JP2006100833A - 多孔質の低誘電率組成物並びにそれを作製及び使用するための方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】当該膜、SivOwCxHyFz(式中、v+w+x+y+z=100%、vは10〜35原子%、wは10〜65原子%、xは5〜30原子%、yは10〜50原子%、zは0〜15原子%である)は、Si−CH3を有するケイ酸塩の網目構造を有し、細孔及び2.7よりも低い誘電率を有する。予備的な膜が、オルガノシラン及び/又はオルガノシロキサン前駆体と細孔形成前駆体とからCVD法によって堆積される。ポロゲン前駆体が予備的な膜中に細孔を形成し、続いて除去されて多孔質膜を与える。組成物は、少なくとも1つのSi−H結合を含有するオルガノシラン及び/又はオルガノシロキサン化合物と、アルコール、エーテル、カルボニル、カルボン酸、エステル、ニトロ、第一、第二及び/又は第三アミン官能性又はそれらの組み合わせを含有する炭化水素のポロゲン前駆体とを含む。
【選択図】なし
Description
[ポロゲン前駆体/ケイ素含有前駆体の化学量論量の変化]
比較の膜を、シクロヘキサノン(CHO)とジエトキシメチルシラン(DEMS)の混合物から堆積させた。堆積条件は以下の通りであった。即ち、プラズマ電力が450ワット、反応チャンバーの圧力が8torr、電極の間隔が350ミリインチ、キャリヤーガスが流量210sccmのヘリウム、基材温度が225℃であった。反応チャンバーへの化学物質の合計流量を一定にしたままにして、CHOとDEMSの流量を変化させて反応チャンバーに導入されるCHOとDEMSの比を制御した。膜は、真空下で5分間、広域UV光(λ=200〜400nm)に膜をさらすことにより後処理した。
[ポロゲン前駆体の官能基]
ポロゲン前駆体の構造及び/又は組成はまた、膜の特性を制御するのに使用することができる。複合膜は、CHO又は1,2,4−トリメチルシクロヘキサン(TMC)から堆積した。表2は、これら前駆体の無希釈の液体特性を比較している。CHO前駆体はケトン官能基を有する6炭素環からなり、一方で、TMC前駆体は3つのメチル基が1、2及び4−位に結合した6炭素環を有する。
複合膜を、モルパーセント比22/78のシクロヘキサノン(CHO)とジエトキシメチルシラン(DEMS)の混合物から堆積させた。堆積条件は以下の通りであった。即ち、プラズマ電力が600ワット、反応チャンバーの圧力が8torr、電極の間隔が350ミリインチ、キャリヤーガスが流量200sccmのCO2、添加ガスが流量10sccmのO2、堆積速度が450ナノメートル(nm)/分、基材温度が250℃であった。反応チャンバーへの化学物質の合計流量を一定にしたままにして、CHOとDEMSの流量を変化させて反応チャンバーに導入されるCHOとDEMSの比を制御した。膜は、真空下で5分間、広域UV光(λ=200〜400nm)に膜をさらすことにより後処理し、収縮の割合は30%であった。堆積されたままの膜とUV処理にさらした後の最終的な膜の種々の特性を表5に与える。
Claims (55)
- 細孔及び2.7以下の誘電率を有する有機ケイ酸塩ガラスの多孔質膜を基材上に形成するための化学気相成長法であって、少なくとも1つのオルガノシラン及び/又はオルガノシロキサン前駆体と、
(a)1つ又は複数のアルコール基を含有しかつ一般式CnH2n+2-2x-2y-z(OH)zを有する炭化水素構造体であって、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが化合物中のアルコール基の数であって1〜4であり、アルコール官能性が環外及び/又は環内にあることができる炭化水素構造体;
(b)1つ又は複数のエーテル基を含有しかつ一般式CnH2n+2-2x-2yOzを有する炭化水素構造体であって、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが構造中のエーテル結合の数であって1〜4であり、1つ又は複数のエーテル結合が環外及び/又は環内にあることができる炭化水素構造体;
(c)1つ又は複数のエポキシド基を含有しかつ一般式CnH2n+2-2x-2y-2zOzを有する炭化水素構造体であって、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが構造中のエポキシド基の数であって1〜4であり、エポキシド基が環状環又は直鎖に結合することができる炭化水素構造体;
(d)1つ又は複数のアルデヒド基を含有しかつ一般式CnH2n+2-2x-2y-2zOzを有する炭化水素構造体であって、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが構造中のアルデヒド基の数であって1〜4である炭化水素構造体;
(e)1つ又は複数のケトン基を含有しかつ一般式CnH2n+2-2x-2y-2zOzを有する炭化水素構造体であって、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが構造中のアルデヒド基の数であって1〜4であり、1つ又は複数のケトン基が環外及び/又は環内にあることができる炭化水素構造体;
(f)1つ又は複数のカルボン酸基を含有しかつ一般式CnH2n+2-2x-2y-3z(OOH)zを有する炭化水素構造体であって、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが構造中のカルボン酸基の数であって1〜4である炭化水素構造体;
(g)偶数のカルボン酸基を含有し、酸性官能性が脱水されて環状無水物基を形成し、一般式CnH2n+2-2x-2y-6z(O3)zを有する炭化水素構造体であって、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが構造中の無水物基の数であって1又は2である炭化水素構造体;
(h)エステル基を含有しかつ一般式CnH2n+2-2x-2y-2z(O2)zを有する炭化水素構造体であって、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であり、不飽和結合がエステルのカルボニル基と共役ではなく、zが構造中の無水物基の数であって1又は2である炭化水素構造体;
(i)エステル基と当該エステル基のカルボニルと共役である少なくとも1つの不飽和結合とからなるアクリレート官能性を含有し、かつ一般式CnH2n+2-2x-2y-2z(O2)zを有する炭化水素構造体であって、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって1以上であり、不飽和結合の少なくとも1つがエステルのカルボニル基と共役であり、zが構造中のエステル基の数であって1又は2である炭化水素構造体;
