JP2008220171A - 駆動装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】受動素子(1)に対する能動素子(2)の動作のための駆動装置に関し、能動素子(2)は、共鳴装置(3)と、共鳴装置(3)の振動を励起させる少なくとも1つの励起手段(4)から構成され、共鳴装置(3)は、受動素子(1)に力をおよぼす接触領域(7)から構成され、能動素子(2)は受動素子(1)に対して、振動動作を手段として駆動されてよい。
共鳴装置(3)は、少なくとも2つのアーム、好ましくは一対(5)のアーム(6)から構成され、共鳴装置の接続領域から出ている、アーム対(5)の少なくとも2つのアーム(6)は、共鳴装置の同じ側に形成される。
【選択図】図1
Description
WO 第01/041228号(特許文献1)の文献から、圧電モータは既知であり、これを用いて、圧電素子および接触素子から成る駆動素子が柔軟な形で組み立てられ、またこれを手段として、接触素子により、さらなる本体の駆動のために発振を始められてよい。
本発明の目的は、シンプルな設計構成を有する、冒頭に言及されたタイプの駆動部を作
り出すことである。
本発明のさらなる目的は、無限に長い、ほぼエンドレスの走行と同様、短い走行の線形駆動に適した駆動部を提供することである。
りの部分に接続されることが好ましい。アームのばね領域および隣接する部分は、一体構造として形成されることが好ましい;したがって、ばね領域はアームもしくは共鳴装置に一体化して形成される。ばね領域は、接続フラット部分のまっすぐな境界線に沿って延在する。このまっすぐな境界線の方向は、ばね領域の好ましい曲げ軸に対応する。したがって、アームは、この曲げ軸に対応する好ましい基本振動モードを有し、これを用いてアームの個々の質点はいずれの場合も、アームもしくはそのフラット部分の面に対して垂直であり、また曲げ軸に対して垂直である、面(以下、基本振動面と称される)内で動く。アームの外端はこれにより、相互に向かって、または相互から離れて振動する。このモードにしたがった固有周波数もしくは基本周波数は、ばね領域の堅さ、およびアームの振動部分の質量分布からもたらされる。全体としてのアームの基本周波数-すべての振動モード
にわたって観察される-は、アームが振動する最低周波数である。これは、フラットアー
ムが一般的に曲げ振動である、基本振動に対応する。
困難であり、より高価である。
いくつかの励起手段を、同一フラット部分上に相互に隣接して配置し、それらを異なる方法で活性化すること、および/もしくは、
少なくとも1つの横方向切り込みを有する、したがってアーム面に対して垂直で、アームの縦方向に対して横切る、部分面を有するアーム、および/もしくは、
アーム面において、したがってアーム面に対して垂直に観察して、非対称のくぼみおよび/もしくは非対称の突起をアームの自由端の領域に有するアーム、
を手段として、実行される。
アームの直動有効動作、もしくは受動素子上の対応する力が増加し、回転作用力がすぐに、もしくは一時的な平均で打ち消す、もしくは、
アームの回転能動運動が増加し、直動作用力がすぐに、もしくは一時的な平均で打ち消す、もしくは、
アームの回転能動運動と同じく直動能動運動が増加する、もしくは、
アームは直動有効総力も回転有効総力も、すぐに、もしくは一時的な平均で、およぼさない。
成される。受動素子は、接触領域の等方向回転により駆動される。
高いQ係数、すなわちわずかな内部減衰、
したがって圧電のダイナミックエネルギーが発振器に伝わるような、良好な結合係数、
共鳴装置は概して、1以上の圧電素子の電気的接続として機能するため、導電性、
受動素子に対する理想的な摩擦相手、
産業上形成可能、
高価でない。
最小の摩耗で最大の摩擦係数を意味する、共鳴装置に対する理想的な摩擦相手、
