JP6049394B2 - 基板処理システム及び基板の搬送制御方法 - Google Patents
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Description
Trmin≧Twpm+Twllm … (1)
[ここで、Trminは前記第1の搬送順序によって基板が搬送された複数の処理室における残存プロセス時間の最小値、Twpmは搬送装置から処理室へ基板を搬入する際の所要時間、Twllmは、搬送装置が受け渡し部から基板を受け取る際の所要時間、を意味する]
Trmin≧Twpm+Twllm … (1)
[ここで、Trminは前記第1の搬送順序によって基板が搬送された複数の処理室における残存プロセス時間の最小値、Twpmは搬送装置から処理室へ基板を搬入する際の所要時間、Twllmは、搬送装置が受け渡し部から基板を受け取る際の所要時間、を意味する]
前記基板の搬入が禁止された状態にある1つないし複数の処理室の1つ以上について、禁止が解除されて基板の搬入が可能な状態へ移行した場合に、該禁止が解除された処理室を含めて基板の搬入が可能なすべての処理室に対して第2の搬送順序を設定するステップと、
を備え、前記第2の搬送順序は、前記第1の搬送順序をそのまま含むことを特徴とする。
Trmin≧Twpm+Twllm … (1)
[ここで、Trminは前記第1の搬送順序によって基板が搬送された複数の処理室における残存プロセス時間の最小値、Twpmは搬送装置から処理室へ基板を搬入する際の所要時間、Twllmは、搬送装置が受け渡し部から基板を受け取る際の所要時間、を意味する]
Trmin≧Twpm+Twllm … (1)
[ここで、Trminは前記第1の搬送順序によって基板が搬送された複数の処理室における残存プロセス時間の最小値、Twpmは搬送装置から処理室へ基板を搬入する際の所要時間、Twllmは、搬送装置が受け渡し部から基板を受け取る際の所要時間、を意味する]
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。まず、図1を参照して本発明の実施の形態に係る基板処理システムについて説明を行う。図1は、例えば基板としての半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」と記す)Wに対し、例えば成膜処理、エッチング処理、アッシング処理、改質処理、酸化処理、拡散処理等の各種の処理を行なうように構成された基板処理システム100を示す概略構成図である。
次に、上記構成を有する基板処理システム100において実施される本発明の第1の実施の形態に係る基板の搬送制御方法について説明する。図5は、本実施の形態の基板の搬送制御方法の前提となる第1の搬送順序によるウエハWの搬送手順を説明する参考例のフローチャートであり、図6は、本実施の形態に係る搬送制御方法の手順の概略を説明するフローチャートである。本実施の形態では、基板処理システム100の処理室1a〜1dで同内容の処理(例えば成膜処理)を並列的に行うことを前提とした搬送方法[つまり、各基板を処理室1a〜1dのいずれかに搬送する方法(OR搬送)]を例に挙げる。
図7A中の2重枠で示すように、N番目の搬送サイクルに含まれる最後のウエハWn+2の次に、ウエハWn+3を追加し、搬入禁止状態が解除された処理室1bへウエハWn+3を搬入する。この場合は、N番目の搬送サイクル自体が、第1の搬送順序に基づく搬送サイクルから、第2の搬送順序に基づく搬送サイクルに変更される。本実施の形態では、図6のステップS12で搬送サイクルの途中である(Yes)と判断された場合に、ステップS14で現在進行中のN番目の搬送サイクルから第2の搬送順序に切り替え、第2の搬送順序に基づく搬送サイクルに置き換えられる。すなわち、EC71の搬送順序設定部123が第2の搬送順序を設定し、搬送制御部122がN番目の搬送サイクル自体を定義し直し、第2の搬送順序へ切り替えるように指示する。
