經濟部中央標準局員工消費合作社印製 280ί38 Α7 __Β7_~ 3 ~_ 五、發明説明（t ) [產業上之利用領域] 本發明是鼷於測頭式檢測處理裝置，用來對半導體積體 霣路裝置（IC>進行最後之檢査，藏Μ進行是否良好和性能 之類別選別。 [習知之技術] 檢測處理裝置是一種裝置分別將電信號供給到1C之引線 藉Κ進行動作試驗，用Κ檢査1C之最後之電特性，賴Μ進 行其是否良好和性能之類別選別。 圈11是斜視_，用來表示習知之檢澜處理裝置之構造， 圖12是斜視函和剖面圏，分別表示用Μ放置1C之插座和將 1C放置在插座之狀態。 在圈11中，符1是输入器，2是檢査部，用來對從輪入器 1搬入之1C進行放置和測定，3是輪出器，用來將檢査部2 測定遇之1C搬出，輸入器1，檢査部2和輪出器3依照下述 方式來構成。 輸入器1之構成包含有：裝置托板5，用來收納IC4;吸 著具6，用來吸著裝置托板5之IC4和將其取出；輸入器繪 圖器7，用來使IC4和吸著具6—起移動；旋轉台8，用來接 受利用_入器繪圖器7移來之IC4;吸著具9，用來吸著和 取出旋轉台8之IC4;輸入器繪圓器10，用來將吸著具9所 取出之IC4移動到檢査部2;和吸著具11，用來吸著和取出 檢査部2之間之IC4。 檢査部部2之構成包含有：加熱板13，用來收納從_入 器1移來之IC4，在使其旋轉一圈之期間，將IC4之溫度升
本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） ~I ---;-------批衣|-----ΐτ------0 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 28G033 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( 2 ) 1 1 溫 到 檢 査 溫 度 ； 測 定插座1 4 ，具備有接觸棒用來將電 信號 1 1 I 供 給 到 被 升 溫 後 之 IC4之引線25;轉接器插座 15 ，可Μ將 I 測 定 插 座 1 4插 入 藉 Μ進行電 連接；性能板16， 可以依 照電 請 先 1 閱 連 接 在 轉 接 器 插 座 15之IC4之種類來更換；和 測 定部1 9 , 讀 背 1 面 I 包 含 有 電 埋 接 性 能 板16之檢 測頭17和電連接該檢測頭 17之 冬 1 I 意 1 I 檢 測 器 本 體 18 0 事 項 1 I 再 | 另 外 輪 出 器 3之構成包含有：載物台20, 用 來暫時的 填 1 1，用來吸著和取 出 寫 本 裝 放 置 測 定 後 之 IC4 吸著具2 載物台20 頁 1 上 之 IC4 幢出器鑰圖器22， 用來使吸著具21和 IC4依 X和Υ 1 1 方 向 移 動 裝 置 托 板23，用 來收納測定结果被判定為 良品 1 1 之 IC4 和不良品收納托板24，用來收納被判 定 為不良品 1 訂 1 I 之 IC4 ) 下 面 將 說 明 具 有 上述構造 之習知之檢測處理裝置之 有Μ 1 1 I 動 作 〇 1 1 首 先 利 用 吸 著 具6取出被收納在裝置托板 5 之 IC4 使 線 輸 入 器 繪 器 7進行動作，用來將吸著具6和1C- -起放 置在 1 I 旋 轉 台 8上 1 1 I 其 次 ) 使 旋 轉 台 8進行旋轉，利用_入器繪 器10使吸 1 1 著 具 9在IC4之 上 移 動，用來 取出IC4，和使吸 著 具9和 IC4 1 J 一 起 移 動 到 加 热 板 13上，將 IC4放置在加熱板 13上。 1 I 其 次 使 加 熱 板 13旋轉一 圈，在瑄期間使IC4之溫度升 I 溫 到 試 驗 溫 度 利 用吸著具 11將升溫後之IC4取 出，使輸 1 1 1 入 器 繪 _ 器 1 0 進 行 動作，將 1C 4***到測定插 座 1 4，利用 1 1 引 線 壓 接 器 12用 來 壓接IC4之引線25。 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ^8GC38 A7 B7 五、發明説明（3 ) Η 壓 線 引 示 表 來 用 別 分圏 面 剖 和 圈 視 斜 是 \—/ b /IV 和 器 接 之 示前 所之 ί 6 圖 2 如棒 。 觸 態接 狀之 置14 設座 及插 部定 细測 之於 14設 座在 -1m 1/¾ 插載 定裝 測被 和25 C4線 器到 接給 壓供 線26 I bp 弓 ㈣ 用觸 利接 ’ 從 部號 端信 棒 觸 接 到 接 壓 其 將 2 電 後 然 後 之TC 驗使 試10 作器 動 在繪 器 利 到 動 移 器 園 繪 器 線吸 Μ 特品 引用1«定良 驗 試 作 動 之 4 C ί 行 fcE isΜ 賴 入 輪 用 利 出 取 4 C η 將 11 具 著 台 出 轉 和 1Α 2 具 著 吸 用 利 板 托 置 裝 在 納 收 品 良 之 性 特 定 指 有 具 將 習 之 不ij成^ ^ « 問 ¾之m tt ^ ^0 ^ ^ 同«述 π所i 豸明罾 將 — 板 托 納 收 品 良 不 在 納 收 線 引 為 因 置 裝 i: 理 處 測 檢 之 知 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 装. 訂
