なくとも2組
のウエハの処理経路を有する真空処理装置の運転方法に
おいて、前記各プロセス処理を行うための各組の各プロ
セス処理装置が運転有効又は運転無効かの状態判断を行
い、該判断で運転無効のプロセス処理装置のみを切り放
し、運転有効のプロセス処理装置を使用して、前記一連
のプロセス処理を行うための前記処理経路を再構築し、
該運転有効なプロセス処理装置のみを使って前記ウェハ
の処理を行うことを特徴とする。
ロセス処理を行う複数のプロセス処理装置の2組が、そ
れぞれウエハの第一の処理(例えばエッチング処理)及び
第二の処理(例えば後処理)を行うプロセス処理装置を含
み、前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス
処理装置が、運転有効又は運転無効かの状態判断を行
い、該判断で1組のプロセス処理装置のうち第二の処理
を行うプロセス処理装置が運転無効の場合、該第二の処
理を行うプロセス処理装置のみを切り放し、2つの第一
の処理を行うプロセス処理装置と1つの第二の処理を行
うプロセス処理装置とを使用して、前記一連のプロセス
処理を行うための2組の処理経路を再構築し、該2組の
処理経路を使って前記ウェハの処理を行うことにある。
連の異なるプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置
と、前記ウェハの搬送を行う搬送処理装置と、前記各プ
ロセス処理装置及び搬送処理装置を制御する制御装置と
で構成された真空処理装置の運転方法において、前記各
プロセス処理を行うための各組の各プロセス処理装置が
運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、前記プロセ
ス処理装置に運転無効が発生した場合、該プロセス処理
装置に残存ウエハがある否かの判断を行い、残存ウエハ
がある場合、予め設定された複数の処理条件のいずれか
を選択可能とし、該選択された処理条件に従って前記残
存ウエハの処理を行うことにある。
連の異なるプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置
と、前記ウェハの搬送を行う搬送処理装置と、前記各プ
ロセス処理装置及び搬送処理装置を制御する制御装置と
で構成された真空処理装置の運転方法であって、前記各
プロセス処理を行うための自動運転条件を設定した後、
自動運転をスタートするものにおいて、前記自動運転条
件の設定において、カセットと処理室に関して複数のペ
ア関係を固定してウエハを搬送するパラレル処理経路ま
たは、前記カセットと処理室の対応関係を固定せずウエ
ハを空いている方の処理室へ搬送する処理経路を設定可
能としたことにある。
複数のプロセス処理装置と、ウェハの搬送を行う搬送処
理装置と、これらを制御する制御装置とで構成され、少
なくとも2つ以上のプロセス処理装置が搬送処理装置に
取り付けられ、該2つ以上のプロセス処理装置を使って
ウェハ処理する真空処理装置の運転方法であって、前記
カセット内のウエハ処理を開始する前に、2つのプロセ
ス処理装置にダミ−ウエハを同時に2枚搬送して、エー
ジング処理を並行に行うことにある。
連の異なるプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置
と、前記ウェハの搬送を行う搬送処理装置と、前記各プ
ロセス処理装置及び搬送処理装置を制御する制御装置と
で構成された真空処理装置によるウエハの処理方法であ
って、各々前記一連のプロセス処理を行う複数のプロセ
ス処理装置を含む少なくとも2組のウエハの処理経路を
有する真空処理装置によるウエハの処理方法において、
前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス処理
装置が運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、該判
断で運転無効のプロセス処理装置のみを切り放し、運転
有効のプロセス処理装置を使用して、前記一連のプロセ
ス処理を行うための前記処理経路を再構築し、該運転有
効なプロセス処理装置のみを使って前記ウェハを処理す
ることにある。
装置を使って処理する真空処理装置により運転中に、ど
れかの処理室が故障等で使用できなくなった時に、各2
組を構成するプロセス処理装置の関係に拘束されず、正
常なプロセス処理装置を処理経路として使って運転して
より稼働率を高めることのできる真空処理装置の運転方
法及びウエハの処理方法を提供することができる。
に関しても、稼働率を高めることのできる真空処理装置
の運転方法及びウエハの処理方法を提供することができ
る。
図15に示す。図1は、本発明の一実施例になる真空処
理装置一実施例の構成図である。この実施例の真空処理
装置では、4室のプロセス処理装置が1つの搬送処理装
置に接続され、処理装置にウエハを搬入する為のカセッ
トは処理装置本体の前に設置した大気搬送装置に設置
し、該カセットから1枚ずつ取り出し処理装置に搬入し
処理する装置構成を示している。なお、プロセス処理装
置は、4室より多く接続されても構わない。
のプロセス処理を行うプロセス処理装置である。この処
理装置としては、エッチング処理、後処理、成膜、スパ
ッタ、CVD、水処理等、ウエハのプロセス処理を行う
処理であれば、何であっても良い。1はウェハの搬送を
行う搬送処理装置であり、ロードロック室3のウエハを
ウエハの搬送スケジュールに従ってプロセス処理装置2
−1〜2−4に搬送し、あるプロセス処理装置で処理終
了したウエハを次のプロセス処理装置に搬送し、全ての
プロセス処理が終了したウエハをアンロードロック4室
に搬送する。
ウエハを搬送処理装置に搬入する室、アンロードロック
室4は真空処理室にあるウエハを大気搬送装置6に搬出
する室である。5は搬送処理装置内に設置されウェハの
搬送を行う真空ロボット、6はウェハを収納したカセッ
トを設置するための大気搬送装置、7は処理するウェハ
を収納したカセットであり製品用ウエハを収納したカセ
ットやクリーニング用ウエハを収納したカセットであ
る。8は大気ロボットであり、大気搬送装置上のカセッ
ト内のウェハをカセットから搬出し、ロードロック室3
に搬入し、またアンロードロック室4のウエハを元のカ
セットに戻す。11は、装置全体を制御する主制御部で
あり、表示手段13、入力手段14を備えている。オペ
レーターは、この表示手段13、入力手段14を使って
主制御部11に対して運転条件の設定を行った後運転の
開始指示を行う。
2−1〜2−4の運転有効/無効であることを示す運転
情報信号を発生する運転情報信号発生手段である。本実
施例では、プロセス処理装置に設けているが、どこにあ
っても良い。
6、入力手段25を使って、真空処理装置を保守、メン
テナンスするための操作をすることができる。この補助
操作盤22は可搬型の操作端末(例えばノートハ゜ソコ
ン)であり、真空処理装置の近くまで持ち運び、装置状
態を目視しながら表示手段26に表示される装置情報
(例えば入出力ビットのON/OFF情報、エラー情報
等)を保守、メンテナンスの操作に活用でき、保守、メ
ンテナンスの操作性を向上させているものである。この
