CN113671358B - 一种半导体测试设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体测试技术领域，具体涉及一种半导体测试设备，包括L形底板，所述L形底板的顶面转动连接有托盘，所述托盘的顶面通过转动轴均匀转动连接有多个齿轮一，所述转动轴的顶端固定连接有限位机构，所述托盘顶面的中部固定连接有吸尘机构，所述顶板的底部固定连接有导轨，所述导轨的内部滑动卡接有与顶板底面固定连接的夹板。本发明中，通过气缸驱动使夹板沿着导轨移动，在夹板上三角形槽的限位作用下使连接柱带着探针设备上下移动测试晶圆，在驱动机构一的作用下使托板转动更换不同的晶圆测试，在驱动机构二的作用下实现晶圆的限位固定，一个气缸实现测试晶圆、固定晶圆、更换晶圆及清洁晶圆，结构简单，提高了晶圆测试的工作效率。

Description

一种半导体测试设备

技术领域

本发明涉及半导体测试技术领域，具体涉及一种半导体测试设备。

背景技术

晶圆测试是对晶片上的晶粒使用探针进行针测，在测试前一般需要操作者将电测器上的探针与晶圆进行定位对准，并固定好晶圆的位置，防止探针在接触到晶圆时，探针与晶圆表面出现打滑现象，导致晶圆偏离初始位置，影响晶圆的测试结果，由于空气中的粉尘带有电荷，在落至晶圆表面时，会影响到晶圆的散热，从而产生热能积蓄，导致探针在测试晶圆电阻率、温度时出现数据不精准的现象，进一步影响晶圆的测试结果，此外大部分测试设备每次只能安装一个待测晶圆，在对多个晶圆进行测试时，需要频繁的往测试设备上取放晶圆，从而影响晶圆测试的工作效率。

发明内容

为了克服上述的技术问题，本发明的目的在于提供一种半导体测试设备，通过气缸的输出端带着夹板从导轨的左端向导轨的中部移动，使橡胶滚轮沿着斜槽一滚动，从而使连接柱带着探针设备下移与晶圆表面接触进行测试，与此同时齿条三与齿轮四啮合传动使轴杆二带着齿轮三顺时针转动，从而使托板底面的齿轮一逆时针转动，齿轮一逆时针转动使托板上的滑动块带着限位块向晶圆方向移动，从而使晶圆限位固定在托板上，便于配合下移的探针设备对晶圆测试，实现晶圆测试与晶圆固定结合在一起，提高晶圆测试的效率，通过气缸的输出端带着夹板从导轨的中部向导轨的右端移动，使橡胶滚轮沿着斜槽二滚动，从而使探针设备上移与晶圆表面分离结束测试，与此同时齿条二与齿轮四啮合传动使轴杆二带着齿轮三逆时针转动，从而使托板底面的齿轮一顺时针转动，齿轮一顺时针转动使托板上的滑动块带着限位块向背离晶圆的方向移动，从而便于快速取下晶圆，通过气缸的输出端带着夹板从导轨的右端向导轨的左端移动，使橡胶滚轮沿着夹板上的横槽滚动，此时连接柱不再带着探针设备上下移动，齿条一与齿轮二啮合传动使轴杆一带着托盘转动，实现将其他待测试的晶圆移动到探针设备的下方，便于连续快速测试多个晶圆，提高了晶圆测试的工作效率，且在托盘转动的过程中晶圆会经过吸尘嘴，吸尘嘴将晶圆表面附着的灰尘清洁干净，防止晶圆产生热能积蓄，保证了晶圆测试结果的准确性。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

