JPH04147814A - 樹脂封入成形用金型 - Google Patents
樹脂封入成形用金型Info
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- JPH04147814A JPH04147814A JP2274988A JP27498890A JPH04147814A JP H04147814 A JPH04147814 A JP H04147814A JP 2274988 A JP2274988 A JP 2274988A JP 27498890 A JP27498890 A JP 27498890A JP H04147814 A JPH04147814 A JP H04147814A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/17—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C45/26—Moulds
- B29C45/27—Sprue channels ; Runner channels or runner nozzles
- B29C45/2701—Details not specific to hot or cold runner channels
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/02—Transfer moulding, i.e. transferring the required volume of moulding material by a plunger from a "shot" cavity into a mould cavity
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S425/00—Plastic article or earthenware shaping or treating: apparatus
- Y10S425/228—Injection plunger or ram: transfer molding type
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、半導体素子、各種の電気部品等の小形電気
要素を合成樹脂材によって封入成形する際に使用される
樹脂封入成形用金型に関する。
要素を合成樹脂材によって封入成形する際に使用される
樹脂封入成形用金型に関する。
集積図jl(IC)や超集積回JI(LSI)、トラン
ジスタ等の回路素子や小形電気部品は、トランスファ成
形法により、フェノール系樹脂やエポキシ系樹脂等の熱
硬化性樹脂によってパッケージングされて製品とされて
いる。このパッケージング作業は、上型と下型とからな
る樹脂封入成形用金型をセットしたトランスファモール
ディングプレス装置を使用して量産的に行なわれる。こ
の作業に用いられる樹脂封入成形用金型には、半導体素
子、電気部品等の小形電気要素を合成樹脂材で封入成形
する樹脂封入成形部をなすキャビティ、合成樹脂材が投
入されそれを加熱溶融させるポット、このポットが設け
られた下型又は上型の他方側の下型又は上」に、ポット
の開口端面に対向して形成されたツル部、並びに、カル
部とキャビティとを流路樫続させる溶融樹脂材の移送通
路が形成されてしる。そして、金型のキャビティ内に小
形電気」素を配置して上型と下型とを型締めした後、オ
ツド内に通常タブレット形態の合成樹脂材を邦人してそ
れを加熱溶融させ、溶融化した合成禎脂材を、ポット内
においてその軸線方向に溜置自在に配設されたプランジ
ャによってポット力・ら押し出し、カル部を経て移送通
路内を流動させ、キャビティ内に加圧注入して加熱下に
硬化させることにより、小形電気要素を樹脂封入成形(
レジンモールド)した製品を得るようにしていた。
ジスタ等の回路素子や小形電気部品は、トランスファ成
形法により、フェノール系樹脂やエポキシ系樹脂等の熱
硬化性樹脂によってパッケージングされて製品とされて
いる。このパッケージング作業は、上型と下型とからな
る樹脂封入成形用金型をセットしたトランスファモール
ディングプレス装置を使用して量産的に行なわれる。こ
の作業に用いられる樹脂封入成形用金型には、半導体素
子、電気部品等の小形電気要素を合成樹脂材で封入成形
する樹脂封入成形部をなすキャビティ、合成樹脂材が投
入されそれを加熱溶融させるポット、このポットが設け