補助操作盤22では、主制御部11と同じ機能を有して
いるが、オペレータに対する安全性を確保する為に主制
御部11と補助操作盤22とで同時に操作する場合は、
片方しか操作入力できないように誤操作防止機能を設け
てある。
す。本実施例は、装置全体の主制御装置11が搬送処理
装置1に搭載されている場合を示す。制御手段として
は、本発明の特徴に関係する部分のみを抜き出して記述
しており、装置を動かす上での必要な入出力制御部分
(DI/O、AI/O)については、記述していない。
尚、装置全体の主制御部11は、搬送処理装置以外にあ
っても構わない。また表示手段13、入力手段14は主
制御部11とは別の制御ユニットとして構成しても良
い。
U(Central Processor Unit)
である。13は、運転状態、運転条件の設定内容、運転
の開始指示/終了の表示を行う表示手段であり、例えば
CRTである。14は、運転条件の設定、運転の開始指
示入力、プロセス処理条件、保守やメンテナンスの操作
入力等を行う入力手段であり、例えばキーホ゛ート゛で
ある。16は、真空処理装置内でのウェハの処理順序を
記憶する処理順序情報記憶手段であり、例えばRAM
(Random Access Memory)であ
る。このウェハの処理順序は、運転開始前に表示手段1
3、入力手段14とを使ってオペレータによって入力さ
れたテ゛ータが記憶される。17は、プロセス処理装置
2−1〜2−4の運転有効/無効であることを示す運転
情報信号を記憶する運転情報信号記憶手段であり、例え
ばRAMである。
処理装置2−1〜2−4の運転有効/無効であることを
示す運転情報信号状態を判断し、自動運転中にプロセス
処理装置2−1〜2−4のどれかが運転不可となっても
該プロセス処理装置を使用せず、他のプロセス処理装置
を使って運転続行する処理手順を記憶する手段であり、
例えばROM(Read Only Memory)で
ある。上記13〜17は、中央制御手段12により制御
される。
手段19−1〜19−4として、 1)プロセス処理装置の装置電源の遮断信号を用いる、
あるいは 2)プロセス処理装置の使用の有効/無効を設定する運
転切り替え信号(例えば、切り替えスイッチ)を用い
る、あるいは 3)プロセス処理装置の使用の有効/無効を示す運転制
御信号として、オペレータが設定入力した入力情報を用
いる、ことができる。
部11と補助操作盤22とを接続する通信手段である。
補助操作盤22、25、26は上述した用途に使用する
ものである。24は補助操作盤での端末機能を制御する
処理手順を記憶した端末制御手段である。23は上記2
1、24から26を制御する中央制御手段であり、例え
ば、CPU(Central Processor U
nit)である。
製品用ウエハを収納したカセット7−1(又は7−2)
とクリーニング用ウエハを収納したカセット7−3を大
気搬送装置6に設置する。表示手段13、入力手段14
を使って運転条件の設定を行った後運転の開始指示を行
う。運転が開始されるとウェハの搬送が開始しプロセス
処理装置2−1(2−2〜2−4も含む)に搬送され、
プロセス処理を行って元のカセットに戻される。元のカ
セット内のウェハが全て処理されるとそのカセットの回
収の為にこの図に示していないフ゛サ゛ーを鳴らし、オ
ペレータにカセット回収要求を通報し、オペレータがカ
セットを取り除く。
終了すると、カセット7−3からクリーニング用ウエハ
をプロセス処理装置2−1、2−2、2−3、2−4に
搬出し、クリーニング処理を行ってカセット7−3に戻
す。この場合、1枚のクリーニング用ダミーウエハを使
って順次プロセス処理装置2−1、2−2、2−3、2
−4に搬出し、クリーニング処理を行うことも可能であ
り、また別の方法としてプロセス処理装置2−1、2−
2、2−3、2−4に1枚づつ搬送し、クリーニング処
理を同時に行うことも可能である。また前述のクリーニ
ング処理は製品用ウエハを収納したカセットの処理が終
了すると、カセット7−3からクリーニング用ダミーウ
エハをプロセス処理装置2−1、2−2、2−3、2−
4に搬出し、クリーニング処理を行ったが、クリーニン
グ用ダミーウエハをプロセス処理装置2−1、2−2、
2−3、2−4に搬出しないでクリーニング処理を行う
ことも可能である。
ウエハの処理終了後にクリーニング処理を行うことに加
えて、クリーニング周期として処理した製品ウエハの枚
数毎(この枚数は適宜設定可能)にカセット7−3から
クリーニング用ダミーウエハをプロセス処理装置2−
1、2−2、2−3、2−4に搬出し、クリーニング処
理を行うことも可能である。またクリーニング周期とし
て処理した製品ウエハの枚数毎(この枚数は適宜設定可
能)にカセット7−3からクリーニング用ダミーウエハ
をプロセス処理装置2−1、2−2、2−3、2−4に
搬出しないで、クリーニング処理を行うことも可能であ
る。また、製品用ウエハを収納したカセットの処理が予
め設定されたカセット数実施後に、カセット7−3から
クリーニング用ダミーウエハをプロセス処理装置2−
1、2−2、2−3、2−4に搬出し、クリーニング処
理を行うことも可能である。
理開始前にカセット7−3からダミーウエハをプロセス
処理装置2−1、2−2、2−3、2−4に搬出しない
でエージング処理後に上記ウエハ処理を行うことも可能
である。また、製品ウエハを収納したカセットの処理開
始前にカセット7−3からダミーウエハをプロセス処理
装置2−1、2−2、2−3、2−4に搬出し、エージ
ング処理した後ダミーウエハをカセット7−3に戻し、
本エージング処理を予め設定したウエハ枚数分実施後に
上記ウエハ処理を行うことも可能である。
設定においては、その処理に使用するプロセス処理装置
をウェハの処理する順序にプロセス処理装置の記号等を
使って設定する。
る。各プロセス処理装置毎に運転の有効/無効を示す情
報が記憶される。この場合では、有効な場合は、1を、
無効な場合は、0を示すが区別できる内容であれば、記
号や数字であっても良い。この情報は、運転情報信号発
生手段19−1〜19−4の信号状態が反映されたもの
であり、運転情報信号記憶手段17に記憶される。
る。運転条件設定の一つとして、オペレータが運転開始
前に表示手段13、入力手段14とを使ってウェハの処
理する順序を設定した情報である。この情報は処理順序
情報記憶手段に記憶される。
ドとして図5に示す。以下のこの運転モードの説明では
プロセス処理装置2−2と2−3は同一のプロセス処理
を(この実施例ではエッチング処理とする)、プロセス
処理装置2−1と2−4は同一のプロセス処理を(この
実施例では後処理とする)するものとして説明する。ま
たプロセス処理の実施例としては、プロセス処理装置2
−2又は2−3を使ったエッチング処理を行った後、プ
ロセス処理装置2−1又は2−4を使った後処理を行う
ものとする。尚、1カセット分の製品用ウエハの処理の
後にカセット7−3からクリーニング用ウエハをプロセ
ス処理装置2−3(又2−2)からプロセス処理装置2
−4(又は2−1)に搬送し、クリーニング処理を行う
クリーニング処理を行う運転について説明する。
定されるものではなく、ウエハの処理条件によってはエ
ッチング処理のみであっても良い。また、プロセス処理
