JP2817834B2 - 液晶基板検査方法 - Google Patents
液晶基板検査方法Info
- Publication number
- JP2817834B2 JP2817834B2 JP6317788A JP31778894A JP2817834B2 JP 2817834 B2 JP2817834 B2 JP 2817834B2 JP 6317788 A JP6317788 A JP 6317788A JP 31778894 A JP31778894 A JP 31778894A JP 2817834 B2 JP2817834 B2 JP 2817834B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test
- potential
- pixel electrode
- failure
- failure mode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶基板検査方法に関
し、特に液晶基板の故障モード特定方法に関する。
し、特に液晶基板の故障モード特定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の液晶基板の故障モード特定方法と
しては、図７に示すように、作業者が被検査基板を顕微
鏡等を用いて目視検査するか、パターン検査装置による
欠陥検査等による形状検査が行なわれていた。
しては、図７に示すように、作業者が被検査基板を顕微
鏡等を用いて目視検査するか、パターン検査装置による
欠陥検査等による形状検査が行なわれていた。
【０００３】また、図８を参照して、従来の電気的検査
装置（電気的テスター）としては配線にプロービングし
て配線間電流を測定するものや、画素電極にプロービン
グするものなどがあった。
装置（電気的テスター）としては配線にプロービングし
て配線間電流を測定するものや、画素電極にプロービン
グするものなどがあった。
【０００４】いずれにしても、これらの装置を用いて故
障モードを特定する場合には、専ら熟練技術者の経験に
よる作業に頼っていた（図８参照）。
障モードを特定する場合には、専ら熟練技術者の経験に
よる作業に頼っていた（図８参照）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の従来の技術では、人手で形状検査を行なう場合、人的
工数の増大、判断の誤りの発生、及び検査時間の長大化
という欠点がある。さらに形状異状は必ずしも電気的故
障とは結びつかないという欠点がある。
の従来の技術では、人手で形状検査を行なう場合、人的
工数の増大、判断の誤りの発生、及び検査時間の長大化
という欠点がある。さらに形状異状は必ずしも電気的故
障とは結びつかないという欠点がある。
【０００６】また、従来の電気的検査では故障を見のが
したり、故障モードをくわしく特定するまでに至らない
場合が多い。そして、故障モードを特定しようとする場
合は、熟練した技術者が長時間かけないとできないとい
う問題点がある。
したり、故障モードをくわしく特定するまでに至らない
場合が多い。そして、故障モードを特定しようとする場
合は、熟練した技術者が長時間かけないとできないとい
う問題点がある。
【０００７】従って、本発明は前記問題点を解消し、液
晶基板の故障モードを短時間で自動的に導く検査方法を
提供することを目的とする。
晶基板の故障モードを短時間で自動的に導く検査方法を
提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の液晶基板検査方法は、複数の画素電極と該
画素電極に信号を供給する複数の配線とを備えた液晶基
板の配線及び電極間の短絡・開放の物理故障を含む故障
モードを検査する方法において、前記複数の配線の少な
くとも一部に電気信号を与える電気信号発生部と、前記
画素電極の電位を観測する画素電位観測部と、を備え、
一又は複数のテスト用の電気信号発生パターンと、一又
は複数のテストの前記電気信号発生パターンに対する前
記液晶基板の各画素電極電位期待値の組合せを一組
（「テスト期待値ベクトル」という）とし該組を各故障
モードに対応させて格納したデータベースと、を有し、
前記電気信号発生パターンを前記液晶基板に印加し、前
記画素電位観測部による画素電極電位の各テスト毎の観
測結果からなる組（「テスト結果ベクトル」という）と
前記画素電極電位期待値の組とを照合し、両者が一致し
た場合、該画素電極電位期待値の組に対応する故障モー
ドが発生したものとして故障モードの特定を行う、こと
を特徴とするものである。
め、本発明の液晶基板検査方法は、複数の画素電極と該
画素電極に信号を供給する複数の配線とを備えた液晶基
板の配線及び電極間の短絡・開放の物理故障を含む故障
モードを検査する方法において、前記複数の配線の少な