図7B中の2重枠で示すように、N+1番目の搬送サイクルに含まれるウエハWの最後にウエハWn+6を追加し、搬入禁止状態が解除された処理室1bへウエハWn+6を搬入する。本実施の形態では、図6のステップS12で搬送サイクルの途中でない(No)と判断された場合は、ステップS15で、N+1番目の搬送サイクルから第2の搬送順序に切り替える。すなわち、EC71の搬送順序設定部123が第2の搬送順序を設定し、搬送制御部122がN+1番目の搬送サイクルを定義し直し、第2の搬送順序へ切り替えるように指示する。なお、第1の搬送順序から第2の搬送順序への切り替えは、2搬送サイクル以上遅らせることも可能である。
Tr>Twpm+Twllm … (2)
[ここで、Trは処理室1a〜1d内におけるウエハWの処理に要する時間、Twpmは真空側搬送装置31から処理室1a〜1dへウエハWを搬入する際の所要時間(プレイス動作時間)、Twllmは、真空側搬送装置31が待機ステージ6a又は6bからウエハWを受け取る際の所要時間(ピック動作時間)を意味する]
次に、図8を参照しながら、本発明の第2の実施の形態の基板の搬送制御方法について説明する。図8は、本実施の形態に係る搬送制御方法の手順の概略を説明するフローチャートである。本実施の形態も、基板処理システム100の処理室1a〜1dで同内容の処理(例えば成膜処理)を並列的に行う場合を例に挙げる。また、本実施の形態も、第1の搬送順序によるウエハWの搬送が行われている状態(図5参照)が前提となり、その状態から、処理室1bの搬入禁止状態が解除された場合の制御方法に関するものである。
Trmin≧Twpm+Twllm … (1)
[ここで、Trminは第1の搬送順序によってウエハWが搬送された処理室(本実施の形態では、処理室1a、1c、1d)における残存プロセス時間の最小値、Twpmは真空側搬送装置31から処理室1bへウエハWを搬入する際の所要時間、Twllmは、真空側搬送装置31が待機ステージ6a又は6bからウエハWを受け取る際の所要時間、を意味する]
次に、図9を参照しながら、第2の実施の形態の基板の搬送制御方法の変形例について説明する。図9は、本変形例に係る搬送制御方法の手順の概略を説明するフローチャートである。本変形例でも、基板処理システム100の処理室1a〜1dで同内容の処理(例えば成膜処理)を並列的に行う場合を例に挙げる。また、本変形例も、第1の搬送順序によるウエハWの搬送が行われている状態(図5参照)が前提となり、その状態から、処理室1bの搬入禁止状態が解除された場合の制御方法に関するものである。
Claims (6)
- 基板に所定の処理を施す複数の処理室と、
前記複数の処理室へ所定の順序で基板を搬送する搬送装置と、
前記搬送装置との間で基板の受け渡しを行う受け渡し部と、
を有し、所定の搬送順序に従い前記搬送装置により前記受け渡し部から前記処理室へ基板を搬送する動作を繰り返すことによって複数の基板を順次処理する基板処理システムであって、
前記複数の処理室のうち、1つないし複数の処理室について基板の搬入が禁止された状態にあるとき、基板の搬入が可能な残りの複数の処理室に対して第1の搬送順序を設定するとともに、前記基板の搬入が禁止された状態にある1つないし複数の処理室の1つ以上について、禁止が解除されて基板の搬入が可能な状態へ移行した場合に、該禁止が解除された処理室を含めて基板の搬入が可能なすべての処理室に対して前記第1の搬送順序をそのまま含み、該第1の搬送順序の最後に前記禁止が解除された処理室への搬送を付加してなる第2の搬送順序を設定する搬送順序設定部と、
