JP3281815B2 - 真空処理装置及び真空処理方法 - Google Patents
真空処理装置及び真空処理方法Info
- Publication number
- JP3281815B2 JP3281815B2 JP24014796A JP24014796A JP3281815B2 JP 3281815 B2 JP3281815 B2 JP 3281815B2 JP 24014796 A JP24014796 A JP 24014796A JP 24014796 A JP24014796 A JP 24014796A JP 3281815 B2 JP3281815 B2 JP 3281815B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing
- information signal
- processing apparatus
- operation information
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
Landscapes
- General Factory Administration (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、フ゜ロセス処理を行う複
数のフ゜ロセス処理装置と、ウエハの搬送を行う搬送処理装置で
構成され、少なくとも2つ以上のフ゜ロセス処理装置を使って
処理する真空処理装置及び真空処理方法に関する。
数のフ゜ロセス処理装置と、ウエハの搬送を行う搬送処理装置で
構成され、少なくとも2つ以上のフ゜ロセス処理装置を使って
処理する真空処理装置及び真空処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の装置は、例えば、特開昭６３ー１
３３５３２号公報、特開昭６３ー２５２４３９号公報、
特開昭６３ー１２９６４１号公報等のように搬送室に処
理室を接続したシステムにおいて、別々のウエハを別々の処理室
で同時に処理を実行したり、又はウエハを順次に複数の処理
室を経由して処理することのできる真空処理装置及び真
空処理方法に関するものであった。
３３５３２号公報、特開昭６３ー２５２４３９号公報、
特開昭６３ー１２９６４１号公報等のように搬送室に処
理室を接続したシステムにおいて、別々のウエハを別々の処理室
で同時に処理を実行したり、又はウエハを順次に複数の処理
室を経由して処理することのできる真空処理装置及び真
空処理方法に関するものであった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、複数
のフ゜ロセス処理を施すにつき、ウエハを真空雰囲気の搬送路を
介して複数の処理室に搬送し、個々の処理室では、その処
理室が持つ固有の処理を施すことにより、大気状態にさ
らすことなく真空中で複数のプロセス処理をする為の装
置構成、搬送方法を考案したものであった。 ところで、従来技術では複数ある処理室の内、どれかが故
障等で使用できなくなった時の処理の続行については、
考慮されていなかった。 又、運転開始時修復する必要のある処理室があるが、正常
な処理室のみを使って装置を運転する方法についても考
慮されていなかった。 このように処理室が正常な状態にあるときの運転は、考
慮されているが、処理室が異常等で使用できない時の運
転については考慮されていないため、例えば同種の処理
室が接続されておれば、他方の正常な処理室を使って運
転を続行するという装置の運転方法が考慮されておら
ず、稼働率の低い装置であった。 本発明の目的は、フ゜ロセス処理を行う複数のフ゜ロセス処理装置
と、ウエハの搬送を行う搬送処理装置で構成され、少なくと
も2つ以上のフ゜ロセス処理装置を使って処理する真空処理装
置において、 1)複数ある処理室の内、どれかが故障等で使用できなく
なった場合でも運転が続行でき、又、 2)修復する必要のあるフ゜ロセス処理装置がある場合は、正常
な処理室のみを使って運転できるようにすること(以下
では、片肺運転と称す)により、装置の稼働率を向上でき
る真空処理装置を提供することにある。
のフ゜ロセス処理を施すにつき、ウエハを真空雰囲気の搬送路を
介して複数の処理室に搬送し、個々の処理室では、その処
理室が持つ固有の処理を施すことにより、大気状態にさ
らすことなく真空中で複数のプロセス処理をする為の装
置構成、搬送方法を考案したものであった。 ところで、従来技術では複数ある処理室の内、どれかが故
障等で使用できなくなった時の処理の続行については、
考慮されていなかった。 又、運転開始時修復する必要のある処理室があるが、正常
な処理室のみを使って装置を運転する方法についても考
慮されていなかった。 このように処理室が正常な状態にあるときの運転は、考
慮されているが、処理室が異常等で使用できない時の運
転については考慮されていないため、例えば同種の処理
