JP5562387B2 - 真空処理装置及び真空処理方法 - Google Patents
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Description
1)2つ以上の処理室を処理経路として使って運転中に、処理室の内どれかが故障等で使用できなくなった場合でも運転続行でき、又、
2)修復する必要のあるプロセス処理装置がある場合は、正常な処理室のみを処理経路として使って運転でき、又
3)運転中に運転の一時中断、及び中断状態からの再開運転、及び運転中に運転を一時中断させ、中断させる迄にその運転の処理経路に使っていなかった処理室を処理経路として使った割り込み処理を実行し、その割り込み処理が終了した後は一時中断させていた処理を続行させる運転ができ、又
4)2つ以上の処理室を処理経路として使って運転中に、その運転の処理経路に使用していない処理室の機器に対する操作指示ができ、またその運転の処理経路に使用していない処理室の機器に対して操作指示をする場合や、通常の操作指示をする操作部と離れた場所にある操作部で行う場合、操作上の安全性確保できるようにすることにより、装置の稼働率を向上できる真空処理装置を提供することにある。
ウェハが真空処理される複数の真空処理室と、前記ウェハが収納される複数のカセットが載置され得るカセット載置手段と、前記複数の真空処理室と前記カセット載置手段との間に設けられた搬送手段と、該搬送手段を用いて前記カセット内から前記ウェハを前記真空処理室に搬送し、前記真空処理室で真空処理されたウェハを搬出する制御を実施する制御手段とを備える真空処理装置において、
前記制御手段は、少なくとも2つのカセットを使用して各カセットに収納されたウェハを各カセット毎に対応する真空処理室に搬送するとともに各カセット毎に割り付けられ各カセットとも共通な真空処理を施す第一の運転モード、または1つのカセット内に収納された複数のウェハを複数の真空処理室へ順次搬送するとともに前記順次搬送された複数のウェハに共通の真空処理を施す第二の運転モードのいずれか選択された一方の運転モードによる自動運転を行い、前記選択された一方の運転モードによる自動運転中に他方の運転モードによる自動運転を行う場合、真空処理中においてカセットからのウェハ取り出しを中止するウェハ供給停止、または前記カセット内の全てのウェハの真空処理が終了した後に前記ウェハの真空処理が終了するまでに設置されてあった他のカセット内のウェハの真空処理を中止するカセット供給停止の操作により前記選択された一方の運転モードによる自動運転実行中の自動運転を正常に終了させた後、選択された他方の運転モードによる自動運転を行う制御を実施する構成とする。
同一のプロセス処理条件(以下では、プロセス処理条件をレシピと称する)で処理するウェハが収納されたカセット内の最下段もしくは最上段のウェハから順番にカセットから抜き出し搬送処理装置に搬入しプロセス処理をするものである。ウェハは、プロセス処理装置2ー2でエッチング処理した後プロセス処理装置2ー1で後処理をして元のカセットに戻す経路(この経路Aという)と、プロセス処理装置2ー3でエッチング処理した後プロセス処理装置2ー4で後処理をして元のカセットに戻す経路(この経路Bという)の両方を使って処理する。
経路A:カセットC1→プロセス処理装置2ー2→プロセス処理装置2ー1→カセットC1
経路B:カセットC1→プロセス処理装置2ー3→プロセス処理装置2ー4→カセットC1
の組み合わせとしたが、
経路C:カセットC1→プロセス処理装置2ー2→プロセス処理装置2ー4→カセットC1
経路D:カセットC1→プロセス処理装置2ー3→プロセス処理装置2ー1→カセットC1
の組み合わせであっても良い。
のウェハ取り出しを中止する。)
イ)カセット供給停止:現在処理中のカセット内のウェハを全て処理終了した後、
その処理終了迄に設置されてあったカセットの処理を中止する。
ウェハを全て処理終了した後、その時迄に設置されてあったカセットの処理を中
止する。)
ウ)サイクル停止:現在実行中のプロセス処理、排気、リーク、搬送等の動作終了後
その場で停止する。
る。この場合は、運転の再開操作により一時停止した状態から運転を再開するこ
とができる。またその処理室のみ手動操作は可能である。
同一のプロセス処理条件(レシピ)で処理するウェハが収納されたカセット内の最下段もしくは最上段のウェハから順番にカセットから抜き出し搬送処理装置に搬入しプロセス処理をするものである。
ト1レシピ並列運転」の場合と同じである。
この運転では、C1カセットとC2カセットとのウェハ処理レシピが異なる事以外は前
記「2カセット1レシピ並列運転」と同じある。
