JPH1155966A - 把持装置 - Google Patents
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- JPH1155966A JPH1155966A JP9204398A JP20439897A JPH1155966A JP H1155966 A JPH1155966 A JP H1155966A JP 9204398 A JP9204398 A JP 9204398A JP 20439897 A JP20439897 A JP 20439897A JP H1155966 A JPH1155966 A JP H1155966A
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- friction
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 対象物を略一定の把持力で把持することがで
きる簡単な構成の把持装置を提供する。 【解決手段】 装置本体１２に圧電素子１４の伸縮方向
一端を固着結合する。圧電素子１４の伸縮方向他端に摩
擦棒１６の一端を固着結合する。装置本体１２は、摩擦
棒１６を圧電素子１４の伸縮方向に移動自在に支持す
る。把持部材１８に摩擦棒１６を挿通し、板ばね１８ａ
のばね付勢力を利用して両部材１６，１８を摩擦結合す
る。把持部材１８は、装置本体１２の把持部１２ｓに対
向する把持部１８ｓを有する。圧電素子１４にパルス電
圧を印加して把持部材１８を摩擦棒１６に沿って駆動
し、把持部１２ｓ，１８ｓで対象物を把持する。一定以
上の大きさの力が把持部１８ｓに作用すると、把持部材
１８と摩擦棒１６との間で滑りが生じる。
きる簡単な構成の把持装置を提供する。 【解決手段】 装置本体１２に圧電素子１４の伸縮方向
一端を固着結合する。圧電素子１４の伸縮方向他端に摩
擦棒１６の一端を固着結合する。装置本体１２は、摩擦
棒１６を圧電素子１４の伸縮方向に移動自在に支持す
る。把持部材１８に摩擦棒１６を挿通し、板ばね１８ａ
のばね付勢力を利用して両部材１６，１８を摩擦結合す
る。把持部材１８は、装置本体１２の把持部１２ｓに対
向する把持部１８ｓを有する。圧電素子１４にパルス電
圧を印加して把持部材１８を摩擦棒１６に沿って駆動
し、把持部１２ｓ，１８ｓで対象物を把持する。一定以
上の大きさの力が把持部１８ｓに作用すると、把持部材
１８と摩擦棒１６との間で滑りが生じる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、把持装置に関し、
半導体製造業等の精密なハンドリングが必要な分野に特
に好適な把持装置に関する。
半導体製造業等の精密なハンドリングが必要な分野に特
に好適な把持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、チャック爪等を有する把持装置に
おいて、対象物に加わる把持力に上限を設ける場合に
は、トルクリミッタ等を用いていた。また、対象物とチ
ャック爪等との位置ずれを吸収できるようにするには、
対象物の載置台または把持装置自体に、センタリング機
構や位置合わせ誤差吸収機構などが必要であった。この
ように、何らかの専用の機構を追加しないと、対象物を
略一定の力で把持したり、対象物との位置ずれを吸収す
ることができないため、把持装置の構成は複雑にならざ
るを得なかった。
おいて、対象物に加わる把持力に上限を設ける場合に
は、トルクリミッタ等を用いていた。また、対象物とチ
ャック爪等との位置ずれを吸収できるようにするには、
対象物の載置台または把持装置自体に、センタリング機
構や位置合わせ誤差吸収機構などが必要であった。この
ように、何らかの専用の機構を追加しないと、対象物を
略一定の力で把持したり、対象物との位置ずれを吸収す
ることができないため、把持装置の構成は複雑にならざ
るを得なかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明が
解決しようとする技術的課題は、対象物を略一定の把持
力で把持することができる簡単な構成の把持装置を提供
することである。
解決しようとする技術的課題は、対象物を略一定の把持
力で把持することができる簡単な構成の把持装置を提供
することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記技術的課題を解決す
るために、本発明は、以下の構成の把持装置を提供す
る。
るために、本発明は、以下の構成の把持装置を提供す
る。
【０００５】把持装置は、複数の把持部材間の距離を変
えることによって対象物を把持するようにしたタイプの
ものである。把持装置は、駆動パルス発生手段に接続さ
れて伸縮し、その伸縮方向一端が装置本体に固着結合さ
れた電気機械変換素子と、この電気機械変換素子の伸縮
方向他端に固着結合され上記電気機械変換素子の伸縮方
向に延在する摩擦棒と、この摩擦棒に摩擦結合して該摩
擦棒に沿って移動させられる駆動部材とを備える。この
