JPH05175396A - リードフレーム及びモールド方法 - Google Patents

リードフレーム及びモールド方法

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JPH05175396A
JPH05175396A JP3344295A JP34429591A JPH05175396A JP H05175396 A JPH05175396 A JP H05175396A JP 3344295 A JP3344295 A JP 3344295A JP 34429591 A JP34429591 A JP 34429591A JP H05175396 A JPH05175396 A JP H05175396A
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JP
Japan
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lead frame
die
molding
semiconductor chip
resin
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Pending
Application number
JP3344295A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasuo Hatta
康雄 八田
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Kyushu Fujitsu Electronics Ltd
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Kyushu Fujitsu Electronics Ltd
Fujitsu Ltd
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Publication date
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  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 樹脂をモールド成形してなる樹脂パッケージ
内に半導体チップを封止して半導体装置を構成するため
に使用するリードフレームに関し、特に多数個取りの樹
脂パッケージを高品質で成形することを可能にするリー
ドフレームの提供を目的とする。 【構成】 半導体チップを搭載するダイステージ11とこ
の半導体チップと電気的に接続するインナーリード12を
含んで一個の半導体装置を構成する基本リードフレーム
14が連結してなる複数のリードフレーム本体15を、並置
状態で帯状の連結板16により連結した如く構成したリー
ドフレームにおいて、連結板16に開孔16aとこの開孔に
連通してダイステージの近傍に至るスリット溝16b を点
在させてリードフレームを構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、樹脂をモールド成形し
てなる樹脂パッケージ内に半導体チップを封止して半導
体装置を構成するために使用するリードフレーム及びこ
のリードフレームのダイステージに搭載した半導体チッ
プを封止する樹脂パッケージを成形するためのモールド
方法、特に多数個取りの樹脂パッケージを高品質で成形
することを可能にするリードフレーム及びモールド方法
に関する。
【0002】
【従来の技術】次に、従来のリードフレームと、このリ
ードフレームのダイステージに搭載した半導体チップを
封止する樹脂パッケージを成形するための従来のモール
ド方法について図面を参照して説明する。
【0003】図3は、従来のリードフレームを説明する
ための図であって、同図(a) はリードフレームの平面
図、同図(b) は樹脂パッケージ型の半導体装置の平面
図、図4は、従来のモールド方法を説明するための図で
あって、同図(a) は、リードフレームと第1のモールド
金型の裏面との関係を示す要部平面図、同図(b) はトラ
ンスファーモールド装置の要部側断面図である。
【0004】樹脂をモールド成形、たとえば、トランス
ファーモールド成形してなる樹脂パッケージ内にダイス
テージに搭載した半導体チップを封止して半導体装置を
構成するために使用する従来のリードフレーム10は、図
3の(a) 図に示すように半導体チップ51を搭載するダイ
ステージ11とこの半導体チップ51と金属細線(図示せ
ず)を介して電気的に接続するインナーリード12及びア
ウリーリード13とを含んで一個の半導体装置50を構成す
る基本リードフレーム14が連結してなる複数のリードフ
レーム本体15を、並置状態で帯状の連結板16により連結
した如く構成されていた。
【0005】このようなリードフレーム10のダイステー
ジ11に搭載した半導体チップ51を、このダイステージ11
とともに封止する樹脂パッケージを成形する従来のモー
ルド方法、たとえば、トランスファー式のモールド方法
について図3及び図4を参照して説明する。
【0006】まず、所定温度に加熱されている第1のモ
ールド金型31の表面にリードフレーム10を載置した後
に、この第1のモールド金型31に一定温度に加熱されて
いる第2のモールド金型32の表面を押し付ける。
【0007】この後、第2のモールド金型32に設けたポ
ット32a に半溶融状態で投入されたタブレット、たとえ
ば、粉末エポキシ系樹脂を固めてなるタブレット53をピ
ストン型をしたプランジャー33により押圧し、この第2
