KR100936043B1

KR100936043B1 - 회로 또는 회로 소자의 측정방법 및 검사방법과, 회로 또는 회로 소자 검사장치

Info

Publication number: KR100936043B1
Application number: KR1020020026350A
Authority: KR
Inventors: 히로키마사아키
Original assignee: 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼
Priority date: 2001-05-15
Filing date: 2002-05-14
Publication date: 2010-01-08
Also published as: US6891391B2; CN1837838A; CN1288734C; US8193827B2; KR20020087360A; US20050218926A1; CN1837838B; US20150309086A1; TWI264074B; CN1385888A; US20020173060A1; JP2002340989A; US20120235179A1

Abstract

배선 또는 프로브 단자 상에 프로브를 세트할 필요성을 없앰으로써 검사 공정을 간략화하는 검사방법 및 이 검사 방법을 행하기 위한 검사장치가 제공된다. 각각의 피검사 회로 또는 회로 소자에 전압을 인가하여 그 회로 또는 회로 소자를 동작시키고, 동작 중에 그 회로 또는 회로 소자로부터의 출력에 대해 신호 처리를 행하여, 회로 또는 회로 소자의 동작 상태에 대한 정보를 포함하는 신호(동작 정보 신호)를 형성한다. 이 동작 정보 신호를 증폭시키고, 증폭된 동작 정보 신호에 의해, 별도로 입력된 교류 전압의 진폭을 변조한다. 변조된 교류의 전압을 비접촉으로 판독하여, 대응하는 회로 또는 회로 소자의 결함 여부가 판정한다.

측정방법, 검사방법, 검사장치, 파형 정형 회로,

Description

회로 또는 회로 소자의 측정방법 및 검사방법과, 회로 또는 회로 소자 검사장치{Measuring method and inspection method of a circuit or a circuit element, and a device for inspecting a circuit or a circuit element}

도 1(A) 및 도 1(B)는 검사 기판과 소자 기판의 상면도.

도 2는 검사 기판과 소자 기판의 블록도.

도 3(A) 및 도 3(B)는 코일의 확대도.

도 4(A) 및 도 4(B)는 검사시의 검사 기판과 소자 기판의 사시도.

도 5는 파형 정형 회로의 회로도.

도 6은 정류 회로의 회로도.

도 7(A) 및 도 7(B)는 AC 전류의 정류에 의해 맥류로서 얻어지는 신호의 경시(經時) 변화를 나타내는 도면.

도 8(A)∼도 8(C)는 맥류의 가산에 의해 얻어지는 DC 신호의 경시 변화를 나타내는 도면.

도 9는 검사 전용 회로의 회로도.

도 10은 출력 패드를 가진 검사 전용 회로의 회로도.

도 11은 액정 표시장치의 소자 기판의 블록도.

도 12는 OLED 표시장치의 소자 기판의 블록도.

도 13은 대형 소자 기판의 상면도.

도 14는 대형 소자 기판의 상면도.

도 15는 본 발명에 따른 검사 공정의 흐름을 나타내는 플로차트.

도 16(A)∼도 16(D)는 코일의 상면도 및 단면도.

도 17은 검사장치의 블록도.

도 18(A) 및 도 18(B)는 정류 회로의 회로도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

411: 신호선 구동회로 412: 주사선 구동회로

413: 화소부 419: 검사 전용 회로

421: 변조 회로 452: AC 전원

453: 검사부 454: 검사 기판

455:소자 기판 457: 입력용 2차 코일

458: 입력용 1차 코일 460: 측정부

470, 471: 트랜지스터 472: 버퍼

473: A/D 변환 회로 474: 데이터 포맷부

본 발명은, 반도체장치의 회로 또는 회로 소자를 동작시키고 이 회로 또는 회로 소자로부터의 출력을 판독하는 측정방법과, 이 측정방법을 사용하여 화소부가 정상으로 동작하는지 여부를 검사하는 방법에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 비접촉형 검사방법과 이 비접촉형 검사방법을 사용하는 비접촉형 검사장치에 관한 것이다. 본 발명은 또한, 상기 검사방법을 사용하는 검사 공정을 포함하는 반도체장치 제조방법과, 이 제조방법을 사용하여 제조되는 반도체장치에 관한 것이다. 또한, 본 발명은, 상기 검사방법을 사용하는 검사 공정을 포함하는 소자 기판의 제조방법과, 이 제조방법을 사용하여 제조되는 소자 기판에 관한 것이다.

최근, 절연 표면을 가진 기판 상에 형성된 반도체막(대략 수 나노미터 내지 수백 나노미터의 두께를 가짐)을 사용하여 박막트랜지스터(TFT)를 형성하는 기술이 주목받고 있다. 이것은 반도체장치의 범주에 포함되는 액티브 매트릭스형 반도체 표시장치에 대한 수요가 증가하고 있기 때문이다. 액티브 매트릭스형 반도체 표시장치의 대표적인 예로서, 액정 표시장치, 유기 발광 다이오드(OLED) 표시장치 및 디지털 마이크로미러 장치(DMD)가 있다.

결정 구조를 가지는 반도체막을 활성층으로서 사용한 TFT(결정성 TFT)에서는 높은 이동도가 달성될 수 있기 때문에, 하나의 기판 상에 집적화된 기능 회로들을 가지는 상기한 종류의 TFT를 형성함으로써 고정세한 화상 표시가 가능한 액티브 매트릭스형 반도체 표시장치를 실현할 수 있다.

액티브 매트릭스형 반도체 표시장치는 다양한 제작공정을 행함으로써 완성된다. 예를 들어, 액티브 매트릭스형 액정 표시장치를 제조하기 위한 필수 공정들은, 반도체막의 형성 및 패턴 형성을 행하는 패턴 형성 공정, 컬러 표시를 실현하기 위한 컬러 필터 형성 공정, 반도체를 포함하는 장치들을 가지는 소자 기판과 대향 전극을 가지는 대향 기판 사이에 액정을 봉입하여 액정 패널을 형성하는 셀 조립 공정, 및 이 셀 조립 공정에서 조립된 액정 패널에 그 액정 패널을 동작시키기 위한 구동부품과 백라이트를 부착함으로써 액정 표시장치를 완성시키는 모듈 조립 공정이다.

보통은, 상기 공정들 각각이 검사 단계를 포함하는데, 검사 단계들에 대한 요건은 액정 표시장치의 종류에 따라 다소 차이가 있다. 제품으로서 완성되기 전에 제조 공정의 초기 단계에서 결함이 제거될 수 있다면, 결함 패널에 대해 후속 공정들의 실행이 피해질 수 있기 때문에, 검사 단계는 제조 비용을 절감하는데 매우 효과적이다.

패턴 형성 공정은 그의 검사 단계들 중 하나로서 패턴 형성 후의 결함 검사를 포함한다.

패턴 형성 후의 결함 검사는, 패턴 형성 후에, 반도체막, 절연막 및 배선 패턴(이하, 간단히 패턴이라 함)의 폭 편차로 인해 동작 불량이 일어나는 부분, 또는 먼지 또는 성막 결함으로 인해 배선이 끊어지거나 단락되는 부분을 검출하거나, 또는 검사 대상 회로 또는 회로 소자가 정상으로 동작하는지 여부를 확인하기 위한 검사이다.

이러한 결함 검사를 위한 방법은 광학식 검사방법과 프로브(probe) 검사방법으로 크게 나누어질 수 있다.

광학식 검사방법은, 기판 상에 형성된 패턴을 CCD 등으로 판독하고 이 판독된 패턴을 기준 패턴과 비교하여 불량 부분(결함)을 식별하는 방법이다. 프로브 검사방법은, 기판 측의 단자 상에 미세한 핀(프로브)들을 배치하고 이 프로브들 사이의 전류 또는 전압을 측정함으로써 양부(良否)를 판정하는 방법이다. 일반적으로, 전자(前者)는 비접촉형 검사방법으로 불리고, 후자는 촉침형(contact stylus type) 검사방법으로 불린다.

상기 검사방법들 중 어느 하나를 사용하여 소자 기판의 양부를 판정할 수 있지만, 각각의 검사방법은 장점과 단점을 모두 가지고 있다.

광학식 검사방법은, 다수의 적층 패턴의 형성 완료 후에 검사를 행하는 경우 하부 층의 각 패턴을 식별하는 것이 어렵고, 따라서, 결함부의 검출을 행함으로써 회로 또는 회로 소자의 양부를 판정하는 것이 어렵다는 문제가 있다. 이 문제를 피하기 위해, 하나의 패턴을 형성할 때마다 검사를 행할 수 있으나, 그러한 경우에는, 검사 단계가 복잡해지고, 전체 제조 공정을 실행하는데 필요한 시간이 증가한다. 프로브 검사방법은, 프로브들이 배선 또는 프로브 단자 상에 직접 배치되는 경우, 배선 또는 프로브 단자가 긁혀 미세한 먼지를 발생할 우려가 있다는 문제가 있다. 검사 단계 중에 발생된 먼지는 후속 공정들에서 바람직하지 않은 결과, 즉, 생산성 저하의 원인이 된다.

본 발명은 상기한 문제들을 감안하여 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 배선 또는 프로브 단자 상에 프로브를 배치할 필요가 없는 더욱 간편한 검사방법과, 이 검사방법을 사용하는 검사장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 발명자들은 프로브를 배치하지 않고 전자(電磁) 유도에 의해 배선내에 기전력을 발생시킴으로써 소자 기판상의 배선에 전류를 흐르게 할 수 있다는 것을 착안하였다.

구체적으로는, 소자 기판의 검사를 위한 기판(검사 기판)을 별도로 준비한다. 이 검사 기판은 입력용 1차 코일(본 명세서에서는 "입력용 1차 코일" 또는 "제1의 1차 코일"이라 칭함)과 출력용 2차 코일(이하, "출력용 2차 코일" 또는 "제2의 2차 코일"이라 칭함)을 가지고 있다. 검사될 소자 기판은 입력용 2차 코일(이하, "입력용 2차 코일" 또는 "제1의 2차 코일"이라 칭함)과 출력용 1차 코일(이하, "출력용 1차 코일" 또는 "제2의 1차 코일"이라 칭함)을 가지고 있다.

입력용 1차 코일들, 입력용 2차 코일들, 출력용 1차 코일들 및 출력용 2차 코일들 각각은 기판 상에 형성된 전도성 막을 패터닝하여 형성될 수 있다. 본 발명에서, 입력용 1차 코일들, 입력용 2차 코일들, 출력용 1차 코일들 및 출력용 2차 코일들 각각으로서 사용되는 코일은 자기(磁氣) 경로를 형성하기 위해 중심에 자성체를 가지는 코일이 아니라 중심에 자성체가 없는 코일이다.

검사 기판 상에 제공된 입력용 1차 코일과 소자 기판 상에 제공된 입력용 2차 코일은 그들 사이에 소정의 간격을 두고 서로 중첩되어 있고, 교류 전압(AC 전압)이 각각의 입력용 1차 코일의 한 쌍의 단자 사이에 인가되어, 대응하는 입력용 2차 코일의 한 쌍의 단자 사이에 기전력을 발생시킨다.

입력용 1차 코일과 입력용 2차 코일 사이의 간격은 최소로 하는 것이 바람직하다. 입력용 1차 코일과 입력용 2차 코일의 간격이 제어될 수 있는 한 입력용 1차 코일과 입력용 2차 코일은 서로 더 가까이 배치되는 것이 바람직하다.

본 명세서에서, 코일에의 전압의 인가는 코일의 단자 쌍 사이에 전압을 인가하는 것과 같고, 코일에의 신호의 입력은 코일의 단자 쌍 사이에 신호 전압을 인가하는 것과 같다.

입력용 2차 코일에 기전력으로서 발생된 교류 전압은 소자 기판 상에 제공된 회로 또는 회로 소자를 구동시키기 위해 사용되는 DC 전압("전원 전압"이라고 칭함)을 얻기 위해 소자 기판 상의 회로에서 적절히 정류되고 평활화될 수도 있다. 또한, 입력용 2차 코일에 기전력으로서 발생된 교류 전압의 파형은 소자 기판 상에 제공된 회로 또는 회로 소자를 구동시키기 위해 사용되는 전압을 가지는 신호("구동 신호"라 칭함)를 형성하기 위해 파형 정형 회로 등에 의해 적절히 정형(整形)될 수도 있다.

이렇게 하여 얻어진 구동 신호 또는 전원 전압은 소자 기판 상에 형성된 회로 또는 회로 소자에 공급된다. 이 회로 또는 회로 소자는 구동 신호 또는 전원 전압에 의해 소정 방식으로 동작한다. 검사 대상 회로 또는 회로 소자의 일부로부터의 출력은, 전체가 소자 기판 상에 제공된 검사 전용 회로에 공급된다.

각각의 회로 또는 회로 소자 내의 임의의 지점에서의 전압은 그 전압에 의해 회로 또는 회로 소자가 정상으로 동작하고 있는지의 여부에 대한 확인이 가능하다면 회로 또는 회로 소자로부터의 출력으로서 검사 전용 회로에 입력될 수도 있다.

입력용 2차 코일에 기전력으로서 발생된 AC 전압도 검사 전용 회로에 입력된다. 검사 전용 회로는 주로, 검사 대상 회로 또는 회로 소자의 동작 상태에 대한 정보를 포함하는 신호(동작 정보 신호)를 얻기 위해 검사 대상 회로 또는 회로 소자로부터의 출력에 대한 신호 처리를 행하는 수단 1과, 동작 정보 신호를 증폭시키는 수단 2, 및 증폭된 동작 정보 신호를 사용하여 검사 전용 회로로 입력되는 AC 전압의 진폭을 변조하고, 그 변조된 진폭의 전압을 출력하는 수단 3으로 구성된다. 본 명세서에서, AC 전압을 가지는 신호를 "AC 신호"라 칭하고, 변조된 상태의 AC 신호를 "변조 신호"라 칭한다.

동작 정보 신호를 증폭시키는 수단 2를 제공하는 것은 반드시 필요한 것은 아니다. 본 명세서에서, 증폭된 동작 정보 신호를 사용하여 검사 전용 회로에 입력되는 AC 전압의 진폭을 변조하고, 그 변조된 진폭을 출력하는 수단 3을 "변조 회로"라 칭한다.

검사 전용 회로로부터 출력된 각각의 AC 변조 신호는 소자 기판 상에 제공된 출력용 1차 코일들 중 대응하는 코일의 단자 쌍 중 하나에 공급된다. 출력용 1차 코일의 다른 단자에는 일정한 전압이 인가된다. 소자 기판 상에 제공되고 상기 신호와 전압이 공급되는 출력용 1차 코일과 검사 기판 상에 제공된 출력용 2차 코일은 그들 사이에 소정의 간격을 두고 서로 중첩되어 있어, 출력용 2차 코일의 단자 쌍들 사이에 기전력을 발생시킨다.

출력용 1차 코일과 출력용 2차 코일 사이의 간격은 최소로 하는 것이 바람직하다. 출력용 1차 코일과 출력용 2차 코일 사이의 간격이 제어될 수 있는 한 출력용 1차 코일과 출력용 2차 코일은 서로 더 가까이 위치하는 것이 바람직하다.

각각의 출력용 2차 코일의 단자 쌍 중 하나에는 일정한 전압이 인가된다. 출력용 2차 코일의 다른 단자의 전압값은 변조 신호의 전압에 의해 결정된다. 따라서, 대응하는 검사 대상 회로 또는 회로 소자가 정상으로 동작하는 지의 여부를 출력용 2차 코일의 다른 단자의 전압값으로부터 확인하는 것이 가능하다.

검사 전용 회로에 입력되는 AC 전압의 주파수가 증가하면, 검사 전용 회로로부터 출력용 1차 코일의 단자에 공급되는 변조 신호의 주파수도 증가한다. 각 코일의 임피던스는, 예를 들어, 감김수와 코일 사이즈를 포함하는 코일 디자인 및 코일에 입력되는 신호의 주파수와 같은 다양한 요소들에 의해 결정된다. 따라서, 검사 전용 회로로 입력되는 변조 전의 AC 전압의 주파수는 코일 임피던스 값의 결정에 필수적인 여러 요소들을 고려하여 결정되는 것이 바람직하다.

각각의 동작 정보 신호는 대응하는 검사 대상 회로 또는 회로 소자의 동작 상태에 따라 어떤 경우에는 DC 성분을 가질 수도 있다. 동작 정보 신호가 DC 성분을 가지는 경우에도, 동작 정보 신호에 의한 변조에 의해 형성되는 AC 변조 신호를 출력용 1차 코일의 단자에 공급함으로써 양부(良否)에 대한 정보를 포함하는 기전력을 출력용 2차 코일의 단자들 사이에 생성시킬 수 있다.

화소의 동작 상태를 2개의 그룹, 즉, 양부(良否)로 나누는 것이 반드시 필요한 것은 아니고, 화소들을 동작 상태에 따라 다수의 등급으로 분류할 수도 있다.

입력용 1차 코일과 출력용 2차 코일을 동일한 검사 기판 상에 제공하는 것이 반드시 필요한 것은 아니다. 입력용 1차 코일과 출력용 2차 코일은 상이한 기판 상에 각각 형성될 수도 있다.

회로 또는 회로 소자가 구동될 때 이 회로 또는 회로 소자로부터 발생되는 약한 전자파 또는 전계를 모니터하여, 출력용 1차 코일과 출력용 2차 코일을 사용하지 않고 다수의 회로 또는 회로 소자에서 정상적으로 동작하지 않는 부분을 검출할 수도 있다.

그러한 경우, 전자파 또는 전계에 대한 각종 정보 중 임의의 정보가 모니터되고 사용될 수 있다. 구체적으로는, 전자파 또는 전계에 대한 정보로서, 주파수, 위상, 세기, 시간 등을 여러 차원에서 수집하는 것이 가능하다. 본 발명에 따르면, 다수의 회로 또는 회로 소자에서 정상으로 동작하지 않는 부분의 검출을 가능하게 한다면 전자파 또는 전계에 대한 정보 중 임의의 종류의 정보가 사용될 수도 있다.

