JP3319993B2 - 被処理体のデッドロック判定方法、被処理体のデッドロック回避方法及び処理装置 - Google Patents

被処理体のデッドロック判定方法、被処理体のデッドロック回避方法及び処理装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被処理体のデッド
ロック判定方法、被処理体のデッドロック回避方法及び
処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、テレビ、ステレオ等の家電製品
や、パソコン等の情報機器等の電気製品が多種多様化
し、それぞれの電気製品は多品種少量生産の時代に入っ
ている。これに伴って、これらの電気製品に用いられる
半導体製品は高機能品から低機能品まで多岐に渡り、多
種多様化している。
【０００３】さて、半導体製品の製造工程には例えば半
導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称す。）の処理工
程、検査工程、及び組立工程等の多数の工程がある。例
えば、ウエハの処理工程の場合には、ウエハ表面への導
電膜や絶縁膜等の薄膜を形成する成膜工程や、それぞれ
の薄膜を所定形状に即して開口するエッチング工程や、
開口部の埋め込み工程等の種々の処理工程がある。そし
て、これらの処理には例えばマルチチャンバー処理装置
（以下、単に「処理装置」と称す。）が広く用いられて
いる。この処理装置は、処理内容を異にする複数の処理
室を備え、一台の装置で例えば成膜処理やエッチング処
理等の複数の処理を連続的に行うようにしたものであ
る。
【０００４】ところが、半導体製品は益々小型化してそ
の集積度が飛躍的に高まり、配線構造が微細化及び多層
化し、ウエハに対する処理工程が多くなってきている。
そのため、処理のスループットを如何に高めるかが極め
て重要である。この点、上記処理装置は一台の装置で複
数の処理を高スループットで行うことができ、汎用され
ている。しかも、処理装置は処理数の増加に伴って可能
な限り処理室の数も多くしている。しかしながら、半導
体製品の中には処理数の多いものから少ないものまで様
々である。従って、半導体製品の種類によって処理装置
の全ての処理室を使用することもあれば処理室の一部を
使用しないこともあり、また、同一の処理室を重複使用
することもある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
処理装置の場合には、ウエハをその種類の即して種類毎
に一種類ずつ順番に処理するようにしていたため、ウエ
ハの種類によっては処理室に遊びを生じ、処理室全体を
効率的に使用できないことが多かった。しかも、近年の
ように半導体製品が多種多様化してくると、ウエハをそ
の種類毎に順番に処理していたのでは処理室が生じるこ
とが多く、全体の処理室の利用効率が低下し、ひいては
スループットが著しく低下するという課題があった。
【０００６】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、処理内容を異にする複数種の被処理体を極
力並行して処理し、複数の処理室を最大限に使用してス
ループットを高めることができる、多品種少量生産に適
した被処理体のデッドロック判定方法、被処理体のデッ
ドロック回避方法及び処理装置を提供することを目的と
している。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
の被処理体のデッドロック判定方法は、 処理内容を異
にする複数種の被処理体を互いに異なった搬送経路に従
って搬送し、それぞれの搬送経路上にある複数の処理室
でそれぞれの被処理体に所定の処理を施す際に、種類を
異にする被処理体がそれぞれの搬送経路上にある同一処
理室においてデッドロックが発生するのを判定する方法
であって、上記複数種の搬送経路をそれぞれ設定した
後、それぞれの搬送経路上に位置する各処理室がその搬
送経路上で他の処理室に対して上流位置にあるか下流位
置にあるかを上記複数種の搬送経路について判定し、上
記複数種の搬送路上にある同一処理室が他の処理室に対
して上流位置及び下流位置の双方に該当する時に上記被
処理体がデッドロックすると判定することを特徴とする
ものである。
【０００８】また、本発明の請求項２に記載の被処理体
のデッドロック回避方法は、処理内容を異にする複数種
の被処理体を互いに異なった搬送経路に従って搬送し、
それぞれの搬送経路上にある複数の処理室でそれぞれの
被処理体に所定の処理を施す際に、種類を異にする被処
理体がそれぞれの搬送経路上にある同一処理室において
デッドロックが発生するのを回避する方法であって、上
記複数種の搬送経路をそれぞれ設定した後、それぞれの
搬送経路上に位置する各処理室がその搬送経路上で他の
処理室に対して上流位置にあるか下流位置にあるかを上
記複数種の搬送経路について判定し、上記複数種の搬送
路上にある同一処理室が他の処理室に対して上流位置及
び下流位置の双方に該当すると判定する時に上記被処理
体がデッドロックすると判定し、上記複数種の搬送経路
においてデッドロックが発生すると判定した場合にはデ
ッドロックを発生させる搬送経路の被処理体の搬送を保
留してデッドロックを回避することを特徴とするもので
ある。また、本発明の請求項３に記載の被処理体のデッ
ドロック回避方法は、請求項２に記載の発明において、
上記複数種の搬送経路においてデッドロックが発生しな
いと判定した時には、搬送経路を異にする被処理体をそ
れぞれ並行して搬送することを特徴とするものである。
【０００９】また、本発明の請求項４に記載の被処理体
のデッドロック回避方法は、処理内容を異にする複数種
の被処理体を互いに異なった搬送経路に従って搬送し、
それぞれの搬送経路上にある複数の処理室でそれぞれの
被処理体に所定の処理を施す際に、種類を異にする被処
理体がそれぞれの搬送経路上にある同一処理室において
デッドロックが発生するのを回避する方法であって、上