前記第1の搬送順序から前記第2の搬送順序への切り替えを行う搬送制御部と、
を備え、
前記第1の搬送順序及び第2の搬送順序において、最初の処理室に搬入される基板から、最後の処理室に搬入される基板までを1搬送サイクルとしたとき、
前記搬送制御部は、前記基板の搬入が禁止された状態にあった1つないし複数の処理室の1つ以上について禁止が解除された時点で、
前記第1の搬送順序による最新のN番目(ここで、Nは正の整数を意味する)の搬送サイクルの途中である場合は、前記N番目の搬送サイクルから前記第2の搬送順序への切り替えを行い、
前記N番目の搬送サイクルが終了している場合は、(N+1)番目の搬送サイクルから前記第2の搬送順序に切り替えることを特徴とする基板処理システム。 - 基板に所定の処理を施す複数の処理室と、
前記複数の処理室へ所定の順序で基板を搬送する搬送装置と、
前記搬送装置との間で基板の受け渡しを行う受け渡し部と、
を有し、所定の搬送順序に従い前記搬送装置により前記受け渡し部から前記処理室へ基板を搬送する動作を繰り返すことによって複数の基板を順次処理する基板処理システムであって、
前記複数の処理室のうち、1つないし複数の処理室について基板の搬入が禁止された状態にあるとき、基板の搬入が可能な残りの複数の処理室に対して第1の搬送順序を設定するとともに、前記基板の搬入が禁止された状態にある1つないし複数の処理室の1つ以上について、禁止が解除されて基板の搬入が可能な状態へ移行した場合に、該禁止が解除された処理室を含めて基板の搬入が可能なすべての処理室に対して前記第1の搬送順序をそのまま含む第2の搬送順序を設定する搬送順序設定部と、
前記第1の搬送順序から前記第2の搬送順序への切り替えを行う搬送制御部と、
を備え、
前記第1の搬送順序及び第2の搬送順序において、最初の処理室に搬入される基板から、最後の処理室に搬入される基板までを1搬送サイクルとしたとき、
前記搬送制御部は、前記基板の搬入が禁止された状態にあった1つないし複数の処理室の1つ以上について禁止が解除された時点で、
前記第1の搬送順序による最新のN番目(ここで、Nは正の整数を意味する)の搬送サイクルの途中である場合は、前記N番目の搬送サイクルから前記第2の搬送順序に切り替え、
前記N番目の搬送サイクルが終了しており、かつ、下記の式(1)が成立する場合は、前記N番目の搬送サイクルから前記第2の搬送順序に切り替え、
前記N番目の搬送サイクルが終了しており、かつ、下記の式(1)が不成立の場合は、(N+1)番目の搬送サイクルから前記第2の搬送順序に切り替えることを特徴とする基板処理システム。
Trmin≧Twpm+Twllm … (1)
[ここで、Trminは前記第1の搬送順序によって基板が搬送された複数の処理室における残存プロセス時間の最小値、Twpmは搬送装置から処理室へ基板を搬入する際の所要時間、Twllmは、搬送装置が受け渡し部から基板を受け取る際の所要時間、を意味する] - 基板に所定の処理を施す複数の処理室と、
前記複数の処理室へ所定の順序で基板を搬送する搬送装置と、
前記搬送装置との間で基板の受け渡しを行う受け渡し部と、
を有し、所定の搬送順序に従い前記搬送装置により前記受け渡し部から前記処理室へ基板を搬送する動作を繰り返すことによって複数の基板を順次処理する基板処理システムであって、
前記複数の処理室のうち、1つないし複数の処理室について基板の搬入が禁止された状態にあるとき、基板の搬入が可能な残りの複数の処理室に対して第1の搬送順序を設定するとともに、前記基板の搬入が禁止された状態にある1つないし複数の処理室の1つ以上について、禁止が解除されて基板の搬入が可能な状態へ移行した場合に、該禁止が解除された処理室を含めて基板の搬入が可能なすべての処理室に対して前記第1の搬送順序をそのまま含む第2の搬送順序を設定する搬送順序設定部と、