(j)エーテルとカルボニル官能基の両方を含有しかつ一般式CnH2n+2-2w-2x-2y(O)y(O)zを有する炭化水素構造体であって、式中、n=1〜12であり、wが構造中の環状環の数であって0〜4であり、xが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、yがケトン及び/又はアルデヒドであることができる構造中のカルボニル基の数であり、zが構造中のエーテル基の数であって1又は2であり、1つ又は複数のエーテル基が環内又は環外にあることができる炭化水素構造体;
(k)エーテルとアルコール官能基の両方を含有しかつ一般式CnH2n+2-2w-2x-y(OH)y(O)zを有する炭化水素構造体であって、式中、n=1〜12であり、wが構造中の環状環の数であって0〜4であり、xが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、yが構造中のアルコール基の数であり、zが構造中のエーテル基の数であって1又は2であり、1つ又は複数のエーテル基が環内又は環外にあることができる炭化水素構造体;
(l)アルコール、エーテル、カルボニル、及びカルボン酸から選択された官能基の任意の組み合わせを含有しかつ一般式CnH2n+2-2u-2v-w-2y-3z(OH)w(O)x(O)y(OOH)zを有する炭化水素構造体であって、式中、n=1〜12であり、uが構造中の環状環の数であって0〜4であり、vが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、wが構造中のアルコール基の数であって0〜4であり、xが構造中のエーテル基の数であって0〜4であり、1つ又は複数のエーテル基が環内又は環外にあることができ、yがケトン及び/又はアルデヒドであることができる構造中のカルボニル基の数であって0〜3であり、zが構造中のカルボン酸基の数であって0〜2である炭化水素構造体;
(m)1つ又は複数の第一アミン基を含有しかつ一般式CnH2n+2-2x-2y-z(NH2)zを有する炭化水素構造体であって、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが化合物中のアミン基の数であって1〜4であり、アミン官能性が環外及び/又は環内にあることができる炭化水素構造体;
(n)1つ又は複数の第二アミン基を含有しかつ一般式CnH2n+2-2x-2y-2z(NH)zを有する炭化水素構造体であって、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが化合物中の第二アミン基の数であって1〜4であり、アミン官能性が環外及び/又は環内にあることができる炭化水素構造体;
(o)1つ又は複数の第三アミン基を含有しかつ一般式CnH2n+2-2x-2y-3z(N)zを有する炭化水素構造体であって、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが化合物中の第三アミン基の数であって1〜4であり、アミン官能性が環外及び/又は環内にあることができる炭化水素構造体;
(p)1つ又は複数のニトロ基を含有しかつ一般式CnH2n+2-2x-2y-z(NO2)zを有する炭化水素構造体であって、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが化合物中のニトロ基の数であって1〜4であり、ニトロ官能性が環外及び/又は環内にあることができる炭化水素構造体;
(q)アミンとエーテル官能基の両方を含有しかつ一般式CnH2n+2-2u-2v-w-2x-3y-z(NH2)w(NH)x(N)y(OH)zを有する炭化水素構造体であって、式中、n=1〜12であり、uが構造中の環状環の数であって0〜4であり、vが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、wが第一アミン基の数であり、xが第二アミン基の数であり、yが第三アミン基の数であり、1<w+x+y<4であり、zが化合物中のアルコール基の数であって1〜4であり、アルコール及び/又はアミン基が環外及び/又は環内にあることができる炭化水素構造体;
(r)アミンとアルコール官能基の両方を含有しかつ一般式CnH2n+2-2u-2v-w-2x-3y-z(NH2)w(NH)x(N)y(OH)zを有する炭化水素構造体であって、式中、n=1〜12であり、uが構造中の環状環の数であって0〜4であり、vが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、wが第一アミン基の数であり、xが第二アミン基の数であり、yが第三アミン基の数であり、1<w+x+y<4であり、zが化合物中のエーテル基の数であって1〜4であり、エーテル及び/又はアミン基が環外及び/又は環内にあることができる炭化水素構造体;並びに
(s)それらの混合物
からなる群より選択されたポロゲン前駆体とを含む前駆体混合物を反応させることを含む、方法。 - 前記誘電率が1,9よりも低い、請求項1に記載の方法。
- 前記多孔質膜が、SivOwCxHyFz(式中、v+w+x+y+z=100%、vは20〜30原子%、wは20〜45原子%、xは5〜20原子%、yは15〜40原子%、zは0である)を含む、請求項1に記載の方法。
- zが0.5〜7原子%であり、少なくとも1つのフッ素化剤が、SiF4、NF3、F2、COF2、CO2F2及びHFからなる群より選択され、Fを前記多孔質膜に導入するのに使用され、当該多孔質膜中の実質的にすべてのFがSi−F基のSiに結合している、請求項1に記載の方法。
- 前記膜中の水素の50%以上が炭素に結合している、請求項1に記載の方法。
- 前記多孔質膜が1.5g/ml未満の密度を有する、請求項1に記載の方法。
- 前記細孔が3nm以下の等価球径を有する、請求項1に記載の方法。
- 前記多孔質膜のフーリエ変換赤外(FTIR)スペクトルが、ガス状試薬中にポロゲン前駆体がないこと以外は前記方法と実質的に同一のプロセスによって調製された参照膜の参照FTIRと実質的に同一である、請求項1に記載の方法。
- 前記多孔質膜が、ガス状試薬中にポロゲン前駆体がないこと以外は前記方法と実質的に同一のプロセスによって調製された参照膜よりも少なくとも0.3低い誘電率を有する、請求項8に記載の方法。