記複数種の搬送経路について、それぞれの搬送経路上に
位置する各処理室がその搬送経路上で他の処理室に対し
て上流位置にあるか下流位置にあるかを示す上流／下流
テーブルが登録される上流／下流テーブルメモリを初期
化する工程と、上記搬送経路の入力の有無を確認する工
程と、上記搬送経路の入力がある時に行う第１の処理工
程と、上記搬送経路の入力がない時に行う第２の処理工
程とを備え、第１の処理工程は、上記上流／下流テーブ
ルメモリに登録されている搬送経路及び上記入力された
搬送経路のそれぞれの搬送経路上に位置する各処理室が
その搬送経路上で他の処理室に対して上流位置にあるか
下流位置にあるかを上記双方の搬送経路について判定す
る工程と、上記双方の搬送経路上に位置する同一処理室
が他の処理室に対して上流位置及び下流位置の双方に該
当する時に上記被処理体がデッドロックすると判定する
工程と、上記双方の搬送経路上においてデッドロックが
発生しないと判定した場合には上記入力された搬送経路
を上記上流／下流テーブルメモリに登録する工程と、上
記双方の搬送経路上においてデッドロックが発生すると
判定した場合には上記入力された搬送経路を搬送保留経
路メモリに登録してデッドロックを回避する工程とを備
え、第２の処理工程は、上記上流／下流テーブルメモリ
に登録された搬送経路の被処理体をその搬送経路の各処
理室間で搬送する工程を備えたことを特徴とするもので
ある。また、本発明の請求項５に記載の被処理体のデッ
ドロック回避方法は、請求項４に記載の発明において、
上記上流／下流テーブルメモリに登録されている搬送経
路の上流／下流テーブルをその搬送経路における被処理
体の搬送の進捗状況に応じて更新する工程と、上記搬送
保留メモリ登録されている搬送経路の被処理体と上記上
流／下流テーブルメモリに更新登録された搬送経路の被
処理体とがデッドロックを発生させるか否かを判定する
工程と、上記双方の搬送経路上においてデ ッドロックが
発生しないと判定した場合には上記搬送経路保留メモリ
に登録さている搬送経路を上記搬送経路保留メモリから
削除すると共に上記上流／下流テーブルメモリに登録し
て上流／下流テーブルを更新する工程とを有することを
特徴とするものである。
【００１０】また、本発明の請求項６に記載の処理装置
は、複数種の被処理体を一枚ずつ搬送する搬送手段と、
この搬送手段を介して搬送される上記被処理体に対して
順次所定の処理を施す複数の処理室と、上記複数種の被
処理体の搬送経路をそれぞれ入力する搬送経路入力手段
と、この搬送経路入力手段を介して入力された搬送経路
に基づいて上記搬送手段を制御する制御手段とを備え、
処理内容を異にする複数種の被処理体を互いに異なった
搬送経路に従って搬送し、それぞれの搬送経路上にある
複数の処理室でそれぞれの被処理体に所定の処理を施す
際に、上記搬送手段を介して種類を異にする被処理体が
それぞれの搬送経路上にある同一処理室においてデッド
ロックが発生するのを判定する手段を備えた処理装置で
あって、上記制御手段は、デッドロックの発生を判定す
るプログラムを記憶するプログラムメモリと、上記入力
された搬送経路上に位置する各処理室がその搬送経路上
で他の処理室に対して上流位置にあるか下流位置にある
かを判定しながら上流／下流テーブルを作成するテーブ
ル作成手段と、上記プログラムに従って、上記上流／下
流テーブルを基に上記複数種の搬送経路上に位置する各
処理室がその搬送経路上で他の処理室に対して上流位置
にあるか下流位置にあるかを上記複数種の搬送経路につ
いて判定し且つ上記複数種の搬送経路上にある同一処理
室が他の処理室に対して上流位置及び下流位置の双方に
該当する時に上記被処理体がデッドロックすると判定す
るデッドロック判定手段とを有することを特徴とするも
のである。
【００１１】また、本発明の請求項７に記載の処理装置
は、複数種の被処理体を一枚ずつ搬送する搬送手段と、
この搬送手段を介して搬送される上記被処理体に対して
順次所定の処理を施す複数の処理室と、上記複数種の被
処理体の搬送経路をそれぞれ入力する搬送経路入力手段
と、この搬送経路入力手段を介して入力された搬送経路
に基づいて上記搬送手段を制御する制御手段とを備え、
処理内容を異にする複数種の被処理体を互いに異なった
搬送経路に従って搬送し、それぞれの搬送経路上にある
複数の処理室でそれぞれの被処理体に所定の処理を施す
際に、上記搬送手段を介して種類を異にする被処理体が
それぞれの搬送経路上にある同一処理室においてデッド
ロックが発生するのを回避する手段を備えた処理装置で
あって、上記制御手段は、デッドロックの発生を判定す
るプログラムを記憶するプログラムメモリと、上記入力
された搬送経路上に位置する各処理室がその搬送経路上
で他の処理室に対して上流位置にあるか下流位置にある
かを判定しながら上流／下流テーブルを作成するテーブ
ル作成手段と、上記プログラムに従って、上記上流／下
流テーブルを基に上記複数種の搬送経路上に位置する各
処理室がその搬送経路上で他の処理室に対して上流位置
にあるか下流位置にあるかを上記複数種の搬送経路につ
いて判定し且つ上記複数種の搬送経路上にある同一処理
室が他の処理室に対して上流位置及び下流位置の双方に
該当する時に上記被処理体がデッドロックすると判定す
るデッドロック判定手段と、デッドロックが発生すると
判定した場合にはデッドロックを発生させる搬送経路を
搬送保留経路メモリに登録してその被処理体の搬送を保
留してデッドロックを回避する搬送保留経路登録手段を
有することを特徴とするものである。
【００１２】また、本発明の請求項８に記載の処理装置
は、複数種の被処理体を一枚ずつ搬送する搬送手段と、
この搬送手段を介して搬送される上記被処理体に対して
順次所定の処理を施す複数の処理室と、上記複数種の被
処理体の搬送経路をそれぞれ入力する搬送経路入力手段
と、この搬送経路入力手段を介して入力された搬送経路
に基づいて上記搬送手段を制御する制御手段とを備え、
処理内容を異にする複数種の被処理体を互いに異なった
搬送経路に従って搬送し、それぞれの搬送経路上にある
