JP2005026413A - 半導体ウエハ、半導体素子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この発明の半導体ウエハは、周縁部に、裏面の削除加工の厚さよりも大きく、かつ平坦面1aから径の外側方向に延びた寸法が、半導体ウエハ1およびこの半導体ウエハ1とほぼ同一径の支持板の径寸法の仕上がり公差の最大最小差と、半導体ウエハ1および支持板の貼合わせ時に生じる位置合わせ誤差の最大値との合計値よりも大きく、裏面の削除により分離される段差部4が形成されている。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体回路が形成される平坦面である表面に支持板が貼り合わされるとともに、裏面が削除加工され薄板化される半導体ウエハ、その半導体ウエハを用いて製造された半導体素子、およびその半導体素子の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体素子の製造方法として、半導体回路が形成される平坦面である表面に半導体ウエハの機械的強度を補強するための支持板を貼り合わせ、その後半導体ウエハの裏面を削除加工して薄板化して半導体素子を製造するものが知られており、これに関連した半導体素子の製造方法が、例えば特許文献1に示されている。
【0003】
【特許文献1】
特開平10−335195号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この場合、半導体ウエハの当初厚さを1/10程度まで研削して薄くしなければならず、以下のような問題点があった。
即ち、一般に脆性が強く単結晶であるため劈開性のある半導体ウエハは薄くするにつれて、急速に割れやすくなるため、一定厚さ以下に研削した後の搬送はきわめて困難であり、そのために研削前に所定の剛性を有する支持板に貼り付けているが、貼り付ける支持板は、半導体ウエハの裏面の研削前の半導体ウエハと加工設備の搬送系を共通化する必要から、半導体ウエハと同一径にしている。ところが、例えば、半導体ウエハと支持板が共に許される公差の最大値であった場合、両者を貼り合わせた後の支持板付きの半導体ウエハ全体の外径寸法が、貼り合せ時に発生する位置合せの誤差の分だけさらに増大してしまい、許容される全体外径寸法より大きくなってしまい、後工程の加工設備の搬送系に掛からないことが生じる。そのため、例えばそれぞれの加工装置に適合する治具や、アタッチメントのようなものを作製し、その都度治具を用いたり、アタッチメントを交換しなければならないといったことが生じてしまい、製造効率が低下してしまうという問題点があった。
【0005】
また、実際に半導体ウエハが支持板からはみ出した場合には、その部分は非常に割れやすいため、不良や汚染の原因となり、事実上半導体ウエハのはみ出しは許容されないため、半導体ウエハおよび支持板の寸法精度、並びに両者の貼合わせ位置精度は極めて高い精度が要求されるという問題点もあった。
【0006】
この発明は、上記のような問題点を解決することを課題とするものであって、半導体ウエハおよび支持板の貼合わせ前後の搬送系を変えることなく利用できるとともに、半導体ウエハの仕上がり精度並びに半導体ウエハと支持板との位置合わせ精度を緩和することができ、半導体素子の製造効率を向上させることができる半導体ウエハを得ることを目的とする。
【0007】
また、その半導体ウエハを用いて製造された半導体素子を得ることを目的とする。
【0008】
さらに、その半導体素子の製造方法を得ることを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る半導体ウエハは、周縁部に、裏面の削除加工による仕上がり厚さよりも大きく、かつ平坦面から径の外側方向に延びた寸法が、前記半導体ウエハおよびこの半導体ウエハとほぼ同一径の支持板の径寸法の仕上がり公差の最大最小差と、前記半導体ウエハおよび支持板の貼合わせ時に生じる位置合わせ誤差の最大値との合計値よりも大きく、裏面の削除により分離される分離部が形成されている。