られた下型又は上型の他方側の下型又は上」に、ポット
の開口端面に対向して形成されたツル部、並びに、カル
部とキャビティとを流路樫続させる溶融樹脂材の移送通
路が形成されてしる。そして、金型のキャビティ内に小
形電気」素を配置して上型と下型とを型締めした後、オ
ツド内に通常タブレット形態の合成樹脂材を邦人してそ
れを加熱溶融させ、溶融化した合成禎脂材を、ポット内
においてその軸線方向に溜置自在に配設されたプランジ
ャによってポット力・ら押し出し、カル部を経て移送通
路内を流動させ、キャビティ内に加圧注入して加熱下に
硬化させることにより、小形電気要素を樹脂封入成形(
レジンモールド)した製品を得るようにしていた。
第8図に、従来の金型の一部を拡大した縦断面図を示す
0図において、1が上型、2が下型であり、この図示例
では下型2にポット3が形成され、そのポット3の上端
開口面に対向して上型1にカル部4が形成されている。
0図において、1が上型、2が下型であり、この図示例
では下型2にポット3が形成され、そのポット3の上端
開口面に対向して上型1にカル部4が形成されている。
また、カル部4に連接してランナ5.5′が上型1及び
下型2にそれぞれ形成され、ランナ5′の先端に、ゲー
ト6を介して連通ずるキャビティ7が、上型l及び下型
2にそれぞれ形設さ九でいる2そして、下型2のポット
3内には、その軸線方向に摺動自在に、図示しない駆動
源によって上下方向に往復移動させられるプランジャ8
が配設されており、ポット3内に投入された樹脂タブレ
ット9を加熱溶融させた後直ちに、プランジャ8によっ
て溶融樹脂材をポット3から押し出し、カル部4及びラ
ンナ5.5′を通しゲート6を経てキャビティ7内に溶
融樹脂材が加圧注入されるようになっている。
下型2にそれぞれ形成され、ランナ5′の先端に、ゲー
ト6を介して連通ずるキャビティ7が、上型l及び下型
2にそれぞれ形設さ九でいる2そして、下型2のポット
3内には、その軸線方向に摺動自在に、図示しない駆動
源によって上下方向に往復移動させられるプランジャ8
が配設されており、ポット3内に投入された樹脂タブレ
ット9を加熱溶融させた後直ちに、プランジャ8によっ
て溶融樹脂材をポット3から押し出し、カル部4及びラ
ンナ5.5′を通しゲート6を経てキャビティ7内に溶
融樹脂材が加圧注入されるようになっている。
ところが、従来の樹脂封入成形用金型を用いてトランス
ファ成形を行なった場合には、ポット内においてタブレ
ット状合成樹脂材を円滑かつ均一に溶融するこことがで
きない、といった問題があった。さらに詳しく説明する
と、上型1及び下型2は、図示しない上型プレート及び
下型プレートに埋設されたヒータからの伝導熱によって
加熱されているが、ポット3に樹脂タブレット9を投入
し、それを溶融させてキャビティ7内へ加圧注入する過
程で、ポット3内において樹脂タブレット9は、上型1
のカル部4及びプランジャ8に接している上端部分及び
下端部分から順次溶融してゆく、すなわち、樹脂タブレ
ット9は、゛まず最初に、温度が最も高くなっているカ
ル部4に接しているa部分から溶融し始め、続いてカル
部4より若干温度が低いプランジャ8の上端面に接して
いるC部分が溶融し、そして最後に、金型及びプランジ
ャのどこにも接していない中央のb部分が溶融する。
ファ成形を行なった場合には、ポット内においてタブレ
ット状合成樹脂材を円滑かつ均一に溶融するこことがで
きない、といった問題があった。さらに詳しく説明する
と、上型1及び下型2は、図示しない上型プレート及び
下型プレートに埋設されたヒータからの伝導熱によって
加熱されているが、ポット3に樹脂タブレット9を投入
し、それを溶融させてキャビティ7内へ加圧注入する過
程で、ポット3内において樹脂タブレット9は、上型1
のカル部4及びプランジャ8に接している上端部分及び
下端部分から順次溶融してゆく、すなわち、樹脂タブレ
ット9は、゛まず最初に、温度が最も高くなっているカ
ル部4に接しているa部分から溶融し始め、続いてカル
部4より若干温度が低いプランジャ8の上端面に接して
いるC部分が溶融し、そして最後に、金型及びプランジ
ャのどこにも接していない中央のb部分が溶融する。
このように順次溶融化されて流動状態になった合成樹脂
材がポット3から押し出され、カル部4をそのまま通り
抜けてランナ5.5′へ流入し、ランナ5,5′を経て
キャビティ7内へ流入してゆくことになる。
材がポット3から押し出され、カル部4をそのまま通り
抜けてランナ5.5′へ流入し、ランナ5,5′を経て