複数の処理室でそれぞれの被処理体に所定の処理を施す
際に、上記搬送手段を介して種類を異にする被処理体が
それぞれの搬送経路上にある同一処理室においてデッド
ロックが発生するのを回避する手段を備えた処理装置で
あって、上記制御手段は、デッドロックの発生を判定す
るプログラムを記憶するプログラムメモリと、上記入力
された搬送経路上に位置する各処理室がその搬送経路上
で他の処理室に対して上流位置にあるか下流位置にある
かを判定しながら上流／下流テーブルを作成するテーブ
ル作成手段と、上記上流／下流テーブルメモリを初期化
する手段と、上記搬送経路の入力の有無を確認する手段
と、上記プログラムに従って、上記上流／下流テーブル
メモリに登録されている搬送経路及び上記搬送経路入力
手段を介して入力された搬送経路のそれぞれの搬送経路
上に位置する各処理室がその搬送経路上で他の処理室に
対して上流位置にあるか下流位置にあるかを上記双方の
搬送経路について判定し且つ上記双方の搬送経路上に位
置する同一処理室が他の処理室に対して上流位置及び下
流位置の双方に該当する時に上記被処理体がデッドロッ
クすると判定するデッドロック判定手段と、デッドロッ
クが発生すると判定した場合には上記入力された搬送経
路を搬送保留経路メモリに登録してその被処理体の搬送
を保留してデッドロックを回避する搬送保留経路登録手
段とを有し、デッドロックが発生しないと判定した場合
には上記入力された搬送経路を上記上流／下流テーブル
メモリに登録することを特徴とするものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、図１〜図８に示す実施形態
に基づいて本発明を説明する。まず、本実施形態のマル
チチャンバー処理装置（以下、単に「処理装置」と称
す。）は、例えば図１に示すように、成膜処理やエッチ
ング処理等の４種類の処理を連続的に行う処理室１０
と、これらの処理室１０に対してゲートバルブ（図示せ
ず）を介して連通、遮断可能にそれぞれ連結された六角
形状の搬送室２０と、この搬送室２０に対してゲートバ
ルブ（図示せず）を介して連通、遮断可能に連結され且
つ処理内容を異にする２種類のウエハＷを収納する左右
のウエハ収納室３０とを備え、これらは制御装置４０の
制御下で駆動するようにしてある。尚、以下では、４室
の処理室１０及び左右のウエハ収納室３０は必要に応じ
て第１〜第４処理室１１〜１４及び第１、第２ウエハ収
納室３１、３２と称し、各処理室１０及びウエハ収納室
３０を区別して説明する。
【００１４】また、第１〜第４処理室１１〜１４内には
それぞれウエハＷを載置するサセプタ１１Ａ〜１４Ａが
配設され、各サセプタ１１Ａ〜１４Ａ上で所定の処理を
実施するようにしてある。また、搬送室２０内にはウエ
ハ搬送装置２１及び位置合わせ装置２２が配設され、ウ
エハ搬送装置２１のハンドリングアームを用いて第１、
第２ウエハ収納室３１、３２からウエハＷを一枚ずつ搬
送し、搬送途中で位置合わせ装置２２においてウエハＷ
の中心位置を補正すると共にその向きを所定の向きに合
わせした後、ウエハＷを各処理室１０へ搬送するように
してある。ウエハ搬送装置２１は、ウエハＷの搬送経路
に従って各処理室１０へウエハＷを順次搬送し、最終処
理を終えたウエハＷをその処理室１０から元のウエハ収
納室３０内の元の位置へ搬送するようにしてある。
【００１５】また、本実施形態の処理装置は、図２に示
す制御装置４０の制御下で、図３に示すフローチャート
に従って駆動し、例えば処理内容を異にする２種類のウ
エハＷを互いに異なった２種類の搬送経路（例えば図４
参照）に従って搬送し、それぞれの搬送経路上にある４
室の処理室１０でそれぞれのウエハＷに所定の処理を施
す際に、２種類のウエハＷがそれぞれの搬送経路上にあ
る同一処理室１０においてデッドロックが発生するのを
回避するようにしてある。本発明においてデッドロック
とは、互いに搬送経路を異にする複数種類（本実施形態
では２種類）のウエハＷを同時に並行処理した場合に各
搬送経路に従って搬送されるウエハＷが同一の処理室１
０でぶつかり、それぞれのウエハＷの処理ができなくな
る状態を云う。そして、本実施形態の制御装置４０に
は、例えば図２に示すようにウエハＷの搬送経路を入力
する、例えばキーボード、表示装置の表示パネルに表示
された操作パネル等からなる搬送経路入力装置５０が接
続され、この搬送経路入力装置５０により入力されたデ
ータを制御装置４０において加工し、処理時にウエハＷ
がデッドロックを生じるか否かを事前に判定するように
してある。尚、図４において、Ｃはウエハ収納室３０、
ＯＲＴは位置合わせ装置２２、Ｐ１は第１処理室、Ｐ２
は第２処理室、Ｐ３は第３処理室、Ｐ４は第４処理室で
ある。
【００１６】本実施形態の制御装置４０は、図２に示す
ように、演算処理装置４１と記憶装置４２とを有し、搬
送経路入力装置５０から入力された例えば２種類の搬送
経路に基づいてウエハ搬送装置２１を駆動させて２種類
のウエハＷをそれぞれの搬送経路に従って搬送するよう
にしてある。演算処理装置４１は後述するデッドロック
回避プログラムに従って２種類のウエハＷの搬送経路上
においてデッドロックするか否かを判定するようにして
ある。また、記憶装置４２はウエハＷのデッドロック回
避プログラムを記憶するプログラムメモリ４２Ａと、搬
送経路入力装置５０から入力された２種類のウエハＷの
搬送経路を記憶する搬送経路メモリ４２Ｂと、後述する
上流／下流テーブルを記憶する上流／下流テーブルメモ
リ４２Ｃと、２種類の搬送経路間でウエハＷがデッドロ
ックを生じる場合にはデッドロックを生じるウエハＷの
搬送経路を搬送保留経路として記憶する搬送保留経路メ
モリ４２Ｄとを有し、２種類の搬送経路が入力される
と、デッドロックの有無とは無関係に各搬送経路を演算
処理装置４１を介して搬送経路メモリ４２Ｂに設定登録
するようにしてある。
【００１７】上記演算処理装置４１は、図２に示すよう
に、デッドロック回避プログラムに従って２種類の搬送
経路上に位置する各処理室１０が互いに上流位置にある