駆動部材によって、少なくとも一つの上記把持部材が構
成される。
えることによって対象物を把持するようにしたタイプの
ものである。把持装置は、駆動パルス発生手段に接続さ
れて伸縮し、その伸縮方向一端が装置本体に固着結合さ
れた電気機械変換素子と、この電気機械変換素子の伸縮
方向他端に固着結合され上記電気機械変換素子の伸縮方
向に延在する摩擦棒と、この摩擦棒に摩擦結合して該摩
擦棒に沿って移動させられる駆動部材とを備える。この
駆動部材によって、少なくとも一つの上記把持部材が構
成される。
【０００６】上記構成において、少なくとも一つの把持
部材、すなわち駆動部材を摩擦棒に沿って間欠的に相対
移動させ、複数の把持部材間の距離を変えることによっ
て対象物を把持する。なお、本明細書中の『把持』とい
う用語は、把持部材が対象物の周囲に外側から内向きに
当接するような場合だけでなく、把持部材が例えば筒状
の対象物の内側から外向きに広がり対象物の内周面に当
接するような場合も含んでいる。駆動部材は、駆動パル
ス発生手段によって適宜のパターンで電気機械変換素子
を伸縮させることによって、相対移動させる。たとえ
ば、伸びるときと縮むときとで異なる速度で電気機械変
換素子を伸縮させ、電気機械変換素子が伸びるときと縮
むときとで、摩擦棒に対する駆動部材のすべり距離が異
なるようにする。これによって、駆動部材が一方向に移
動するように駆動する。
部材、すなわち駆動部材を摩擦棒に沿って間欠的に相対
移動させ、複数の把持部材間の距離を変えることによっ
て対象物を把持する。なお、本明細書中の『把持』とい
う用語は、把持部材が対象物の周囲に外側から内向きに
当接するような場合だけでなく、把持部材が例えば筒状
の対象物の内側から外向きに広がり対象物の内周面に当
接するような場合も含んでいる。駆動部材は、駆動パル
ス発生手段によって適宜のパターンで電気機械変換素子
を伸縮させることによって、相対移動させる。たとえ
ば、伸びるときと縮むときとで異なる速度で電気機械変
換素子を伸縮させ、電気機械変換素子が伸びるときと縮
むときとで、摩擦棒に対する駆動部材のすべり距離が異
なるようにする。これによって、駆動部材が一方向に移
動するように駆動する。
【０００７】上記のように摩擦駆動される駆動部材によ
って構成された少なくとも一つの把持部材は、対象物に
当接して大きな力が加わると、摩擦棒と駆動部材との間
の摩擦結合部で滑りが生じるので、把持力は、摩擦棒と
駆動部材との間の摩擦力に決まる一定の大きさを越える
ことはない。また、対象物を把持しているときの把持力
は、摩擦棒と駆動部材との間の摩擦力に決まる略一定の
大きさとなる。
って構成された少なくとも一つの把持部材は、対象物に
当接して大きな力が加わると、摩擦棒と駆動部材との間
の摩擦結合部で滑りが生じるので、把持力は、摩擦棒と
駆動部材との間の摩擦力に決まる一定の大きさを越える
ことはない。また、対象物を把持しているときの把持力
は、摩擦棒と駆動部材との間の摩擦力に決まる略一定の
大きさとなる。
【０００８】したがって、簡単な構成で、対象物を略一
定の把持力で把持することができる。
定の把持力で把持することができる。
【０００９】また、本発明は、複数の把持部材間の距離
を変えることによって対象物を把持するようにしたタイ
プの把持装置について、別の構成の把持装置を提供す
る。
を変えることによって対象物を把持するようにしたタイ
プの把持装置について、別の構成の把持装置を提供す
る。
【００１０】把持装置は、駆動パルス発生手段に接続さ
れて伸縮する電気機械変換素子と、この電気機械変換素
子の伸縮方向両端にそれぞれ固着結合され上記電気機械
変換素子の伸縮方向に延在する一対の摩擦棒と、この各
摩擦棒にそれぞれ摩擦結合してこの各摩擦棒に沿って移
動させられる二つの駆動部材と、上記各摩擦棒を上記電
気機械変換素子方向にそれぞれ付勢する付勢手段とを備
える。上記各駆動部材によって、二つの上記把持部材が
それぞれ構成される。
れて伸縮する電気機械変換素子と、この電気機械変換素
子の伸縮方向両端にそれぞれ固着結合され上記電気機械
変換素子の伸縮方向に延在する一対の摩擦棒と、この各
摩擦棒にそれぞれ摩擦結合してこの各摩擦棒に沿って移
動させられる二つの駆動部材と、上記各摩擦棒を上記電
気機械変換素子方向にそれぞれ付勢する付勢手段とを備
える。上記各駆動部材によって、二つの上記把持部材が
それぞれ構成される。
【００１１】上記構成において、一つの電気機械変換素
子によって、一対の把持部材を駆動することができる。
すなわち、電気機械変換素子が伸縮すると、付勢手段に
よって付勢された一対の摩擦棒は互いに逆方向に往復移
動し、これによって、二つの駆動部材は互いに反対方向
に駆動される。この二つの駆動部材によって把持部材が
構成されるので、摩擦棒との摩擦結合により、同様に把
持力が与えられる。
子によって、一対の把持部材を駆動することができる。
すなわち、電気機械変換素子が伸縮すると、付勢手段に
よって付勢された一対の摩擦棒は互いに逆方向に往復移
動し、これによって、二つの駆動部材は互いに反対方向
に駆動される。この二つの駆動部材によって把持部材が