くとも一部に電気信号を与える電気信号発生部と、前記
画素電極の電位を観測する画素電位観測部と、を備え、
一又は複数のテスト用の電気信号発生パターンと、一又
は複数のテストの前記電気信号発生パターンに対する前
記液晶基板の各画素電極電位期待値の組合せを一組
（「テスト期待値ベクトル」という）とし該組を各故障
モードに対応させて格納したデータベースと、を有し、
前記電気信号発生パターンを前記液晶基板に印加し、前
記画素電位観測部による画素電極電位の各テスト毎の観
測結果からなる組（「テスト結果ベクトル」という）と
前記画素電極電位期待値の組とを照合し、両者が一致し
た場合、該画素電極電位期待値の組に対応する故障モー
ドが発生したものとして故障モードの特定を行う、こと
を特徴とするものである。
【０００９】また、本発明においては、好ましくは、電
気信号を発生して前記画素電極電位を観測するためのテ
ストを少なくとも１種類以上含むテストブロックを複数
有し、互いに異なる複数のテストブロックのうち一のテ
ストブロックに属する一連のテストを実行した後、実行
結果を前記データベースの期待値と照合し、照合結果に
基づき次に実行するテストブロックを選択することを特
徴とする。
気信号を発生して前記画素電極電位を観測するためのテ
ストを少なくとも１種類以上含むテストブロックを複数
有し、互いに異なる複数のテストブロックのうち一のテ
ストブロックに属する一連のテストを実行した後、実行
結果を前記データベースの期待値と照合し、照合結果に
基づき次に実行するテストブロックを選択することを特
徴とする。
【００１０】
【作用】上記構成のもと、本発明によれば、電気的テス
トにより、故障モードとテスト期待値との対応を格納し
たデータベースとテスト結果を照合して、次に行なうテ
ストの選択や故障モードの推定を自動的に行なうことに
より、熟練者に頼ることなく、短時間に、且つ高精度に
故障原因の特定が行なえる。
トにより、故障モードとテスト期待値との対応を格納し
たデータベースとテスト結果を照合して、次に行なうテ
ストの選択や故障モードの推定を自動的に行なうことに
より、熟練者に頼ることなく、短時間に、且つ高精度に
故障原因の特定が行なえる。
【００１１】
【実施例】図面を参照して、本発明の実施例を以下に説
明する。
明する。
【００１２】
【実施例１】図１は本発明の一実施例の構成を示すブロ
ック図である。図１を参照して、電気テスト信号発生部
11は液晶基板12に電気的テスト信号を印加し、液晶基板
12上の画素電極の電位を画素電極電位観測部13にて観測
する。
ック図である。図１を参照して、電気テスト信号発生部
11は液晶基板12に電気的テスト信号を印加し、液晶基板
12上の画素電極の電位を画素電極電位観測部13にて観測
する。
【００１３】電気テスト信号発生部11からのテスト信号
は液晶基板12のロー（ＲＯＷ）側のゲート信号線および
カラム（COLUMN）側のデータ線にそれぞれプロービング
して与える。なお、ゲート信号線は画素を構成する薄膜
トランジスタ（ＴＦＴ）のゲート電極に接続され画素の
選択を行ない、データ線を介して信号を画素に書き込
む。
は液晶基板12のロー（ＲＯＷ）側のゲート信号線および
カラム（COLUMN）側のデータ線にそれぞれプロービング
して与える。なお、ゲート信号線は画素を構成する薄膜
トランジスタ（ＴＦＴ）のゲート電極に接続され画素の
選択を行ない、データ線を介して信号を画素に書き込
む。
【００１４】画素電極電位観測部13における電位観測の
手段としては、例えば電気光学素子（electrooptic dev
ice）を用いた光プロービング等により電位の変位を検
出する。なお、電気光学素子を用いた光プロービング
は、例えば、電気光学結晶の一端に透明電極を設け、透
明電極に対向する他端に反射膜を配設し、レーザ光を電
気光学結晶に入射し、レーザ光が電気光学結晶内を往復
する間に被測定物と透明電極間に発生する強度に比例し
て変化するレーザ光の偏光を光学手段にて検出し、これ
を光電変換して電気信号として得るものである。
手段としては、例えば電気光学素子（electrooptic dev
ice）を用いた光プロービング等により電位の変位を検
出する。なお、電気光学素子を用いた光プロービング
は、例えば、電気光学結晶の一端に透明電極を設け、透
明電極に対向する他端に反射膜を配設し、レーザ光を電
気光学結晶に入射し、レーザ光が電気光学結晶内を往復
する間に被測定物と透明電極間に発生する強度に比例し
て変化するレーザ光の偏光を光学手段にて検出し、これ
を光電変換して電気信号として得るものである。
【００１５】画素電極電位観測部13で得られたテスト結
果と、故障データベース16とを照合手段14にて照合し、
照合結果に基づき、故障モード推定手段15が液晶基板12
の故障モードを特定する。
果と、故障データベース16とを照合手段14にて照合し、