- 前記多孔質膜が、ガス状試薬中にポロゲン前駆体がないこと以外は前記方法と実質的に同一のプロセスによって調製された参照膜よりも少なくとも10%低い誘電率を有する、請求項8に記載の方法。
- 前記多孔質膜が、N2中425℃等温で1.0wt%/hよりも小さい平均減量を有する、請求項1に記載の方法。
- 前記多孔質膜が、空気中425℃等温で1.0wt%/hよりも小さい平均減量を有する、請求項1に記載の方法。
- 前記ポロゲン前駆体が、少なくとも1つのオルガノシラン及び/又はオルガノシロキサン前駆体とは異なる、請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも1つのオルガノシラン及び/又はオルガノシロキサン前駆体が、式SiR1 n(OR2)p(O(O)CR3)4-(n+p)によって表され、式中、R1が独立してH又はC1〜C4の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R2が独立してC1〜C6の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R3が独立してH、C1〜C6の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、nが1〜3、pが0〜3である、請求項13に記載の方法。
- 前記少なくとも1つのオルガノシラン及び/又はオルガノシロキサン前駆体が、式R1 n(OR2)p(O(O)CR4)3-n-pSi−O−SiR3 m(O(O)CR5)q(OR6)3-m-qによって表され、式中、R1及びR3が独立してH又はC1〜C4の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R2及びR6が独立してC1〜C6の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R4及びR5が独立してH、C1〜C6の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、nが0〜3、mが0〜3、qが0〜3、pが0〜3、n+m≧1、n+p≦3、及びm+q≦3である、請求項13に記載の方法。
- 前記少なくとも1つのオルガノシラン及び/又はオルガノシロキサン前駆体が、式R1 n(OR2)p(O(O)CR4)3-n-pSi−SiR3 m(O(O)CR5)q(OR6)3-m-qによって表され、式中、R1及びR3が独立してH又はC1〜C4の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R2及びR6が独立してC1〜C6の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R4及びR5が独立してH、C1〜C6の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、nが0〜3、mが0〜3、qが0〜3、pが0〜3、n+m≧1、n+p≦3、及びm+q≦3である、請求項13に記載の方法。
- 前記少なくとも1つのオルガノシラン及び/又はオルガノシロキサン前駆体が、式R1 n(OR2)p(O(O)CR4)3-n-pSi−R7−SiR3 m(O(O)CR5)q(OR6)3-m-qによって表され、式中、R1及びR3が独立してH又はC1〜C4の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R2及びR6が独立してC1〜C6の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R4及びR5が独立してH、C1〜C6の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R7がC2〜C6の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、nが0〜3、mが0〜3、qが0〜3、pが0〜3、n+m≧1、n+p≦3、及びm+q≦3である、請求項13に記載の方法。
- 前記少なくとも1つのオルガノシラン及び/又はオルガノシロキサン前駆体が、式(R1 n(OR2)p(O(O)CR3)4-(n+p)Si)tCH4-tによって表され、式中、R1が独立してH又はC1〜C4の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R2が独立してC1〜C6の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R3が独立してH、C1〜C6の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、nが1〜3、pが0〜3、tが2〜4、n+p≦4である、請求項13に記載の方法。
- 前記少なくとも1つのオルガノシラン及び/又はオルガノシロキサン前駆体が、式(R1 n(OR2)p(O(O)CR3)4-(n+p)Si)tNH3-tによって表され、式中、R1が独立してH又はC1〜C4の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R2が独立してC1〜C6の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R3が独立してH、C1〜C6の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、nが1〜3、pが0〜3、tが1〜3、n+p≦4である、請求項13に記載の方法。
- 前記少なくとも1つのオルガノシラン及び/又はオルガノシロキサン前駆体が、式(N(R1)Si(R1R2))xの環状シラザンによって表され、式中、R1及びR2が独立してH、C1〜C4の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素であり、xが2〜8の任意の整数であることができる、請求項13に記載の方法。
- 前記少なくとも1つのオルガノシラン及び/又はオルガノシロキサン前駆体が、式(C(R1R2)Si(R1R2))xの環状カルボシランによって表され、式中、R1及びR2が独立してH、C1〜C4の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素であり、xが2〜8の任意の整数であることができ、但し、分子中に少なくとも1つのSi−H結合がある、請求項13に記載の方法。