각각의 회로 또는 회로 소자에서 발생되는 약한 전자파 또는 전계를 모니터하는 방법으로서 공지의 방법이 사용될 수도 있다.

본 발명의 상기한 구성들은 프로브를 배선 또는 단자 상에 직접 배치하지 않고 각각의 검사 대상 회로 또는 회로 소자의 결함부의 검출 및 양부의 판정을 가능하게 한다. 프로브를 배치할 때 발생되는 미세 먼지의 문제를 제거하여, 후속 공정에서의 수율 감소를 방지한다. 본 발명의 검사방법은 광학식 검사방법과는 달리, 하나의 검사 단계에 의해 모든 패턴 형성 단계의 양부 판단을 가능하게 함으로써, 검사 단계를 간략화한다.

이하, 본 발명의 구성을 더 상세히 설명한다.

본 발명은, 회로 또는 회로 소자에 비접촉으로 전압을 인가하여 회로 또는 회로 소자를 동작시키는 단계와; 회로 또는 회로 소자로부터 출력된 전압을 비접촉으로 판독하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 회로 또는 회로 소자 측정방법에 관한 것이다.

본 발명은 상기 측정방법에 의해 판독되는 회로 또는 회로 소자로부터 출력된 전압을 사용하여 회로 또는 회로 소자의 동작 상태를 검사하는 것을 특징으로 할 수도 있다.

또한, 본 발명은, 회로 또는 회로 소자에 비접촉으로 전압을 인가하여 회로 또는 회로 소자를 동작시키는 단계; 회로 또는 회로 소자들로부터 출력된 전압을 사용하여 AC 전압을 변조하여, 변조된 신호를 생성하는 단계; 및 그 변조된 신호의 전압을 비접촉으로 판독하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 회로 또는 회로 소자 측정방법에 관한 것이다.

본 발명은 상기 측정방법에 의해 판독되는 변조된 신호의 전압을 사용하여 회로 또는 회로 소자의 동작 상태를 검사하는 것을 특징으로 할 수도 있다.

또한, 본 발명은, 회로 또는 회로 소자에 비접촉으로 전압을 인가하여 회로 또는 회로 소자를 동작시키는 단계; 회로 또는 회로 소자로부터 출력된 전압을 비접촉으로 판독하는 단계; 및 회로 또는 회로 소자의 동작 상태를 검사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 회로 또는 회로 소자 검사방법에 관한 것이다.

또한, 본 발명은, 회로 또는 회로 소자에 비접촉으로 전압을 인가하여 회로 또는 회로 소자를 동작시키는 단계; 회로 또는 회로 소자로부터 출력된 전압을 사용하여 AC 전압을 변조하여, 변조된 신호를 생성하는 단계; 및 그 변조된 신호의 전압을 비접촉으로 판독하는 단계, 및 회로 또는 회로 소자의 동작 상태를 검사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 회로 또는 회로 소자 검사방법에 관한 것이다.

또한, 본 발명은, 제1 코일의 한 쌍의 단자 사이에 제1 AC 전압을 인가하는 단계; 제1 코일과 제2 코일을 그들 사이에 소정의 간격을 두고 중첩시키는 단계; 제2 코일의 한 쌍의 단자 사이에 발생된 제2 AC 전압으로부터 회로 또는 회로 소자를 동작시키는 신호를 생성하는 단계; 그 신호를 회로 또는 회로 소자에 입력하여 회로 또는 회로 소자를 동작시키는 단계; 회로 또는 회로 소자로부터 출력된 전압을 사용하여 제3 AC 전압을 변조하여, 변조된 신호를 생성하는 단계; 그 변조된 신호의 전압을 제3 코일의 한 쌍의 단자 사이에 인가하는 단계; 제3 코일과 제4 코일을 그들 사이에 소정의 간격을 두고 중첩시키는 단계; 및 제4 코일의 한 쌍의 단자 사이에 발생된 제4 AC 전압을 통해 회로 또는 회로 소자의 동작 상태를 검사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 회로 또는 회로 소자 검사방법에 관한 것이다.

또한, 본 발명은, 제1 코일의 한 쌍의 단자 사이에 제1 AC 전압을 인가하는 단계; 제1 코일과 제2 코일을 그들 사이에 소정의 간격을 두고 중첩시키는 단계; 제2 코일의 한 쌍의 단자 사이에 발생된 제2 AC 전압을 정류하거나 회로 또는 회로 소자에 인가될 전압의 파형을 정형하여 회로 또는 회로 소자를 동작시키는 단계; 회로 또는 회로 소자로부터 출력된 전압을 사용하여 제3 AC 전압을 변조하여, 변조된 신호를 생성하는 단계; 그 변조된 신호의 전압을 제3 코일의 한 쌍의 단자 사이에 인가하는 단계; 제3 코일과 제4 코일을 그들 사이에 소정의 간격을 두고 중첩시키는 단계; 및 제4 코일의 한 쌍의 단자 사이에 발생된 제4 AC 전압을 통해 회로 또는 회로 소자의 동작 상태를 검사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 회로 또는 회로 소자 검사방법에 관한 것이다.

본 발명은 제3 AC 전압의 주파수가 제1 AC 전압의 주파수보다 높은 것을 특징으로 할 수도 있다.

또한, 본 발명은, 다수의 제1 코일의 단자 쌍들 사이에 위상이 다른 제1 AC 전압을 인가하고 다수의 제1 코일과 다수의 제2 코일을 그들 사이에 소정의 간격을 두고 중첩시킴으로써 다수의 제2 코일의 단자 쌍들 사이에 위상이 다른 AC 전압을 발생시키는 단계; 다수의 제2 코일의 단자 쌍들 사이에 발생되고 위상이 다른 AC 전압들을 정류하고 그 정류된 AC 전압들을 인가함으로써 DC 전압을 발생시키는 단계; 제3 코일의 한 쌍의 단자 사이에 제2 AC 전압을 인가하고 제3 코일과 제4 코일을 그들 사이에 소정의 간격을 두고 중첩시킴으로써 제4 코일의 한 쌍의 단자 사이에 AC 전압을 발생시키는 단계; DC 전압을 회로 또는 회로 소자에 인가하여, 회로 또는 회로 소자로부터 출력된 전압을 사용하여 제4 코일의 한 쌍의 단자 사이에 발생된 AC 전압을 변조하는 단계; 그 변조된 AC 전압을 제5 코일의 한 쌍의 단자 사이에 인가하고 제5 코일과 제6 코일을 그들 사이에 소정의 간격을 두고 중첩시킴으로써 제6 코일의 한 쌍의 단자 사이에 AC 전압을 발생시키는 단계; 및 제6 코일에 발생된 AC 전압을 통해 회로 또는 회로 소자의 동작 상태를 검사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 회로 또는 회로 소자 검사방법에 관한 것이다.

본 발명은, 다수의 제1 코일, 제3 코일 및 제6 코일이 제1 절연 표면 상에 형성되고, 회로 또는 회로 소자, 다수의 제2 코일, 제4 코일 및 제5 코일이 제2 절연 표면 상에 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.

본 발명은, 제2 AC 전압의 주파수가 제1 AC 전압의 주파수보다 높은 것을 특징으로 할 수도 있다.

본 발명은, 다수의 제1 코일, 다수의 제2 코일, 제3 코일, 제4 코일, 제5 코일 및 제6 코일이 동일 평면을 따라 형성된 배선들을 가지고, 이 배선들이 나선 형상인 것을 특징으로 할 수도 있다.

또한, 본 발명은, 다수의 제1 코일의 단자 쌍들 사이에 위상이 다른 제1 AC 전압을 인가하고 다수의 제1 코일과 다수의 제2 코일을 그들 사이에 소정의 간격을 두고 중첩시킴으로써, 다수의 제2 코일의 단자 쌍들 사이에 위상이 다른 AC 전압을 발생시키는 단계; 다수의 제2 코일의 단자 쌍들 사이에 발생되고 위상이 다른 AC 전압을 정류하고 그 정류된 AC 전압들을 인가함으로써 DC 전압을 발생시키는 단계; 제3 코일의 한 쌍의 단자 사이에 제2 AC 전압을 인가하고 제3 코일과 제4 코일을 그들 사이에 소정의 간격을 두고 중첩시킴으로써 제4 코일의 한 쌍의 단자 사이에 AC 전압을 발생시키는 단계; 제4 코일의 한 쌍의 단자 사이에 발생된 AC 전압의 파형을 정형하여 회로 또는 회로 소자를 구동시키는 전압을 발생시키는 단계; 제5 코일의 한 쌍의 단자 사이에 제3 AC 전압을 인가하고 제5 코일과 제6 코일을 그들 사이에 소정의 간격을 두고 중첩시킴으로써 제6 코일의 한 쌍의 단자 사이에 AC 전압을 발생시키는 단계; 회로 또는 회로 소자를 구동시키는 전압 및 DC 전압을 회로 또는 회로 소자에 인가함으로써, 회로 또는 회로 소자로부터 출력된 전압을 사용하여 제6 코일의 한 쌍의 단자 사이에 발생된 AC 전압을 변조하는 단계; 그 변조된 AC 전압을 제7 코일의 한 쌍의 단자 사이에 인가하고 제7 코일과 제8 코일을 그들 사이에 소정의 간격을 두고 중첩시킴으로써 제8 코일의 한 쌍의 단자 사이에 AC 전압을 발생시키는 단계; 및 제8 코일에 발생된 AC 전압을 통해 회로 또는 회로 소자의 동작 상태를 검사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 회로 또는 회로 소자 검사방법에 관한 것이다.

본 발명은, 다수의 제1 코일, 제3 코일, 제5 코일 및 제8 코일이 제1 절연 표면 상에 형성되고, 회로 또는 회로 소자, 다수의 제2 코일, 제4 코일, 제6 코일 및 제7 코일이 제2 절연 표면 상에 형성되는 것을 특징으로 할 수도 있다.

본 발명은, 제3 AC 전압의 주파수가 제1 AC 전압 또는 제2 AC 전압의 주파수 보다 높은 것을 특징으로 할 수도 있다.

본 발명은, 다수의 제1 코일, 다수의 제2 코일, 제3 코일, 제4 코일, 제5 코일, 제6 코일, 제7 코일 및 제8 코일이 동일 평면을 따라 형성된 배선들을 가지고, 이 배선들이 나선 형상인 것을 특징으로 할 수도 있다.

또한, 본 발명은, 제1 코일의 한 쌍의 단자 사이에 제1 AC 전압을 인가하고 제1 코일 및 제2 코일을 그들 사이에 소정의 간격을 두고 중첩시킴으로써 제2 코일의 한 쌍의 단자 사이에 AC 전압을 발생시키는 단계; 제2 코일의 한 쌍의 단자 사이에 발생된 AC 전압의 파형을 정형하여 회로 또는 회로 소자를 구동시키는 전압을 발생시키는 단계; 제3 코일의 한 쌍의 단자 사이에 제2 AC 전압을 인가하고 제3 코일과 제4 코일을 그들 사이에 소정의 간격을 두고 중첩시킴으로써 제4 코일의 한 쌍의 단자 사이에 AC 전압을 발생시키는 단계; 회로 또는 회로 소자를 구동시키는 전압을 회로 또는 회로 소자에 인가하여 회로 또는 회로 소자로부터 출력된 전압을 사용하여 제4 코일의 한 쌍의 단자 사이에 발생된 AC 전압을 변조하는 단계; 그 변조된 AC 전압을 제5 코일의 한 쌍의 단자 사이에 인가하고 제5 코일과 제6 코일을 그들 사이에 소정의 간격을 두고 중첩시킴으로써 제6 코일의 한 쌍의 단자 사이에 AC 전압을 발생시키는 단계; 및 제6 코일에 발생된 AC 전압을 통해 회로 또는 회로 소자의 동작 상태를 검사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 회로 또는 회로 소자 검사방법에 관한 것이다.

본 발명은, 제1 코일, 제3 코일 및 제6 코일이 제1 절연 표면 상에 형성되고, 회로 또는 회로 소자, 제2 코일, 제4 코일 및 제5 코일이 제2 절연 표면 상에 형성되는 것을 특징으로 할 수도 있다.

본 발명은, 제1 코일, 제2 코일, 제3 코일, 제4 코일, 제5 코일 및 제6 코일이 동일 평면을 따라 형성된 배선들을 가지고, 이 배선들이 나선 형상인 것을 특징으로 할 수도 있다.

본 발명은, 제1 절연 표면과 제2 절연 표면 사이의 간격이 제1 절연 표면과 제2 절연 표면 사이에 유체를 흐르게 함으로써 제어되는 것을 특징으로 할 수도 있다.

또한, 본 발명은, 소자 기판 상에 제공된 회로 또는 회로 소자를 검사하는 장치로서, 제1의 1차 코일; 제2의 2차 코일; 소자 기판 상에 제공된 제1의 1차 코일과 제1의 2차 코일을 이들 코일 사이에 소정의 간격을 두고 중첩시키는 수단; 소자 기판 상에 제공된 제2의 1차 코일과 제2의 2차 코일을 이들 코일 사이에 소정의 간격을 두고 중첩시키는 수단; 제1의 1차 코일의 한 쌍의 단자 사이에 AC 전압을 인가하는 수단; 및 제2의 2차 코일의 한 쌍의 단자 사이에 발생된 AC 전압을 통해 회로 또는 회로 소자의 동작 상태를 검사하응 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 회로 또는 회로 소자 검사장치에 관한 것이다.

또한, 본 발명은, 소자 기판 상에 제공된 회로 또는 회로 소자를 검사하는 장치로서, 제1의 1차 코일; 제2의 2차 코일; 소자 기판 상에 제공된 제1의 1차 코일과 제1의 2차 코일을 이들 코일 사이에 소정의 간격을 두고 중첩시키는 수단; 소자 기판 상에 제공된 제2의 1차 코일과 제2의 2차 코일을 이들 코일 사이에 소정의 간격을 두고 중첩시키는 수단; 제1의 1차 코일의 한 쌍의 단자 사이에 AC 전압을 인가하는 수단; 제2의 2차 코일의 한 쌍의 단자 사이에 발생된 AC 전압을 증폭시키거나 완충 증폭시키는 수단; 및 이 증폭되거나 완충 증폭된 AC 전압을 통해 회로 또는 회로 소자의 동작 상태를 검사하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 회로 또는 회로 소자 검사장치에 관한 것이다.

또한, 본 발명은, 소자 기판 상에 제공된 회로 또는 회로 소자를 검사하는 장치로서, 제1의 1차 코일; 제2의 2차 코일; 소자 기판 상에 제공된 제1의 1차 코일과 제1의 2차 코일을 이들 코일 사이에 소정의 간격을 두고 중첩시키는 수단; 소자 기판 상에 제공된 제2의 1차 코일과 제2의 2차 코일을 이들 코일 사이에 소정의 간격을 두고 중첩시키는 수단; 제1의 1차 코일의 한 쌍의 단자 사이에 AC 전압을 인가하는 수단; 제2의 2차 코일의 한 쌍의 단자 사이에 발생된 AC 전압을 통해 회로 또는 회로 소자의 동작 상태를 검사하는 수단을 포함하고, 제2의 2차 코일의 한 쌍의 단자 사이에 발생된 AC 전압은 회로 또는 회로 소자의 동작 상태 또는 결함부의 위치에 대한 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 회로 또는 회로 소자 검사장치에 관한 것이다.

또한, 본 발명은, 소자 기판 상에 제공된 회로 또는 회로 소자를 검사하는 장치로서, 제1의 1차 코일; 제2의 2차 코일; 소자 기판 상에 제공된 제1의 1차 코일과 제1의 2차 코일을 이들 코일 사이에 소정의 간격을 두고 중첩시키는 수단; 소자 기판 상에 제공된 제2의 1차 코일과 제2의 2차 코일을 이들 코일 사이에 소정의 간격을 두고 중첩시키는 수단; 제1의 1차 코일의 한 쌍의 단자 사이에 AC 전압을 인가하는 수단; 제2의 2차 코일의 한 쌍의 단자 사이에 발생된 AC 전압을 증폭시키거나 완충 증폭시키는 수단; 및 그 증폭되거나 완충 증폭된 AC 전압을 통해 회로 또는 회로 소자의 동작 상태를 검사하는 수단을 포함하고, 증폭되거나 완충 증폭된 AC 전압은 회로 또는 회로 소자의 동작 상태 또는 결함부의 위치에 대한 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 회로 또는 회로 소자 검사장치에 관한 것이다.

본 발명은, 제1의 1차 코일과 제1의 2차 코일 사이의 간격이 이 제1의 1차 코일과 제1의 2차 코일 사이에 유체를 흐르게 함으로써 제어되는 것을 특징으로 할 수도 있다.

본 발명은, 제2의 1차 코일과 제2의 2차 코일 사이의 간격이 이 제2의 1차 코일과 제2의 2차 코일 사이에 유체를 흐르게 함으로써 제어되는 것을 특징으로 할 수도 있다.

본 발명은, 제1의 1차 코일이 동일 평면을 따라 형성된 배선을 가지고, 이 배선이 나선 형상인 것을 특징으로 할 수도 있다.

본 발명은, 제2의 2차 코일이 동일 평면을 따라 형성된 배선을 가지고, 이 배선이 나선 형상인 것을 특징으로 할 수도 있다.

또한, 본 발명은, 회로 또는 회로 소자를 제조하는 공정; 제조 후에 회로 또는 회로 소자에 비접촉으로 전압을 인가하여 회로 또는 회로 소자를 동작시키는 공정; 회로 또는 회로 소자로부터 출력된 전압을 비접촉으로 판독하는 공정; 및 회로 또는 회로 소자의 동작 상태를 검사하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체장치 제조방법에 관한 것이다.