室が接続されておれば、他方の正常な処理室を使って運
転を続行するという装置の運転方法が考慮されておら
ず、稼働率の低い装置であった。 本発明の目的は、フ゜ロセス処理を行う複数のフ゜ロセス処理装置
と、ウエハの搬送を行う搬送処理装置で構成され、少なくと
も2つ以上のフ゜ロセス処理装置を使って処理する真空処理装
置において、 1)複数ある処理室の内、どれかが故障等で使用できなく
なった場合でも運転が続行でき、又、 2)修復する必要のあるフ゜ロセス処理装置がある場合は、正常
な処理室のみを使って運転できるようにすること(以下
では、片肺運転と称す)により、装置の稼働率を向上でき
る真空処理装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、プロセス処理を行う複数のプロセス処理
装置、ロードロック室及びアンロードロック室、並びに
前記複数のプロセス処理装置、ロードロック室及びアン
ロードロック室と接続して前記プロセス処理装置にウエ
ハを搬送する搬送処理装置からなり、前記プロセス処理
装置を用いて前記ウエハに真空処理を施す真空処理装置
において、前記搬送処理装置は、前記複数のプロセス処
理装置間におけるウエハの処理順序を記憶する処理順序
情報記憶手段と、前記各プロセス処理装置が運転可状態
または不可状態であることを示す運転情報信号を発生す
る運転情報信号発生手段と、前記運転情報信号を記憶す
る運転情報信号記憶手段と、前記プロセス処理装置の運
転を制御する装置制御手段を備え、該装置制御手段は、
前記処理順序情報信号と運転開始直後に取得した前記運
転情報信号とを整合処理して運転不可状態であるプロセ
ス処理装置を除くプロセス処理装置を用いて運転を開始
する手段、及び運転開始後に新たに異常が発生したとき
には前記処理順序情報信号と前記新たに異常が発生した
後で運転再開前に取得した前記運転情報信号とを整合処
理して運転不可状態であるプロセス処理装置を除くプロ
セス処理装置を用いて運転を再開する手段を備えたもの
である。
に、本発明は、プロセス処理を行う複数のプロセス処理
装置、ロードロック室及びアンロードロック室、並びに
前記複数のプロセス処理装置、ロードロック室及びアン
ロードロック室と接続して前記プロセス処理装置にウエ
ハを搬送する搬送処理装置からなり、前記プロセス処理
装置を用いて前記ウエハに真空処理を施す真空処理装置
において、前記搬送処理装置は、前記複数のプロセス処
理装置間におけるウエハの処理順序を記憶する処理順序
情報記憶手段と、前記各プロセス処理装置が運転可状態
または不可状態であることを示す運転情報信号を発生す
る運転情報信号発生手段と、前記運転情報信号を記憶す
る運転情報信号記憶手段と、前記プロセス処理装置の運
転を制御する装置制御手段を備え、該装置制御手段は、
前記処理順序情報信号と運転開始直後に取得した前記運
転情報信号とを整合処理して運転不可状態であるプロセ
ス処理装置を除くプロセス処理装置を用いて運転を開始
する手段、及び運転開始後に新たに異常が発生したとき
には前記処理順序情報信号と前記新たに異常が発生した
後で運転再開前に取得した前記運転情報信号とを整合処
理して運転不可状態であるプロセス処理装置を除くプロ
セス処理装置を用いて運転を再開する手段を備えたもの
である。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図１〜
図４により説明する。図１は、本発明の装置構成図を示
す。図１において、１はウエハの搬送を行う搬送処理装置、
2-1〜2-4はフ゜ロセス処理を行うフ゜ロセス処理装置、3はロードロ
ック室、4はアンロードロック室、5は搬送処理装置に設
置されたウエハの搬送を行う真空ロホ゛ット、6はウエハを収納したカ
セットを設置するための大気搬送装置、7は処理するウエハを収
納したカセット、8は大気搬送装置上のカセット内のウエハをカセットか
ら搬出し、搬送処理装置1に搬入する大気ロホ゛ットを示す。 本装置の運転にあたっては、オヘ゜レータは、カセット7-1(又は7ー2)
を大気搬送装置6に設置する。その後本図に図示していな
い操作盤にある表示手段13、入力手段14とを使って運転
条件の設定を行った後運転の開始指示を行うことで、ウエハ
の搬送が開始しフ゜ロセス処理装置2-1(2-2〜2-4)に搬送さ
れ、フ゜ロセス処理を行って元のカセットに戻される。元のカセット内
のウエハが全て処理されるとそのカセットの回収の為にこの図
に図示していないフ゛サ゛ーを鳴らし、オヘ゜レータにカセット回収要求
を通知し、オヘ゜レータがカセットを取り除く。
図４により説明する。図１は、本発明の装置構成図を示
す。図１において、１はウエハの搬送を行う搬送処理装置、
2-1〜2-4はフ゜ロセス処理を行うフ゜ロセス処理装置、3はロードロ
ック室、4はアンロードロック室、5は搬送処理装置に設
置されたウエハの搬送を行う真空ロホ゛ット、6はウエハを収納したカ
