JPH0611677A - 液晶表示パネルの検査方法 - Google Patents

液晶表示パネルの検査方法

Info

Publication number
JPH0611677A
JPH0611677A JP16805292A JP16805292A JPH0611677A JP H0611677 A JPH0611677 A JP H0611677A JP 16805292 A JP16805292 A JP 16805292A JP 16805292 A JP16805292 A JP 16805292A JP H0611677 A JPH0611677 A JP H0611677A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electric signal
display panel
liquid crystal
data electrode
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP16805292A
Other languages
English (en)
Inventor
Hidetomo Sukenori
英智 助則
Takeshi Kamata
豪 鎌田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP16805292A priority Critical patent/JPH0611677A/ja
Publication of JPH0611677A publication Critical patent/JPH0611677A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 液晶表示パネルの検査方法、特に、TFT型
液晶表示パネルのデータ電極の短絡を検出する検査方法
に関し、容易化と高精度化を目的とする。 【構成】 隣接する一方のデータ電極7-1には位相,周
波数,振幅が一定である第1の電気信号を入力し、他方
のデータ電極7-2には第1の電気信号と周波数,振幅が
同じで逆位相の第2の電気信号を入力するまたは、デー
タ電極7-1の一端とデータ電極7-2の一端とを電気的に
接続し、データ電極7-1の他端には位相,周波数,振幅
が一定である第1の電気信号を、データ電極7-2の一端
には第1の電気信号と周波数,振幅が同じで逆位相の第
2の電気信号を入力し、表示パネルのコモン電極を第
1,第2の電気信号の中心電圧にする。データ電極7-1
と7-2の間に不必要な短絡があれば、第1,第2の電気
信号による輝度が短絡部で変化するため、目視により短
絡の有無と位置が検出される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は液晶表示パネルの検査方
法、特に薄膜トランジスタ(TFT)型液晶表示パネル
の薄膜トランジスタ基板に形成したデータ電極の短絡
を、高精度かつ容易に検出する検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】図5はTFT型カラー液晶表示パネルの
構成例を模式的に示す断面図であり、液晶表示パネル1
は、TFT基板2とコモン電極基板3とが対向し、シー
ル材4で封止した基板2と3の対向間隙に、液晶5を充
填してなる。
【0003】TFT基板2の上面には走査電極6,デー
タ電極7,走査電極6とデータ電極7とを電気的に隔離
し表面を平坦化する平坦化層8, 走査電極6とデータ電
極7とに接続する薄膜トランジスタ (図示せず) 等を形
成し、コモン電極基板3の下面には多色カラーフィルタ
9,カラーフィルタ9の凹凸を平坦化する平坦化層10,
コモン電極11等を形成してなる。
【0004】帯状の多数のデータ電極7は例えば 110μ
m ピッチで整列し、一般に一方の整列端より奇数番目の
ものと偶数番目のものが千鳥状、例えば奇数番目のもの
に対し偶数番目のものがデータ電極7の長さ方向へ適量
だけ突出する配列であり、多数のデータ電極7が隣接間
で短絡してないかどうか検査する従来方法は、データ電
極7のパターンを画素単位で光学的に検査し、例えば90
万画素のパネル検査に要する時間は20〜30分程度であ
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】以上説明したようにT
FT型液晶表示パネルは、TFT基板2にそれぞれ多数
の走査電極6とデータ電極7および、電極6と7に接続
するTFTを形成するため、歩留りを 100%にすること
が困難である。従って、不良箇所を検出し修正するが必
要である。
【0006】そこで、隣接するデータ電極間の短絡を従
来は光学的に検出し、レーザを使用する等により短絡部
を切り離しているが、位置的に検出し難い短絡,僅かに
接続する短絡を見落とすことがあって信頼性に欠け、検
査装置を自動化しようとすると装置自体が大形化し,高
価になるという問題点があった。
【0007】
【課題を解決するための手段】図1は本発明方法の原理
説明図であり、(A) 〜(C) は第1の原理説明図、(D)〜
(F) は第2の原理説明図である。
【0008】図1(A) において、7-1はデータ電極,7
-2はデータ電極7-1に隣接するデータ電極であり、電極
-1と7-2は不必要なショートパターン15により短絡さ
れている。そこで、電極7-1の一方の端子aと他方の端
子a′とに、位相(正負),周波数,振幅が一定の第1の
電気信号、例えば直流+10Vの信号を入力し、電極7 -2
の一方の端子bと他方の端子b′には、第1の電気信号
に対し逆位相(正負が逆)の第2の電気信号例えば直流
−10Vの信号を入力する。
【0009】図中において、rは端子a,bから短絡箇
所迄の抵抗値、Rは端子a′,b′から短絡箇所迄の抵
抗値であり、抵抗値r,Rは当然ながらショートパター
ン15の位置によって異なる。
【0010】そこで、データ電極7-1と7-2に前記第
1,第2の電気信号を入力すると、横軸を電圧,縦軸を
短絡位置とした図1(B) に示す如く、短絡位置の電圧は
0Vとなり、液晶がノーマルホワイト(電圧が0Vのと
き白色表示になる)でありコモン電極を0V(第1,第
2の電気信号の中心電圧)端子に接続したとき、横軸を
輝度,縦軸を短絡位置とした図1(C) に示す如く、輝度
は短絡位置で高くなる。
【0011】従って、本発明による第1,第2の電気信
号を電極7-1と7-2に入力したとき、輝度の変化を目視
により検知し、データ電極7-1と7-2を短絡するショー
トパターン15の有無と位置を知ることができる。
【0012】図1(D) において、ショートバー16を用い
データ電極7-1の一端a′をデータ電極7-2の一端b′
に接続し、データ電極7-1の他端aに位相,周波数,振
幅が一定の第1の電気信号、例えば直流+10Vの信号を
入力し、データ電極7-2の一端b′には第1の電気信号
に対し逆位相の第2の電気信号、例えば直流−10Vの信
号を入力する。
【0013】電極7-1および7-2の抵抗値をR+rと