一种半导体测试设备，包括L形底板，所述L形底板的顶部固定连接有顶板，所述L形底板的顶面转动连接有托盘，所述托盘的顶面通过转动轴均匀转动连接有多个齿轮一，所述转动轴的顶端固定连接有限位机构，所述托盘顶面的中部固定连接有吸尘机构，所述顶板的底部固定连接有导轨，所述导轨的内部滑动卡接有与顶板底面固定连接的夹板，所述夹板包括面板一和面板二，所述面板一与面板二的内侧滚动连接有连接柱，所述连接柱的底面固定连接有探针设备，所述面板一与面板二的底部之间固定连接有三角块，所述面板一与面板二的内侧均开设有三角形槽，所述连接柱顶部的外侧转动连接有两个对称分布的橡胶滚轮，所述橡胶滚轮与对应位置三角形槽滚动连接，所述三角形槽包括斜槽一，所述斜槽一的一端连通有斜槽二，所述斜槽一的另一端连通有横槽，且横槽与斜槽二连通，所述连接柱的内部固定连接有两个与探针设备电性连接的导线，所述面板一的外侧设置有用于驱动托盘转动的驱动机构一，所述面板二的外侧设置有用于驱动齿轮一转动的驱动机构二，所述顶板的底面固定连接有输出端与面板二固定连接的气缸，通过气缸驱动使夹板沿着导轨移动，在夹板上三角形槽的限位作用下使连接柱带着探针设备上下移动测试晶圆，测试过程中在驱动机构一的作用下使托板转动更换不同的晶圆测试，在驱动机构二的作用下实现晶圆的限位固定，一个气缸实现测试晶圆、固定晶圆、更换晶圆及清洁晶圆，结构简单成本低，提高了晶圆测试的工作效率。

进一步在于：所述限位机构包括用于放置晶圆的托板，且托板与对应位置转动轴顶端固定连接，所述托板的内部呈环形等角度滑动连接有多个滑动块，所述滑动块一端的底面固定连接有限位柱，所述滑动块另一端的顶面固定连接有限位块，所述齿轮一的外侧呈环形等角度开设有多个分别与对应位置限位柱滑动插接的弧形通孔，齿轮一转动使其上的弧形通孔带着限位柱移动，实现托板上的滑动块带着限位块将晶圆固定在托板上。

进一步在于：所述吸尘机构包括与托盘顶面固定连接的吸尘器，所述吸尘器的输出端通过连接管连通有用于吸附晶圆表面灰尘的吸尘嘴，便于清理晶圆表面的灰尘，保证了晶圆测试结果的准确性。

进一步在于：所述驱动机构一包括轴杆一和支撑板一，所述轴杆一的顶端与顶板转动连接，所述轴杆一的底端与托盘中部贯穿固定且与L形底板转动连接，所述轴杆一顶部的外侧壁套接固定有齿轮二，所述支撑板一的一端与面板一固定连接，所述支撑板一的另一端转动连接有两个连接轴一，所述连接轴一的外侧壁套接固定有连接杆一，两个所述连接杆一背离连接轴一的一端转动连接有与齿轮二啮合传动的齿条一，从而使齿条一与齿轮二啮合后带着轴杆一转动实现托盘带着多个晶圆转动更换晶圆的位置。

进一步在于：所述连接轴一位于支撑板一内部的外侧壁固定连接有扇形块一，所述支撑板一的顶面开设有与对应位置扇形块一滑动连接的扇形槽一，实现夹板从导轨右端往左端移动时齿条一与齿轮二啮合，夹板从导轨左端往右端移动时齿条一不与齿轮二啮合。

进一步在于：所述驱动机构二包括与面板二固定连接的连接座，所述连接座的一端转动连接有轴杆二，所述轴杆二的底端固定连接有与对应位置齿轮一啮合传动的齿轮三，所述轴杆二的顶端固定连接有齿轮四，所述齿轮四的外侧设置有驱动其逆时针转动的驱动组件一和驱动其顺时针转动的驱动组件二，驱动组件一便于带着限位机构夹紧晶圆，驱动组件二便于带着限位机构释放晶圆。