セットを設置するための大気搬送装置、7は処理するウエハを収
納したカセット、8は大気搬送装置上のカセット内のウエハをカセットか
ら搬出し、搬送処理装置1に搬入する大気ロホ゛ットを示す。 本装置の運転にあたっては、オヘ゜レータは、カセット7-1(又は7ー2)
を大気搬送装置6に設置する。その後本図に図示していな
い操作盤にある表示手段13、入力手段14とを使って運転
条件の設定を行った後運転の開始指示を行うことで、ウエハ
の搬送が開始しフ゜ロセス処理装置2-1(2-2〜2-4)に搬送さ
れ、フ゜ロセス処理を行って元のカセットに戻される。元のカセット内
のウエハが全て処理されるとそのカセットの回収の為にこの図
に図示していないフ゛サ゛ーを鳴らし、オヘ゜レータにカセット回収要求
を通知し、オヘ゜レータがカセットを取り除く。
【０００６】尚、運転条件の設定においては、使用するフ゜
ロセス処理装置の確認を行い、ウエハの処理する順序を設定す
る。 図２は、本発明の制御構成図を示す。本一実施例では、装
置全体の主制御部は、搬送処理装置に搭載している場合
を示す。尚、装置全体の主制御部は、搬送処理装置以外に
あっても構わない。図２において、11は、装置全体を制
御する主制御部の構成を示す。本発明の請求範囲に該当
する部分のみを記述しており、装置を動かす上での制御
部分については、特に記述していない。16は、処理装置内
でのウエハの処理順序を記憶する処理順序情報記憶手段で
あり、例えばRAM(Random Access Memory)である。このウエハ
の処理順序は、運転開始前に表示手段13、入力手段14とを
使ってオヘ゜レータによって入力されたテ゛ータである。17は、フ゜ロセ
ス処理装置18-1〜18-4の運転可/不可であることを示す運
転情報信号を記憶する運転情報信号記憶手段であり、例
えばRAM(Read Only Memory)である。13は、運転状態、運転
条件の設定内容、運転の開始指示/終了の表示を行う表示
手段であり、例えばCRTである。14は、運転条件の設定、運
転の開始指示入力等を行う入力手段であり、例えばキーホ゛ー
ホ゛である。15は、上記フ゜ロセス処理装置18-1〜18-4の運転可/
不可であることを示す運転情報信号状態を判断し、自動
運転中にフ゜ロセス処理装置18-1〜18-4のどれかが運転不可
となっても該フ゜ロセス処理装置を使用せず、他のフ゜ロセス処理
装置を使って運転続行する処理手順を記憶した装置制御
手段であり、 例えばROM(Read Only Memory)である。12
は、上記13〜17を制御する中央制御手段であり、例えば、C
PU(Central Processor Unit)である。18-1〜18-4は、ウエハ
のフ゜ロセス処理を行うフ゜ロセス処理装置である。この処理装置
としては、エッチンク゛、成膜、CVD等フ゜ロセス処理を行う処理であ
れば、何であっても良い。19-1〜19-4は、フ゜ロセス処理装置18
-1〜18-4の運転可/不可であることを示す運転情報信号
を発生する運転情報信号発生手段である。本一実施例で
は、フ゜ロセス処理装置に設けているが、どこにあっても良い。
この運転情報信号を発生する手段として、 1)フ゜ロセス処理装置の装置電源の遮断信号を用いる 2)フ゜ロセス処理装置の使用の有効/無効を設定する運転切り
替え信号(例えば、切り替えスイッチ)を用いる 3)フ゜ロセス処理装置の使用の可/不可を示す運転制御信号と
して、オヘ゜レータが設定入力した入力情報を用いる ことが考えられる。
ロセス処理装置の確認を行い、ウエハの処理する順序を設定す
る。 図２は、本発明の制御構成図を示す。本一実施例では、装
置全体の主制御部は、搬送処理装置に搭載している場合
を示す。尚、装置全体の主制御部は、搬送処理装置以外に
あっても構わない。図２において、11は、装置全体を制
御する主制御部の構成を示す。本発明の請求範囲に該当
する部分のみを記述しており、装置を動かす上での制御
部分については、特に記述していない。16は、処理装置内
でのウエハの処理順序を記憶する処理順序情報記憶手段で
あり、例えばRAM(Random Access Memory)である。このウエハ
の処理順序は、運転開始前に表示手段13、入力手段14とを
使ってオヘ゜レータによって入力されたテ゛ータである。17は、フ゜ロセ
ス処理装置18-1〜18-4の運転可/不可であることを示す運
転情報信号を記憶する運転情報信号記憶手段であり、例
えばRAM(Read Only Memory)である。13は、運転状態、運転
条件の設定内容、運転の開始指示/終了の表示を行う表示
手段であり、例えばCRTである。14は、運転条件の設定、運
転の開始指示入力等を行う入力手段であり、例えばキーホ゛ー
ホ゛である。15は、上記フ゜ロセス処理装置18-1〜18-4の運転可/
不可であることを示す運転情報信号状態を判断し、自動
運転中にフ゜ロセス処理装置18-1〜18-4のどれかが運転不可
となっても該フ゜ロセス処理装置を使用せず、他のフ゜ロセス処理