또한, 본 발명은, 회로 또는 회로 소자를 제조하는 공정; 제조 후에 회로 또는 회로 소자에 비접촉으로 전압을 인가하여 회로 또는 회로 소자를 동작시키는 공정; 회로 또는 회로 소자로부터 출력된 전압을 사용하여 AC 전압을 변조하여, 변조된 신호를 생성하는 공정; 그 변조된 신호를 비접촉으로 판독하는 공정; 및 회로 또는 회로 소자의 동작 상태를 검사하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체장치 제조방법에 관한 것이다.

또한, 본 발명은, 회로 또는 회로 소자, 제1 코일, 제2 코일, 제3 코일 및 제4 코일을 제조하는 공정; 제조 후에 제1 코일의 한 쌍의 단자 사이에 제1 AC 전압을 인가하는 공정; 제1 코일과 제2 코일을 그들 사이에 소정의 간격을 두고 중첩시키는 공정; 제2 코일의 한 쌍의 단자 사이에 발생된 제2 AC 전압으로부터 회로 또는 회로 소자를 동작시키는 신호를 생성하는 공정; 그 신호를 회로 또는 회로 소자에 입력하여 회로 또는 회로 소자를 동작시키는 공정; 회로 또는 회로 소자로부터 출력된 전압을 사용하여 제3 AC 전압을 변조하여, 변조된 신호를 형성하는 공정; 그 변조된 신호의 전압을 제3 코일의 한 쌍의 단자 사이에 인가하는 공정; 제3 코일과 제4 코일을 그들 사이에 소정의 간격을 두고 중첩시키는 공정; 및 제4 코일의 한 쌍의 단자 사이에 발생된 제4 AC 전압을 통해 회로 또는 회로 소자의 동작 상태를 검사하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체장치 제조방법에 관한 것이다.

또한, 본 발명은, 회로 또는 회로 소자; 회로 또는 회로 소자에 비접촉으로 전압을 인가하는 수단; 회로 또는 회로 소자로부터 출력된 전압을 사용하여 AC 전압을 변조하여, 변조된 신호를 생성하는 수단; 및 그 변조된 신호의 전압을 비접촉으로 출력하는 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 반도체장치에 관한 것이다.

또한, 본 발명은, 회로 또는 회로 소자; 제1 코일을 사용하여 회로 또는 회로 소자에 비접촉으로 전압을 인가하는 수단; 회로 또는 회로 소자로부터 출력된 전압을 사용하여 AC 전압을 변조하여, 변조된 신호를 생성하는 수단; 및 그 변조된 신호의 전압을 제2 코일을 사용하여 비접촉으로 출력하는 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 반도체장치에 관한 것이다.

또한, 본 발명은, 회로 또는 회로 소자; 제1 코일; 제2 코일; 제3 코일; 제1 코일의 한 쌍의 단자 사이에 발생된 제1 AC 전압을 정류하거나 이 전압의 파형을 정형하여 회로 또는 회로 소자에 인가하는 수단; 및 회로 또는 회로 소자로부터 출력된 전압을 사용하여 제2 코일의 한 쌍의 단자 사이에 발생된 제2 AC 전압을 변조하여, 변조된 신호를 생성하고 그 변조된 신호를 제3 코일의 한 쌍의 단자 사이에 인가하는 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 반도체장치에 관한 것이다.

또한, 본 발명은, 회로 또는 회로 소자; 다수의 제1 코일; 제2 코일; 제3 코일; 다수의 제1 코일의 단자 쌍들 사이에 발생된 제1 AC 전압을 정류하고 이 정류된 전압을 인가함으로써 DC 전압을 발생시키고, 그 발생된 DC 전압을 회로 또는 회로 소자에 인가하는 수단; 및 회로 또는 회로 소자로부터 출력된 전압을 사용하여 제2 코일의 한 쌍의 단자 사이에 발생된 제2 AC 전압을 변조하여, 변조된 신호를 생성하고 그 변조된 신호를 제3 코일의 한 쌍의 단자 사이에 인가하는 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 반도체장치에 관한 것이다.

또한, 본 발명은, 회로 또는 회로 소자; 제1 코일; 다수의 제2 코일; 제3 코일; 제4 코일; 제1 코일의 한 쌍의 단자 사이에 발생된 제1 AC 전압을 정류하거나 그 전압의 파형을 정형하여 회로 또는 회로 소자에 인가하는 수단; 다수의 제2 코일의 단자 쌍 사이에 발생된 제2 AC 전압을 정류하고 이 정류된 전압들을 인가함으로써 DC 전압을 발생시키고, 그 발생된 DC 전압을 회로 또는 회로 소자에 인가하는 수단; 및 회로 또는 회로 소자로부터 출력된 전압을 사용하여 제3 코일의 한 쌍의 단자 사이에 발생된 제3 AC 전압을 변조하여, 변조된 신호를 생성하고 그 변조된 신호를 제4 코일의 한 쌍의 단자 사이에 인가하는 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 반도체장치에 관한 것이다.

이하, 본 발명의 실시형태에 대하여 설명한다.

도 1(A)는 본 발명에 따른 검사를 행하기 위해 사용되는 검사 기판의 상면도이고, 도 1(B)는 검사되는 소자 기판의 상면도이다. 본 발명의 일 실시형태에서는, 액정 표시장치의 소자 기판의 검사에 대한 검사방법을 예로 들어 설명한다. 그러나, 본 발명의 검사방법의 사용이 액정 표시장치의 검사에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 검사방법은 반도체를 사용하여 형성되는 반도체장치라면 어떠한 반도체장치에도 사용될 수 있다.

도 1(A)에 도시된 검사 기판은, 입력용 1차 코일 형성부(101), 출력용 2차 코일 형성부(102), 외부 입력 버퍼(103), 외부 출력 버퍼(104), 및 커넥터 접속부(105)가 형성되어 있는 기판(100)을 가지고 있다. 본 명세서에서의 검사 기판은 기판(100)과 이 기판(100) 상에 형성된 전체 회로 또는 회로 소자를 포함한다.

검사 기판 상에 제공된 입력용 1차 코일 형성부(101) 및 출력용 2차 코일 형성부(102)의 수와 배치는 도 1(A)에 나타낸 것에 한정되지 않고, 입력용 1차 코일 형성부(101) 및 출력용 2차 코일 형성부(102)의 수와 배치는 설계자가 자유롭게 설정할 수 있다.

도 1(B)에 도시된 소자 기판은, 신호선 구동회로(111), 주사선 구동회로(112), 화소부(113)와, 인출 배선(114), 커넥터 접속부(115), 파형 정형 또는 정류 회로(116), 입력용 2차 코일 형성부(117), 출력용 1차 코일 형성부(118), 검사 전용 회로(119), 및 코일 배선(120)이 제공되어 있는 기판(110)을 가지고 있다. 인출 배선(114)은 소자 기판 상에 제공된 화소부와 구동회로들에 구동 신호와 전원 전압을 공급하기 위한 배선이다.

소자 기판 상에 제공된 입력용 2차 코일 형성부(117) 및 출력용 1차 코일 형성부(118)의 수와 배치는 도 1(B)에 나타낸 것에 한정되지 않고, 입력용 2차 코일 형성부(117) 및 출력용 1차 코일 형성부(118)의 수와 배치는 설계자가 자유롭게 설정할 수 있다.

커넥터 접속부(115)에는 검사 단계 후의 공정에서 가요성 인쇄회로(FPC), 테이프 자동화 실장(TAB) 도체 등이 접속된다. 검사 후에, 소자 기판은 점선 A-A'로 나타낸 선을 따라 절단되어, 코일 배선(120)이 물리적 및 전기적으로 차단된다.

다음에, 검사 단계에서의 소자 기판과 검사 기판의 동작에 대하여 설명한다. 검사 단계에서의 신호 흐름의 이해를 쉽게 하기 위해, 도 1에 도시된 소자 기판과 검사 기판의 회로의 구조를 도 2에 블록도로 나타내고 있다. 도 1 및 도 2를 참조하여 동작을 설명한다.

검사 기판(204) 상에서, 검사에 사용되는 교류 신호는 신호원(201) 또는 교류 전원(202)으로부터 커넥터 접속부(105)에 접속된 커넥터를 통하여 외부 입력 버퍼(103)에 입력된다. 검사용 AC 신호는 외부 입력 버퍼(103)에 의해 완충 증폭된 후에 입력용 1차 코일 형성부(101)에 입력된다.

도 1 및 도 2에서, 입력 AC 신호는 외부 입력 버퍼(103)에 의해 완충 증폭된 후에 입력용 1차 코일 형성부(101)에 입력된다. 그러나, 본 발명은 이 구성에 한정되는 것은 아니고, AC 신호는 외부 입력 버퍼(103) 없이 입력용 1차 코일 형성부(101)에 직접 입력될 수도 있다.

다수의 입력용 1차 코일은 입력용 1차 코일 형성부(101)에 형성되어 있다. AC 신호는 각각의 입력용 1차 코일의 한 쌍의 단자 사이에 인가된다.

한편, 입력용 1차 코일 형성부(101)의 다수의 입력용 1차 코일에 대응하는 다수의 입력용 2차 코일은 소자 기판(205)의 입력용 2차 코일 형성부(117)에 형성되어 있다. 입력용 1차 코일에 AC 신호가 인가되면, 전자(電磁) 유도에 의해 각각의 입력용 2차 코일의 한 쌍의 단자 사이에 기전력으로서 AC 전압이 발생된다.

각각의 입력용 2차 코일에 발생된 AC 전압은 파형 정형 회로(116a) 또는 정류 회로(116b)에 공급되고, 파형 정형 회로(116a) 또는 정류 회로(116b)는 이 AC 전압 파형을 정형하거나 정류하여 구동 신호 또는 전원 전압을 생성한다.

생성된 구동 신호 또는 전원 전압은 코일 배선(120)을 통해 인출 배선(114)에 입력된다. 입력 구동 신호, 전원 전압 등은 신호선 구동회로(111), 주사선 구동회로(112) 및 화소부(113)에 공급된다.

화소부(113)는 다수의 화소를 가지고 있고, 각각의 화소에는 화소 전극이 형성되어 있다. 신호선 구동회로 및 주사선 구동회로의 수는 도 1 및 도 2에 도시된 것에 한정되는 것은 아니다.

신호선 구동회로(111), 주사선 구동회로(112) 및 화소부(113)에 포함된 각각의 회로 또는 각각의 회로 소자로부터의 출력은 검사 전용 회로(119)에 입력된다.

예를 들어, 화소부(113)내의 트랜지스터의 각 단자의 전압 또는 각 화소 전극의 전압은 회로 또는 회로 소자로부터의 출력으로서 검사 전용 회로(119)에 입력될 수도 있다. 그러나, 모든 화소의 회로 또는 회로 소자들로부터의 출력을 검사 전용 회로(119)에 입력하는 것이 반드시 필요한 것은 아니다. 임의로 선택된 화소내의 회로 또는 회로 소자로부터의 출력만을 검사 전용 회로(119)에 입력할 수도 있다. 또한, 표시에 실제로 사용되지 않는 검사 전용 화소(더미(dummy) 화소)가 화소부(113)에 제공될 수도 있고, 각각의 검사 전용 화소 내의 회로 또는 회로 소자로부터의 출력이 검사 전용 회로(119)에 입력된다. 상기한 내용은 화소부(113)에 한정되는 것은 아니다. 즉, 소자 기판 상의 모든 회로 또는 회로 소자로부터의 출력을 검사 전용 회로(119)에 입력하는 것이 반드시 필요한 것은 아니고, 임의로 선택된 소자 기판 상의 일부 회로 또는 회로 소자로부터의 출력만이 검사 전용 회로(119)에 입력될 수도 있다. 또한, 구동에 실제로 사용되지 않는 검사 전용 회로 또는 회로 소자가 형성될 수도 있고, 각각의 검사 전용 회로 또는 회로 소자로부터의 출력이 검사 전용 회로(119)에 입력될 수 있다.

검사 전용 회로(119)는 입력 신호, 즉, 각각의 입력 회로 또는 회로 소자로부터의 출력에 대한 신호 처리를 행하여, 검사 대상 회로 또는 회로 소자의 동작 상태에 대한 정보를 포함하는 신호(동작 정보 신호)를 생성한다. 검사 전용 회로(119)는 동작 정보 신호를 증폭시키고, 이 증폭된 신호를 변조 회로(121)에 입력한다. 동작 정보 신호를 증폭시키는 것이 반드시 필요한 것은 아니다. 동작 정보 신호가 증폭되지 않으면, 이 신호는 변조 회로(121)에 직접 입력된다.

한편, 각각의 입력용 2차 코일에서 발생된 AC 전압은 검사 전용 회로(119)에 입력된다. AC 전압의 이 신호는 검사 전용 회로(119)에 제공된 변조 회로(121)에 입력된다.

그 다음, 검사 전용 회로(119)는 입력된 동작 정보 신호에 따라 변조 회로(121)에서 입력 AC 전압의 진폭을 변조하고, 이 변조된 신호를 출력용 1차 코일 형성부(118)에 입력한다.

구체적으로는, 출력용 1차 코일 형성부(118)에 입력된 변조된 신호의 전압은 출력용 1차 코일 형성부(118)에 포함된 다수의 출력용 1차 코일의 단자들 중 하나에 입력된다. 출력용 1차 코일의 다른 단자에는 일정한 전압이 인가된다.

한편, 출력용 1차 코일 형성부(118)의 다수의 출력용 1차 코일에 대응하는 다수의 출력용 2차 코일은 검사 기판(204)의 출력용 2차 코일 형성부(102)에 형성되어 있다. 출력용 1차 코일의 한 쌍의 단자 사이에 AC 전압이 인가되면, 전자 유도에 의해 각각의 출력용 2차 코일의 한 쌍의 단자 사이에 기전력으로서 AC 전압이 발생된다. 출력용 2차 코일의 한 쌍의 단자 사이에 발생된 AC 전압은 회로 또는 회로 소자의 동작 상태에 대한 정보를 포함하고 있다.

출력용 2차 코일의 한 쌍의 단자 중 하나에는 일정한 전압이 인가된다. 출력용 2차 코일의 다른 단자의 전압은 외부 출력 버퍼(104)에 의해 증폭되어 검사부(203)에 입력된다.

외부 출력 버퍼(104)를 반드시 제공할 필요는 없고, 출력용 2차 코일의 다른 단자의 전압이 증폭되지 않고 검사부(203)에 직접 입력될 수도 있다.

검사부(203)는 각 회로 또는 회로 소자의 동작 상태에 대한 정보를 포함하는 AC 전압으로부터 각 회로 또는 회로 소자의 양부(良否)를 판정할 수 있고, 결함부의 위치를 알아낼 수 있다.

검사 전용 회로에 입력된 AC 전압의 주파수가 증가하면, 검사 전용 회로로부터 출력용 1차 코일의 단자에 공급되는 변조된 신호의 주파수도 증가한다. 코일의 임피던스는, 예를 들어, 코일의 감김수 및 코일 사이즈를 포함한 코일 설계 요소와 코일에 입력되는 신호의 주파수 등의 각종 요소에 의해 결정된다. 따라서, 검사 전용 회로로 입력되는 변조 전의 AC 전압의 주파수 값은 코일 임피던스 값의 결정에 영향을 주는 다른 요소들을 고려하여 결정되는 것이 바람직하다.

동작 정보 신호는 검사 대상 회로 또는 회로 소자의 동작 상태에 따라 DC 성분을 가질 수도 있다. 동작 정보 신호가 DC 성분을 가지는 경우에도, 동작 정보 신호에 의한 변조에 의해 생성되는 AC 변조 신호를 출력용 1차 코일의 단자에 공급함으로써, 양부(良否)에 대한 정보를 포함하는 기전력을 출력용 2차 코일의 단자들 사이에 생성할 수 있다.

입력용 1차 코일과 출력용 2차 코일을 동일한 검사 기판 상에 제공하는 것이 반드시 필요한 것은 아니다. 입력용 1차 코일과 출력용 2차 코일은 상이한 기판에 각각 형성될 수도 있다.

도 1(A), 도 1(B) 및 도 2에서는, 다수의 입력용 1차 코일이 형성되어 있는 입력용 1차 코일 형성부와, 다수의 출력용 2차 코일이 형성되어 있는 출력용 2차 코일 형성부는 서로 별개로 획정(劃定)되어 있으나, 본 발명의 검사 기판은 이 구성에 한정되는 것은 아니고, 다수의 입력용 1차 코일과 다수의 출력용 2차 코일이 혼합되어 배치될 수도 있다. 그러한 경우, 다수의 입력용 1차 코일이 형성되는 영역과 다수의 출력용 2차 코일이 형성되는 영역을 구별할 필요는 없다.

신호선 구동회로(111), 주사선 구동회로(112) 및 화소부(113)에 구동 신호, 전원 전압 등이 입력되면, 신호선 구동회로(111), 주사선 구동회로(112) 및 화소부(113)의 회로 또는 회로 소자에 전자파 또는 전계가 발생된다. 회로 또는 회로 소자가 구동될 때 이 회로 또는 회로 소자로부터 발생되는 약한 전자파 또는 전계를 모니터하여, 상기한 바와 같이 제공된 출력용 1차 코일과 출력용 2차 코일을 사용하지 않고 다수의 회로 또는 회로 소자로부터 정상으로 동작하는 않는 부분을 검출할 수도 있다.

정상으로 동작하지 않는 회로 또는 회로 소자 중 하나에서 발생된 전계 또는 전자파의 세기는 정상으로 동작하는 회로 또는 회로 소자에서 발생된 전계 또는 전자파의 세기와 다르므로, 검사부(203)는 회로 또는 회로 소자에서 발생된 전자파 또는 전계의 세기를 모니터하여, 각 회로 또는 회로 소자가 정상으로 동작하는지의 여부를 판정하거나 결함부의 위치를 알아낼 수 있다.

출력용 1차 코일과 출력용 2차 코일이 제공되지 않은 경우에는, 검사 전용 회로(119)로부터의 출력이 도 2의 소정 단자(패드)에 입력되고, 이 패드에서의 전계 또는 전자파의 세기가 측정되고, 이 측정된 값이 검사부(203)에 입력되어, 검사부(203)가 각각의 검사부의 양부를 판정하거나 결함부의 위치를 알아낸다.