か下流位置にあるかを判定し且つ全搬送経路における各
処理室の上流、下流関係を例えば表１に示す上流／下流
テーブルとして作成するテーブル作成・更新手段４１Ａ
と、このテーブル作成・更新手段４１Ａによる上流／下
流テーブルの作成過程で同一処理室１０が上流位置及び
下流位置の双方に該当する時にデッドロックと判定する
デッドロック判定手段４１Ｂとを有し、デッドロックを
生じない場合にはテーブル作成・更新手段４１Ａにおい
て上流／下流テーブルを作成し、そのテーブルをテーブ
ル作成・更新手段４１Ａを介して上流／下流テーブルメ
モリ４２Ｃに設定登録し、また、デッドロックを生じる
場合には上流／下流テーブルを作成することなく、デッ
ドロックを生じる搬送経路を搬送保留経路メモリ４２Ｄ
に設定登録するようにしてある。また、上記演算処理装
置４１は搬送開始指示手段４１Ｃを有し、搬送開始指示
手段４１Ｃがデッドロック判定手段４１Ｂから受信した
デッドロックを生じない旨の信号に基づいて搬送開始指
示信号をウエハ搬送装置２１へ送信し、ウエハＷを搬送
するようにしてある。
【００１８】更に、上記演算処理装置４１は、図２に示
すように、搬送保留経路登録手段４１Ｄ、ウエハ搬送状
況監視手段４１Ｅ及び搬送保留経路確認手段４１Ｆ及び
搬送保留経路更新手段４１Ｇを有している。そして、デ
ッドロックを生じる場合には、搬送保留経路登録手段４
１Ｄはデッドロック判定手段４１Ｂからのデッドロック
信号に基づいてデッドロックを生じる搬送経路を搬送保
留経路メモリ４２Ｄに設定登録し、ウエハ搬送状況監視
手段４１Ｅは搬送保留経路登録手段４１Ｄからの信号に
基づいて装置内でのウエハＷの搬送状況を逐次監視し、
上流／下流テーブル作成・更新手段４１Ａを介して上流
／下流テーブルメモリ４２Ｃの内容を逐次更新するよう
にしてある。これと並行して搬送保留経路確認手段４１
Ｆはウエハ搬送状況監視手段４１Ｅからの信号に基づい
て搬送保留経路メモリ４２Ｄの内容を確認し、その結果
を上流／下流テーブル作成・更新手段４１Ａに送信する
ようにしてある。そして、上流／下流テーブル作成・更
新手段４１Ａ及びデッドロック判定手段４１Ｂは搬送保
留経路確認手段４１Ｆからの信号に基づいて搬送保留経
路におけるウエハと搬送中のウエハとがデッドロックを
生じるか否かを常に監視するようにしてある。そして、
デッドロック判定手段４１Ｂにおいて搬送保留経路のウ
エハと現在搬送中のウエハとの間でデッドロックを生じ
なくなると判定した時点で、上流／下流テーブル作成・
更新手段４１Ａは現在実行中の搬送経路と搬送保留経路
とを合わせた上流／下流テーブルを作成し、上流／下流
テーブルメモリ４２Ｃの内容を更新し、また、搬送保留
経路更新手段４１Ｇはデッドロック判定手段４１Ｂの判
定に基づいて搬送保留経路メモリ４２Ｄのデッドロック
を生じなくなった搬送経路を削除してその内容を更新す
ると共に搬送開始指示手段４１Ｃを介してウエハ搬送装
置２１へ搬送開始指示信号を送信し、保留になっていた
搬送経路のウエハＷの搬送を開始するようにしてある。
【００１９】次に、本実施形態の処理装置を用いた本発
明のデッドロック回避方法の一実施態様を図３のフロー
チャート及び図４の搬送経路を参照しながら説明する。
尚、図４の（ａ）は搬送経路（ａ）を、（ｂ）は搬送経
路（ｂ）を示している。まず、装置の起動時に制御装置
４０の演算処理装置４１は、上流／下流テーブルメモリ
４２Ｃ及び搬送保留経路メモリ４２Ｄを初期化する（Ｓ
１）。次に、ウエハの搬送経路の入力があるか否かの確
認があり（Ｓ２）、入力すべき搬送経路がある場合には
例えばカセット毎にウエハＷの搬送経路（ａ）を搬送経
路入力装置５０を用いて入力する（Ｓ３）。搬送経路
（ａ）を入力すると制御装置４０の演算処理装置４１を
介して搬送経路（ａ）を搬送経路メモリ４２Ｂに設定登
録し（Ｓ４）、ここでその搬送経路（ａ）を記憶する。
次いで、上流／下流テーブル作成・更新手段４１Ａにお
いて搬送経路（ａ）について上流／下流関係を比較、判
定した後（Ｓ５）、この搬送経路（ａ）においてデッド
ロックがあるか否かをデッドロック判定手段４１Ｂにお
いて判定する（Ｓ６）。しかし、この段階では一つの搬
送経路（ａ）のみが入力されており、装置内ではウエハ
Ｗが流れていないため、一つの搬送経路（ａ）ではデッ
ドロックを生じることがなく、上流／下流テーブル作成
・更新手段４１Ａを介して搬送経路（ａ）の上流／下流
テーブルを表１に示す通り作成し、そのテーブルを上流
／下流テーブルメモリ４２Ｃに登録した後（Ｓ７）、デ
ッドロック判定手段４１Ｂからの信号に基づいて搬送開
始指示手段４１Ｃからウエハ搬送装置２１へ搬送開始指
示信号を送信し、搬送経路（ａ）のウエハＷの搬送を開
始する（Ｓ８）。この時点では複数の搬送経路が入力さ
れている場合には、入力された全搬送経路についてのデ
ッドロックの有無の確認があり（Ｓ９）、全搬送経路に
ついてのデッドロックの有無の確認が終了していなけれ
ばステップＳ５へ戻り、ステップＳ５からステップＳ９
までを繰り返して全搬送経路間でのデッドロックの有無
を順次確認する。
【００２０】
【表１】
【００２１】入力された全搬送経路についてデッドロッ
クの有無の確認が終了した場合には、次に入力すべき搬
送経路がある場合には、搬送経路入力手段５０を用いて
例えば搬送経路（ｂ）を入力する。この場合には、ステ
ップＳ２からステップＳ９までを繰り返す。即ち、搬送
経路（ｂ）を搬送経路（ａ）の場合と同様の手順で入力
し（Ｓ３）、演算処理装置４１を介して搬送経路（ｂ）
を搬送経路メモリ４２Ｂに設定登録し（Ｓ４）、ここで
その搬送経路（ｂ）を記憶する。次いで、各搬送経路
（ａ）、（ｂ）における各処理室の上流／下流関係を比
較、判定し（Ｓ５）、デッドロックを生じるか否かにつ
いて判定する（Ｓ６）。この時、仮に両搬送経路
（ａ）、（ｂ）を合わせた上流／下流テーブルを作成す
ると表２に示す通りになるが、ステップＳ６での比較、
判定の結果、表２中＊で示すように搬送経路（ａ）では
Ｐ１はＰ３の下流であったにも拘らず、搬送経路（ｂ）
では上流になるため、両搬送経路（ａ）、（ｂ）間でデ
ッドロックが起こると判定する（Ｓ６）。すると、両搬
送経路（ａ）、（ｂ）を合わせた表２に示す上流／下流
テーブルを作成することなく、デッドロック判定手段４
１Ｂからの信号に基づいて搬送保留経路登録手段４１Ｄ
が作動して搬送保留経路メモリ４２Ｄに搬送経路（ｂ）
を設定登録し（Ｓ１０）、そのウエハの搬送を保留す
る。この段階では上流／下流テーブルは表１に示したま
まである。
【００２２】
【表２】
【００２３】一方、ステップＳ２において、全ての搬送
経路を入力し、次に入力すべき搬送経路がないことを確
認すると、ウエハ搬送状況監視手段４１Ｅにより装置内
ではウエハ搬送中であるか否かを確認し（Ｓ１１）、ウ
エハの搬送を確認すると、そのウエハの搬送状況をウエ
ハ搬送状況監視手段４１Ｅにより監視する（Ｓ１２）。
そして、搬送経路（ａ）のウエハが逐次搬送、処理さ
れ、最後のウエハが処理室Ｐ１から搬出されたか否かを
ウエハ搬送状況監視手段４１Ｅにより確認し（Ｓ１
３）、最後のウエハが処理室Ｐ１から搬出されたことを
確認すると、搬送保留経路確認手段４１Ｆは搬送保留経
路メモリ４２Ｄの内容を確認する。そして、上流／下流
テーブル作成・更新手段４１Ａを介して表３に示す上流
／下流テーブルを作成し、上流／下流テーブルメモリ４
２Ｃの内容を更新する（Ｓ１４）。
【００２４】
【表３】
【００２５】搬送経路（ａ）の最後のウエハが処理室Ｐ
１から搬出されると、搬送保留経路確認手段４１Ｆを介
して搬送保留経路メモリ４２Ｄで記憶されていた搬送経
路（ｂ）を呼び出し、上流／下流テーブル作成・更新手
段４１Ａを介して表３に示す搬送経路（ａ）の最後のウ
エハと搬送経路（ｂ）のウエハとの上流、下流関係を比
較、判定し（Ｓ１５）、この比較、判定の結果に基づい
て両搬送経路（ａ）、（ｂ）のウエハ間でデッドロック
を生じるか否かを判定し（Ｓ１６）、判定の結果、デッ
ドロックを生じないと判定すると、搬送保留経路更新手
段４２Ｅを介して搬送保留経路メモリ４２Ｄから搬送経
路（ｂ）を削除し（Ｓ１７）、搬送保留経路メモリ４２
Ｄの内容を更新すると共に、上流／下流テーブル作成・
更新手段４１Ａを介して表３に示す上流／下流テーブル
から表４に示す上流／下流テーブルへ更新し、上流／下
流テーブルメモリ４２Ｃへ登録する（Ｓ１８）。その
後、搬送経路（ａ）の最後のウエハと搬送経路（ｂ）の
ウエハを並行搬送を開始し（Ｓ１９）、ウエハの並行処
理を行う。更に、搬送保留経路メモリ４２Ｄに搬送保留
経路が残っている場合にはその搬送保留経路についての
デッドロックの有無を確認し、デッドロックの確認をし
てなければステップ１５へ戻り、ステップ１５からステ
ップ１９までの処理を繰り返す。デッドロックの確認が
終了すれば、ステップＳ２へ戻り、ステップＳ２におい
て次に入力すべき搬送経路の有無を確認する。
【００２６】
【表４】
【００２７】以上説明したように本実施形態によれば、
上流／下流テーブル作成・更新手段４１Ａにおいて各搬
送経路（ａ）、（ｂ）上に位置する各処理室が全体の搬
送経路（ａ）、（ｂ）上で互いに上流位置にあるか下流
位置にあるかを判定すると共に全搬送経路（ａ）、
（ｂ）における各処理室の上流／下流関係を上流／下流
テーブルとして作成し、これらの上流／下流テーブルの
作成過程でデッドロック判定手段４１Ｂにおいて同一処
理室Ｐ１、Ｐ３が上流位置及び下流位置の双方に該当す
る（表３の＊印）と判定した時に、デッドロック判定手
段４１Ｂではそれぞれの搬送経路（ａ）、（ｂ）のウエ
ハＷがデッドロックすると判定するようにしたため、並
行処理による処理室Ｐ１、Ｐ３でのデッドロックの有無
を確実に知ることができる。更に、デッドロックが発生
すると判定した場合には搬送保留経路登録手段４１Ｄを
介してデッドロックを発生させる搬送経路を搬送保留経
路メモリ４２Ｄに登録してそのウエハの搬送を保留する
ため、デッドロックを未然に防止し、各搬送経路
（ａ）、（ｂ）のウエハを個別に連続して処理すること
で２種類のウエハを円滑に処理してスループットを高め
ることができる。
【００２８】更に上述したように、デッドロック判定手
段４１Ｂにおいてデッドロックを生じると判定した時に
は、ウエハ搬送状況監視手段４１Ｅ、搬送保留経路確認
手段４１Ｆの信号に基づいて上流／下流テーブル作成・
更新手段４１Ａ及びデッドロック判定手段４１Ｂが働
き、搬送経路（ａ）でのウエハ搬送の進捗状況（即ち、
搬送経路（ａ）の最後のウエハが処理室Ｐ１から搬出さ
れた時点）に即して搬送経路（ａ）の上流／下流テーブ
ルを更新すると共に搬送経路保留メモリ４２Ｄに登録さ
れている搬送経路（ｂ）の上流／下流テーブルを呼び出
し、搬送経路（ｂ）のウエハと更新後の搬送経路（ａ）
（表３参照）のウエハとがデッドロックを発生させるか
否か判定し、搬送経路（ａ）のウエハと搬送経路（ｂ）
のウエハのデッドロックが発生しないと判定した場合に
は搬送経路保留メモリ４２Ｄに登録さている搬送経路
（ｂ）を搬送経路保留メモリ４２Ｄから削除すると共に
上流／下流テーブルメモリ４２Ｃに登録して上流／下流
テーブルを更新するようにしたため、搬送経路（ａ）の
最後のウエハと搬送経路（ｂ）のウエハを並行処理する
ことができ、搬送経路（ｂ）のウエハを処理する時の待
ち時間を削減することができると共に複数の処理室１０
を最大限無駄なく使用し、スループットを高めることが
できる。
【００２９】また、図６は他の２種類のウエハＷを処理
する時の各搬送経路を統合した搬送経路を示している。
この場合には、例えば第１ウエハ収納室３１に２種類の
ウエハＷが分けて収納されているものと仮定する。一方
のウエハＷは第１、第２、第３処理室１１、１２、１３
の順で処理された後第１ウエハ収納室３１に戻り、他方
のウエハＷは第１、第４、第３処理室１１、１４、１３
の順で処理された後第１ウエハ収納室３１に戻るように
してある。そこで、これらのウエハＷの各搬送経路にお
ける上流／下流テーブルを作成する場合について説明す
る。尚、図６ではウエハ収納室及び位置合わせ装置は省
略してある。また、上流／下流テーブルの作成は図３の
フローチャートに従って上記実施形態と同様の手順で実
施される。
【００３０】本実施形態の場合には、第１処理室１１と
第２処理室１２の上流、下流関係を比較し、第１処理室
１１に対して第２処理室１２は下流側に位置すると共に
第２処理室１２に対して第１処理室１１は上流側に位置
し、上流／下流テーブル作成・更新手段４１Ａを介して
表５に示す上流／下流テーブルの第２行第１列に下流と
記入すると共に第３行第２列に「上流」と記入する。ま
た、第１理室１１及び第２処理室１２と第３処理室１３
を比較し、第１処理室１１及び第２処理室１２に対して
第３処理室１３は下流側に位置すると共に第３処理室１
３に対して第１処理室１１及び第２処理室１２はそれぞ
れ上流側に位置し、上流／下流テーブル作成・更新手段
４１Ａを介して表５に示す上流／下流テーブルの第２行
第４列及び第３行第４列それぞれに「下流」と記入する
と共に第４行第２列及び第４行第３列それぞれに「上
流」と記入する。以下、統合した搬送経路上の全ての処
理室について順次上流、下流関係を比較、判定しテーブ
ルを徐々に作成して行く。
【００３１】ところが、この場合には、表５に示すよう
に上流／下流テーブルの各処理室の上流、下流関係を全
て上流または下流として記入することができるため、そ
の上流／下流テーブルを作成し、上流／下流テーブルメ
モリ４２Ｃに登録した後（Ｓ７）、デッドロック判定手
段４１Ｂが搬送開始指示手段４１Ｃへ信号を送信し、搬
送開始指示手段４１Ｃを介してウエハ搬送装置２１へ搬
送開始指令信号を送信し、例えば２種類のウエハＷの並
行搬送処理を開始する（Ｓ８）。これによってウエハ搬
送装置２１が例えば第１ウエハ収納室３１に収納された
２種類のウエハＷを交互に一枚ずつ搬送し、２種類のウ
エハＷを全て処理し、ウエハ搬送状況監視手段４１Ｅ及
び搬送保留経路確認手段４２Ｆを介してウエハの搬送状
況を常に上流／下流テーブル作成・更新手段４１Ａへ送
信する。そして、全てのウエハＷの処理が終了すると、
上流／下流テーブル作成・更新手段４１Ａを介して上流
／下流テーブルを削除し、次の処理を待つ。
【００３２】
【表５】
【００３３】２種類のウエハＷを図６示す搬送経路に従
って並行して搬送すると、図７に示すようになる。尚、
図７において２種類の搬送経路は実線と破線で示してあ
る。図７に示す搬送経路から明らかなように、２種類の
ウエハを並行して処理しても、例えば第１処理室１２は
第３処理室１３の上流側にのみ該当するため、第１処理
室１１から第３処理室１３側へウエハＷを同時に搬出し
たり、搬出と同時に搬入されることはなく、従って第３
処理室１３は第１処理室１１側からウエハＷを同時に搬
入されたり、搬入と同時に搬出することはなく、各処理
室１１、１３の何れにおいてもデッドロックを発生する
ことはない。
【００３４】従って、本実施形態によれば、図６に示す
搬送経路における各処理室１０の上流、下流関係を求
め、同一の処理室１０で上流または下流にのみ該当する
と判定した時には処理直前にウエハのデッドロックがな
い判定し、２種類のウエハの並行して搬送することがで
き、各処理室１０を効率的に使用してスループットを高
めることができる。
【００３５】また、図８は６室の処理室を具備した処理
装置を用いて複数種類（６種類の処理を行うことができ
る）のウエハを処理する場合の搬送経路を示す図であ
る。この処理装置における第１〜第６処理室１１〜１６
それぞれの上流、下流関係を比較し、上流／下流テーブ
ルを作成することでデッドロックを発生するか否かを判
定することができる。そこで、上記各実施例の場合と同
様に第１〜第６処理室１１〜１６それぞれの上流、下流
関係を比較すると共にデッドロックを判定しながら上流
／下流テーブルに記入すると、最終的に表６に示す上流
／下流テーブルを作成することができ、デッドロックを
発生しないことが判る。従って、最大限６種類のウエハ
を第１〜第６処理室１１〜１６を最大限利用して搬送開
始処理することができ、従来と比較してスループットを
格段に高めることができる。
【００３６】
【表６】
【００３７】尚、上記各実施形態では第１、第２ウエハ
収納室にそれぞれ処理内容を異にするウエハを収納し、
各ウエハを処理する場合と、第１ウエハ収納室に処理内
容を異にするウエハを収納し、各ウエハを処理する場合
について説明したが、ウエハ上記実施形態ではウエハに
対して成膜処理やエッチング処理等の処理を行う処理装
置を例に挙げて説明したが、本発明は上記各実施形態に
何等制限されるものではなく、本発明は複数種類の被処
理体を並行処理する種々の半導体製造装置や検査装置等
についても適用できる。
【００３８】
【発明の効果】以上説明したように本発明の請求項１〜
請求項８に記載の発明によれば、処理内容を異にする複
数種の被処理体を並行して処理し、複数の処理室を最大
限に使用してスループットを高めることができる、多品
種少量生産に適した被処理体のデッドロック判定方法、
被処理体のデッドロック回避方法及び処理装置を提供す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の処理装置の一実施形態を示す平面図で
ある。
【図２】図１に示す制御装置の構成を示すブロック図で
ある。
【図３】図２に示す制御装置を用いた本発明の被処理体
のデッドロック回避方法の一実施形態を示すフローチャ
ートである。
【図４】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ図１に示す処理装置
における２種類のウエハの搬送経路を示す図である。
【図５】図４の（ａ）、（ｂ）に示す搬送経路を処理装
置の処理室の配置と共に示した搬送経路説明図である。
【図６】本発明の被処理体のデッドロック回避方法を適
用する他の搬送経路を示す図４相当図である。
【図７】図６に示す搬送経路を処理装置の処理室の配置
と共に示した図５相当図である。
【図８】本発明の被処理体のデッドロック回避方法を適
用する更に他の搬送経路を示す図４相当図である。
【符号の説明】
１０〜１６ 処理室 ２１ ウエハ搬送装置（搬送手段） ３０〜３２ ウエハ収納室 ４０ 制御装置（制御手段） ４１ 演算処理装置 ４１Ａ 上流／下流テーブル作成・更新手段 ４１Ｂ デッドロック判定手段 ４２ 記憶装置 ４２Ａ プログラムメモリ ４２Ｂ 搬送経路メモリ ４２Ａ 上流／下流テーブルメモリ Ｗ ウエハ（被処理体）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68 B65G 43/08 G05B 19/418 G06F 17/60 106 H01L 21/02

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 処理内容を異にする複数種の被処理体を
    互いに異なった搬送経路に従って搬送し、それぞれの搬
    送経路上にある複数の処理室でそれぞれの被処理体に所
    定の処理を施す際に、種類を異にする被処理体がそれぞ
    れの搬送経路上にある同一処理室においてデッドロック
    が発生するのを判定する方法であって、上記複数種の搬
    送経路をそれぞれ設定した後、 それぞれの搬送経路上に位置する各処理室がその搬送経
    路上で他の処理室に対して上流位置にあるか下流位置に
    あるかを上記複数種の搬送経路について判定し、 上記複数種の搬送路上にある 同一処理室が他の処理室に
    対して上流位置及び下流位置の双方に該当する時に上記
    被処理体がデッドロックすると判定することを特徴とす
    る被処理体のデッドロック判定方法。
  2. 【請求項２】 処理内容を異にする複数種の被処理体を
    互いに異なった搬送経路に従って搬送し、それぞれの搬
    送経路上にある複数の処理室でそれぞれの被処理体に所
    定の処理を施す際に、種類を異にする被処理体がそれぞ
    れの搬送経路上にある同一処理室においてデッドロック
    が発生するのを回避する方法であって、上記複数種の搬
    送経路をそれぞれ設定した後、 それぞれの搬送経路上に位置する各処理室がその搬送経
    路上で他の処理室に対して上流位置にあるか下流位置に
    あるかを上記複数種の搬送経路について判定し、上記複
    数種の搬送路上にある同一処理室が他の処理室に対して
    上流位置及び下流位置の双方に該当すると判定する時に
    上記被処理体がデッドロックすると判定し、 上記複数種の搬送経路においてデッドロックが発生する
    と判定した場合にはデッドロックを発生させる搬送経路
    の被処理体の搬送を保留してデッドロックを回避する こ
    とを特徴とする被処理体のデッドロック回避方法。
  3. 【請求項３】 上記複数種の搬送経路においてデッドロ
    ックが発生しないと判定した時には、搬送経路を異にす
    る被処理体をそれぞれ並行して搬送することを特徴とす
    る請求項２に記載の被処理体のデッドロック回避方法。
  4. 【請求項４】 処理内容を異にする複数種の被処理体を
    互いに異なった搬送経路に従って搬送し、それぞれの搬
    送経路上にある複数の処理室でそれぞれの被処理体に所
    定の処理を施す際に、種類を異にする被処理体がそれぞ
    れの搬送経路上にある同一処理室においてデッドロック
    が発生するのを回避する方法であって、 上記複数種の搬送経路について、それぞれの搬送経路上
    に位置する上記各処理室がその搬送経路上で他の処理室
    に対して上流位置にあるか下流位置にあるかを示す上流
    ／下流テーブルが登録される上流／下流テーブルメモリ
    を初期化する工程と、 上記搬送経路の入力の有無を確認する工程と、 上記搬送経路の入力がある時に行う第１の処理工程と、
    上記搬送経路の入力がない時に行う第２の処理工程とを
    備え、 第１の処理工程は、上記上流／下流テーブルメモリに登録されている搬送経
    路及び上記入力された搬送経路のそれぞれの搬送経路上
    に位置する各処理室がその搬送経路上で他の処理室に対
    して 上流位置にあるか下流位置にあるかを上記双方の搬
    送経路について判定する工程と、上記双方の搬送経路上に位置する同一処理室が他の処理
    室に対して上流位置及び下流位置の双方に該当する時に
    上記被処理体がデッドロックすると 判定する工程と、上記双方の搬送経路上において デッドロックが発生しな
    いと判定した場合には上記入力された搬送経路を上記上
    流／下流テーブルメモリに登録する工程と、上記双方の搬送経路上において デッドロックが発生する
    と判定した場合には上記入力された搬送経路を搬送保留
    経路メモリに登録してデッドロックを回避する工程とを
    備え、 第２の処理工程は、上記上流／下流テーブルメモリに登録された 搬送経路の
    被処理体をその搬送経路の各処理室間で搬送する工程を
    備えたことを特徴とする被処理体のデッドロック回避方
    法。
  5. 【請求項５】 上記第２の処理工程は、 上記上流／下流テーブルメモリに登録されている搬送経
    路の上流／下流テーブル をその搬送経路における被処理
    体の搬送の進捗状況に応じて更新する工程と、 上記搬送保留メモリ登録されている搬送経路の被処理体
    と上記上流／下流テーブルメモリに更新登録された搬送
    経路の被処理体とがデッドロックを発生させるか否かを
    判定する工程と、 上記双方の搬送経路上においてデッドロックが発生しな
    いと判定した場合には上記搬送経路保留メモリに登録さ
    ている搬送経路を上記搬送経路保留メモリから削除する
    と共に上流／下流テーブルメモリに登録して上記上流／
    下流テーブルを更新する工程とを備えたことを特徴とす
    る請求項４に記載の被処理体のデッドロック回避方法。
  6. 【請求項６】 複数種の被処理体を一枚ずつ搬送する搬
    送手段と、この搬送手段を介して搬送される上記被処理
    体に対して順次所定の処理を施す複数の処理室と、上記
    複数種の被処理体の搬送経路をそれぞれ入力する搬送経
    路入力手段と、この搬送経路入力手段を介して入力され
    た搬送経路に基づいて上記搬送手段を制御する制御手段
    とを備え、処理内容を異にする複数種の被処理体を互い
    に異なった搬送経路に従って搬送し、それぞれの搬送経
    路上にある複数の処理室でそれぞれの被処理体に所定の
    処理を施す際に、上記搬送手段を介して種類を異にする
    被処理体がそれぞれの搬送経路上にある同一処理室にお
    いてデッドロックが発生するのを判定する手段を備えた
    処理装置であって、 上記制御手段は、 デッドロックの発生を判定するプログラムを記憶するプ
    ログラムメモリと、上記入力された搬送経路上に位置する各処理室がその搬
    送経路上で他の処理室に対して上流位置にあるか下流位
    置にあるかを判定しながら 上流／下流テーブルを作成す
    るテーブル作成手段と、 て上記プログラムに従っ、上記上流／下流テーブルを基
    に上記複数種の搬送経路上に位置する各処理室がその搬
    送経路上で他の処理室に対して上流位置にあるか下流位
    置にあるかを上記複数種の搬送経路について判定し且つ
    上記複数種の搬送経路上にある同一処理室が他の処理室
    に対して上流位置及び下流位置の双方に該当する時に上
    記被処理体がデッドロックすると判定するデッドロック
    判定手段とを有することを特徴とする処理装置。
  7. 【請求項７】 複数種の被処理体を一枚ずつ搬送する搬
    送手段と、この搬送手段を介して搬送される上記被処理
    体に対して順次所定の処理を施す複数の処理室と、上記
    複数種の被処理体の搬送経路をそれぞれ入力する搬送経
    路入力手段と、この搬送経路入力手段を介して入力され
    た搬送経路に基づいて上記搬送手段を制御する制御手段
    とを備え、処理内容を異にする複数種の被処理体を互い
    に異なった搬送経路に従って搬送し、それぞれの搬送経
    路上にある複数の処理室でそれぞれの被処理体に所定の
    処理を施す際に、上記搬送手段を介して種類を異にする
    被処理体がそれぞれの搬送経路上にある同一処理室にお
    いてデッドロックが発生するのを回避する手段を備えた
    処理装置であって、 上記制御手段は、 デッドロックの発生を判定するプログラムを記憶するプ
    ログラムメモリと、 上記入力された搬送経路上に位置する各処理室がその搬
    送経路上で他の処理室に対して上流位置にあるか下流位
    置にあるかを判定しながら上流／下流テーブルを作成す
    るテーブル作成手段と、 上記プログラムに従って、上記上流／下流テーブルを基
    に上記複数種の搬送経路上に位置する各処理室がその搬
    送経路上で他の処理室に対して上流位置にあるか下流位
    置にあるかを上記複数種の搬送経路について判定し且つ
    上記複数種の搬送経路上にある同一処理室が他の処理室
    に対して上流位置及び下流位置の双方に該当する時に上
    記被処理体がデッドロックすると判定するデッドロック
    判定手段と、 デッドロックが発生すると判定した場合にはデッドロッ
    クを発生させる搬送経路を搬送保留経路メモリに登録し
    てその被処理体の搬送を保留してデッドロックを回避す
    る搬送保留経路登録手段を有することを特徴とする処理
    装置。
  8. 【請求項８】 複数種の被処理体を一枚ずつ搬送する搬
    送手段と、この搬送手段を介して搬送される上記被処理
    体に対して順次所定の処理を施す複数の処理室と、上記
    複数種の被処理体の搬送経路をそれぞれ入力する搬送経
    路入力手段と、この搬送経路入力手段を介して入力され
    た搬送経路に基づいて上記搬送手段を制御 する制御手段
    とを備え、処理内容を異にする複数種の被処理体を互い
    に異なった搬送経路に従って搬送し、それぞれの搬送経
    路上にある複数の処理室でそれぞれの被処理体に所定の
    処理を施す際に、上記搬送手段を介して種類を異にする
    被処理体がそれぞれの搬送経路上にある同一処理室にお
    いてデッドロックが発生するのを回避する手段を備えた
    処理装置であって、 上記制御手段は、 デッドロックの発生を判定するプログラムを記憶するプ
    ログラムメモリと、 上記入力された搬送経路上に位置する各処理室がその搬
    送経路上で他の処理室に対して上流位置にあるか下流位
    置にあるかを判定しながら上流／下流テーブルを作成す
    るテーブル作成手段と、 上記上流／下流テーブルメモリを初期化する手段と、 上記搬送経路の入力の有無を確認する手段と、 上記プログラムに従って、上記上流／下流テーブルメモ
    リに登録されている搬送経路及び上記搬送経路入力手段
    を介して入力された搬送経路のそれぞれの搬送経路上に
    位置する各処理室がその搬送経路上で他の処理室に対し
    て上流位置にあるか下流位置にあるかを上記双方の搬送
    経路について判定し且つ上記双方の搬送経路上に位置す
    る同一処理室が他の処理室に対して上流位置及び下流位
    置の双方に該当する時に上記被処理体がデッドロックす
    ると判定するデッドロック判定手段と、 デッドロックが発生すると判定した場合には上記入力さ
    れた搬送経路を搬送保留経路メモリに登録してその被処
    理体の搬送を保留してデッドロックを回避する搬送保留
    経路登録手段とを有し、 デッドロックが発生しないと判定した場合には上記入力
    された搬送経路を上記上流／下流テーブルメモリに登録
    することを特徴とする処理装置。
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