装置を使って運転続行する処理手順を記憶した装置制御
手段であり、 例えばROM(Read Only Memory)である。12
は、上記13〜17を制御する中央制御手段であり、例えば、C
PU(Central Processor Unit)である。18-1〜18-4は、ウエハ
のフ゜ロセス処理を行うフ゜ロセス処理装置である。この処理装置
としては、エッチンク゛、成膜、CVD等フ゜ロセス処理を行う処理であ
れば、何であっても良い。19-1〜19-4は、フ゜ロセス処理装置18
-1〜18-4の運転可/不可であることを示す運転情報信号
を発生する運転情報信号発生手段である。本一実施例で
は、フ゜ロセス処理装置に設けているが、どこにあっても良い。
この運転情報信号を発生する手段として、 1)フ゜ロセス処理装置の装置電源の遮断信号を用いる 2)フ゜ロセス処理装置の使用の有効/無効を設定する運転切り
替え信号(例えば、切り替えスイッチ)を用いる 3)フ゜ロセス処理装置の使用の可/不可を示す運転制御信号と
して、オヘ゜レータが設定入力した入力情報を用いる ことが考えられる。
【０００７】表１は、運転情報信号表である。
【０００８】
【表１】
【０００９】表１において、各フ゜ロセス処理装置毎割り当
てられた情報記憶番地に接続の有効/無効を示す情報が
記憶される。この場合では、有効な場合は、1を、無効な場
合は、0を示すが区別できる内容であれば、記号や数字で
あっても良い。この情報は、運転情報信号発生手段19-1〜
19-4の信号状態が反映されたものであり、運転情報信号
記憶手段17に記憶される。 表２は、処理順序情報表である。
てられた情報記憶番地に接続の有効/無効を示す情報が
記憶される。この場合では、有効な場合は、1を、無効な場
合は、0を示すが区別できる内容であれば、記号や数字で
あっても良い。この情報は、運転情報信号発生手段19-1〜
19-4の信号状態が反映されたものであり、運転情報信号
記憶手段17に記憶される。 表２は、処理順序情報表である。
【００１０】
【表２】
【００１１】表２において、運転条件設定の一つとし
て、オヘ゜レータが運転開始前に表示手段13、入力手段14とを使
ってウエハの処理する順序を設定した情報である。この情報
は搬送経路(ステッフ゜)順搬送位置の情報が処理順序情報記
憶手段16に記憶される。 図３は、本発明の装置運転フロー図を示す。図３において、
オヘ゜レータは運転開始前に真空処理装置として構成されてい
るフ゜ロセス処理装置の内、故障等で運転に使用できない、又
は保守(フ゜ラス゛マクリーニンク゛も含む)の為使用しないフ゜ロセス処理
装置があるか否かを判断する(30)。使用できない(又は、
使用しない)フ゜ロセス処理装置があれば、運転情報信号発生
手段19を用いて表１に記述した状態になるように設定す
る(32)。この設定の方法の一つとして、 1)フ゜ロセス処理装置の装置電源の遮断信号を用いる場合は、
該フ゜ロセス処理装置の装置電源供給用電磁開閉器をOFFす
る。これにより、遮断信号が発生し、運転情報信号記憶手
段17に伝えられ、表１に記載された情報として記憶され
る。 2)フ゜ロセス処理装置の使用の有無を設定する運転切り替え
信号(例えば、切り替えスイッチ)を用いる場合は、該フ゜ロセス処
理装置に割り当てられた切り替えスイッチを有効又は無効の
状態に設定する。 これにより、切り替え信号が確定し、運
転情報信号記憶手段17に伝えられ、表１に記載された情
報として記憶される。 3)フ゜ロセス処理装置の使用の可/不可を示す運転制御信号と
して、オヘ゜レータが設定入力した入力情報を用いる場合は、オヘ
゜レータは、該フ゜ロセス処理装置に割り当てられた設定情報を入
力手段14より入力する。 これにより、設定情報が確定し、
運転情報信号記憶手段17に伝えられ、表１に記載された
情報として記憶される。装置接続構成を決定した後、自動
運転をスタートする(34)。尚、ウエハの処理する順序を設定する
手順は、図３のフローの中で行っても良いし、図４の自動運
転フローの中で行っても良いが、この手順は、本発明の請求
範囲でない為,省略している。 図４は、本発明の自動運転フロー図を示す。図４において、
自動運転を開始すると、処理すべきウエハを全て搬送したか
を判断し、搬送済であれば処理が終了し、搬送必要であれ
ば、(42)に進む(40)。自動運転中に異常等が発生し、運転
が一時中断した状態にあるか否かを判断する(42)。異常
が無ければ、運転を続行する(44へ)。 運転に使用できな
いフ゜ロセス処理装置がある場合は、該フ゜ロセス処理装置を使わ
ないで運転続行が可能か否かをオヘ゜レータが判断する(54)。
続行が不可能な場合は、オヘ゜レータが自動運転の中止設定を
行うことにより、装置は自動運転停止処理を行う(60)。続
行が可能な場合は、使用しないフ゜ロセス処理装置に対して図
４の(32)にて示した内容と同じ運転情報信号発生手段の