각각의 회로 또는 회로 소자가 정상으로 동작하고 있는지의 여부를 판단할 수 있을 정도의 충분히 높은 감도가 보장된다면, 전자파 또는 전계를 모니터하는 방법은 어떠한 것이라도 사용할 수 있다.

입력용 1차 코일, 입력용 2차 코일, 출력용 1차 코일 및 출력용 2차 코일(이하, "코일"로 총칭한다)의 구성에 대하여 상세히 설명한다.

도 3(A) 및 도 3(B)는 코일의 확대도이다. 도 3(A)에 도시된 코일은 도체를 나선형으로 감아서 형성되고, 코일 단자(301, 302)로서 형성된 2개의 단부를 가지고 있다. 도 3(B)에 도시된 코일은 사각형이 되도록 도체를 감아서 형성되고, 코일 단자(303, 304)로서 형성된 2개의 단부를 가지고 있다.

일 지점을 중심으로 하여 감겨서 전체가 동일 평면을 따라 형성된 코일이면 본 발명에서 사용되는 코일로서 충분하다. 따라서, 코일의 도체는 코일이 형성되는 면에 수직인 방향에서 볼 때 만곡된 형태이거나 또는 각진 형태일 수 있다.

코일의 감김수, 코일의 도체의 폭 및 코일이 기판에서 차지하는 면적은 설계자가 적절히 설정할 수 있다.

도 4(A)는 소자 기판과 검사 기판이 서로 중첩된 부분을 가지도록 배치되어 있는 상태를 나타낸다. 도 4(A)에 도시된 구조의 예에서, 도 1(B) 및 도 2에 도시된 소자 기판은 도 3(A)에 도시된 바와 같이 각각 형성된 입력용 2차 코일 및 출력용 1차 코일을 가지고, 도 1(A) 및 도 2에 도시된 검사 기판은 도 3(A)에 도시된 바와 같이 각각 형성된 입력용 1차 코일과 출력용 2차 코일을 가진다. 검사 기판(204), 신호원, AC 전원 및 검사부를 접속하는 커넥터(206)가 제공되어 있다.

도 4(A)에 도시된 바와 같이, 검사 기판(204)의 입력용 1차 코일 형성부(101)와 소자 기판(205)의 입력용 2차 코일 형성부(117)는 소정의 간격으로 서로 떨어져 있는 상태로 중첩되어 있다. 이 간격은 최소로 하는 것이 바람직하다. 소자 기판(205)의 입력용 1차 코일 형성부(101)와 입력용 2차 코일 형성부(117)는 그들 사이의 간격이 제어될 수 있는 한 서로 가까이 배치되는 것이 바람직하다.

또한, 검사 기판(204)의 출력용 2차 코일 형성부(102)와 소자 기판(205)의 출력용 1차 코일 형성부(118)는 소정의 간격으로 서로 떨어져 있는 상태로 중첩되어 있다. 이 간격은 최소로 하는 것이 바람직하다. 출력용 2차 코일 형성부(102)와 출력용 1차 코일 형성부(118)는 그들 사이의 간격이 제어될 수 있는 한 서로 가까이 배치되는 것이 바람직하다.

검사 기판(204)과 소자 기판(205) 사이의 간격은 이 2개의 기판을 고정시킴으로써 유지될 수 있다. 또한, 검사 기판(204)과 소자 기판(205) 사이의 간격은, 검사 기판(204)과 소자 기판(205) 중 하나가 고정되고 이 검사 기판(204)과 소자 기판(205) 사이의 틈을 통해 유체가 소정의 유량으로 흐르도록 하거나 검사 기판(204)과 소자 기판(205) 사이의 틈에 소정의 압력을 유지시키는 방식으로 유지될 수도 있다. 이러한 목적에 사용되는 유체는 대표적으로는 기체 또는 액체이다. 겔(gel)과 같은 점성 유체도 사용될 수 있다.

도 4(B)는 입력용 1차 코일 형성부(101)와 입력용 2차 코일 형성부(117)의 중첩부들의 확대도이다. 입력용 1차 코일이 부호 208로 표시되고, 입력용 2차 코일이 부호 207로 표시되어 있다.

입력용 1차 코일(208)과 입력용 2차 코일(207)은 동일한 방향으로 감겨 있다. 그러나, 본 발명이 이러한 구성에 한정되는 것은 아니고, 1차 코일과 2차 코일이 서로 반대 방향으로 감길 수도 있다.

1차 코일과 2차 코일 사이의 간격(L_gap)은 설계자가 적절히 설정한다.

출력용 1차 코일 형성부(118)의 출력용 1차 코일과 출력용 2차 코일 형성부(102)의 출력용 2차 코일은 도 4(B)에 도시된 입력용 2차 코일(207) 및 입력용 1차 코일(208)과 같이 전자기적으로 결합되도록 서로 중첩된다.

도 2에 도시된 파형 정형 회로(116a)의 구성에 대하여 상세히 설명한다.

도 5는 도 1(A), 도 1(B) 및 도 2에 도시된 신호원(201), 입력용 1차 코일 형성부(101), 입력용 2차 코일 형성부(117) 및 파형 정형 회로(116a)의 접속 상태를 나타낸다. 입력용 1차 코일 형성부(101)에는 다수의 입력용 1차 코일(208)이 제공되어 있고, 입력용 2차 코일 형성부(117)에는 다수의 입력용 2차 코일(207)이 제공되어 있다.

신호원(201)으로부터 공급되는 검사용 AC 신호는 각각의 입력용 1차 코일(208)에 입력된다. 구체적으로는, 신호원(201)으로부터의 검사용 AC 신호의 전압이 각각의 입력용 1차 코일(208)의 한 쌍의 단자 사이에 인가된다. 입력용 1차 코일(208)에 AC 신호가 입력되면, 대응하는 입력용 2차 코일(207)에 기전력으로서 AC 전압이 발생되고 파형 정형 회로(116a)에 인가된다.

파형 정형 회로(116a)는, 시간적으로 변화하는 양, 즉, 전압 또는 전류 등의 파형를 형성하거나 정형하기 위해 사용되는 전자 회로이다. 도 5를 참조하면, 파형 정형 회로(116a)는 저항(501, 502)과 커패시터(503)를 가지고 있다. 이들 회로 소자가 결합되어 적분형 파형 정형 회로(116a)를 형성한다. 말할 필요도 없이, 파형 정형 회로는 도 5에 도시된 구성에 한정되는 것은 아니다. 파형 정형을 행하기 위해, 파형 정형 회로는 전원 회로와 마찬가지로, 다이오드를 사용한 검파 회로를 사용할 수도 있다.

본 발명에서 사용되는 파형 정형 회로(116a)는 특히, 입력된 AC 기전력으로부터 클록 신호(CLK), 스타트 펄스 신호(SP), 및 비디오 신호를 발생시키고, 이들 신호를 출력한다.

파형 정형 회로(116a)는 상기한 파형 외의 임의의 다른 파형들을 가진 신호들을 발생할 수 있다. 파형 정형 회로(116a)에 의해 형성되는 신호는 회로 또는 회로 소자의 동작 상태의 확인을 가능하게 하는 신호이면 충분하다.

파형 정형 회로(116a)로부터 출력된 신호는 후속 단의 회로들(도 1 및 도 2의 신호선 구동회로(111), 주사선 구동회로(112), 및 화소부(113))에 입력된다.

도 2에 도시된 정류 회로(116b)의 구성에 대하여 상세히 설명한다.

도 6은 도 1(A), 도 1(B) 및 도 2에 도시된 AC 전원(202), 입력용 1차 코일 형성부(101), 입력용 2차 코일 형성부(117), 및 정류 회로(116b)의 접속을 나타낸다. 입력용 1차 코일 형성부(101)에는 다수의 입력용 1차 코일(208)이 제공되어 있고, 입력용 2차 코일 형성부(117)에는 다수의 입력용 2차 코일(207)이 제공되어 있다.

AC 전원(202)으로부터 공급되는 검사용 AC 신호는 각각의 입력용 1차 코일(208)에 입력된다. 입력용 1차 코일(208)에 AC 신호가 입력되면, 대응하는 입력용 2차 코일(207)에 기전력으로서 AC 전압이 발생되고, 정류 회로(116b)에 인가된다.

본 실시예에서 "정류 회로"는 공급되는 AC 전압으로부터 전원 전압을 발생시키는 회로를 나타내고, "DC 전원 전압"은 각각의 회로 또는 회로 소자에 인가되고 소정의 레벨로 유지되는 전압을 나타낸다.

도 6에 도시된 정류 회로(116b)는 다이오드(601), 커패시터(604) 및 저항(603)을 가지고 있다. 각각의 다이오드(601)는 입력 AC 전압을 정류에 의해 DC 전압으로 변환시킨다.

도 7(A)는 다이오드(601)에 의한 정류 전의 교류의 경시(經時) 변화를 나타내고, 도 7(B)는 정류 후의 전압의 경시 변화를 나타낸다. 도 7(A)의 그래프와 도 7(B)의 그래프의 비교로부터 알 수 있는 바와 같이, 정류 후에는, 반주기 마다 전압이 0 또는 한쪽 극성을 가지는 값을 취하는 맥류(脈流)가 나타난다.

도 7(B)에 나타낸 맥류의 전압을 전원 전압으로 사용하는 것은 어렵다. 그래서, 통상은, 맥류가 가지는 전하를 커패시터에 저장함으로써 맥류를 평활화하여 DC 전압으로 변환시키고 있다. 그러나, 박막 반도체를 사용하여, 맥류를 충분히 평활화할 수 있는 대용량의 커패시터를 형성하기 위해서는, 커패시터 자체의 면적을 매우 크게 할 필요가 있고, 이것은 현실적이 아니다. 그래서, 본 발명에서는, 정류 후에 위상이 다른 맥류의 전압들은 합성(가산)하여 전압을 평활화한다. 상기 구성에 의해, 커패시터의 용량이 작더라도 맥류를 충분히 평활화할 수 있고, 또한, 커패시터를 적극적으로 제공하지 않고도 맥류를 충분히 평활화할 수 있다.

도 6을 참조하면, 위상이 다른 AC 신호가 4개의 1차 코일에 입력되어 4개의 다이오드(601)를 통해 위상이 다른 4개의 맥류 전압을 출력한다. 이 4개의 맥류 전압을 인가하여, 레벨이 대체로 일정하게 유지되는 DC 전원 전압을 발생시킨다. 이 DC 전원 전압은 후속 단의 회로들 중 하나에 공급된다.

그러나, 본 발명은, 4개의 다이오드(601)로부터 출력되고 위상이 다른 4개의 맥류 신호를 인가하여 DC 전원 전압을 발생시키는 도 6에 도시된 구성에 한정되는 것은 아니다. 위상 분할의 수가 4개로 한정되는 것은 아니다. 정류 회로로부터의 출력을 평활화함으로써 얻어진 전압이 전원 전압으로서 사용될 수 있다면, 위상 분할의 수는 자유롭게 선택될 수 있다.

도 8(A), 도 8(B) 및 도 8(C)는 다수의 정류된 신호를 인가함으로써 얻어진 전원 전압의 경시 변화를 각각 나타낸 도면이다. 도 8(A)는 위상이 다른 4개의 맥류의 전압의 인가에 의해 하나의 전원 전압을 발생하는 예를 나타낸다.

본 발명에 따라 정류 회로에서 발생된 전압은 다수의 맥류를 가산함으로써 발생되기 때문에 직류 이외의 성분인 리플(ripple)을 가진다. 이 리플은 최대 전압과 최소 전압의 차이에 대응한다. 리플이 작으면, 정류 회로에서 발생되는 전압은 직류 전압에 더 가까와지고 전원 전압으로서 사용하기에 더욱 쉽게 된다.

도 8(B)는 위상이 다른 8개의 맥류의 전압을 가산함으로써 얻어지는 전원 전압의 경시 변화를 나타낸다. 도 8(A)에 나타낸 전원 전압의 경시 변화와 비교하면, 이 경우의 리플이 더 작다는 것을 알 수 있다.

도 8(C)는 위상이 다른 16개의 맥류의 전압을 가산함으로써 얻어지는 전원 전압의 경시 변화를 나타낸다. 도 8(B)에 나타낸 전압의 경시 변화와 비교하면, 이 경우의 리플이 더욱 감소된다는 것을 알 수 있다.

이들 그래프에서 알 수 있는 바와 같이, 위상이 다른 맥류를 많이 인가할 수록 전원 전압의 리플이 감소되어, 전원 전압을 DC 전류에 가깝게 할 수 있다. 따라서, 위상 분할의 수가 증가하면, 정류 회로로부터 출력된 전원 전압을 평활화시키는 효과가 향상된다. 또한, 커패시터(602)의 용량이 증가하면, 정류 회로로부터 출력된 전원 전압을 평활화시키는 효과가 향상된다.

정류 회로(116b)에서 발생된 전원 전압은 단자(610, 611)를 통해 출력된다. 구체적으로는, 접지 전위에 가까운 전압이 단자(610)를 통해 출력되고, 정(正)의 극성을 가진 전원 전압이 단자(611)를 통해 출력된다. 다이오드의 양극과 음극을 역으로 접속시킴으로써 전원 전압의 극성을 반전시킬 수 있다. 단자(610, 611)에 접속된 다이오드(602)는 단자(612, 613)에 접속된 다이오드(601)의 것에 대하여 역으로 접속된 양극 및 음극을 가지고 있다. 따라서, 접지 전위에 가까운 전압이 단자(612)를 통해 출력되고, 부(負)의 극성을 가진 전원 전압이 단자(613)를 통해 출력된다.

소자 기판 상에는 다양한 회로 또는 회로 소자가 형성되어 있고, 회로 또는 회로 소자에 공급되는 전원 전압은 회로 또는 회로 소자의 종류 또는 회로 또는 회로 소자의 사용 목적 따라 다르다. 도 6에 도시된 정류 회로에서, 각각의 단자에 공급되는 전압의 레벨은 입력 AC 신호의 진폭을 제어함으로써 조정될 수 있다. 또한, 회로 또는 회로 소자에 공급되는 전원 전압의 레벨은 회로 또는 회로 소자에의 접속을 위한 단자들을 변경함으로써 변경될 수 있다.

본 발명에 따라 사용되는 정류 회로는 도 6에 도시된 반파 정류 회로에 한정되는 것은 아니다. 입력 AC 신호로부터 DC 전원 전압을 발생시킬 수 있는 회로이면 어떠한 회로라도 본 발명에 따른 정류 회로로서 충분하다.

도 18(A) 및 도 18(B)는 도 6에 도시된 것과 다른 구성의 정류 회로를 나타내는 회로도이다. 도 18(A)에 도시된 정류 회로는 2개의 다이오드(902, 903)와 커패시터(904, 905)를 가진 배전압 전파 정류 회로(901)이다. 커패시터들의 위치와 수는 도 18(A)에 도시된 것에 한정되는 것은 아니다.

다이오드(902)의 음극과 다이오드(903)의 양극는 함께 하나의 입력용 2차 코일의 한쪽 단자에 접속되어 있다. 다수의 배전압 전파 정류 회로(901)를 제공하고 정류 회로(901)로부터의 출력을 인가함으로써, 도 6에 도시된 반파 정류 회로에 의해 얻어지는 전압의 2배의 DC 전압을 얻을 수 있다.

도 18(B)에 도시된 정류 회로는 브리지 회로를 형성하는 4개의 다이오드(912, 913, 914, 915)를 가진 브리지 정류 회로(911)이다. 도 18(B)에 도시된 브리지 정류 회로도 커패시터(916)를 가지고 있다. 커패시터의 위치와 수는 도 18(B)에 도시된 것에 한정되지 않는다.

도 2에 도시된 검사 전용 회로(119)의 구성에 대하여 상세히 설명한다.

도 9는 검사 전용 회로(119)의 구성을 나타낸다. 검사 전용 회로(119)는 검사 대상 회로 또는 회로 소자의 동작 상태에 대한 정보를 포함하는 신호(동작 정보 신호)를 얻기 위해, 검사 대상 회로 또는 회로 소자로부터의 출력에 신호 처리를 행하는 수단을 가지고 있다. 본 실시형태에서는, 이 처리 수단으로서, 아날로그/디지털(A/D) 변환 회로(223)와 데이터 포맷부(224)를 사용한다.

신호선 구동회로(111), 주사선 구동회로(112), 및 화소부(113)의 회로 또는 회로 소자로부터의 아날로그 출력이 A/D 변환 회로(223)에서 디지털 신호로 변환된다. 이 디지털 신호는 데이터 포맷부(224)에 입력된다. 회로 또는 회로 소자로부터의 출력이 아날로그 신호가 아니라 디지털 신호이면, 이 디지털 신호가 데이터 포맷부(224)에 직접 입력된다.

본 실시형태에서는, 회로 또는 회로 소자로부터 출력된 모든 신호가 디지털 신호로 변환되고, 이 디지털 신호가 데이터 포맷부(224)에서 처리된다. 그러나, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 않는다. 회로 또는 회로 소자로부터 출력된 모든 신호가 아날로그 신호로 변환되고, 이 아날로그 신호가 데이터 포맷부(224)에서 처리될 수도 있다.