キャビティ7内へ流入してゆくことになる。
このような樹脂溶融過程の段階性に起因して、カル部か
らランナを介しゲートを通ってキャビティ内に流入する
合成樹脂材の溶融化の状態が不均一になり、溶融状態が
一部不十分なまま。
らランナを介しゲートを通ってキャビティ内に流入する
合成樹脂材の溶融化の状態が不均一になり、溶融状態が
一部不十分なまま。
溶融樹脂材の流動性が局部的に低下した状態で、ランナ
内を流動してキャビティ内へ注入される。
内を流動してキャビティ内へ注入される。
この結果、キャビティ7内に注入された合成樹脂材に気
泡やボイドが発生したり、ワイヤ流れを生じたりして、
得られた製品のパッケージ品質が低下する。といった問
題点があった。
泡やボイドが発生したり、ワイヤ流れを生じたりして、
得られた製品のパッケージ品質が低下する。といった問
題点があった。
この発明は、以上のような問題点を解消するためになさ
れたものであって、カル部において合成樹脂材を十分に
溶融させて良好な流動特性を有した状態にしてから、ラ
ンナを通りキャビティ内へ溶融樹脂材を注入することが
できるようにし、もってキャビティ内へ注入された合成
樹脂材に気泡やボイド、ワイヤ流れなどが発生しないよ
うにすることができる樹脂封入成形用金型を提供するこ
とを技術的課題とする。
れたものであって、カル部において合成樹脂材を十分に
溶融させて良好な流動特性を有した状態にしてから、ラ
ンナを通りキャビティ内へ溶融樹脂材を注入することが
できるようにし、もってキャビティ内へ注入された合成
樹脂材に気泡やボイド、ワイヤ流れなどが発生しないよ
うにすることができる樹脂封入成形用金型を提供するこ
とを技術的課題とする。
この発明では、上記課題を達成するための手段として、
上述したようにキャビティ、ポット、カル部及び溶融樹
脂材移送通路を設けた樹脂封入成形用金型において、合
成樹脂材が投入されるポットの開口端面に対向して形成
されるカル部の、ポット開口端面に対向する内底面を凹
凸状に形成したことを要旨とする。
上述したようにキャビティ、ポット、カル部及び溶融樹
脂材移送通路を設けた樹脂封入成形用金型において、合
成樹脂材が投入されるポットの開口端面に対向して形成
されるカル部の、ポット開口端面に対向する内底面を凹
凸状に形成したことを要旨とする。
上記構成の樹脂封入成形用金型においては、ポット内に
投入された合成樹脂材は、ポット内で溶融化されてカル
部から移送通路へ流入し、移送通路を通ってキャビティ
内へ送られるが、合成樹脂材が投入されて加熱溶融され
るポットの開口端面に対向し、キャビティに流路接続し
た溶融樹脂材移送通路に連接するカル部の内底面が凹凸
状に形成されているので、従来の金型におけるようにポ
ットから押し出された溶融樹脂がカル部を通って直ちに
移送通路へ流れ込むのではなく、溶融樹脂は、カル部の
凹部通路を通りその凹部通路内を流動して移送通路へ流
入する。このため、溶融樹脂は、カル部の凹部通路を通
る間に、温度が高いカル部の、凹部通路に沿った両側の
凸部等からの熱伝導によって効果的に加熱され、十分に
溶融化されて良好な流動特性を有した状態で移送通路に
流入し、移送通路内を流動して連続的にキャビティ内へ
注入されることになる。
投入された合成樹脂材は、ポット内で溶融化されてカル
部から移送通路へ流入し、移送通路を通ってキャビティ
内へ送られるが、合成樹脂材が投入されて加熱溶融され
るポットの開口端面に対向し、キャビティに流路接続し
た溶融樹脂材移送通路に連接するカル部の内底面が凹凸
状に形成されているので、従来の金型におけるようにポ
ットから押し出された溶融樹脂がカル部を通って直ちに
移送通路へ流れ込むのではなく、溶融樹脂は、カル部の
凹部通路を通りその凹部通路内を流動して移送通路へ流
入する。このため、溶融樹脂は、カル部の凹部通路を通
る間に、温度が高いカル部の、凹部通路に沿った両側の
凸部等からの熱伝導によって効果的に加熱され、十分に
溶融化されて良好な流動特性を有した状態で移送通路に
流入し、移送通路内を流動して連続的にキャビティ内へ
注入されることになる。
以下、この発明の好適な実°施例について図面を参照し
ながら説明する。
ながら説明する。
第1図及び第2図は、この発明の1実施例を示し、第1
図は、樹脂封入成形用金型の上型の一部を下型との接合
面側から見た平面図、第2図は、第1図の■−■線に沿
った矢視縦断面図である。
図は、樹脂封入成形用金型の上型の一部を下型との接合
面側から見た平面図、第2図は、第1図の■−■線に沿