のモールド金型32に設けられてポット32a に連通した注
入孔32b の樹脂吐出口32b1から半溶融状態のエポキシ系
樹脂53を矢印A方向に吐出する。
【0008】この樹脂吐出口32b1から吐出した半溶融状
態のエポキシ系樹脂53は、ランナー34を通過した後にス
リット状のゲート35からキャビティ36内に注入される。
そして、このキャビティ36に注入されたエポキシ系樹脂
53をそのまま硬化すると半導体装置50の樹脂パッケージ
52が形成されることとなる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】前述した従来のモール
ド方法は、図4の(a) 図及び(B) 図に示すように、注入
孔32b の樹脂吐出口32b1から近いキャビティ36(36a) ま
でのエポキシ系樹脂53の移動距離と、樹脂吐出口32b1
ら遠いキャビティ36(36b) までのエポキシ系樹脂53の移
動距離とは大きな違いがあった。
【0010】したがって、樹脂吐出口32b1から近いキャ
ビティ36(36a) で正常な樹脂パッケージ52を成形するた
めに、樹脂吐出口32b1からのエポキシ系樹脂53の吐出速
度を遅くすると、この樹脂吐出口32b1から遠いキャビテ
ィ36(36b) で成形される樹脂パッケージ53にはボイド
(図示せず)が発生し、また、樹脂吐出口32b1から近い
キャビティ36(36a) で正常な樹脂パッケージ52を成形す
るために、樹脂吐出口32b1からのエポキシ系樹脂53の吐
出速度を速くすると、この樹脂吐出口32b1から近いキャ
ビティ36(36a) で成形される樹脂パッケージ52内でダイ
ステージ11やインナーリード12等が変形するという問題
があった。
【0011】本発明は、このような問題を解消するため
になされたものであって、その目的は多数個取りの樹脂
パッケージを高品質で成形することを可能にするリード
フレーム及びモールド方法を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】図1及び図2に示すよう
に、前記目的は、半導体チップ51を搭載するダイステー
ジ11とこの半導体チップ51と電気的に接続するインナー
リード12を含んで一個の半導体装置50を構成する基本リ
ードフレーム14が連結してなる複数のリードフレーム本
体15を、並置状態で連結する帯状の連結板16に開孔16a
とこの開孔16aに連通してダイステージ11の近傍に至る
スリット溝16b を点在されて形成した請求項1に係るリ
ードフレームを使用して構成する請求項2に係るモール
ド方法、すなわち、ダイステージ11に半導体チップ51を
搭載した請求項1記載のリードフレームを載置した第1
のモールド金型31に第2のモールド金型32を押圧し、こ
の第2のモールド金型32のポット32a に投入された樹脂
53をこのポット32a に連通した注入孔32b から吐出して
ダイステージ11と半導体チップ51とを内在させたキャビ
ティ36にランナー34とゲート35とをこの順に通過させて
注入するモールドル方法を、第1のモールド金型31に載
置した前記リードフレームに第2のモールド金型32を押
圧した際に、このリードフレームの連結板16に設けた開
孔16a に第1のモールド金型31の注入孔32b を連通させ
るとともに、ランナー34を連結板16に設けたスリット溝
16b に対応させて連通させるようにした請求項2に係る
モールド方法により達成される。
【0013】
【作用】本発明の請求項1に係るリードフレームは、そ
の連結板16に、開孔16a とこの開孔16a に連通してダイ
ステージ11の近傍に至るスリット溝16b を点在して構成
されている。
【0014】したがって、本発明の請求項2に係るモー
ルド方法のように、第1のモールド金型31に載置した請
求項1に係るリードフレームに第2のモールド金型32を
押圧した際に、このリードフレームの連結板16に設けた
開孔16a に第1のモールド金型31の注入孔32b を連通さ
せるとともに、ランナー34を連結板16に設けたスリット
溝16b に対応させて連通させれば、第2のモールド金型
32の注入孔32b からダイステージ11に至る距離が短くな
るとともに、連結板16に設けたスリット溝16bもランナ
ー34の一部として機能することにより半溶融状態の樹脂
53の流れが良くなる。
【0015】斯くして、第2のモールド金型32の注入孔
32b から最も近いキャビティ36(36a) で正常な樹脂パッ
ケージ52を成形するために、注入孔32b からの樹脂53の
吐出速度を遅くしても、この注入孔32b から遠いキャビ
ティ36(36b) で成形される樹脂パッケージ52にはボイド
(図示せず)が発生することもないし、また、注入孔32
b から最も近いキャビティ36(36a) で正常な樹脂パッケ
ージ52を成形するために、注入孔32b からの樹脂53の吐
出速度を速しても、この注入孔32b から最も近いキャビ
ティ36(36a) で成形される樹脂パッケージ52内でダイス
テージ11やインナーリード12等が変形することもない。
【0016】
【実施例】以下、本発明の請求項1に係るリードフレー
ムと、本発明の請求項2に係るモールド方法について図
面を参照して説明する。図1は、本発明の請求項1に係
るリードフレームを説明するための平面図、図2は、本
発明の請求項2に係るモールド方法を説明するための要
部平面図である。
【0017】図1に示す本発明の請求項1に係るリード
フレーム20は、図3により説明した従来のリードフレー
ム10の連結板16に開孔16a とこの開孔16a に連通してダ
イステージ11の近傍に至るスリット溝16b 、すなわち、