構成されるので、摩擦棒との摩擦結合により、同様に把
持力が与えられる。
【００１２】したがって、簡単な構成で、対象物を略一
定の把持力で把持することができる。
定の把持力で把持することができる。
【００１３】好ましくは、上記駆動部材を上記摩擦棒に
付勢して、上記駆動部材と上記摩擦棒力との摩擦結合力
を大略一定に保つ摩擦結合力調整機構をさらに備える。
付勢して、上記駆動部材と上記摩擦棒力との摩擦結合力
を大略一定に保つ摩擦結合力調整機構をさらに備える。
【００１４】上記構成により、駆動部材を摩擦棒に付勢
する付勢力の大きさを変えると、駆動部材と摩擦棒力と
の摩擦結合力の大きさが変わる。したがって、付勢力を
変えることによって、所定の把持力を得ることができ、
必要以上に大きな把持力が生じないようにすることでき
る。
する付勢力の大きさを変えると、駆動部材と摩擦棒力と
の摩擦結合力の大きさが変わる。したがって、付勢力を
変えることによって、所定の把持力を得ることができ、
必要以上に大きな把持力が生じないようにすることでき
る。
【００１５】好ましくは、少なくとも二つの上記駆動部
材によって構成された二つの上記把持部材を備える。こ
の各駆動部材についてそれぞれ上記摩擦結合力調整機構
を設ける。
材によって構成された二つの上記把持部材を備える。こ
の各駆動部材についてそれぞれ上記摩擦結合力調整機構
を設ける。
【００１６】上記構成において、各把持部材、すなわち
各駆動部材について、把持装置と対象物との位置がずれ
て対象物に各把持部材が同時に当接しない場合、先に当
接した把持部材が対象物を移動させない程度の把持力を
与え、すべての把持部材が対象物を移動させることなく
対象物に当接するように摩擦結合力調整機構を適宜に調
整すれば、装置本体も対象物も移動させることなく、対
象物を把持することができる。したがって、把持装置と
対象物との位置合わせ誤差を吸収することができる。ま
た、対象物を把持した状態で、例えば、電気機械変換素
子の一方をゆっくり伸ばすと同時に、他方をゆっくり縮
め、把持した対象物を電気機械変換素子の伸縮範囲内で
微少移動させて、微少位置合わせを行うことが可能であ
る。
各駆動部材について、把持装置と対象物との位置がずれ
て対象物に各把持部材が同時に当接しない場合、先に当
接した把持部材が対象物を移動させない程度の把持力を
与え、すべての把持部材が対象物を移動させることなく
対象物に当接するように摩擦結合力調整機構を適宜に調
整すれば、装置本体も対象物も移動させることなく、対
象物を把持することができる。したがって、把持装置と
対象物との位置合わせ誤差を吸収することができる。ま
た、対象物を把持した状態で、例えば、電気機械変換素
子の一方をゆっくり伸ばすと同時に、他方をゆっくり縮
め、把持した対象物を電気機械変換素子の伸縮範囲内で
微少移動させて、微少位置合わせを行うことが可能であ
る。
【００１７】好ましくは、装置本体に一体的に構成され
た一つの把持部材と、上記駆動部材によって構成された
一つの把持部材とを備える。
た一つの把持部材と、上記駆動部材によって構成された
一つの把持部材とを備える。
【００１８】上記構成によれば、把持装置は、各一つの
電気機械変換素子、摩擦棒および駆動部材を備え、最も
簡単な構成となる。また、装置本体側の把持部は、大き
な力が作用しても、他方の把持部材のように滑りは生じ
ない。したがって、たとえば、把持した対象物を装置本
体側の把持部で引き寄せるようなことも可能となる。
電気機械変換素子、摩擦棒および駆動部材を備え、最も
簡単な構成となる。また、装置本体側の把持部は、大き
な力が作用しても、他方の把持部材のように滑りは生じ
ない。したがって、たとえば、把持した対象物を装置本
体側の把持部で引き寄せるようなことも可能となる。
【００１９】好ましくは、上記電気機械変換素子、上記
摩擦棒および上記駆動部材を二組備える。上記各駆動部
材によって２つの上記把持部材が構成される。二組の上
記電気機械変換素子および上記摩擦棒は、上記電気機械
変換素子同士がその伸縮方向に隣接し、上記各摩擦棒が
互いに外側となるように一直線に揃えて配置される。
摩擦棒および上記駆動部材を二組備える。上記各駆動部
材によって２つの上記把持部材が構成される。二組の上
記電気機械変換素子および上記摩擦棒は、上記電気機械
変換素子同士がその伸縮方向に隣接し、上記各摩擦棒が
互いに外側となるように一直線に揃えて配置される。
【００２０】上記構成によれば、必要以上の把持力が発
生しないことに加え、対象物を移動することなく把持す
ることによって把持装置と対象物との位置合わせ誤差を
吸収することが可能である。また、各電気機械変換素子
の伸縮範囲内で、電気機械変換素子の一方を伸ばし、他
方を縮めることによって、対象物を把持した状態で微少
位置合わせを行うことも可能である。
生しないことに加え、対象物を移動することなく把持す
ることによって把持装置と対象物との位置合わせ誤差を
吸収することが可能である。また、各電気機械変換素子
の伸縮範囲内で、電気機械変換素子の一方を伸ばし、他