切り替え操作(56)を行うことにより、異常発生情報がリセッ
トされ(58)、自動運転が続行する。 正常な運転状態では、次のウエハの搬送経路を処理順序情報
記憶手段16に記憶されてある情報を読み出し(44)、運転
情報信号記憶手段17に記憶されてある情報と整合処理し
搬送順路を決定する(46)。決定した搬送順路はカセットより
搬出するウエハ毎に搬送順路テ゛ータを持っても良いし、処理順
序情報記憶手段16とは別の処理順序情報テーフ゛ルを作成し、
ウエハを搬送する際には、このテーフ゛ルを参照するようにして
も良い。搬送順路が決定すると大気ロホ゛ット8はカセット7よりウエ
ハを搬出し(48)、上記決定した搬送順路に登録されてある
フ゜ロセス処理装置に搬送し(50)、ウエハの処理を行う(52)。この
ウエハ搬送処理及びフ゜ロセス処理で異常が発生した場合は、異
常が発生した部分以外で処理続行可能な処理は終了さ
せ、異常発生したことを示す異常発生情報(図示は省略)
を記憶させた後、装置を一時中断状態にオヘ゜レータに中断し
たことを表示手段13に表示するとともに図示しないフ゛サ゛
ーを鳴らす。この後(42)に戻り、所定のフローで処理する。 以上に述べた内容でも分かるように故障等で運転に使用
できない、又は修復や保守(フ゜ラス゛マクリーニンク゛も含む)の為使
用しないフ゜ロセス処理装置は、運転情報信号記憶手段17に記
憶されており、装置制御手段はこの情報を参照して運転
を進める上で、ウエハを使用できないフ゜ロセス処理装置に搬送
することはない。又この使用しないフ゜ロセス処理装置は、修
復、保守及び不具合原因を行うために続行しているウエハ処
理とは異なる運転(例えば、フ゜ラス゛マクリーニンク゛処理、カ゛スライン排
気処理、ウエハフ゜ッシャーの押上げ/押下げ動作)ができること
は、いうまでもない。 よって、本実施例では、以上の内容でもって、片肺運転
を実行することができる。
て、オヘ゜レータが運転開始前に表示手段13、入力手段14とを使
ってウエハの処理する順序を設定した情報である。この情報
は搬送経路(ステッフ゜)順搬送位置の情報が処理順序情報記
憶手段16に記憶される。 図３は、本発明の装置運転フロー図を示す。図３において、
オヘ゜レータは運転開始前に真空処理装置として構成されてい
るフ゜ロセス処理装置の内、故障等で運転に使用できない、又
は保守(フ゜ラス゛マクリーニンク゛も含む)の為使用しないフ゜ロセス処理
装置があるか否かを判断する(30)。使用できない(又は、
使用しない)フ゜ロセス処理装置があれば、運転情報信号発生
手段19を用いて表１に記述した状態になるように設定す
る(32)。この設定の方法の一つとして、 1)フ゜ロセス処理装置の装置電源の遮断信号を用いる場合は、
該フ゜ロセス処理装置の装置電源供給用電磁開閉器をOFFす
る。これにより、遮断信号が発生し、運転情報信号記憶手
段17に伝えられ、表１に記載された情報として記憶され
る。 2)フ゜ロセス処理装置の使用の有無を設定する運転切り替え
信号(例えば、切り替えスイッチ)を用いる場合は、該フ゜ロセス処
理装置に割り当てられた切り替えスイッチを有効又は無効の
状態に設定する。 これにより、切り替え信号が確定し、運
転情報信号記憶手段17に伝えられ、表１に記載された情
報として記憶される。 3)フ゜ロセス処理装置の使用の可/不可を示す運転制御信号と
して、オヘ゜レータが設定入力した入力情報を用いる場合は、オヘ
゜レータは、該フ゜ロセス処理装置に割り当てられた設定情報を入
力手段14より入力する。 これにより、設定情報が確定し、
運転情報信号記憶手段17に伝えられ、表１に記載された
情報として記憶される。装置接続構成を決定した後、自動
運転をスタートする(34)。尚、ウエハの処理する順序を設定する
手順は、図３のフローの中で行っても良いし、図４の自動運
転フローの中で行っても良いが、この手順は、本発明の請求
範囲でない為,省略している。 図４は、本発明の自動運転フロー図を示す。図４において、
自動運転を開始すると、処理すべきウエハを全て搬送したか
を判断し、搬送済であれば処理が終了し、搬送必要であれ
ば、(42)に進む(40)。自動運転中に異常等が発生し、運転
が一時中断した状態にあるか否かを判断する(42)。異常
が無ければ、運転を続行する(44へ)。 運転に使用できな
いフ゜ロセス処理装置がある場合は、該フ゜ロセス処理装置を使わ
ないで運転続行が可能か否かをオヘ゜レータが判断する(54)。
続行が不可能な場合は、オヘ゜レータが自動運転の中止設定を
行うことにより、装置は自動運転停止処理を行う(60)。続
行が可能な場合は、使用しないフ゜ロセス処理装置に対して図
４の(32)にて示した内容と同じ運転情報信号発生手段の
切り替え操作(56)を行うことにより、異常発生情報がリセッ
トされ(58)、自動運転が続行する。 正常な運転状態では、次のウエハの搬送経路を処理順序情報
記憶手段16に記憶されてある情報を読み出し(44)、運転