进一步在于：所述驱动组件一包括与面板二固定连接的支撑板二，所述支撑板二的顶面转动连接有两个连接轴二，所述连接轴二的外侧套接固定有连接杆二，两个所述连接杆二背离连接轴二的一端转动连接有与齿轮四啮合传动的齿条二，所述驱动组件二包括与面板二固定连接的支撑板三，所述支撑板三的顶面转动连接有两个连接轴三，所述连接轴三的外侧套接固定有连接杆三，两个所述连接杆三背离连接轴三的一端转动连接有与齿轮四啮合传动的齿条三，当夹板从导轨左端往其中部移动时齿条三带着齿轮四转动实现限位机构固定晶圆，当夹板从导轨中部往其右端移动时齿条三带着齿轮四转动实现限位机构释放晶圆。

进一步在于：所述连接轴二位于支撑板二内部的外侧壁固定连接有扇形块二，所述支撑板二的顶面开设有与对应位置扇形块二滑动连接的扇形槽二，所述连接轴三位于支撑板三内部的外侧壁固定连接有扇形块三，所述支撑板三的顶面开设有与对应位置扇形块三滑动连接的扇形槽三，实现夹板从导轨左端往其右端移动时齿条二与齿条三二者能够与齿轮四啮合，夹板从导轨右端往其左端移动时齿条二与齿条三二者不能够与齿轮四啮合。

进一步在于：所述连接柱的顶面开设有圆形盲孔，所述圆形盲孔的内侧壁滑动插接有滑杆，且滑杆的顶面与顶板的底面固定连接，配合夹板上的三角形槽使连接柱上下移动。

本发明的有益效果：

1、通过气缸的输出端带着夹板从导轨的左端向导轨的中部移动，使橡胶滚轮沿着斜槽一滚动，从而使连接柱带着探针设备下移与晶圆表面接触进行测试，与此同时齿条三与齿轮四啮合传动使轴杆二带着齿轮三顺时针转动，从而使托板底面的齿轮一逆时针转动，齿轮一逆时针转动使托板上的滑动块带着限位块向晶圆方向移动，从而使晶圆限位固定在托板上，便于配合下移的探针设备对晶圆测试，实现晶圆测试与晶圆固定结合在一起，提高晶圆测试的效率；

2、通过气缸的输出端带着夹板从导轨的中部向导轨的右端移动，使橡胶滚轮沿着斜槽二滚动，从而使探针设备上移与晶圆表面分离结束测试，与此同时齿条二与齿轮四啮合传动使轴杆二带着齿轮三逆时针转动，从而使托板底面的齿轮一顺时针转动，齿轮一顺时针转动使托板上的滑动块带着限位块向背离晶圆的方向移动，从而便于快速取下晶圆；

3、通过气缸的输出端带着夹板从导轨的右端向导轨的左端移动，使橡胶滚轮沿着夹板上的横槽滚动，此时连接柱不再带着探针设备上下移动，齿条一与齿轮二啮合传动使轴杆一带着托盘转动，实现将其他待测试的晶圆移动到探针设备的下方，便于连续快速测试多个晶圆，提高了晶圆测试的工作效率，且在托盘转动的过程中晶圆会经过吸尘嘴，吸尘嘴将晶圆表面附着的灰尘清洁干净，防止晶圆产生热能积蓄，保证了晶圆测试结果的准确性。