- 前記少なくとも1つのオルガノシラン及び/又はオルガノシロキサン前駆体が、ジメトキシメチルシラン、ジエトキシメチルシラン、ジ−イソプロポキシメチルシラン、ジ−tert−ブトキシメチルシラン、トリメトキシシラン、トリエトキシシラン、トリ−イソプロポキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、及びトリ−tert−ブトキシシランからなる群より選択された構成要素である、請求項13に記載の方法。
- 前記少なくとも1つのオルガノシラン及び/又はオルガノシロキサン前駆体が、2つ以下のSi−O結合を有する第1のケイ素含有前駆体と3つ以上のSi−O結合を有する第2のケイ素含有前駆体との混合物であり、当該混合物が、前記多孔質膜の化学組成に合わせて提供され、但し、当該前駆体が少なくとも1つのSi−O結合を含有する、請求項1に記載の方法。
- 前記ポロゲン前駆体が、1つ又は複数のアルコール基を含有しかつ一般式CnH2n+2-2x-2y-z(OH)zを有する炭化水素構造体によって表され、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが化合物中のアルコール基の数であって1〜4であり、アルコール官能性が環外及び/又は環内にあることができる、請求項13に記載の方法。
- 前記ポロゲン前駆体が、1つ又は複数のエーテル基を含有しかつ一般式CnH2n+2-2x-2yOzを有する炭化水素構造体によって表され、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが構造中のエーテル結合の数であって1〜4であり、1つ又は複数のエーテル結合が環外及び/又は環内にあることができる、請求項13に記載の方法。
- 前記ポロゲン前駆体が、1つ又は複数のエポキシド基を含有しかつ一般式CnH2n+2-2x-2y-2zOzを有する炭化水素構造体によって表され、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが構造中のエポキシド基の数であって1〜4であり、エポキシド基が環状環又は直鎖に結合することができる、請求項13に記載の方法。
- 前記ポロゲン前駆体が、1つ又は複数のアルデヒド基を含有しかつ一般式CnH2n+2-2x-2y-2zOzを有する炭化水素構造体によって表され、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが構造中のアルデヒド基の数であって1〜4である、請求項13に記載の方法。
- 前記ポロゲン前駆体が、1つ又は複数のケトン基を含有しかつ一般式CnH2n+2-2x-2y-2zOzを有する炭化水素構造体によって表され、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが構造中のアルデヒド基の数であって1〜4であり、1つ又は複数のケトン基が環外及び/又は環内にあることができる、請求項13に記載の方法。
- 前記ポロゲン前駆体が、1つ又は複数のカルボン酸基を含有しかつ一般式CnH2n+2-2x-2y-3z(OOH)zを有する炭化水素構造体によって表され、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが構造中のカルボン酸基の数であって1〜4である、請求項13に記載の方法。
- 前記ポロゲン前駆体が、偶数のカルボン酸基を含有し、酸性官能性が脱水されて環状無水物基を形成し、一般式CnH2n+2-2x-2y-6z(O3)zを有する炭化水素構造体によって表され、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが構造中の無水物基の数であって1又は2である、請求項13に記載の方法。
- 前記ポロゲン前駆体が、エステル基を含有しかつ一般式CnH2n+2-2x-2y-2z(O2)zを有する炭化水素構造体によって表され、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であり、不飽和結合がエステルのカルボニル基と共役ではなく、zが構造中の無水物基の数であって1又は2である、請求項13に記載の方法。
- 前記ポロゲン前駆体が、エステル基と当該エステル基のカルボニルと共役である少なくとも1つの不飽和結合とからなるアクリレート官能性を含有し、かつ一般式CnH2n+2-2x-2y-2z(O2)zを有する炭化水素構造体によって表され、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって1以上であり、不飽和結合の少なくとも1つがエステルのカルボニル基と共役であり、zが構造中のエステル基の数であって1又は2である、請求項13に記載の方法。
- 前記ポロゲン前駆体が、エーテルとカルボニル官能基の両方を含有しかつ一般式CnH2n+2-2w-2x-2y(O)y(O)zを有する炭化水素構造体によって表され、式中、n=1〜12であり、wが構造中の環状環の数であって0〜4であり、xが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、yがケトン及び/又はアルデヒドであることができる構造中のカルボニル基の数であり、zが構造中のエーテル基の数であって1又は2であり、1つ又は複数のエーテル基が環内又は環外にあることができる、請求項13に記載の方法。
- 前記ポロゲン前駆体が、エーテルとアルコール官能基の両方を含有しかつ一般式CnH2n+2-2w-2x-y(OH)y(O)zを有する炭化水素構造体によって表され、式中、n=1〜12であり、wが構造中の環状環の数であって0〜4であり、xが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、yが構造中のアルコール基の数であり、zが構造中のエーテル基の数であって1又は2であり、1つ又は複数のエーテル基が環内又は環外にあることができる、請求項13に記載の方法。
- 前記ポロゲン前駆体が、アルコール、エーテル、カルボニル、及びカルボン酸から選択された官能基の任意の組み合わせを含有しかつ一般式CnH2n+2-2u-2v-w-2y-3z(OH)w(O)x(O)y(OOH)zを有する炭化水素構造体によって表され、式中、n=1〜12であり、uが構造中の環状環の数であって0〜4であり、vが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、wが構造中のアルコール基の数であって0〜4であり、xが構造中のエーテル基の数であって0〜4であり、1つ又は複数のエーテル基が環内又は環外にあることができ、yがケトン及び/又はアルデヒドであることができる構造中のカルボニル基の数であって0〜3であり、zが構造中のカルボン酸基の数であって0〜2である、請求項13に記載の方法。