照合結果に基づき、故障モード推定手段15が液晶基板12
の故障モードを特定する。
【００１６】照合手段14における照合方法として、ま
ず、テスト信号発生と電位観測の複数の組合わせを実行
して、その結果からテスト結果ベクトルを生成する。
ず、テスト信号発生と電位観測の複数の組合わせを実行
して、その結果からテスト結果ベクトルを生成する。
【００１７】例えばテスト１の結果がＬow、テスト２の
結果がＨigh、テスト３の結果がＨighならば、テスト結
果ベクトルは（０，１，１）となる。
結果がＨigh、テスト３の結果がＨighならば、テスト結
果ベクトルは（０，１，１）となる。
【００１８】次に、故障モードとテスト期待値を対応づ
ける故障データベースのうち１つの故障モード１に対応
するテスト期待値ベクトルとテスト結果ベクトルを比較
する。
ける故障データベースのうち１つの故障モード１に対応
するテスト期待値ベクトルとテスト結果ベクトルを比較
する。
【００１９】テスト期待値ベクトルとテスト結果ベクト
ルのベクトルが互いに等しければ故障モード１が発生し
ていることが推定される。
ルのベクトルが互いに等しければ故障モード１が発生し
ていることが推定される。
【００２０】もし、これらのベクトルが相違していれ
ば、故障モード２に対応するテスト期待値ベクトルとテ
スト結果ベクトルとを比較する。このようにしてテスト
結果ベクトルに等しくなるテスト期待値ベクトルが故障
データベース16内で探索され、期待値ベクトルを有する
不良モードが推定原因であることが結論される。
ば、故障モード２に対応するテスト期待値ベクトルとテ
スト結果ベクトルとを比較する。このようにしてテスト
結果ベクトルに等しくなるテスト期待値ベクトルが故障
データベース16内で探索され、期待値ベクトルを有する
不良モードが推定原因であることが結論される。
【００２１】
【実施例２】本発明の第２の実施例を以下に説明する。
図２に示すように、本実施例では、一又は複数のテスト
からなるテストブロックを複数有する。例えばテストブ
ロック１はテスト１．１とテスト１．２等のシーケンス
を含み、一のテストブロックに属する一連のテストは一
括して実行される。
図２に示すように、本実施例では、一又は複数のテスト
からなるテストブロックを複数有する。例えばテストブ
ロック１はテスト１．１とテスト１．２等のシーケンス
を含み、一のテストブロックに属する一連のテストは一
括して実行される。
【００２２】一のテストブロック内の全テストを実行し
た後、実行結果を故障データベースと照合して、次に実
行すべきテストブロックを選択して実行する。このよう
にして実行結果に応じて次々とテストブロックを実行し
て、故障モードの判定を行なう。
た後、実行結果を故障データベースと照合して、次に実
行すべきテストブロックを選択して実行する。このよう
にして実行結果に応じて次々とテストブロックを実行し
て、故障モードの判定を行なう。
【００２３】図３は、これらのテストブロックの実行フ
ローを示したものである。図３を参照して、例えばテス
トブロック１実行した結果、パス（Pass）した場合（す
なわち良品の場合）にはテストブロック５を実行し、フ
ェイル（Fail）した場合には、テストブロック３が実行
され、故障モードが判定される。
ローを示したものである。図３を参照して、例えばテス
トブロック１実行した結果、パス（Pass）した場合（す
なわち良品の場合）にはテストブロック５を実行し、フ
ェイル（Fail）した場合には、テストブロック３が実行
され、故障モードが判定される。
【００２４】このように最短のテストブロックの実行に
より故障モードが判定される。
より故障モードが判定される。
【００２５】本実施例における上記テストブロックの実
行手法は、いわば液晶の故障モードを特定するエキスパ
ートシステムであり、故障モードを自動的に短時間で特
定することが可能となる。
行手法は、いわば液晶の故障モードを特定するエキスパ
ートシステムであり、故障モードを自動的に短時間で特
定することが可能となる。
【００２６】次に、本発明を液晶基板の故障モードの特
定に適用した場合の具体例について説明する。
定に適用した場合の具体例について説明する。
【００２７】図４に、液晶基板の構成と故障モードの具
体例を示す。図４を参照して、ＲＯＷ側のゲート信号は
ＴＦＴのゲート電極に接続され、ＴＦＴを導通状態とし
てCOLUMN側のデータ信号をＴＦＴのドレイン電極から画
素電極に導く構成となっており、故障モードとしては各
信号線や電極間のショート／オープンがある。なお、液
晶層（不図示）は画素電極と不図示の対向電極との間に
封入される。
体例を示す。図４を参照して、ＲＯＷ側のゲート信号は
ＴＦＴのゲート電極に接続され、ＴＦＴを導通状態とし
てCOLUMN側のデータ信号をＴＦＴのドレイン電極から画