前記第1の搬送順序から前記第2の搬送順序への切り替えを行う搬送制御部と、
を備え、
前記第1の搬送順序及び第2の搬送順序において、最初の処理室に搬入される基板から、最後の処理室に搬入される基板までを1搬送サイクルとしたとき、
前記搬送制御部は、前記基板の搬入が禁止された状態にあった1つないし複数の処理室の1つ以上について禁止が解除された時点で、
前記第1の搬送順序による最新のN番目(ここで、Nは正の整数を意味する)の搬送サイクルの途中である場合は、前記N番目の搬送サイクルから前記第2の搬送順序に切り替え、
前記N番目の搬送サイクルが終了しており、かつ、下記の式(1)が成立するとともに前記受け渡し部に未処理の基板が準備されている場合は、前記N番目の搬送サイクルから前記第2の搬送順序に切り替え、
前記N番目の搬送サイクルが終了しており、かつ、下記の式(1)が成立するとともに前記受け渡し部に未処理の基板が準備されていない場合は、(N+1)番目の搬送サイクルから前記第2の搬送順序に切り替えることを特徴とする基板処理システム。
Trmin≧Twpm+Twllm … (1)
[ここで、Trminは前記第1の搬送順序によって基板が搬送された複数の処理室における残存プロセス時間の最小値、Twpmは搬送装置から処理室へ基板を搬入する際の所要時間、Twllmは、搬送装置が受け渡し部から基板を受け取る際の所要時間、を意味する] - 基板に所定の処理を施す複数の処理室と、前記複数の処理室へ所定の順序で基板を搬送する搬送装置と、前記搬送装置との間で基板の受け渡しを行う受け渡し部と、を有し、所定の搬送順序に従って前記搬送装置により前記受け渡し部から前記処理室へ基板を搬送する動作を繰り返すことによって複数の基板を順次処理する基板処理システムにおける基板の搬送制御方法であって、
前記複数の処理室のうち、1つないし複数の処理室について基板の搬入が禁止された状態にあるとき、基板の搬入が可能な残りの複数の処理室に対して第1の搬送順序を設定するステップと、
前記基板の搬入が禁止された状態にある1つないし複数の処理室の1つ以上について、禁止が解除されて基板の搬入が可能な状態へ移行した場合に、該禁止が解除された処理室を含めて基板の搬入が可能なすべての処理室に対して第2の搬送順序を設定するステップと、
を備え、
前記第2の搬送順序は、前記第1の搬送順序をそのまま含み、該第1の搬送順序の最後に前記禁止が解除された処理室への搬送を付加してなるものであり、
前記第1の搬送順序及び第2の搬送順序において、最初の処理室に搬入される基板から、最後の処理室に搬入される基板までを1搬送サイクルとしたとき、
前記基板の搬入が禁止された状態にあった1つないし複数の処理室の1つ以上について禁止が解除された時点で、
前記第1の搬送順序による最新のN番目(ここで、Nは正の整数を意味する)の搬送サイクルの途中である場合は、前記N番目の搬送サイクルから前記第2の搬送順序への切り替えを行い、
前記N番目の搬送サイクルが終了している場合は、(N+1)番目の搬送サイクルから前記第2の搬送順序に切り替えることを特徴とする基板の搬送制御方法。 - 基板に所定の処理を施す複数の処理室と、前記複数の処理室へ所定の順序で基板を搬送する搬送装置と、前記搬送装置との間で基板の受け渡しを行う受け渡し部と、を有し、所定の搬送順序に従って前記搬送装置により前記受け渡し部から前記処理室へ基板を搬送する動作を繰り返すことによって複数の基板を順次処理する基板処理システムにおける基板の搬送制御方法であって、
前記複数の処理室のうち、1つないし複数の処理室について基板の搬入が禁止された状態にあるとき、基板の搬入が可能な残りの複数の処理室に対して第1の搬送順序を設定するステップと、