楕円運動が前進駆動に変換されるように、接触点における共鳴装置の最良の減衰。
手の表面が粗面化され、もしくは構造化されるのに対し、通常は受動素子の面積に対して大きい、接触相手の表面は、磨かれることが好ましい。
ができ、駆動部の改良された信頼性を確保することができる。好適には、少なくとも1つのフラットな励起手段が、2つの共鳴装置の振動を励起するために、相互に対して平行に配置された2つの共鳴装置の間に配置される。共鳴装置の少なくとも1つは、励起手段の少なくとも1つのベース要素との電気的接触のために、導電性の取り付け部を有することが好ましい。導電性の取り付け部および共鳴装置は、一体として設計されることが好ましい。したがって、能動素子のシンプルなサンドイッチ状の構成が可能であり、動かない共鳴装置シート金属部分の位置で接触が実行されるため、接続ワイヤおよびそれらの結合は、導電性の取り付け部のおかげで除去される。
好適には、受動素子は少なくとも2つの接触板から構成され、いずれの場合も、接触板は、相互に隣接するアームの接触領域により駆動されてよい。2つの接触板はばね要素によって接触領域に対して押されることが好ましく、接触板は、誤差を補償するために、ばね要素によりねじられてよい。
共鳴装置、圧電、中間電極の間の、可能な限り薄い接着層;
適用された振動モードの周波数が、両方の共鳴装置について相互に近くにあるように、可能な限り均等な共鳴装置、すなわちベース要素(シート金属)の同じ形状、同じせん孔ツール、同じバッチ;
中間電極とその電気接続との間の、柔軟な遷移領域;
取り付け。
て、自動車の分野に適用されることが好ましい。
図において用いられる参照番号、およびそれらの意味は、最後に参照番号のリストにリストアップされている。基本的に、図において、同等の部分には同じ参照番号が振られている。
図1は、本発明にしたがった駆動部を、側面図および動作軸11方向の図で示す。駆動部は、能動素子2によって囲まれた受動素子1から構成される。能動素子2は、接続領域10を介して相互に接続された2本のアーム6であるアーム対5を有する共鳴装置3から構成される。アーム6は原則的に、相互に対称に、音叉に似て形成される。能動素子2は、2つの励起手段4からさらに構成され、いずれの場合も一方がアーム6のフラット部分9に、たとえば接合によって、固定される。
XY面に延在し、相互に対して平行である。それぞれのアームのフラット部分9は、ばね領域8を介して接続領域10に接続され、したがって接続領域10に対して、Z方向にのびる曲げ軸の周囲を動作可能である。フラット部分9そのものは、励起手段4によって強化され、したがって、励起手段4が励起された時に、主に原則的に変形可能である。その他の点では、アーム6はばね領域8において接続領域10に対して振動するであろう。このことは、アームの基本的な振動に対応する。これにより、アーム6の個々の質点はいずれの場合も、以下で基本振動面と称される、XY面に平行である面で動く。
2つの偏向方向を別々に考慮すると、一方で縦方向(曲げなし)の振動が、他方で純曲げ動作が、均一なビームを有して存在する。縦方向振動の周波数を考慮する場合、最大の偏向を有する周波数が第1の振動モードに対応する。駆動の振幅と、したがってステップ幅は、最大である。高いモードでは、周波数は増加し、振幅は減少する。
自由回転可能なモーメント、すなわち締め付け影響が生じず、全体として力が作成されないものについて、f31
前進の線形動作について、f1
自由回転可能なモーメントについて、f32
後退の線形動作について、f2
時計回り方向の回転について、f4
半時計回り方向の回転について、f5
本発明にしたがったモータの操作において考慮されるべき1つの要素は、アームの剛性である。アームがより堅く形成されると、能動素子および受動素子がより正確に相互に整合しなければならず、熱膨張係数、製造公差、摩耗の影響がより大きい。