装置2−2と2−3及びプロセス処理装置2−1と2−
4は、エッチング処理、後処理、成膜、スパッタ、CV
D、水処理等、ウエハのプロセス処理を行う処理であれ
ば、どのような組み合わせであっても良い。また、同一
のプロセス処理を行う処理室の数も、実施例のものに限
定する必要は無い。
をレシピと称する)で処理するウエハが収納されたカセ
ット内の最下段もしくは最上段のウエハから、順番にカ
セットから抜き出し搬送処理装置に搬入しプロセス処理
をするものである。ウエハは、プロセス処理装置2−2
でエッチング処理した後プロセス処理装置2−1で後処
理をして元のカセットに戻す経路(この経路Aという)
と、プロセス処理装置2−3でエッチング処理した後プ
ロセス処理装置2−4で後処理をして元のカセットに戻
す経路(この経路Bという)の両方を使って処理され
る。
ロセス処理装置2−1→カセット7−1 経路B:カセット7−1→プロセス処理装置2−3→プ
ロセス処理装置2−4→カセット7−1 の組み合わせとしたが、 経路C:カセット7−1→プロセス処理装置2−2→プ
ロセス処理装置2−4→カセット7−1 経路D:カセット7−1→プロセス処理装置2−3→プ
ロセス処理装置2−1→カセット7−1 の組み合わせであっても良い。
A、2枚目は経路B、3枚目のウエハは経路A、4枚目
は経路B、・・・という順序でカセット内の最終ウエハ
迄処理を行う。
す。オペレータは運転開始前に処理装置として構成され
ているプロセス処理装置の内、故障等で運転に使用でき
ない、又は保守(プラズマクリーニングも含む)の為使
用しないプロセス処理装置があるか否かを判断する(3
0)。使用できない(又は、使用しない)プロセス処理
装置があれば、運転情報信号発生手段19を用いて図3
に記述した状態になるように設定する(32)。この設
定の方法の一つとして、 1)プロセス処理装置の装置電源の遮断信号を用いる場
合は、該プロセス処理装置の装置電源供給用電磁開閉器
をOFFする。これにより、遮断信号が発生し、運転情
報信号記憶手段17に伝えられ、図3に記載された情報
として記憶される。
する運転切り替え信号(例えば、切り替えスイッチ)を
用いる場合は、該プロセス処理装置に割り当てられた切
り替えスイッチを有効又は無効の状態に設定する。これ
により、切り替え信号が確定し、運転情報信号記憶手段
17に伝えられ、図3に記載された情報として記憶され
る。
を示す運転制御信号として、オペレータが設定入力した
入力情報を用いる場合は、オペレータは、該プロセス処
理装置に割り当てられた設定情報を入力手段14より入
力する。これにより、設定情報が確定し、運転情報信号
記憶手段17に伝えられ、図3に記載された情報として
記憶される。装置接続構成を決定した後、自動運転条件
を設定し(34)、自動運転をスタートする(36)。
の処理する順序を、以下のように製品処理条件として設
定する。
ト1レシピ並列」、「2カセット2レシピ並列」、「1
カセット1レシピ直列」のいずれかを選択 2)ウエハの搬送経路を設定する。
処理装置の記号を使ってパラレルまたはシリーズ処理を
設定する。代表的な設定例を以下に示す。(ウエハ処理
経路は、前述のように組み合わせが可能である) 2−1)パラレル処理の場合: カセット7−1:E1→A1、カセット7−1:E2→
A2 カセット7−2:E1→A1、カセット7ー2:E2→
A2 E1:プロセス処理装置2−2、E2:プロセス処理装
置2−3 A1:プロセス処理装置2−1、A2:プロセス処理装
置2−4 2−2)シリーズ処理の場合: カセット7−1:E1→E2→A1 カセット7−2:E2→E1→A2 3)プロセス処理室毎にプロセス処理条件(プロセスレ
シピともいう)を設定する。
例としての、ウエハの搬送経路を指定する方法の説明図
である。図7のAは、カセットと処理室に関して2組の
ペア関係を固定してウエハを搬送するパラレル処理を設
定したものである。図7のBは、カセットと処理室の対
応関係を固定せず、ウエハを空いている方の処理室へ搬
送する場合を示している。
経路の指定が無い場合、一連の異なるプロセス処理を行
う複数のプロセス処理装置の組として、それぞれウエハ
のエッチング及び後処理を行うプロセス処理装置のペア
を含む処理経路を自動設定するようにしても良い。
処理を行うプロセス処理装置の1組または2組のペアに
ついて、1回の処理ごとに、使用するプロセス処理装置
を交互に切り替え、各プロセス処理装置の消耗度を揃え
るようにしても良い。
転をスタートする(36)。図8は、本実施例の自動運
転のフロー図を示す。自動運転を開始すると、処理すべ
きウェハを全て搬送したかを判断し、搬送済であれば処
理が終了し、搬送が必要であれば、自動運転処理に進む
(40)。自動運転中に異常等が発生し、運転が一時中
断した状態にあるか否かを判断する(42)。異常が無
ければ、運転を続行する(44へ)。運転に使用できな
いプロセス処理装置がある場合は、該プロセス処理装置
を使わないで運転続行が可能か否かをオペレータが判断
する(70)。続行が不可能な場合は、オペレータが自
動運転の中止設定を行うことにより、装置は自動運転停
止処理を行う(90)。続行が可能な場合でも、プロセ
ス処理装置にウェハが残っている場合、真空ロボットの
ハント゛上にウェハが残っている場合、ロート゛ロック
室やアンロート゛ロック室にウェハが残っている場合等
がある。
を以下に示す。まず、装置内に残存ウェハがあるか否か
判断する(72)。装置内に残存しているウエハをその
ままにして運転を継続するか否かを判断する(73)。
(2)のいずれかを選択する。
ままにして運転を継続する。
ままにして運転を継続することはせず、必要な処置を行
って運転を再開する。これは自動運転中に異常が発生し
た時点では処理装置内の全ウェハの搬送・処理のスケシ
゛ュールが確定しているため、異常が発生した機器にあ
るウェハを取り出したカセット7に戻さないとウェハの
搬送・処理のスケシ゛ュールが狂ってしまい、自動運転
の一時中断状態からの再開、自動運転続行ができなくな
るためである。
して運転を継続する場合は、該ウエハを該ウエハを元の
カセットに搬出したようにウエハ情報の変更を行う(7
7)。すなわち、異常が発生した機器内に残存している
ウェハを元のカセットに搬出しないで該ウエハを異常が
発生した機器内に残存させたまま、該ウエハを元のカセ
ットに搬出したようにウエハ情報の変更を行なう。例え
ば、異常発生で処理装置内に残存しているウエハをその
ままにしておき、該ウエハを元のカセットに搬出したよ
うにウエハ情報の変更を行なった上で、仕掛かりのウエ
ハについて一時中断状態からの再開、自動運転を続行さ
せひとまとまり(1ロット)処理を終了させ、自動運転
を終了させた後、残存しているウエハを元のカセットに
戻す場合に用いられる。なお。他の実施例として、異常
が発生した機器内に残存しているウェハを元のカセット
に搬出しないで該ウエハを異常が発生した機器内に残存
させたまま仕掛かりのウエハについて一時中断状態から
の再開、自動運転を続行させひとまとまりの処理を終了
させ、自動運転を終了させた後、残存しているウエハを
元のカセットに戻すことも可能である。
して運転を継続しない場合は、残存しているウェハのう