し、電極7-1の他端aおよび電極7-2の他端bからの抵
抗値がrである位置で、ショートパターン15により電極
-1と7-2とが短絡されたとき、横軸を電圧,縦軸を短
絡位置とした図1(E) に示す如く、短絡位置を境に電圧
変化の傾きが変わる。
【0014】そこで、データ電極7-1と7-2に前記第
1,第2の電気信号を入力しコモン電極を0V端子に接
続し、液晶がノーマルホワイトであるときの輝度は、横
軸を輝度,縦軸を短絡位置とした図1(F) に示す如く、
電圧の傾き変化に対応して輝度の傾きが変化する。
【0015】従って、本発明による第1,第2の電気信
号を電極7-1,7-2に入力したとき、輝度の傾き変化を
目視により検知し、データ電極7-1と7-2を短絡するシ
ョートパターン15の有無と位置を知ることができる。
【0016】
【作用】上記手段によれば、隣接する一方のデータ電極
と他方のデータ電極とに、逆位相(正負)の電気信号を
入力し、コモン電極をアース端子に接続したとき、隣接
するデータ電極間に不必要な短絡があれば、その短絡部
における輝度が異常に変化するため、目視によって短絡
の有無と位置が検知可能になる。
【0017】かかる方法で検知された短絡部は、例えば
TFT基板を透過するレーザ光を使用して切り離し、修
理される。
【0018】
【実施例】図2と図3は本発明の第1の実施例の説明す
る模式図(その1,その2)、図4は本発明の第2の実
施例の説明する模式図であり、第1の実施例は図1(A)
〜(C) を用いて説明した第1の原理に基づき、第2の実
施例は図1(D) 〜(F) を用いて説明した第2の原理に基
づくものである。
【0019】図2(A) において、TFT基板21には多数
本 (図は各3本)のデータ電極7-1,7-2をパターン形
成する。基板21の左端より奇数番目のデータ電極7-1
偶数番目のデータ電極7-2とは、電極長さ方向にずれた
千鳥状配列である。
【0020】図2(B) において、コモン電極, カラーフ
ィルタが形成されたフィルタ基板22をTFT基板21に搭
載し、TFT基板21とフィルタ基板22の対向間隙に液晶
を充填し、液晶表示パネル23が完成する。
【0021】次いで、隣接するデータ電極7-1と7-2
短絡検査のため図3(A) に示す如く、データ電極7-1
上端部近傍を覆う絶縁膜24-1を形成し、データ電極7-2
の下端部近傍を覆う絶縁膜24-2を形成させる。
【0022】しかるのち図3(B) に示す如く、データ電
極7-1の各上端部に接続せしめた第1の電気信号入力
(パネル検査駆動)用ショートバー25-1と、データ電極
-2の各上端部に接続し絶縁膜24-1によってデータ電極
-1に接続しない短絡検出用ショートバー26-1と、デー
タ電極7-2の各下端部に接続すせしめた第2の電気信号
入力(パネル検査駆動)用ショートバー25-2と、データ
電極7-1の各下端部に接続し絶縁膜24-2によってデータ
電極7-2に接続しない短絡検出用ショートバー26 -2とを
搭載する。
【0023】そこで、ショートバー25-1と25-2および26
-1と26-2を図示しない電気信号電源に接続し、該電源よ
りデータ電極7-1と7-2に短絡検査用の電気信号、即
ち、各データ電極7-1には位相(正負),周波数,振幅
が同じである第1の電気信号例えば直流+10Vの電圧を
入力し、データ電極7-2の一端b′には第1の電気信号
に対し逆位相の第2の電気信号例えば直流−10Vの電圧
を入力し、フィルタ基板22のコモン電極を0V(第1,
第2の電気信号の中心電圧)端子に接続する。
【0024】その結果、データ電極7-1と7-2の短絡が
皆無のとき、液晶表示パネル23の表示面は全体が明るく
ならないまたは薄明るくなる程度だが、図1(A) に示す
如く短絡されたものがあると、その短絡部が明るく輝く
ようになり、その輝きを目視によって観察することによ
って、データ電極7-1と7-2の短絡位置を知ることがで
きる。
【0025】図4において、TFT基板21にフィルタ基
板22を接合し、液晶を充填した液晶表示パネル23は、各
データ電極7-1の下端部と各データ電極7-2の下端部近
傍とをショートバー27で接続し、各データ電極7-1の上
端部を第1の電気信号入力用ショートバー25-1で接続
し、各データ電極7-2の下端部を第2の電気信号入力用
ショートバー25-2で接続する。
【0026】そこで、ショートバー25-1,25-2と27を図
示しない電気信号電源に接続し、ショートバー25-1に位
相(正負),周波数,振幅が所定の第1の電気信号例え
ば直流+10Vの電圧を入力し、ショートバー25-2には第
1の電気信号に対し逆位相の第2の電気信号例えば直流
−10Vの電圧を入力し、フィルタ基板22のコモン電極を
0V(アース)端子に接続する。
【0027】すると、液晶表示パネル23の表示面はデー
タ電極7-1,7-2の長さ方向に一端より他端に向けて次
第に明るく輝くが、短絡部での輝きがその前後に比較し
て不連続的に変化するため、目視によってデータ電極7
-1と7-2の短絡部を知ることができる。
【0028】その結果、データ電極7-1と7-2の短絡が
皆無のとき、液晶表示パネル23の表示面は全体が一様な
明るさに輝くが、図1(D) に示す如く短絡されたものが
あると、その短絡部で明るさの傾斜がになり、その輝き
を目視によって観察することによって、データ電極7-1
と7-2の短絡位置を知ることができる。
【0029】なお、前記実施例では第1,第2の電気信
号に直流信号を使用したが、本発明方法において第1,
第2の電気信号に交流信号も使用できる。しかし、交流
信号を使用すると、第1の電気信号と第2の電気信号と
は逆位相にする必要があるのに対し、直流信号では電圧
の正負を替えるだけでよいため電源装置が簡易なもので
済み、短絡部における輝度変化が明瞭化される利点があ
る。
【0030】
【発明の効果】以上説明したように本発明方法によれ
ば、隣接するデータ電極の短絡障害の有無および短絡位
置の検査に要する時間が従来の1/2 以下となり、光学的
陰影等に影響される従来方法より高精度である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明方法の原理説明図である。
【図2】 本発明の第1の実施例の説明する模式図(そ
の1)である。
【図3】 本発明の第1の実施例の説明する模式図(そ
の2)である。
【図4】 本発明の第2の実施例の説明する模式図であ
る。
【図5】 TFT型カラー液晶表示パネルの構成例を模
式的に示す断面図である。
【符号の説明】
-1は奇数番目のデータ電極(一方のデータ電極) 7-2は偶数番目のデータ電極(他方のデータ電極) 15は不必要のショートパターン 16はデータ電極端部接続用ショートバー 21はTFT基板 22はフィルタ基板 23は液晶表示パネル 24-1, 24-2は絶縁膜 25-1, 25 -2,26-1, 26-2,27 はショート検出用ショート
バー a,a′は奇数番目のデータ電極の端部 b,b′は偶数番目のデータ電極の端部