同じ方向に偏光され、異なる極性の信号により活性化されるか、
もしくは、同じ駆動信号により活性化されるが、フラット部分9上で反対方向に偏光されて配置されるか、
のいずれかである。
よい。アーム面内での接触領域7の振動もまた、このような非対称性を手段として励起されるであろう。この振動は、図32と一緒に説明されるように、YZ面の接触領域7の個々の点の回転を引き起こすアーム面に対して垂直な振動に重ねる。
rfenolから成る磁気ひずみ素子から構成される。共鳴装置3の振動は、これを手段として励起されてよい。
して、相互から離れるように曲げられ、次いで第2の鋭い屈曲27を手段として、再び相互に向かって曲げられる。第1および第2の鋭い屈曲およびその間にあるシート金属部分は、ばね領域8として機能する。第2の鋭い屈曲27に続き、それに取り付けられた励起手段4を有するフラット部分9が、原則的に相互に対して平行である。フラット部分9に続き、シート金属部分がこの面から、各フラット部分9の面に対して非対称に、相互に対して曲げられ、接触領域を有する2つの接触部分28を形成し、この接触部分は相互に向かって屈曲している。これらの接触部分28の領域内のシート金属部分は、フラット部分9におけるよりも広いことが好ましい。これを手段として、接触部分28は、フラット部分9の面の外側に、比較的大きな質量を有し、これは本発明の文脈における特徴的振動を改善する。アーム6の振動周波数は、接触部分28の横方向に突出した部分29を研磨することを手段として、適合するであろう。
ために、圧電素子4の分離活性化を行うこともまた可能である。
アーム対5のアーム6は、受動素子2に対して、受動素子2の許容動作方向と異なる方向に相互に反対に作用し、動作方向に相互に機能するので、動作方向におけるそれらの影響を増加させる。接触領域7もまた、フラットなアーム6の、もしくは共鳴装置3の面の外側に動き、したがって、振動周波数に一致して、三次元にのびる振動を行う。このような駆動のための振動モードを用いるために、受動素子1は、図35に示した溝なしで、たとえば相互に対してはね返るフラットな板を用いて、設計されることが好ましい。板の面、およびそれらの動作方向もまた、遊休状態の接触領域7の間の接続直線に対して垂直にのびることが好ましい。動作方向もまた、アームシート金属の面に対して平行にのびることが好ましいが、この面に対して垂直に、もしくは角度をなしてのびてもよい。普通は、前後の運動をもたらし、アームの面に対して平行であるいくつかの振動モードが存在する。操作に関して、相互に近接してある適切な励起周波数の対が、一方は前進について、他方は後退について、選択される。これは、両方の周波数に関する電圧を増加させるのに同じコイルが用いられてよいという利点を有する。
ール90に対する、原則的に線形もしくは直線の運動を可能にする。厳密に言えば、この動作は円弧に沿った平行移動であり、実際にはしかし、駆動部の文脈において、これもまた直線と考えられる。
置3の領域において行われることが好ましい。本発明の本実施形態において、この領域は圧電板6の少なくともおよそ中央にある。たとえば図43にしたがった、本発明の他の実施形態において、この領域は、方形の圧電板64の側面の中央にある。両方の実施形態において、共鳴装置3、3’および圧電板64、64’の振動は、このようにして、能動部分モジュール90の残りの部分から分離される。遷移領域の中間電極62は、同じ目的のため、弾性的な方法で起伏され、設計される。遷移領域は、圧電素子64、64’から、中間電極62が第1の接続タブ36によって接触されるキャリヤ要素60に通じる。
第1の共鳴装置3;
キャリヤ要素60;
第1の圧電板64;
任意に、中間電極62および第2の圧電板64’;
第2の共鳴装置3’。