情報信号記憶手段17に記憶されてある情報と整合処理し
搬送順路を決定する(46)。決定した搬送順路はカセットより
搬出するウエハ毎に搬送順路テ゛ータを持っても良いし、処理順
序情報記憶手段16とは別の処理順序情報テーフ゛ルを作成し、
ウエハを搬送する際には、このテーフ゛ルを参照するようにして
も良い。搬送順路が決定すると大気ロホ゛ット8はカセット7よりウエ
ハを搬出し(48)、上記決定した搬送順路に登録されてある
フ゜ロセス処理装置に搬送し(50)、ウエハの処理を行う(52)。この
ウエハ搬送処理及びフ゜ロセス処理で異常が発生した場合は、異
常が発生した部分以外で処理続行可能な処理は終了さ
せ、異常発生したことを示す異常発生情報(図示は省略)
を記憶させた後、装置を一時中断状態にオヘ゜レータに中断し
たことを表示手段13に表示するとともに図示しないフ゛サ゛
ーを鳴らす。この後(42)に戻り、所定のフローで処理する。 以上に述べた内容でも分かるように故障等で運転に使用
できない、又は修復や保守(フ゜ラス゛マクリーニンク゛も含む)の為使
用しないフ゜ロセス処理装置は、運転情報信号記憶手段17に記
憶されており、装置制御手段はこの情報を参照して運転
を進める上で、ウエハを使用できないフ゜ロセス処理装置に搬送
することはない。又この使用しないフ゜ロセス処理装置は、修
復、保守及び不具合原因を行うために続行しているウエハ処
理とは異なる運転(例えば、フ゜ラス゛マクリーニンク゛処理、カ゛スライン排
気処理、ウエハフ゜ッシャーの押上げ/押下げ動作)ができること
は、いうまでもない。 よって、本実施例では、以上の内容でもって、片肺運転
を実行することができる。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、運
転途中に或フ゜ロセス処理装置が故障等で使用できなくなっ
た場合や、運転開始時点で修復や保守の必要のあるフ゜ロセス
処理装置がある状態で運転を開始する場合に、装置運転
続行の処置を施すことで運転続行が可能となるようにし
たことにより、フ゜ロセス処理を行う複数のフ゜ロセス処理装置と、
ウエハの搬送を行う搬送処理装置で構成された真空処理装
置では、複数ある処理室の内、どれかが故障等で使用でき
なくなった場合でも運転続行ができ、又運転開始時修復
や保守する必要のあるフ゜ロセス処理装置がある場合でも、正
常なフ゜ロセス処理装置を使って運転でき、装置の稼働率を向
上することができる。
転途中に或フ゜ロセス処理装置が故障等で使用できなくなっ
た場合や、運転開始時点で修復や保守の必要のあるフ゜ロセス
処理装置がある状態で運転を開始する場合に、装置運転
続行の処置を施すことで運転続行が可能となるようにし
たことにより、フ゜ロセス処理を行う複数のフ゜ロセス処理装置と、
ウエハの搬送を行う搬送処理装置で構成された真空処理装
置では、複数ある処理室の内、どれかが故障等で使用でき
なくなった場合でも運転続行ができ、又運転開始時修復
や保守する必要のあるフ゜ロセス処理装置がある場合でも、正
常なフ゜ロセス処理装置を使って運転でき、装置の稼働率を向
上することができる。
【図１】本発明の一実施例を説明する装置構成図であ
る。
る。
【図２】本発明の一実施例を説明する制御構成図であ
る。
る。
【図３】本発明の一実施例を説明する装置運転フロー図で
ある。
ある。
【図４】本発明の一実施例を説明する自動運転フロー図で
ある。
ある。
1…搬送処理装置、2-1,2,3,4…フ゜ロセス処理装置、3…ロート゛ロッ
ク室、4…アンロート゛ロック室、5…真空ロホ゛ット、6…大気搬送装置、7
…カセット、8…大気ロホ゛ット、11…主制御部、12…中央制御手段、
13…表示手段、14…入力手段、15…装置制御手段、16…処
理順序情報記憶手段、17…運転情報信号記憶手段、18-1,
2,3,4…フ゜ロセス処理装置、19-1,2,3,4…運転情報信号発生
手段。
ク室、4…アンロート゛ロック室、5…真空ロホ゛ット、6…大気搬送装置、7
…カセット、8…大気ロホ゛ット、11…主制御部、12…中央制御手段、
13…表示手段、14…入力手段、15…装置制御手段、16…処
理順序情報記憶手段、17…運転情報信号記憶手段、18-1,
2,3,4…フ゜ロセス処理装置、19-1,2,3,4…運転情報信号発生
手段。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田原 哲也 山口県下松市大字東豊井794番地 日立 テクノエンジニアリング株式会社笠戸事 業所内 (72)発明者 沖口 昌司 山口県下松市大字東豊井794番地 日立 テクノエンジニアリング株式会社笠戸事 業所内 (56)参考文献 特開 平９−50948（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−274746（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−181184（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68 G05B 19/418 H01L 21/02