- 前記ポロゲン前駆体が、1つ又は複数の第一アミン基を含有しかつ一般式CnH2n+2-2x-2y-z(NH2)zを有する炭化水素構造体によって表され、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが化合物中のアミン基の数であって1〜4であり、アミン官能性が環外及び/又は環内にあることができる、請求項13に記載の方法。
- 前記ポロゲン前駆体が、1つ又は複数の第二アミン基を含有しかつ一般式CnH2n+2-2x-2y-2z(NH)zを有する炭化水素構造体によって表され、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが化合物中の第二アミン基の数であって1〜4であり、アミン官能性が環外及び/又は環内にあることができる、請求項13に記載の方法。
- 前記ポロゲン前駆体が、1つ又は複数の第三アミン基を含有しかつ一般式CnH2n+2-2x-2y-3z(N)zを有する炭化水素構造体によって表され、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが化合物中の第三アミン基の数であって1〜4であり、アミン官能性が環外及び/又は環内にあることができる、請求項13に記載の方法。
- 前記ポロゲン前駆体が、1つ又は複数のニトロ基を含有しかつ一般式CnH2n+2-2x-2y-z(NO2)zを有する炭化水素構造体によって表され、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが化合物中のニトロ基の数であって1〜4であり、ニトロ官能性が環外及び/又は環内にあることができる、請求項13に記載の方法。
- 前記ポロゲン前駆体が、アミンとエーテル官能基の両方を含有しかつ一般式CnH2n+2-2u-2v-w-2x-3y-z(NH2)w(NH)x(N)y(OH)zを有する炭化水素構造体によって表され、式中、n=1〜12であり、uが構造中の環状環の数であって0〜4であり、vが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、wが第一アミン基の数であり、xが第二アミン基の数であり、yが第三アミン基の数であり、1<w+x+y<4であり、zが化合物中のアルコール基の数であって1〜4であり、アルコール及び/又はアミン基が環外及び/又は環内にあることができる、請求項13に記載の方法。
- 前記ポロゲン前駆体が、アミンとアルコール官能基の両方を含有しかつ一般式CnH2n+2-2u-2v-w-2x-3y-z(NH2)w(NH)x(N)y(OH)zを有する炭化水素構造体によって表され、式中、n=1〜12であり、uが構造中の環状環の数であって0〜4であり、vが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、wが第一アミン基の数であり、xが第二アミン基の数であり、yが第三アミン基の数であり、1<w+x+y<4であり、zが化合物中のエーテル基の数であって1〜4であり、エーテル及び/又はアミン基が環外及び/又は環内にあることができる、請求項13に記載の方法。
- 前記前駆体混合物がポロゲン化前駆体をさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記ポロゲン化前駆体が、1−ネオヘキシル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、1−ネオペンチル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、ネオペンチルジエトキシシラン、ネオヘキシルジエトキシシラン、ネオヘキシルトリエトキシシラン、ネオペンチルトリエトキシシラン、及びネオペンチル−ジ−t−ブトキシシランからなる群より選択された構成要素である、請求項19に記載の方法。
- 前記膜が式SivOwCxHyFzによって表される材料からなり、式中、v+w+x+y+z=100%、vが10〜35原子%、wが10〜65原子%、xが5〜30原子%、yが10〜50原子%、zが0〜15原子%であり、当該膜が細孔及び2.6よりも低い誘電率を有する、請求項1に記載の方法によって製造される有機ケイ酸塩ガラスの多孔質膜。
- vが20〜30原子%、wが20〜45原子%、xが5〜25原子%、yが15〜40原子%、zが0である、請求項42に記載の膜。
- zが0.5〜7原子%であり、前記多孔質膜中の実質的にすべてのFがSi−F基のSiに結合している、請求項42に記載の膜。
- 前記膜中に含まれる水素の50%以上が炭素に結合している、請求項42に記載の膜。
- (a)少なくとも1つのオルガノシラン及び/又はオルガノシロキサン前駆体であって、
(1)式SiR1 n(OR2)p(O(O)CR3)4-(n+p)であって、式中、R1が独立してH又はC1〜C4の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R2が独立してC1〜C6の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R3が独立してH、C1〜C6の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、nが1〜3、pが0〜3であり、但し、分子中に少なくとも1つのSi−H結合がある、SiR1 n(OR2)p(O(O)CR3);
(2)式R1 n(OR2)p(O(O)CR4)3-n-pSi−O−SiR3 m(O(O)CR5)q(OR6)3-m-qであって、式中、R1及びR3が独立してH又はC1〜C4の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R2及びR6が独立してC1〜C6の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R4及びR5が独立してH、C1〜C6の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、nが0〜3、mが0〜3、qが0〜3、pが0〜3、n+m≧1、n+p≦3、及びm+q≦3であり、但し、分子中に少なくとも1つのSi−H結合がある、R1 n(OR2)p(O(O)CR4)3-n-pSi−O−SiR3 m(O(O)CR5)q(OR6)3-m-q;