디지털 포맷부(224)에서, 회로 또는 회로 소자에 대응하는 입력 디지털 신호에 연산 처리가 행해져, 검사 대상 회로 또는 회로 소자의 동작 상태에 대한 정보를 포함하는 신호인 동작 정보 신호를 형성한다. 구체적으로는, 동작 정보 신호는, 병렬로 입력되는 디지털 신호들을 임시적으로 저장하고 저장된 디지털 신호를 순차적으로 판독함으로써 디지털 신호로부터 변환된 직렬 신호, 또는 병렬로 입력되는 디지털 신호의 전압을 소정의 타이밍에 따라 연속적으로 출력하여 얻어지는 신호일 수도 있다. 데이터 포맷부(224)로부터 출력된 동작 정보 신호의 전압은, 검사 대상 회로 또는 회로 소자로부터의 출력이 동일한 전압을 가진 디지털 신호인 경우와, 그 출력이 디지털 신호이지만 그 디지털 신호 중의 적어도 하나의 전압이 다른 디지털 신호의 전압과 다른 경우와의 사이의 차이에 따라 변경될 수 있다. 각각의 검사 대상 회로 또는 회로 소자의 양부(良否)를 판정하고 결함부의 위치를 확인하는 것을 가능하게 하는 것이면 어떠한 동작 정보 신호라도 충분할 수 있다.

데이터 포맷부(224)로부터 출력된 동작 정보 신호는 버퍼(222)에 의해 증폭되고 변조 회로(121)에 입력된다. 이 구성은 버퍼(222)가 제공되지 않고 데이터 포맷부(224)로부터의 출력이 변조 회로(121)에 직접 입력되는 것으로 대체될 수도 있다.

한편, 검사용 AC 신호는 AC 전원(202)으로부터 각각의 입력용 1차 코일(208)에 입력된다. 입력용 1차 코일(208)에 AC 신호가 입력되면, 대응하는 입력용 2차 코일(207)에 기전력으로서 AC 전압이 발생되고, 이 AC 전압이 변조 회로(121)에 인가된다.

변조 회로(121)는, 입력용 2차 코일(207)로부터 입력된 AC 전압의 진폭을 데이터 포맷부(224) 또는 버퍼(222)로부터 입력된 동작 정보 신호에 따라 변조하는 수단을 가지고 있다. 도 9에서는, 이 변조 수단으로서 트랜지스터(220, 221)가 제공되어 있으나, 본 발명은 이 구성에 한정되지 않는다. 변조 회로(121)는, 입력용 2차 코일(207)로부터 입력된 AC 전압의 진폭을 데이터 포맷부(224) 또는 버퍼(222)로부터 입력된 동작 정보 신호에 따라 변조할 수 있다면 어떠한 구성이어도 좋다.

도 9에 도시된 변조 회로(121)에서는, 버퍼(222)로부터의 출력이 트랜지스터(220, 221)의 게이트 전극에 입력된다. 트랜지스터(220)의 소스 영역과 드레인 영역 중의 하나는 입력용 2차 코일(207)의 제1 단자에 접속되고, 소스 영역과 드레인 영역 중의 다른 하나는 출력용 1차 코일(210)의 제1 단자에 접속되어 있다. 트랜지스터(221)의 소스 영역과 드레인 영역 중의 하나는 출력용 1차 코일(210)의 제1 단자에 접속되고, 소스 영역과 드레인 영역 중의 다른 하나에는 일정한 전압이 인가된다. 이 일정한 전압은 접지 전위일 수도 있다.

상기 구성에서, 입력용 2차 코일(207)로부터 출력된 교류의 전압은 동작 정보 신호에 따라 변조되고, 출력용 1차 코일(210)의 제1 단자에 변조 신호로서 입력된다. 본 실시형태에서는, 입력용 2차 코일(207)로부터 출력된 AC 전압은 동작 정보 신호와 스위칭 방식으로 변조되어, 출력용 1차 코일(210)의 제1 입력 단자에 변조된 신호로서 입력된다.

입력용 2차 코일(207)과 출력용 1차 코일(210)의 각각의 제2 단자에도 마찬가지로 일정한 전압이 인가된다. 이 일정한 전압은 접지 전위일 수도 있다.

출력용 1차 코일(210)과 출력용 2차 코일(211)이 서로 전자기적으로 결합되어 있으면, 출력용 2차 코일(211)의 한 쌍의 단자 사이에 기전력으로서 AC 전압이 발생된다. 이 AC 전압은 검사부(203)에 입력된다.

검사부(203)는 출력용 2차 코일(211)로부터 입력된 AC 전압으로부터 각각의 검사 대상 회로 또는 회로 소자가 정상으로 동작하는지의 여부를 확인할 수 있다.

검사 전용 회로에 입력되는 AC 전압의 주파수가 증가하면, 검사 전용 회로로부터 각각의 출력용 1차 코일의 단자에 공급되는 변조된 신호의 주파수도 증가한다. 코일의 임피던스는, 예를 들어, 코일의 감김수 및 사이즈를 포함하는 코일 설계 요소와 코일에 입력되는 신호의 주파수 등의 각종 요소에 의해 결정된다. 따라서, 검사 전용 회로에 입력되는 변조 전의 AC 전압의 주파수는 코일 임피던스 값의 결정에 필수적인 다른 요소들을 고려하여 결정되는 것이 바람직하다.

동작 정보 신호는 검사 대상 회로 또는 회로 소자의 동작 상태에 따라 어떤 경우에는 DC 성분을 가질 수도 있다. 동작 정보 신호가 DC 성분을 갖더라도, 동작 정보 신호에 의한 변조에 의해 형성된 AC 변조 신호를 출력용 1차 코일의 단자에 공급함으로써, 양부(良否)에 대한 정보를 포함하는 기전력을 출력용 2차 코일의 단자들 사이에 생성시킬 수 있다.

본 실시형태에서는, 구동회로, 즉, 신호선 구동회로와 주사선 구동회로를 가진 소자 기판에 대하여 예를 들어 설명하였으나, 본 발명에 따라 검사되는 소자 기판은 이러한 소자 기판에 한정되지 않는다. 화소부만을 가진 소자 기판이라도 본 발명의 검사방법을 사용하여 검사될 수 있다. 또한, 테스트 소자 그룹(TEG)으로 불리는 단체(單體) 소자 또는 이 단체 소자를 복합화한 평가 회로에서도, 본 발명의 검사방법 및 검사장치를 사용하여 동작 상태를 확인할 수 있다.

또한, 본 실시형태에서는, 액정 표시장치의 소자 기판을 검사하는 방법에 대하여 설명하였지만, 액정 표시장치 이외의 반도체 표시장치도 본 실시형태에 설명된 검사방법을 사용하여 검사될 수 있다. 또한, 반도체 표시장치에 한정되지 않고, 기판 상에 형성된 반도체의 특성을 이용하는 반도체장치라면 어떠한 반도체장치라도 본 발명의 검사방법을 사용하여 검사될 수 있다. 이러한 반도체장치로서는, 유리 기판 상에 형성된 반도체 박막을 사용하는 반도체장치와, 단결정 실리콘 기판 상에 형성된 반도체장치를 들 수 있다.

그러나, 반도체장치의 종류와 사양에 따라 코일의 수 등을 선택함으로써 코일을 적절히 설계할 필요가 있다. 반도체장치의 종류와 사양에 따라 각각의 입력용 1차 코일 형성부에 입력되는 검사용 AC 신호의 파형, 주파수 및 진폭을 적절히 설정하는 것도 필요하다.

상기한 구성에 의해, 본 발명은 프로브를 배선상에 직접 배치하지 않고 양부(良否)의 판단을 가능하게 한다. 프로브를 배치함으로써 발생하는 미세 먼지에 의해 후속 공정에서 수율이 감소하는 것을 피할 수 있다. 광학식 검사방법과는 달리 본 발명의 검사방법은 하나의 검사 단계에 의해 모든 패턴 형성 단계의 양부 결과의 판단을 가능하게 하므로, 검사 단계를 간략화한다.

이하, 본 발명의 실시예를 설명한다.

[실시예 1]

본 실시예에서는, 출력용 1차 코일과 출력용 2차 코일을 제공하지 않고, 회로 또는 회로 소자가 구동될 때 발생되는 미약한 전자파 또는 전계를 모니터하여 다수의 회로 또는 회로 소자에서 정상으로 동작하지 않는 부분을 검출하도록 행해지는 검사의 예에 대하여 설명한다.

도 10은 본 실시예의 소자 기판(455)과 검사 기판(454)의 구성을 나타낸다. 소자 기판(455)은 검사 전용 회로(419)를 가지고 있다. 검사 전용 회로(419)는 검사 대상인 회로 또는 회로 소자로부터의 출력에 대해 신호 처리를 행하여, 검사 대상 회로 또는 회로 소자의 동작 상태에 대한 정보를 포함하는 신호(동작 정보 신호)를 생성하는 수단을 가지고 있다. 본 실시예에서는, 이 처리 수단으로서, A/D 변환 회로(473)와 데이터 포맷부(474)를 사용한다.

본 실시예에서, 소자 기판(455)은 신호선 구동회로(411), 주사선 구동회로(412) 및 화소부(413)를 가지고 있다. 신호선 구동회로(411), 주사선 구동회로(412) 및 화소부(413)내의 회로 또는 회로 소자로부터의 아날로그 출력은 A/D 변환 회로(473)에서 디지털 신호로 변환된다. 이 디지털 신호는 데이터 포맷부(474)에 입력된다. 회로 또는 회로 소자로부터의 출력이 아날로그 신호가 아니고 디지털 신호인 경우에는, 이 디지털 신호가 데이터 포맷부(474)에 직접 입력된다.

본 실시예에서는, 회로 또는 회로 소자로부터 출력된 모든 신호가 디지털 신호로 변환되고, 이 디지털 신호가 데이터 포맷부(474)에서 처리된다. 그러나, 본 발명은 이 구성에 한정되지 않고, 회로 또는 회로 소자로부터 출력된 모든 신호가 아날로그 신호로 변환되고, 이 아날로그 신호가 데이터 포맷부(474)에서 처리될 수도 있다.

데이터 포맷부(474)에서, 회로 또는 회로 소자에 대응하는 모든 입력 디지털 신호에 대해 연산 처리가 행해져, 검사 대상 회로 또는 회로 소자의 동작 상태에 대한 정보를 포함하는 동작 정보 신호를 형성한다.

데이터 포맷부(474)로부터 출력된 동작 정보 신호는 버퍼(472)에 의해 증폭되어 변조 회로(421)에 입력된다. 이 구성은 버퍼(472)가 제공되지 않고 데이터 포맷부(474)로부터의 출력이 변조 회로(421)에 직접 입력되는 구성으로 대체될 수도 있다.

한편, 검사용 AC 신호는 AC 전원(452)으로부터 검사 기판(454)상에 제공된 각각의 입력용 1차 코일(458)에 입력된다. 입력용 1차 코일(458)에 AC 신호가 입력되면, 소자 기판(455) 상에 제공된 입력용 2차 코일(457) 중 대응하는 하나에 기전력으로서 AC 전압이 발생되고, 이 AC 전압이 변조 회로(421)에 인가된다.

변조 회로(421)는 입력용 2차 코일(457)로부터 입력되는 AC 전압의 진폭을 데이터 포맷부(474) 또는 버퍼(472)로부터 입력된 동작 정보 신호에 따라 변조하는 수단을 가지고 있다. 도 10에서는, 이 변조 수단으로서 트랜지스터(470, 471)가 제공되어 있다. 그러나, 본 발명이 이러한 구성에 한정되는 것은 아니다. 변조 회로(421)는 입력용 2차 코일(457)로부터 입력된 AC 전압의 진폭을 데이터 포맷부(474) 또는 버퍼(472)로부터 입력되는 동작 정보 신호에 따라 변조시킬 수 있는 것이라면 어떠한 구성이라도 좋다.

도 10에 도시된 변조 회로(421)에서, 버퍼(472)로부터의 출력이 트랜지스터(470, 471)의 게이트 전극에 입력된다. 트랜지스터(470)의 소스 영역 및 드레인 영역 중 하나는 입력용 2차 코일(457)의 제1 단자에 접속되고, 그 소스 영역 및 드레인 영역 중의 다른 하나는 소자 기판(455)상에 제공된 출력 패드(459)에 접속되어 있다. 또한, 트랜지스터(471)의 소스 영역 및 드레인 영역 중 하나는 출력 패드(459)에 접속되고, 그 소스 영역 및 드레인 영역 중의 다른 하나에는 일정한 전압이 인가된다. 이 일정한 전압은 접지 전압일 수도 있다.

입력용 2차 코일(457)의 제2 단자에는 일정한 전압이 인가된다. 이 일정한 전압은 접지 전압일 수도 있다.

상기한 구성에서, 입력용 2차 코일(457)로부터 출력된 AC 전압은 동작 정보 신호에 따라 변조되고, 변조된 신호로서 출력 패드(459)에 입력된다.

출력 패드(458)에서 미약한 전자파 또는 전계가 발생된다. 검사 기판(454)과 소자 기판(455)로부터 분리되어 제공된 측정부(460)에서, 이 전자파 또는 전계가 모니터되어, 데이터로서 검사부(453)에 입력된다. 검사부(453)에서, 이 데이터로부터, 검사 대상 회로 또는 회로 소자가 정상으로 동작하는지의 여부를 확인하는 것이 가능하다.

전자파 또는 전계에 대한 다양한 종류의 정보가 모니터되고 사용될 수 있다. 구체적으로는, 전자파 또는 전계에 대한 정보로서, 주파수, 위상, 세기, 시간 등을 다양한 차원에서 수집하는 것이 가능하다. 본 발명에 따르면, 다수의 회로 또는 회로 소자에서 정상으로 동작하지 않는 부분의 검출을 가능하게 하는 것이라면 전자파 또는 전계에 대한 어떤 종류의 정보라도 사용될 수 있다.

각각의 회로 또는 회로 소자에서 발생되는 미약한 전자파 또는 전계를 모니터하는 방법으로서는 공지의 방법이 사용될 수도 있다. 본 실시예에서는, 각각의 회로 또는 회로 소자에서 발생되는 전계를 전기광학 효과를 이용하여 검사 단계에서 검출하는 방법, 구체적으로는, 포캘스 셀(pockels cell)을 사용하는 측정방법의 예를 설명한다.

포캘스 셀은 공지의 전기광학 효과들 중 하나인 포캘스 효과를 이용하는 전기광학 장치들 중 하나이다. 전기광학 장치는 전계가 소자에 인가될 때 소자의 굴절률이 변화하는 전기광학 효과를 이용하는 소자이다. 이 장치는 광을 변조 또는 차단하기 위해 또는 이 특성을 이용하여, 즉, 결정에 AC 전압 또는 펄스 전압을 인가하여 원(圓)편광을 발생 또는 검출하기 위해 사용될 수 있다.

포캘스 셀은 제1 전극, 제2 전극 및 강유전체 결정인 포캘스 결정을 가지고 있다. 포캘스 결정은 제1 전극과 제2 전극 사이에 끼워져 있다. 제1 및 제2 전극 각각은 광을 투과하는 전도성 재료로 형성되어 있다.

제1 전극에 일정한 전압이 인가된다. 제1 전극과 제2 전극은 제2 전극과 출력 패드(458)가 서로 중첩되도록 소자 기판에 평행하게 배치된다. 제2 전극은 소자 기판(455)에 인접하거나 또는 소자 기판(455)과 소정의 간격을 두고 떨어져 배치될 수도 있다. 제2 전극과 소자 기판(455) 사이에는 완충재가 끼워질 수도 있다.

출력 패드(458) 상에 중첩된 포캘스 셀 부분에서의 광 굴절률은 출력 패드(458)로부터 발생된 전계에 의해 변화한다. 이 굴절률은 출력 패드(458)로부터 발생된 전계의 세기에 따라 변화한다. 따라서, 출력 패드(458)로부터 발생된 전계의 세기는 포캘스 셀에서의 광 굴절률을 모니터함으로써 측정될 수 있다.

구체적으로는, 포캘스 셀을 통과하는 광 중에서 소자 기판에 수직인 방향을 따라 통과하는 광은 편광 빔 스플리터와 같은 광학계를 사용하여 분리되고, 이 분리된 광의 세기가 모니터되고, 모니터된 광 세기로부터 포캘스 셀의 반사율이 계산된다. 포캘스 셀에 인가되는 전압은 반사율로부터 얻어질 수 있다. 포캘스 셀에 인가되는 전압으로부터 결함부를 검출하는 것이 가능하다.

다수 회에 걸쳐 행해진 모니터의 결과에 어떤 연산 처리를 행하여 양부(良否) 를 판정하도록 할 수도 있다.

각각의 검사 대상 회로로부터의 출력은 검사 전용 회로에 입력되고, 출력 패드에서 발생된 전자파 또는 전계의 세기가 전기광학 장치에 의해 측정된다. 이 방법에서는, 검사 대상 회로 또는 회로 소자 각각을 포캘스 셀을 사용하여 개별적으로 모니터할 필요가 없으므로, 검사 단계를 간략화하고 검사 시간을 단축시킬 수 있다.

본 실시예에서 사용되는 포캘스 결정은 대표적으로는 NH₄H₂PO₄, BaTiO₃, KH₂PO₄(KHP), KD₂PO₄(KDP), LiNbO₃, ZnO 등의 결정일 수 있다. 그러나, 본 실시예에서 사용되는 포캘스 결정은 이들 물질의 결정에 한정되는 것은 아니고, 포캘스 효과를 가지는 것이라면 어떠한 결정이라도 된다.

본 실시예에서 전계 세기를 감지하기 위해 사용되는 전기광학 장치는 포캘스 셀에 한정되지 않는다. 전압의 인가에 의해 광학적 특성이 변화하는 현상을 이용하도록 설계된 전기광학 장치라면 어떠한 것이라도 본 발명의 검사방법 또는 검사장치에 사용될 수 있다. 따라서, 본 발명의 방법 또는 장치에 액정이 사용될 수도 있다.

본 실시예에서, 검사 전용 회로에 입력되는 AC 전압의 주파수가 증가하면, 검사 전용 회로로부터 출력 패드에 입력되는 변조된 신호의 주파수도 증가한다.

[실시예 2]

본 실시예에서는, 검사용 구동 신호와 전원 전압에 대하여 액정 표시장치 및 OLED 표시장치의 경우를 예로 들어 보다 상세히 설명한다.

1차 및 2차 코일의 수는 소자 기판 상의 화소부 및 구동회로의 구조에 따라 변경된다. 따라서, 각 소자 기판의 사양에 따라 코일의 수를 설정하는 것이 중요하다.