波数の間の、少なくともおよそ中央にあるべきである。したがって、すべての励起周波数において、振動回路による電圧増加は、可能な限り高く、補償される。これにより、コイル35のインダクタンスが規定され、これはそれに応じて振動回路の固有周波数を設定する。最も近くにあるインダクタンス値を有する特定のコイルが、選択可能な一連のコイル35から選択され、能動部分モジュール90上に、たとえばハンダづけもしくは接合を手段として組み立てられる。
構成される。能動部分モジュール90の組み立てにおいて、いずれの場合も、能動部分モジュール90の対応する要素が、これらの溝に置き換え可能である。積算製造公差の理由で、誤差がこの手段を用いて補償され、能動部分モジュール90が、接続タブ36、36’がベース体83に接触するまで、ベース体83に対して押される。
とが好ましい、軸に沿った、もしくは軸の周囲の、線形および/もしくは回転性である。
2 能動素子
3 共鳴装置
4 励起手段
5 アーム対
6 アーム
7 接触領域
8 ばね領域
9 フラット部分
10 接続領域
11 動作軸
12 対称軸
14 開口
15 ローター
16 保持要素
17 固定穴
18 伸ばされたアーム
19 保持体
20 自由領域
21 チャネル
22 ホルダー
23 ワイパー
24 清掃手段
25 コイル
26 第1の鋭い屈曲
27 第2の鋭い屈曲
28 接触部分
29 横方向突出部
30 くぼみ
31 硬化タブ
32 取り付け部
33 ベース要素
34 接触タブ
35 コイル
36 接続タブ
37 共鳴装置シート金属部分
38 接続タブ
39 センサー
41 マルチ周波数発生器
42 周波数発生器
43 切り替えスイッチ
44 増幅器
45 モータ
46、47 電気接続リード
48 レンズ
49 切り込み
51 遷移領域
52 ノード点
53 ホルダー
54 縦方向溝
60 キャリヤ要素
61 接続表面
62 中間電極
64、64’ 圧電板
71 接触要素
72 接触板
73 接触アーム
74 ばね要素
75 ねじれ領域
76 固定領域
82 被駆動体
83 ベース体
84 蓋部分
85 平行機構
86 平行案内を有する支柱
87 駆動部ホルダー
90 能動部分モジュール
Claims (60)
- 能動素子(2)は、共鳴装置(3)および前記共鳴装置(3)の振動を励起する少なくとも1つの励起手段(4)から構成され、前記共鳴装置(3)は、受動素子(1)に力をおよぼす接触領域(7)から構成され、前記能動素子(2)は、前記接触領域(7)の振動動作を手段として前記受動素子(1)に対して駆動されてよい、前記受動素子(1)に対する前記能動素子(2)の動作のための駆動装置であって、前記共鳴装置(3)は少なくとも2つのアーム(6)、好ましくは一対(5)のアーム(6)から構成され、前記共鳴装置(3)の接続領域(10)から延在する前記少なくとも2つのアーム(6)は、前記共鳴装置(3)の同じ側に形成され、いずれの場合も前記接触領域(7)は前記アーム(6)の外端に形成され、前記接触領域(7)は、前記アーム対(5)の振動動作を手段として相互に向かって、もしくは相互から離れて動作可能であり、それにより、前記受動素子(1)の前記能動素子(2)に対する相対動作が生じることを特徴とする駆動装置。
- 前記少なくとも1つのアーム対(5)が原則的に対称であるように形成され、アーム対(5)の前記接触領域(7)が前記アーム対(5)に対して対称であるように相互に反対にある、請求項1に記載の駆動装置。
- アーム対(5)の前記接触領域(7)と前記受動素子(2)とが、遊休状態にある時に相互に対抗する付勢力をおよぼす、先行する請求項のうちいずれか一項に記載の駆動装置。
- アーム対(5)の前記アーム(6)が前記受動素子(1)を囲み、前記遊休状態にある前記接触領域(7)がいずれの場合も、前記受動素子(1)に内向きに力をおよぼす、請求項3に記載の駆動装置。