附图说明

下面结合附图对本发明作进一步的说明。

图1是本发明整体结构示意图；

图2是本发明中顶板内部结构示意图；

图3是本发明中托盘与吸尘机构结构示意图；

图4是本发明中限位机构结构示意图；

图5是本发明中夹板与导轨结构示意图；

图6是本发明中面板二内侧结构示意图；

图7是本发明中驱动机构一结构示意图；

图8是本发明图7中A处局部放大结构示意图；

图9是本发明中驱动机构二结构示意图；

图10是本发明图9中B处局部放大结构示意图；

图11是本发明图9中C处局部放大结构示意图。

图中：100、L形底板；110、顶板；111、导轨；200、托盘；210、齿轮一；300、限位机构；310、托板；320、滑动块；321、限位柱；322、限位块；400、吸尘机构；410、吸尘器；420、吸尘嘴；500、夹板；510、面板一；520、面板二；521、斜槽一；522、斜槽二；523、横槽；530、连接柱；531、探针设备；532、橡胶滚轮；533、导线；600、驱动机构一；610、轴杆一；620、支撑板一；621、连接轴一；630、连接杆一；640、齿条一；700、驱动机构二；710、连接座；720、轴杆二；730、驱动组件一；731、支撑板二；732、连接轴二；733、连接杆二；734、齿条二；740、驱动组件二；741、支撑板三；742、连接轴三；743、连接杆三；744、齿条三；800、气缸。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-11所示，一种半导体测试设备，包括L形底板100，所述L形底板100的顶部固定连接有顶板110，所述L形底板100的顶面转动连接有托盘200，所述托盘200的顶面通过转动轴均匀转动连接有多个齿轮一210，所述转动轴的顶端固定连接有限位机构300，所述托盘200顶面的中部固定连接有吸尘机构400，所述顶板110的底部固定连接有导轨111，所述导轨111的内部滑动卡接有与顶板110底面固定连接的夹板500，所述夹板500包括面板一510和面板二520，所述面板一510与面板二520的内侧滚动连接有连接柱530，所述连接柱530的底面固定连接有探针设备531，所述面板一510与面板二520的底部之间固定连接有三角块，所述面板一510与面板二520的内侧均开设有三角形槽，所述连接柱530顶部的外侧转动连接有两个对称分布的橡胶滚轮532，所述橡胶滚轮532与对应位置三角形槽滚动连接，所述三角形槽包括斜槽一521，所述斜槽一521的一端连通有斜槽二522，所述斜槽一521的另一端连通有横槽523，且横槽523与斜槽二522连通，所述连接柱530的内部固定连接有两个与探针设备531电性连接的导线533，所述面板一510的外侧设置有用于驱动托盘200转动的驱动机构一600，所述面板二520的外侧设置有用于驱动齿轮一210转动的驱动机构二700，所述顶板110的底面固定连接有输出端与面板二520固定连接的气缸800，通过气缸800驱动使夹板500沿着导轨111移动，在夹板500上三角形槽的限位作用下使连接柱530带着探针设备531上下移动测试晶圆，测试过程中在驱动机构一600的作用下使托板310转动更换不同的晶圆测试，在驱动机构二700的作用下实现晶圆的限位固定，一个气缸800实现测试晶圆、固定晶圆、更换晶圆及清洁晶圆，结构简单成本低，提高了晶圆测试的工作效率。

所述限位机构300包括用于放置晶圆的托板310，且托板310与对应位置转动轴顶端固定连接，所述托板310的内部呈环形等角度滑动连接有多个滑动块320，所述滑动块320一端的底面固定连接有限位柱321，所述滑动块320另一端的顶面固定连接有限位块322，所述齿轮一210的外侧呈环形等角度开设有多个分别与对应位置限位柱321滑动插接的弧形通孔，齿轮一210转动使其上的弧形通孔带着限位柱321移动，实现托板310上的滑动块320带着限位块322将晶圆固定在托板310上。

所述吸尘机构400包括与托盘200顶面固定连接的吸尘器410，所述吸尘器410的输出端通过连接管连通有用于吸附晶圆表面灰尘的吸尘嘴420，便于清理晶圆表面的灰尘，保证了晶圆测试结果的准确性；所述驱动机构一600包括轴杆一610和支撑板一620，所述轴杆一610的顶端与顶板110转动连接，所述轴杆一610的底端与托盘200中部贯穿固定且与L形底板100转动连接，所述轴杆一610顶部的外侧壁套接固定有齿轮二，所述支撑板一620的一端与面板一510固定连接，所述支撑板一620的另一端转动连接有两个连接轴一621，所述连接轴一621的外侧壁套接固定有连接杆一630，两个所述连接杆一630背离连接轴一621的一端转动连接有与齿轮二啮合传动的齿条一640，从而使齿条一640与齿轮二啮合后带着轴杆一610转动实现托盘200带着多个晶圆转动更换晶圆的位置。