った矢視縦断面図である。
この樹脂封入成形用金型は、上型10に形成されたカル
部12の構造以外は、従来の金型と差異が無い、すなわ
ち、この金型の上型10には、半導体素子や小形電気部
品等を合成樹脂材で封入成形する用をなすキャビティ1
4が2列に多数並べて形成されており、一対のキャビテ
ィ14.14の中間位置にカル部12が形成されている
。第1図中の二点鎖線は、下型に形成されているポット
及びランナの配設位置を示し、カル部12に連通するよ
うにポット16が下型に形成されており。
部12の構造以外は、従来の金型と差異が無い、すなわ
ち、この金型の上型10には、半導体素子や小形電気部
品等を合成樹脂材で封入成形する用をなすキャビティ1
4が2列に多数並べて形成されており、一対のキャビテ
ィ14.14の中間位置にカル部12が形成されている
。第1図中の二点鎖線は、下型に形成されているポット
及びランナの配設位置を示し、カル部12に連通するよ
うにポット16が下型に形成されており。
またカル部12と各キャビティ14とは、下型に形成さ
れたランナ18及びゲート20を介して互いにそれぞれ
流路接続している。
れたランナ18及びゲート20を介して互いにそれぞれ
流路接続している。
そして、この金型では、カル部12の内底面が凹凸状に
形成されている。すなわち、カル部12の内底面に突出
部22が形成されており、その突出部22によってカル
部12に、1本に連通した溝状通路24が形成されてい
る。溶融化されてカル部12に流入した合成樹脂材は、
この溝状通路24内を流動することになる。
形成されている。すなわち、カル部12の内底面に突出
部22が形成されており、その突出部22によってカル
部12に、1本に連通した溝状通路24が形成されてい
る。溶融化されてカル部12に流入した合成樹脂材は、
この溝状通路24内を流動することになる。
上記構成の金型を使用して合成樹脂材をポットからキャ
ビティ内へ加圧注入する動作を第3図に基づいて説明す
る。
ビティ内へ加圧注入する動作を第3図に基づいて説明す
る。
第3図は、上型10と下型28とを型締めした状態を示
した金型の一部拡大縦断面図である。下型26に形設さ
れたポット16内に樹脂タブレット9が投入されると、
樹脂タブレット9は、図示しない上型プレート及び下型
プレートに埋設されたヒータからの伝導熱によって加熱
されることにより、溶融化されて流動性を持つようにな
る。溶融化されて流動性を持った合成樹脂材は、プラン
ジャ28により加圧されてポット16から押し出され、
カル部12内へ流入する。カル部12内へ流入した溶融
樹脂材は、カル部12の溝状通路24内を流動し、その
間に溶融樹脂は、温度が高くなっているカル部12の溝
状通路24の内底壁面や溝状通路24の両側の突出部2
2からの熱伝導によって効果的に加熱されることになる
。この結果、第8図に関して説明したように、ポット1
6内において樹脂タブレット9のa部分、b部分及びC
部分で段階的に溶融化され、溶融樹脂材の流動状態が局
部的に悪くなったとしても、溶融樹脂材がカル部12の
溝状通路24内を通過する過程で、加熱によってその流
動状態が一様になり、その後に溶融樹脂材がカル部12
から流出して、ランナ1g、 18″内へ流入する。そ
して、十分に溶融化されて良好な流動特性を有した状態
の溶融樹脂材が、ランナ18.18′ を経てキャビテ
ィ14内へ流入してゆき、未溶融の樹脂材や一旦溶融し
た後読にゲル化してしまった樹脂材などがキャビティ1
4内へ流入するといったことが起こらない。このように
、溶融樹脂材は、十分に溶融化されて良好な流動特性を
有した状態でランナ18,18’内を移送され、その間
に空気を取り込んだりすることなく、ゲート20を通っ
てキャビティ14内へ加圧注入されるため、キャビティ
14中において硬化する樹脂に気泡やボイドが発生した
り、ワイヤ流れを生じたりすることが無い。
した金型の一部拡大縦断面図である。下型26に形設さ
れたポット16内に樹脂タブレット9が投入されると、
樹脂タブレット9は、図示しない上型プレート及び下型
プレートに埋設されたヒータからの伝導熱によって加熱
されることにより、溶融化されて流動性を持つようにな
る。溶融化されて流動性を持った合成樹脂材は、プラン
ジャ28により加圧されてポット16から押し出され、
カル部12内へ流入する。カル部12内へ流入した溶融
樹脂材は、カル部12の溝状通路24内を流動し、その
間に溶融樹脂は、温度が高くなっているカル部12の溝
状通路24の内底壁面や溝状通路24の両側の突出部2