- 前記受動素子(1)が、アーム対(5)の前記アーム(6)を囲み、前記遊休状態にある前記接触領域(7)がいずれの場合も、前記受動素子(1)に外向きに力をおよぼす、請求項3に記載の駆動装置。
- 動作状態において、動作軸(11)に対して直交してのびる平面において、相互に対抗して働く力が前記接触領域(7)により前記受動素子(1)におよぼされる、先行する請求項のうちのいずれか一項に記載の駆動装置。
- 前記駆動装置が線形駆動を形成する、先行する請求項のうちのいずれか一項に記載の駆動装置。
- 前記共鳴装置(3)が少なくとも1つのフラット部分(9)から構成され、
前記少なくとも1つの励起手段(4)は前記少なくとも1つのフラット部分(9)に取り付けられ、
前記少なくとも1つの励起手段(4)はその平面性にしたがって、前記少なくとも1つの励起手段(4)の面を規定し、
前記アーム(6)は同様に二次元で形成され、前記アーム(6)の表面は、前記フラット部分(9)および前記励起手段(4)に対して原則的に平行にのびる、
先行する請求項のうちのいずれか一項に記載の駆動装置。 - 前記共鳴装置(3)は少なくとも1つのフラット部分(9)から構成され、
前記少なくとも1つの励起手段(4)は前記少なくとも1つのフラット部分(9)に取り付けられ、
前記少なくとも1つの励起手段(4)はその平面性にしたがって、前記少なくとも1つ
の励起手段(4)の面を規定し、
前記接触領域(7)の個々の質点の動作の駆動有効要素は、前記フラット部分(9)と前記励起手段(4)とに対して原則的に平行にのびる、
先行する請求項のうちのいずれか一項に記載の駆動装置。 - 前記共鳴装置(3)は少なくとも1つのフラット部分(9)から構成され、
前記少なくとも1つの励起手段(4)は前記少なくとも1つのフラット部分(9)に取り付けられ、
前記少なくとも1つの励起手段(4)はその平面性にしたがって前記少なくとも1つの励起手段の面を規定し、
前記接触領域(7)の個々の質点の動作の駆動有効要素は、前記フラット部分(9)もしくは前記励起手段(4)の面に対して角度をなして、とりわけ垂直に、のびる、
先行する請求項のうちのいずれか一項に記載の駆動装置。 - 前記共鳴装置(3)が、原則的に一定の厚みを有する、単一のフラットな、もしくは局部的に弓形の部分から形成される、先行する請求項のうちのいずれか一項に記載の駆動装置。
- 前記受動素子(1)および前記能動素子(2)が、ベース体(83)および被駆動体(82)を介して相互に弾性的に接続される、先行する請求項のうちのいずれか一項に記載の駆動装置。
- 前記能動素子(2)が、取り付け部(32)を介して前記ベース体(83)に弾性的に接続され、好ましくはこの弾性取り付け部(32)が前記共鳴装置(3)と共に一体として形成される、請求項12に記載の駆動装置。
- 励起手段(4)が、接続表面(61)を介して前記共鳴装置(3)に接続され、前記弾性取り付け部(32)が前記接続表面(61)の少なくともおよそ中央に通じる、請求項13に記載の駆動装置。
- 前記弾性取り付け部(32)が、前記接続表面(61)の少なくともおよそ中央で前記共鳴装置(3)の面から曲げられ、前記ベース体(83)上に固定するためにベース要素(33)に通じる、共鳴装置シート金属部分の部分から成る、請求項14に記載の駆動装置。
- 励起手段(4)が方形であり、方形接続表面(61)を介して前記共鳴装置(3)に接続され、前記方形接続表面(61)の側面の少なくともおよそ中央にある領域から発生する、少なくとも1つの弾性取り付け部(32)が、前記ベース体(83)上で固定するために、ベース要素(33)に通じる、請求項13に記載の駆動装置。
- 前記受動素子(1)がそれ自体弾性的に設計される、先行する請求項のうちのいずれかに一項に記載の駆動装置。
