JP2002313847A - 電気的特性評価のためのテストパッドを有するチップオンフィルムパッケージ及びチップオンフィルムパッケージ形成方法 - Google Patents
電気的特性評価のためのテストパッドを有するチップオンフィルムパッケージ及びチップオンフィルムパッケージ形成方法Info
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Abstract
るCOFパッケージ及びCOFパッケージ形成方法を提
供する。 【解決手段】 ベースフィルム上に所定の半導体チップ
デバイスが装着されるCOFパッケージにおいて、外部
から所定のデータ及び制御信号を入力して半導体チップ
デバイスに伝達するための信号入力部と、半導体チップ
デバイスの該当端子と連結される一つ以上の受動素子
と、ベースフィルム上に形成され、受動素子を実装する
ための一つ以上の受動素子用パッドと、半導体チップデ
バイスの各端子のうち信号入力部を通じて外部に引き出
されていない端子をテストするための一つ以上のテスト
パッドとを具備する。
Description
特に、電気的特性評価のためのテストパッドを有するチ
ップオンフィルムパッケージ及びチップオンフィルムパ
ッケージ形成方法に関する。
rystal Device:以下、LCDという)を
使用する電子製品は軽薄短小化を要求する趨勢にある。
すなわち、LCD分野でICパッケージは多様な機能を
行うために入出力端子が増加すると同時に薄型化がさら
に要求される。このような要求に応じるために、集積回
路(Integrated Circuit:以下、I
Cという)をテープ形のパッケージで形成したテープキ
ャリアパッケージ(Tape Carrier Pack
age:以下、TCPという)技術が開発された。TC
Pにはテープ自動ボンディング(Tape Autom
ated Bonding:以下、TAB)パッケー
ジ、チップオンフィルム(Chip On Film:以
下、COFという)パッケージなどがある。
利用されるテープ上に接着剤を塗布し、接着剤により銅
箔(Cu foil)を接着させる。したがって、接着
された銅箔は設計されたパターンで配線され、テープ上
に配線されたリードとチップとが連結される。このよう
なTABパッケージは薄くなり、可撓性が向上するとい
う点で有利である。したがって、TABパッケージはL
CDが装備されるノート型パソコン、携帯電話のような
通信機器、時計及び計測器などいろいろな分野で多用さ
れている。
に発展した段階のCOFパッケージが開発された。この
ようなCOFパッケージはポリイミドテープの厚さが2
5umであって、75umの厚さを有するTABパッケ
ージより可撓性をさらに改善できる。また、COFパッ
ケージには抵抗およびキャパシタなどの受動素子を実装
して外部PCB(Printed Circuit Bo
ard)のサイズを減らせる。このように、COFパッ
ケージでは受動素子を実装することによってノイズ特性
を向上させ、外部PCBと連結されるコネクタ部分の端
子数を最小化できる。
パッケージは電気的特性評価時に一部制限的な要素が伴
う。すなわち、COFパッケージ内部で半導体チップデ
バイスのいくつかの端子はキャパシタ及び抵抗と連結さ
れた状態で一つの端子で結合されて外部と連結される場
合が存在する。一方、COFパッケージの電気的特性評
価は外部PCBと連結されるコネクタ側の端子だけで行
われることが一般的である。したがって、多くの端子が
パッケージ外部に引き出されずに内部的に形成されるC
OFパッケージでは、テストされる端子が制限される。
これによって、従来はチップの各パッドに対する全体的
な電気的特性を評価し難いという問題点があった。上記
問題点に鑑み、本発明の目的は、受動素子が実装される
COFパッケージ内部にテストパッドを具備して外部に
引き出されないチップの端子をテストできるようにした
COFパッケージを提供することである。上記問題点に
鑑み、本発明の他の目的は、前記COFパッケージを形
成するための方法を提供することである。
に、本発明による電気的特性評価のためのテストパッド
を有するCOFパッケージは、ベースフィルム上に所定
の半導体チップデバイスが装着されるチップオンフィル
ムパッケージにおいて、外部から所定のデータ及び制御
信号を入力して半導体チップデバイスに伝達するための