この運転では、同一のプロセス処理条件(レシピ)で処理するウェハが収納されたカセット内の最下段もしくは最上段のウェハから順番にカセットから抜き出し搬送処理装置に搬入しプロセス処理をすることは前記「1カセット1レシピ並列運転」の場合と同じである。ところがウェハの処理経路は前記「1カセット1レシピ並列運転」の場合と異なる。
1)1カセット1レシピ並列運転
同一のプロセス処理条件(レシピ)で処理するウェハが収納されたカセット内の最下段もしくは最上段のウェハから順番にカセットから抜き出しプロセス処理装置に搬入しプロセス処理をするものである。ウェハは、プロセス処理装置2ー2でエッチング処理した後プロセス処理装置2ー1で後処理をして元のカセットに戻す経路(この経路Aという)と、プロセス処理装置2ー3でエッチング処理した後プロセス処理装置2ー4で後処理をして元のカセットに戻す経路(この経路Bという)の両方を使って処理する。
経路A:ロードロック室内カセット→プロセス処理装置2ー2→プロセス処理装置
2ー1→アンロードロック室内カセット
経路B:ロードロック室内カセット→ プロセス処理装置2ー3→プロセス処理装
置2ー4→アンロードロック室内カセット
又は、
経路C:ロードロック室内カセット→プロセス処理装置2ー2→プロセス処理装置
2ー4→アンロードロック室内カセット
経路D:ロードロック室内カセット→プロセス処理装置2ー3→プロセス処理装置
2ー1→アンロードロック室内カセット
の組み合わせであっても良い。また上記処理順序では処理したウェハはアンロードロック室内カセットに戻したがウェハを取り出したロードロック室内カセットに戻すこともできる。
同一のプロセス処理条件(以下では、プロセス処理条件をレシピと称する)で処理するウェハが収納されたカセット内の最下段もしくは最上段のウェハから順番にカセットから抜き出しプロセス処理装置に搬入しプロセス処理をするものである。
この運転では、ロードロック室内のカセットとアンロードロック室内のカセットとのウエハ処理レシピが異なる事以外は前記「2カセット1レシピ並列運転」と同じある。
この運転では、同一のプロセス処理条件(以下では、プロセス処理条件をレシピと称する)で処理するウェハが収納されたカセット内の最下段もしくは最上段のウェハから順番にカセットから抜き出しプロセス処理装置に搬入しプロセス処理をすることは前記「1カセット1レシピ並列運転」の場合と同じである。ところがウェハの処理経路は前記「1カセット1レシピ並列運転」の場合と異なる。本「1カセット1レシピ直列運転」では、ウエハはプロセス処理装置2ー2(もしくはプロセス処理装置2ー3)でエッチング処理した後、更にプロセス処理装置2ー3(もしくはプロセス処理装置2ー2)でエッチング処理した後、プロセス処理装置2ー1(もしくはプロセス処理装置2ー4)で後処理をして元のカセットに戻す経路(この経路Eという)で処理する。
1)プロセス処理装置の装置電源の遮断信号を用いる
2)プロセス処理装置の使用の有効/無効を設定する運転切り替え信号(例えば、切り替えスイッチ)を用いる
3)プロセス処理装置の使用の有効/無効を示す運転制御信号として、オペレータが設定入力した入力情報を用いる
ことができる。
1)プロセス処理装置の装置電源の遮断信号を用いる場合は、該プロセス処理装置の装置電源供給用電磁開閉器をOFFする。これにより、遮断信号が発生し、運転情報信号記憶手段17に伝えられ、図4に記載された情報として記憶される。
「2カセット2レシピ並列」、「1カセット1レシピ直列」のいずれかを選択
2)ウェハの搬送経路を設定する。
2ー1)パラレル処理の場合:
C1:E1→A1、C1:E2→A2
C2:E1→A1、C2:E2→A2
E1:プロセス処理装置2ー2、E2:プロセス処理装置2ー3
A1:プロセス処理装置2ー1、A2:プロセス処理装置2ー4
2ー2)シリーズ処理の場合:
C1:E1→E2→A1
C2:E2→E1→A2
3)プロセス処理室毎にプロセス処理条件(プロセスレシピともいう)を設定する。
C1:E1→A1及びE2→A2
C2:E1→A1及びE2→A2にて運転し、E2では(N)枚目のウェハがエッチング処理中でA1では(Nー1)枚目のウェハが後処理中の時に図Bに示すようにE2で異常が発生すると、エッチング処理は終了しA1の(Nー1)枚目のウエハは後処理終了後、アンロードロック室4に搬出しないで自動運転を一時中断する。E2で異常の発生した(N)枚目ウェハについては図7の76と78の処置を行う。その後E2とA2については図7の80の運転情報信号発生手段による切替操作として図6の説明で説明した1)または2)または3)の操作を行い、図4で示したようにプロセス処理装置3(E2)、プロセス処理装置4(A2)の運転情報を「無効:0」とする。この後異常発生情報をリセット(図7の80)し、自動運転を再開する。再開後は図CのようにA2の(Nー1)枚目のウェハはアンロードロック室4に搬送され、以降はE1とA1とを使って処理を続行する。