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 薄膜トランジスタ型液晶表示パネルのデ
    ータ電極(7-1,7-2)の隣接間の短絡検査に際し、隣接す
    る一方の該データ電極(7-1) の両端には位相,周波数,
    振幅が一定である第1の電気信号を入力し、隣接する他
    方の該データ電極(7-2) の両端には該第1の電気信号と
    周波数,振幅が同じで逆位相の第2の電気信号を入力
    し、該表示パネルのコモン電極を該第1,第2の電気信
    号波形の中心電圧にし、該隣接するデータ電極(7-1,
    7-2) の間に不必要な短絡(15)があれば、該第1,第2
    の電気信号による該表示パネルの輝度がその短絡部で変
    化することを利用し、該短絡部を目視で検出可能にする
    ことを特徴とする液晶表示パネルの検査方法。
  2. 【請求項2】 薄膜トランジスタ型液晶表示パネルのデ
    ータ電極(7-1,7-2)の隣接間の短絡検査に際し、隣接す
    る一方のデータ電極(7-1) の一端と他方のデータ電極(7
    -2) の一端とを電気的に接続し、該一方のデータ電極(7
    -1) の他端には位相,周波数,振幅が一定である第1の
    電気信号を入力し、該他方のデータ電極(7-2) の一端に
    は該第1の電気信号と周波数,振幅が同じで逆位相の第
    2の電気信号を入力し、該表示パネルのコモン電極は該
    第1,第2の電気信号波形の中心電圧にし、該隣接する
    データ電極(7-1,7-2) の間に不必要な短絡があれば、該
    第1,第2電気信号による該表示パネルの輝度がその短
    絡部で変化することを利用し、該短絡部を目視で検出可
    能にすることを特徴とする液晶表示パネルの検査方法。
  3. 【請求項3】 前記第1の電気信号と第2の電気信号を
    直流のプラス電気信号とマイナス電気信号にすることを
    特徴とする請求項1または請求項2記載の液晶表示パネ
    ルの検査方法。
JP16805292A 1992-06-26 1992-06-26 液晶表示パネルの検査方法 Withdrawn JPH0611677A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16805292A JPH0611677A (ja) 1992-06-26 1992-06-26 液晶表示パネルの検査方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16805292A JPH0611677A (ja) 1992-06-26 1992-06-26 液晶表示パネルの検査方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0611677A true JPH0611677A (ja) 1994-01-21