所述连接轴一621位于支撑板一620内部的外侧壁固定连接有扇形块一，所述支撑板一620的顶面开设有与对应位置扇形块一滑动连接的扇形槽一，实现夹板500从导轨111右端往左端移动时齿条一640与齿轮二啮合，夹板500从导轨111左端往右端移动时齿条一640不与齿轮二啮合；所述驱动机构二700包括与面板二520固定连接的连接座710，所述连接座710的一端转动连接有轴杆二720，所述轴杆二720的底端固定连接有与对应位置齿轮一210啮合传动的齿轮三，所述轴杆二720的顶端固定连接有齿轮四，所述齿轮四的外侧设置有驱动其逆时针转动的驱动组件一730和驱动其顺时针转动的驱动组件二740，驱动组件一730便于带着限位机构300夹紧晶圆，驱动组件二740便于带着限位机构300释放晶圆。

所述驱动组件一730包括与面板二520固定连接的支撑板二731，所述支撑板二731的顶面转动连接有两个连接轴二732，所述连接轴二732的外侧套接固定有连接杆二733，两个所述连接杆二733背离连接轴二732的一端转动连接有与齿轮四啮合传动的齿条二734，所述驱动组件二740包括与面板二520固定连接的支撑板三741，所述支撑板三741的顶面转动连接有两个连接轴三742，所述连接轴三742的外侧套接固定有连接杆三743，两个所述连接杆三743背离连接轴三742的一端转动连接有与齿轮四啮合传动的齿条三744，当夹板500从导轨111左端往其中部移动时齿条三744带着齿轮四转动实现限位机构300固定晶圆，当夹板500从导轨111中部往其右端移动时齿条三744带着齿轮四转动实现限位机构300释放晶圆。

所述连接轴二732位于支撑板二731内部的外侧壁固定连接有扇形块二，所述支撑板二731的顶面开设有与对应位置扇形块二滑动连接的扇形槽二，所述连接轴三742位于支撑板三741内部的外侧壁固定连接有扇形块三，所述支撑板三741的顶面开设有与对应位置扇形块三滑动连接的扇形槽三。实现夹板500从导轨111左端往其右端移动时齿条二734与齿条三744二者能够与齿轮四啮合，夹板500从导轨111右端往其左端移动时齿条二734与齿条三744二者不能够与齿轮四啮合；所述连接柱530的顶面开设有圆形盲孔，所述圆形盲孔的内侧壁滑动插接有滑杆，且滑杆的顶面与顶板110的底面固定连接，配合夹板500上的三角形槽使连接柱530上下移动。

工作原理：使用时，初始状态下夹板500位于导轨111的最左端，连接柱530位于夹板500的内部，探针设备531在托板310的上方，当需要使用该设备时，先将从连接柱530内部延伸出来的两个导线533与外界电路板及电源接电，使探针设备531具有测试的能力，接着将待测的晶圆放到托板310的顶面，根据需要可以同时放置四个晶圆，工作时，开启气缸800使气缸800的输出端带着夹板500沿着导轨111向导轨111的中部移动，在该移动过程中，橡胶滚轮532沿着斜槽一521滚动，使连接柱530带着探针设备531下移与晶圆表面接触（当夹板500移动到导轨111中部时实现探针设备531底面的探针与晶圆表面接触进行测试），在该移动过程中齿条三744与齿轮四啮合传动使轴杆二720带着齿轮三顺时针转动，使托板310底面的齿轮一210逆时针转动，齿轮一210逆时针转动使托板310上的滑动块320带着限位块322（限位块322的内侧壁可以防止海绵等柔软材质的东西，保护晶圆边缘）向晶圆方向移动，使晶圆限位固定在托板310上，配合下移的探针设备531对晶圆进行测试；

