JPWO2011125579A1 - モータ装置、モータ装置の製造方法及びロボット装置 - Google Patents

モータ装置、モータ装置の製造方法及びロボット装置 Download PDF

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Abstract

モータ装置は、回転子の外周の少なくとも一部に掛けられる伝達部が形成された伝達基板と、回転子と伝達部との間を回転力伝達状態として伝達部を一定距離移動させると共に回転力伝達状態を解消した状態で伝達部を所定の位置に復帰させる駆動部を有し、駆動部による駆動力が伝達部に作用するように伝達基板に連結された駆動基板とを備える。

Description

本発明は、モータ装置、モータ装置の製造方法及びロボット装置に関する。
本願は、2010年3月31日に、日本に出願された特願2010−083378号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
例えば旋回系機械を駆動させるアクチュエータとして、モータ装置が用いられている。このようなモータ装置として、例えば電動モータや超音波モータなど、高トルクを発生させることが可能なモータ装置が広く知られている(例えば、特許文献1参照)。近年では、ヒューマノイドロボットの関節部分など、より精密な部分を駆動させるモータ装置が求められており、電動モータや超音波モータなどの既存のモータにおいても小型化、トルクの制御性等、細密で高精度な駆動を行うことができる構成が求められている。
特開平2−311237号公報
しかしながら、電動モータや超音波モータにおいては、高トルクを発生させるためには減速機を取り付ける必要があるため、小型化には限界がある。また、超音波モータにおいては、トルクの制御が困難である。
本発明に係る態様は、高トルクを発生させることができるモータ装置を提供することを目的とする。
本発明に係る態様におけるモータ装置は、回転子の外周の少なくとも一部に掛けられる伝達部が形成された伝達基板と、回転子と伝達部との間を回転力伝達状態として伝達部を一定距離移動させると共に回転力伝達状態を解消した状態で伝達部を所定の位置に復帰させる駆動部を有し、駆動部による駆動力が伝達部に作用するように伝達基板に連結された駆動基板とを備える。
本発明に係る態様におけるモータ装置は、回転子の少なくとも一部に掛けられる伝達部が形成された伝達基板と、回転子と伝達部との間を回転力伝達状態として伝達部を一定距離移動させると共に回転力伝達状態を解消した状態で伝達部を所定の位置に復帰させる駆動部を有する駆動基板と、駆動部の駆動力を伝達部に作用させるために、伝達基板に形成された開口部と、を備える。
本発明に係る態様におけるモータ装置の製造方法は、回転子の外周の少なくとも一部に掛けられる伝達部を有する伝達基板を形成し、回転子と伝達部との間を回転力伝達状態として伝達部を一定距離移動させると共に回転力伝達状態を解消した状態で伝達部を所定の位置に復帰させる駆動部を含む駆動基板を形成し、駆動部による駆動力が伝達部に作用するように、伝達基板と駆動基板とを連結する。
本発明に係る態様におけるモータ装置の製造方法は、回転子の少なくとも一部に掛けられる伝達部を伝達基板に形成することと、伝達部を移動させる駆動部が配置される駆動ベース部を駆動基板に形成することと、伝達基板と駆動基板とを連結する部分を伝達基板及び駆動基板に形成することと、を有する。
本発明に係る態様におけるロボット装置は、回転軸部材と、回転軸部材を回転させるモータ装置とを備え、モータ装置として、上記モータ装置が用いられる。
本発明に係る態様によれば、高トルクを発生させることができるモータ装置を提供することができる。
本発明の第1実施形態に係るモータ装置の構成を示す図。 本実施形態に係るモータ装置の構成を示す断面図。 本実施形態に係るモータ装置の駆動基板の構成を示す図。 本実施形態に係るモータ装置の伝達基板の構成を示す図。 本実施形態に係るモータ装置の一部の構成を示す図。 本実施形態に係るモータ装置の一部の構成を示す断面図。 本実施形態に係るモータ装置の特性を示すグラフ。 本実施形態に係るモータ装置の動作を示す図。 本実施形態に係るモータ装置の動作を示す図。 本実施形態に係るモータ装置の動作を示す図。 本実施形態に係るモータ装置の動作を示す図。 本実施形態に係るモータ装置の製造工程を示す図。 本発明の第2実施形態に係るモータ装置の動作を示す図。 本実施形態に係るモータ装置の動作を示す図。 本実施形態に係るモータ装置の動作を示す図。 本実施形態に係るモータ装置の動作を示す図。 本実施形態に係るモータ装置の動作を示す図。 本実施形態に係るモータ装置の動作を示す図。 本発明の第3実施形態に係るロボットハンドの構成を示す模式図。 本発明に係るモータ装置の他の実施形態を示す図。 本発明に係るモータ装置の他の実施形態を示す図。 本発明に係るモータ装置の他の実施形態を示す図。 本発明に係るモータ装置の他の実施形態を示す図。
[第1実施形態]
以下、図面に基づき、本発明に係る第1実施形態を説明する。
図1は、本実施形態に係るモータ装置MTRの一例を示す概略構成図である。図2は、図1におけるA−A´断面に沿った構成を示す図である。
図1及び図2に示すように、モータ装置MTRは、回転子SFと、当該回転子SFに対して回転駆動力を伝達させる伝達基板TSと、回転駆動力を発生させる駆動基板DSと、伝達基板TS及び駆動基板DSを保持する保持基板HSと、駆動基板DSによる回転駆動を制御する制御装置CONTとを有している。モータ装置MTRは、回転子SFに対して伝達基板TS、駆動基板DS及び保持基板HSが取り付けられた構成である。回転子SFは、例えば円筒状に形成されている。
以下、各図の説明においてはXYZ直交座標系を設定し、このXYZ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。回転子SFの円筒軸方向をZ軸方向とし、当該Z軸方向に垂直な平面上の直交方向をそれぞれX軸方向及びY軸方向とする。また、X軸、Y軸、及びZ軸周りの回転(傾斜)方向をそれぞれ、θX、θY、及びθZ方向とする。
回転子SFのZ方向の実質的中央部には、駆動基板DSが例えば2つ重ねて配置されている。当該2つの駆動基板DSに対してZ軸方向の両側(+Z側及び−Z側)には、伝達基板TSが例えば2つずつ重ねて設けられている。2つの駆動基板DS及び4つの伝達基板TSはそれぞれZ軸方向において接触しており、基板位置決め部材(基板位置決め部)ALによって連結されている。