2からの熱伝導によって効果的に加熱されることになる
。この結果、第8図に関して説明したように、ポット1
6内において樹脂タブレット9のa部分、b部分及びC
部分で段階的に溶融化され、溶融樹脂材の流動状態が局
部的に悪くなったとしても、溶融樹脂材がカル部12の
溝状通路24内を通過する過程で、加熱によってその流
動状態が一様になり、その後に溶融樹脂材がカル部12
から流出して、ランナ1g、 18″内へ流入する。そ
して、十分に溶融化されて良好な流動特性を有した状態
の溶融樹脂材が、ランナ18.18′ を経てキャビテ
ィ14内へ流入してゆき、未溶融の樹脂材や一旦溶融し
た後読にゲル化してしまった樹脂材などがキャビティ1
4内へ流入するといったことが起こらない。このように
、溶融樹脂材は、十分に溶融化されて良好な流動特性を
有した状態でランナ18,18’内を移送され、その間
に空気を取り込んだりすることなく、ゲート20を通っ
てキャビティ14内へ加圧注入されるため、キャビティ
14中において硬化する樹脂に気泡やボイドが発生した
り、ワイヤ流れを生じたりすることが無い。
第4図、第6図及び第7図に示したものは、それぞれ、
カル部の溝状通路の形状の種々の変形例である。それら
の各図に示したカル部32.42.52において、34
.44.54が溝状通路、36.46.56が突出部で
ある。また、第5図は、上型30の一部を拡大して示す
、第4図の■−■縦断面図である。
カル部の溝状通路の形状の種々の変形例である。それら
の各図に示したカル部32.42.52において、34
.44.54が溝状通路、36.46.56が突出部で
ある。また、第5図は、上型30の一部を拡大して示す
、第4図の■−■縦断面図である。
この発明の樹脂封入成形用金型は上記したような構成を
有するが、この発明の範囲は上記説明並びに図面に示し
た内容に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範
囲で種々の変形例を包含し得る。例えば、上記実施例で
は、金型に多数個のポットを設けて各ポットごとにそれ
ぞれ2個のキャビティを対応させた、いわゆるマルチポ
ット型式のものを示したが、ポットを1個だけ設けてそ
のポットから多数個のキャビティへ合成樹脂材を加圧注
入するようにした、いわゆるコンベンショナル金型につ
いても、この発明は同様に適用し得るものである。また
、上記実施例では、上型にカル部を形成し、下型にポッ
トを形成した金型を示したが、下型にカル部を形成し、
上型にポットを形成した金型についても、この発明は適
用し得る。さらに、カル部の溝状通路の形状としては、
図面に示したもの以外にも多くの形状が考えられる。
有するが、この発明の範囲は上記説明並びに図面に示し
た内容に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範
囲で種々の変形例を包含し得る。例えば、上記実施例で
は、金型に多数個のポットを設けて各ポットごとにそれ
ぞれ2個のキャビティを対応させた、いわゆるマルチポ
ット型式のものを示したが、ポットを1個だけ設けてそ
のポットから多数個のキャビティへ合成樹脂材を加圧注
入するようにした、いわゆるコンベンショナル金型につ
いても、この発明は同様に適用し得るものである。また
、上記実施例では、上型にカル部を形成し、下型にポッ
トを形成した金型を示したが、下型にカル部を形成し、
上型にポットを形成した金型についても、この発明は適
用し得る。さらに、カル部の溝状通路の形状としては、
図面に示したもの以外にも多くの形状が考えられる。
この発明は以上説明したように構成されかつ作用するの
で、この発明に係る樹脂封入成形用金型を使用して半導
体素子や電気部品等の小形電気要素を合成樹脂材で封入
成形するときは、ポット内に投入されて加熱溶融さ九た
合成樹脂材がカル部を通る間に効果的に加熱されて十分
に溶融され、流動性が向上した合成樹脂材が移送通路を
経てキャビティ内へ注入されるため、従来の金型におい
て溶融が十分でないまま流動性の低下した合成樹脂材が
一部キャビティ内へ注入されることに起因した気泡やボ
イド、ワイヤ流れの発生が防止されることにより、良好
な品質の小形電気要素のパッケージ製品が得られること
になり、製品の不良率を著しく低減させることができた
。
で、この発明に係る樹脂封入成形用金型を使用して半導
体素子や電気部品等の小形電気要素を合成樹脂材で封入
成形するときは、ポット内に投入されて加熱溶融さ九た