方を縮めることによって、対象物を把持した状態で微少
位置合わせを行うことも可能である。
【００２１】好ましくは、二組の上記電気機械変換素子
および上記摩擦棒を備え、上記各摩擦棒が互いに外側と
なり、その伸縮方向が互いに平行となるように上記各電
気機械変換素子を並列に配置する。
および上記摩擦棒を備え、上記各摩擦棒が互いに外側と
なり、その伸縮方向が互いに平行となるように上記各電
気機械変換素子を並列に配置する。
【００２２】上記構成によれば、電気機械変換素子を並
列に配置することによって、電気機械変換素子の伸縮方
向の装置寸法を短くすることが可能となる。
列に配置することによって、電気機械変換素子の伸縮方
向の装置寸法を短くすることが可能となる。
【００２３】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る把持装置の各
実施形態について、図１〜図６を参照しながら説明す
る。
実施形態について、図１〜図６を参照しながら説明す
る。
【００２４】まず、第１実施形態の把持装置１０につい
て、図１の斜視図、図２のブロック図および図６の断面
図を参照しながら説明する。
て、図１の斜視図、図２のブロック図および図６の断面
図を参照しながら説明する。
【００２５】この把持装置１０は、本体１２と、圧電素
子１４と、摩擦棒１６と、把持部材１８とを備える。本
体１２は、２つの凹部１２ａ，１２ｂと、Ｌ字状に形成
された把持部１２ｓとを有する。圧電素子１４は、本体
１２の把持部１２ｓ側の一方の凹部１２ａ内に配置さ
れ、その伸縮方向の一端が把持部１２ｓ側の凹部面に固
着結合されている。摩擦棒１６は、その大部分が、他方
の凹部１２ｂ内に配置され、その両端部が圧電素子２４
の伸縮方向に移動自在に本体１２によって支持され、そ
の一方の端面が圧電素子１４の伸縮方向の他端に固着結
合されている。
子１４と、摩擦棒１６と、把持部材１８とを備える。本
体１２は、２つの凹部１２ａ，１２ｂと、Ｌ字状に形成
された把持部１２ｓとを有する。圧電素子１４は、本体
１２の把持部１２ｓ側の一方の凹部１２ａ内に配置さ
れ、その伸縮方向の一端が把持部１２ｓ側の凹部面に固
着結合されている。摩擦棒１６は、その大部分が、他方
の凹部１２ｂ内に配置され、その両端部が圧電素子２４
の伸縮方向に移動自在に本体１２によって支持され、そ
の一方の端面が圧電素子１４の伸縮方向の他端に固着結
合されている。
【００２６】把持部材１８は、摩擦棒１６に摩擦結合
し、摩擦棒１６に沿って、回転することなく移動させら
れるようになっている。すなわち、図６の断面図に示す
ように、把持部材１８には摩擦棒１６が挿通され、板ば
ね１８ａのばね付勢力を利用して、挿通された摩擦棒１
６に適宜の一定圧力で当接するようになっている。調整
用ビス１９を用いて板ばね１８ａによる付勢力を変える
ことによって、把持力を適宜に調整することができる。
また、把持部材１８は、本体１２の凹部１２ｂに設けた
溝１２ｋに係合して、回転が阻止されるようになってい
る。把持部材１８は、本体１２の把持部１２ｓに対向す
る大略Ｌ字状の把持部１８ｓを有する。圧電素子１４
は、図２に示すように、駆動パルス発生装置１１に接続
されている。
し、摩擦棒１６に沿って、回転することなく移動させら
れるようになっている。すなわち、図６の断面図に示す
ように、把持部材１８には摩擦棒１６が挿通され、板ば
ね１８ａのばね付勢力を利用して、挿通された摩擦棒１
６に適宜の一定圧力で当接するようになっている。調整
用ビス１９を用いて板ばね１８ａによる付勢力を変える
ことによって、把持力を適宜に調整することができる。
また、把持部材１８は、本体１２の凹部１２ｂに設けた
溝１２ｋに係合して、回転が阻止されるようになってい
る。把持部材１８は、本体１２の把持部１２ｓに対向す
る大略Ｌ字状の把持部１８ｓを有する。圧電素子１４
は、図２に示すように、駆動パルス発生装置１１に接続
されている。
【００２７】上記のように構成された把持装置１０は、
駆動パルス発生装置１１によって圧電素子１４に適宜波
形のパルス電圧を加え、把持部１８ｓが本体１２の把持
部１２ｓに近づくように把持部材１８を移動させること
のよって、両把持部１２ｓ，１８ｓ間に対象物を把持す
ることができる。
駆動パルス発生装置１１によって圧電素子１４に適宜波
形のパルス電圧を加え、把持部１８ｓが本体１２の把持
部１２ｓに近づくように把持部材１８を移動させること
のよって、両把持部１２ｓ，１８ｓ間に対象物を把持す
ることができる。
【００２８】すなわち、たとえば鋸歯状のパルス電圧を
圧電素子１４に印加し、圧電素子１４がゆっくり伸びる
ときには把持部材１８を摩擦棒１６ととともに一体的に
移動させる一方、圧電素子１４が急激に縮むときには、
把持部材１８と摩擦棒１６との間で滑りが生じ、把持部
材１８は慣性力によって静止したまま移動せず、摩擦棒
１６だけが圧電素子１４の縮み方向に移動され、これを
繰り返すことによって、把持部材１８を摩擦棒１６に沿
って間欠的に移動させる。周波数を高くすると、圧電素
子１４が伸びるときと縮むときとで滑りが生じる状態に