测试结束后，气缸800的输出端继续带着夹板500向导轨111的右端移动，在该移动过程中，橡胶滚轮532沿着斜槽二522滚动，使探针设备531上移与晶圆表面分离结束测试（当夹板500移动到最右端时探针设备531达到初始状态的高度），与此同时齿条二734与齿轮四啮合传动使轴杆二720带着齿轮三逆时针转动，从而使托板310底面的齿轮一210顺时针转动，齿轮一210顺时针转动使托板310上的滑动块320带着限位块322向背离晶圆的方向移动释放晶圆，便于快速取出晶圆；

当需要更换晶圆测试时，气缸800的输出端带着夹板500从导轨111的最右端向其最左端移动，在该移动过程中，橡胶滚轮532沿着夹板500上的横槽523滚动，此时连接柱530不再带着探针设备531上下移动，齿条一640与齿轮二啮合传动使轴杆一610带着托盘200转动，实现将其他待测试的晶圆移动到探针设备531的下方，便于连续快速测试多个晶圆，在托盘200转动的过程中晶圆会经过吸尘嘴420，吸尘嘴420将晶圆表面附着的灰尘清洁干净，防止晶圆产生热能积蓄，保证了晶圆测试结果的准确性；

补充说明：齿条一640的长度能够满足齿轮二带着托盘200逆时针转动450度，实现待测晶圆在托盘200上转动一周清洁后能够移动到探针设备531的下方；连接轴一621与支撑板一620之间、连接轴二732与支撑板二731之间及连接轴三742与支撑板三741之间均设置有扭转弹簧，扭转弹簧便于使齿条一640在齿轮二的外侧与其接触，齿条二734与齿条三744分别在齿轮四的两侧侧并与齿轮四接触。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上内容仅仅是对本发明所作的举例和说明，所属本技术领域的技术人员对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离发明或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本发明的保护范围。

Claims (9)

1.一种半导体测试设备，包括 L 形底板（100），其特征在于，所述 L 形底 板（100） 的顶部固定连接有顶板（ 110），所述 L 形底板（100） 的顶面转动连 接有托盘（200），所述托盘（200） 的顶面通过转动轴均匀转动连接有多个齿轮 一（210），所述转动轴的顶端固定连接有限位机构（300），所述托盘（200） 顶 面的中部固定连接有吸尘机构（400），所述顶板（110） 的底部固定连接有导轨 （111），所述导轨（111） 的内部滑动卡接有与顶板（110） 底面固定连接的夹 板（500），所述夹板（500） 包括面板一（510） 和面板二（520），所述面板一（510） 与面板二（520） 的内侧滚动连接有连接柱（530），所述连接柱（530） 的底面固定连接有探针设备（531），所述面板一（510） 与面板二（520） 的底 部之间固定连接有三角块，所述面板一（510） 与面板二（520） 的内侧均开设 有三角形槽，所述连接柱（530） 顶部的外侧转动连接有两个对称分布的橡胶滚 轮（532），所述橡胶滚轮（532） 与对应位置三角形槽滚动连接，所述三角形槽 包括斜槽一（521），所述斜槽一（521） 的一端连通有斜槽二（522），所述斜槽 一（521） 的另一端连通有横槽（523），且横槽（523） 与斜槽二（522） 连通， 所述连接柱（530） 的内部固定连接有两个与探针设备（531） 电性连接的导线 （533），所述面板一（510） 的外侧设置有用于驱动托盘（200） 转动的驱动机 构一（600），所述面板二（520） 的外侧设置有用于驱动齿轮一（210） 转动的 驱动机构二（700），所述顶板（110）的底面固定连接有输出端与面板二（520） 固定连接的气缸（800）。