信号入力部と、半導体チップデバイスの該当端子と連結
される一つ以上の受動素子と、ベースフィルム上に形成
され、受動素子を実装するための一つ以上の受動素子用
パッドと、半導体チップデバイスの各端子のうち信号入
力部を通じて外部に引き出されていない端子をテストす
るための一つ以上のテストパッドと、を具備することを
特徴とする。
よる電気的特性評価のためのテストパッドを有するCO
Fパッケージ形成方法は、ベースフィルム上に所定の半
導体チップデバイスが装着されるCOFパッケージの形
成方法において、(a)ベースフィルム上にパターンを
形成する過程で所定の受動素子を実装するためのパッド
と、半導体チップデバイスの相異なる端子と連結される
パターンを有する少なくとも一つのテストパッドとを形
成する段階と、(b)半導体チップデバイスと、ベース
フィルム上に形成された内部リードとをボンディングす
る段階と、(c)外部のテスト設備を利用してテストパ
ッドを接触し、テストパッドと連結された各端子をテス
トする段階と、(d)テストが終わったならば、受動素
子の実装のためのパッド及びテストパッドにソルダペー
ストを覆う段階と、(e)受動素子を所定のパッドに整
列させて熱により互いに接合させ、テストが終わったテ
ストパッドに熱を加えてパターンを互いに短絡させる段
階と、を具備することを特徴とする。
本発明による電気的特性評価のためのテストパッドを有
するCOFパッケージ及びCOFパッケージ形成方法に
関して詳細に説明する。図1は、本発明の実施形態によ
る電気的特性評価を容易にするCOFパッケージを説明
するための図面である。図1に示した実施形態のCOF
パッケージはLCDドライバチップのためのCOFパッ
ケージである。図1を参照すれば、LCDドライバIC
のためのCOFパッケージ10はLCDドライバチップ
100、パターニングされた信号ライン170、電気的
特性評価用テストパッド110、120、受動素子部1
40、150、160及び信号入力部130より構成さ
れる。図1のCOFパッケージ10はポリイミドテープ
のベースフィルム上に接着剤を塗布せずに、テープ上に
銅箔を接着させて、設計されたパターンによって配線さ
れる。
タにより連結されるようにコネクタタイプで形成され、
外部の制御回路(例えば、マイクロプロセッサ)から多
数のデータおよび制御信号を入力して信号ライン170
を通じてLCDドライバチップ100に伝達する。図1
に示す信号入力部130に関して具体的に説明すれば次
の通りである。すなわち、信号入力部130は電源電圧
VDDと接地電圧VSSとが入力される端子を具備す
る。また、信号入力部130は所定ビット、例えば、8
ビットのデータをマイクロプロセッサ(図示せず)から
入力または出力するための端子D0〜D7を具備する。
信号入力部130のRD端子及びWR端子は各々読出し
イネーブル信号と書込みイネーブル信号とを収容するた
めの端子を示す。信号入力部130のAO端子は8ビッ
トのデータ入出力端子D0〜D7がディスプレイデータ
を入力とするかあるいは制御信号を入力とするかを選択
するための端子である。また、入力端子RESはRES
ET信号を入力とする端子を示し、CS1はチップセレ
クト端子を示し、CS1がイネーブルされる時だけデー
タ及び制御信号がイネーブルされる。 図1の信号ライ
ン170はCOFパッケージ10内部で信号入力部13
0とLCDドライバチップ100の各々の端子との間を
連結するための信号ラインである。
CDパネル(図示せず)の画面ディスプレイのために、
外部の信号入力部130と信号ライン170とを通じて
マイクロプロセッサ(図示せず)で所定のデータ及び制
御信号を受信し、LCDパネル(図示せず)を駆動する
ための駆動信号を生成してLCDパネルに出力する。図
1には図面の簡略化のために、LCDパネル(図示せ
ず)への出力端子は示さない。図1のLCDドライバチ
ップ100を参照して、各入力端子の機能を簡略に説明
する。
を収容するための端子が備わる。TEMPS端子はLC
Dの温度によって動作速度が変わるので、温度変化によ
って電圧変化比率を調節するための信号入力端子を示
す。INTRS端子はLCDドライバチップ100内部
の演算増幅器(図示せず)の利得を決定するための信号
入力端子であって、利得調整のために内部抵抗を使用す
るかどうかを選択できる。HPM端子はLCDドライバ
の電源供給回路のためのパワー制御端子であって、ハイ