合成樹脂材がカル部を通る間に効果的に加熱されて十分
に溶融され、流動性が向上した合成樹脂材が移送通路を
経てキャビティ内へ注入されるため、従来の金型におい
て溶融が十分でないまま流動性の低下した合成樹脂材が
一部キャビティ内へ注入されることに起因した気泡やボ
イド、ワイヤ流れの発生が防止されることにより、良好
な品質の小形電気要素のパッケージ製品が得られること
になり、製品の不良率を著しく低減させることができた
。
第1図は、この発明の1実施例に係る樹脂封入成形用金
型の上型の一部を下型との接合面側から見た平面図、第
2v!は、第1図の■−■線に沿った矢視縦断面図、第
3@は、この樹脂封入成形用金型を使用して合成樹脂材
をポットからキャビティ内へ加圧注入する動作を説明す
るための図、第4図、第6図及び第7図はそれぞれ、カ
ル部の溝状通路の形状の種々の変形例を示す平面図、第
5図は、第4図の■−■縦断面図、第8図は、従来の金
型の一部を拡大した縦断面図である。 9・・・樹脂タブレット、 10.30・・・金型の上
型。 12.32.42.52・・・カル部。 14・・・キャビティ、 16・・・ポット、1
8、18’・・・ランナ、 20・・・ゲート、22
.36.46.56・・・突出部。 24.34.44.54・・・溝状通路。 26・・・金型の下型、 28・・・プランジャ。
型の上型の一部を下型との接合面側から見た平面図、第
2v!は、第1図の■−■線に沿った矢視縦断面図、第
3@は、この樹脂封入成形用金型を使用して合成樹脂材
をポットからキャビティ内へ加圧注入する動作を説明す
るための図、第4図、第6図及び第7図はそれぞれ、カ
ル部の溝状通路の形状の種々の変形例を示す平面図、第
5図は、第4図の■−■縦断面図、第8図は、従来の金
型の一部を拡大した縦断面図である。 9・・・樹脂タブレット、 10.30・・・金型の上
型。 12.32.42.52・・・カル部。 14・・・キャビティ、 16・・・ポット、1
8、18’・・・ランナ、 20・・・ゲート、22
.36.46.56・・・突出部。 24.34.44.54・・・溝状通路。 26・・・金型の下型、 28・・・プランジャ。
Claims (1)
- 1、小形電気要素を内部に配置してそれを合成樹脂材で
封入成形する樹脂封入成形部をなすキャビティと、合成
樹脂材が投入されそれを加熱溶融させるポットと、この
ポットの端部に連接しその開口端面に対向して形成され
たカル部と、このカル部と前記キャビティとを流路接続
させ、前記ポットに投入されて加熱溶融され、ポット内
においてその軸線方向に摺動自在に配設されるプランジ
ャによってポットから押し出される合成樹脂材を、カル
部を介しキャビティ内へ流動させる移動通路とを備えた
樹脂封入成形用金型において、前記カル部の、前記ポッ
トの開口端面と対向する内底面を凹凸状に形成したこと
を特徴とする樹脂封入成形用金型。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2274988A JPH04147814A (ja) | 1990-10-11 | 1990-10-11 | 樹脂封入成形用金型 |
US07/824,646 US5204122A (en) | 1990-10-11 | 1992-01-23 | Mold for use in resin encapsulation molding |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2274988A JPH04147814A (ja) | 1990-10-11 | 1990-10-11 | 樹脂封入成形用金型 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04147814A true JPH04147814A (ja) | 1992-05-21 |
Family
ID=17549345
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2274988A Pending JPH04147814A (ja) | 1990-10-11 | 1990-10-11 | 樹脂封入成形用金型 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5204122A (ja) |