ちエッチンク゛処理をするか否かを判断する(74)。
エハの処理条件を選択する(75)。残存ウエハの処理
条件としては、例えば図9に示すように、予め5つの選
択肢を用意しておく。
理を継続する。
復旧用のレシピで処理し、次のウエハからは、元のレシ
ピで処理を継続する。
のウエハを搬入して処理を継続する。
のカセットに回収した後、異常の発生した処理経路を自
動運転から切り離して処理を継続する。
中断する。
ェハのうち、エッチンク゛処理の途中で異常が発生した
場合は、残りのエッチンク゛処理を実施した後(7
6)、ウェハを元のカセットに戻す(78)。
めに行なうものである。また真空ロボットのウェハハン
ト゛上にウェハが残っている場合や、ロート゛ロック室
アンロート゛ロック室にウェハが残っている場合は、機
器個別の操作(ロック室の排気/リーク、ウェハの搬
送)を行なって、そのウェハを元のカセットに戻す(7
8)。
たウェハは必要な処置を実施し元のカセットに戻した
後、一時中断していた自動運転を再開する操作を行な
う。このようにすることで異常が発生した機器(処理室
や真空ロボット等)にあったウェハのトラッキンク゛情
報は、正常な経路で処理されたのと同等となり、自動運
転が再開できることになる。以上のような処理装置内に
残存していたウェハの処置を行なった後、使用しないプ
ロセス処理装置に対して図6の(32)にて示した内容
と同じ運転情報信号発生手段の切り替え操作(80)を
行う。異常発生情報をリセットし(82)、自動運転を
続行する。
路を処理順序情報記憶手段16に記憶されてある情報を
読み出し(44)、運転情報信号記憶手段17に記憶さ
れてある情報と整合処理し搬送順路を決定する(4
6)。決定した搬送順路はカセットより搬出するウェハ
毎に搬送順路テ゛ータを持っても良いし、処理順序情報
記憶手段16とは別の処理順序情報テーフ゛ルを作成
し、ウェハを搬送する際には、このテーフ゛ルを参照す
るようにしても良い。搬送順路が決定すると大気ロボッ
ト8はカセット7よりウェハを搬出し(48)、上記決
定した搬送順路に登録されてあるプロセス処理装置に搬
送し(50)、ウェハの処理を行う(52)。
常が発生した場合は、引き続き自動運転を継続する為に
処理続行可能な処理はその個々の処理を終了させるまで
実行した後、自動運転を一時中断状態にする。例えばN
枚目のウェハのエッチンク゛処理中であれば、そのN枚
目のウェハのエッチンク゛処理が終了するまでエッチン
ク゛処理を継続し、終了した時点で自動運転を一時中断
する。また真空ロボット5によるウェハ搬送中に他の処
理で異常が発生したら、真空ロボット5は、所定の場所
へのウェハ搬送を終了した時点で自動運転を一時中断す
る。この後異常発生したことを示す異常発生情報(図示
せず)を記憶させた後、装置を一時中断状態にオペレー
タに中断したことを表示手段13に表示するとともに図
示しないフ゛サ゛ーを鳴らす。この後(42)に戻り、
所定のフローで処理する。
運転のフローを説明する。最終ウエハをカセット7−1
に搬入されると、クリーニング用ウエハがカセット7−
3からロードロック室3に搬入される(図10−A)。
次に、プロセス処理装置2−2内にあった最終ウエハが
プロセス処理装置2−1に搬送されてあれば、クリーニ
ング用ウエハをプロセス処理装置2−2に搬送し、クリ
ーニング処理を開始させる(図10−B)。
処理が終了すると、クリーニング用ウエハをプロセス処
理装置2−3からプロセス処理装置2−4に搬送し、ク
リーニング処理を行う。この時迄に次の製品用カセット
7−1が設置されてあれば、カセット7−1から製品用
ウエハの2枚目をプロセス処理装置2−2に搬送し、プ
ロセス処理を行う。プロセス処理装置2−4でのクリー
ニング処理が終了すると、クリーニング用ウエハをロー
ドロック室4に戻す。(図10−C)。又、カセット7
−1内の全てのウエハの処理終了するとカセット7−1
の処理終了とカセット交換をオペレータに通報する為に
この図に示していないブザーを鳴らす。
カセット7−2の処理を行う。また、プロセス処理装置
2−2でのクリーニング処理が終了すると、クリーニン
グ用ウエハをプロセス処理装置2−2からプロセス処理
装置2−1に搬送し、クリーニング処理を行う。クリー
ニング処理が終了すると、クリーニング用ウエハをカセ
ット7−3に戻す。
セット7−1の場合と同じ順序で処理を行い、カセット
7−2内の全てを処理終了するとカセット7−2の処理
終了とカセット交換をオペレータに通報する為にこの図
に示していないブザーを鳴らす(図10−D)。
の運転を終了する場合は、主制御部11から運転終了の
操作入力を行うことで運転が終了する。
ドがある。
らのウエハ取り出しを中止する。
る場合は、指定した方のカセットからのウエハ取り出し
を中止する。) イ)カセット供給停止:現在処理中のカセット内のウエ
ハを全て処理終了した後、その処理終了迄に設置されて
あったカセットの処理を中止する。
る場合は、指定した方のカセット内のウエハを全て処理
終了した後、その時迄に設置されてあったカセットの処
理を中止する。) ウ)サイクル停止:現在実行中のプロセス処理、排気、
リーク、搬送等の動作終了後その場で停止する。
て、現在処理中のプロセス処理終了後停止する。この場
合は、運転の再開操作により一時停止した状態から運転
を再開することができる。またその処理室のみ手動操作
は可能である。
止する。
ても良い。
収納されたカセット内の最下段もしくは最上段のウエハ
から順番に抜き出し搬送処理装置に搬入しプロセス処理
をするものである。この場合、カセットから抜き出し搬
送処理装置に搬入しプロセス処理をする運転が前記の
「1カセット1レシピ並列運転」の場合と異なる。前記
の「1カセット1レシピ並列運転」の場合は、同一カセ
ットから順次ウエハを抜き出し搬送処理装置に搬入しプ
ロセス処理を実施し、そのカセットのウエハを全て終了
した後次のカセットのウエハの処理に移ったが、本「2
カセット1レシピ並列運転」では、カセット7−1とカ
セット7−2から交互にウエハを抜き出し搬送処理装置
に搬入しプロセス処理を実施する。ウエハの処理経路は
前記の「1カセット1レシピ並列運転」の場合と同様
に、プロセス処理装置2−2でエッチング処理した後プ
ロセス処理装置2−1で後処理をして元のカセットに戻
す経路(この経路Aという)と、プロセス処理装置2−
3でエッチング処理した後プロセス処理装置2−4で後
処理をして元のカセットに戻す経路(この経路Bとい
う)の両方を使って処理する。
くは経路C、Dについては前記「1カセット1レシピ並
列運転」の場合と同じである。
ト7−1からの1枚目を経路A、2枚目はカセット7−
2からの1枚目を経路B、3枚目のウエハはカセット7
−1からの2枚目を経路A、4枚目はカセット7−2か
らの2枚目を経路B、・・・という順序でカセット内の
最終ウエハ迄処理を行う。カセット7−1もしくはカセ
ット7−2内の全てのウエハを処理終了するとカセット
7−1(または7−2)の処理終了とカセット交換をオ
ペレータに通報する為にこの図に示していないブザーを
鳴らす。この終了したカセットが取り除かれ新しいカセ
ットが設置されるまでは、他方のカセット側の処理のみ
継続されている。新しいカセットが設置されると前記の