(3)式R1 n(OR2)p(O(O)CR4)3-n-pSi−SiR3 m(O(O)CR5)q(OR6)3-m-qであって、式中、R1及びR3が独立してH又はC1〜C4の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R2及びR6が独立してC1〜C6の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R4及びR5が独立してH、C1〜C6の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、nが0〜3、mが0〜3、qが0〜3、pが0〜3、n+m≧1、n+p≦3、及びm+q≦3であり、但し、分子中に少なくとも1つのSi−H結合がある、R1 n(OR2)p(O(O)CR4)3-n-pSi−SiR3 m(O(O)CR5)q(OR6)3-m-q;
(4)式R1 n(OR2)p(O(O)CR4)3-n-pSi−R7−SiR3 m(O(O)CR5)q(OR6)3-m-qであって、式中、R1及びR3が独立してH又はC1〜C4の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R2及びR6が独立してC1〜C6の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R4及びR5が独立してH、C1〜C6の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R7がC2〜C6の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、nが0〜3、mが0〜3、qが0〜3、pが0〜3、n+m≧1、n+p≦3、及びm+q≦3であり、但し、分子中に少なくとも1つのSi−H結合がある、R1 n(OR2)p(O(O)CR4)3-n-pSi−R7−SiR3 m(O(O)CR5)q(OR6)3-m-q;
(5)式(R1 n(OR2)p(O(O)CR3)4-(n+p)Si)tCH4-tであって、式中、R1が独立してH又はC1〜C4の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R2が独立してC1〜C6の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R3が独立してH、C1〜C6の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、nが1〜3、pが0〜3、tが2〜4、n+p≦4であり、但し、分子中に少なくとも1つのSi−H結合がある、(R1 n(OR2)p(O(O)CR3)4-(n+p)Si)tCH4-t;
(6)式(R1 n(OR2)p(O(O)CR3)4-(n+p)Si)tNH3-tであって、式中、R1が独立してH又はC1〜C4の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R2が独立してC1〜C6の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R3が独立してH、C1〜C6の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、nが1〜3、pが0〜3、tが1〜3、n+p≦4であり、但し、分子中に少なくとも1つのSi−H結合がある、(R1 n(OR2)p(O(O)CR3)4-(n+p)Si)tNH3-t;
(7)式(N(R1)Si(R1R2))xであって、式中、R1及びR2が独立してH、C1〜C4の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素であり、xが2〜8の任意の整数であることができる、(N(R1)Si(R1R2))x;
(8)式(C(R1R2)Si(R1R2))xであって、式中、R1及びR2が独立してH、C1〜C4の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素であり、xが2〜8の任意の整数であることができ、但し、分子中に少なくとも1つのSi−H結合がある、(C(R1R2)Si(R1R2))x;並びに
(9)それらの混合物
からなる群より選択された少なくとも1つのオルガノシラン及び/又はオルガノシロキサン前駆体と、
(b)当該少なくとも1つのオルガノシラン及び/又はオルガノシロキサン前駆体とは異なるポロゲンであって、
(1)式CnH2n+2-2x-2y-z(OH)zであって、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが化合物中のアルコール基の数であって1〜4であり、アルコール官能性が環外及び/又は環内にあることができる、CnH2n+2-2x-2y-z(OH)z;
(2)式CnH2n+2-2x-2yOzであって、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが構造中のエーテル結合の数であって1〜4であり、1つ又は複数のエーテル結合が環外及び/又は環内にあることができる、CnH2n+2-2x-2yOz;
(3)式CnH2n+2-2x-2y-2zOzであって、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが構造中のエポキシド基の数であって1〜4であり、エポキシド基が環状環又は直鎖に結合することができる、CnH2n+2-2x-2y-2zOz;
(4)式CnH2n+2-2x-2y-2zOzであって、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが構造中のアルデヒド基の数であって1〜4である、CnH2n+2-2x-2y-2zOz;
(5)式CnH2n+2-2x-2y-2zOzであって、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが構造中のアルデヒド基の数であって1〜4であり、1つ又は複数のケトン基が環外及び/又は環内にあることができる、CnH2n+2-2x-2y-2zOz;
(6)式CnH2n+2-2x-2y-3z(OOH)zであって、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが構造中のカルボン酸基の数であって1〜4である、CnH2n+2-2x-2y-3z(OOH)z;