- 前記共鳴装置(3)の面における前記接触領域(7)の領域における、前記動作軸(11)に対して原則的に垂直である動作に対し、前記受動素子(1)は、前記共鳴装置(3)よりも100倍、好ましくは1000倍小さなばね定数を有する、請求項17に記載の駆動装置。
- 前記受動素子(1)は一体として設計される、先行する請求項のうちのいずれか一項に記載の駆動装置。
- 前記受動素子(1)は、前記接触要素(71)を前記接触領域に対して反対方向に押す少なくとも1つのばね要素(74)と同様に、いくつかの部分から設計され、前記接触領域(7)から被駆動体(82)へ駆動力を伝えるために、少なくとも2つの接触要素(71)から構成される、先行する請求項のうちのいずれか一項に記載の駆動装置。
- 前記受動素子(1)は前記被駆動体(82)に弾性的に接続され、好ましくはこの弾性接続(73)は、駆動力を適合するため、前記受動素子(1)の接触板(72)と共に一体として形成される、先行する請求項のうちのいずれか一項に記載の駆動装置。
- 前記弾性接続(73)が駆動力を伝える方向に堅く、それに直交する方向に柔軟である、請求項21に記載の駆動装置。
- 衝撃による損傷を避けるため、前記弾性接続(73)の動作を限定する手段から構成される、請求項22に記載の駆動装置。
- 好ましくは相互に平行であり、同じ受動素子(1)に作用する、相互に隣接して配置された少なくとも2つのアーム対(5、5’)を有する少なくとも2つの共鳴装置(3、3’)から構成される、先行する請求項のうちのいずれか一項に記載の駆動装置。
- 2つの共鳴装置(3、3’)の振動の励起のために、相互に対して平行に配置された前記2つの共鳴装置(3、3’)の間に配置され、少なくとも1つのフラットな励起手段(4)から構成される、請求項24に記載の駆動装置。
- 前記励起手段(4)の電気的接触のために、前記共鳴装置が導電性取り付け部(32)を介して少なくとも1つのベース要素(33)に接続され、前記伝導性の取り付け部(32)および前記共鳴装置(3)は一体として設計される、請求項25に記載の駆動装置。
- 前記励起手段(4)の電気的接触のために、少なくとも1つの中間電極(62)から構成され、少なくとも2つの励起手段(4)がいずれの場合も2つの前記共鳴装置(3、3’)の間に配置され、中間電極(62)がいずれの場合も2つの励起手段(4)の間に配置される、請求項25もしくは26に記載の駆動装置。
- 前記受動素子(1)が導電性の材料から成り、前記少なくとも2つの共鳴装置(3、3’)が導電性の方法で相互に接続される、請求項24から27のうちのいずれか一項に記載の駆動装置。
- シート金属のベース要素(33)が2つの前記共鳴装置(3、3’)のそれぞれに割り当てられ、少なくとも一方のベース要素(33)が、これの電気的接触のために、他方のベース要素(33)の方へ曲げられる、請求項28に記載の駆動装置。
- 前記受動素子(1)が電気的絶縁体から成り、前記少なくとも2つの共鳴装置(3、3’)が相互から電気的に絶縁される、請求項24から27のうちのいずれか一項に記載の駆動装置
- 前記受動素子(1)が2つの接触板(72)から構成され、前記接触板(72)のそれぞれは、相互に隣接してあるアーム(6)の接触領域(7)によって駆動されるであろう、請求項24から30に記載の駆動装置。
- 前記2つの接触板(72)がばね要素(74)によって、前記接触領域(7)に対抗し
て押され、前記接触板(72)は、誤差を補償するため、前記ばね要素(74)によってねじれ可能である、請求項31に記載の駆動装置。 - 前記相対運動が前記アーム対(5)の振動動作により、前記アーム(6)の基本振動モードにしたがって行われ、前記基本振動モードは、前記能動素子(2)の異なる振動モードの最も低い周波数を有する、請求項1に記載の駆動装置。
- 前記共鳴装置(3)は少なくとも1つのフラット部分(9)から構成され、