素電極に導く構成となっており、故障モードとしては各
信号線や電極間のショート／オープンがある。なお、液
晶層（不図示）は画素電極と不図示の対向電極との間に
封入される。
【００２８】図５に、本実施例におけるテストパターン
の一例を示し、図６に故障データベースの一例を示す。
の一例を示し、図６に故障データベースの一例を示す。
【００２９】図５に示すように、ゲート信号及びデータ
信号をＨigh又はＬowの電位で駆動し、電位観測ストロ
ボがＨighのタイミングで画素電極の電位を測定する。
信号をＨigh又はＬowの電位で駆動し、電位観測ストロ
ボがＨighのタイミングで画素電極の電位を測定する。
【００３０】この場合の故障モードとテスト期待値の関
係は図６に示すようになる。
係は図６に示すようになる。
【００３１】すなわち、図５を参照して、テスト１に
て、データ信号を介して画素電極にＨighレベルを書き
込み、ＴＦＴのゲート電極をＬow、ドレイン電極をＨig
hとして電位観測ストロボにて電気光学的に画素電極の
電位を観測し、テスト２にて、画素電極にＬowレベルを
書き込み、ＴＦＴのゲート電極及びドレイン電極をＨig
hとして画素電極の電位を観測し、テスト３にて、画素
電極にＨighレベルを書き込み、ＴＦＴのゲート電極及
びドレイン電極をＬowとして画素電極の電位を観測し、
テスト４にて、画素電極にＬowレベルを書き込み、ＴＦ
Ｔのゲート電極をＬow、ドレイン電極をＨighとして画
素電極の電位を観測する、という一連のテストを実行す
る場合、試験対象の液晶基板が良品の場合には、図６に
示すように、テスト１〜４の観測電位は、“ＨＬＨＬ”
となる。
て、データ信号を介して画素電極にＨighレベルを書き
込み、ＴＦＴのゲート電極をＬow、ドレイン電極をＨig
hとして電位観測ストロボにて電気光学的に画素電極の
電位を観測し、テスト２にて、画素電極にＬowレベルを
書き込み、ＴＦＴのゲート電極及びドレイン電極をＨig
hとして画素電極の電位を観測し、テスト３にて、画素
電極にＨighレベルを書き込み、ＴＦＴのゲート電極及
びドレイン電極をＬowとして画素電極の電位を観測し、
テスト４にて、画素電極にＬowレベルを書き込み、ＴＦ
Ｔのゲート電極をＬow、ドレイン電極をＨighとして画
素電極の電位を観測する、という一連のテストを実行す
る場合、試験対象の液晶基板が良品の場合には、図６に
示すように、テスト１〜４の観測電位は、“ＨＬＨＬ”
となる。
【００３２】これに対して、ＴＦＴのソースとドレイン
間にショート不良があると、テスト１〜４の観測電位は
“ＨＬＬＨ”となり、また、テスト１〜４の観測電位が
例えば“ＬＬＬＬ”と一定の場合には、ＴＦＴのソース
とドレイン間にオープン不良であるものと推定される。
間にショート不良があると、テスト１〜４の観測電位は
“ＨＬＬＨ”となり、また、テスト１〜４の観測電位が
例えば“ＬＬＬＬ”と一定の場合には、ＴＦＴのソース
とドレイン間にオープン不良であるものと推定される。
【００３３】このテストパターンの例は、個々の画素に
おける故障モードを特定するものであるが、隣接する画
素間や電極間での故障を特定する場合にも同様にしてテ
ストパターンを作成することが出来る。
おける故障モードを特定するものであるが、隣接する画
素間や電極間での故障を特定する場合にも同様にしてテ
ストパターンを作成することが出来る。
【００３４】また、本実施例では、画素電位観測方法と
しては、本発明は、電気光学素子による光プロービング
の例に基づき説明したが、容量結合による電位変動観測
や、パネル装着後のＣＣＤ観測等による観測方法にも同
様にして適用可能である。
しては、本発明は、電気光学素子による光プロービング
の例に基づき説明したが、容量結合による電位変動観測
や、パネル装着後のＣＣＤ観測等による観測方法にも同
様にして適用可能である。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように本発明（請求項１）
によれば、電気的テストにより、故障モードとテスト期
待値との対応を示すデータベースと得られたテスト結果
とを照合して、故障モードの推定を自動的に行なうよう
に構成されたため、熟練者に頼ることなく短時間で故障
原因の推定が行なえるという効果を有し、検査工程の自
動化と効率化、及び検査精度の向上を達成し、且つテス
トコストを大幅に削減する。
によれば、電気的テストにより、故障モードとテスト期
待値との対応を示すデータベースと得られたテスト結果
とを照合して、故障モードの推定を自動的に行なうよう
に構成されたため、熟練者に頼ることなく短時間で故障
原因の推定が行なえるという効果を有し、検査工程の自
動化と効率化、及び検査精度の向上を達成し、且つテス
トコストを大幅に削減する。
【００３６】また、本発明（請求項２）によれば、電気