線接 引銲 用之 利25 是線 ?J n. 部 弓 端 Μ 前所 之 ’ 5 h 2 J 會 a 妾 5 ( S 2 13銲線 圔 為引 與因 Μ , > 所 著中 ， 附式27 常 正 之 之 生會 發間 接附 W 鬚生 壓舍r{IA鬍發 來觸 用接 12在 器著 的 對 相 態 難 剌 之 狀 棒 觸 接 在 接 壓 其 將 接 銲 之 謂 所 生 發 6 2 棒 方鬚 之接 示銲 所之 2 謂 3(所 1 即 画 在夯 發 會 積 堆 之 0 踢 銲 為 因 路 短 線 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 導性 之特 26之 棒確 觸正 接行 和進 25能 線不 引 ’ 於 品 由良 Μ不 所為 ’ 定 28判 屑 品 踢良 銲將 積能 堆可 之有 謂良 所 不 生通 腳題 接問 多此 到Μ 步所 進 ’ 已mn 前5 目ο 於 β 由3gl 題ο 問有 棰 只 此為 ’ 變 且距 而間 〇 之 題間 問25 其線 為引 別 ， 選化 座 cm 捶 定 測 在 置 放 的 斜 傾 ο 之 題 4 問1C 之於 大由 極 ， 為外 成另 變 線 引 使 堆 會 履 ， 碎時 之25 鬚線 接引 銲接 或壓 著12 附器 接接 銲壓 於線 由 引 是M 或當 曲上 彎之 成26 變棒 部觸 端接 前在 之積 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 6 28GC38 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 4 ) 1 1 1 使 引 線25之 前 端 部 彎 曲 發 生 所 謂 之 引 媒 變 形 因 而 變 成 1 1 | 不 良 品 為 其 問 題 0 卜 I 另 外 因 為 需 要 設 置 用 Μ 取 出 IC4和使其移動之吸著具9 請 £ 1 閱 » _ 入 器 繪 圖 器 1 0和 測 定 用 之 引 線 壓 接 器 1 2等 所 Μ 變 成 讀 背 | 面 I 複 雜 之 構 造 〇 1 I 意 1 I 另 外 鼸 著 引線25之 數 巨 之 變 多 進 步 到 所 諝 之 多 接 腳 事 1 1 再 化 因 為 引 線25之 間 隔 變 狭 所 引 線25和 接觸棒26要 正 填 1 寫 本 裝 確 的 接 觸 藉 進 行 導 通 會 有 困 難 為 其 問 題 0 頁 1 本 發 明 用 來 解 決 上 述 方 式 之 習 知 之 檢 测 處 理 裝 置 之 問 題 1 1 » 其 巨 的 是 提 供 * 種 測 頭 式 檢 测 處 理 裝 置 及 使 用 該 裝 置 之 1 1 1C之檢測方 法 可 Μ 抑 制 銲 接 附 著 或 銲 接 鬚 之 發 生 不 會 1 1 丁 有 引 線 和 接 觸 棒 之 間 之 導 通 不 良 或 引 線 間 之 短 路 〇 1 I 另 外 本 發 明 亦 提 供 — 種 澜 頭 式 檢 測 處 理 裝 置 及 使 用 該 1 1 I 裝 置 之 I C之檢測方法 可 Μ 使 引 線 不 會 發 生 引 線 變 形 0 1 1 另 外 本 發 明 之 0 的 是 使 1C之 取 出 移 動 和 測 定 機 構 之 線 構 造 簡 化 和 改 菩 裝 置 之 效 率 0 1 I 另 外 本 發 明 提 供 — 種 测 頭 式 檢 测 處 理 裝 置 及 使 用 該 裝 1 1 I 置 之 I C之檢測方法 可 Μ 因 應 嫌 著 多 接 腳 化 之 進 行 而 產 生 1 1 之 引 線 間 隔 之 狹 小 化 〇 1 [發明之解決手段] 1 I 依 照 申 請 專 利 範 圍 第 1項之本發明是- -種測頭式檢測處 f I 理 裝 置 具 備 有 澜 定 部 具 有 霣 路 用 來 測 定 1C之電特性 1 1 I 9 性 能 板 對 於 上 述 電 路 上 之 上 述 1C之每 一 品 種 可 Μ 變 1 1 換 電 連 接 测 頭 卡 被 設 在 該 性 能 板 具 有 接 觸 針 由 針 狀 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 A7 B7 五、發明説明（5 ) 直線部和彎曲部及連鑛該彎曲部之梁所構成；和加壓機構 ，用來對從上述1C之封裝突出之引線之上述封裝之近傍加 壓，使其接觸在上述接觸針之上述針狀直線部之前端。 依照申請專利範園第2項之本發明是使申請專利範園第1 項之測頭式檢測處理裝置成為：該加壓機構具有保持櫬構 用來保持1C，和具有XYZ載物台，用來使加壓機構依X、Y 和Z方向移動。 