ようにカセット7−1と7−2から交互ににウエハを抜
き出し搬送処理装置に搬入しプロセス処理を実施する。
以降この運転サイクル繰り返しを行う。この運転を終了
する場合は、主制御部11から運転終了の操作入力を行
う事で運転が終了する。終了方法は前記「1カセット1
レシピ並列運転」の場合と同じである。又、クリーニン
グ処理については、上記1)と同様である。
エハ処理レシピが異なる事によりプロセス処理装置での
処理時間が異なることがある。この場合、カセット7−
1とカセット7−2からのウエハ搬出は交互ではなく、
プロセス処理装置での処理が終わり、他のプロセス処理
装置へウエハを搬送した後次のウエハを該プロセス処理
装置に搬送する処理以外は前記「2カセット1レシピ並
列運転」と同じある。該ウエハの又、クリーニング処理
については、上記1)と同様である。
理するウエハが収納されたカセット内の最下段もしくは
最上段のウエハから順番にカセットから抜き出し搬送処
理装置に搬入しプロセス処理をすることは前記「1カセ
ット1レシピ並列運転」の場合と同じである。ところが
ウエハの処理経路は前記「1カセット1レシピ並列運
転」の場合と異なる。本「1カセット1レシピ直列運
転」では、ウエハはプロセス処理装置2−2(もしくは
プロセス処理装置2−3)でエッチング処理した後、更
にプロセス処理装置2−3(もしくはプロセス処理装置
2−2)でエッチング処理した後、プロセス処理装置2
−1(もしくはプロセス処理装置2−4)で後処理をし
て元のカセットに戻す経路(この経路Eという)で処理
する。
E、2枚目は経路E、3枚目のウエハは経路E、4枚目
は経路E、・・・という順序でカセット内の最終ウエハ
迄処理を行う。カセット7−1内の全てを処理終了する
とカセット7−1の処理終了とカセット交換をオペレー
タに通報する為にこの図に示していないブザーを鳴ら
す。
れば、カセット7−1の処理終了に引き続きカセット7
−2の処理に移る。カセット7−2についてもカセット
7−1の場合と同じ順序で処理を行い、カセット7−2
内の全てウエハを処理終了するとカセット7−2の処理
終了とカセット交換をオペレータに通報する為にこの図
に示していないブザーを鳴らす。この時迄にカセット7
−1が設置されてあれば、カセット7−2の処理終了に
引き続きカセット7−1の処理に移る。以降この運転サ
イクル繰り返しを行う。この運転を終了する場合は、主
制御部11から運転終了の操作入力を行う事で運転が終
了する。終了方法は前記「1カセット1レシピ並列運
転」の場合と同じである。又、クリーニング処理につい
ては、上記1)と同様である。
例について説明したもので、カセット、レシピと、並列
/直列運転の組み合わせとにより他の運転方法が考えら
れ、本発明は上記1)から4)の運転方法に限定される
ものではない。
理図を示す。図11のAは図5の「1カセット1レシピ
並列運転」の運転モードであり、ウエハの搬送経路が次
の様になっている。
2 カセット7−2:E1→A1及びE2→A2 ここで、E2では(N)枚目のウエハがエッチング処理
中でA1では(N−1)枚目のウエハが後処理中の時
に、図11のBに示すようにA2で異常が発生すると、
以降は運転モードの処理経路からA2を使用しないで、
運転を続行する。すなわち、図11のCに示すようにウ
エハの後処理はすべてA1で処理する。
1 カセット7−2:E1→A1及びE2→A1にて運転で
きる。
ピ並列運転」時に、1レシピ運転を構成する1つのペア
の処理室のいずれか1つが故障した場合、ペア関係を解
除し、1つのペアを構成していた有効な処理室を、他の
ペアを構成していた処理室と組み合わせて、新たな搬送
経路を構成して処理するので、故障時の効率低下を低く
抑えることが出来る。
り、エッチング処理に比べて後処理の所要時間が1/2
であったとすると、故障していない2つの処理室と1つ
の後処理室を使うことで、全体の処理時間に殆ど影響を
及ぼすことなく、処理を行うことが出来る。
のエッチング処理を行うプロセス処理装置と、他の1組
のプロセス処理装置のうち後処理を行うプロセス処理装
置が運転無効の場合、運転無効のプロセス処理装置を切
り放し、他の1組のエッチング処理を行うプロセス処理
装置と、1組の後処理を行うプロセス処理装置とを使用
して、一連のプロセス処理を行うための1組の処理経路
を再構築し、この1組の処理経路を使って前記ウェハの
処理を行うようにしても良い。
を説明する図である。図12のAは図5の「1カセット
1レシピ並列運転」の運転モードである。図12のBに
示すように、処理室(E2)に異常が発生した場合、オ
ペレーターは、次の残存ウエハの処理条件のいずれかを
選択し、次の様なリトライを行う。
理を継続する。
復旧用のレシピで処理し、次のウエハからは、元のレシ
ピで処理を継続する。
のウエハを搬入して処理を継続する。
のカセットに回収した後、異常の発生した処理経路を自
動運転から切り離して処理を継続する。
中断する。
るのではなく、オペレーターがエラーのないように応じ
て残存ウエハの処理条件を選択できるため、装置の状況
に即した適切な回復処置を採用することができる。
発生時に真空処理装置の状態に関する出来るだけ多くの
情報を、表示手段13、26に表示するのが望ましい。
5つに限定されるものではなく、必要に応じて適宜変更
すればよい。
異常が発生したことに伴う、邪魔なウエハーの回収を説
明する図である。図13のAは図5の「1カセット1レ
シピ並列運転」の運転モードである。図13のBにおい
て、カセット7−1から異常が発生した処理室(E2)
に搬送予定のウエハは、真空ロボット5を使って、図1
3のCに示すように、アンロードロック室4を経由して
元のカセットカセット7−1に戻される。そして、図1
3のDに示すように、運転モードの処理経路から処理室
E2とA2を切り離した状態で、運転継続する。
の自動運転復帰を説明する図である。図14のAは図5
での「1カセット1レシピ並列運転」の運転モードであ
り、ウエハの搬送経路が次の様になっている。
2 カセット7−2:E1→A1及びE2→A2 ここで、E2では(N)枚目のウエハがエッチング処理
中であり、A1では(N−1)枚目のウエハが後処理中
の時に、図14のBに示すように処理室E2で異常が発
生したものとする。この状態で、エッチング処理は終了
し、A1の(N−1)枚目のウエハは後処理終了後、ア
ンロードロック室4に搬出しないで自動運転を一時中断
する。
発生した処理室E2のウエハをカセット7−2に回収す
る。そして、E2、A2については図8の運転情報信号
発生手段による切替操作(ステップ80)を行い、図3
で示したようにプロセス処理装置4(A2)の運転情報
を「無効:0」とする。この後異常発生情報をリセット
(図8の82)し、自動運転を継続する。
−1)枚目のウエハはアンロードロック室4に搬送さ
れ、以降は運転モードの処理経路からE2、A2を使用
しないで、運転を続行する。
セス処理装置4(A2)については、補助操作盤22を
使って異常原因を究明する為に、プロセス処理装置4
(A2)に対して機器動作を行う為の操作入力が行え
る。例えば、プロセス処理装置4(A2)内の本図に示
していないウエハ押し上げ操作を行い動作を確認する。
き、「無効:0」としたプロセス処理装置4(A2)を