【0010】
また、この発明に係る半導体素子は、半導体ウエハの裏面が削除され、分離部が除去されたベースと、このベースの表面に形成された半導体回路とを備えている。
【0011】
また、この発明に係る半導体素子の製造方法は、分離部をウエハ本体の表面側の周縁部に形成して半導体ウエハを形成する工程と、前記半導体ウエハの表面の平坦面に半導体回路を形成する工程と、前記半導体ウエハの表面に接着材を用いて半導体ウエハとほぼ同一径寸法の支持板を貼り合わせる工程と、前記半導体ウエハの裏面を削除して前記分離部を除去してベースを形成する工程と、このベースの裏面に加工処理をする工程とを含む。
【0012】
また、この発明に係る半導体素子の製造方法は、ウエハ本体の表面の平坦面に半導体回路を形成する工程と、分離部をウエハ本体の表面側の周縁部に形成して半導体ウエハを形成する工程と、前記半導体ウエハの表面に接着材を用いて半導体ウエハとほぼ同一径寸法の支持板を貼り合わせる工程と、前記半導体ウエハの裏面を削除して前記分離部を除去してベースを形成する工程と、このベースの裏面の加工処理をする工程とを含む。
【0013】
また、この発明に係る半導体素子の製造方法は、ウエハ本体の表面の平坦面に半導体回路を形成する工程と、前記半導体回路から前記ウエハ本体に延びた複数個の孔を形成する工程と、前記ウエハ本体の周縁部に分離部を形成して半導体ウエハを形成する工程と、前記孔に導電材である金属を埋め込み、電極部を形成する工程と、前記半導体ウエハの表面に接着材を用いて半導体ウエハとほぼ同一径寸法の支持板を貼り合わせる工程と、前記半導体ウエハの裏面を削除して前記分離部を除去してベースを形成するとともに前記電極部の端面を露出させる工程と、前記ベースの裏面を削除し、前記電極部を突出させる工程と、前記ベースの裏面において絶縁膜を形成する工程と、前記電極部の端面を加工して貫通電極を形成する工程とを含む。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の各実施の形態について説明するが、各実施の形態において同一、相当部材、部位については、同一符号を付して説明する。
実施の形態1.
図1はこの発明の実施の形態1の半導体ウエハの部分側断面図、図2(I)〜図2(V)は半導体素子の製造方法の各工程を示す図、図3(I)〜図3(VI)は、図2(V)の次工程以降の半導体素子の製造方法の各工程を示す図である。
この半導体ウエハ1は、半導体回路2が形成される平坦面1aである表面に支持板3が貼り合わされるとともに、裏面が研削加工され薄板化される。円盤状の半導体ウエハ1は、表面の周縁部に、分離部である段差部4が形成されている。段差部4は、表面から垂直方向に切断された垂直面4bとこの垂直面4bに対して水平方向に切断された底面4aとから構成されている。段差部4の底面4aは、裏面が研削削除された後のベース5の厚さ寸法よりも、深く、かつその底面4aの幅寸法は、半導体ウエハ1およびこの半導体ウエハ1とほぼ同一径の支持板3の径寸法の仕上がり公差の最大最小差と、半導体ウエハ1および支持板3の貼合わせ時に生じる位置合わせ誤差の最大値との合計値よりも大きい。
【0015】
上記半導体ウエハ1から各製造工程を経て半導体素子12が製造されるが、以下、その各製造工程について説明する。
先ず、円盤状のウエハ本体の表面側の周縁部を段差加工で段差部4を形成して半導体ウエハ1を形成する(図2(I))。次に、半導体ウエハ1の表面の平坦面1aに半導体回路2を形成する(図2(II))。その後、段差部4を有する半導体ウエハ1の表面に接着材7を用いて半導体ウエハ1とほぼ同一径寸法の支持板3を貼り合わせる(図2(III))。このとき、この図では半導体ウエハ1と支持板3との間では貼り合わせ誤差Aが生じている。その次に、半導体ウエハ1の裏面を1/10程度の仕上がり厚さになるまで削除して分離部である段差部4を除去してベース5を形成する(図2(IV))。次に、ベース5の裏面において絶縁膜8を形成する加工処理を行い、半導体素子体6を形成する(図2(V))。この結果、半導体素子体6が接着材7により支持板3に固定されたブロック11が形成される。