Claims (5)
- 【請求項１】 プロセス処理を行う複数のプロセス処理
装置、ロードロック室及びアンロードロック室、並びに
前記複数のプロセス処理装置、ロードロック室及びアン
ロードロック室と接続して前記プロセス処理装置にウエ
ハを搬送する搬送処理装置からなり、前記プロセス処理
装置を用いて前記ウエハに真空処理を施す真空処理装置
において、 前記搬送処理装置は、前記複数のプロセス処理装置間に
おけるウエハの処理順序を記憶する処理順序情報記憶手
段と、 前記各プロセス処理装置が運転可状態または不可状態で
あることを示す運転情報信号を発生する運転情報信号発
生手段と、 前記運転情報信号を記憶する運転情報信号記憶手段と、 前記プロセス処理装置の運転を制御する装置制御手段を
備え、 該装置制御手段は、前記処理順序情報信号と運転開始直
後に取得した前記運転情報信号とを整合処理して運転不
可状態であるプロセス処理装置を除くプロセス処理装置
を用いて運転を開始する手段、及び運転開始後に新たに
異常が発生したときには前記処理順序情報信号と前記新
たに異常が発生した後で運転再開前に取得した前記運転
情報信号とを整合処理して運転不可状態であるプロセス
処理装置を除くプロセス処理装置を用いて運転を再開す
る手段を備えたことを特徴とする真空処理装置。 - 【請求項２】 請求項１の記載において、 前記運転情報信号として、プロセス処理装置の装置電源
の遮断信号を用いることを特徴とする真空処理装置。 - 【請求項３】 請求項１の記載において、 前記運転情報信号として、プロセス処理装置の使用の有
効/無効を設定する運転切り替え信号を用いることを特
徴とする真空処理装置。 - 【請求項４】 請求項１の記載において、 前記運転情報信号として、プロセス処理装置の使用の有
効/無効を示す運転制御信号を用いることを特徴とする
真空処理装置。 - 【請求項５】 プロセス処理を行う複数のプロセス処理
装置、ロードロック室及びアンロードロック室、並びに
前記複数のプロセス処理装置、ロードロック室及びアン
ロードロック室と接続して前記プロセス処理装置にウエ
ハを搬送する搬送処理装置からなり、前記プロセス処理
装置を用いて前記ウエハに真空処理を施す真空処理方法
において、 前記搬送処理装置は、前記複数のプロセス処理装置間に
おけるウエハの処理順序を記憶する処理順序情報記憶手
段と、 前記各プロセス処理装置が運転可状態または不可状態で
あることを示す運転情報信号を発生する運転情報信号発
生手段と、 前記運転情報信号を記憶する運転情報信号記憶手段と、 前記プロセス処理装置の運転を制御する装置制御手段を
備え、 該装置制御手段は、前記処理順序情報信号と運転開始直
後に取得した前記運転情報信号とを整合処理して運転不
可状態であるプロセス処理装置を除くプロセス処理装置
を用いて運転を開始する工程と、運転開始後に新たに異
常が発生したときには前記処理順序情報信号と前記新た
に異常が発生した後で運転再開前に取得した前記運転情
報信号とを整合処理して運転不可状態であるプロセス処
理装置を除くプロセス処理装置を用いて運転を再開する
工程とを有することを特徴とする真空処理方法。
Priority Applications (9)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24014796A JP3281815B2 (ja) | 1996-09-11 | 1996-09-11 | 真空処理装置及び真空処理方法 |
| TW086112516A TW466622B (en) | 1996-09-11 | 1997-09-01 | Operating method of vacuum processing device and vacuum processing device |
| US08/925,190 US6069096A (en) | 1996-09-11 | 1997-09-08 | Operating method of vacuum processing system and vacuum processing system |
| KR1019970046458A KR100493644B1 (ko) | 1996-09-11 | 1997-09-10 | 진공처리장치의운전방법 |
| US09/535,753 US6714832B1 (en) | 1996-09-11 | 2000-03-27 | Operating method of vacuum processing system and vacuum processing system |
| US10/140,184 US6885906B2 (en) | 1996-09-11 | 2002-05-08 | Operating method of vacuum processing system and vacuum processing system |