依照申講專利範園第3項之本發明是使申請専利範園第2 項之測頭式檢測處理裝置成為：該加壓櫬構具有旋轉控制 裝置，MX、Y和Z軸之3個軸為中心，用來控制保持機構之 旋轉。 依照申請專利範園第4項之本發明是使申請專利範園第3 項之測頭式檢測處理裝置成為：該旋轉控制裝置具有旋轉 控制部，依照用K檢測接觸針和引線之位置之位置檢測器 之信號，用來進行旋轉控制。 依照申請專利範圍第5項之本發明是使申請專利範圃第1 項之測頭式檢測處理裝置成為：該針狀直線之長度為2b«i 〜3nn，彎曲部之角度為92°〜95° ，梁之長度為5.5mm〜 8 η η 0 依照申請專利範第6項之本發明是使申謫專利範圃第1 項之測頭式檢測處理裝置成為：具備有引離懺構，當使引 線被加壓接觸在接觸針之測定终了時，用來對上述之接觸 針加工，藉Μ將上述之接觸針引離上述之引線。 依照申請專利範園第7項之本發明是使申請專利範園第6 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐) 8~~ —--------^------ir------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 6 ) 1 I 項 之 測 頭 式 檢 測 處 理 裝 置成 為 在 用 以 對 接 觸 針 加 壓 之 引 1 1 | 離 機 構 之 加 壓 部 形 成 有 满， 上 述 之 接 觸 針 插 入 該 溝 〇 I 依 照 申 請 専 利 範 園第8項之本發明是使申謫専利範園第6 請 閱 背 1 I 項 之 測 頭 式 檢 測 處 理 裝 置成 為 : 設 有 微 小 加 振 裝 置 用 來 I 面 I 使 引 離 機 構 進 行 微 小 振 動。 之 注 1 1 依 照 申 請 專 利 範 園第9項之本發明是使申請專利範園第 意 事 項 再 填 寫 本 頁 1 1 I 6項之測頭式檢測處理裝置成為 行驅動之小型馬達和引線嫘旋。 該引離櫬構具有對其進 1 裝 1 依 昭 /、、、 申 講 專 利 範 園 第 10項之本發明 是 使 申 講 専 利 範 圍 第 1 1 1項之測頭式檢測處理裝置成為 對於1個 之 性 能 板 具 備 1 1 有 多 個 澜 頭 卡 和 與 該 測頭 卡 相 同 個 數 之 加 壓 機 構 〇 1 訂 1 I 依 照 申 請 專 利 範 圃 第 11項 之 本 發 明 是 一 種 1C之檢測方法 > 將 電 信 號 供 給 到 從 1C之封 装 突 出 之 引 線 藉 以 測 定 上 述 1 1 I 1C之電特性 其 中 澜 定部 具 有 霣 路 用 來 測 定 上 述 1C之 電 1 1 特 性 性 能 板 與 該 測 定 部電 連 接 而 且 對 於 上 述 1C之 每 一 品 線 種 可 Μ 交 替 電 連 接 設 在該 性 能 板 之 測 頭 卡 具 有 針 狀 直 線 1 I 部 和 彎 曲 部 及 連 續 該 鼙 曲部 之 梁 用 來 構 成 接 觸 針 從 測 定 1 I I 部 經 由 性 能 板 利 用 加 壓機 構 對 接 觸 針 之 上 述 針 狀 直 線 部 1 1 之 ,* 4. 刖 端 加 壓 使 其 接 觴 在 上述 引 線 之 上 述 封 裝 近 傍 用 來 將 1 1 電 信 號 供 給 到 上 述 之 引 線。 1 I 依 照 申 請 專 利 範 圍 第 12項 之 本 發 明 是 使 申 謫 專 利 範 圍 第 ί I 11項 之 1C之 檢 測 方 法 成 為： 該 加 壓 機 構 具 有 保 持 m 構 用 來 1 1 I 保 持 1C 上 述 之 1C被 保 持在 上 述 之 保 持 機 構 和 利 用 XYZ 1 1 載 物 台 使 上 述 之 加 壓 機 構依 X 、¥和Ζ方向移動 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( 7 ) 1 1 I 依 照 申 謫 專 利 範 _ 第 1 3項 之 本 發 明 是 使 申 諝 専 利 範 園 第 1 1 | 1 2項 之 1C 之 檢 測 方 法 成 為 ： 該 加 壓 櫬 構 具 有 旋 轉 控 制 裝 置 I 9 X、 Υ和 Ζ袖為中心， 用來對該保持懺構造行3 軸 旋 轉 控 請 先 1 1 閱 1 制 〇 背 1 1 面 I 依 照 申 請 專 利 範 園 第 1 4項 之 本 發 明 是 使 申 請 専 利 範 園 第 1 I 意 1 I 13 之 1C 之 檢 測 方 法 成 為 依 照 用 Μ 檢 測 接 觸 針 和 引 線 之 位 事 項 1 I 再 1 置 之 位 置 檢 測 器 之 信 號 用 來 控 制 該 旋 轉 控 制 裝 置 之 旋 轉。 