(7)式CnH2n+2-2x-2y-6z(O3)zであって、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが構造中の無水物基の数であって1又は2である、CnH2n+2-2x-2y-6z(O3)z;
(8)式CnH2n+2-2x-2y-2z(O2)zであって、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であり、不飽和結合がエステルのカルボニル基と共役ではなく、zが構造中の無水物基の数であって1又は2である、CnH2n+2-2x-2y-2z(O2)z;
(9)式CnH2n+2-2x-2y-2z(O2)zであって、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって1以上であり、不飽和結合の少なくとも1つがエステルのカルボニル基と共役であり、zが構造中のエステル基の数であって1又は2である、CnH2n+2-2x-2y-2z(O2)z;
(10)式CnH2n+2-2w-2x-2y(O)y(O)zであって、式中、n=1〜12であり、wが構造中の環状環の数であって0〜4であり、xが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、yがケトン及び/又はアルデヒドであることができる構造中のカルボニル基の数であり、zが構造中のエーテル基の数であって1又は2であり、1つ又は複数のエーテル基が環内又は環外にあることができる、CnH2n+2-2w-2x-2y(O)y(O)z;
(11)式CnH2n+2-2w-2x-y(OH)y(O)zであって、式中、n=1〜12であり、wが構造中の環状環の数であって0〜4であり、xが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、yが構造中のアルコール基の数であり、zが構造中のエーテル基の数であって1又は2であり、1つ又は複数のエーテル基が環内又は環外にあることができる、CnH2n+2-2w-2x-y(OH)y(O)z;
(12)式CnH2n+2-2u-2v-w-2y-3z(OH)w(O)x(O)y(OOH)zであって、式中、n=1〜12であり、uが構造中の環状環の数であって0〜4であり、vが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、wが構造中のアルコール基の数であって0〜4であり、xが構造中のエーテル基の数であって0〜4であり、1つ又は複数のエーテル基が環内又は環外にあることができ、yがケトン及び/又はアルデヒドであることができる構造中のカルボニル基の数であって0〜3であり、zが構造中のカルボン酸基の数であって0〜2である、CnH2n+2-2u-2v-w-2y-3z(OH)w(O)x(O)y(OOH)z;
(13)式CnH2n+2-2x-2y-z(NH2)zであって、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが化合物中のアミン基の数であって1〜4であり、アミン官能性が環外及び/又は環内にあることができる、CnH2n+2-2x-2y-z(NH2)z;
(14)式CnH2n+2-2x-2y-2z(NH)zであって、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが化合物中の第二アミン基の数であって1〜4であり、アミン官能性が環外及び/又は環内にあることができる、CnH2n+2-2x-2y-2z(NH)z;
(15)式CnH2n+2-2x-2y-3z(N)zであって、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが化合物中の第三アミン基の数であって1〜4であり、アミン官能性が環外及び/又は環内にあることができる、CnH2n+2-2x-2y-3z(N)z;
(16)式CnH2n+2-2x-2y-z(NO2)zであって、式中、n=1〜12であり、xが構造中の環状環の数であって0〜4であり、yが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、zが化合物中のニトロ基の数であって1〜4であり、ニトロ官能性が環外及び/又は環内にあることができる、CnH2n+2-2x-2y-z(NO2)z;
(17)式CnH2n+2-2u-2v-w-2x-3y-z(NH2)w(NH)x(N)y(OH)zであって、式中、n=1〜12であり、uが構造中の環状環の数であって0〜4であり、vが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、wが第一アミン基の数であり、xが第二アミン基の数であり、yが第三アミン基の数であり、1<w+x+y<4であり、zが化合物中のアルコール基の数であって1〜4であり、アルコール及び/又はアミン基が環外及び/又は環内にあることができる、CnH2n+2-2u-2v-w-2x-3y-z(NH2)w(NH)x(N)y(OH)z;
(18)式CnH2n+2-2u-2v-w-2x-3y-z(NH2)w(NH)x(N)y(OH)zであって、式中、n=1〜12であり、uが構造中の環状環の数であって0〜4であり、vが構造中の不飽和結合の数であって0〜nであり、wが第一アミン基の数であり、xが第二アミン基の数であり、yが第三アミン基の数であり、1<w+x+y<4であり、zが化合物中のエーテル基の数であって1〜4であり、エーテル及び/又はアミン基が環外及び/又は環内にあることができる、CnH2n+2-2u-2v-w-2x-3y-z(NH2)w(NH)x(N)y(OH)z;並びに
(19)それらの混合物
からなる群より選択されたポロゲンとを含む、組成物。 - (c)ポロゲン化前駆体であって、
(1)式R1 n(OR2)p(O(O)CR3)4-(n+p)Siであって、式中、R1が独立してH又はC1〜C12の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R2及びR3が独立してC1〜C12の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、nが1〜3、pが0〜3であり、但し、n+p≦4であり、R1の少なくとも1つがポロゲンとしてのC3以上の炭化水素で置換された、R1 n(OR2)p(O(O)CR3)4-(n+p)Si;