JP (1) | JPH04147814A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07290491A (ja) * | 1994-04-27 | 1995-11-07 | Nec Corp | モールド金型 |
US5556647A (en) * | 1994-03-07 | 1996-09-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Encapsulation mold |
JP2015093462A (ja) * | 2013-11-13 | 2015-05-18 | アピックヤマダ株式会社 | モールド金型 |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2548625B2 (ja) * | 1990-08-27 | 1996-10-30 | シャープ株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2524955B2 (ja) * | 1993-04-22 | 1996-08-14 | トーワ株式会社 | 電子部品の樹脂封止成形方法及び装置 |
US6153141A (en) * | 1993-11-23 | 2000-11-28 | Motorola, Inc. | Semiconductor packaging method |
US5665296A (en) * | 1994-03-24 | 1997-09-09 | Intel Corporation | Molding technique for molding plastic packages |
JP2586831B2 (ja) * | 1994-09-22 | 1997-03-05 | 日本電気株式会社 | 樹脂封止用金型および半導体装置の製造方法 |
JP2701766B2 (ja) * | 1995-01-27 | 1998-01-21 | 日本電気株式会社 | 半導体装置用リ−ドフレ−ム及びこれを用いるモ−ルド装置 |
US6408217B1 (en) | 1996-03-12 | 2002-06-18 | Fujitsu Limited | Computer aided design system and three-dimensional design method using the same and storing medium |
JP3411448B2 (ja) * | 1996-07-03 | 2003-06-03 | 沖電気工業株式会社 | 半導体素子の樹脂封止金型及び半導体装置の製造方法 |
KR100241175B1 (ko) * | 1997-12-16 | 2000-02-01 | 윤종용 | 돌출부가 형성된 컬-블록을 갖는 트랜스퍼 몰딩 장치 |
JP3127889B2 (ja) * | 1998-06-25 | 2001-01-29 | 日本電気株式会社 | 半導体パッケージの製造方法およびその成形用金型 |
US6439869B1 (en) | 2000-08-16 | 2002-08-27 | Micron Technology, Inc. | Apparatus for molding semiconductor components |
JP3786946B1 (ja) | 2005-01-24 | 2006-06-21 | 株式会社三井ハイテック | 永久磁石の樹脂封止方法 |
JP4194596B2 (ja) * | 2005-11-25 | 2008-12-10 | 第一精工株式会社 | 樹脂封止金型装置および樹脂封止方法 |
KR100977238B1 (ko) * | 2006-01-11 | 2010-08-23 | 가부시키가이샤 미츠이하이테크 | 회전자 적층 코어에 영구 자석을 수지 밀봉하는 방법 |
SG173987A1 (en) * | 2010-03-01 | 2011-09-29 | Asm Tech Singapore Pte Ltd | Runner system for supplying molding compound |
US11621181B2 (en) * | 2020-05-05 | 2023-04-04 | Asmpt Singapore Pte. Ltd. | Dual-sided molding for encapsulating electronic devices |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5335760A (en) * | 1976-09-16 | 1978-04-03 | Hitachi Ltd | Mold for transfer molding |