도 11은 통상적인 액정 표시장치의 소자 기판 상의 회로 구성을 나타낸다. 도 11에 도시된 소자 기판은 신호선 구동회로(700), 주사선 구동회로(701) 및 화소부(702)를 가지고 있다.

화소부(702)에는 다수의 신호선 및 다수의 주사선이 형성되어 있다. 신호선들 사이와 주사선들 사이의 영역이 화소에 대응한다. 도 11에는, 다수의 화소 중, 하나의 신호선(703)과 하나의 주사선(704)을 가지는 화소만이 대표적으로 나타내어져 있다. 각 화소는 스위칭 소자로서 형성된 화소 TFT(705)와 액정 셀을 구동하기 위한 화소 전극(706)을 가지고 있다.

화소 TFT(705)의 게이트 전극이 주사선(704)에 접속되어 있다. 그리고, 화소 TFT(705)의 소스 영역과 드레인 영역 중 하나는 신호선(703)에 접속되고, 그 소스 영역과 드레인 영역 중의 다른 하나는 화소 전극(706)에 접속되어 있다.

신호선 구동회로(700)는 시프트 레지스터(710), 레벨 시프터(711) 및 아날로그 스위치(712)를 가지고 있다. 시프트 레지스터(710), 레벨 시프터(711) 및 아날로그 스위치(712)에 전원 전압(전원)이 공급된다. 시프트 레지스터(710)에는 신호선 구동회로용의 클록 신호(S-CLK)와 스타트 펄스 신호(S-SP)가 공급되고, 아날로그 스위치(712)에는 비디오 신호가 공급된다.

시프트 레지스터(710)에 클록 신호(S-CLK)와 스타트 펄스 신호(S-SP)가 입력되면, 비디오 신호의 샘플링 타이밍을 결정하는 샘플링 신호가 발생되어 레벨 시프터(711)에 입력된다. 샘플링 신호의 전압 진폭은 레벨 시프터(711)에 의해 증가되고, 그 다음, 샘플링 신호가 아날로그 스위치(712)에 입력된다. 아날로그 스위치(712)에서, 입력 비디오 신호가 입력 샘플링 신호와 동기하여 샘플링되고, 이 샘플링된 비디오 신호가 신호선(703)에 입력된다.

한편, 주사선 구동회로는 시프트 레지스터(712)와 버퍼(722)를 가지고 있다. 시프트 레지스터(721)와 버퍼(722)에 전원 전압(전원)이 공급된다. 시프트 레지스터(721)에는 주사선 구동회로용의 클록 신호(G-CLK)와 스타트 펄스 신호(G-SP)가 공급된다.

시프트 레지스터(721)에 클록 신호(G-CLK)와 스타트 펄스 신호(G-SP)가 입력되면, 주사선의 선택 타이밍을 결정하는 선택 신호가 발생되어 버퍼(722)에 입력된다. 버퍼(722)에 입력된 선택 신호는 완충 증폭된 다음, 주사선(704)에 입력된다.

주사선(704)이 선택되면, 선택된 주사선(704)에 게이트가 접속되어 있는 화소 TFT(705)가 온(ON)으로 된다. 신호선에 입력된 샘플링된 비디오 신호는 온 상태의 화소 TFT(705)를 통해 화소 전극(706)에 공급된다.

신호선 구동회로(700), 주사선 구동회로(701) 및 화소부(702)가 상기한 바와 같이 동작하면, 회로 또는 회로 소자로부터의 출력(종료 신호)이 검사 전용 회로(730)에 입력된다. 검사 전용 회로에서, 회로 또는 회로 소자로부터의 출력으로부터 동작 정보 신호가 생성되고, 이 동작 정보 신호에 의한 변조에 의해 변조된 신호가 생성된다. 이 변조된 신호는 출력용 1차 코일에 입력된다. 이렇게 하여 출력용 2차 코일에서 발생된 AC 전압이 검사부에 입력된다. 검사부에서, 입력 전압을 검사하여, 각 회로 또는 회로 소자가 정상으로 동작하는지의 여부를 판단한다. 신호선 구동회로(700), 주사선 구동회로(701) 및 화소부(702)가 동작할 때, 회로 또는 회로 소자에서 발생된 전자파 또는 전계를 어떤 수단을 사용하여 모니터하여 각 회로 또는 회로 소자가 정상으로 동작하는지의 여부를 판단하는 구성으로 하여도 좋다.

예를 들어, 시프트 레지스터(710)가 다수의 플립플롭을 사용하여 형성되는 경우, S-CLK에 동기하여, 제1 플립플롭에 공급되어 저장된 전압이 제2 플립플롭에 공급되어 저장된 다음, 제3 플립플롭에 공급되어 저장되는 동작이 차레로 계속된다. 이와 같이 다수의 플립플롭이 연속하여 동작하여 전압을 보낸다. 이렇게 동작하는 플립플롭에 의해 얻어지는 샘플링 신호에서, 서로 시프트되는 타이밍으로 펄스가 출현한다. 일 단(段)의 플립플롭이 정상으로 동작하지 않으면, 후속 단의 플리플롭이 정상으로 동작할 수 없다. 따라서, 이 시프트 레지스터에서는, 최종 단의 플립플롭의 동작 결과로 얻어지는 샘플링 신호가 출력(종료 신호)으로서 사용될 수 있다. 시프트 레지스터의 플리플롭들 중 하나가 결함부를 가지고 있어 정상으로 동작하지 않을 때 얻어진 출력은 모든 플립플롭이 정상으로 동작할 때 얻어진 출력과 전압 파형이 다르다.

도 11에 도시된 소자 기판에서, S-CLK, S-SP, G-CLK, G-SP 및 비디오 신호가 검사용 구동 신호로서 회로에 입력된다. 그러나, 본 발명에 따라 검사에 사용되는 구동 신호는 상기한 것들에 한정되는 것은 아니다. 구동과 관련된 것이라면 어떠한 신호라도 검사용 구동 신호로서 사용할 수 있다. 예를 들어, 상기한 신호들 외에도, 주사선의 주사 방향을 변경하는 타이밍을 결정하는 신호와, 주사선에의 선택 신호의 입력 방향을 변경하는 신호가 입력될 수도 있다. 그러나, 각각의 검사 대상 회로 또는 회로 소자의 양부(良否)를 판정할 수 있게 하는 신호를 입력하는 것이 필수이다.

소자 기판 상에 형성된 모든 회로가 아니고 그 회로의 일부를 검사하는 경우에는, 검사 대상 회로의 양부를 판정할 수 있으면 상기한 구동 신호 모두를 입력할 필요는 없다. 예를 들어, 신호선 구동회로(700)의 시프트 레지스터(710)만을 검사하는 경우에는, 시프트 레지스터(710)의 검사를 위한 전원 전압과 검사용 구동신호(S-CLK, S-SP)만을 파형 정형 회로와 정류 회로에서 형성하여 시프트 레지스터(710)에 입력할 수도 있다.

도 12는 통상적인 OLED 표시장치의 소자 기판 상의 회로 구성을 나타낸다. 디지털 비디오 신호를 사용하여 화상을 표시하는 OLED 표시장치의 구동회로를 예를 들어 도 12를 참조하여 설명한다. 도 12에 도시된 소자 기판은 신호선 구동회로(800), 주사선 구동회로(801) 및 화소부(802)를 가지고 있다.

화소부(802)에는 다수의 신호선, 다수의 주사선 및 다수의 전원선이 형성되어 있다. 주사선들 사이의 신호선과 전원선으로 둘러싸인 영역이 화소에 대응한다. 도 12에는, 다수의 화소 중, 하나의 신호선(807), 하나의 주사선(809) 및 하나의 전원선(808)을 가지는 화소만이 대표적으로 나타내어져 있다. 각 화소는 스위칭 소자로서 형성된 스위칭용 TFT(803), 구동용 TFT(804), 보유 용량(805), 및 OLED를 구동하기 위한 화소 전극(806)을 가지고 있다.

스위칭용 TFT(803)의 게이트 전극이 주사선(809)에 접속되어 있다. 스위칭용 TFT(803)의 소스 영역과 드레인 영역 중 하나는 신호선(807)에 접속되고, 그 소스 영역과 드레인 영역 중의 다른 하나는 구동용 TFT(804)의 게이트 전극에 접속되어 있다.

구동용 TFT(804)의 소스 영역과 드레인 영역 중 하나는 전원선(808)에 접속되고, 그 소스 영역과 드레인 영역 중의 다른 하나는 화소 전극(806)에 접속되어 있다. 구동용 TFT(804)의 게이트 전극과 전원선(808)이 보유 용량(805)을 형성한다. 그 보유 용량(805)을 반드시 형성할 필요는 없다.

신호선 구동회로(800)는 시프트 레지스터(810), 제1 래치(811) 및 제2 래치(812)를 가지고 있다. 시프트 레지스터(810), 제1 래치(811) 및 제2 래치(812)에 전원 전압(전원)이 공급된다. 시프트 레지스터(810)에는 신호선 구동회로용의 클록 신호(S-CLK)와 스타트 펄스 신호(S-SP)가 공급된다. 제1 래치(811)에는 래치 타이밍을 결정하는 래치 신호와 비디오 신호가 공급된다.

시프트 레지스터(810)에 클록 신호(S-CLK)와 스타트 펄스 신호(S-SP)가 입력되면, 비디오 신호의 샘플링 타이밍을 결정하는 샘플링 신호가 발생되어 제1 래치(811)에 입력된다.

시프트 레지스터(810)로부터의 샘플링 신호는 제1 래치(811)에 입력되기 전에 버퍼 등에 의해 완충 증폭될 수도 있다. 많은 회로 또는 회로 소자가 샘플링 신호가 입력되는 배선에 접속되어 있기 때문에, 배선의 부하 용량(기생 용량)이 크다. 이 버퍼는 부하 용량이 클 때 타이밍 신호의 상승 엣지(edge) 또는 하강 엣지의 "둔함(dulling)"을 방지하는데 효과적이다.

제1 래치(811)는 다수의 단(스테이지)을 가지고 있다. 제1 래치(811)에서, 입력 비디오 신호는 입력 샘플링 신호와 동기하여 샘플링되고, 이 샘플링된 비디오 신호는 각각의 단의 래치에 연속하여 저장된다.

제1 래치(811)의 모든 단의 래치에 비디오 신호를 기입하는 일 사이클을 완료하는데 필요한 시간을 라인 기간이라 부른다. 실제로는, 어떤 경우에는, 이 라인 기간에 수평 귀선 기간을 가한 기간을 라인 기간이라 부른다.

1 라인 기간이 종료하면, 제2 래치(812)에 래치 신호가 입력된다. 이 순간, 제1 래치(811)에 기입되어 보유된 비디오 신호가 한꺼번에 제2 래치에 공급되어 제2 래치(812)의 모든 단의 래치에 기입되어 저장된다.

제1 래치(811)로부터 제2 래치(812)에 비디오 신호가 공급된 후, 제1 래치(811)에의 비디오 신호의 기입이 시프트 레지스터(810)로부터의 샘플링 신호에 의거하여 연속적으로 행해진다.

제2 기입 사이클이 행해지는 1 라인 기간 중에, 제2 래치(812)에 기입되어 저장된 비디오 신호가 소스 신호선에 입력된다.

한편, 주사선 구동회로는 시프트 레지스터(821)와 버퍼(822)를 가지고 있다. 시프트 레지스터(821)와 버퍼(822)에 전원 전압(전원)이 공급된다. 시프트 레지스터(821)에는 주사선 구동회로용의 클록 신호(G-CLK)와 스타트 펄스 신호(G-SP)가 공급된다.

시프트 레지스터(821)에 클록 신호(G-CLK)와 스타트 펄스 신호(G-SP)가 입력되면, 주사선의 선택 타이밍을 결정하는 선택 신호가 형성되어 버퍼(822)에 입력된다. 버퍼(822)에 입력된 선택 신호는 완충 증폭된 다음, 주사선(809)에 입력된다.

주사선(809)이 선택되면, 선택된 주사선(809)에 게이트 전극이 접속되어 있는 스위칭용 TFT(803)가 온(ON)으로 된다. 신호선에 입력된 비디오 신호는 온 상태의 스위칭용 TFT(803)를 통해 구동용 TFT(804)의 게이트 전극에 공급된다.

구동용 TFT(804)의 스위칭은 게이트 전극에 공급되는 1 또는 0의 정보 비트에 의거하여 제어된다. 구동용 TFT(804)가 온일 때, 전원선의 전위가 화소 전극에 공급된다. 구동용 TFT(804)가 오프일 때는, 전원선의 전위가 화소 전극에 인가되지 않는다.

신호선 구동회로(800), 주사선 구동회로(801) 및 화소부(802)가 상기한 바와 같이 동작할 때, 회로 또는 회로 소자로부터의 출력(종료 신호)이 검사 전용 회로(830)에 입력된다. 검사 전용 회로(830)에서, 회로 또는 회로 소자로부터의 출력으로부터 동작 정보 신호가 발생되고, 이 동작 정보 신호에 의한 변조에 의해 변조된 신호가 발생된다. 이 변조된 신호는 출력용 1차 코일에 입력된다. 이렇게 하여 출력용 1차 코일에 발생된 AC 전압이 검사부에 입력된다. 검사부에서, 입력 전압을 검사하여, 각 회로 또는 회로 소자가 정상으로 동작하는지의 여부를 판단한다. 또한, 신호선 구동회로(800), 주사선 구동회로(801) 및 화소부(802)가 동작할 때, 회로 또는 회로 소자에서 발생된 전자파 또는 전계를 어떤 수단을 사용하여 모니터하여, 각 회로 또는 회로 소자가 정상으로 동작하는지의 여부를 판단하는 구성으로 하여도 좋다.

도 12에 도시된 소자 기판에서, S-CLK, S-SP, G-SP, 래치 신호 및 비디오 신호가 검사용 구동 신호로서 회로에 입력된다. 그러나, 본 발명에 따른 검사에 사용되는 구동 신호는 상기한 신호에 한정되지 않는다. 구동과 관련된 신호라면 어떠한 신호라도 검사용 구동 신호로서 사용할 수 있다. 예를 들어, 상기한 신호들 외에도, 주사선의 주사 방향을 변경하는 타이밍을 결정하는 신호와, 주사선에의 선택 신호의 입력 방향을 변경하는 신호가 입력될 수도 있다. 그러나, 각각의 검사 대상 회로 또는 회로 소자의 양부(良否)를 판정할 수 있게 하는 신호를 입력하는 것이 필수이다.

소자 기판상에 형성된 모든 회로가 아니고 회로의 일부만을 검사하는 경우에는, 상기한 구동 신호들 모두를 입력할 필요는 없고, 검사 대상 회로의 일부를 동작시키는 구동 신호만을 입력하여도 된다. 예를 들어, 신호선 구동회로(800)의 시프트 레지스터(810)만을 검사하는 경우, 검사용 구동 신호(S-CLK, S-SP)와 시프트 레지스터(810)의 검사를 위한 전원 전압만을 파형 정형 회로와 정류 회로에서 형성하고 시프트 레지스터(810)에 입력할 수도 있다.

위상이 다른 다수의 맥류 신호를 인가하여 전원 전압을 생성하는 경우, 인가되는 맥류 신호의 수에 따라 1차 코일의 수도 변경된다.

본 발명의 검사장치 및 검사방법의 사용이 도 11 및 도 12에 도시된 구성을 가진 소자 기판의 검사에만 한정되지 않는다. 본 발명의 검사장치 및 검사방법은, 반도체장치에 구동 신호와 전원 전압이 비접촉으로 공급될 때 회로 또는 회로 소자의 출력으로부터 동작 정보 신호를 형성할 수 있으면 다양한 종류 및 규격의 반도체장치를 검사하는데 사용될 수 있다.

본 실시예는 실시예 1과 자유롭게 조합하여 실시될 수 있다.

[실시예 3]

본 실시예에서는, 대형 소자 기판을 사용하여 다수의 표시용 기판을 형성하는 경우에 검사 종료 후의 대형 소자 기판의 절단에 대하여 설명한다.

도 13은 절단 전의 대형 소자 기판(어레이 기판이라고도 부름)의 상면도이다. 소자 기판 상에는 화소부(1001), 주사선 구동회로(1002) 및 신호선 구동회로(1003)가 제공되어 있다. 부호 1004로 표시된 영역에, 다수의 입력용 2차 코일, 다수의 출력용 1차 코일, 파형 정형 회로, 정류 회로 및 검사 전용 회로와 같은 회로 또는 회로 소자가 형성되어 있고, 이들은 검사 단계에서만 사용되고, 검사 단계의 완료 후에는 사용되지 않는다.

소자 기판은 도 13에 점선으로 표시된 선을 따라 절단되어, 하나의 소자 기판으로부터 9개의 표시용 기판을 형성한다. 본 실시예에서는 하나의 소자 기판으로부터 9개의 표시용 기판을 형성하는 경우에 대하여 설명하지만, 본 실시예에서 하나의 대형 기판을 분단하여 얻어지는 기판의 수는 상기한 수에 한정되지 않는다.

소자 기판은 인출 배선과 코일 배선의 도체가 절단되고 파괴되어 물리적 및 전기적으로 분리되도록 절단된다. 도 13에 도시된 소자 기판에서는, 영역(1004)이 절단 후에 표시용으로는 사용되지 않는 기판 부분 상에 제공되어 있다.

도 13에 도시된 절단과 다른 대형 소자 기판의 절단의 예를 도 14를 참조하여 설명한다. 소자 기판 상에 화소부(1101), 주사선 구동회로(1102) 및 신호선 구동회로(1103)가 제공되어 있다. 부호 1104로 표시된 영역에서, 다수의 입력용 2차 코일, 다수의 출력용 1차 코일, 파형 정형 회로, 정류 회로 및 검사 전용 회로와 같은 회로 또는 회로 소자가 형성되어 있고, 이들은 검사 단계에서만 사용되고, 검사 단계의 완료후에는 사용되지 않는다.