ウエハの処理経路に復帰させる。
を自動運転処理経路から切り離す手段として運転停止操
作により停止指示を出すことで切り離しを行ったが、別
の方法として処理装置内に組み込んだ検出器の機能によ
って停止指示を出すこともできる。一例としては、処理
装置内に組み込んだ異物モニタ装置からの異物測定モニ
タ値が運転前に設定した設定値を超過したことを検知
し、この超過した信号をもって自動運転中にE2とA2
に停止指示を出すことで運転停止操作と同じ機能を行え
る。
明する図である。エージングウエハは、図15のAに示
すとおりシリーズに搬送してエージングを進めても良い
し、Bに示すとおり同時に2枚、搬送してエージングを
並行して進めても良い。エージングを並行して行うこと
により、エージングの時間を短縮することができる。
ば、自動運転中にその処理に使用していない処理室を使
った処理、及びその処理室への操作ができ片肺運転を実
行することができる。
ロセス処理装置が搬送処理装置に4室接続され、処理装
置にウエハを搬入する為のカセットは処理装置本体内の
ロードロック室3Aに設置し、カセットから1枚ずつ取
り出し処理装置に搬入し処理する装置構成図を示す。プ
ロセス処理装置がこれ以上接続されても構わない。装置
構成としては図1に示す構成からウェハを収納したカセ
ットを設置するための大気搬送装置6、大気ロボット8
を削除したものである。ウエハのカセットからの搬出が
ロードロック室3Aからとなり、カセットへの収納がア
ンロードロック室4Aとなる以外の各機器の機能及び構
成は図1と同じである。
ニング用ウエハを収納したカセットをロードロック室3
A(又はアンロードロック室4A)に設置し、クリーニ
ング用ウエハをプロセス処理装置2−1、2−2、2−
3、2−4に搬出し、クリーニング処理を行って元のカ
セットに戻す。
収納されたカセット内の最下段もしくは最上段のウエハ
から順番にカセットから抜き出しプロセス処理装置に搬
入しプロセス処理をするものである。ウエハは、プロセ
ス処理装置2−2でエッチング処理した後プロセス処理
装置2−1で後処理をして元のカセットに戻す経路(こ
の経路Aという)と、プロセス処理装置2−3でエッチ
ング処理した後プロセス処理装置2−4で後処理をして
元のカセットに戻す経路(この経路Bという)の両方を
使って処理する。
セス処理装置2−2→プロセス処理装置2−1→アンロ
ードロック室4A内カセット7−2A 経路B:ロードロック室3A内カセット7−1A→プロ
セス処理装置2−3→プロセス処理装置2−4→アンロ
ードロック室4A内カセット7−2A 又は、 経路C:ロードロック室3A内カセット7−1A→プロ
セス処理装置2−2→プロセス処理装置2−4→アンロ
ードロック室4A内カセット7−2A 経路D:ロードロック室3A内カセット7−1A→プロ
セス処理装置2−3→プロセス処理装置2−1→アンロ
ードロック室4A内カセット7−2A の組み合わせであっても良い。また上記処理順序では処
理したウエハはアンロードロック室4A内カセット7−
2Aに戻したがウエハを取り出したロードロック室3A
内カセット7−1Aに戻すこともできる。
ードロック室3A内のカセット7−1Aから抜き出した
ウエハはアンロードロック室4A内のカセット7−2A
に戻す処理の例を示す。ウエハの処理は、1枚目のウエ
ハは経路A、2枚目は経路B、3枚目のウエハは経路
A、4枚目は経路B、・・・という順序でカセット内の
最終ウエハ迄処理を行う。ロードロック室3A内カセッ
ト7−1A内の全てを処理終了するとロードロック室内
カセットとアンロードロック4A室内カセット7−2A
の処理終了とカセット交換をオペレータに通報する為に
この図に示していないブザーを鳴らす。次に新たな未処
理ウエハの入ったカセットをロードロック室3Aに、空
のカセットをアンロードロック室4A設置して、以降こ
の運転サイクル繰り返しを行う。この運転を終了する場
合は、主制御部11から運転終了の操作入力を行う事で
運転が終了する。終了方法は前記「1カセット1レシピ
並列運転」の場合と同じである。
をレシピと称する)で処理するウエハが収納されたカセ
ット内の最下段もしくは最上段のウエハから順番にカセ
ットから抜き出しプロセス処理装置に搬入しプロセス処
理をするものである。
場合は、同一カセットから順次ウエハを抜き出しプロセ
ス処理装置に搬入しプロセス処理を実施し、そのカセッ
トのウエハを全て終了した後次のカセットのウエハの処
理に移ったが、本「2カセット1レシピ並列運転」で
は、ロードロック室3A内のカセット7−1Aとアンロ
ードロック室4A内のカセット7−2Aから交互にウエ
ハを抜き出しプロセス処理装置に搬入しプロセス処理を
実施する。ウエハの処理経路は前記の「1カセット1レ
シピ並列運転」の場合と同様に、プロセス処理装置2−
2でエッチング処理した後プロセス処理装置2−1で後
処理をして元のカセットに戻す経路(この経路Aとい
う)と、プロセス処理装置2−3でエッチング処理した
後、プロセス処理装置2−4で後処理をして元のカセッ
トに戻す経路(この経路Bという)の両方を使って処理
する。
くは経路C、Dについては前記前記「1カセット1レシ
ピ並列運転」の場合と同じである。
ロック室3A内のカセット7−1Aからの1枚目を経路
A、2枚目はアンロードロック室内のカセットからの1
枚目を経路B、3枚目のウエハはロードロック室3A内
のカセット7−1Aからの2枚目を経路A、4枚目はア
ンロードロック室4A内のカセット7−2Aからの2枚
目を経路B、・・・という順序でカセット内の最終ウエ
ハ迄処理を行う。ロードロック室3A内もしくはアンロ
ードロック室4Aカセット7−2A内の全てのウエハを
処理終了するとロードロック室3A内(またはアンロー
ドロック室4A内)カセットの処理終了とカセット交換
をオペレータに通報する為にこの図に示していないブザ
ーを鳴らす。この終了したカセットが取り除かれ新しい
カセットが設置されるまでは、他方のカセット側の処理
のみ継続されている。新しいカセットが設置されると前
記のようにロードロック室3A内とアンロードロック室
4A内カセットから交互ににウエハを抜き出しプロセス
処理装置に搬入しプロセス処理を実施する。以降この運
転サイクル繰り返しを行う。この運転を終了する場合
は、主制御部11から運転終了の操作入力を行う事で運
転が終了する。終了方法は前記「1カセット1レシピ並
列運転」の場合と同じである。
Aとアンロードロック室4A内のカセット7−2Aとの
ウエハ処理レシピが異なる事がある。この場合、カセッ
ト7−1とカセット7−2からのウエハ搬出は交互では
なく、プロセス処理装置での処理が終わり、他のプロセ
ス処理装置へウエハを搬送した後次のウエハを該プロセ
ス処理装置に搬送する処理以外は前記「2カセット1レ
シピ並列運転」と同じある。該ウエハの又、クリーニン
グ処理については、上記1)と同様である。
ロセス処理条件をレシピと称する)で処理するウエハが
収納されたカセット内の最下段もしくは最上段のウエハ
から順番にカセットから抜き出しプロセス処理装置に搬
入しプロセス処理をすることは前記「1カセット1レシ
ピ並列運転」の場合と同じである。ところがウエハの処
理経路は、前記「1カセット1レシピ並列運転」の場合