またはローレベル状態によってノーマルモードか/高電
力モードかを示す。VO〜V4端子は電圧レベルが相異
なるLCD駆動電圧端子である。例えば、チップ100
内部に電圧発生回路が備わっていれば高電圧V0からV
1〜V4が内部的に生成でき、外部から印加されること
もある。各V0〜V4端子はチップ外部の受動素子部1
60と連結される。VR端子はVO電圧調整のための端
子であって、内部に電圧調整のための抵抗が備わってい
ない時は図1に示したように受動素子部150によりV
0電圧が調整される。また、図1のC2+、C2−、C
1+、C1−、C3+、C3−端子は各々内部電圧ブー
スタ用キャパシタ、すなわち、受動素子部160のキャ
パシタを連結するための端子である。また、MI端子は
マイクロプロセッサのタイプを決定するための端子であ
る。PS端子はデータインターフェースモードを決定す
るための端子であって、並列または直列データ入力を選
択するための端子である。CLS端子はテストクロック
信号入力のイネーブル/ディセーブル選択端子である。
すなわち、CLS端子がハイレベルと設定されればイネ
ーブル状態を示し、内部クロック信号がCL端子を通じ
て出力される。また、CLS端子がローレベルと設定さ
れればディセーブル状態を示し、外部クロック信号がC
L端子を通じて入力される。MS端子はマスターとスレ
ーブモードを選択するための端子であり、DUTY0、
DUTY1端子はLCDドライバのデューティ比率を決
定するための端子である。
0〜DB7は外部マイクロプロセッサ(図示せず)から
8ビット並列データを入力したりマイクロプロセッサへ
8ビット並列データを出力するための端子を示し、信号
入力部130のD0〜D7端子と連結される。E_RD
端子は読出しイネーブルクロック信号を入力するための
端子を示し、RW_WRは読出し/書込み制御のための
端子を示し、マイクロプロセッサのタイプによって読出
し/書込み制御入力端子または書込みイネーブルクロッ
ク入力端子として使われることもある。RS端子はレジ
スター選択入力端子である。RS端子がハイレベルまた
はローレベルのうちのどちらに設定されるかによってD
B0〜DB7は制御データ用に使われることもあり、デ
ィスプレイデータとして使われることもある。RESE
TB端子はリセット入力端子であり、CS2とCS1B
はチップ選択入力端子を示す。DISP端子はLCDデ
ィスプレイブランキング制御入力/出力端子であり、C
L端子はディスプレイクロック入/出力端子であり、M
はLCD AC信号入/出力端子を示し、FRSはLC
Dパネルに対する静的ドライバセグメント出力端子を示
す。
ージ10に実装される多数の受動素子、例えばキャパシ
タと抵抗、を含む。具体的に言えば、受動素子部140
は、各電圧V0〜V4を安定化させるための目的で、キ
ャパシタC1がV0〜V4端子と接地電圧VSSとの間
に連結されて、リップル成分が除去される。受動素子部
150は、V0電圧を調節するための素子、すなわち、
抵抗R1、R2及びキャパシタC3より構成される。受
動素子部160は、電圧ブースティング用キャパシタC
2より構成されて各々C2−、C2+、C3+、C3
−、C1+、C1−端子と連結されている。
ージ10にはチップ100の各端子のうち信号入力部1
30を通じて外部に引き出されない端子をテストするた
めのテストパッド110、120が備わる。すなわち、
第1パッド110は、電源電圧VDDライン180とC
LS信号ライン185との間に各々連結される第1、第
2ソルダパターンを含み、テストが終わった後第1、第
2ソルダパターンは互いに短絡される。第2パッド12
0は、CL端子により入/出力されるクロック信号をテ
ストできるようにCL信号ライン190と連結されてお
り、第1パッド110とは別のパターンで形成されてい
る。
は、外部に引き出されずに内部的に一つの端子で統合さ
れている端子の電気的特性をテストするのに有利であ
る。例えば、従来はCLS端子がVDDと常に連結され
ていてCLS端子自体をテストすることが困難であっ
た。さらに、このような場合にCLS端子がハイレベル
あるいはローレベルのうちのどちらに設定されているか
によってCL端子にクロック信号が正常に入力あるいは
出力されているのかが決まるので、CL端子をテストす
ることもできなかった。しかし、本発明では第1パッド
110を通じてCLS端子が正常に動作しているかどう