運転モードでウェハの搬送経路が
C1:E1→A1及びE2→A2
C2:E1→A1及びE2→A2にて運転できる。
C1:E1→A1及びE2→A2
C2:E1→A1及びE2→A2にて運転し、E2では(N)枚目のウェハがエッチング処理中でA1では(Nー1)枚目のウェハが後処理中の時に図Aに示すようにE2とA2に運転停止操作により停止指示が出されると、A1の(Nー1)枚目のウェハは後処理終了後、元のカセットに戻され、(N)枚目のウェハのエッチング処理が終了しA2に搬送され後処理終了後元のカセットに戻される。ところで、E2とA2は運転停止状態となっている為(N+1)枚目以降のウェハは、E1とA1とを使って運転が続行される。
C1:E1→A1及びE2→A2
C2:E1→A1及びE2→A2にて運転し、E2ではC1カセットの(N)枚目のウェハがエッチング処理中で、A1ではC1カセットの(Nー1)枚目のウェハが後処理中の時に図Aに示すようにE2とA2を使った割り込み特急処理を行う為に自動運転の中断操作を行う。E2とA2に運転停止操作により停止指示が出されると、A1の(Nー1)枚目のウェハは後処理終了後、元のカセットに戻され、(N)枚目のウェハはエッチング処理が終了しA2に搬送され後処理終了後元のカセットに戻される。
C1:E1→A1及びE2→A2
C2:E1→A1及びE2→A2にて運転できる。
びその処理室への操作を実行することができる。
Claims (6)
- ウェハが真空処理される複数の真空処理室と、前記ウェハが収納される複数のカセットが載置され得るカセット載置手段と、前記複数の真空処理室と前記カセット載置手段との間に設けられた搬送手段と、該搬送手段を用いて前記カセット内から前記ウェハを前記真空処理室に搬送し、前記真空処理室で真空処理されたウェハを搬出する制御を実施する制御手段とを備える真空処理装置において、
前記制御手段は、少なくとも2つのカセットを使用して各カセットに収納されたウェハを各カセット毎に対応する真空処理室に搬送するとともに各カセット毎に割り付けられ各カセットとも共通な真空処理を施す第一の運転モード、または1つのカセット内に収納された複数のウェハを複数の真空処理室へ順次搬送するとともに前記順次搬送された複数のウェハに共通の真空処理を施す第二の運転モードのいずれか選択された一方の運転モードによる自動運転を行い、
前記選択された一方の運転モードによる自動運転中に他方の運転モードによる自動運転を行う場合、真空処理中においてカセットからのウェハ取り出しを中止するウェハ供給停止、または前記カセット内の全てのウェハの真空処理が終了した後に前記ウェハの真空処理が終了するまでに設置されてあった他のカセット内のウェハの真空処理を中止するカセット供給停止の操作により前記選択された一方の運転モードによる自動運転実行中の自動運転を正常に終了させた後、選択された他方の運転モードによる自動運転を行う制御を実施することを特徴とする真空処理装置。 - ウェハが真空処理される複数の真空処理室と、前記ウェハが収納される複数のカセットが載置され得るカセット載置手段と、前記複数の真空処理室と前記カセット載置手段との間に設けられた搬送手段と、該搬送手段を用いて前記カセット内から前記ウェハを前記真空処理室に搬送し、前記真空処理室で真空処理されたウェハを搬出する制御を実施する制御手段とを備える真空処理装置において、
前記制御手段は、少なくとも2つのカセットを使用して各カセットに収納されたウェハを各カセット毎に対応する真空処理室に搬送するとともに各カセット毎に割り付けられ各カセット毎に異なる真空処理を施す第一の運転モード、または1つのカセット内に収納された複数のウェハを複数の真空処理室へ順次搬送するとともに前記順次搬送された複数のウェハに共通の真空処理を施す第二の運転モードのいずれか選択された一方の運転モードによる自動運転を行い、
前記選択された一方の運転モードによる自動運転中に他方の運転モードによる自動運転を行う場合、真空処理中においてカセットからのウェハ取り出しを中止するウェハ供給停止、または前記カセット内の全てのウェハの真空処理が終了した後に前記ウェハの真空処理が終了するまでに設置されてあった他のカセット内のウェハの真空処理を中止するカセット供給停止の操作により前記選択された一方の運転モードによる自動運転実行中の自動運転を正常に終了させた後、選択された他方の運転モードによる自動運転を行う制御を実施することを特徴とする真空処理装置。 - ウェハが真空処理される複数の真空処理室と、前記ウェハが収納される複数のカセットが載置され得るカセット載置手段と、前記複数の真空処理室と前記カセット載置手段との間に設けられた搬送手段と、該搬送手段を用いて前記カセット内から前記ウェハを前記真空処理室に搬送し、前記真空処理室で真空処理されたウェハを搬出する制御を実施する制御手段とを備える真空処理装置において、