填 1 範 第 寫 裝 依 照 申 請 専 利 範 園 第 15項 之 本 發 明 是 使 申 請 專 利 園 頁 S_· 1 11 項 之 1C 之 法 成 為 該 針 狀 直 線 部 之 長 度 為 2 Β 遢〜3 m霣 彎 1 1 曲 部 之 角 度 為 92 〇 95 〇 梁 之 長 度 為 5 . 5 η η 一 -8 n s 〇 1 1 依 照 甲 謫 專 利 範 園 第 16項 之 本 發 明 是 使 申 請 専 利 範 園 第 1 訂 1 I 11 項 之 1C 之 檢 測 方 法 成 為 具 有 引 離 機 構 用 來 對 接 觸 針 加 壓 藉 Μ 使 上 述 之 接 觸 針 被 引 m 該 引 線 在 測 定 終 了 時 上 述 1 1 1 之 接 觸 針 就 被 引 鐮 上 逑 之 引 媒 〇 1 1 依 照 甲 請 專 利 範 園 第 17項 之 本 發 明 是 使 甲 請 專 利 範 圍 第 線 16項 之 1C 之 檢 測 方 法 成 為 : 在 引 離 機 櫞 之 加 壓 部 形 成 有 溝 1 I ， 接 觴 針 插 入 到 該 满 0 1 I 依 照 甲 請 專 利 範 圍 第 1 8 項 之 本 發 明 是 使 甲 請 專 利 範 las 圍 第 1 1 16項 之 1C 之 測 方 法 成 為 在 引 離 櫬 構 設 有 微 小 振 動 之 微 1 1 小 加 振 裝 置 t 用 來 使 上 述 之 引 離 櫬 構 產 生 微 小 之 振 動 〇 1 1 依 照 申 請 專 利 範 圍 第 1 9 項 之 本 發 明 是 使 甲 請 專 利 範 園 第 r I 16項 之 1C 之 檢 測 方 法 成 為 該 引 離 機 構 被 小 型 馬 達 和 引 線 1 1 螺 旋 驅 動 〇 1 1 依 照 申 請 專 利 範 園 第 20項 之 本 發 明 是 使 申 請 專 利 範 園 第 1 1 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 __B7 五、發明説明（8 ) 16項之1C之檢測方法成為：對於1個之性能板’具備有多 個測頭卡，和與該测頭卡相同個數之加壓機構。 [作用] 依照申請專利範圍第1和U項之本發明時，因為使用測 頭卡，使接觸针之針狀直線部之前端接觸在引線強度較高 之封裝近傍，所以可以抑制銲接附著和择接鬚之發生’接 觸針和引線之間不會有導通不良，引線之間不會短路’而 且不會因為引線之變形而發生不良。 依照申請專利範園第2和12項之本發明時，使1C移動* 將引線加壓的接觸在接觸針，和使1C再移動之一連貫之作 業，利用XYZ載物台和具有保持櫬構之加壓機構可Μ連鑛 的實施，所以作業時間可Μ縮短，而且可Μ使測頭式檢测 處理装置之構造簡化。 依照申請專利範園第3和13項之本發明時，因為在加壓 機構設有旋轉挖制裝置，保持機構可ΜΜΧ袖，Υ袖和Ζ軸 之3軸為中心進行旋轉，所Κ能夠使引線確實的接觸在接 觸針，賴以因應由於多接腳而產生之引線間隔之變狹。 依照申請專利範圍第4和14項之本發明時，因為旋轉控 制裝置具備有旋轉控制部，用來接收用Μ檢測接觸針之位 置和引線之位置之位置檢測器之檢測信號，藉以控制保持 機構之旋轉，所以能夠使引線和接觴針之接觸更加確實。 依照申誧專利範園第5和15項之本發明時，經由形成接 觸針之針狀直線部之長度為2〜3mm，彎曲部之角度0為 92°〜95° ，梁之長度為5.5mm〜8mm，可以獲得良好之接 觸狀慇，銲接附著可Μ變為極少。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） --1-------批衣------1Τ------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 280^38 B7 五、發明説明（9 ) 依照申請専利範園第6和16項之本發明時，因為設有引 離機構，在測定終了時，將接觸針引離引線，所Μ可Μ確 實的使銲接鬚不會發生。 依照申請專利範園第7和17項之本發明時，因為在引離 懺構形成有满，接觸針***到該溝，所以凿接觸針與引線 接觸時，可Μ防止接觸針滑向鄰接之引線。 依照申請專利範園第8和18項之本發明時，因為在引離 機構設有微小振動機構，所Μ當接觸針接觴在引線時，可 Κ破埭形成在引線之銲接表面之氧化皮膜，因此接觴針和 引線可Μ確霣的進行電連接。 依照申請專利範圓第9和19項之本發明時，因為引離櫬 構利用小型馬達和引線嫘旋來加Μ驅動，所Μ可Μ更精確 的將接觸針引離引線。 依照申請專利範圃第10和20項之本發明時，因為對於1 個之性能板，設置多個之測頭卡和與該測頭卡相同個數之 加壓襪構，所以可Μ同時测定多個1C·因此可以使處理能 力提高。 [«施例] 實施例1 圖1是斜視圖·用來表示本發明之一實腌例，圖中顧示 有測頭式檢測處理裝置之全體之構造。 在圖1中，符號1是输入器，2是檢査部，用來放置從輸 入器1搬入之1C和對該1C進行測定* 3是輸出器，用來將被 檢査部2檢査過之1C搬出，該輸入器1，檢査部2和輪出器3 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） ----------t------IT------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製