変遷していくが、その場合でも、一方向への滑り量と逆
方向への滑り量との差によって、結果的に一方向に把持
部材１８を駆動することができる。この実施形態では、
後者のように両方向で滑りが生じるようにして把持部材
１８を駆動しているが、前者のように駆動することも可
能である。
圧電素子１４に印加し、圧電素子１４がゆっくり伸びる
ときには把持部材１８を摩擦棒１６ととともに一体的に
移動させる一方、圧電素子１４が急激に縮むときには、
把持部材１８と摩擦棒１６との間で滑りが生じ、把持部
材１８は慣性力によって静止したまま移動せず、摩擦棒
１６だけが圧電素子１４の縮み方向に移動され、これを
繰り返すことによって、把持部材１８を摩擦棒１６に沿
って間欠的に移動させる。周波数を高くすると、圧電素
子１４が伸びるときと縮むときとで滑りが生じる状態に
変遷していくが、その場合でも、一方向への滑り量と逆
方向への滑り量との差によって、結果的に一方向に把持
部材１８を駆動することができる。この実施形態では、
後者のように両方向で滑りが生じるようにして把持部材
１８を駆動しているが、前者のように駆動することも可
能である。
【００２９】把持部材１８と摩擦棒１６との間の摩擦結
合力を越える力が把持部材１８に作用すると、両部材１
６，１８間で滑りが生じるので、把持部材１８によって
対象物に一定以上の把持力が作用することはない。ま
た、両部材１６，１８間の摩擦結合力は、板ばね１８ａ
による付勢力が大きくなるほど大きくなるので、板ばね
１８ａによる付勢力を適宜に設定し、把持部材１８と摩
擦棒１６との摩擦結合力を変えるにすることによって、
対象物を把持する把持力を所望の大きさに調整すること
ができる。
合力を越える力が把持部材１８に作用すると、両部材１
６，１８間で滑りが生じるので、把持部材１８によって
対象物に一定以上の把持力が作用することはない。ま
た、両部材１６，１８間の摩擦結合力は、板ばね１８ａ
による付勢力が大きくなるほど大きくなるので、板ばね
１８ａによる付勢力を適宜に設定し、把持部材１８と摩
擦棒１６との摩擦結合力を変えるにすることによって、
対象物を把持する把持力を所望の大きさに調整すること
ができる。
【００３０】次に、２つの把持部がそれぞれ移動するよ
うにした第２実施形態の駆動装置２０について、図３の
斜視図を参照しながら説明する。
うにした第２実施形態の駆動装置２０について、図３の
斜視図を参照しながら説明する。
【００３１】この駆動装置２０は、本体２２と、２組の
圧電素子２４、摩擦棒２６および把持部材２８とを備え
る。
圧電素子２４、摩擦棒２６および把持部材２８とを備え
る。
【００３２】本体２２は、その一側面に４つの凹部２２
ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄを有する。２つの圧電素子
２４は、内側の凹部２２ｂ，２２ｃ内にそれぞれ配置さ
れ、その伸縮方向の一端が各凹部２２ｂ，２２ｃの本体
内側の面にそれぞれ固着結合されている。各摩擦棒２６
は、その大部分が、外側の凹部２２ａ，２２ｄ内にそれ
ぞれ配置され、その両端部が圧電素子２４の伸縮方向に
移動自在に本体２２によってそれぞれ支持され、その一
方の端面が圧電素子２４の伸縮方向の他端にそれぞれ固
着結合されている。
ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄを有する。２つの圧電素子
２４は、内側の凹部２２ｂ，２２ｃ内にそれぞれ配置さ
れ、その伸縮方向の一端が各凹部２２ｂ，２２ｃの本体
内側の面にそれぞれ固着結合されている。各摩擦棒２６
は、その大部分が、外側の凹部２２ａ，２２ｄ内にそれ
ぞれ配置され、その両端部が圧電素子２４の伸縮方向に
移動自在に本体２２によってそれぞれ支持され、その一
方の端面が圧電素子２４の伸縮方向の他端にそれぞれ固
着結合されている。
【００３３】２つの把持部材２８は、第１実施形態の装
置１０と同様に構成される。すなわち、各把持部材２８
は、摩擦棒２６にそれぞれ摩擦結合し、溝２２ｋによっ
て回転が規制され、摩擦棒２６に沿って移動させられる
ようになっている。各把持部材２８は、摩擦結合力を調
整するための板ばね２８ａをそれぞれ有する。各把持部
材２８は、互いに対向する大略Ｌ字状の把持部２８ｓを
それぞれ有する。
置１０と同様に構成される。すなわち、各把持部材２８
は、摩擦棒２６にそれぞれ摩擦結合し、溝２２ｋによっ
て回転が規制され、摩擦棒２６に沿って移動させられる
ようになっている。各把持部材２８は、摩擦結合力を調
整するための板ばね２８ａをそれぞれ有する。各把持部
材２８は、互いに対向する大略Ｌ字状の把持部２８ｓを
それぞれ有する。
【００３４】この装置２０は、把持部材２８ｓに一定以
上の力が加わると、摩擦棒２６との把持部材２８との間
で滑りが生じるので、把持力を一定以下にすることがで
きる。
上の力が加わると、摩擦棒２６との把持部材２８との間
で滑りが生じるので、把持力を一定以下にすることがで
きる。
【００３５】また、適宜に把持力を調整することによっ
て、把持した対象物が把持装置２０の中心からずれてい