| US10/140,182 US6853872B2 (en) | 1996-09-11 | 2002-05-08 | Operating method of vacuum processing system and vacuum processing system |
| US10/140,120 US6941185B2 (en) | 1996-09-11 | 2002-05-08 | Operating method of vacuum processing system and vacuum processing system |
| KR1020020053750A KR100493643B1 (ko) | 1996-09-11 | 2002-09-06 | 진공처리장치의 운전방법 및 진공처리장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24014796A JP3281815B2 (ja) | 1996-09-11 | 1996-09-11 | 真空処理装置及び真空処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1092703A JPH1092703A (ja) | 1998-04-10 |
| JP3281815B2 true JP3281815B2 (ja) | 2002-05-13 |
Family
ID=17055200
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24014796A Expired - Lifetime JP3281815B2 (ja) | 1996-09-11 | 1996-09-11 | 真空処理装置及び真空処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3281815B2 (ja) |
-
1996
- 1996-09-11 JP JP24014796A patent/JP3281815B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1092703A (ja) | 1998-04-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW480646B (en) | Operation of vacuum treatment device and method for processing wafer | |
| JP3309997B2 (ja) | 複合処理装置 | |
| KR100493643B1 (ko) | 진공처리장치의 운전방법 및 진공처리장치 | |
| JPH1167869A (ja) | 真空処理装置の運転方法及び真空処理装置 | |
| KR20080087644A (ko) | 기판의 처리 방법, 기판 처리 장치 및 컴퓨터 판독 가능한기억 매체 | |
| JP3281815B2 (ja) | 真空処理装置及び真空処理方法 | |
| JPH10261554A (ja) | 真空処理装置及び真空処理方法 | |
| JP5107961B2 (ja) | 真空処理装置及び真空処理方法 | |
| JP2008311461A (ja) | 基板処理装置 | |
| JP3850710B2 (ja) | 真空処理装置の運転方法 | |
| JP4030509B2 (ja) | 真空処理方法及び真空処理装置 | |
| JP3538416B2 (ja) | 真空処理方法及び真空処理装置 | |
| JP4121480B2 (ja) | 真空処理方法及び真空処理装置 | |
| JP4252103B2 (ja) | 真空処理方法及び真空処理装置 | |
| KR100492267B1 (ko) | 진공 처리장치 및 진공처리방법 | |
| KR100492261B1 (ko) | 진공 처리장치 및 진공처리방법 | |
| JP2008193118A (ja) | 真空処理装置及び真空処理方法 | |
| JP5314789B2 (ja) | 真空処理装置及び真空処理方法 | |
| JP5562387B2 (ja) | 真空処理装置及び真空処理方法 | |
| JP3314038B2 (ja) | 複合処理装置 | |
| JP2008109134A (ja) | 真空処理装置及び真空処理方法 | |
| JPH10247679A (ja) | 半導体処理装置 | |
| JP2008166830A (ja) | 真空処理方法及び真空処理装置 | |
| JPH11282767A (ja) | データ処理装置およびその障害回復方法 | |
| JP2008153690A (ja) | 真空処理方法及び真空処理装置 |