前記基板の搬入が禁止された状態にある1つないし複数の処理室の1つ以上について、禁止が解除されて基板の搬入が可能な状態へ移行した場合に、該禁止が解除された処理室を含めて基板の搬入が可能なすべての処理室に対して第2の搬送順序を設定するステップと、
を備え、
前記第2の搬送順序は、前記第1の搬送順序をそのまま含み、
前記第1の搬送順序及び第2の搬送順序において、最初の処理室に搬入される基板から、最後の処理室に搬入される基板までを1搬送サイクルとしたとき、
前記基板の搬入が禁止された状態にあった1つないし複数の処理室の1つ以上について禁止が解除された時点で、
前記第1の搬送順序による最新のN番目(ここで、Nは正の整数を意味する)の搬送サイクルの途中である場合は、前記N番目の搬送サイクルから前記第2の搬送順序に切り替え、
前記N番目の搬送サイクルが終了しており、かつ、下記の式(1)が成立する場合は、前記N番目の搬送サイクルから前記第2の搬送順序に切り替え、
前記N番目の搬送サイクルが終了しており、かつ、下記の式(1)が不成立の場合は、(N+1)番目の搬送サイクルから前記第2の搬送順序に切り替えることを特徴とする基板の搬送制御方法。
Trmin≧Twpm+Twllm … (1)
[ここで、Trminは前記第1の搬送順序によって基板が搬送された複数の処理室における残存プロセス時間の最小値、Twpmは搬送装置から処理室へ基板を搬入する際の所要時間、Twllmは、搬送装置が受け渡し部から基板を受け取る際の所要時間、を意味する] - 基板に所定の処理を施す複数の処理室と、前記複数の処理室へ所定の順序で基板を搬送する搬送装置と、前記搬送装置との間で基板の受け渡しを行う受け渡し部と、を有し、所定の搬送順序に従って前記搬送装置により前記受け渡し部から前記処理室へ基板を搬送する動作を繰り返すことによって複数の基板を順次処理する基板処理システムにおける基板の搬送制御方法であって、
前記複数の処理室のうち、1つないし複数の処理室について基板の搬入が禁止された状態にあるとき、基板の搬入が可能な残りの複数の処理室に対して第1の搬送順序を設定するステップと、
前記基板の搬入が禁止された状態にある1つないし複数の処理室の1つ以上について、禁止が解除されて基板の搬入が可能な状態へ移行した場合に、該禁止が解除された処理室を含めて基板の搬入が可能なすべての処理室に対して第2の搬送順序を設定するステップと、
を備え、
前記第2の搬送順序は、前記第1の搬送順序をそのまま含み、
前記第1の搬送順序及び第2の搬送順序において、最初の処理室に搬入される基板から、最後の処理室に搬入される基板までを1搬送サイクルとしたとき、
前記基板の搬入が禁止された状態にあった1つないし複数の処理室の1つ以上について禁止が解除された時点で、
前記第1の搬送順序による最新のN番目(ここで、Nは正の整数を意味する)の搬送サイクルの途中である場合は、前記N番目の搬送サイクルから前記第2の搬送順序に切り替え、
前記N番目の搬送サイクルが終了しており、かつ、下記の式(1)が成立するとともに前記受け渡し部に未処理の基板が準備されている場合は、前記N番目の搬送サイクルから前記第2の搬送順序に切り替え、
前記N番目の搬送サイクルが終了しており、かつ、下記の式(1)が成立するとともに前記受け渡し部に未処理の基板が準備されていない場合は、(N+1)番目の搬送サイクルから前記第2の搬送順序に切り替えることを特徴とする基板の搬送制御方法。
Trmin≧Twpm+Twllm … (1)
[ここで、Trminは前記第1の搬送順序によって基板が搬送された複数の処理室における残存プロセス時間の最小値、Twpmは搬送装置から処理室へ基板を搬入する際の所要時間、Twllmは、搬送装置が受け渡し部から基板を受け取る際の所要時間、を意味する]
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