JP2018536184A - フィルムマスク、その製造方法、これを用いたパターンの形成方法およびこれを用いて形成されたパターン - Google Patents
フィルムマスク、その製造方法、これを用いたパターンの形成方法およびこれを用いて形成されたパターン Download PDFInfo
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Abstract
Description
透明基材と、
前記透明基材上に設けられた暗色遮光パターン層と、
前記暗色遮光パターン層が設けられていない領域に設けられた溝部とを含むフィルムマスクを提供する。
透明基材上に溝部を形成するステップと、
前記透明基材上の溝部が設けられていない領域上に暗色遮光パターン層を形成するステップとを含むフィルムマスクの製造方法を提供する。
透明基材上に溝部を形成するステップと、
前記透明基材上の溝部が設けられていない領域上に暗色遮光パターン層を形成するステップとを含むフィルムマスクの製造方法を提供する。
透明基材上に溝部形成用樹脂をコーティングするステップと、
マスターモールドを用いて前記溝部形成用樹脂をインプリントし、露光して溝部を形成するステップと、
前記溝部が設けられていない領域上に暗色遮光パターン層を形成するステップとを含んでもよい。
Claims (20)
- 透明基材と、
前記透明基材上に設けられた暗色遮光パターン層と、
前記暗色遮光パターン層が設けられていない領域に設けられた溝部と
を含む、
フィルムマスク。 - 前記溝部は、前記透明基材に直接形成されている、
請求項1に記載のフィルムマスク。 - 前記溝部は、前記透明基材上に設けられた別の樹脂層に形成されていている、
請求項1に記載のフィルムマスク。 - 前記暗色遮光パターン層は、UV領域帯の反射率が約30%以下である、
請求項1から3のいずれか1項に記載のフィルムマスク。 - 前記暗色遮光パターン層は、ブラックマトリックス材料、カーボンブラック系材料、染料(dye)が混合された樹脂およびAlOxNy(0≦x≦1.5、0≦y≦1、xおよびyは、Al 1原子に対するそれぞれのOおよびNの原子数の比)のうち少なくとも一つからなる、
請求項1から4のいずれか1項に記載のフィルムマスク。 - 前記透明基材と前記暗色遮光パターン層との間に設けられた金属層をさらに含む、
請求項1から5のいずれか1項に記載のフィルムマスク。 - 前記透明基材と前記暗色遮光パターン層との間に金属層が設けられ、
前記フィルムマスクは、前記金属層の厚さが互いに異なる2以上の領域を含むか、前記暗色遮光パターン層の厚さが互いに異なる2以上の領域を含むか、
または
前記フィルムマスクは、前記透明基材と前記暗色遮光パターン層との間に金属層が設けられた領域と、前記透明基材と前記暗色遮光パターン層が直接接する領域とを含む、
請求項1から5のいずれか1項に記載のフィルムマスク。 - 前記暗色遮光パターン層および前記溝部上に設けられた表面保護層および離型力強化層のうち少なくとも一つをさらに含む、
請求項1から7のいずれか1項に記載のフィルムマスク。 - 前記暗色遮光パターン層と透明基材との間に設けられた付着層をさらに含む、
請求項1から8のいずれか1項に記載のフィルムマスク。 - 前記暗色遮光パターン層と透明基材との間に設けられた金属層を含み、
前記金属層と前記透明基材との間に設けられた付着層をさらに含む、
請求項1から5のいずれか1項に記載のフィルムマスク。 - 透明基材上に溝部を形成するステップと、
前記透明基材上の溝部が設けられていない領域上に暗色遮光パターン層を形成するステップと
を含む、
請求項1から10のいずれか1項に記載のフィルムマスクの製造方法。 - 前記透明基材上に溝部を形成するステップは、
透明基材上に溝部形成用樹脂をコーティングするステップと、
マスターモールドを用いて前記溝部形成用樹脂をインプリントし、露光して溝部を形成するステップと
を含む、
請求項11に記載のフィルムマスクの製造方法。 - 暗色遮光パターン層を形成するステップは、
透明基材の溝部が設けられた面上に、暗色遮光パターン層を形成するための材料を用いて暗色遮光層を形成するステップと、
リバースオフセット印刷方法により前記暗色遮光層上の溝部が設けられていない領域上にレジストパターンを形成するステップと、
前記レジストパターンを用いて溝部内の暗色遮光層を除去するステップと、
前記レジストパターンを除去するステップと
を含む、
請求項11または12に記載のフィルムマスクの製造方法。 - 請求項1から10のいずれか1項に記載のフィルムマスクを用いる、
パターンの形成方法。 - 前記パターンは、感光性樹脂組成物を用いて形成し、
溝部領域において、[マスクの屈折率<硬化後の感光性樹脂組成物の屈折率>未硬化感光性樹脂組成物の屈折率]の関係を満たす、
請求項14に記載のパターンの形成方法。 - 請求項1から10のいずれか1項に記載のフィルムマスクを用いて形成される、
パターン。 - 基材と、
前記基材上に設けられた感光性樹脂組成物を用いて形成されたパターンと
を含み、
前記パターンは、厚さ方向に上部と下部とを区分する境界部を含む、
パターン構造体。 - 前記境界部は、前記パターンが形成された基材から同一の高さで前記パターンの縁部を横切る線または構造である、
請求項17に記載のパターン構造体。 - 前記境界部によって区分されるパターンの上部と下部は、表面粗さが相違する、
請求項17または18に記載のパターン構造体。 - 前記パターンの高さが均一である、
請求項17から19のいずれか1項に記載のパターン構造体。
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