【0016】
引き続き、リング状のフレーム9の下面に張設された支持フィルム10にブロック11の裏面を貼り付ける(図3(I))。その後、ブロック11の表面側から紫外線を照射し、接着材7の接着力を失わせ、支持板3を半導体素子体6から分離させる(図3(II)、(III))。次に、半導体素子体6をダイシングして複数個に分割して、半導体素子12を形成する(図3(IV))。最後に、支持フィルム10の裏面から紫外線を照射し、支持フィルム10の表面上の接着層の接着力を失わせ、半導体素子12を支持フィルム10から剥離することで、半導体素子12の製造が完了する(図3(V)、(VI))。
【0017】
上記構成の半導体素子12では、半導体回路2の形成工程の投入前に、半導体ウエハ1の周縁部に、半導体ウエハ1の仕上げ厚さより深く、かつ半導体ウエハ1およびこれと同一径の支持板3の仕上がり公差の最大最小差とこれらを貼り合せたときに生ずる位置合わせ誤差の最大値との合計値より大きい幅の段差部4を形成し、支持板3に貼り合わせた後、半導体ウエハ1の研削加工を行っているので、段差部4は研削加工により消失し、半導体ウエハ1の外径寸法よりも段差部4の分だけ外径寸法が小さいベース5が形成される。このとき、段差部4の幅寸法は、半導体ウエハ1および支持板3の仕上がり交差および位置合わせの両誤差を考慮に入れて、適切な幅になっているので、半導体ウエハ1の裏面が研削された後のベース5が支持板3の外周面から外側に突出することはない。
【0018】
従って、支持板3とほぼ同径であり、表面に半導体回路2が形成された半導体ウエハ1の搬送系は、ベース5が形成される工程(図2(IV))後の各工程でもそのまま利用可能である。
また、半導体ウエハ1の裏面が研削された後のブロック11の径寸法は、ほぼ支持板3の径寸法であり、ブロック11の径寸法精度は、支持板3の径寸法精度で決まり、半導体ウエハ1の仕上がり精度並びに半導体ウエハおよび支持板3の位置合わせ精度は緩和される。
また、図2(IV)以降の工程では、ベース5の大きさは、支持板3の大きさよりも小さくなっているので、支持板3をベース5から分離する際には、この大きさの差を利用し、ベース5と重ならない支持板3の部分から、ベース5が貼り付けられている支持フィルム10から離れる方向に支持板3を剥がすことが可能となり、ベースおよび支持板がほぼ同じ大きさのブロックが支持フィルム10に貼り付けられている状態のときと比較して、支持板3をベース5から分離する作業性が向上する。
【0019】
なお、上記半導体ウエハ1の分離部である段差部4は、底面4aに対して垂直面4bを有しているが、図4に示すように底面4aに対して傾斜面4cを有する形状の段差部4Aであってもよいし、図5に示すように垂直面4bと平坦面1aとが交差する部位に面取り部4dを有する形状の段差部4Bであってもよい。
【0020】
また、図6に示すように、平坦面1aから、周縁部に向かって徐々に肉厚が薄くなっている薄肉部4Cを有する半導体ウエハ1であってもよい。この場合、支持板3に固着された半導体ウエハ1の裏面は厚さBになるまで研削することで、分離部である薄肉部4Cも削除され、前述したブロック11と同様に、ブロック11の径寸法は、支持板3の径寸法で決定され、先に述べた半導体ウエハ1と全く同様の作用効果が得られる。
【0021】
また、図7に示すように、底面4aの最内径側部に溝部4eを有し、かつ垂直面4bと平坦面1aとが交差する部位に面取り部4dを有する形状の分離部である段差部4Dであってもよい。
【0022】
実施の形態2.