前記制御手段は、少なくとも2つのカセットを使用して各カセットに収納されたウェハを各カセット毎に対応する真空処理室に搬送するとともに各カセット毎に割り付けられ各カセット毎に異なる真空処理を施す第一の運転モード、または少なくとも2つのカセットを使用して各カセットに収納されたウェハを各カセット毎に対応する真空処理室に搬送するとともに各カセット毎に割り付けられ各カセットとも共通な真空処理を施す第二の運転モードのいずれか選択された一方の運転モードによる自動運転を行い、
前記選択された一方の運転モードによる自動運転中に他方の運転モードによる自動運転を行う場合、真空処理中においてカセットからのウェハ取り出しを中止するウェハ供給停止、または前記カセット内の全てのウェハの真空処理が終了した後に前記ウェハの真空処理が終了するまでに設置されてあった他のカセット内のウェハの真空処理を中止するカセット供給停止の操作により前記選択された一方の運転モードによる自動運転実行中の自動運転を正常に終了させた後、選択された他方の運転モードによる自動運転を行う制御を実施することを特徴とする真空処理装置。 - ウェハが真空処理される複数の真空処理室と、前記ウェハが収納される複数のカセットが載置され得るカセット載置手段とを備える真空処理装置を用いて真空処理を行う真空処理方法において、
少なくとも2つのカセットを使用して各カセットに収納されたウェハを各カセット毎に対応する真空処理室に搬送するとともに各カセット毎に割り付けられ各カセットとも共通な真空処理を施す第一の運転モード、または1つのカセット内に収納された複数のウェハを複数の真空処理室へ順次搬送するとともに前記順次搬送された複数のウェハに共通の真空処理を施す第二の運転モードによる自動運転を行い、
前記一方の運転モードによる自動運転中に他方の運転モードによる自動運転を行う場合、真空処理中においてカセットからのウェハ取り出しを中止するウェハ供給停止、または前記カセット内の全てのウェハの真空処理が終了した後に前記ウェハの真空処理が終了するまでに設置されてあった他のカセット内のウェハの真空処理を中止するカセット供給停止により前記一方の運転モードによる自動運転実行中の自動運転を正常に終了させた後、他方の運転モードによる自動運転を行うことを特徴とする真空処理方法。 - ウェハが真空処理される複数の真空処理室と、前記ウェハが収納される複数のカセットが載置され得るカセット載置手段とを備える真空処理装置を用いて真空処理を行う真空処理方法において、
少なくとも2つのカセットを使用して各カセットに収納されたウェハを各カセット毎に対応する真空処理室に搬送するとともに各カセット毎に割り付けられ各カセット毎に異なる真空処理を施す第一の運転モード、または1つのカセット内に収納された複数のウェハを複数の真空処理室へ順次搬送するとともに前記順次搬送された複数のウェハに共通の真空処理を施す第二の運転モードによる自動運転を行い、
前記一方の運転モードによる自動運転中に他方の運転モードによる自動運転を行う場合、真空処理中においてカセットからのウェハ取り出しを中止するウェハ供給停止、または前記カセット内の全てのウェハの真空処理が終了した後に前記ウェハの真空処理が終了するまでに設置されてあった他のカセット内のウェハの真空処理を中止するカセット供給停止により前記一方の運転モードによる自動運転実行中の自動運転を正常に終了させた後、他方の運転モードによる自動運転を行うことを特徴とする真空処理方法。 - ウェハが真空処理される複数の真空処理室と、前記ウェハが収納される複数のカセットが載置され得るカセット載置手段とを備える真空処理装置を用いて真空処理を行う真空処理方法において、
少なくとも2つのカセットを使用して各カセットに収納されたウェハを各カセット毎に対応する真空処理室に搬送するとともに各カセット毎に割り付けられ各カセット毎に異なる真空処理を施す第一の運転モード、または少なくとも2つのカセットを使用して各カセットに収納されたウェハを各カセット毎に対応する真空処理室に搬送するとともに各カセット毎に割り付けられ各カセットとも共通な真空処理を施す第二の運転モードによる自動運転を行い、
前記一方の運転モードによる自動運転中に他方の運転モードによる自動運転を行う場合、真空処理中においてカセットからのウェハ取り出しを中止するウェハ供給停止、または前記カセット内の全てのウェハの真空処理が終了した後に前記ウェハの真空処理が終了するまでに設置されてあった他のカセット内のウェハの真空処理を中止するカセット供給停止により前記一方の運転モードによる自動運転実行中の自動運転を正常に終了させた後、他方の運転モードによる自動運転を行うことを特徴とする真空処理方法。
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