經濟部中央標準局員工消費合作社印I A7 B7 五、發明説明（t 0) 依照下述方式來構成。 输入器1之構成包含有：裝置托板5，用來收納IC4;吸 著具6，用來吸著裝置托板5中之IC4和將其取出；輪入器 繪圖器7，用來使IC4和吸著具6—起移動；和旋轉台8，用 來接受利用輸入器繪圖器7移來之IC4和使其旋轉180° 。 檢査部2之構成包含有：XYZ載物台30，用來將旋轉台8 上之IC4取出使其移動到檢査部2，在測定終了後將其搬出 到輸出器3;加熱板13，用來收納IC4，在使其旋轉1圈之 期間，將IC4之溫度升溫到試驗溫度；加壓櫬構33，具備 有用Μ保持IC4之保持櫬構32和用來對IC4進行加壓；測頭 卡35，具有接觸針34，在對IC4加壓時接觸在引線25之1C 封装40之近傍，用來將電信號供給到引線25;性能板37, 對於每一種類之IC4，可Μ使測頭卡35經由中繼板36交換 電連接；測定部19，其構成包含有與性能板37電連接之檢 測頭17和與該檢測頭17電連接之檢測器本體18; CCD攝影 機等之位置檢測器29，用來檢測引線25之位置；和CCD攝 影機等之位置檢測器31，用來檢測接觸針34之位置。 另外，輸出器3之構成包含有：載物台20，用來暫時的 放置測定後之IC4;吸著具21，用來取出載物台20上之IC4 ;輸出器繪圖器22，用來使吸著具21和IC4依X和Υ方向移 動；裝置托板23，用來收納檢測之结果被判定為良品之 IC4;和不良品收納托板25，用來收納被判定為不良品之 IC4 ° 圖2表示潮頭卡35，中繼板36和性能板37之電連接之狀 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨ΟΧ297公缓) :~7Ζ~~ ^ 裝 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 28GC38 A7 B7 五、發明説明（11) 態。如圈所示，設在中繼板36之導通接期138之前端***到 設在接觸針34之一端之貫穿孔洞39形成電連接。另外*導 通接腳38之另外一鳙連接到性能板37之配線因而形成一體 。該等測頭卡35和性能板37可以因應每一種類之IC4的進 行交換。 下面將說明具有上述構造之本霣施例之測頭式檢測處理 裝置之動作。 首先，利用吸著具6取出被收納在裝置托板5之IC4，使 _入器繪圖器7進行動作，用來將吸著具6和IC4 一起放置 在旋轉台8上。 其次，使旋轉台8旋轉180° ，驅動XYZ載物台30使加壓 機構移動到IC4之上，利用保持櫬構32取出和保持IC4，再 度的使XYZ載物台30進行動作，使IC4移動到加热板13上， 將IC4放置在加熱板13上。 其次，使加熱板13旋_1圈，在瑄期間將IC4升溫到試驗 溫度。使加壓機構33進行動作，利用保持櫬構32將升溫後 之IC4保持和取出，使XYZ載物台30進行動作用來將IC4移 動到测頭卡35之上，然後，使加壓機構33進行動作，用來 將引線25壓接在接觸針34之前端，從測定部19經由接觸針 34將電信號供給到引線25，用來進行IC4之動作試驗。 圖3是剖面圖，用來表示具有測頭卡35之接觸針34之形 狀和接觸針34與引線25之接觸狀態。如圖所示，接觸針34 之構成包含有針狀直線部41和與其連讀之彎曲部42 Μ及與 該鼙曲部42連績之梁43，針狀直線部41之前端被構建成從 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） I~ι 4 - I 批衣 訂 線 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 五、發明説明 (12) 1 1 I 下 側 接 觴 在 引 線 25之 1C封 裝 40 之 近 傍 〇 1 1 | 為 著 使 接 觸 針 34和 引 線 25具 有 良 好 之 接 觸 狀 態 和 使 銲 f I 接 附 著 減 少 9 所 Μ 接 觴 針 34之 針 狀 直 線 路 41 之 長 度 為 2〜3 請 1 閱 mm 彎 曲 部 42 之 角 度 Θ 為 92 〇 95 〇 y 梁 43之 長 度 L為5 .5 讀 背 I I n m 8 ID m ( > 冬 1 I 意 I 在 動 作 試 驗 之 後 使 加 壓 櫬 構 33進 行 動 作 用 來 將 1C 4引 事 if 1 I 再 1 上 使 XYZ載物台30進行動作* 用來將IC4移 動 到 載 物 台 20 填 1 良 品 寫 裝 利 用 吸 著 具 1 4和 輸 出 器 繪 幽 器 22將 具 有 —· 定 特 性 之 頁 N<· 1 收 納 