れば、一方の把持部２８ｓが対象物の当接するとその移
動が停止し、他方の把持部２８ｓのみが対象物側に移動
し、最終的には両方の把持部２８ｓで対象物を把持する
ようにすることできる。したがって、簡単な構成で、対
象物と装置２０本体との位置ずれを吸収して対象物を把
持することができる。
て、把持した対象物が把持装置２０の中心からずれてい
れば、一方の把持部２８ｓが対象物の当接するとその移
動が停止し、他方の把持部２８ｓのみが対象物側に移動
し、最終的には両方の把持部２８ｓで対象物を把持する
ようにすることできる。したがって、簡単な構成で、対
象物と装置２０本体との位置ずれを吸収して対象物を把
持することができる。
【００３６】また、圧電素子２４の一方を伸ばし、他方
を縮めることによって、把持した対象物を圧電素子２４
の伸縮範囲内で微少移動させ、微少位置合わせを行うこ
とが可能である。
を縮めることによって、把持した対象物を圧電素子２４
の伸縮範囲内で微少移動させ、微少位置合わせを行うこ
とが可能である。
【００３７】次に、第３実施形態の把持装置３０につい
て、図４の斜視図を参照しながら説明する。
て、図４の斜視図を参照しながら説明する。
【００３８】この駆動装置３０は、本体３２と、２組の
圧電素子３４、摩擦棒３６および把持部材３８とを備え
る。
圧電素子３４、摩擦棒３６および把持部材３８とを備え
る。
【００３９】本体３２は、その一側面に３つの凹部３２
ａ，３２ｂ，３２ｃを有する。２つの圧電素子３４は、
中央の凹部３２ｂ内に互いに平行に配置され、各圧電素
子３４の伸縮方向の互いに反対側の一端が、凹部３２ｂ
の対向する面にそれぞれ固着結合されている。各摩擦棒
３６は、その大部分が外側の凹部１２ａ，１２ｃ内にそ
れぞれ配置され、その両端部が圧電素子３４の伸縮方向
に移動自在に本体３２によってそれぞれ支持され、その
一方の端面が圧電素子３４の伸縮方向の他端にそれぞれ
固着結合されている。
ａ，３２ｂ，３２ｃを有する。２つの圧電素子３４は、
中央の凹部３２ｂ内に互いに平行に配置され、各圧電素
子３４の伸縮方向の互いに反対側の一端が、凹部３２ｂ
の対向する面にそれぞれ固着結合されている。各摩擦棒
３６は、その大部分が外側の凹部１２ａ，１２ｃ内にそ
れぞれ配置され、その両端部が圧電素子３４の伸縮方向
に移動自在に本体３２によってそれぞれ支持され、その
一方の端面が圧電素子３４の伸縮方向の他端にそれぞれ
固着結合されている。
【００４０】２つの把持部材３８は、同様に、板ばね３
８ａを有し、摩擦棒３６に摩擦結合し、溝３２ｋによっ
て回転が規制され、摩擦棒３６に沿って移動させられる
ようになっている。各把持部材３８は、互いに対向する
大略Ｌ字状の把持部３８ｓをそれぞれ有する。
８ａを有し、摩擦棒３６に摩擦結合し、溝３２ｋによっ
て回転が規制され、摩擦棒３６に沿って移動させられる
ようになっている。各把持部材３８は、互いに対向する
大略Ｌ字状の把持部３８ｓをそれぞれ有する。
【００４１】この装置３０は、第２実施形態の装置２０
と同様に、把持力は略一定であり、装置３０と対象物と
の位置ずれを吸収でき、電気機械変換素子３４の伸縮範
囲内で微少位置合わせが可能であるが、電気機械変換素
子３４を並列に配置しているので、直列に配置した第２
実施形態の装置２０に比べて、電気機械変換素子３４の
伸縮方向の寸法を小さくすることができる。
と同様に、把持力は略一定であり、装置３０と対象物と
の位置ずれを吸収でき、電気機械変換素子３４の伸縮範
囲内で微少位置合わせが可能であるが、電気機械変換素
子３４を並列に配置しているので、直列に配置した第２
実施形態の装置２０に比べて、電気機械変換素子３４の
伸縮方向の寸法を小さくすることができる。
【００４２】次に、第４実施形態の把持装置４０につい
て、図５の斜視図を参照しながら説明する。
て、図５の斜視図を参照しながら説明する。
【００４３】この駆動装置４０は、本体４２と、１つの
圧電素子４４と、２組の摩擦棒４６および把持部材４８
とを備える。
圧電素子４４と、２組の摩擦棒４６および把持部材４８
とを備える。
【００４４】本体４２は、その一側面に３つの凹部４２
ａ，４２ｂ，４２ｃを有する。圧電素子４４は、中央の
凹部４２ｂ内に配置される。各摩擦棒４６は、その大部
分が、外側の凹部４２ａ，４２ｃ内にそれぞれ配置さ
れ、その両端部が本体４２に圧電素子４４の伸縮方向に
移動自在にそれぞれ支持され、その一方の端面が圧電素
子４４の伸縮方向の端面にそれぞれ固着結合されてい
る。摩擦棒４６の他方の端面は、本体４２に固定した板
ばね４６によって内側、すなわち圧電素子４４側へ付勢
されるようになっている。
ａ，４２ｂ，４２ｃを有する。圧電素子４４は、中央の
凹部４２ｂ内に配置される。各摩擦棒４６は、その大部
分が、外側の凹部４２ａ，４２ｃ内にそれぞれ配置さ
れ、その両端部が本体４２に圧電素子４４の伸縮方向に
移動自在にそれぞれ支持され、その一方の端面が圧電素
子４４の伸縮方向の端面にそれぞれ固着結合されてい
る。摩擦棒４６の他方の端面は、本体４２に固定した板
ばね４６によって内側、すなわち圧電素子４４側へ付勢
