KR100949013B1 - 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 - Google Patents
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- 피처리 기판에 소정의 처리를 실시하기 위한 복수의 처리부와,복수의 상기 처리부에 상기 피처리 기판을 반송하는 반송 기구와,복수의 상기 처리부의 적산 처리 시간을 각각 기억하여, 다음에 처리를 개시할 때에, 상기 기억된 적산 처리 시간이 가장 적은 처리부로부터 상기 피처리 기판의 반송을 개시하도록 상기 반송 기구를 제어하는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 제어 수단이, 상기 기억된 적산 처리 시간이 적은 처리부의 순으로 상기 피처리 기판의 반송을 실행하도록 상기 반송 기구를 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제 6 항에 있어서,상기 제어 수단은 상기 피처리 기판을 반송하고자 하는 상기 처리부가 소정 시간 경과해도 상기 피처리 기판을 수납할 수 없게 되는 경우에, 상기 피처리 기판을 수납할 수 있는 처리부 중 가장 우선도가 높은 처리부에 상기 피처리 기판을 반송하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 처리부가 각각 로드록실을 갖고, 상기 반송 기구가 상기 로드록실에 상기 피처리 기판을 반송하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 복수의 처리부가 동일한 처리를 실시하는 것을 특징으로 하는 기판 처 리 장치.
- 피처리 기판에 소정의 처리를 실시하기 위한 복수의 처리부와,복수의 상기 처리부에 상기 피처리 기판을 반송하는 반송 기구와,복수의 상기 처리부의 적산 처리 매수를 각각 기억하여, 다음에 처리를 개시할 때에, 상기 기억된 적산 처리 매수가 가장 적은 처리부로부터 상기 피처리 기판의 반송을 개시하도록 상기 반송 기구를 제어하는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제 10 항에 있어서,상기 제어 수단이 상기 기억된 적산 처리 매수가 적은 처리부의 순으로 상기 피처리 기판의 반송을 실행하도록 상기 반송 기구를 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제 11 항에 있어서,상기 제어 수단은 상기 피처리 기판을 반송하고자 하는 상기 처리부가 소정 시간 경과해도 상기 피처리 기판을 수납할 수 없게 되는 경우에, 상기 피처리 기판 을 수납할 수 있는 처리부 중 가장 우선도가 높은 처리부에 상기 피처리 기판을 반송하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제 10 항에 있어서,상기 처리부가 각각 로드록실을 갖고, 상기 반송 기구가 상기 로드록실에 상기 피처리 기판을 반송하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제 10 항에 있어서,상기 복수의 처리부가 동일한 처리를 실시하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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- 피처리 기판에 소정의 처리를 실시하기 위한 복수의 처리부와, 복수의 상기 처리부에 소정의 순서로 상기 피처리 기판을 반송하는 반송 기구를 구비한 기판 처리 장치를 이용한 기판 처리 방법에 있어서,복수의 상기 처리부의 적산 처리 시간을 각각 기억하여, 다음에 처리를 개시할 때에, 상기 기억된 적산 처리 시간이 가장 적은 처리부로부터 상기 피처리 기판의 반송을 개시하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
- 제 19 항에 있어서,상기 기억된 적산 처리 시간이 적은 처리부의 순으로 상기 피처리 기판의 반송을 실행하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
- 제 20 항에 있어서,상기 피처리 기판을 반송하고자 하는 상기 처리부가 소정 시간 경과해도 상기 피처리 기판을 수납할 수 없게 되는 경우에, 상기 피처리 기판을 수납할 수 있는 처리부 중 가장 우선도가 높은 처리부에 상기 피처리 기판을 반송하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
- 제 19 항에 있어서,상기 처리부가 각각 로드록실을 갖고, 상기 반송 기구가 상기 로드록실에 상기 피처리 기판을 반송하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
- 제 19 항에 있어서,상기 복수의 처리부가 동일한 처리를 실시하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
- 피처리 기판에 소정의 처리를 실시하기 위한 복수의 처리부와, 복수의 상기 처리부에 소정의 순서로 상기 피처리 기판을 반송하는 반송 기구를 구비한 기판 처리 장치를 이용한 기판 처리 방법에 있어서,복수의 상기 처리부의 적산 처리 매수를 각각 기억하여, 다음에 처리를 개시할 때에, 상기 기억된 적산 처리 매수가 가장 적은 처리부로부터 상기 피처리 기판의 반송을 개시하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
- 제 24 항에 있어서,상기 기억된 적산 처리 매수가 적은 처리부의 순으로 상기 피처리 기판의 반송을 실행하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
- 제 25 항에 있어서,상기 피처리 기판을 반송하고자 하는 상기 처리부가 소정 시간 경과해도 상기 피처리 기판을 수납할 수 없게 되는 경우에, 상기 피처리 기판을 수납할 수 있는 처리부 중 가장 우선도가 높은 처리부에 상기 피처리 기판을 반송하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
- 제 24 항에 있어서,상기 처리부가 각각 로드록실을 갖고, 상기 반송 기구가 상기 로드록실에 상기 피처리 기판을 반송하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
- 제 24 항에 있어서,상기 복수의 처리부가 동일한 처리를 실시하는 것을 특징으로 하는 기판 처 리 방법.
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