と異なる。
ウエハはプロセス処理装置2−2(もしくはプロセス処
理装置2−3)でエッチング処理した後、更にプロセス
処理装置2−3(もしくはプロセス処理装置2−2)で
エッチング処理した後、プロセス処理装置2−1(もし
くはプロセス処理装置2−4)で後処理をして元のカセ
ットに戻す経路(この経路Eという)で処理する。
A内のカセット7−1Aから抜き出したウエハはアンロ
ードロック室4A内のカセット7−2Aに戻す処理の例
を示す。
E、2枚目は経路E、3枚目のウエハは経路E、4枚目
は経路E、・・・という順序でカセット内の最終ウエハ
迄処理を行う。カセット内の全てを処理終了するとロー
ドロック室3A内カセット7−1Aとアンロードロック
室4A内カセット7−2Aの処理終了と交換をオペレー
タに通報する為にこの図に示していないブザーを鳴ら
す。次に新たな未処理ウエハの入ったカセットをロード
ロック室3Aに、空のカセットをアンロードロック室4
Aに設置して、以降この運転サイクル繰り返しを行う。
この運転を終了する場合は、主制御部11から運転終了
の操作入力を行う事で運転が終了する。終了方法は前記
「1カセット1レシピ並列運転」の場合と同じである。
2組以上のプロセス処理装置を使って処理する真空処理
装置により運転中に、どれかの処理室が故障等で使用で
きなくなった時に、各2組を構成するプロセス処理装置
の関係に拘束されず、正常な処理室を処理経路として使
って運転して稼働率を高めることのできる真空処理装置
の運転方法及びウエハの処理方法を提供することができ
る。
に関しても、稼働率を高めることのできる真空処理装置
の運転方法及びウエハの処理方法を提供することができ
る。
面図である。
御構成図である。
転情報信号を示す図である。
理順序情報を示す図である。
明図である。
動運転のフロー図である。
説明図である。
ある。
理条件の例を示す図である。
ある。
搬送経路変更の動作状態を示す図である。
の、リトライ処理時の状態を示す図である。
時の邪魔ウエハの回収処理の動作状態を示す図である。
モードからの自動運転時の状態を示す図である。
態を示す図である。
す平面図である。
装置、3、3A…ロート゛ロック室、4、4A…アンロ
ート゛ロック室、5…真空ロボット、6…大気搬送装
置、7…カセット、8…大気ロボット、11…主制御
部、12…中央制御手段、13…表示手段、14…入力
手段、15…装置制御手段、16…処理順序情報記憶手
段、17…運転情報信号記憶手段、19−1、2、3、
4…運転情報信号発生手段、20、21…通信手段、2
2…補助操作盤、23…中央制御手段、24…端末制御
手段、25…入力手段、26…表示手段、27、28…
ブレーカ、29、30…手動バルブ。
Claims (12)
- 【請求項1】各ウエハに対して一連の異なるプロセス処
理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬送
を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び搬
送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処理
装置の運転方法であって、各々前記一連のプロセス処理
を行う複数のプロセス処理装置を含む少なくとも2組の
ウエハの処理経路を有する真空処理装置の運転方法にお
いて、 前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス処理
装置が運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、 該判断で運転無効のプロセス処理装置のみを切り放し、 運転有効のプロセス処理装置を使用して、前記一連のプ
ロセス処理を行うための前記処理経路を再構築し、 該運転有効なプロセス処理装置のみを使って前記ウェハ
の処理を行うことを特徴とする真空処理装置の運転方
法。 - 【請求項2】前記一連の異なるプロセス処理を行う複数
のプロセス処理装置の2組が、それぞれウエハの第一の
処理及び第二の処理を行うプロセス処理装置を含み、 前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス処理
装置が、運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、 該判断で1組のプロセス処理装置のうち第二の処理を行
うプロセス処理装置が運転無効の場合、該第二の処理を
行うプロセス処理装置のみを切り放し、 2つの第一の処理を行うプロセス処理装置と1つの第二
の処理を行うプロセス処理装置とを使用して、前記一連
のプロセス処理を行うための2組の処理経路を再構築
し、 該2組の処理経路を前記ウェハの処理に使用することを
特徴とする請求項1記載の真空処理装置の運転方法。 - 【請求項3】前記一連の異なるプロセス処理を行う複数
のプロセス処理装置の2組が、それぞれウエハの第一の
処理及び第二の処理を行うプロセス処理装置を含み、 前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス処理
装置が、運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、 該判断で1組のプロセス処理装置の第一の処理を行うプ
ロセス処理装置と、他の1組のプロセス処理装置のうち
第二の処理を行うプロセス処理装置が運転無効の場合、
該運転無効のプロセス処理装置を切り放し、 前記他の1組の第一の処理を行うプロセス処理装置と、
前記1組の第二の処理を行うプロセス処理装置とを使用
して、前記一連のプロセス処理を行うための1組の処理
経路を再構築し、 該1組の処理経路を前記ウェハの処理に使用することを
特徴とする請求項1記載の真空処理装置の運転方法。 - 【請求項4】各ウエハに対して一連の異なるプロセス処
理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬送
を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び搬
送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処理
装置の運転方法において、 前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス処理
装置が運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、 前記プロセス処理装置に運転無効が発生した場合、該プ
ロセス処理装置に残存ウエハがある否かの判断を行い、 残存ウエハがある場合、予め設定された複数の処理条件
のいずれかを選択可能とし、該選択された処理条件に従
って前記残存ウエハの処理を行うことを特徴とする真空
処理装置の運転方法。 - 【請求項5】前記残存ウエハの処理条件の選択肢の1つ
として、異常の発生したウエハを搬出し元のカセットに
回収した後異常の発生した処理経路を自動運転から切り
離して処理を継続する、処理条件を含むことを特徴とす
る請求項4記載の真空処理装置の運転方法。 - 【請求項6】各ウエハに対して一連の異なるプロセス処