소자 기판은 도 14에서 점선으로 표시된 선을 따라 절단되어, 하나의 소자 기판으로부터 9개의 표시용 기판을 형성한다. 본 실시예에서는 하나의 소자 기판으로부터 9개의 표시용 기판을 형성하는 경우에 대하여 설명하지만, 본 실시예에서 하나의 대형 기판을 분단하여 얻어지는 기판의 수는 상기한 수에 한정되지 않는다.

소자 기판은 인출 배선과 코일 배선의 도체가 절단되고 파괴되어 물리적 및 전기적으로 분리되도록 절단된다. 도 14에 도시된 소자 기판에서는, 영역(1104)이 기판 절단선 상에 제공되어 있다. 영역(1104)의 회로 또는 회로 소자가 검사 후에 절단되고 파괴된다. 영역(1104)에 형성된 회로 또는 회로 소자는 검사 후에는 불필요하기 때문에, 완성된 반도체장치의 동작에 아무런 지장이 없다.

또한, 파형 정형 회로 또는 정류 회로는 반도체장치에 사용되는 기판 또는 절단 후에 반도체장치에 사용되지 않는 기판 상에 남아 있을 수도 있고, 절단 후에 파괴될 수도 있다.

본 실시예는 실시예 1 또는 2의 구성과 자유롭게 조합하여 실시될 수 있다.

[실시예 4]

본 실시예에서는, 검사 공정의 순서에 대하여 도 15의 플로차트를 참조하여 설명한다.

도 15에 도시된 본 발명의 검사 공정에서, 검사 전의 제조공정 종료 후에, 검사용 전원 전압 또는 구동 신호를 검사 대상인 회로 또는 회로 소자에 입력한다.

검사 대상 회로 또는 회로 소자는 검사용 전원 전압 또는 구동 신호를 공급함으로써 동작하게 되고, 회로 또는 회로 소자로부터의 출력이 검사 전용 회로에 입력되고, 검사 전용 회로에서 동작 정보 신호가 발생된다.

검사 전용 회로에 입력된 AC 신호의 진폭은 동작 정보 신호에 따라 변조되어, 변조된 신호를 형성하고, 이 변조된 신호는 출력용 1차 코일에 입력된다. 출력용 1차 코일과 출력용 2차 코일은 전자기적으로 결합하여 출력용 2차 코일에 AC 전압을 발생한다. 이 AC 전압이 검사부에 입력된다.

검사부에서, 양부(良否)를 판정하고 결함부의 위치를 알아낼 수 있다. 구체적으로는, 하나의 회로 소자가 정상으로 동작하고 있을 때 검사부에 입력되는 AC 신호의 진폭과, 검사 대상 회로 소자가 동작할 때 실제로 검사부에 입력되는 AC 신호의 진폭을 비교한다. 또는, 동일한 회로 또는 회로 소자로부터 검사부에 입력되는 AC 신호의 진폭을 서로 비교하거나, 실제 측정에 의해 얻어진 진폭값을 시뮬레이션에 의거하여 계산된 이론 값으로부터 도출된 진폭값과 비교할 수도 있다.

비교 결과, 검사부에 입력된 AC 신호들 중 하나의 전압 진폭이 소망의 값과 크게 다른 것으로 나타나면, 그 다른 진폭에 대응하는 회로 또는 회로 소자는 불량인 것으로 판단한다.

따라서, 각 회로 또는 회로 소자의 동작 상태와 결함부의 위치를 동시에 확인하는 것도 가능하다. 실시자는 각 회로 또는 회로 소자가 정상으로 동작하는지의 여부에 대한 판정을 행하는 적당한 기준을 설정할 수 있다. 하나의 결함부만이 존재하여도 검사된 기판이 불량이라고 판정하도록 기준을 설정할 수도 있다. 또는, 어떤 일정 수의 결함부가 존재하는 경우에 검사된 기판이 불량이라고 판정하도록 기준을 설정할 수도 있다.

검사된 기판이 불량이 아니라고 판단되면, 검사가 완료된 것으로 간주되고, 검사 공정 후의 제조공정이 시작된다.

검사된 기판에 불량이라고 판단되면, 그 기판을 제품으로서 완성하지 않도록 그 기판을 공정으로부터 제거(로트 아웃(lot out))하거나 또는 결함의 원인을 특정하는 단계를 선택한다. 하나의 대형 기판으로부터 다수의 제품을 제조하는 경우, 대형 기판을 절단하여 얻어지는 기판들을 양부로 분리하고, 불량 기판을 로트 아웃한다.

결함의 원인을 특정하고 그 기판을 수리할 수 있다고 판단되는 경우에는, 수리 후에 본 발명에 따른 검사 공정을 다시 행하여, 상기한 단계들을 반복할 수도 있다. 기판이 수리될 수 없다고 판단되면, 그 기판은 이 시점에서 로트 아웃된다.

본 실시예는 실시예 1∼3 중의 어느 구성과도 자유롭게 조합하여 실시될 수 있다.

[실시예 5]

본 실시예에서는, 본 발명에 따라 사용되는 코일과 그 코일의 단자들과 배선(코일 배선)의 접속에 대하여 상세히 설명한다.

도 16(A)에서는, 절연 표면 상에 코일(1601)이 형성되고, 이 코일(1601)을 덮도록 층간절연막(1603)이 절연 표면 상에 형성된다. 이 층간절연막(1603)에 콘택트 홀이 형성되고, 이 콘택트 홀을 통해 코일(1601)에 접속하도록 층간절연막(1603) 상에 코일 배선(1602)이 형성된다.

도 16(B)는 도 16(A)의 일점 쇄선 C-C'를 따라 취한 단면도이다.

도 16(C)에서는, 절연 표면 상에 코일 배선(1612)이 형성되고, 이 코일 배선(1612)을 덮도록 층간절연막(1613)이 절연 표면 상에 형성된다. 이 층간 절연막(1613)에 콘택트 홀이 형성되고, 이 콘택트 홀을 통해 코일 배선(1612)에 접속하도록 층간절연막(1613) 상에 코일(1611)이 형성된다.

도 16(D)는 도 16(C)의 일점 쇄선 D-D'를 따라 취한 횡단면도이다.

본 발명에 따라 사용되는 코일을 형성하는 방법은 상기한 것에 한정되지 않는다. 절연막을 패터닝하여 나선형 홈을 형성하고, 이 홈을 채우도록 절연막 상에 도전성 막을 형성한다. 그 후에, 이 도전성 막을 절연막이 노출될 때까지 에칭하거나 또는 화학적 기계적 연마(CMP)법에 의해 연마한다. 그리하여, 홈 내에만 도전성 막의 재료가 남겨진다. 홈 내에 남겨진 도전성 막의 재료가 코일로서 사용될 수도 있다.

본 실시예는 실시예 1∼4 중의 어느 구성과도 자유롭게 조합하여 실시될 수 있다.

[실시예 6]

본 실시예에서는, 본 발명의 검사방법에 따라 검사를 행하기 위한 검사장치의 구성에 대하여 설명한다.

도 17은 본 발명에 따른 검사장치(1700)의 블록도이다. 도 17에 도시된 검사장치(1700)는 신호원 또는 AC 전원(1702), 입력용 1차 코일(1720) 및 출력용 1차 코일(1721)을 가지고 있고, 입력용 1차 코일(1720)과 출력용 1차 코일(1721)은 검사 기판(1701) 상에 형성된다. 또한, 검사장치(1700)는, 입력용 1차 코일(1720)과 소자 기판(1703) 상에 제공된 입력용 2차 코일(1722)을 소정의 간격을 두고 겹치게 할 수 있고 또한 출력용 2차 코일(1721)과 소자 기판(1703) 상에 제공된 출력용 1차 코일(1723)을 소정의 간격을 두고 겹치게 할 수 있는 기판 고정 수단(1704)도 가지고 있다. 또한, 검사장치(1700)는 소자 기판(1703)에서 생성된 변조된 신호로부터 출력용 2차 코일(1721)에 발생되는 AC 전압으로부터 양부(良否)를 판정하는 수단(검사부(1705))도 가지고 있다.

본 실시예에서는 신호원 또는 AC 전원(1702)이 검사장치(1700)의 일부로 간주되지만, 본 발명의 검사장치가 반드시 신호원 또는 AC 전원(1702)을 포함할 필요는 없다.

신호원 또는 AC 전원(1702)에서 생성된 AC 신호는 검사 기판(1701)상에 제공된 외부 입력 버퍼(1706)에 입력된다. 입력된 AC 신호는 외부 입력 버퍼(1706)에 의해 증폭 또는 완충 증폭된 후에 검사 기판(1701) 상에 제공된 입력용 1차 코일(1720)에 입력된다.

검사 기판(1701)과 소자 기판(1703)은 입력용 1차 코일(1720)과 입력용 2차 코일(1722)이 소정의 간격을 두고 서로 중첩되도록 기판 고정 수단(1704)에 의해 위치결정된다.

입력용 2차 코일(1722)에서 발생된 AC 전압으로부터 발생된 전원 전압 또는 구동 신호는 소자 기판(1703) 상에 제공된 회로 또는 회로 소자에 입력된다. 소자 기판(1703) 상에 제공되어 전원 전압 또는 구동 신호를 생성하는 회로는 실시형태의 설명에서 상세히 설명된 회로와 동일하므로, 이하에서는 설명하지 않는다.

회로 또는 회로 소자(1712)로부터의 출력은 변조 회로(1731)를 가진 검사 전용 회로(1730)에 입력된다. 검사 전용 회로(1730)는 회로 또는 회로 소자(1712)의 출력으로부터 동작 정보 신호를 발생시키고, 이 동작 정보 신호를 변조 회로(1731)에 입력한다.

한편, 입력용 2차 코일(1722)에서 발생된 AC 전압은 변조 회로(1731)에 입력된다. 변조 회로(1731)에서, 입력된 AC 전압은 동작 정보 신호에 따라 변조되어, 변조된 신호를 생성한다. 생성된 변조된 신호는 출력용 1차 코일(1723)에 입력된다.

검사 기판(1701)과 소자 기판(1703)은 출력용 1차 코일(1723)과 출력용 2차 코일(1721)이 서로 소정의 간격을 두고 서로 중첩되도록 기판 고정 수단(1704)에 의해 위치결정된다.

출력용 1차 코일(1723)에서 AC 전압이 발생되고, 이 AC 전압은 외부 출력 버퍼(1723)에 의해 증폭 또는 완충 증폭된 후에 검사부(1705)에 입력된다.

검사부(1705)에서, 입력된 AC 전압은 수치화되고, 데이터(측정된 값)로서 검사부(1705)에 제공된 연산부(1709)에 공급된다.

연산부(1709)에서, 입력된 측정값에 의거하여 각 회로 또는 회로 소자의 양부에 대한 판정이 행해진다. 예를 들어, 이 판정을 가능하게 하기 위해 아래에 설명되는 비교를 행한다. 회로 소자가 정상으로 동작하고 있을 때 검사부에 입력되는 AC 신호는 메모리 등에 저장되고, 검사 대상 회로 소자가 동작하고 있을 때 검사부에 실제로 입력되는 각각의 AC 신호의 진폭이 메모리 내에 저장된 대응하는 AC 신호와 비교된다. 또는, 동일한 회로 또는 회로 소자로부터 검사부에 입력되는 AC 신호의 진폭들을 서로 비교하거나 또는 실제 측정에 의해 얻어진 진폭값을 시뮬레이션에 의해 계산된 이론 값으로부터 도출된 진폭 값과 비교할 수도 있다.

본 발명은 상기한 비교 방법의 예에 한정되지 않고, 정상의 회로 소자가 동작하고 있을 때 검사부에 입력되는 AC 신호 진폭과 비교하여 현저하게 상이한 AC 신호 진폭이 검사부에 입력되는 회로 소자들 중 어느 하나의 검출을 가능하게 하는 것이라면 어떠한 방법이라도 사용될 수 있다.

비교 결과, 검사부에 입력되는 AC 신호들 중 하나의 진폭이 현저하게 상이한 것으로 나타내면, 해당 회로 또는 회로 소자는 불량인 것으로 판단한다. 실제로는, 해당 회로가 정상이더라도, 검사부에 입력되는 각각의 AC 신호의 진폭이 어느 일정 주기로 변화하는 경우가 많다. 그 경우, 주기마다의 진폭의 평균값을 구하여 정상 회로 소자의 값과 비교하여도 된다. 이 비교를 위해 어떠한 방법이라도 사용될 수 있다.

회로 또는 회로 소자에서 발생된 전계 또는 전자파를 모니터하여 양부를 판정하는 경우, 출력용 1차 코일(1723), 출력용 2차 코일(1721) 및 외부 출력 버퍼(1732)를 제공할 필요가 없다. 이 경우, 소자 기판(1703) 상에 출력 패드가 제공되고, 변조 회로(1723)로부터 출력된 변조된 신호가 출력 패드에 공급된다.

또한, 검사장치에 측정부가 제공되고, 출력 패드에서 발생된 전계 또는 전자파를 측정부에서 모니터하여, 데이터로서 검사부(1705)에 제공된 연산부(1709)에 공급한다. 연산부(1709)에서는, 그 입력 데이터에 의거하여 각 회로 또는 회로 소자의 동작 상태 및 결함부의 위치에 대한 판정을 행한다.

본 실시예는 실시예 1∼5 중의 어느 구성과도 자유롭게 조합하여 실시될 수 있다.

본 발명의 상기한 구성에 의하면, 프로브를 배선 또는 단자에 직접 배치하지 않고도 검사 대상 회로 또는 회로 소자의 양부(良否)를 판정할 수 있다. 프로브를 배치할 때 발생하는 미세 먼지에 의해 후속 공정의 수율이 감소하는 것을 방지할 수 있다. 본 발명의 검사방법은 광학식 검사방법과는 달리 1회의 검사 공정으로 모든 패턴 형성 공정의 양부를 판단할 수 있으므로, 검사 공정이 보다 간략화된다.

Claims

회로 또는 회로 소자를 측정하는 방법으로서,

비접촉으로 상기 회로 또는 상기 회로 소자에 제2 기판을 이용하여 전압을 인가하여 제1 기판 상의 상기 회로 또는 상기 회로 소자를 동작시키고;

상기 회로 또는 상기 회로 소자로부터 출력된 전압을 비접촉으로 판독하고, 상기 제2 기판에 출력하는 것을 포함하는, 회로 또는 회로 소자 측정방법.
제 1 항에 있어서, 상기 측정방법이, 상기 측정방법에 의해 판독된 상기 회로 또는 상기 회로 소자로부터 출력된 상기 전압을 사용하여 상기 회로 또는 상기 회로 소자의 동작 상태를 검사하는 검사방법인, 회로 또는 회로 소자 측정방법.
회로 또는 회로 소자를 측정하는 방법으로서,

비접촉으로 상기 회로 또는 상기 회로 소자에 제2 기판을 이용하여 전압을 인가하여 제1 기판 상의 상기 회로 또는 상기 회로 소자를 동작시키고;

상기 회로 또는 상기 회로 소자로부터 출력된 전압을 사용하여 AC 전압을 변조하여, 변조된 신호를 생성하고;

상기 회로 또는 상기 회로 소자로부터의 상기 변조된 신호 전압을 비접촉으로 판독하고 상기 제2 기판에 출력하는 것을 포함하는, 회로 또는 회로 소자 측정방법.
제 3 항에 있어서, 상기 측정방법이, 상기 측정방법에 의해 판독된 상기 변조된 신호의 전압을 사용하여 상기 회로 또는 상기 회로 소자의 동작 상태를 검사하는 검사방법인, 회로 또는 회로 소자 측정방법.
회로 또는 회로 소자를 검사하는 방법으로서,

제1 코일의 한 쌍의 단자 사이에 제1 AC 전압을 인가하고;

상기 제1 코일과 제2 코일을 그들 사이에 일정의 간격을 두고 중첩시키고;

상기 제2 코일의 한 쌍의 단자 사이에서 발생되는 제2 AC 전압으로부터 상기 회로 또는 상기 회로 소자를 동작시키는 신호를 생성하고;

상기 신호를 상기 회로 또는 상기 회로 소자에 입력하여 상기 회로 또는 상기 회로 소자를 동작시키고;

상기 회로 또는 상기 회로 소자로부터 출력된 전압을 사용하여 제3 AC 전압을 변조하여, 변조된 신호를 생성하고;

상기 변조된 신호를 제3 코일의 한 쌍의 단자 사이에 인가하고;

상기 제3 코일과 제4 코일을 그들 사이에 일정 간격을 두고 중첩시키고;

상기 제4 코일의 한 쌍의 단자 사이에서 발생되는 제4 전압을 통해 상기 회로 또는 상기 회로 소자의 동작 상태를 검사하는 것을 포함하는, 회로 또는 회로 소자 검사방법.
제 5 항에 있어서, 상기 제3 AC 전압의 주파수가 상기 제1 AC 전압의 주파수보다 높은, 회로 또는 회로 소자 검사방법.
회로 또는 회로 소자를 검사하는 방법으로서,

제1 코일의 한 쌍의 단자 사이에 제1 AC 전압을 인가하고;

상기 제1 코일과 제2 코일을 그들 사이에 일정 간격을 두고 중첩시키고;

상기 제2 코일의 한 쌍의 단자 사이에서 발생되는 제2 AC 전압을 정류하거나 상기 제2 AC 전압의 파형을 정형하고, 상기 정류되거나 파형 정형된 전압을 상기 회로 또는 상기 회로 소자에 인가하여, 상기 회로 또는 상기 회로 소자를 동작시키고;

상기 회로 또는 상기 회로 소자로부터 출력된 전압을 사용하여 제3 AC 전압을 변조하여, 변조된 신호를 생성하고;

상기 변조된 신호를 제3 코일의 한 쌍의 단자 사이에 인가하고;

상기 제3 코일과 제4 코일을 그들 사이에 일정 간격을 두고 중첩시키고;