前記少なくとも1つの励起手段(4)は前記少なくとも1つのフラット部分(9)に取り付けられ、
前記少なくとも1つの励起手段(4)はその平面性にしたがって前記少なくとも1つの励起手段(4)の面を規定し、
前記共鳴装置(3)は基本振動モードを有し、この基本振動モードにおいて、前記接触領域(7)の個々の質点がいずれの場合も、対応する、原則として平行な基本振動面において動く、請求項1もしくは33に記載の駆動装置。 - 前記基本振動面および前記少なくとも1つの励起手段(4)の面が、原則的に相互に対して垂直である、請求項34に記載の駆動装置。
- 前記共鳴装置(3)が、原則的に前記基本振動面に対して垂直に配置された、さらなる面部分(9)から構成される、請求項34もしくは35に記載の駆動装置。
- いずれの場合も1つのアーム(6)の領域は、統合ばね領域(8)として設計される、請求項33から36のいずれか一項に記載の駆動装置。
- 前記共鳴装置(3)は一体である、請求項37に記載の駆動装置。
- 前記共鳴装置(3)は1もしくは複数の曲がったシート金属部分から形成される、請求項37もしくは38に記載の駆動装置。
- ばね領域(8)は前記曲がったシート金属部分の場所を曲げることから形成される、請求項39に記載の駆動装置。
- 1つのアーム(6)は、いずれの場合も前記ばね領域(8)と前記接触領域(7)との間のフラット部分(9)から構成され、このフラット部分(9)はそれ自体対称的であり、前記接触領域はこのフラット部分(9)に対して非対称に形成される、請求項33から40のいずれか一項に記載の駆動装置。
- 前記フラット部分(9)は平面で、非対称に形成された領域は、それぞれのアーム(6)の端でこの面に対して垂直に形成された、請求項41に記載の駆動装置。
- 前記フラット部分(9)が平面で、非対称に形成された領域は、この面内に、それぞれのアーム(6)の端において形成される、請求項41もしくは42に記載の駆動装置。
- アーム対(5)の前記2つのアーム(6)の前記フラット部分(9)が、原則的に相互に対して平行にのびる、請求項41から43のいずれか一項に記載の駆動装置。
- 励起手段(4)が、フラット部分(9)上のアーム(6)に、前記フラット部分(9)に対して平行に取り付けられる、先行する請求項のうちのいずれか一項に記載の駆動装置。
- アーム(6)に取り付けられた前記励起手段(4)が、
d−31モードで操作されるように、前記励起手段(4)もしくは対応するフラット部分の面に対して垂直に偏光され、電気的接続から構成される圧電素子、もしくは、
d−33モードで操作されるように、前記励起手段(4)もしくは対応するフラット部分の面に対して平行に偏光され、電気的接続から構成される圧電素子、
d15モードで操作されるであろう、それぞれのアーム(6)の反対側にある圧電素子(4)の表面で、支持体(19)の上に固定される圧電素子(4)、
とりわけそれぞれのフラット部分(9)の面に対して平行な面において伸展もしくは短縮することを手段として、前記アーム6の振動を励起するために設計される磁気ひずみ材料の本体で、前記駆動装置は、前記励起手段(4)の領域に磁界を作成する、少なくとも1つのコイル(25)から構成される、
のうちのいずれか1つである、請求項45に記載の駆動装置。 - 少なくとも1つの励起手段(4)が、アーム対(5)の前記少なくとも2つのアーム(6)を接続する前記共鳴装置(3)の接続領域(10)に配置される、先行する請求項のうちのいずれか一項に記載の駆動装置。
- 反対の方向を指し、任意に相互に対して動作軸(11)の周囲でねじれた、少なくとも2つのアーム対(5)から構成される、先行する請求項のうちのいずれか一項に記載の駆動装置。
- 同じ方向を指し、相互に対して動作軸(11)の周囲でねじれた、少なくとも2つのアーム対(5)から構成される、先行する請求項のうちのいずれか一項に記載の駆動装置。