JPS59218736A (ja) * | 1983-05-26 | 1984-12-10 | Toshiba Corp | 半導体樹脂封止装置 |
JPS601834A (ja) * | 1983-06-20 | 1985-01-08 | Toshiba Corp | 半導体装置用樹脂封止装置 |
JPS6010631A (ja) * | 1983-06-30 | 1985-01-19 | Toshiba Corp | 半導体樹脂封止装置 |
JPS63264315A (ja) * | 1987-04-22 | 1988-11-01 | Hitachi Ltd | モ−ルド型 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2476558A (en) * | 1946-02-23 | 1949-07-19 | Honeywell Regulator Co | Apparatus for molding plastics |
US3764248A (en) * | 1971-09-03 | 1973-10-09 | Stewart Rubber Co | Transfer mold for reducing ram flash |
JPS53143656A (en) * | 1977-05-20 | 1978-12-14 | Nec Corp | Resin seal-forming of electronic parts |
JPS59179328A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-11 | Fujitsu Ltd | モ−ルド方法 |
JPS61131534A (ja) * | 1984-11-30 | 1986-06-19 | Fujitsu Ltd | 樹脂封止型半導体装置の製造方法 |
JPS62184821A (ja) * | 1986-02-12 | 1987-08-13 | Nec Corp | トランスフア−モ−ルド用成形機 |
-
1990
- 1990-10-11 JP JP2274988A patent/JPH04147814A/ja active Pending
-
1992
- 1992-01-23 US US07/824,646 patent/US5204122A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5335760A (en) * | 1976-09-16 | 1978-04-03 | Hitachi Ltd | Mold for transfer molding |
JPS59218736A (ja) * | 1983-05-26 | 1984-12-10 | Toshiba Corp | 半導体樹脂封止装置 |
JPS601834A (ja) * | 1983-06-20 | 1985-01-08 | Toshiba Corp | 半導体装置用樹脂封止装置 |
JPS6010631A (ja) * | 1983-06-30 | 1985-01-19 | Toshiba Corp | 半導体樹脂封止装置 |
JPS63264315A (ja) * | 1987-04-22 | 1988-11-01 | Hitachi Ltd | モ−ルド型 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5556647A (en) * | 1994-03-07 | 1996-09-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Encapsulation mold |
JPH07290491A (ja) * | 1994-04-27 | 1995-11-07 | Nec Corp | モールド金型 |
JP2015093462A (ja) * | 2013-11-13 | 2015-05-18 | アピックヤマダ株式会社 | モールド金型 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5204122A (en) | 1993-04-20 |
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