상기 제4 코일의 한 쌍의 단자 사이에서 발생되는 제4 전압을 통해 상기 회로 또는 상기 회로 소자의 동작 상태를 검사하는 것을 포함하는, 회로 또는 회로 소자 검사방법.
제 7 항에 있어서, 상기 제3 AC 전압의 주파수가 상기 제1 AC 전압의 주파수보다 높은, 회로 또는 회로 소자 검사방법.
회로 또는 회로 소자를 검사하는 방법으로서,

복수의 제1 코일의 단자 쌍들 사이에 위상이 다른 제1 AC 전압을 인가하고;

상기 복수의 제1 코일과 복수의 제2 코일을 그들 사이에 일정 간격을 두고 중첩시키고;

상기 복수의 제2 코일의 단자 쌍들 사이에 위상이 다른 AC 전압을 발생시키고;

상기 복수의 제2 코일의 단자 쌍들 사이에서 발생되는 상기 위상이 다른 AC 전압을 정류하고, 상기 정류된 AC 전압들을 인가함으로써, DC 전압을 발생시키고;

제3 코일의 한 쌍의 단자 사이에 제2 AC 전압을 인가하고;

상기 제3 코일과 제4 코일을 그들 사이에 일정 간격을 두고 중첩시키고;

상기 제4 코일의 한 쌍의 단자 사이에 AC 전압을 발생시키고;

상기 DC 전압을 상기 회로 또는 상기 회로 소자에 인가함으로써 상기 회로 또는 상기 회로 소자로부터 출력되는 전압을 사용하여, 상기 제4 코일의 한 쌍의 단자 사이에 발생된 상기 AC 전압을 변조하고;

상기 변조된 AC 전압을 제5 코일의 한 쌍의 단자 사이에 인가하고;

상기 제5 코일과 제6 코일을 그들 사이에 일정 간격을 두고 중첩시키고;

상기 제6 코일의 한 쌍의 단자 사이에 AC 전압을 발생시키고;

상기 제6 코일에서 발생된 상기 AC 전압을 통해 상기 회로 또는 상기 회로 소자의 동작 상태를 검사하는 것을 포함하는, 회로 또는 회로 소자 검사방법.
제 9 항에 있어서, 상기 복수의 제1 코일, 상기 제3 코일, 및 상기 제6 코일이 제1 절연 표면 상에 형성되고, 상기 회로 또는 상기 회로 소자, 상기 복수의 제2 코일, 상기 제4 코일, 및 상기 제5 코일이 제2 절연 표면 상에 형성되는, 회로 또는 회로 소자 검사방법.
제 9 항에 있어서, 상기 제2 AC 전압의 주파수가 상기 제1 AC 전압의 주파수보다 높은, 회로 또는 회로 소자 검사방법.
제 9 항에 있어서, 상기 복수의 제1 코일, 상기 복수의 제2 코일, 상기 제3 코일, 상기 제4 코일, 상기 제5 코일, 및 상기 제6 코일이 동일 평면 상에 형성된 배선들을 가지고, 상기 배선들은 나선 형상인, 회로 또는 회로 소자 검사방법.
제 10 항에 있어서, 상기 제1 절연 표면과 상기 제2 절연 표면 사이의 간격이 상기 제1 절연 표면과 상기 제2 절연 표면 사이에 유체를 흐르게 함으로써 제어되는, 회로 또는 회로 소자 검사방법.
회로 또는 회로 소자를 검사하는 방법으로서,

복수의 제1 코일의 단자 쌍들 사이에 위상이 다른 제1 AC 전압을 인가하고;

상기 복수의 제1 코일과 복수의 제2 코일을 그들 사이에 일정 간격을 두고 중첩시키고;

상기 복수의 제2 코일의 단자 쌍들 사이에 위상이 다른 AC 전압을 발생시키고;

상기 복수의 제2 코일의 단자 쌍들 사이에서 발생되는 상기 위상이 다른 AC 전압을 정류하고, 상기 정류된 AC 전압들을 인가하여, DC 전압을 발생시키고;

제3 코일의 한 쌍의 단자 사이에 제2 AC 전압을 인가하고;

상기 제3 코일과 제4 코일을 그들 사이에 일정 간격을 두고 중첩시키고;

상기 제4 코일의 한 쌍의 단자 사이에 AC 전압을 발생시키고;

상기 제4 코일의 한 쌍의 단자 사이에서 발생되는 상기 AC 전압의 파형을 정형하여, 상기 회로 또는 상기 회로 소자를 구동시키는 전압을 발생시키고;

제5 코일의 한 쌍의 단자 사이에 제3 AC 전압을 인가하고;

상기 제5 코일과 제6 코일을 그들 사이에 일정 간격을 두고 중첩시키고;

상기 제6 코일의 한 쌍의 단자 사이에 AC 전압을 발생시키고;

상기 회로 또는 상기 회로 소자를 구동시키기 위한 상기 전압 및 상기 DC 전압을 상기 회로 또는 상기 회로 소자에 인가함으로써 상기 회로 또는 상기 회로 소자로부터 출력되는 전압을 사용하여, 상기 제6 코일의 한 쌍의 단자 사이에 발생된 상기 AC 전압을 변조하고;

상기 변조된 AC 전압을 제7 코일의 한 쌍의 단자 사이에 인가하고;

상기 제7 코일과 제8 코일을 그들 사이에 일정 간격을 두고 중첩시키고;

상기 제8 코일의 한 쌍의 단자 사이에 AC 전압을 발생시키고;

상기 제8 코일에서 발생되는 상기 AC 전압을 통해 상기 회로 또는 상기 회로 소자의 동작 상태를 검사하는 것을 포함하는, 회로 또는 회로 소자 검사방법.
제 14 항에 있어서, 상기 복수의 제1 코일, 상기 제3 코일, 상기 제5 코일, 및 상기 제8 코일은 제1 절연 표면 상에 형성되고, 상기 회로 또는 상기 회로 소자, 상기 복수의 제2 코일, 상기 제4 코일, 상기 제6 코일, 및 상기 제7 코일은 제2 절연 표면 상에 형성되는, 회로 또는 회로 소자 검사방법.
제 14 항에 있어서, 상기 제3 AC 전압의 주파수가 상기 제1 AC 전압의 주파수 또는 상기 제2 AC 전압의 주파수보다 높은, 회로 또는 회로 소자 검사방법.
제 14 항에 있어서, 상기 복수의 제1 코일, 상기 복수의 제2 코일, 상기 제3 코일, 상기 제4 코일, 상기 제5 코일, 상기 제6 코일, 상기 제7 코일, 및 상기 제8 코일이 동일 평면 상에 형성된 배선들을 가지고, 상기 배선들이 나선 형상인, 회로 또는 회로 소자 검사방법.
제 15 항에 있어서, 상기 제1 절연 표면과 상기 제2 절연 표면 사이의 간격은 상기 제1 절연 표면과 상기 제2 절연 표면 사이에 유체를 흐르게 함으로써 제어되는, 회로 또는 회로 소자 검사방법.
회로 또는 회로 소자를 검사하는 방법으로서,

제1 코일의 한 쌍의 단자 사이에 제1 AC 전압을 인가하고;

상기 제1 코일과 제2 코일을 그들 사이에 일정 간격을 두고 중첩시키고;

상기 제2 코일의 한 쌍의 단자 사이에 AC 전압을 발생시키고;

상기 제2 코일의 한 쌍의 단자 사이에서 발생되는 상기 AC 전압의 파형을 정형하여, 상기 회로 또는 상기 회로 소자를 구동시키는 전압을 발생시키고;

제3 코일의 한 쌍의 단자 사이에 제2 AC 전압을 인가하고;

상기 제3 코일과 제4 코일을 그들 사이에 일정 간격을 두고 중첩시키고;

상기 제4 코일의 한 쌍의 단자 사이에 AC 전압을 발생시키고;

상기 회로 또는 상기 회로 소자를 구동시키기 위한 전압을 상기 회로 또는 상기 회로 소자에 인가함으로써 상기 회로 또는 상기 회로 소자로부터 출력되는 전압을 사용하여, 상기 제4 코일의 한 쌍의 단자 사이에서 발생되는 상기 AC 전압을 변조하고;

상기 변조된 AC 전압을 제5 코일의 한 쌍의 단자 사이에 인가하고;

상기 제5 코일과 제6 코일을 그들 사이에 일정 간격을 두고 중첩시키고;

상기 제6 코일의 한 쌍의 단자 사이에 AC 전압을 발생시키고;

상기 제6 코일에서 발생되는 상기 AC 전압을 통해 상기 회로 또는 상기 회로 소자의 동작 상태를 검사하는 것을 포함하는, 회로 또는 회로 소자 검사방법.
제 19 항에 있어서, 상기 제1 코일, 상기 제3 코일, 및 상기 제6 코일은 제1 절연 표면 상에 형성되고, 상기 회로 또는 상기 회로 소자, 상기 제2 코일, 상기 제4 코일, 및 상기 제5 코일은 제2 절연 표면 상에 형성되는, 회로 또는 회로 소자 검사방법.
제 19 항에 있어서, 상기 제2 AC 전압의 주파수가 상기 제1 AC 전압의 주파수보다 높은, 회로 또는 회로 소자 검사방법.
제 19 항에 있어서, 상기 복수의 제1 코일, 상기 복수의 제2 코일, 상기 제3 코일, 상기 제4 코일, 상기 제5 코일, 및 상기 제6 코일이 동일 평면 상에 형성된 배선들을 가지고, 상기 배선들은 나선 형상인, 회로 또는 회로 소자 검사방법.
제 20 항에 있어서, 상기 제1 절연 표면과 상기 제2 절연 표면 사이의 간격은 상기 제1 절연 표면과 상기 제2 절연 표면 사이에 유체를 흐르게 함으로써 제어되는, 회로 또는 회로 소자 검사방법.
소자 기판 상에 제공된 회로 또는 회로 소자를 검사하는 장치로서,

제1의 1차 코일;

제2의 2차 코일;

상기 제1의 1차 코일과 소자 기판 상에 제공된 제1의 2차 코일을 상기 제1의 1차 코일과 상기 제1의 2차 코일 사이에 일정 간격을 두고 중첩시키고, 또한, 상기 제2의 2차 코일과 상기 소자 기판 상에 제공된 제2의 1차 코일을 상기 제2의 2차 코일과 상기 제2의 1차 코일 사이에 일정 간격을 두고 중첩시키는 기판 고정 수단;

상기 제1의 1차 코일의 한 쌍의 단자 사이에 AC 전압을 인가하는 신호원; 및

상기 제2의 2차 코일의 한 쌍의 단자 사이에서 발생되는 AC 전압을 통해 상기 회로 또는 상기 회로 소자의 동작 상태를 검사하는 검사부를 포함하는, 회로 또는 회로 소자 검사장치.
제 24 항에 있어서, 상기 제1의 1차 코일과 상기 제1의 2차 코일 사이로 유체가 흘려 보내지는, 회로 또는 회로 소자 검사장치.
제 24 항에 있어서, 상기 제2의 1차 코일과 상기 제2의 2차 코일 사이로 유체가 흘려 보내지는, 회로 또는 회로 소자 검사장치.
제 24 항에 있어서, 상기 제1의 1차 코일은 동일 평면 상에 형성된 배선들을 가지고, 상기 배선들은 나선 형상인, 회로 또는 회로 소자 검사장치.
제 24 항에 있어서, 상기 제2의 2차 코일은 동일 평면 상에 형성된 배선들을 가지고, 상기 배선들은 나선 형상인, 회로 또는 회로 소자 검사장치.
제 24 항에 있어서, 상기 제2의 2차 코일의 상기 한 쌍의 단자 사이에서 발생되는 상기 AC 전압은 상기 회로 또는 상기 회로 소자의 동작 상태 또는 결함부의 위치에 관한 정보를 포함하는, 회로 또는 회로 소자 검사장치.
소자 기판 상에 제공된 회로 또는 회로 소자를 검사하는 장치로서,

제1의 1차 코일;

제2의 2차 코일;

상기 제1의 1차 코일과 상기 소자 기판 상에 제공된 제1의 2차 코일을 상기 제1의 1차 코일과 상기 제1의 2차 코일 사이에 일정 간격을 두고 중첩시키고, 또한, 상기 제2의 2차 코일과 상기 소자 기판 상에 제공된 제2의 1차 코일을 상기 제2의 2차 코일과 상기 제2의 1차 코일 사이에 일정 간격을 두고 중첩시키는 기판 고정 수단;

상기 제1의 1차 코일의 한 쌍의 단자 사이에 AC 전압을 인가하는 AC 전원;

상기 제2의 2차 코일의 한 쌍의 단자 사이에 발생된 AC 전압을 증폭시키거나 완충 증폭시키는 버퍼; 및

증폭되거나 완충 증폭된 상기 AC 전압을 통해 상기 회로 또는 상기 회로 소자의 동작 상태를 검사하는 검사부를 포함하는, 회로 또는 회로 소자 검사장치.
제 30 항에 있어서, 상기 제1의 1차 코일과 상기 제1의 2차 코일 사이로 유체가 흘려 보내지는, 회로 또는 회로 소자 검사장치.
제 30 항에 있어서, 상기 제2의 1차 코일과 상기 제2의 2차 코일 사이로 유체가 흘려 보내지는, 회로 또는 회로 소자 검사장치.
제 30 항에 있어서, 상기 제1의 1차 코일은 동일 평면 상에 형성된 배선들을 가지고, 상기 배선들은 나선 형상인, 회로 또는 회로 소자 검사장치.
제 30 항에 있어서, 상기 제2의 2차 코일은 동일 평면 상에 형성된 배선들을 가지고, 상기 배선들은 나선 형상인, 회로 또는 회로 소자 검사장치.
제 30 항에 있어서, 상기 제2의 2차 코일의 상기 한 쌍의 단자 사이에서 발생되는 상기 AC 전압은 상기 회로 또는 상기 회로 소자의 동작 상태 또는 결함부의 위치에 관한 정보를 포함하는, 회로 또는 회로 소자 검사장치.
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제1 기판과;

상기 제1 기판 상의 회로 또는 회로 소자와;

제2 기판과;

상기 제2 기판 상의 입력 1차 코일과;

상기 회로 또는 상기 회로 소자에 비접촉으로 전압을 인가하는 상기 제1 기판 상의 입력용 2차 코일과;

상기 회로 또는 상기 회로 소자로부터 출력된 전압을 사용하여 AC 전압을 변조하여, 변조된 신호를 생성하기 위한 상기 제1 기판 상의 변조회로와;

상기 변조된 신호의 전압을 비접촉으로 출력하는 상기 제1 기판 상의 출력용 1차 코일과;

상기 변조된 신호의 전압에 기초하여 전압을 생성하기 위하여 상기 제2 기판 상의 출력용 2차 코일을 포함하는, 제품.
제 45 항에 있어서, 상기 제품이 반도체장치인, 제품.
제 45 항에 있어서, 상기 제품이 소자 기판인, 제품.
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회로 또는 회로 소자;

제1 코일;

제2 코일;

제3 코일;

상기 제1 코일의 한 쌍의 단자 사이에서 발생되는 제1 AC 전압을 정류하거나 상기 제1 AC 전압의 파형을 정형하고, 정류되거나 파형 정형된 전압을 상기 회로 또는 상기 회로 소자에 인가하는 정류회로; 및

상기 회로 또는 상기 회로 소자로부터 출력된 전압을 사용하여 상기 제2 코일의 한 쌍의 단자 사이에서 발생되는 제2 AC 전압을 변조하여, 변조된 신호를 생성하고, 상기 변조된 신호를 상기 제3 코일의 한 쌍의 단자 사이에 인가하는 변조회로를 포함하는, 제품.
제 51 항에 있어서, 상기 제품이 반도체장치인, 제품.
제 51 항에 있어서, 상기 제품이 소자 기판인, 제품.
회로 또는 회로 소자;

복수의 제1 코일;

제2 코일;

제3 코일;

상기 복수의 제1 코일의 단자 쌍들 사이에서 발생되는 제1 AC 전압을 정류하고 상기 정류된 전압들을 인가함으로써 DC 전압을 발생시키고, 발생된 DC 전압을 상기 회로 또는 상기 회로 소자에 인가하는 정류회로; 및

상기 회로 또는 상기 회로 소자로부터 출력된 전압을 사용하여 상기 제2 코일의 한 쌍의 단자 사이에서 발생되는 제2 AC 전압을 변조하여, 변조된 신호를 생성하고, 상기 변조된 신호를 상기 제3 코일의 한 쌍의 단자 사이에 인가하는 변조회로를 포함하는, 제품.
제 54 항에 있어서, 상기 제품이 반도체장치인, 제품.
제 54 항에 있어서, 상기 제품이 소자 기판인, 제품.
회로 또는 회로 소자;

제1 코일;

복수의 제2 코일;

제3 코일;

제4 코일;

상기 제1 코일의 한 쌍의 단자 사이에서 발생되는 제1 AC 전압을 정류하거나 상기 제1 AC 전압의 파형을 정형하고, 정류되거나 파형 정형된 전압을 상기 회로 또는 상기 회로 소자에 인가하는 파형 정형 회로;

상기 복수의 제2 코일의 단자 쌍들 사이에서 발생되는 제2 AC 전압을 정류하고 상기 정류된 전압들을 인가함으로써 DC 전압을 발생시키고, 발생된 DC 전압을 상기 회로 또는 상기 회로 소자에 인가하는 정류회로; 및

상기 회로 또는 상기 회로 소자로부터 출력된 전압을 사용하여 상기 제3 코일의 한 쌍의 단자 사이에 발생된 제3 AC 전압을 변조하여, 변조된 신호를 생성하고, 상기 변조된 신호를 상기 제4 코일의 한 쌍의 단자 사이에 인가하는 변조회로를 포함하는, 제품.
제 54 항에 있어서, 상기 제품이 반도체장치인, 제품.
제 54 항에 있어서, 상기 제품이 소자 기판인, 제품.
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