在 良 品 裝 置 托 板 23 f 將 不 同 特 性 或 不 良 品 收 納 在 不 良 1 1 品 收 納 托 板 24 〇 1 1 依 照 本 實 施 例 時 因 為 使 用 澜 頭 卡 35 使 接 觸 針 34之 針 1 訂 1 I 狀 直 線 部 41 之 前 端 局 部 的 接 觸 在 引 線 25之 強 度 較 高 之 封 裝 近 傍 所 以 可 以 抑 制 銲 接 附 著 和 銲 接 鬚 之 發 生 不 會 有 導 1 1 通 不 良 和 引 線 25 間 之 短 時 而 且 不 會 有 引 線 變 形 之 不 良 發 1 1 生 〇 線 因 為 接 觴 針 34之 針 狀 直 線 部 41 之 長 度 為 2〜3 m m 彎 曲 部 1 I 42 之 角 度 Θ 為 92 〇 95 〇 梁 43之 長 度 L為5 .5 mm 8 m m 1 1 I 所 Μ 可 Μ 獲 得 良 好 之 接 觸 狀 態 使 銲 接 附 著 變 為 極 少 〇 1 1 另 外 使 輪 入 器 1之旋轉台8上 之 1C 4移動到檢査部2 將 1 1 引 線 25加 壓 的 接 aw 簡 在 接 觸 針 34 在 試 驗 終 了 後 移 動 到 輸 出 1 I 器 3之— -連貫之作業 因為可以利用XYZ 載 物 台 30和 加 壓 機 I 構 33來 埋 續 的 實 施 所 作 業 時 間 可 縮 短 而 且 可 Μ 使 1 1 1 测 頭 式 檢 測 處 理 裝 置 之 構 造 變 成 很 簡 單 〇 1 1 實 施 例 2 1 1 -15- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21()Χ 297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（1 3) 圖4是斜視圖，用來表示本發明之另一實施例。在該圖 中，符號30是XYZ載物台，44是X軸方向之驅動馬達* 45是 Y袖方向之驅動馬達，46是Z軸方向之驅動馬達，加壓櫬構 33連结在XYZ載物台30，依X、Y和Z軸方向被驅動。 加壓機構33具有如同角度調整馬達等之旋轉控制裝置47 ，該旋轉控制装置47利用馬達48和齒輪49使保持櫬構32 Μ X袖、Υ軸和Ζ軸之3個軸為中心進行旋轉。 另外，加壓機構33具有CCD攝影機等之位置檢測器31用 來檢測接觸針34之位置。旋轉控制裝置47具備有旋_控制 部，用來接受位置檢测器31和圖1所示之用Μ檢澜引線25 之位置之CCD攝影櫬等之位置檢測器29之檢査信號，藉以 控制保持櫬構32之旋轉。 另外，加壓機構33具有引離機構50。該引離機構50具有 氣缸51，壓接器53，和臂54形成與氣缸51之朝向下方之移 動連動，以接腳52為中心進行旋轉藉以將壓接器53壓下， 另外，如圖5之正面圖所示，還具備有由柱56和絕緣框57 所構成之引離具58。符號55為袖承，用來使臂54_滑的上 下移動，另外，如_7之剖面圈所示，在懕接器53和保持 機構32之間具有壓縮彈簧59，當氣缸51移動到上方時，壓 接器53就被壓上到上方。另外，柱56和絕緣框57，如園6 之斜視圖所示，被裝載在設於測頭卡35之接觸針34之梁43。 在測定終了時，如圖7所示，依箭頭方向將引離具58壓 下，使接觸針34離開引線25，然後，使保持機構32和IC4 一起移動到上方。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） -~ϊ~6~- 裝 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 ^8GC38 A7 B7 五、發明説明（14 ) 圖8用來說明上述之引離櫬構50之動作。在沒有引離櫬 構50之情況時，如圖8(a)所示，接觸針34接觸在引線25, 當更進一步的壓下時，接觸針34之前端就滑動，直至最大 壓下程度，以此方式進行測定。然後，當將IC4引上時， 接觸針34之前端拉引引線25之表面藉Μ回到原來位置，這 時會發生銲接鬚。另外一方面，在具有引離機構50之情況 時|如圖8(b)所示，在測定終了後，利用引離櫬構50將接 _針34壓下，然後，將IC4引上，所以接觸針34之前端不 會拉引引線25之表面就可Κ回到原來之位置，因此不會有 銲接鬚發生。 另外，圖9是引離具58之部份圖•如圖所示，在絕緣框 57形成有满60，接觸針34之梁43***到溝60。另外，在柱 56設有壓電元件等之微小振動機構61。微小振動機械61可 Μ用來使引離懺構50產生微小之振動，亦可Μ設置壓接器 5 3或絕緣框5 7等，另外，微小振動機構6 1並不只限於壓電 元件，亦可Μ利用電磁元件。 依照本實施例時，因為在加壓機構33設置旋轉控制裝置 47，使保持櫬構32ΚΧ軸、Υ軸和Ζ軸之3個袖為中心進行旋 轉，所Μ引線25可Μ確實的接觸在接觸針34，藉Μ因應由 於多接腳化所產生之引線25之間隔之變狹。 另外，因為旋轉控制裝置47具備有旋轉控制部用來接收 用Κ檢測接觸針34之位置之CCD攝影櫬等之位置檢測器31 和用Μ檢測引線25之位置之CCD攝影機等之位置檢測器29 之檢測信號，藉以控制保持櫬構之旋轉，所以引線25和接
本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） I~~I --^-------批衣------，1Τ------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 五、發明説明U 5 ) 1 1 觸34之接觸可以更加確實 〇 1 1 1 另 外 t 因 為 設 有 引 離 機 構 50 在 測定終 了 時，將接觸 針 | 34引 離 引 線 2 5 9 然 後 使 保 持 慵構32和IC4移動到上方 請 1 閱 所 Μ 可 Μ 確 實 的 使 銲 接 鬚 不 會 發 生 〇 讀 背 | 面 | 另 外 因 為 在 引 離 機構50之 引 離 具58之 絕緣框5 7形成 有 冬 1 I 意 1 I 溝 60 接觸針34之 梁43插 入 到 溝 60 ，所以 當接觸針34接觸 事 項 再 1 | 1 引 線25時 可 Μ 防 止 接觸針3 4之滑 向鄰接 之 引線25。 填 1 振 動機構，所 寫 本 裝 另 外 因 為 在 引 雕具58之 柱56設有微小 頁 s， 1 當 接 觸 針 34接觸在 引 線25時 可 以 破壞形 成 在引線25之銲 1 1 接 表 面 之 氧 化 皮 膜 因 此 接 觸 針 34和引線25可Μ確實的 進 1 1 行 電 連 接 〇 1 訂 另 外 在 本 實 施 例 中 因 為 將 引 離櫬構50換成氣缸51 9 1 I 利 用 小 型 馬 達 和 引 媒 鏍 旋 來 驅 動 所以能 夠 Μ更良好之 精 1 1 確 度 將 接 鼸針34引 離 引 線 25 〇 1 1 另 外 在 上 述 之 實 施 例 和 2中 對於1個 之 性能板37， 可 線 Μ 設 置 多 個 之 測 頭 卡 35和 中 繼板3 6之組合 所Μ能夠同 時 1 I 測 定 多 個 1C 〇 各個測頭卡35經 由 各 個中繼板36電連接在性 1 1 能 板 37 0 另 外 這 時 如 圖 10所 示 多個保持機構32和加 壓 1 1 機構33被設 置 成 所 具 有 之 間 距 與 多 個測頭 卡 之排列間距 相 1 1 同 因 為 同 時 進 行 同 一 種 類 之 1C之電性動 作 試驗，所Κ 可 1 I 獲 得 處 理 能 力 很 高 之 測 頭 式 檢 測 處理裝 置 〇 1 I [發明之效果] 1 1 I 依 照 申 請 專 利 範 園 第 1和1 1項之本發明時 •因為使用測 1 1 頭 卡 使 接 觸 針 之 針 狀 直 線 部 之 前 斕接觸 在 引線強度較 高 1 1 -1 8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 28GC38 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 16) 1 1 之 封 裝 近 傍 所 Μ 可 Κ 抑制銲接 附著和 銲 接 鬚之 發生，接 1 1 I 觸 針 和 引 線 之 間 不 會 有 導通不良 ，引線 之 間 不會 短路，而 1 1 且 不 會 因 為 引 線 之 變 形 而發生不 良。 請 先 1 閱 依 照 甲 請 專 利 範 園 第 2和12項之本發明時 使1C移動， 讀 | 面 I 將 引 線 加 壓 的 接 觸 在 接 觸針，和 使1C再移動 之一 連貫之作 之 1 I 意 1 1 業 利 用 ΧΥΖ載物台和具有保持櫬構之加壓櫬構可Κ連鑛 事 項 1 I 的 實 施 所 Μ 作 業 時 間 可以縮短 ，而且 可 Μ 使測 頭式檢測 再 填 1 簡 寫 本 處 理 裝 置 之 構 造 化 〇 頁 1 依 照 申 講專利範園第3和13項之本發明時 因為在加壓 1 1 櫬 構 設 有 旋 轉 控 制 裝 置 ，保持櫬 梅可Μ 以 X軸、Υ軸和Ζ軸 1 1 之 3袖為中心進行旋轉 所以能夠使引線確實的接觸在接 1 訂 觸 針 藉 Μ 因 應 由 於 多 接腳而產 生之引 線 間 隔之 變狭。 1 I 依 眧 申 請 專 利 範 園第4和14項之本發明時 •因為旋轉控 1 1 制 裝 置 具 備 有 旋 轉 控 制 部，用來 接收用 Μ 檢 測接 觸針之位 1 1 置 和 引 線 之 位 置 之 位 置 檢测器之 檢測信 號 藉Μ 控制保持 線 機 構 之 旋 轉 所 能 夠 使引線和 接觴針 之 接 觸更 加確實。 1 I 依 照 甲 請 專 利 範 圍 第 5和15項之本發明時 >經由形成接 1 1 觭 針 之 針 狀 直 線 部 之 長 度為2〜3 mm* IS 曲 部 之角 度0為 1 1 92 〇 95 〇 梁 之 長 度 為 5.5mm〜8mm ， 可 Μ 獾得 良好之接 1 1 觸 狀 態 銲 接 附 著 可 Μ 變為極少 ο 1 | 依 照 串 請 專 利 範 圍 第6和16項之本發明時 •因為設有引 1 I 離 櫬 樽 在 測 定 終 了 時 *將接觸 針引離 引 線 -所 Κ可Κ確 1 1 1 實 的 使 銲 接 鬚 不 會 發 生 〇 1 1 依 照 申 請 專 利 範 園第7和17項之本發明時 因為在引離 1 1 -19- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 28GC38 A7 B7 五、發明説明（1 7) 線 引 與 針 觸 接 當。 K線 所引 ’ 之 满接 該鄰 到向 入滑 插針 針觸 觸接 接止 ’ 防 满 K 有可 成 ’ 形時 構觸 機接 和 8 , 第構 園櫬 範動 利振 專小 請微 申有 照設 依構 機 離 引 在 為 因 時 明 發 本 之 項 破M 可 線 引 在 觸 接 針 觸 接Μ 所 線 引 和 件 觸 接 此 因 膜 皮 化 氧 之 面 。 表接 接連 銲電 之行 線進 引的 在簧 成確 形以 壊可 和 9 動 驅Μ 加 來 旋 螺 第線 園 引 範和 利達 專馬 請型 申小 照用 依利 構 櫬 離 引 為 因 時 明 發 本 之 項 確 精 更 以 可% 所 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝· 〇 第 線画 - OMU 弓 S 離利 引專 針請 觸申 接照 將依 的 於 對 為 因 時 明 發 本 之 項 之能 數理 個處 同 使 相 Μ 卡可 頭此 澜因 該， 與1C 和個 卡多 頭定 拥測 之時 涸 同 多 Μ 置可 設 Μ ’ 所 板’ 能構 性櫬 之壓 個加 高 提 力 構 之 板 能 〇 性 例和 施卡 實頭 一 測 之之 明 明 發發 本本 示示 表表 來來 3J 1ΤΠ -—·. SM 明，， 說圖圖 單視視 簡斜斜 之 _ 附 *S 1 2 圖 圖 -a 線 造 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 觸 接 和 造 構 之 針 觸 接 之 明 發 本 -' 亓 表 來 用 圖 面 剖 是 3 圖 態 狀 觸 接 之 線 引 與圖 針 圖 視 斜 是 4 例 施 實 1 另 之 明 發 本 示 表 來 用
Boo RD 園圈· 6 8 造。。作 構造造動 之構構之 構之之構 機具具機 離離離離 引 引引引 之 之之之 明明明明 發發發發 本本本本 示 示 示 明 表表表說 來 來來來 用 用用用 artH_ MHU RUH 圖圖圈 面視面面 正斜剖正 是 是是是 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29·/公釐） 20 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（1 8) 圓9是部份圖，用來表示本發明之引離具。 圖10是斜視圖，用來表示本發明之另一實腌例。 圖11是斜視圖•用來表示習知之檢測處理裝置。 圖12是斜視圖和剖面圖，用來表示習知之檢測處理裝置 之接觸棒之構造。 圖13是正面圖，用來說明習知之檢测處理裝置之接觸不 良之產生機構。 [符號之說明] 1....輸人器，2...,檢査部，3... 出器，4. ...1C， 5和23....裝置托板，6、9、11和21...吸著具，7和10... 輸入器繪圖器，8....旋轉台，12....引線壓接器，13... 加熱板，14....測定插座，15...轉接器插座，16和37... 性能板，17....檢測頭，18——檢測器本體，19——測定 部，20....載物台，22....輪出器繪圈器，24....不良品 收納托板，25....IC引線，26....接觸棒，29和31....位 置檢測器，3 0... .XYZ載物台，32....保持機構，33.... 加壓機構，34____接觸針，35....測頭卡，36——中繼板 ，38....導通接腳，39....接觸孔洞，40.... 1C封裝， 41.. ..針狀直線部，42....彎曲部，43....梁，44、45、 46和48......禹達，47....旋轉控制装置，49....齒輪， 50.. ..引離櫬構，51....氣缸，52....接腳* 53....壓接 器，54....臂，55....轴承，56....柱，57....絕緣框， 58.. ..引離具，59.....壓縮强簧，60....溝，61....微 小加振機構。
本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） I~~7]~I ---J-------批衣------1T------^ 厂 ί (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)