図8(I)〜(IV)はこの発明の実施の形態2の半導体素子12の製造方法の各工程の内、実施の形態1と異なる各工程について示す図である。
上記実施の形態1では、半導体ウエハ1の周縁部の薄肉化は、平坦面1aに半導体回路2が形成される前に予め行われていたが、この場合には、半導体ウエハ1の仕上げ厚さや、半導体ウエハ1および支持板3を貼り合わせる装置の位置合わせ精度は、貼り合わせ前に決まっていなければならない。
実際には、品種や用途によって半導体ウエハ1の仕上げ厚さが異なることが多く、実施の形態1で述べた製造方法を採用したときには、品種や用途に応じて周縁部の加工形状を変えた半導体ウエハ1を予め用意しなければならない。
【0023】
これに対して、この実施の形態では、円盤形状のウエハ本体50の平坦面1aに半導体回路2を形成した後、その半導体回路2の用途に従って、ウエハ本体50の周縁部に所定幅で所定深さの段差加工による段差部4を形成することで(図8(I)〜(III))、品種や用途によって仕上げ厚さが異なる場合に、固有の寸法の段差部4を予め用意しなくても、実施の形態1と同様な作用効果を得ることができる。なお、図8(IV)の製造工程以降の各工程は、図2(IV)、図3(I)〜図3(VI)に示した各製造工程と同様であり、その説明は省略する。
【0024】
実施の形態3.
図9(I)〜図9(VI)はこの発明の実施の形態3の半導体素子体6の製造方法の各工程のうち、実施の形態1と異なる各工程について示す図である。
実施の形態2では、図8(III)の工程で分離部である段差部4を形成したが、この実施の形態では、図9(III)に示すように段差部4の代わりに、半導体ウエハ1の周縁部の所定位置に、半導体ウエハ1の裏面の研削による形成されたベース5の厚さよりも深い溝26を形成し、溝26およびその外周部を分離部とした点が異なる。
【0025】
この例では、支持板3の貼り付けの後半導体ウエハ1の裏面を研削すると同時に、この溝26の外側の半導体ウエハ1の外周部が分離され、ベース5が形成される。その後の製造工程は、図2(IV)、図3(I)〜図3(VI)に示した各製造工程と同様であり、また、この実施の形態の作用効果は、実施形態2と同様である。
【0026】
実施の形態4.
図10(I)〜図10(VIII)はこの発明の実施の形態4の半導体素子30の製造方法の各工程を示す図である。
この半導体素子30は、表面に形成された半導体回路2と電気的に接続された貫通電極23を有しているが、この半導体素子30は、ウエハ本体50から各製造工程を経て半導体素子30が製造される。以下、その各製造工程について説明する。
【0027】
先ず、円盤状のウエハ本体50の平坦面1aに半導体回路2を形成する(図10(I))。次に、半導体回路2からウエハ本体50に延びた複数個の孔20をエッチングにより形成すると同時に、その周縁部に段差部4を形成して半導体ウエハ1を形成する(図10(II))。その後、孔20に導電材である金属を埋め込み、電極部21を形成する(図10(III))。その後、分離部である段差部4を有する半導体ウエハ1の表面に接着材7を用いて半導体ウエハ1とほぼ同一径寸法の支持板3を貼り合わせる(図10(IV))。その次に、半導体ウエハ1の裏面を1/10程度の仕上がり厚さになるまで削除して段差部4を除去してベース5を形成する。なお、段差部4の深さと孔20の深さが同じであるので、このとき段差部4の削除と同時に電極部21の端面が露出する(図10(V))。次に、ベース5の裏面をエッチングし、電極部21を突出させる(図10(VI))。その後、ベース5の裏面において絶縁膜24を形成する加工処理を行った後、電極部21の端面に金属を付着して貫通電極23を形成して、半導体素子30を有するブロック31を形成する(図10(VII)、(VIII))。
【0028】
その後は、実施の形態1〜3と同様に、紫外線照射により、ブロック31から半導体素子30を分離する。
【0029】
この貫通電極23を有する半導体素子30では、ウエハ本体50に対するエッチング加工によって孔20を形成すると同時に、周縁部における段差部4を形成しており、わざわざ段差部4を形成する工程を設ける必要性が無い。そして、表面に半導体回路2が形成された半導体ウエハ1の搬送系は、ベース5が形成された工程(図10(V))以降の工程でもそのまま利用可能である。
【0030】
また、半導体ウエハ1の裏面が研削され、貫通電極23が裏面から突出した後のブロック31の径寸法は、支持板3の径寸法であり、ブロック31の径寸法精度は、支持板3の径寸法精度で決まり、半導体ウエハ1の精度並びに半導体ウエハ1と支持板3との位置合わせ精度は緩和される。
また、段差部4の深さと孔20の深さが同じであるので、段差部4の研削と同時に電極部21の端面が露出し、段差部4の削除と電極部21の端面露出とを同一工程で行うことができ、製造効率が向上する。
【0031】
実施の形態5.