的テストにより、故障モードとテスト期待値との対応を
格納したデータベースとテスト結果を照合して、次に行
なうテストの選択を自動的に行ない、最短のテストブロ
ックの実行により故障モードの推定を自動的に行なうこ
とが可能とされ、検査工程の自動化と効率化、及び検査
精度の向上を達成し、且つテストコストを削減する。ま
た、本発明（請求項３）によれば、故障箇所を特定し、
さらに開放故障又は短絡故障等の故障モードを自動的に
導出することを可能とし、検査工程を効率化し、且つテ
ストコストを大幅に削減する。
的テストにより、故障モードとテスト期待値との対応を
格納したデータベースとテスト結果を照合して、次に行
なうテストの選択を自動的に行ない、最短のテストブロ
ックの実行により故障モードの推定を自動的に行なうこ
とが可能とされ、検査工程の自動化と効率化、及び検査
精度の向上を達成し、且つテストコストを削減する。ま
た、本発明（請求項３）によれば、故障箇所を特定し、
さらに開放故障又は短絡故障等の故障モードを自動的に
導出することを可能とし、検査工程を効率化し、且つテ
ストコストを大幅に削減する。
【図１】本発明の一実施例の構成を説明する図である。
【図２】本発明の第２の実施例を説明する図である。
【図３】本発明の第２の実施例を説明する図である。
【図４】液晶基板の構成例と故障モードの例を説明する
図である。
図である。
【図５】本発明におけるテストパターンの一例を示すタ
イミング図である。
イミング図である。
【図６】本発明における故障データベースの一例を示す
図である。
図である。
【図７】従来の検査方法を説明する図である。
【図８】従来の別の検査方法を説明する図である。
１１ 電気テスト信号発生部 １２ 液晶基板 １３ 画素電極電位観測部 １４ 照合手段 １５ 故障モード推定手段 １６ 故障データベース
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01R 31/00 G01R 31/28 G01R 31/302 - 31/3163
Claims (3)
- 【請求項１】複数の画素電極と該画素電極に信号を供給
する複数の配線とを備えた液晶基板の配線及び電極間の
短絡・開放の物理故障を含む故障モードを検査する方法
において、 前記複数の配線の少なくとも一部に電気信号を与える電
気信号発生部と、 前記画素電極の電位を観測する画素電位観測部と、を備
え、 一又は複数のテスト用の電気信号発生パターンと、一又
は複数のテストの前記電気信号発生パターンに対する前
記液晶基板の各画素電極電位期待値の組合せを一組
（「テスト期待値ベクトル」という）とし該組を各故障
モードに対応させて格納したデータベースと、を有し、 前記電気信号発生パターンを前記液晶基板に印加し、前
記画素電位観測部による画素電極電位の各テスト毎の観
測結果からなる組（「テスト結果ベクトル」という）と
前記画素電極電位期待値の組とを照合し、両者が一致し
た場合、該画素電極電位期待値の組に対応する故障モー
ドが発生したものとして故障モードの特定を行う、こと
を特徴とする液晶基板検査方法。 - 【請求項２】電気信号を発生して前記画素電極電位を観
測するためのテストを少なくとも１種類以上含むテスト
ブロックを複数有し、互いに異なる複数のテストブロッ
クのうち一のテストブロックに属する一連のテストを実
行した後、実行結果を前記データベースの期待値と照合
し、照合結果に基づき次に実行するテストブロックを選
択することを特徴とする請求項１記載の液晶基板検査方
法。 - 【請求項３】前記データベースに、予め前記配線、及び
電極の間の故障モードに対応した画素電位期待値を格納
し、前記画素電極電位の観測結果に基づき、故障箇所と
故障モードを自動的に導出することを特徴とする請求項
１記載の液晶基板検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6317788A JP2817834B2 (ja) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | 液晶基板検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6317788A JP2817834B2 (ja) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | 液晶基板検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08152377A JPH08152377A (ja) | 1996-06-11 |
| JP2817834B2 true JP2817834B2 (ja) | 1998-10-30 |
Family
ID=18092054