基板位置決め部材ALの一部は連結体の+Z方向及び−Z方向にそれぞれはみ出しており、当該はみ出した部分には保持基板HSが連結されている。このように一体的に設けられた駆動基板DS及び伝達基板TSの連結体は、1対の保持基板HSによって挟みこまれた構成になっている。保持基板HSは、駆動基板DS及び伝達基板TSがZ軸方向にずれないように保持するストッパとしての機能を有している。保持基板HSは、例えばベアリング機構15を介して回転子SFを回転可能に支持している。
図2に示すように、回転子SFは、伝達基板TSに囲まれる部分に拡径部11を有し、駆動基板DSに囲まれる部分に縮径部12を有している。拡径部11は、例えば保持基板HSに支持される部分に比べて、径が大きくなっている部分である。縮径部12は、例えば保持基板HSに支持される部分に比べて、径が小さくなっている部分である。回転子SFは、拡径部11及び縮径部12を含めた部分において共通の回転軸Cを有している。
図3は、駆動基板DSの構成を示す平面図である。
駆動基板DSは、例えばステンレス等の材料を用いて矩形の板状に形成されている。駆動基板DSは、図中+Y方向の端部に支持部47を有している。当該支持部47のX方向中央部には、−Y方向に延びるように接続部46が形成されており、接続部46の−Y方向の先端には、駆動ベース部45が形成されている。駆動ベース部45には、駆動部ACが保持されている。
駆動部ACは、例えばピエゾ素子などの電気機械変換素子を備えた駆動素子(第1電気機械変換素子)31及び駆動素子(第2電気機械変換素子)32を有している。駆動素子31及び駆動素子32は、電気機械変換素子に電圧が印加されることにより、Y方向に伸縮する構成である。制御装置CONTは駆動部ACに接続されており、当該駆動部ACに対して制御信号を供給可能になっている。
駆動素子31及び32は、駆動ベース部45によってそれぞれ貫通部(第2貫通部)40から外れた位置で保持されている。貫通部40と駆動素子31及び32との間は、例えば接続部46を介して離間している。駆動素子31及び32は、貫通部40に対してX方向に対象な位置に配置されている。当該駆動素子31及び32は、それぞれ−Y側の端部を保持されている。駆動素子31及び32は−Y側端部のY方向の位置が固定されるため、伸縮する際には+Y側端部がY方向に移動することとなる。当該駆動素子31の+Y側の端部は可動部41の接続面41aに接続されている。また、当該駆動素子32の+Y側の端部は可動部42の接続面42aに接続されている。駆動素子31及び32が伸縮することにより、接続面41a及び接続面42aに対して+Y側に押圧力が加えられたり、−Y側に引きつける力が加えられたりするようになっている。
駆動基板DSの接続部46には、Z方向視で実質的中央部に貫通部40が形成されている。貫通部40は、Z方向視で実質的円形に形成された開口部であり、駆動基板DSの表裏を貫通して形成されている。貫通部40には、回転子SFの縮径部12が挿入される。駆動基板DSには、当該貫通部40の他、例えば開口部30A〜30D及び開口部35が形成されている。
開口部30A〜30Dは、駆動基板DSの4つの角部にそれぞれ設けられており、各々例えば円形に形成されている。開口部30A〜30Dは、連結部材CNが挿入される。開口部35は、例えば駆動基板DSの4つの角部に1つずつ配置されている。各開口部35には、例えば基板位置決め部材ALが挿入される。
4つの開口部35のうち、例えば駆動基板DSの+Y側の2つの角部に配置される開口部35C及び開口部35Dは、それぞれ開口部30C及び30Dへ向けて突出部を有している。また、開口部35Cには−X側の辺に到達する切り込み部が形成されており、開口部35Dには+X側の辺に到達する切り込み部が形成されている。
このため、例えば可動部41は、開口部35Cと開口部30Cとの間の支持部43によって支持部47に支持されることになる。同様に、可動部42は、開口部35Dと開口部30Dとの間の支持部44によって支持部47に支持されることになる。当該構成により、可動部41は支持部43を中心にθZ方向に回動可能であり、可動部42は支持部44を中心にθZ方向に回動可能である。
図4は、伝達基板TSの構成を示す平面図である。
伝達基板TSは、例えばステンレス等の材料を用いて矩形の板状に形成されている。伝達基板TSには、Z方向視で実質的中央部に貫通部(第1貫通部)10が形成されている。貫通部10は、Z方向視で実質的円形に形成された開口部であり、伝達基板TSの表裏を貫通して形成されている。貫通部10には、回転子SFの拡径部11が挿入される。伝達基板TSには、当該貫通部10の他、例えば開口部20A〜20D、伝達部BT、接続部24A、24B及び開口部25が形成されている。
開口部20A〜20Dは、伝達基板TSの4つの角部にそれぞれ設けられており、各々例えば円形に形成されている。開口部20A〜20Dは、連結部材CNが挿入されている。例えば、開口部20A及び上記駆動基板DSの開口部30Aには、同一の連結部材CNが挿入される。また、開口部20B及び開口部30Bには、同一の連結部材CNが挿入される。
伝達部BTは、ベルト部23、第一端部21及び第二端部22を有している。
ベルト部23は、貫通部10によって形成された壁部(内周部)10aに沿って例えば帯状に形成され、例えば弾性変形可能な程度の厚さに形成されている。ベルト部23は、貫通部10に挿入される回転子SFを囲うように配置される。換言すると、回転子SFは、貫通部10のうちベルト部23によって囲まれる空間に挿入される。ベルト部23は、例えば回転子SFの少なくとも一部に掛けることができるようになっている。
ベルト部23には、複数の切り込み部23aが形成されている。切り込み部23aは、例えばベルト部23の外周面(内周部10aに対向する面)に形成されている。切り込み部23aは、例えばベルト部23の長手方向(内周部10aに沿った方向)の全体に亘って実質的等間隔に形成されている。切り込み部23aは、回転子SFの周方向へのベルト部23の変形又は移動を促進する。
ベルト部23の第一端部21は、接続部24Aを介して開口部20Aに接続されている。接続部24Aは、開口部20Aに対して+X方向に延在し、更に伝達基板TSのX方向の中央部よりも−X側の位置において+Y方向に伸び、第一端部21に接続されている(連続している)。
ベルト部23の第二端部22は、接続部24Bを介して開口部20Bに接続されている。
接続部24Bは、開口部20Bに対して−X方向に延在し、更に伝達基板TSのX方向の中央部よりも+X側の位置において+Y方向に伸び、第二端部22に接続されている(連続している)。
第一端部21及び第二端部22は、回転子SFの外周上の基準位置Fを挟んで配置されている。本実施形態では、例えば図1における回転子SFの−Y側端部を基準位置Fとした構成となっている。また、開口部20A及び20Bは、それぞれ第一端部21、第二端部22及び基準位置Fを挟む位置に設けられている。このため、連結部材CNは、第一端部21、第二端部22及び基準位置Fを挟む位置で伝達基板TSに連結されていることになる。
開口部20C及び20Dは、開口部20A及び20Bに比べて径が大きくなるように形成されている。このため、開口部20C及び20Dに挿入された連結部材CNは、伝達基板TSに対して押圧力を加えることなく開口部20C及び20D内で移動することが可能となる。開口部25は、例えば伝達基板TSの4つの角部に1つずつ配置されている。各開口部25には、例えば基板位置決め部材ALが挿入される。
図3に示す駆動基板DSにおいて、駆動素子31及び32が伸びる方向に変形すると、駆動素子31及び32の各+Y側端部が+Y側に移動し、接続面41a及び42aが+Y方向に押圧される。この押圧力により、可動部41は支持部43を中心にθZ方向(図3の反時計回りの方向)に回動し、可動部41に設けられた開口部30Aの位置が+X方向に移動する。よって、開口部30Aに挿入される連結部材CNは+X方向に移動する。また、可動部42は、支持部44を中心にθZ方向(図3の時計回りの方向)に回動し、可動部42に設けられた開口部30Bの位置が−X方向に移動する。よって、開口部30Bに挿入される連結部材CNは−X方向に移動する。
また、駆動素子31及び32が縮む方向に変形すると、駆動素子31及び32の各+Y側端部が−Y側に移動し、接続面41a及び42aが−Y方向に引き付けられる。この引き付けの力により、可動部41は支持部43を中心にθZ方向(図3の時計回りの方向)に回動し、可動部41に設けられた開口部30Aの位置が−X方向に移動する。よって、開口部30Aに挿入される連結部材CNは−X方向に移動する。また、可動部42は、支持部44を中心にθZ方向(図3の反時計回りの方向)に回動し、可動部42に設けられた開口部30Bの位置が+X方向に移動する。よって、開口部30Bに挿入される連結部材CNは+X方向に移動する。
また、図4に示す伝達基板TSにおいては、例えば開口部20Aに挿入された連結部材CNが+X方向に移動すると、接続部24Aが当該連結部材CNに押されて+X方向に移動する。接続部24Aが+X方向に移動すると、第一端部21は当該移動に伴って+X方向に移動する。また、開口部20Aに挿入された連結部材CNが−X方向に移動すると、接続部24Aが当該連結部材CNに引っ張られて−X方向に移動する。接続部24Aが−X方向に移動すると、第一端部21は当該移動に伴って−X方向に移動する。
接続部24Bは、例えば開口部20Bに挿入された連結部材CNが−X方向に移動すると、当該連結部材CNに押されて−X方向に移動する。接続部24Bが−X方向に移動すると、第二端部22は当該移動に伴って−X方向に移動する。また、接続部24Bは、開口部20Bに挿入された連結部材CNが+X方向に移動すると、当該連結部材CNに引っ張られて+X方向に移動する。接続部24Bが+X方向に移動すると、第二端部22は当該移動に伴って+X方向に移動する。
したがって、例えば駆動素子31及び32が共に伸びると、第一端部21と第二端部22とが近づく。このため、ベルト部23が回転子SF(拡径部11)に巻きつき、当該ベルト部23に張力が加わる。また、例えば駆動素子31及び32が共に縮むと、第一端部21と第二端部22とが遠ざかる。このため、ベルト部23が回転子SFから離れて弛緩する。
駆動基板DSの駆動素子31及び32の伸縮は、可動部41及び42及び連結部材CNを介して伝達基板TSの接続部24A及び24Bに伝達され、第一端部21及び第二端部22を移動させる駆動力としてベルト部23に伝わるようになっている。このように、駆動基板DS及び伝達基板TSは、駆動部ACによる駆動力が伝達部BTに伝達して作用するように連結されている。
図5Aは、本実施形態のモータ装置MTRの一部の構成を示す図である。図5Bは、図1におけるB−B´断面に沿った構成を示す図である。本実施形態では、図5Aに示すように、1つの駆動基板DSに対して2つの伝達基板TS設けられ、当該2つの伝達基板TSがZ軸方向に駆動基板DSを挟むように配置された構成となっている。
また、本実施形態では、例えば図1、図2及び図5Bに示すように、駆動基板DSと2つの伝達基板TSとの組が2組設けられ、各組のY方向の向きが反対になっている。
また、各組は、それぞれ伝達基板TS又は駆動基板DSの1枚分の厚さ(Z軸方向の寸法)だけZ軸方向にずれて配置されている。このため、各組の駆動基板DS同士が接触し、当該駆動基板DSに対して+Z側に配置された伝達基板TS同士が接触し、当該駆動基板DSに対して−Z側に配置された伝達基板TS同士が接触した状態になっている。
この場合、図5Bに示すように、一方の組において開口部20A及び30Aを通る連結部材CNが、他方の組において開口部20C及び30Cを通ることになる。同様に、一方の組において開口部20B及び30Bを通る連結部材CNが、他方の組において開口部20D及び30Dを通ることになる。本実施形態の構成においては、開口部20C及び30C、開口部20D及び30Dは、それぞれ開口部20A及び30A、開口部20B及び30Bよりも径が大きくなるように形成され、連結部材CNがそれぞれの内部を移動可能に設けられている。このため、異なる組における駆動動作が互いに干渉しないようになっている。
次に、回転子SFの駆動動作を説明する。
本実施形態に係るモータ装置MTRにおいて、回転子SFを駆動させる原理を説明する。回転子SFを駆動させる際には、回転子SFに巻き掛けられた伝達部BTに有効張力を生じさせ、当該有効張力によって回転子SFにトルクを伝達する。
オイラーの摩擦ベルト理論により、回転子SFに巻き掛けられた伝達部BTの第一端部21側の張力T1及び第二端部22側の張力T2が下記[数1]を満たすとき、伝達部BTと回転子SFとの間で摩擦力が生じ、伝達部BTが回転子SFに対して滑りを生じることの無い状態(回転力伝達状態)で回転子SFと共に移動する。この移動により、回転子SFにトルクが伝達される。ただし、[数1]において、μは伝達部BTと回転子SFとの間の見かけ上の摩擦係数であり、θは伝達部BTの有効巻き付き角である。
Figure 2011125579
このとき、トルクの伝達に寄与する有効張力は、(T1−T2)によって表される。上記[数1]に基づいて有効張力(T1−T2)を求めると、[数2]のようになる。[数2]は、T1を用いて有効張力を表す式である。
Figure 2011125579
上記[数2]より、回転子SFに伝達されるトルクは駆動素子31の張力T1によって一意に決定されることがわかる。[数2]の右辺のT1の係数部分は、伝達部BTと回転子SFとの間の摩擦係数μ及び伝達部BTの有効巻き付き角θにそれぞれ依存する。図6は、摩擦係数μを変化させたときの有効巻き付き角θと係数部分の値との関係を示すグラフである。グラフの横軸は有効巻き付き角θを示しており、グラフの縦軸は係数部分の値を示している。
図6に示すように、例えば摩擦係数μが0.3の場合には、有効巻き付き角θが300°以上のときに係数部分の値が0.8以上となっている。このことから、摩擦係数μが0.3の場合には、有効巻き付き角θを300°以上とすることにより、駆動素子31による張力T1の80%以上の力が回転子SFのトルクに寄与することがわかる。この巻き付き角の他、図6のグラフから、例えば伝達部BTと回転子SFとの間の摩擦係数を大きくするほど、係数部分の値が大きくなることが推定される。
このように、トルクの大きさは駆動素子31の張力T1によって一意に決定されることになり、例えば伝達部BTの移動距離などには実質的に無関係であることがわかる。したがって、例えば駆動素子31及び駆動素子32に用いられるピエゾ素子などは、数ミリ程度の小型素子であっても、数百ニュートン以上の力を出すことができるので非常に大きな回転力を付与することができる。
このような原理に基づいて、制御装置CONTは、図7に示すように、まず、第一端部21が+X方向に、第二端部22が−X方向にそれぞれ移動するように駆動素子31及び駆動素子32を変形させる。この動作により、伝達部BTの第一端部21側には張力T1が発生し、伝達部BTの第二端部22側には張力T2が発生する。したがって、伝達部BTに有効張力(T1−T2)が発生する。
制御装置CONTは、伝達部BTに有効張力を発生させた状態を保持しつつ、図8に示すように、伝達部BTの第一端部21が+X方向に移動するように、かつ、第二端部22が+X方向に移動するように駆動素子31及び駆動素子32を変形させる(駆動動作)。
この動作において、制御装置CONTは、第一端部21の移動距離と第二端部22の移動距離とを等しくさせる。この動作により、伝達部BTと回転子SFとの間に摩擦力が発生した状態で伝達部BTが移動し、当該移動と共に回転子SFがθZ方向に回転する。
本実施形態では、伝達部BTと回転子SFとの間の摩擦係数μが例えば0.3であり、伝達部BTが回転子SFに実質的1回転(360°)巻き掛けられている。したがって、図6のグラフを参照すると、駆動素子31の張力T1の85%程度の力がトルクとして回転子SFに伝達されることになる。
制御装置CONTは、第一端部21及び第二端部22を所定距離だけ移動させた後、図9に示すように、第一端部21が駆動の開始位置(所定位置)へ戻るように、かつ、第二端部22が移動しないように、駆動素子31だけを変形させる。この動作により、第一端部21が−X方向へ移動し、伝達部BTの巻き掛けが緩んだ状態になる。つまり、伝達部BTに付加されていた有効張力が解除された状態になる。この状態においては、伝達部BTと回転子SFとの間に摩擦力は発生せず、回転子SFは慣性によって回転し続けることになる。
制御装置CONTは、伝達部BTの巻き掛けを緩ませた後、図10に示すように、第二端部22が駆動の開始位置(所定位置)へ戻るように駆動素子32を変形させる。この動作により、伝達部BTの巻き掛けが緩んだまま、すなわち、有効張力が発生しないまま、伝達部BTの第二端部22が駆動の開始位置(所定位置)へ戻っていく(復帰動作)。
第二端部22が駆動開始位置に戻される直前になったら、制御装置CONTは、駆動素子31を変形させて第一端部21を+X方向に移動させる。この動作により、第二端部22が駆動開始位置に戻されるのと実質的同時に、回転子SFに巻き掛けられた伝達部BTの第一端部21側に張力T1が発生し、第二端部22側に張力T2が発生する。これにより、駆動開始時に伝達部BTに有効張力を付加させた状態(図7の状態)と同様の状態となる。
伝達部BTに有効張力が付加された後、制御装置CONTは、伝達部BTの第一端部21が+X方向に移動するように駆動素子31を変形させ、第二端部22が+X方向に移動するように駆動素子32を変形させる(駆動動作)。このとき、第一端部21の移動距離と第二端部22の移動距離とを等しくさせる。この動作により、伝達部BTと回転子SFとの間に摩擦力が発生した状態で伝達部BTが移動し、当該移動と共に回転子SFがθZ方向に回転する。
この後、制御装置CONTは、伝達部BTに付加されていた有効張力を再度解除させる。制御装置CONTは、有効張力を図9のように解除させた後、伝達部BTの第一端部21及び第二端部22が開始位置に戻るように移動させる(復帰動作)。このように制御装置CONTが上記駆動動作と復帰動作とを駆動部ACに繰り返し行わせることにより、回転子SFがθZ方向に回転し続けることになる。
次に、上記のモータ装置MTRの製造方法を説明する。
モータ装置MTRを製造する場合、まず、伝達基板TS同士、駆動基板DS同士をそれぞれ形成する。例えば図11に示すように、複数の基板Sを積層させ、当該複数の基板Sをまとめて切削加工して形成する。例えば、ワイヤーなど金属の線状部材Lに電圧を印加して放電させた状態とし、このワイヤーと複数の基板Sとを相対的に移動させながら、糸鋸のように複数の基板Sを切削加工する。この切削加工を、例えば伝達基板TSの形成、駆動基板DSの形成のそれぞれについて行う。
また、上記の他、伝達基板TS、駆動基板DSの鋳型を作成し、鋳造によって形成するようにしても構わない。また、伝達基板TS、駆動基板DSの押し型を用いて、押し出し成形によって形成するようにしても構わない。更に、フォトリソグラフィ法を用いたパターニングによって、伝達基板TS、駆動基板DSを形成しても構わない。伝達基板TS、駆動基板DSを形成した後、駆動部ACを駆動基板DSの駆動ベース部45に取り付け、伝達基板TSと駆動基板DSとを上記のように連結することで、モータ装置MTRが完成する。
このように、本実施形態によれば、伝達部BTが回転子SFの少なくとも一部に掛けられた状態で駆動部ACに駆動動作及び復帰動作を行わせることとしたので、オイラーの摩擦ベルト理論により、伝達部BTに付加する一方の張力によってトルクが一意に決定されることになる。したがって、減速機等を取り付けなくても、また、小型の駆動部ACであっても高いトルクを回転子SFに付加させることが可能となる。これにより、高トルクを発生させることができる小型のモータ装置MTRを得ることができる。また、小型の駆動部ACであっても高効率で回転子SFを回転させることが可能となる。また、本実施形態によれば、モータ装置MTRのトルクを制御することが容易になる。
また、本実施形態によれば、伝達部BTを伝達基板TSに形成し、駆動部ACを駆動基板DSに形成し、駆動部ACによる駆動力が伝達部BTに作用するように伝達基板TSと駆動基板DSとが連結された構成であるため、低コストで、かつ、簡単な製造工程で製造することができる。更に、伝達基板TSと駆動基板DSとを同型の基板として設けることとしたので、回転子SFに対する着脱時や、持ち運び(搬送)時、保管時など、ハンドリング性に優れたモータ装置MTRとなる。
[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態を説明する。
本実施形態では、モータ装置MTRの動作の際、伝達部BTの弾性変形を利用する点で、第1実施形態とは異なっている。したがって、モータ装置MTRの構成については、伝達部BTが弾性変形可能になっている点以外は、第1実施形態と同一の構成を用いることができる。
本実施形態では、伝達部BTのばね定数をkとする。ここで、オイラーの摩擦ベルト理論により、回転子SFの保持力Tを下記[数3]のように設定する。この保持力Tとは、静止している回転子SFを動き出させるために必要な力である。また、伝達部BTの第一端部21側の目標張力をT1e、伝達部BTの第二端部22側の目標張力をT2e、目標有効張力をTgoalとすると、以下の[数4]及び[数5]を満たす。
Figure 2011125579
Figure 2011125579
Figure 2011125579
以下、図12〜図17に基づいて、回転子SFの駆動動作を中心に説明する。本実施形態では、説明をわかりやすくするため、モータ装置の構成を模式的に示している。したがって、例えば伝達部BTの巻き付け角など、実際の構成とは異なるように記載されている。なお、図12〜図17においては、第一端部21については図中右側を+X方向とし、第二端部22については図中左側を+X方向として説明する。また、図12〜図17においては、駆動素子31及び32の図示を省略する。
以下の説明においては、伝達部BTに張力が付加されることなく当該伝達部BTが回転子SFに1回転巻き掛けられた状態となるような伝達部BTの第一端部21及び第二端部22のそれぞれの位置を原点位置0とする。したがって、伝達部BTの第一端部21及び第二端部22が共に原点位置0に配置されている状態においては、伝達部BTと回転子SFとの間に摩擦力は発生しない。
<駆動動作>
まず、制御装置CONTは、図12に示すように、伝達部BTの第一端部21が原点位置0からXだけ+X方向(図12においては、紙面の右側)に移動するように駆動素子31を変形させる。また、制御装置CONTは、伝達部BTの第二端部22が原点位置0からXだけ−X方向(図12においては、紙面の右側)に移動するように駆動素子32を変形させる。この状態を駆動動作の初期状態とする。このとき、X及びXについては、下記[数6]を満たす。
Figure 2011125579
この状態から、図13に示すように、制御装置CONTは、駆動素子31を変形させて、伝達部BTの第一端部21側の張力T1が目標張力T1eとなるように第一端部21をΔXだけ+X方向(図13においては、紙面の右側)に移動させる。また、制御装置CONTは、駆動素子32を変形させて、第二端部22側の張力T2が目標張力T2eとなるように第二端部22をΔXだけ+X方向(図13においては、紙面の左側)に移動させる。この動作により、伝達部BTから回転子SFにトルクが伝達される。このとき、ΔXは、[数7]を満たす。
Figure 2011125579
伝達部BTから回転子SFにトルクが伝達されると、回転子SFが回転し、伝達部BTの弾性変形が初期状態と同一の状態になる。図14に示すように、このため伝達部BTの第一端部21側の張力Tと第二端部22側の張力Tとが保持力Tとなってつり合う。このとき有効張力については、Tgoalからゼロへと近似的に線形に変化するため、伝達部BTに付加されている実効的な有効張力は、Tgoal/2となる。また、伝達部BTによって回転子SFに伝達するトルクはゼロになる。
<復帰動作>
次に、図15に示すように、制御装置CONTは、第一端部21が原点位置0まで移動すると共に第二端部22が原点位置0よりも+X方向(図15においては、紙面の左側)へ移動するように、駆動素子31と駆動素子32とを同時に変形させる。駆動素子31と駆動素子32とを同時に変形させることにより、伝達部BTが2ΔXだけ緩む(縮む)こととなり、この結果、伝達部BTと回転子SFとの間に隙間が生じる。回転子SFは、伝達部BTによって摩擦力を受けることなく、慣性回転している状態となる。
伝達部BTと回転子SFとの間に隙間が生じている間に、図16に示すように、制御装置CONTは、第一端部21を移動させること無く第二端部22のみが原点位置0に戻るように駆動素子32を変形させる。この動作により、第一端部21及び第二端部22が共に原点位置0に戻ることになる。この状態においても、回転子SFは伝達部BTによって摩擦力を受けることなく、慣性回転している状態となる。このように、復帰動作では、回転子SFに摩擦力による抵抗を与えることなく、当該回転子SFを回転させた状態で第一端部21及び第二端部22を原点位置0まで移動させる。
<駆動動作(慣性回転状態)>
制御装置CONTは、回転子SFに設けられた検出器により、回転子SFの外周速度vを検出する。制御装置CONTは、検出結果に基づき、第一端部21及び第二端部22の移動距離を決定する。回転子SFが静止している状態の上記駆動動作では、第一端部21の初期位置をX、第二端部22の初期位置をXとした。回転子SFが慣性回転している状態で、上記同様の目標有効張力を伝達部BTに付加するには、回転子SFの静止状態と同一の環境が必要である。すなわち、回転子SFの外周と伝達部BTとの相対速度をゼロにする必要がある。このため、第一端部21の初期位置及び第二端部22の初期位置を決定するに当たり、回転子SFの外周の所定時間当たりの移動距離を考慮する必要がある。具体的には、第一端部21の初期位置をX+vΔt、第二端部22の初期位置をX−vΔtとして設定する。ここで、Δtとしては、例えば制御装置CONTのサンプリングタイムなどが挙げられる。
この状態から、図17に示すように、制御装置CONTは、駆動素子31を変形させて、伝達部BTの第一端部21側の張力T1が目標張力T1eとなるように第一端部21をΔXだけ+X方向(例えば、図17においては紙面の右側)に移動させる。また、制御装置CONTは、駆動素子32を変形させて、伝達部BTの第二端部22側の張力T2が目標張力T2eとなるように第二端部22をΔXだけ+X方向(例えば、図17においては紙面の左側)に移動させる。この動作により、伝達部BTから回転子SFにトルクが伝達される。
このときの第一端部21は原点位置0に対してX+vΔt+ΔXだけ+X方向(例えば、図17においては紙面の右側)へ移動した状態となる。また、このときの第二端部22は原点位置0に対してX−vΔt−ΔXだけ−X方向(例えば、図17においては紙面の右側)へ移動した状態となる。
<復帰動作>
この後、制御装置CONTは、第一端部21が原点位置0まで移動すると共に第二端部22が原点位置0よりも+X方向(例えば、図17においては紙面の左側)へ移動するように駆動素子31と駆動素子32とを同時に変形させ、伝達部BTと回転子SFとの間に隙間が生じている間に、第一端部21を移動させること無く第二端部22のみが原点位置0に戻るように駆動素子32を変形させる。この動作により、第一端部21及び第二端部22が共に原点位置0に戻ることになる。復帰動作は、回転子SFの回転速度によらず同一の動作として行うことができる。
以下、駆動動作と復帰動作とを繰り返すことにより、回転子SFをさせることができる。回転子SFが慣性回転状態になっている場合において、上記X+vΔt+ΔXの値が駆動素子31の最大変形量を超えない限り、駆動動作及び復帰動作を繰り返すことで、回転子SFにトルクを伝達させ続けることができる。
次に、本実施形態の回転子SFの駆動動作におけるトルク制御について説明する。
本実施形態における実効トルクNは、駆動動作と復帰動作とを1サイクル行うのに要する時間tall、有効張力の伝達開始から回転子SFが慣性状態になるまでの時間t、目標有効張力Tgoal、回転子SFの半径Rに依存する。具体的には、下記[数8]によって示される。
Figure 2011125579
[数8]に示すように、実効トルクNを制御するパラメータとしては、tall、t、Tgoalの3つが挙げられる。駆動動作と復帰動作の1サイクルの時間tallについては回転子SFの駆動制御を行う上で一定に設定される場合があるため、t、Tgoalの2つの値を変化させることで実効トルクNの制御を行うことが好ましい。
このように、本実施形態によれば、伝達部BTの弾性変形を利用し、回転子SFの外周と伝達部BTとの相対速度をゼロにして伝達部BTの有効張力を回転子SFに伝達する駆動動作と、第一端部21及び第二端部22を同時に内側へ移動させる復帰動作とを繰り返し行うことにより、回転子SFを加速あるいは減速させながらダイナミックに回転させることができる。また、小型の駆動部ACであっても高効率で回転子SFを回転させることが可能となる。
[第3実施形態]
次に、本発明の第3実施形態を説明する。
図18は、第1実施形態又は第2実施形態に記載のモータ装置MTRを備えるロボット装置RBTの一部(指部分の先端)の構成を示す図である。
同図に示すように、ロボット装置RBTは、末節部101、中節部102及び関節部103を有しており、末節部101と中節部102とが関節部103を介して接続された構成になっている。関節部103には軸支持部103a及び軸部103bが設けられている。軸支持部103aは中節部102に固定されている。軸部103bは、軸支持部103aによって固定された状態で支持されている。
末節部101は、接続部101a及び歯車101bを有している。接続部101aには、関節部103の軸部103bが貫通した状態になっており、当該軸部103bを回転軸として末節部101が回転可能になっている。この歯車101bは、接続部101aに固定されたベベルギアである。接続部101aは、歯車101bと一体的に回転するようになっている。
中節部102は、筐体102a及び駆動装置ACTを有している。駆動装置ACTは、上記実施形態に記載のモータ装置MTRを用いることができる。駆動装置ACTは、筐体102a内に設けられている。駆動装置ACTには、回転軸部材104aが取り付けられている。回転軸部材104aの先端には、歯車104bが設けられている。この歯車104bは、回転軸部材104aに固定されたベベルギアである。歯車104bは、上記の歯車101bとの間で噛み合った状態になっている。
上記のように構成されたロボット装置RBTは、駆動装置ACTの駆動によって回転軸部材104aが回転し、当該回転軸部材104aと一体的に歯車104bが回転する。
歯車104bの回転は、当該歯車104bと噛み合った歯車101bに伝達され、歯車101bが回転する。当該歯車101bが回転することで接続部101aも回転し、これにより末節部101が軸部103bを中心に回転する。
このように、本実施形態によれば、低電圧で低速高トルクの回転を出力することができる駆動装置ACTを搭載することにより、例えば減速器を用いることなく直接末節部101を回転させることができる。さらに本実施形態では、駆動装置ACTが非共振に駆動される構成になっているため、樹脂など軽量な材料で大部分を構成することが可能になる。
本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。
上記実施形態では、伝達部BTの外側に切り込み部23aが設けられた構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無く、例えば図19に示すように、伝達部BTの内側(回転子SFに当接する面)に切り欠き部が設けられた構成であっても構わない。また、切り込み部23aが設けられてない構成としても勿論構わない。
また、例えば、上記各実施形態では、1つの駆動基板DSに対して2つの伝達基板TSを配置させた構成を1組として説明したが、これに限られることは無く、例えば駆動基板DSと伝達基板TSとを1つずつ用いて1組とする構成であっても構わない。また、1つの駆動基板DSに対して3つ以上の伝達基板TSを配置させた構成としても構わない。また、駆動基板DSと伝達基板TSとを1つずつ用いる構成であっても構わない。
また、駆動基板DS及び伝達基板TSの組を3組設ける場合、例えば図20及び図21に示すように、駆動基板DS及び伝達基板TSをZ方向視で六角形に形成しても構わない。この場合、駆動基板DS及び伝達基板TSの組が1相毎に回転子SFの120°ずれた位置に配置させることができる。また、このように配置させた各相を順に駆動させるようにすることができる。三相で交互に駆動を行った場合、張力の振動幅が小さく抑えられることになり、安定した駆動を行うことが可能である。
また、駆動基板DS及び伝達基板TSは、上記のような四角形、六角形に限られることは無く、他の形状であっても構わない。例えば、円形、楕円形としても構わないし、台形、平行四辺形、ひし形、三角形、六角形など、他の多角形としても構わない。
また、例えば、上記実施形態においては、回転子が中実である構成としたが、これに限られることは無く、中空(例、円筒状)に形成された回転子を用いる場合であっても本発明の適用は可能である。特に第3実施形態のように、ロボット装置RBT(例、指部分の先端、旋回系機械、等)にモータ装置MTRを搭載する場合などには、円筒状の回転子の内部に配線などを配置させることができる。
また、上記実施形態では、例えば駆動基板DSを一部材として形成された構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無く、例えば図22に示すように、駆動基板DSが分割可能に設けられた構成であっても構わない。図22に示す構成においては、例えばベース部(第1部分)47A及びベース部(第2部分)47B、接続部(46A及び46B)、保持部(駆動ベース部)(45A及び45B)において分割された状態で形成されている。また、上記実施形態における貫通部は、それぞれ半円状の凹部40A及び40Bとなっている。また、駆動ベース部45B及び支持部47Bには、それぞれクランプ機構48、49が設けられている。クランプ機構48及び49により、駆動ベース部45Aと駆動ベース部45Bとが接続され、支持部47Aと支持部47Bとが接続されるようになっている。このような構成により、例えば回転子SFに対して取り付けが容易な駆動基板DSが得られる。なお、図22に示す構成は、駆動基板DSが分割可能な構成であるが、これに限られることは無く、例えばベース部47A及び47Bが一体的に設けられており、駆動ベース部45A及び45B側のみが分離可能な構成であっても構わない。また、逆に駆動ベース部45A及び45Bが一体的に設けられており、ベース部47A及び47B側のみが分離可能な構成であっても構わない。
MTR…モータ装置 TS…伝達基板 DS…駆動基板 HS…保持基板 CONT…制御装置 SF…回転子 AL…基板位置決め部材 CN…連結部材 AC…駆動部 BT…伝達部 ACT…駆動装置 10…貫通部 21…第一端部 22…第二端部 23…ベルト部 23a…切り込み部 20A〜20D…開口部 24A、24B…接続部 30A〜30D…開口部 31…駆動素子 32…駆動素子 40…貫通部 41、42…可動部 45…駆動ベース部 RBT…ロボット装置

Claims (28)

  1. 回転子の外周の少なくとも一部に掛けられる伝達部が形成された伝達基板と、
    前記回転子と前記伝達部との間を回転力伝達状態として前記伝達部を一定距離移動させると共に前記回転力伝達状態を解消した状態で前記伝達部を所定の位置に復帰させる駆動部を有し、前記駆動部による駆動力が前記伝達部に作用するように前記伝達基板に連結された駆動基板と
    を備えるモータ装置。
  2. 前記伝達基板は、前記回転子を囲う第1貫通部を有し、
    前記伝達部は、前記第1貫通部に設けられている
    請求項1に記載のモータ装置。
  3. 前記伝達部は、弾性変形可能に形成されている
    請求項1又は請求項2に記載のモータ装置。
  4. 前記伝達部は、帯状に形成されている
    請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載のモータ装置。
  5. 前記伝達部は、切り込み部を有する
    請求項1から請求項4のうちいずれか一項に記載のモータ装置。
  6. 前記切り込み部は、前記伝達部の全体に亘って実質的等間隔で複数設けられている
    請求項5に記載のモータ装置。
  7. 前記駆動基板は、前記回転子を囲う第2貫通部を有し、
    前記駆動部は、前記第2貫通部から外れた位置に設けられている
    請求項1から請求項6のうちいずれか一項に記載のモータ装置。
  8. 前記駆動部は、前記第2貫通部を挟む位置に設けられた第1電気機械変換素子及び第2電気機械変換素子を有する
    請求項7に記載のモータ装置。
  9. 前記第1電気機械変換素子と前記第2電気機械変換素子とは、前記第2貫通部に対して対称な位置に配置される
    請求項8に記載のモータ装置。
  10. 前記伝達部は、第1端部及び第2端部を有し、
    前記第1電気機械変換素子による駆動力が前記第1端部に作用すると共に、前記第2電気機械変換素子による駆動力が前記第2端部に作用するように、前記伝達基板と前記駆動基板とが連結されている
    請求項8又は請求項9に記載のモータ装置。
  11. 前記第1端部及び前記第2端部は、前記回転子の外周上の基準位置を挟む位置に配置され、
    前記駆動基板は、前記伝達基板のうち少なくとも前記第1端部及び前記第2端部を挟む2つの位置で連結されている
    請求項10に記載のモータ装置。
  12. 前記駆動基板は、前記第1電気機械変換素子を含む第1部分と、前記第2電気機械変換素子を含む第2部分とを有し、
    前記第1部分と前記第2部分とは、該駆動基板に対して分離可能に設けられている
    請求項8から請求項11のうちいずれか一項に記載のモータ装置。
  13. 前記伝達基板及び前記駆動基板は、前記回転子の回転軸方向に一列に積層されている
    請求項1から請求項12のうちいずれか一項に記載のモータ装置。
  14. 前記伝達基板及び前記駆動基板は、それぞれ複数設けられており、
    複数の前記伝達基板及び複数の前記駆動基板は、前記回転軸方向に交互に積層されている
    請求項13に記載のモータ装置。
  15. 前記伝達基板は、複数設けられ、
    前記駆動基板は、複数の前記伝達基板に連結されている
    請求項1から請求項14のうちいずれか一項に記載のモータ装置。
  16. 前記伝達基板は、複数設けられ、
    複数の前記伝達基板は、前記回転子の回転方向に所定角度ずつずれるように配置されている
    請求項1から請求項15のうちいずれか一項に記載のモータ装置。
  17. 前記伝達基板と前記駆動基板とを連結する連結部材を備える
    請求項1から請求項16のうちいずれか一項に記載のモータ装置。
  18. 前記伝達基板と前記駆動基板とを位置決めする基板位置決め部を備える
    請求項1から請求項17のうちいずれか一項に記載のモータ装置。
  19. 前記回転子は、中空に構成されている
    請求項1から請求項18のうちいずれか一項に記載のモータ装置。
  20. 回転子の少なくとも一部に掛けられる伝達部が形成された伝達基板と、
    前記回転子と前記伝達部との間を回転力伝達状態として前記伝達部を一定距離移動させると共に前記回転力伝達状態を解消した状態で前記伝達部を所定の位置に復帰させる駆動部を有する駆動基板と、
    前記駆動部の駆動力を前記伝達部に作用させるために、前記伝達基板に形成された開口部と、
    を備えるモータ装置。
  21. 前記開口部に隣接して前記伝達基板に形成された接続部を備える
    請求項20に記載のモータ装置。
  22. 回転子の外周の少なくとも一部に掛けられる伝達部を有する伝達基板を形成し、
    前記回転子と前記伝達部との間を回転力伝達状態として前記伝達部を一定距離移動させると共に前記回転力伝達状態を解消した状態で前記伝達部を所定の位置に復帰させる駆動部を含む駆動基板を形成し、
    前記駆動部による駆動力が前記伝達部に作用するように、前記伝達基板と前記駆動基板とを連結する
    モータ装置の製造方法。
  23. 前記伝達基板の形成は、切削加工によって前記伝達部を形成することを含む
    請求項22に記載のモータ装置の製造方法。
  24. 前記伝達基板の形成は、鋳造によって前記伝達基板と前記伝達部とを形成することを含む
    請求項22に記載のモータ装置の製造方法。
  25. 前記伝達基板の形成は、押し出し成形によって前記伝達基板と前記伝達部とを形成することを含む
    請求項22に記載のモータ装置の製造方法。
  26. 前記伝達基板の形成は、パターニングによって前記伝達部を形成することを含む
    請求項22に記載のモータ装置の製造方法。
  27. 回転軸部材と、
    前記回転軸部材を回転させるモータ装置と
    を備え、
    前記モータ装置として、請求項1から請求項21のうちいずれか一項に記載のモータ装置が用いられている
    ロボット装置。
  28. 回転子の少なくとも一部に掛けられる伝達部を伝達基板に形成することと、
    前記伝達部を移動させる駆動部が配置される駆動ベース部を駆動基板に形成することと、
    前記伝達基板と前記駆動基板とを連結する部分を前記伝達基板及び前記駆動基板に形成することと、
    を有するモータ装置の製造方法。
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101701236B1 (ko) 2015-07-03 2017-02-02 (주)로보티즈 액추에이터 모듈
KR101867277B1 (ko) * 2017-01-18 2018-06-15 (주)로보티즈 반중공형 액추에이터 모듈
US10148199B1 (en) * 2017-05-15 2018-12-04 Baoxiang Shan Loop-band devices configured for motion

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008220171A (ja) * 2004-06-24 2008-09-18 Miniswys Sa 駆動装置

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE436675B (sv) * 1975-08-12 1985-01-14 Ki Politekhnichsky I Im 50 Let Elektrisk motor driven genom piezoelektriska krafter
JPH02311237A (ja) 1989-05-25 1990-12-26 Fuji Electric Co Ltd 搬送装置
JPH05137355A (ja) * 1991-11-12 1993-06-01 Canon Inc 振動波モータ
JP2658930B2 (ja) * 1994-12-27 1997-09-30 日本電気株式会社 圧電型回転駆動装置
US6940209B2 (en) * 2003-09-08 2005-09-06 New Scale Technologies Ultrasonic lead screw motor
DE102004044184B4 (de) * 2004-08-13 2013-02-21 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Miniaturisierbarer Motor
KR100691269B1 (ko) * 2005-08-05 2007-03-12 삼성전기주식회사 압전 초음파 모터
JP5211463B2 (ja) * 2006-10-13 2013-06-12 株式会社豊田自動織機 振動アクチュエータ
WO2008124457A1 (en) * 2007-04-03 2008-10-16 Shuxiang Dong Miniature piezoelectric motor and method of driving elements using same
DE102007023200B4 (de) * 2007-05-18 2011-07-28 Continental Automotive GmbH, 30165 Elektromechanischer Motor, insbesondere piezoelektrischer Mikroschrittantrieb
DE102007023217B4 (de) * 2007-05-18 2011-07-21 Continental Automotive GmbH, 30165 Elektromechanischer Motor, insbesondere piezoelektrischer Mikroschrittantrieb
US20100127598A1 (en) * 2008-11-21 2010-05-27 Ceradigm, Corp. Miniature piezoelectric motors for ultra high-precision stepping
US8674586B2 (en) * 2008-12-26 2014-03-18 Nikon Corporation Motor device, apparatus and driving method for rotor
WO2011125608A1 (ja) * 2010-03-31 2011-10-13 株式会社ニコン モータ装置、モータ装置の製造方法及びロボット装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008220171A (ja) * 2004-06-24 2008-09-18 Miniswys Sa 駆動装置

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