上記各実施の形態では、円盤形状の半導体ウエハ1について説明したが、図11(a)、(b)および図12(a)、(b)に示すように、半導体ウエハ1の裏面が研削削除された後のベース5の形状がドーナツ形状のものや、図13(a)、(b)および図14(a)、(b)に示すように、半導体ウエハ1の裏面が研削削除された後のベース5の形状がほぼ四角形状のものであってもこの発明は適用できる。
例えば、図11(a)に示した半導体ウエハ1を用いて半導体素子12を製造する場合、製造途中において、円盤状のウエハ本体の表面側の周縁部を段差加工で段差部4を有する半導体ウエハ1の表面の平坦面1aに半導体回路2を形成し、その後半導体ウエハ1の表面に接着材7を用いて半導体ウエハ1とほぼ同一径寸法の支持板3を貼り合わせる(図15(a))。その次に、半導体ウエハ1の裏面を仕上がり厚さになるまで削除して分離部である段差部4を除去して図11(b)に示すベース5を形成する(図15(b))。この後の工程は、実施の形態1で説明したものと同様である。
【0032】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明に係る半導体ウエハによれば、周縁部に、裏面の削除加工による仕上がり厚さよりも大きく、かつ平坦面から径の外側方向に延びた寸法が、前記半導体ウエハおよびこの半導体ウエハとほぼ同一径の支持板の径寸法の仕上がり公差の最大最小差と、半導体ウエハおよび支持板の貼合わせ時に生じる位置合わせ誤差の最大値との合計値よりも大きく、裏面の削除により分離される分離部が形成されているので、搬送系を半導体ウエハおよび支持板の貼合わせ後でも、その前と変えることなく利用できるとともに、半導体ウエハの仕上がり精度並びに半導体ウエハと支持板との位置合わせ精度を緩和することができ、その結果半導体素子の製造効率を向上させることができる。
【0033】
また、この発明に係る半導体素子によれば、半導体ウエハの裏面が削除され、分離部が除去されたベースと、このベースの表面に形成された半導体回路とを備えた半導体素子体が複数個に分割されて構成されているので、製造効率が向上する。
【0034】
また、この発明に係る半導体素子の製造方法によれば、分離部をウエハ本体の表面側の周縁部に形成して半導体ウエハを形成する工程と、前記半導体ウエハの表面の平坦面に半導体回路を形成する工程と、前記半導体ウエハの表面に接着材を用いて半導体ウエハとほぼ同一径寸法の支持板を貼り合わせる工程と、前記半導体ウエハの裏面を削除して前記分離部を除去してベースを形成する工程と、このベースの裏面に加工処理をする工程とを含むので、搬送系を半導体ウエハおよび支持板の貼合わせ後でも、その前と変えることなく利用できるとともに、半導体ウエハの仕上がり精度並びに半導体ウエハおよび支持板の位置合わせ精度が緩和され、その結果半導体素子の製造効率を向上させることができる。
また、ベースの大きさは支持板の大きさよりも小さくなっているので、支持板をベースから分離する分離作業性が向上する。
【0035】
また、この発明に係る半導体素子の製造方法によれば、ウエハ本体の表面の平坦面に半導体回路を形成する工程と、分離部をウエハ本体の表面側の周縁部に形成して半導体ウエハを形成する工程と、前記半導体ウエハの表面に接着材を用いて半導体ウエハとほぼ同一径寸法の支持板を貼り合わせる工程と、前記半導体ウエハの裏面を削除して前記分離部を除去してベースを形成する工程と、このベースの裏面の加工処理をする工程とを含むので、搬送系を半導体ウエハおよび支持板の貼合わせ後でも、その前と変えることなく利用できるとともに、半導体ウエハの仕上がり精度並びに半導体ウエハおよび支持板の位置合わせ精度が緩和され、その結果半導体素子の製造効率を向上させることができる。