(2)式R1 n(OR2)p(O(O)CR4)3-n-pSi−O−SiR3 m(O(O)CR5)q(OR6)3-m-qであって、式中、R1及びR3が独立してH又はC1〜C12の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R2、R4、R5及びR6が独立してC1〜C12の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、nが0〜3、mが0〜3、qが0〜3、pが0〜3であり、但し、n+m≧1、n+p≦3、m+q≦3であり、R1及びR3の少なくとも1つがポロゲンとしてのC3以上の炭化水素で置換された、R1 n(OR2)p(O(O)CR4)3-n-pSi−O−SiR3 m(O(O)CR5)q(OR6)3-m-q;
(3)式R1 n(OR2)p(O(O)CR4)3-n-pSi−SiR3 m(O(O)CR5)q(OR6)3-m-qであって、式中、R1及びR3が独立してH又はC1〜C12の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R2、R4、R5及びR6が独立してC1〜C12の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、nが0〜3、mが0〜3、qが0〜3、pが0〜3であり、但し、n+m≧1、n+p≦3、m+q≦3であり、R1及びR3の少なくとも1つがポロゲンとしてのC3以上の炭化水素で置換された、R1 n(OR2)p(O(O)CR4)3-n-pSi−SiR3 m(O(O)CR5)q(OR6)3-m-q;
(4)式R1 n(OR2)p(O(O)CR4)3-n-pSi−R7−SiR3 m(O(O)CR5)q(OR6)3-m-qであって、式中、R1及びR3が独立してH又はC1〜C12の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R2、R4、R5、R6及びR7が独立してC1〜C12の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、nが0〜3、mが0〜3、qが0〜3、pが0〜3、但し、n+m≧1、n+p≦3、m+q≦3であり、R1、R3及びR7の少なくとも1つがポロゲンとしてのC3以上の炭化水素で置換された、R1 n(OR2)p(O(O)CR4)3-n-pSi−R7−SiR3 m(O(O)CR5)q(OR6)3-m-q;
(5)式(R1 n(OR2)p(O(O)CR3)4-(n+p)Si)tCH4-tであって、式中、R1が独立してH又はC1〜C12の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R2及びR3が独立してC1〜C12の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、nが1〜3、pが0〜3、tが2〜4であり、但し、n+p≦4であり、R1の少なくとも1つがポロゲンとしてのC3以上の炭化水素で置換された、(R1 n(OR2)p(O(O)CR3)4-(n+p)Si)tCH4-t;
(6)式(R1 n(OR2)p(O(O)CR3)4-(n+p)Si)tNH3-tであって、式中、R1が独立してH又はC1〜C12の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、R2及びR3が独立してC1〜C12の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、芳香族の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素、nが1〜3、pが0〜3、tが1〜3、但し、n+p≦4であり、R1の少なくとも1つがポロゲンとしてのC3以上の炭化水素で置換された、(R1 n(OR2)p(O(O)CR3)4-(n+p)Si)tNH3-t;
(7)式(OSiR1R3)xの環状シロキサンであって、式中、R1及びR2が独立してH又はC1〜C12の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素であり、xが2〜8の任意の整数であり、但し、R1及びR3の少なくとも1つがポロゲンとしてのC3以上の炭化水素で置換された、(OSiR1R3)x;
(8)式(NR1SiR1R3)xの環状シラザンであって、式中、R1及びR3が独立してH又はC1〜C12の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素であり、xが2〜8の任意の整数であり、但し、R1及びR3の少なくとも1つがポロゲンとしてのC3以上の炭化水素で置換された、(NR1SiR1R3)x;
(9)式(CR1R3SiR1R3)xの環状カルボシランであって、式中、R1及びR3が独立してH又はC1〜C12の直鎖又は分枝の、飽和の、単又は複不飽和の、環状の、部分的に又は完全にフッ素化された炭化水素であり、xが2〜8の任意の整数であり、但し、R1及びR3の少なくとも1つがポロゲンとしてのC3以上の炭化水素で置換された、(CR1R3SiR1R3)x;並びに
(10)それらの混合物
からなる群より選択されたポロゲン前駆体をさらに含む、請求項48に記載の組成物。 - 熱エネルギー、プラズマエネルギー、光子エネルギー、電子エネルギー、マイクロ波エネルギー、及び化学物質からなる群より選択された少なくとも1つの後処理剤で予備的な膜を処理することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの後処理剤が、予備的な膜からポロゲンの実質的にすべてを除去する前、その間及び/又はその後に、得られた多孔質の有機シリカガラス膜の特性を改善する、請求項50に記載の方法。
- 追加の後処理剤が、予備的な膜からポロゲンの少なくとも一部を除去する、請求項50に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの後処理剤が、200〜8000nmの範囲の光子エネルギーである、請求項50に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの後処理剤が、電子ビームによって与えられる電子エネルギーである、請求項50に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの後処理剤が超臨界流体である、請求項50に記載の方法。
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