- アーム対(5)の前記少なくとも2つのアーム(6)を接続する接続領域(10)に開口(14)が配置され、それを通って前記受動素子(1)が案内される、先行する請求項のうちのいずれか一項に記載の駆動装置。
- 前記受動素子(1)が円筒状であり、円筒軸は原則的に前記少なくとも1つのアーム対(5)の対称軸に一致する、先行する請求項のうちのいずれか一項に記載の駆動装置。
- 前記受動素子(1)が以下のグループのうちの1つである、請求項51に記載の駆動装置:原則的に丸い断面を有するロッド、原則的に方形の断面を有するロッド、管。
- 前記受動素子(1)が、前記少なくとも1つのアーム対(5)の間に配置され、その円筒軸が前記少なくとも1つのアーム対(5)の対称軸に対して垂直にのびる、回転円筒状の本体から構成される、請求項1から50のうちのいずれか一項に記載の駆動装置。
- 前記受動素子(1)が前記少なくとも1つのアーム対(5)の間に配置され、その円筒軸が前記少なくとも1つのアーム対(5)の対称軸に対して垂直にのびる2つの回転円筒状の本体から構成され、いずれの場合においても、2つの本体のうちの1つは前記少なくとも1つのアーム対(5)の前記アーム(6)の1つにいずれの場合も接触し、前記2つの回転円筒状の本体は、これらのアーム(6)により相互に対して押され、反対の回転方向に回転可能である、請求項1から50のうちのいずれか一項に記載の駆動装置。
- 前記アーム(6)はフラットで平面であり、もしくは曲げられておらず、前記アーム(6)は、前記励起手段(4)の反対方向にある平行面に固定され、同じ方向に相互に平行に延在し、前記受動素子(1)は自由端において前記アーム(6)の間に配置される、請求項1から54のうちのいずれか一項に記載の駆動装置。
- 少なくとも以下の部分を相互に適用するステップから構成され:
第1の共鳴装置(3);
キャリヤ要素(60);
第1の圧電板(64);
任意に、中間電極(62)と第2の圧電板(64’);
第2の共鳴装置(3’);
導電性接着剤が少なくとも局部的に、相互に対して適用された部分の間に、いずれの場合も2つのステップの間にもたらされる、先行する請求項のうちのいずれか一項に記載の駆動装置のための部分モジュール(90)を製造する方法。 - 言及された部分を共に押し、温度を上昇させることを手段として接着剤を硬化させるさらなるステップを有する、請求項56に記載の方法。
- 前もって組み立てられた配置の特性を測定する;
測定の結果にしたがってコイル(35)を選択する;
コイルを前記共鳴装置(3、3’)のうちの1つの接触タブ(34)に接続する;
さらなるステップを有する、請求項57に記載の方法。 - 駆動装置のための部分モジュール(90)を製造する方法であって、以下のステップから構成される:
第1の接触タブ(34)と同様、取り付け部(32)、ベース要素(33)を有する第1の共鳴装置(3)を、せん孔ストリップからせん孔し、せん孔ストリップへの接続は残る;
少なくとも以下の部分を相互に適用し、それらを接続する:
電気的絶縁体のキャリヤ要素(60);
前記第1の共鳴装置に電気的に接触する励起手段(4);
電極(62)もしくは第2の共鳴装置(3’)、
言及された要素は、前記せん孔ストリップを手段として搬送される前記第1の共鳴装置(3)に適用される、請求項1から55のうちの一項による方法。 - ベース体(83)およびそれと置換可能なホルダー(82)とから構成され、前記ホルダー(82)は光学素子を運ぶ、光学素子を位置づける位置づけ装置であって、請求項1から55のうちのいずれか一項に記載の駆動装置から構成されることを特徴とする位置づけ装置。
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