また、ベースの大きさは支持板の大きさよりも小さくなっているので、支持板をベースから分離する分離作業性が向上する。
また、品種や用途によって仕上げ厚さが異なる場合に、固有の寸法の分離部を予め用意しなくてもよい。
【0036】
また、この発明に係る半導体素子の製造方法によれば、ウエハ本体の表面の平坦面に半導体回路を形成する工程と、前記半導体回路から前記ウエハ本体に延びた複数個の孔を形成する工程と、ウエハ本体の周縁部に分離部を形成して半導体ウエハを形成する工程と、前記孔に導電材である金属を埋め込み、電極部を形成する工程と、前記半導体ウエハの表面に接着材を用いて半導体ウエハとほぼ同一径寸法の支持板を貼り合わせる工程と、前記半導体ウエハの裏面を削除して前記分離部を除去してベースを形成するとともに前記電極部の端面を露出させる工程と、前記ベースの裏面を削除し、前記電極部を突出させる工程と、前記ベースの裏面において絶縁膜を形成する工程と、前記電極部の端面を加工して貫通電極を形成する工程とを含むので、搬送系を半導体ウエハおよび支持板の貼合わせ後でも、その前と変えることなく利用できるとともに、半導体ウエハの仕上がり精度並びに半導体ウエハおよび支持板の位置合わせ精度が緩和され、その結果半導体素子の製造効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の形態1の半導体ウエハの部分断面図である。
【図2】この発明の実施の形態1の半導体素子の各製造工程を示す図である。
【図3】この発明の実施の形態1の半導体素子の各製造工程を示す図である。
【図4】この発明の実施の形態1の半導体ウエハの他の例を示す部分断面図である。
【図5】この発明の実施の形態1の半導体ウエハの他の例を示す部分断面図である。
【図6】この発明の実施の形態1の半導体ウエハの他の例を示す部分断面図である。
【図7】この発明の実施の形態1の半導体ウエハの他の例を示す部分断面図である。
【図8】この発明の実施の形態2の半導体素子の各製造工程を示す図である。
【図9】この発明の実施の形態3の半導体素子の各製造工程を示す図である。
【図10】この発明の実施の形態4の半導体素子の各製造工程を示す図である。
【図11】図11(a)は異なる形状の半導体ウエハの平面図、図11(b)は図11(a)の半導体ウエハが研削削除された後のベースの平面図である。
【図12】図12(a)はさらに異なる形状の半導体ウエハの平面図、図12(b)は図12(a)の半導体ウエハが研削削除された後のベースの平面図である。
【図13】図13(a)はさらに異なる形状の半導体ウエハの平面図、図13(b)は図13(a)の半導体ウエハが研削削除された後のベースの平面図である。
【図14】図14(a)はさらに異なる形状の半導体ウエハの平面図、図14(b)は図14(a)の半導体ウエハが研削削除された後のベースの平面図である。
【図15】図15(a)は図11(a)に示した半導体ウエハを用いて製造される半導体素子の製造の一工程を示す断面図、図15(b)は図15(a)の次工程の断面図である。
【符号の説明】
1 半導体ウエハ、1a 平坦面、2 半導体回路、3 支持板、4,4A,4B,4C,4D 段差部(分離部)、4a 垂直面、4b 底面、4c 薄肉部(分離部)、5 ベース、6 半導体素子体、7 接着材、11,31 ブロック、12 半導体素子、20 孔、21 電極部、23 貫通電極、24 絶縁膜、26 溝、30 半導体素子、31 ブロック、50 ウエハ本体。