理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬送
を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び搬
送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処理
装置の運転方法において、 前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス処理
装置が運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、 前記プロセス処理装置に運転無効が発生した場合、該プ
ロセス処理装置に残存ウエハがある否かの判断を行い、 残存ウエハがある場合、該残存ウエハの処理条件として
次の(1)〜(5)を選択可能としたことを特徴とする
真空処理装置の運転方法。 (1)処理中断時間からリトライして、処理を継続す
る。 (2)異常発生したウエハについてのみ、復旧用のレシ
ピで処理し、次のウエハからは、元のレシピで処理を継
続する。 (3)異常の発生したウエハを搬出し、次のウエハを搬
入して処理を継続する。 (4)異常の発生したウエハを搬出し、元のカセットに
回収した後、異常の発生した処理経路を自動運転から切
り離して処理を継続する。 (5)メンテナンスモードにして、運転を中断する。 - 【請求項7】各ウエハに対して一連の異なるプロセス処
理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬送
を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び搬
送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処理
装置の運転方法であって、前記各プロセス処理を行うた
めの自動運転条件を設定した後、自動運転をスタートす
るものにおいて、 前記自動運転条件の設定において、カセットと処理室に
関して複数のペア関係を固定してウエハを搬送するパラ
レル処理経路または、前記カセットと処理室の対応関係
を固定せずウエハを空いている方の処理室へ搬送する処
理経路を設定可能としたことを特徴とする真空処理装置
の運転方法。 - 【請求項8】各ウエハに対して一連の異なるプロセス処
理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬送
を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び搬
送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処理
装置の運転方法であって、前記各プロセス処理を行うた
めの自動運転条件を設定した後、自動運転をスタートす
るものにおいて、 前記自動運転条件の設定において、処理経路の指定が無
い場合、一連の異なるプロセス処理を行う複数のプロセ
ス処理装置の組として、それぞれウエハの第一の処理及
び第二の処理を行うプロセス処理装置のペアを含む処理
経路を自動設定することを特徴とする真空処理装置の運
転方法。 - 【請求項9】各ウエハに対して一連の異なるプロセス処
理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬送
を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び搬
送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処理
装置の運転方法であって、前記各プロセス処理を行うた
めの自動運転条件を設定した後、自動運転をスタートす
るものにおいて、 前記自動運転条件の設定において、それぞれウエハの第
一の処理及び第二の処理を行うプロセス処理装置の1組
または2組のペアについて、1回の処理ごとに、使用す
るプロセス処理装置を交互に切り替えることを特徴とす
る真空処理装置の運転方法。 - 【請求項10】プロセス処理を行う複数のプロセス処理
装置と、ウェハの搬送を行う搬送処理装置と、これらを
制御する制御装置とで構成され、少なくとも2つ以上の
プロセス処理装置が搬送処理装置に取り付けられ、該2
つ以上のプロセス処理装置を使ってウェハ処理する真空
処理装置の運転方法であって、 前記カセット内のウエハ処理を開始する前に、2つのプ
ロセス処理装置にダミ−ウエハを同時に2枚搬送して、
エージング処理を並行に行う、ことを特徴とする真空処
理装置の運転方法。 - 【請求項11】各ウエハに対して一連の異なるプロセス
処理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬
送を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び
搬送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処
理装置によるウエハの処理方法であって、各々前記一連
のプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置を含む少
なくとも2組のウエハの処理経路を有する真空処理装置
によるウエハの処理方法において、 前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス処理
装置が運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、 該判断で運転無効のプロセス処理装置のみを切り放し、
運転有効のプロセス処理装置を使用して、前記一連のプ
ロセス処理を行うための前記処理経路を再構築し、 該運転有効なプロセス処理装置のみを使って前記ウェハ
を処理することを特徴とする真空処理装置によるウエハ
の処理方法。 - 【請求項12】各ウエハに対して一連の異なるプロセス
処理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬
送を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び
搬送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処
理装置によるウエハの処理方法において、 前記前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス
処理装置が運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、 前記プロセス処理装置に運転無効が発生した場合、該プ
ロセス処理装置に残存ウエハがある否かの判断を行い、 残存ウエハがある場合、予め設定された複数の処理条件
のいずれかを選択可能とし、該選択された処理条件に従
って前記残存ウエハの処理を行うことを特徴とする真空
処理装置によるウエハの処理方法。
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