されるようになっている。
【００４５】２つの把持部材４８は、同様に、板ばね４
８ａを有し、摩擦棒４６に摩擦結合し、摩擦棒４６に沿
って、溝４２ｋによって回転が規制されながら移動させ
られるようになっている。各把持部材４８は、互いに対
向する大略Ｌ字状の把持部４８ｓをそれぞれ有する。
８ａを有し、摩擦棒４６に摩擦結合し、摩擦棒４６に沿
って、溝４２ｋによって回転が規制されながら移動させ
られるようになっている。各把持部材４８は、互いに対
向する大略Ｌ字状の把持部４８ｓをそれぞれ有する。
【００４６】この装置４０は、略一定の把持力を有し、
対象物と把持装置４０との位置ずれを吸収できる点で
は、他の装置２０，３０と同様であるが、一つの圧電素
子４４によって二つの把持部材４８を駆動できる点で異
なる。
対象物と把持装置４０との位置ずれを吸収できる点で
は、他の装置２０，３０と同様であるが、一つの圧電素
子４４によって二つの把持部材４８を駆動できる点で異
なる。
【００４７】なお、本発明は上記実施形態に限定される
ものではなく、その他種々の態様で実施可能である。た
とえば、把持部材を３つ以上備えてもよく、素子と軸と
が非平行に配置されてもよい。また、圧電素子の代わり
に、電歪素子、磁歪素子等の他の種類の電気機械変換素
子を用いることも可能である。
ものではなく、その他種々の態様で実施可能である。た
とえば、把持部材を３つ以上備えてもよく、素子と軸と
が非平行に配置されてもよい。また、圧電素子の代わり
に、電歪素子、磁歪素子等の他の種類の電気機械変換素
子を用いることも可能である。
【図１】 本発明の第１実施形態の把持装置の斜視図で
ある。
ある。
【図２】 図１の把持装置のブロック図である。
【図３】 本発明の第２実施形態の把持装置の斜視図で
ある。
ある。
【図４】 本発明の第３実施形態の把持装置の斜視図で
ある。
ある。
【図５】 本発明の第４実施形態の把持装置の斜視図で
ある。
ある。
【図６】 図１の把持部材の断面図である。
１０ 把持装置 １１ 駆動パルス発生装置（駆動パルス発生手段） １２ 本体 １２ａ，１２ｂ 凹部 １２ｋ 溝 １２ｓ 把持部（把持部材） １４ 圧電素子 １６ 摩擦棒 １８ 把持部材 １８ａ 板ばね １８ｓ 把持部 １９ 調整用ビス ２０ 把持装置 ２２ 本体 ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ 凹部 ２２ｋ 溝 ２４ 圧電素子 ２６ 摩擦棒 ２８ 把持部材 ２８ａ 板ばね ２８ｓ 把持部 ３０ 把持装置 ３２ 本体 ３２ａ，３２ｂ，３２ｃ 凹部 ３２ｋ 溝 ３４ 圧電素子 ３６ 摩擦棒 ３８ 把持部材 ３８ａ 板ばね ３８ｓ 把持部 ４０ 把持装置 ４２ 本体 ４２ａ，４２ｂ，４２ｃ 凹部 ４２ｋ 溝 ４４ 圧電素子 ４６ 摩擦棒 ４８ 把持部材 ４８ａ 板ばね ４８ｓ 把持部
Claims (7)
- 【請求項１】 複数の把持部材間の距離を変えることに
よって対象物を把持するようにした把持装置において、 駆動パルス発生手段に接続されて伸縮し、その伸縮方向
一端が装置本体に固着結合された電気機械変換素子と、
該電気機械変換素子の伸縮方向他端に固着結合され上記
電気機械変換素子の伸縮方向に延在する摩擦棒と、該摩
擦棒に摩擦結合して該摩擦棒に沿って移動させられる駆
動部材とを備え、 該駆動部材によって、少なくとも一つの上記把持部材が
構成されたことを特徴とする駆動装置。 - 【請求項２】 複数の把持部材間の距離を変えることに
よって対象物を把持するようにした把持装置において、 駆動パルス発生手段に接続されて伸縮する電気機械変換
素子と、該電気機械変換素子の伸縮方向両端にそれぞれ
固着結合され上記電気機械変換素子の伸縮方向に延在す
る一対の摩擦棒と、該各摩擦棒にそれぞれ摩擦結合して
該各摩擦棒に沿って移動させられる２つの駆動部材と、
上記各摩擦棒を上記電気機械変換素子方向にそれぞれ付
勢する付勢手段とを備え、 上記各駆動部材によって、二つの上記把持部材がそれぞ
れ構成されたことを特徴とする駆動装置。 - 【請求項３】 上記駆動部材を上記摩擦棒に付勢して、
上記駆動部材と上記摩擦棒力との摩擦結合力を大略一定
に保つ摩擦結合力調整機構をさらに備えたことを特徴と
する、請求項１又は２記載の駆動装置。 - 【請求項４】 少なくとも二つの上記駆動部材によって
構成された二つの上記把持部材を備え、該各駆動部材に
ついてそれぞれ上記摩擦結合力調整機構を設けたことを
特徴とする、請求項３記載の駆動装置。 - 【請求項５】 装置本体に一体的に構成された一つの把
持部材と、上記駆動部材によって構成された一つの把持
部材とを備えた特徴とする、請求項１又は３記載の駆動
装置。 - 【請求項６】 上記電気機械変換素子、上記摩擦棒およ
び上記駆動部材を二組備え、上記各駆動部材によって２
つの上記把持部材が構成され、 二組の上記電気機械変換素子および上記摩擦棒は、上記
電気機械変換素子同士がその伸縮方向に隣接し、上記各
摩擦棒が互いに外側となるように一直線に揃えて配置さ
れたことを特徴とする、請求項１又は４記載の駆動装