Claims (10)
- 半導体回路が形成される平坦面である表面に支持板が貼り合わされるとともに、裏面が削除加工され薄板化される半導体ウエハであって、
周縁部には、前記裏面の削除加工による仕上がり厚さよりも大きく、かつ前記平坦面から径の外側方向に延びた寸法が、前記半導体ウエハおよびこの半導体ウエハとほぼ同一径の支持板の径寸法の仕上がり公差の最大最小差と、前記半導体ウエハおよび前記支持板の貼合わせ時に生じる位置合わせ誤差の最大値との合計値よりも大きく、裏面の削除により分離される分離部が形成されている半導体ウエハ。 - 前記分離部は、前記表面から垂直方向に切断された垂直面とこの垂直面に対して水平方向に切断された底面とから構成された段差部である請求項1に記載の半導体ウエハ。
- 前記分離部は、径方向の外側に向かって肉厚が漸次薄くなっている薄肉部である請求項1に記載の半導体ウエハ。
- 前記分離部は、前記裏面の削除加工の厚さよりも深い溝およびその外周部である請求項1に記載の半導体ウエハ。
- 請求項1ないし請求項4の何れかに記載の前記半導体ウエハの裏面が削除され、前記分離部が除去されたベースと、このベースの表面に形成された半導体回路とを備えた半導体素子体が複数個に分割されて構成された半導体素子。
- 請求項1ないし請求項4の何れかに記載の分離部をウエハ本体の表面側の周縁部に形成して半導体ウエハを形成する工程と、前記半導体ウエハの表面の平坦面に半導体回路を形成する工程と、前記半導体ウエハの表面に接着材を用いて半導体ウエハとほぼ同一径寸法の支持板を貼り合わせる工程と、前記半導体ウエハの裏面を削除して前記分離部を除去してベースを形成する工程と、このベースの裏面に加工処理をする工程とを含む半導体素子の製造方法。
- ウエハ本体の表面の平坦面に半導体回路を形成する工程と、
請求項1ないし請求項4の何れかに記載の分離部をウエハ本体の表面側の周縁部に形成して半導体ウエハを形成する工程と、前記半導体ウエハの表面に接着材を用いて半導体ウエハとほぼ同一径寸法の支持板を貼り合わせる工程と、前記半導体ウエハの裏面を削除して前記分離部を除去してベースを形成する工程と、このベースの裏面の加工処理をする工程とを含む半導体素子の製造方法。 - ウエハ本体の表面の平坦面に半導体回路を形成する工程と、前記半導体回路から前記ウエハ本体に延びた複数個の孔を形成する工程と、前記ウエハ本体の周縁部に請求項1ないし請求項4の何れかに記載の分離部を形成して半導体ウエハを形成する工程と、前記孔に導電材である金属を埋め込み、電極部を形成する工程と、前記半導体ウエハの表面に接着材を用いて半導体ウエハとほぼ同一径寸法の支持板を貼り合わせる工程と、前記半導体ウエハの裏面を削除して前記分離部を除去してベースを形成するとともに前記電極部の端面を露出させる工程と、前記ベースの裏面を削除し、前記電極部を突出させる工程と、前記ベースの裏面において絶縁膜を形成する工程と、前記電極部の端面を加工して貫通電極を形成する工程とを含む半導体素子の製造方法。
- 前記孔を形成する工程と、前記分離部を形成して前記半導体ウエハを形成する工程とは同時である請求項8に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記分離部は、請求項2に記載の段差部であり、前記孔の深さと、前記段差部の垂直面の高さとは同一である請求項8または請求項9に記載の半導体素子の製造方法。
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