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6317788A Expired - Fee Related JP2817834B2 (ja) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | 液晶基板検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2817834B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04238200A (ja) * | 1991-01-21 | 1992-08-26 | Ricoh Co Ltd | デバイス故障解析方式 |
| US5504438A (en) * | 1991-09-10 | 1996-04-02 | Photon Dynamics, Inc. | Testing method for imaging defects in a liquid crystal display substrate |
-
1994
- 1994-11-29 JP JP6317788A patent/JP2817834B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08152377A (ja) | 1996-06-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5459410A (en) | Method and apparatus for automatically inspecting and repairing an active matrix LCD panel | |
| KR100936043B1 (ko) | 회로 또는 회로 소자의 측정방법 및 검사방법과, 회로 또는 회로 소자 검사장치 | |
| JPH0472552A (ja) | 薄膜トランジスタ基板の検査方法および薄膜トランジスタ基板の配線修正方法 | |
| CN102253550A (zh) | 检查液晶显示器件的方法和装置 | |
| CN108693459A (zh) | 用于各种电路板的双点vi曲线扫描比对故障诊断方法 | |
| US20070158812A1 (en) | Method of testing wires and apparatus for doing the same | |
| US6014035A (en) | Test system and test method for liquid crystal display device | |
| JP4473427B2 (ja) | アレイ基板の検査方法及び該検査装置 | |
| JP2817834B2 (ja) | 液晶基板検査方法 | |
| KR20060109194A (ko) | 액정표시패널의 검사방법 | |
| JP2904129B2 (ja) | Ｃｍｏｓ集積回路の故障診断装置及び故障診断方法 | |
| KR100471782B1 (ko) | 액정표시장치의불량검출방법 | |
| JP2001330644A (ja) | スクリーニング方法、スクリーニング装置及び記録媒体 | |
| JP4255645B2 (ja) | 検査方法及び検査装置 | |
| JP3439038B2 (ja) | 液晶ディスプレイ基板の検査方法及び装置 | |
| KR940004874B1 (ko) | 액정모듈의 특성 검사방법 및 장치 | |
| JP3266502B2 (ja) | 液晶表示装置の検査方法 | |
| JP4757810B2 (ja) | 半導体装置、検査装置 | |
| JPH08313396A (ja) | 液晶パネルの検査方法 | |
| KR100462378B1 (ko) | 액정표시소자 및 그의 콘택저항 측정방법 | |
| EP0526734A2 (en) | Noncontact probe and active matrix array inspection apparatus using the same | |
| KR19990039339A (ko) | 액정 표시 장치용 검사 장치 및 검사 방법 | |
| JPH03259223A (ja) | 薄膜トランジスタ基板検査装置 | |
| KR950033562A (ko) | 박막 트랜지스터/액정 디스플레이(tft/lcd)어레이 검사기내에서 접촉 특성 및 라인 완전도를 결정하는 방법 | |
| KR100666448B1 (ko) | 액정표시장치의 어레이 기판 테스트 방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980723 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |