JP6719784B2

JP6719784B2 - ハンドラ

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Publication number: JP6719784B2
Application number: JP2018239895A
Authority: JP
Inventors: ソーヴィンセント; 崇光藍原; 倫央丸山
Original assignee: Synax Co Ltd
Current assignee: Synax Co Ltd
Priority date: 2018-12-21
Filing date: 2018-12-21
Publication date: 2020-07-08
Anticipated expiration: 2038-12-21
Also published as: WO2020129351A1; CN111989577B; TW202024819A; US11231456B2; TWI717059B; US20210148971A1; JP2020101448A; CN111989577A

Description

本発明は、ハンドラに関する。

従来から、部材を扱うハンドラが知られている。ハンドラは、部材（例えば電子部品）を上下方向や水平方向等に移動させ、かつ、その部材に対して処理（例えば電気的な特性検査）を行うものである。

ここで、部材を移動させる機構と部材を処理する機構との干渉を防止するために、例えば、部材を処理する機構に対して部材を複数の方向を経て接近させたり、部材を処理する機構に対して部材を十分に長い距離を介して接近させたりすることが行われる。このような構成では、ハンドラの構造が複雑となり、ハンドラの製造に必要なコストも高くなる虞がある。

国際公開第２００８／１１４４５７号

本発明の目的の一つは、簡便に構成することが可能なハンドラを提供することである。

本発明に係るハンドラは、処理部と、第１駆動部と、保持部と、クランク部と、第２駆動部とを有する。前記処理部は、設置領域に配置される部材を処理する。前記第１駆動部は、前記処理部を前記設置領域に至る移動経路に沿って移動させる。前記保持部は、前記部材を保持する。前記クランク部は、前記保持部が取り付けられている。前記第２駆動部は、前記クランク部を介して前記保持部を前記移動経路の中に移動させる。前記クランク部は、前記保持部が取り付けられ、前記移動経路に沿った方向と交わる方向に沿って延びた第１の部分と、前記第１の部分と接続され、前記第１の部分と接続された位置から前記移動経路に沿った方向の前記設置領域から離れる側に向かって延びた第２の部分とを備える。前記ハンドラは、第１の姿勢と、第２の姿勢を、とることが可能である。前記第１の姿勢は、前記保持部を前記移動経路の中に位置させ、かつ、前記第２の部分を前記処理部と向かい合うように前記移動経路の外に位置させる姿勢である。前記第２の姿勢は、前記処理部を前記設置領域に配置された前記部材に接近させる姿勢である。

上記構成の本発明によれば、簡便に構成することが可能なハンドラを提供することができる。

一実施形態のＩＣハンドラを示す斜視図。図１のＩＣハンドラを示す上面図。図１のＩＣハンドラを示す正面図。一実施形態のＩＣハンドラの作動に関して、ＩＣチップを供給トレイから取り出す状態を示す斜視図。図４に示す状態から引き続き、ＩＣチップをソケットに設置する状態を示す斜視図。図５の状態の要部を示す正面図。図５および図６に示す状態から引き続き、ＩＣチップの電気特性を検査する状態を示す斜視図。図７に示す状態から引き続き、ＩＣチップを検査結果に応じて選別して収容する状態を示す斜視図。

以下、本発明の一実施形態として、ＩＣチップ１０を処理するためのＩＣハンドラ１００を例示する。図１から図３を参照して、ＩＣハンドラ１００の構成の一例を説明する。図１は、一実施形態のＩＣハンドラ１００を示す斜視図である。図２は、図１のＩＣハンドラ１００を示す上面図である。図３は、図１のＩＣハンドラ１００を示す正面図である。

ＩＣハンドラ１００（ハンドラ）は、コンタクタ１１０（処理部）、支持部１２０、第１駆動部１３０、保持部１４０、クランク部１５０、第２駆動部１６０、第３駆動部１７０、筐体部１８０および制御部１９０を有している。ＩＣハンドラ１００は、第１駆動部１３０および第２駆動部１６０等を備えたスカラロボットに、コンタクタ１１０を組み合わせて構成されている。

コンタクタ１１０は、設置領域Ｔに配置されるＩＣチップ１０を処理する。コンタクタ１１０は、検査ユニット１１１および温調ユニット１１２等を含む。検査ユニット１１１は、温調ユニット１１２を介してまたは温調ユニット１１２の周囲から、ＩＣチップ１０に信号を入力して電気特性を検査する。温調ユニット１１２は、例えば、ＡＴＣ（Ａｃｔｉｖｅｔｈｅｒｍａｌｃｏｎｔｒｏｌ）を含む。温調ユニット１１２は、ＩＣチップ１０に接触して、ＩＣチップ１０を所定の温度範囲において温調する。所定の温度範囲とは、ＩＣチップ１０の仕様上の上限温度から下限温度までの温度範囲である。

支持部１２０は、コンタクタ１１０等を支持する。支持部１２０は、第１支持部１２１および第２支持部１２２を含む。第１支持部１２１および第２支持部１２２は、奥行方向Ｙに沿って隣り合い、垂直方向Ｚに沿って段差を設けて一体に形成されている。第１支持部１２１には、コンタクタ１１０の検査ユニット１１１が取り付けられている。第２支持部１２２には、第１駆動部１３０の支持台１３１および第２駆動部１６０の第２モータ１６２等が取り付けられている。

第１駆動部１３０は、コンタクタ１１０等を移動経路Ｋに沿って移動させる。第１駆動部１３０は、筐体部１８０の支柱１８２の側面に取り付けられている。第１駆動部１３０は、支持台１３１およびリニアガイド１３２等を含む。支持台１３１には、支持部１２０の第２支持部１２２が取り付けられている。リニアガイド１３２は、一対のレールを含み、図示せぬボールねじ及び駆動モータによって、支持台１３１を垂直方向Ｚに沿ってガイドする。支持台１３１、リニアガイド１３２、ボールねじ、駆動モータによって、１軸の直動ステージが構成されている。第１駆動部１３０は、支持部１２０を介して、コンタクタ１１０、保持部１４０、クランク部１５０、第２駆動部１６０および第３駆動部１７０を、垂直方向Ｚの下方Ｚ１と上方Ｚ２に移動させる。

保持部１４０は、ＩＣチップ１０（部材）を保持する。保持部１４０は、吸着ハンド１４１等を含む。吸着ハンド１４１は、吸気可能な機能を備え、ＩＣチップ１０を吸着して保持する。保持部１４０は、ＩＣチップ１０を把持するロボットハンド、ＩＣチップ１０を引っ掛けて保持する鉤状部材、ＩＣチップ１０を電磁力によって吸着する電磁石等によって構成することもできる。

クランク部１５０には、吸着ハンド１４１が取り付けられている。クランク部１５０は、第１アーム１５１および第２アーム１５２等を含む。

第１アーム１５１は、クランク状に形成されている。第１アーム１５１は、第１の部分１５１ａ、第２の部分１５１ｂおよび第３の部分１５１ｃを含んでいる。第１の部分１５１ａには、吸着ハンド１４１が取り付けられている。第１の部分１５１ａは、移動経路Ｋに沿った方向（以下、実施形態では一例として垂直方向Ｚと定義する）と交わる方向（以下、実施形態では一例として後述する設置台１８１の横幅方向Ｘと奥行方向Ｙと定義する）に沿って延びている。第２の部分１５１ｂは、第１の部分１５１ａと接続されている。第２の部分１５１ｂは、第１の部分１５１ａと接続された位置から垂直方向Ｚに沿って設置領域Ｔから離れる側（垂直方向Ｚの上方Ｚ２）に向かって延びている。第３の部分１５１ｃは、第２の部分１５１ｂの上端と接続されている。第３の部分１５１ｃは、垂直方向Ｚと交わる方向に沿って延びている。

第１アーム１５１は、第１の部分１５１ａの一端に吸着ハンド１４１が取り付けられ、他端に第２の部分１５１ｂが取り付けられている。第１の部分１５１ａと第２の部分１５１ｂとが成す角度は、図３に示す一例において、例えば垂直であるが、鋭角または鈍角であってもよい。

第２アーム１５２は、第１モータ１６１を介して、第１アーム１５１の第３の部分１５１ｃと連結されている。第２アーム１５２は、長尺形状に形成され、第１アーム１５１と同様に垂直方向Ｚと交わる方向に沿って延びている。

クランク部１５０の第１アーム１５１は、コンタクタ１１０と次のような位置関係にある。すなわち、図３に示すように、垂直方向Ｚにおいて、コンタクタ１１０の下端の第１位置Ｐ１が、第１アーム１５１の第１の部分１５１ａの上端の第２位置Ｐ２よりも上方Ｚ２に位置する関係にある。ここで、クランク部１５０とコンタクタ１１０は、第１駆動部１３０によって、一体の状態で垂直方向Ｚに移動される。したがって、第２駆動部１６０によって第１アーム１５１および第２アーム１５２を回転させても、第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２の垂直方向Ｚに沿った間隔は一定である。さらに、図２に示すように、横幅方向Ｘにおいて、コンタクタ１１０とコンタクタ１１０を支持する支持部１２０等を含む第３位置Ｐ３と、クランク部１５０とその周辺の部材を含めた第４位置Ｐ４は、第１アーム１５１および第２アーム１５２の回転を回転させても、互いに干渉しない位置関係にある。

第２駆動部１６０は、クランク部１５０を介して吸着ハンド１４１を移動経路Ｋの中に移動させる。第２駆動部１６０は、第１モータ１６１および第２モータ１６２等を含む。第１モータ１６１としては、例えばステッピングモータを用いることができる。第１モータ１６１は、第２アーム１５２に対して第１アーム１５１を図１に示す回転方向θ１に回転（旋回）させることによって、吸着ハンド１４１を垂直方向Ｚと交わる横幅方向Ｘと奥行方向Ｙにおいて移動させる。第１モータ１６１による回転の軸、すなわち第１モータ１６１のロータは、例えば垂直方向Ｚと平行である。

第２モータ１６２としては、例えばステッピングモータを用いることができる。第２モータ１６２は、第１駆動部１３０に対して第２アーム１５２を図１に示す回転方向θ２に回転（旋回）させることによって、吸着ハンド１４１を垂直方向Ｚと交わる横幅方向Ｘと奥行方向Ｙにおいて移動させる。第２モータ１６２による回転の軸、すなわち第２モータ１６２のロータは、例えば垂直方向Ｚと平行である。

第２駆動部１６０によって、吸着ハンド１４１を図２に示す移動範囲Ｒにおいて移動可能である。具体的には、第２駆動部１６０は、第１モータ１６１および第２モータ１６２によって第１アーム１５１および第２アーム１５２を連動させながら、第１アーム１５１と第２アーム１５２を一直線上に伸ばしたり交差させたりすることができる。これにより、第２駆動部１６０は、吸着ハンド１４１を設置台１８１の横幅方向Ｘと奥行方向Ｙの大部分の領域（移動領域Ｒ）の任意の座標位置に移動させることができる。移動範囲Ｒには、検査するＩＣチップ１０を取り付けるソケット２０が含まれている。また、移動範囲Ｒには、検査する前のＩＣチップ１０が収容された供給トレイ３１と、検査した後のＩＣチップ１０が選別されて収容されるＯＫ品トレイ４１、再検査品トレイ４２およびＮＧ品トレイ４３が含まれている。

第３駆動部１７０は、吸着ハンド１４１を垂直方向Ｚと交わる横幅方向Ｘと奥行方向Ｙにおいて回転させる。第３駆動部１７０は、第３モータ１７１等を含む。第３モータ１７１としては、例えばステッピングモータを用いることができる。第３モータ１７１は、第１アーム１５１の第１の部分１５１ａに取り付けられている。第３モータ１７１は、吸着ハンド１４１を図１に示す回転方向θ３に回転（旋回）させる。例えば、第３モータ１７１は、吸着ハンド１４１によって保持されたＩＣチップ１０を、ソケット２０に対して、所定の向きで取り付けるために用いられる。また、第３モータ１７１は、吸着ハンド１４１によって保持されたＩＣチップ１０を、ＯＫ品トレイ４１、再検査品トレイ４２およびＮＧ品トレイ４３に対して、所定の向きで収容するために用いられる。第３モータ１７１による回転の軸、すなわち第３モータ１７１のロータは、例えば垂直方向Ｚと平行である。

筐体部１８０は、第１駆動部１３０等を支持する。筐体部１８０には、ＩＣチップ１０を収容する様々なトレイが載置されている。筐体部１８０は、設置台１８１および支柱１８２等を含む。設置台１８１には、検査するＩＣチップ１０を取り付けるソケット２０および制御部１９０のコントローラ１９１等が設けられている。ソケット２０の上面に、ＩＣチップ１０の設置領域Ｔが設定されている。また、コンタクタ１１０からソケット２０に至る垂直方向Ｚに沿って、コンタクタ１１０の移動経路Ｋが設定されている。設置台１８１には、検査する前のＩＣチップ１０が収容された供給トレイ３１が載置されている。同様に、設置台１８１には、検査した後のＩＣチップ１０が選別されて収容されるＯＫ品トレイ４１、再検査品トレイ４２およびＮＧ品トレイ４３が載置されている。支柱１８２は、設置台１８１に設けられ、その側面に第１駆動部１３０が取り付けられている。

制御部１９０は、コンタクタ１１０、第１駆動部１３０、保持部１４０、第２駆動部１６０および第３駆動部１７０を制御する。制御部１９０は、コントローラ１９１、第１制御ケーブル１９２および第２制御ケーブル１９３等を含む。コントローラ１９１は、ＲＯＭ（ＲｅａｄＯｎｌｙＭｅｍｏｒｙ）、ＣＰＵ（ＣｅｎｔｒａｌＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇＵｎｉｔ）およびＲＡＭ（ＲａｎｄｏｍＡｃｃｅｓｓＭｅｍｏｒｙ）等を含む。ＲＯＭは、第１駆動部１３０、保持部１４０、第２駆動部１６０および第３駆動部１７０の構成部材を制御する制御プログラムを格納している。ＣＰＵは、制御プログラムを実行する。ＲＡＭは、ＣＰＵが制御プログラムを実行している間、様々なデータを一時的に記憶する。

コントローラ１９１は、例えば、パーソナルコンピュータを介して操作される。第１制御ケーブル１９２は、第１アーム１５１と第２アーム１５２に連結されている。第１制御ケーブル１９２は、吸着ハンド１４１および第３モータ１７１等の電力線と通信線を収容している。第２制御ケーブル１９３は、第２アーム１５２と支柱１８２に連結されている。第２制御ケーブル１９３は、吸着ハンド１４１と第１モータ１６１と第２モータ１６２および第３モータ１７１等の電力線と通信線を収容している。

図４から図８を参照して、ＩＣハンドラ１００の作動の一例を説明する。図４は、一実施形態のＩＣハンドラ１００の作動に関して、ＩＣチップ１０を供給トレイ３１から取り出す状態を示す斜視図である。図５は、図４に示す状態から引き続き、ＩＣチップ１０をソケット２０に設置する状態を示す斜視図である。図６は、図５の状態の要部を示す正面図である。図７は、図５および図６に示す状態から引き続き、ＩＣチップ１０の電気特性を検査する状態を示す斜視図である。図８は、図７に示す状態から引き続き、ＩＣチップ１０を検査結果に応じて選別して収容する状態を示す斜視図である。

先ず、図４に示すように、ＩＣチップ１０が供給トレイ３１から取り出される（ピックアップされる）。具体的には、第１モータ１６１が第１アーム１５１を回転させると共に、第２モータ１６２が第１アーム１５１および第２アーム１５２を回転させることによって、供給トレイ３１に収容されたＩＣチップ１０の上方に、吸着ハンド１４１を位置させる。上記の作動と同時、または上記の作動の後に、第１駆動部１３０が吸着ハンド１４１を降下させ、ＩＣチップ１０に吸着ハンド１４１を接触させる。その後、吸着ハンド１４１がＩＣチップ１０を吸着して保持する。

次に、図５および図６に示すように、ＩＣチップ１０がソケット２０に設置される。具体的には、図４に示す状態から引き続いて、第１駆動部１３０が吸着ハンド１４１を上昇させる。また、第１モータ１６１が第１アーム１５１を回転させると共に、第２モータ１６２が第１アーム１５１および第２アーム１５２を回転させる。さらに、第３モータ１７１がＩＣチップ１０を回転させて角度を調整する。これにより、ソケット２０の上方に、ＩＣチップ１０を保持した吸着ハンド１４１を位置させる。上記の作動と同時、または上記の作動の後に、第１駆動部１３０が吸着ハンド１４１を降下させ、ＩＣチップ１０をソケット２０に設置する。吸着ハンド１４１によるＩＣチップ１０の吸着を停止し、吸着ハンド１４１をソケット２０の上方から退避させる。

ここで、上述した図５および図６に示す状態は、吸着ハンド１４１を移動経路Ｋの中に位置させ、かつ、第２の部分１５１ｂをコンタクタ１１０と向かい合うように移動経路Ｋの外に位置させる第１の姿勢がとられた状態に相当する。第１の姿勢のとき、吸着ハンド１４１と共に第１の部分１５１ａが、移動経路Ｋの中に位置している。換言すると、クランク部１５０の第１アーム１５１は、コンタクタ１１０の下方に回り込むことによって、コンタクタ１１０との干渉を防止している。さらに、第１の姿勢のとき、第２の部分１５１ｂがコンタクタ１１０の側面と向かい合っている。

次に、図７に示すように、ＩＣチップ１０の電気特性が検査される。具体的には、図５および図６に示す状態から引き続いて、第１駆動部１３０がコンタクタ１１０を降下させ、温調ユニット１１２をＩＣチップ１０に押圧する。その後、ソケット２０がＩＣチップ１０を吸着しつつＩＣチップ１０に電力を供給する。また、温調ユニット１１２がＩＣチップ１０を所定の温度に温調する。上記の状態において、検査ユニット１１１がＩＣチップ１０に信号を入力して電気特性を検査する。ＩＣチップ１０の検査が完了した後、ソケット２０がＩＣチップ１０の吸着と駆動電力の供給を停止し、かつ、温調ユニット１１２がＩＣチップ１０の温調を停止する。

ここで、上述した図７に示す状態は、コンタクタ１１０を設置領域Ｔに配置されたＩＣチップ１０に接近させる第２の姿勢がとられた状態に相当する。コンタクタ１１０は、ＩＣチップ１０を押圧している。第２の姿勢において、吸着ハンド１４１が、移動経路Ｋの外に位置している。

最後に、図８に示すように、ＩＣチップ１０が検査結果に応じて選別して収容される。具体的には、図７に示す状態から引き続いて、コンタクタ１１０が上昇し、ＩＣチップ１０から退避する。次に、吸着ハンド１４１がＩＣチップ１０を吸着して保持する。ＩＣチップ１０の検査結果に応じて、吸着ハンド１４１が移動し、そのＩＣチップ１０をＯＫ品トレイ４１、再検査品トレイ４２およびＮＧ品トレイ４３に選別して収容する。

図５から図７を参照して、上述した一実施形態のＩＣハンドラ１００の作用および効果を説明する。

実施形態のＩＣハンドラ１００は、第１の部分１５１ａに取り付けされた吸着ハンド１４１を移動経路Ｋの中に位置させ、かつ、クランク部１５０の第２の部分１５１ｂをコンタクタ１１０と向かい合うように移動経路Ｋの外に位置させる第１の姿勢（図５および図６）と、コンタクタ１１０を設置領域Ｔに配置されたＩＣチップ１０に接近して押圧する第２の姿勢（図７）を、とることが可能である。ここで、第１の部分１５１ａは、垂直方向Ｚと交わる方向に沿って延びている。一方、第１の部分１５１ａと接続されている第２の部分１５１ｂは、第１の部分１５１ａと接続された位置から移動経路Ｋに沿った方向（垂直方向Ｚ）に沿って設置領域Ｔから離れる側（垂直方向Ｚの上方Ｚ２）に向かって延びている。このような構成によれば、吸着ハンド１４１をコンタクタ１１０の移動経路Ｋの中に位置させた状態において、吸着ハンド１４１が取り付けられたクランク部１５０とコンタクタ１１０との干渉を防止することができる。これにより、吸着ハンド１４１を移動経路Ｋの中に位置させるときに、吸着ハンド１４１を取り付けている部材（クランク部１５０）をコンタクタ１１０と干渉を防止するために複数の方向に沿って移動させる必要がない。したがって、ＩＣハンドラ１００は、簡便に構成することが可能である。

実施形態のＩＣハンドラ１００は、第２の姿勢（図７）において、吸着ハンド１４１をコンタクタ１１０の移動経路Ｋの外に位置させる。このような構成によれば、コンタクタ１１０と吸着ハンド１４１との干渉を防止して、コンタクタ１１０をＩＣチップ１０に接近（押圧）させることができる。仮に、コンタクタ１１０と吸着ハンド１４１が干渉しても問題が無い構成の場合、第２の姿勢の状態において、吸着ハンド１４１をコンタクタ１１０の移動経路Ｋの中に位置させてもよい。また、コンタクタ１１０と吸着ハンド１４１とを接触させた状態で処理を行う構成であれば、第２の姿勢の状態において、吸着ハンド１４１をコンタクタ１１０の移動経路Ｋの中に位置させる。

実施形態のＩＣハンドラ１００は、第１の姿勢（図５および図６）において、吸着ハンド１４１と共にクランク部１５０の第１の部分１５１ａを移動経路Ｋの中に位置させる。このような構成によれば、クランク部１５０の第１の部分１５１ａによって、吸着ハンド１４１を十分に支持した状態において、吸着ハンド１４１を移動させることができる。具体的には、例えば、垂直方向Ｚと交わる方向に沿って延びた第１の部分１５１ａの下方や上方に吸着ハンド１４１を取り付ける構成とすれば、第１の部分の側方に吸着ハンド１４１を取り付ける構成と比較して、第１の部分１５１ａによって吸着ハンド１４１を十分に支持して固定することができる。この場合、第１の部分１５１ａは、吸着ハンド１４１と垂直方向Ｚに沿って重なることから、第１の部分１５１ａが吸着ハンド１４１と共に移動経路Ｋの中に位置することになる。

実施形態のＩＣハンドラ１００において、第１駆動部１３０は、コンタクタ１１０と共に、クランク部１５０および第２駆動部１６０を移動させる。このような構成によれば、第１駆動部１３０と独立した駆動部によってクランク部１５０および第２駆動部１６０を移動させる構成と比較して、駆動部の数を抑制することができる。したがって、ＩＣハンドラ１００は、相対的に廉価に構成することができ、かつ、相対的に小型化することができる。

実施形態のＩＣハンドラ１００は、第１モータ１６１を用いて第２アームに対して第１アーム１５１を垂直方向Ｚと交わる方向に回転させ、かつ、第２モータ１６２を用いて第１駆動部１３０に対して第１アーム１５１および第２アーム１５２を垂直方向Ｚと交わる方向に回転させることによって、吸着ハンド１４１を移動させる。このような構成によれば、垂直方向Ｚと交わる方向において横幅方向Ｘと奥行方向Ｙで規定される任意の位置に、吸着ハンド１４１を容易に移動させることができる。したがって、ＩＣハンドラ１００は、任意の位置に対するＩＣチップ１０の移動を容易に行うことができる。

実施形態のＩＣハンドラ１００は、吸着ハンド１４１を垂直方向Ｚと交わる方向に回転させる第３モータ１７１を備えている。このような構成によれば、吸着ハンド１４１によって保持されたＩＣチップ１０を、第３モータ１７１によって所定の向きに調整することができる。したがって、ＩＣハンドラ１００は、ＩＣチップ１０を、所定の向きに調整して設置領域Ｔに設置することができる。さらに、ＩＣハンドラ１００は、ＩＣチップ１０を、所定の向きに調整して容器（ＯＫ品トレイ４１、再検査品トレイ４２およびＮＧ品トレイ４３）に収容することができる。

実施形態のＩＣハンドラ１００において、コンタクタ１１０は、ＩＣチップ１０に接触（押圧）して処理する。このように、ＩＣハンドラ１００は、ＩＣチップ１０を保持する吸着ハンド１４１との干渉を防止しつつ、コンタクタ１１０をＩＣチップ１０に押圧した状態で、ＩＣチップ１０の電気特性の検査等の処理を行うことができる。

実施形態のＩＣハンドラ１００は、第１駆動部１３０（Ｚ軸直動ステージ）と第１モータ１６１（θ軸回転ステージ）および第２モータ１６２（θ軸回転ステージ）の３軸の駆動機構によって、ＩＣチップ１０を移動させて処理することができる。また、上記の３軸の駆動機構に第３モータ（θ軸回転ステージ）を加えた４軸の駆動機構によって、ＩＣチップ１０の向きを調整しながら移動させて処理することができる。この場合、ＩＣチップ１０を任意の向きに回転させる構成を別途設ける必要がない。このように、実施形態のＩＣハンドラ１００は、一般的なＩＣハンドラと比較して、少ない軸数（３軸や４軸）の駆動機構を用いたシンプルな構成によって具現化することができる。一方、ＩＣハンドラ１００は、図２に示すように、ＩＣチップ１０を十分に広い移動範囲Ｒにおいて移動可能であることから、各種のトレイ（供給トレイ３１、ＯＫ品トレイ４１、再検査品トレイ４２およびＮＧ品トレイ４３）を載置する位置の自由度が高い。この結果、ＩＣハンドラ１００は、一般的に必要な性能を十分に満たしたうえで、部品点数を抑制して小型化かつ廉価に構成することができる。また、ＩＣハンドラ１００は、部品点数を抑制した簡便な構成によって、故障を抑制することができる。

実施形態のＩＣハンドラ１００は、ＩＣチップ１０を吸着ハンド１４１によって吸着させた状態で、コンタクタ１１０の下方に位置するソケット２０まで移動させる。このため、コンタクタ１１０は、ＩＣチップ１０を吸着させる構成が不要である。この結果、コンタクタ１１０は、例えば、温調ユニット１１２をＩＣチップ１０に直接的に接触させることができる。したがって、温調ユニット１１２によってＩＣチップ１０を高精度で温調することができる。

実施形態のＩＣハンドラ１００は、剛性が高い第１駆動部１３０に対して、支持部１２０を介して、コンタクタ１１０を取り付けている。このため、ＩＣハンドラ１００は、例えば、コンタクタ１１０を用いてＩＣチップ１０に比較的大きな荷重を掛けることができる。したがって、ＩＣハンドラ１００は、ＩＣチップ１０の端子とソケット２０の端子、およびＩＣチップ１０の端子と検査ユニット１１１の端子とを十分に接触させた状態において、ＩＣチップ１０の電気特性を正確に検査することができる。

実施形態のＩＣハンドラ１００は、第１駆動部１３０に対して支持部１２０を介してコンタクタ１１０を設け、かつ、第１駆動部１３０に対して支持部１２０およびランク部１５０等を介して吸着ハンド１４１を設けている。このように構成することによって、コンタクタ１１０と吸着ハンド１４１との距離を一定の範囲内に設定していることから、ＩＣチップ１０の移動のために、長距離移動用の中継機構（中継シャトル）等を用いる必要がない。

実施形態のＩＣハンドラ１００は、第２駆動部１６０の第１モータ１６１および第２モータ１６２に対して、それぞれ減速機と共にエンコーダを併用する構成とすることができる。このような構成の場合、クランク部１５０の第１アーム１５１および第２アーム１５２を、角度伝達精度を維持しつつ高分解能で回転させることができる。このため、ＩＣハンドラ１００は、ＩＣチップ１０を高い位置決め精度によって移動させることができる。

本発明を実施するに当たり、上記の実施形態は一例であり、具体的な態様を種々に変更して実施できる。

本発明のハンドラにおいて、コンタクタ１１０（処理部）に対して、検査ユニット１１１および温調ユニット１１２を設ける構成として説明した。本発明のハンドラは、上記の構成に限定されることなく、ソケット２０に対して、検査ユニットや温調ユニットを設ける構成とすることができる。換言すると、処理部は、ＩＣチップ１０をソケット２０に対して押圧する処理のみを行う構成とすることもできる。

本発明のハンドラは、一例として、電子部品に相当する部材であるＩＣチップ１０の電気特性を検査するＩＣハンドラ１００として説明した。本発明のハンドラは、上記の構成に限定されることなく、例えば、金属加工用の旋盤として構成することができる。具体的には、本発明のハンドラは、例えば金属素材である部材を、コンタクタ１１０に設けた例えばエンドミルによって切削加工する構成にすることもできる。

また、本発明のハンドラは、例えば、３次元光プリンタとして構成することもできる。具体的には、本発明のハンドラは、例えば、光硬化性樹脂または熱硬化性樹脂である粉状の部材に対して、コンタクタ１１０に設けたレーザ発振器によって光または熱を選択的に入力して、粉状の部材を任意の形状になるように硬化させて造形する構成にすることもできる。

また、本発明のハンドラ１００は、保持部１４０によって保持した状態の部材を、コンタクタ１１０（処理部）によって処理する構成とすることもできる。

１０…ＩＣチップ（部材）、２０…ソケット、３１…供給トレイ、４１…ＯＫ品トレイ、４２…再検査品トレイ、４３…ＮＧ品トレイ、１００…ＩＣハンドラ、１１０…コンタクタ（処理部）、１１１…検査ユニット、１１２…温調ユニット、１２０…支持部、１２１…第１支持部、１２２…第２支持部、１３０…第１駆動部、１３１…支持台、１３２…リニアガイド、１４０…保持部、１４１…吸着ハンド、１５０…クランク部、１５１…第１アーム、１５１ａ…第１の部分、１５１ｂ…第２の部分、１５１ｃ…第３の部分、１５２…第２アーム、１６０…第２駆動部、１６１…第１モータ、１６２…第２モータ、１７０…第３駆動部、１７１…第３モータ、１８０…筐体部、１８１…設置台、１８２…支柱、１９０…制御部、１９１…コントローラ、１９２…第１制御ケーブル、１９３…第２制御ケーブル、Ｔ…ＩＣチップ１０の設置領域、Ｋ…設置領域Ｔに至るコンタクタ１１０の移動経路、Ｒ…吸着ハンド１４１の移動範囲、Ｘ…垂直方向Ｚと交わる設置台１８１の横幅方向、Ｙ…垂直方向Ｚと交わる設置台１８１の奥行方向、Ｚ…コンタクタ１１０の移動経路Ｋに沿った垂直方向、Ｚ１…下方（ＩＣチップ１０の設置領域Ｔに近づく方向）、Ｚ２…上方（ＩＣチップ１０の設置領域Ｔから遠ざかる方向）。

Claims

設置領域に配置される部材を処理する処理部と、
前記処理部を前記設置領域に至る移動経路に沿って移動させる第１駆動部と、
前記部材を保持する保持部と、
前記保持部が取り付けられたクランク部と、
前記クランク部を介して前記保持部を前記移動経路の中に移動させる第２駆動部とを有し、
前記クランク部は、
前記保持部が取り付けられ、前記移動経路に沿った方向と交わる方向に沿って延びた第１の部分と、
前記第１の部分と接続され、前記第１の部分と接続された位置から前記移動経路に沿った方向の前記設置領域から離れる側に向かって延びた第２の部分とを備え、
前記保持部を前記移動経路の中に位置させ、かつ、前記第２の部分を前記処理部と向かい合うように前記移動経路の外に位置させる第１の姿勢と、
前記処理部を前記設置領域に配置された前記部材に接近させる第２の姿勢を、とることが可能な、
ハンドラ。
前記第２の姿勢において、前記保持部を前記移動経路の外に位置させる、
請求項１に記載のハンドラ。
前記第１の姿勢において、前記保持部と共に前記第１の部分を前記移動経路の中に位置させる、
請求項１又は２に記載のハンドラ。
前記第１駆動部は、前記処理部と共に、前記クランク部と、前記第２駆動部とを移動させる、
請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載のハンドラ。
前記クランク部は、
前記第１の部分と前記第２の部分とを含む第１アームと、
前記第１アームと連結された第２アームとを備え、
前記第２駆動部は、
前記第２アームに対して前記第１アームを前記移動経路に沿った方向と交わる方向に回転させる第１モータと、
前記第１駆動部に対して前記第２アームを前記移動経路に沿った方向と交わる方向に回転させる第２モータとを備えた、
請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載のハンドラ。
前記保持部を前記移動経路に沿った方向と交わる方向に回転させる第３モータを備えた、請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載のハンドラ。
前記処理部は、前記部材に接触して処理する、
請求項１乃至６のうちいずれか１項に記載のハンドラ。