連結板16の長手方向に沿うスリット溝16b を設けて構成
したものである。
【0018】一方、本発明の請求項2に係るモールド方
法は、図4に示すようにダイステージ11に半導体チップ
51を搭載した上記請求項1記載のリードフレーム20を載
置した第1のモールド金型31に第2のモールド金型32を
押圧し、この第2のモールド金型32のポット32a に投入
された樹脂53をこのポット32a に連通した注入孔32bか
ら吐出してダイステージ11と半導体チップ51とを内在さ
せたキャビティ36にランナー34とゲート35とをこの順に
通過させて注入するモールドル方法であって、第1のモ
ールド金型31に載置したリードフレーム20に第2のモー
ルド金型32を押圧した際に、図2に示すようにこのリー
ドフレーム20の連結板16に設けた開孔16a に第1のモー
ルド金型31の注入孔32b を連通させるとともに、ランナ
ー34を連結板16に設けたスリット溝16b に対応させて連
通させるように構成したものである。
【0019】したがって、このように構成したモールド
方法においては、第2のモールド金型32の注入孔32b の
樹脂吐出口32b1からダイステージ11に至る距離が短くな
るとともに、連結板16に設けたスリット溝16b もランナ
ー34の一部として機能することにより半溶融状態の樹脂
53の流れが良くなる。
【0020】この結果、第2のモールド金型32の注入孔
32b から最も近いキャビティ36(36a) で正常な樹脂パッ
ケージ52、すなわち、ダイステージ11やインナーリード
等を変形させることのない樹脂パッケージ52を成形する
ために注入孔32b からの樹脂53の吐出速度を遅くして
も、この注入孔32b から遠いキャビティ36(36b) で成形
される樹脂パッケージ52にはボイド(図示せず)が発生
することもないし、また、注入孔32b から最も近いキャ
ビティ36(36a) で正常な樹脂パッケージ52、すなわち、
内部にボイド等のない樹脂パッケージ52を成形するため
に注入孔32b からの樹脂53の吐出速度を速しても、この
注入孔32b から最も近いキャビティ36(36a) で成形され
る樹脂パッケージ52内でダイステージ11やインナーリー
ド12等が変形することもない。
【0021】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、多数個取
りの樹脂パッケージを高品質で成形できるリードフレー
ム及びモールド方法の提供を可能にする。
【0022】したがって、本発明のリードフレームとモ
ールド方法により樹脂パッケージを成形された半導体装
置の信頼度は向上することとなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】は、本発明の請求項1に係るリードフレームを
説明するための図、
【図2】は、本発明の一実施例のモールド方法を説明す
るための図、
【図3】は、従来のリードフレームを説明するための
図、
【図4】は、従来のモールド方法を説明するための図で
ある。
【符号の説明】
10,20 は、リードフレーム、11は、ダイステージ、12
は、インナーリード、13は、アウターリード、14は、基
本リードフレーム、15は、リードフレーム本体、16は、
連結板、16a は、開孔、16b は、スリット溝、31は、第
1のモールド金型、32は、第2のモールド金型、32a
は、ポット、32b は、注入孔、32b1は、樹脂吐出口、33
は、プランジャー、34は、ランナー、35は、ゲート、36
は、キャビティ、50は、半導体装置、51は、半導体チッ
プ、52は、樹脂パッケージ、53は、樹脂よりなるタブレ
ット (樹脂、エポキシ系樹脂) をそれぞれ示す。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体チップ(51)を搭載するダイステー
    ジ(11)とこの半導体チップ(51)と電気的に接続するイン
    ナーリード(12)を含んで一個の半導体装置(50)を構成す
    る基本リードフレーム(14)が連結してなる複数のリード
    フレーム本体(15)を、並置状態で帯状の連結板(16)によ
    り連結した如く構成したリードフレームにおいて、 連結板(16)に開孔(16a) とこの開孔(16a) に連通してダ
    イステージ(11)の近傍に至るスリット溝(16b) が点在さ
    れて形成されていることを特徴とするリードフレーム。
  2. 【請求項2】 ダイステージ(11)に半導体チップ(51)を
    搭載した請求項1記載のリードフレームを載置した第1
    のモールド金型(31)に第2のモールド金型(32)を押圧
    し、この第2のモールド金型(32)のポット(32a) に投入
    された樹脂(53)をこのポット(32a) に連通した注入孔(3
    2b) から吐出してダイステージ(11)と半導体チップ(51)
    とを内在させたキャビティ(36)にランナー(34)とゲート
    (35)とをこの順に通過させて注入するモールドル方法に
    おいて、 第1のモールド金型(31)に載置した前記リードフレーム
    に第2のモールド金型(32)を押圧した際に、このリード
    フレームの連結板(16)に設けた開孔(16a) に第1のモー
    ルド金型(31)の注入孔(32b) を連通させるとともに、ラ
    ンナー(34)を連結板(16)に設けたスリット溝(16b) に対
    応させて連通させることを特徴とするモールド方法。
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