置。 - 【請求項７】 上記電気機械変換素子、上記摩擦棒およ
び上記駆動部材を二組備え、上記各駆動部材によって２
つの上記把持部材が構成され、 二組の上記電気機械変換素子および上記摩擦棒は、上記
電気機械変換素子同士がその伸縮方向に平行に隣接し、
上記各摩擦棒が互いに外側となるように互いに平行に配
置されたことを特徴とする、請求項１又は４記載の駆動
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9204398A JPH1155966A (ja) | 1997-07-30 | 1997-07-30 | 把持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9204398A JPH1155966A (ja) | 1997-07-30 | 1997-07-30 | 把持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1155966A true JPH1155966A (ja) | 1999-02-26 |
Family
ID=16489890
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9204398A Pending JPH1155966A (ja) | 1997-07-30 | 1997-07-30 | 把持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1155966A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008242730A (ja) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Fuji Electric Retail Systems Co Ltd | 把持機構および自動販売機 |
| JP2010017815A (ja) * | 2008-07-11 | 2010-01-28 | Ihi Corp | ロボットハンド |
| JP2012066368A (ja) * | 2010-09-27 | 2012-04-05 | Toyota Motor Corp | ロボットハンド |
| WO2016015953A1 (de) * | 2014-08-01 | 2016-02-04 | Eto Magnetic Gmbh | Greifvorrichtung sowie verwendung einer greifvorrichtung |
| CN107498574A (zh) * | 2017-08-21 | 2017-12-22 | 东莞合安机电有限公司 | 一种nc膜条夹取机构 |
| WO2019037383A1 (zh) * | 2017-08-21 | 2019-02-28 | 梁晓东 | 一种nc膜条夹放机 |
-
1997
- 1997-07-30 JP JP9204398A patent/JPH1155966A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008242730A (ja) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Fuji Electric Retail Systems Co Ltd | 把持機構および自動販売機 |
| JP2010017815A (ja) * | 2008-07-11 | 2010-01-28 | Ihi Corp | ロボットハンド |
| JP2012066368A (ja) * | 2010-09-27 | 2012-04-05 | Toyota Motor Corp | ロボットハンド |
| WO2016015953A1 (de) * | 2014-08-01 | 2016-02-04 | Eto Magnetic Gmbh | Greifvorrichtung sowie verwendung einer greifvorrichtung |
| CN107000216A (zh) * | 2014-08-01 | 2017-08-01 | Eto电磁有限责任公司 | 抓夹装置以及抓夹装置的应用 |
| CN107000216B (zh) * | 2014-08-01 | 2020-09-15 | Eto电磁有限责任公司 | 抓夹装置以及抓夹装置的应用 |
| CN107498574A (zh) * | 2017-08-21 | 2017-12-22 | 东莞合安机电有限公司 | 一种nc膜条夹取机构 |
| WO2019037383A1 (zh) * | 2017-08-21 | 2019-02-28 | 梁晓东 | 一种nc膜条夹放机 |
| CN107498574B (zh) * | 2017-08-21 | 2019-06-18 | 东莞合安机电有限公司 | 一种nc膜条夹取机构 |
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