2.根据权利要求 1 所述的一种半导体测试设备,其特征在于，所述限位机 构（300）包括用于放置晶圆的托板（310），且托板（310） 与对应位置转动轴顶端固定连接，所述托板（310） 的内部呈环形等角度滑动连接有多个滑动块（320），所述滑动块（320） 一端的底面固定连接有限位柱（321），所述滑动块（320） 另一端的顶面固定连接有限位块（322），所述齿轮一（210） 的外侧呈 环形等角度开设有多个分别与对应位置限位柱（321） 滑动插接的弧形通孔。

3.根据权利要求 1 所述的一种半导体测试设备,其特征在于，所述吸尘机 构（400）包括与托盘（200） 顶面固定连接的吸尘器（410），所述吸尘器（410） 的输出端通过连接管连通有用于吸附晶圆表面灰尘的吸尘嘴（420）。

4.根据权利要求 1 所述的一种半导体测试设备,其特征在于，所述驱动机 构一（600）包括轴杆一（610） 和支撑板一（620），所述轴杆一（610） 的顶端 与顶板（110） 转动连接，所述轴杆一（610） 的底端与托盘（200） 中部贯穿固 定且与 L 形底板（100） 转动连接，所述轴杆一（610） 顶部的外侧壁套接固定 有齿轮二，所述支撑板一（620） 的一端与面板一（510） 固定连接，所述支撑 板一（620） 的另一端转动连接有两个连接轴一（621），所述连接轴一（621） 的外侧壁套接固定有连接杆一（630），两个所述连接杆一（630） 背离连接轴一 （621） 的一端转动连接有与齿轮二啮合传动的齿条一（640）。

5.根据权利要求 4 所述的一种半导体测试设备,其特征在于，所述连接轴 一（621）位于支撑板一（620） 内部的外侧壁固定连接有扇形块一，所述支撑 板一（620） 的顶面开设有与对应位置扇形块一滑动连接的扇形槽一。

6.根据权利要求 1 所述的一种半导体测试设备,其特征在于，所述驱动机 构二（700）包括与面板二（520） 固定连接的连接座（710），所述连接座（710） 的一端转动连接有轴杆二（720），所述轴杆二（720） 的底端固定连接有与对应 位置齿轮一（210） 啮合传动的齿轮三，所述轴杆二（720） 的顶端固定连接有 齿轮四，所述齿轮四的外侧设置有驱动其逆时针转动的驱动组件一（730） 和驱动其顺时针转动的驱动组件二（740）。

7.根据权利要求 6 所述的一种半导体测试设备,其特征在于，所述驱动组 件一（730）包括与面板二（520） 固定连接的支撑板二（731），所述支撑板二 （731） 的顶面转动连接有两个连接轴二（732），所述连接轴二（732） 的外侧 套接固定有连接杆二（733），两个所述连接杆二（733） 背离连接轴二（732） 的一端转动连接有与齿轮四啮合传动的齿条二（734），所述驱动组件二（740） 包括与面板二（520） 固定连接的支撑板三（741），所述支撑板三（741） 的顶 面转动连接有两个连接轴三（742），所述连接轴三（742） 的外侧套接固定有连接杆三（743），两个所述连接杆三（743） 背离连接轴三（742） 的一端转动连 接有与齿轮四啮合传动的齿条三（744）。

8.根据权利要求 7 所述的一种半导体测试设备,其特征在于，所述连接轴 二（732）位于支撑板二（731） 内部的外侧壁固定连接有扇形块二，所述支撑 板二（731） 的顶面开设有与对应位置扇形块二滑动连接的扇形槽二，所述连接 轴三（742） 位于支撑板三（741）内部的外侧壁固定连接有扇形块三，所述支 撑板三（741） 的顶面开设有与对应位置扇形块三滑动连接的扇形槽三。

9.根据权利要求 1 所述的一种半导体测试设备,其特征在于，所述连接柱 （530） 的顶面开设有圆形盲孔，所述圆形盲孔的内侧壁滑动插接有滑杆，且滑 杆的顶面与顶板的底面固定连接。

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