Family

ID=15860942

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16805292A Withdrawn JPH0611677A (ja) 1992-06-26 1992-06-26 液晶表示パネルの検査方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0611677A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006106187A (ja) * 2004-10-01 2006-04-20 Sharp Corp 液晶パネル並びにその検査方法及び検査装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006106187A (ja) * 2004-10-01 2006-04-20 Sharp Corp 液晶パネル並びにその検査方法及び検査装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7532018B2 (en) Inspection method and inspection apparatus
KR100936043B1 (ko) 회로 또는 회로 소자의 측정방법 및 검사방법과, 회로 또는 회로 소자 검사장치
JPH0626987A (ja) Lcdパネルにおける交差短絡欠陥の位置を決定する方法および装置
KR100800330B1 (ko) 라인 온 글래스형 신호라인 검사를 위한 액정표시패널
JPH0626988A (ja) Lcdパネルを試験する方法および装置
US5473261A (en) Inspection apparatus and method for display device
US5550484A (en) Apparatus and method for inspecting thin film transistor
JPH075481A (ja) 液晶表示パネルおよびその検査方法
JPH0272392A (ja) アクティブマトリクス型表示装置の検査及び修正方法
JPH0611677A (ja) 液晶表示パネルの検査方法
JP4128677B2 (ja) 液晶表示装置の検査方法
JP2776349B2 (ja) 液晶表示装置の検査方法
JP3290602B2 (ja) 液晶表示装置の検査方法および液晶表示装置
JP2002350513A (ja) 検査方法及び検査装置
KR100206568B1 (ko) 게이트 라인 결함 감지 수단을 구비한 액정 표시 장치
JP3485166B2 (ja) 液晶表示装置の検査方法および検査装置
JPH07287247A (ja) アクティブマトリクス基板の検査方法
JPH0259727A (ja) アクティブマトリックス基板
JPH11316388A (ja) 液晶表示装置の検査方法
JPH1062474A (ja) 液晶ディスプレイ基板の検査方法及び装置
JP2584073B2 (ja) カラー液晶画像表示装置の検査方法
JPS63289589A (ja) アクティブマトリクスパネルの検査方法
JP3182024B2 (ja) 液晶画像表示装置の検査方法
JPH0268522A (ja) アクティブマトリックス基板
JPH09292428A (ja) 液晶表示装置の検査方法

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19990831