かを評価でき、CL端子も第2パッド120により評価
できる。
0、120を具体的に説明するための図面である。図2
を参照すれば、第1パッド110は第1ソルダパターン
110a、第2ソルダパターン110bより構成され
る。第1ソルダパターン110aの一側は電源電圧VD
Dライン180と連結され、第2パターン110bの一
側はCLS信号ライン185と連結される。第2パッド
120はソルダパターン120aにより具現され、CL
信号ライン190と連結されている。図2には受動素子
部160のためのパッドが共に示されている。受動素子
部160の各受動素子C2は各パッドの第1パターン1
60aと第2パターン160bとの間で一側及び他側が
ソルダリングされる。ここで、受動素子部160のパッ
ドに各受動素子C2がソルダリングされる前に、テスト
用パッド110、120の電気的特性評価が行われる。
したがって、特性評価が終わればテスト用パッド110
の第1、第2ソルダパターン110a、110bは互い
に短絡され、受動素子160がソルダリングされる。
の実施形態の図面である。図3を参照すれば、ソルダパ
ターン110a、110bの各中心部には突出型パター
ン110cが互いに交差して形成されていて、テスト完
了後に容易に短絡されるようになっている。
めのテストパッドを有するCOFパッケージ形成方法を
説明するためのフローチャーチである。図1〜図4を参
照してCOFパッケージ10形成方法を具体的に説明す
る。まず、ベースフィルム上のパターン形成過程で受動
素子を実装するためのパッドと、複数のテストパッド1
10、120とが形成される(第400段階)。ここ
で、パターン形成過程は、ベースフィルムのポリイミド
テープ上に銅箔を接着させ、接着された銅箔を予め設計
されたパターンで配線する過程により行われる。この
時、受動素子実装のためのパッド(例えば、図2の16
0a、160b)と複数のテストパッド110、120
とが形成されると同時にチップデバイス100を実装す
るための内部リードも形成される。したがって、装着し
ようとするチップデバイス、例えば、図1のLCDドラ
イバチップ100と内部リードとをボンディングしてL
CDドライバチップ100をベースフィルムに装着させ
る(第410段階)。
示せず)を利用してテストパッド110を設備と接触さ
せた後、テストパッド110と連結された各端子をテス
トして良品及び不良品を判定する(第420段階)。こ
の時、テストが終わったかどうかが判断される(第43
0段階)。もし、テストが終わっていなければ、第42
0段階が反復行われる。一方、テストが終わったなら
ば、受動素子を実装するためのパッド160a、160
b及びテストパッド110にソルダペーストを覆う(第
440段階)。この時、ソルダペーストを覆うことは、
キャパシタおよび抵抗のような受動素子をSMD(Su
rface Mount Device)実装方式でフィ
ルムに接合するための過程であるといえる。具体的に、
ソルダペーストを覆う過程において、受動素子が位置す
るパッド160a、160bにメタルマスクを利用した
スクリーンプリンティング方式またはソルダドッティン
グ(solder dotting)方式が利用され
る。このような方式は当業者に公知の方式であるため具
体的な説明を省略する。
0a、160bに各受動素子を整列した後、熱を加えて
パッドに接合させ、第430段階でテストが終わったテ
ストパッドに熱を加えて各ソルダパターンを互いに短絡
させる(第450段階)。この時、受動素子実装のため
のパッド160a、160bに素子を整列する時はSM
Dマウント設備が利用される。また、受動素子の接合の
ために熱を加える方式はリフロー方式及びレーザ照射方
式がある。リフロー方式は熱がある部分にパッドを通過
させてパッドと受動素子とを接合させる方式である。ま
た、レーザ照射方式はレーザビームを所望の部分に照射
して受動素子をパッドに接合させる方式をいう。同じ
く、テストパッド110の場合にもリフロー方式または
レーザ照射方式により熱を加えてテストパッド110の
パターン110a、110b、110cを互いに連結さ
せてパターンが互いに短絡されるようにする。ここで、
テストパッド110のパターンを具現する方式は図3に
示したことと異なる多様な方式により具現できる。すな
わち、テストが要求されるチップの端子に対してはフィ
ルムの適切な余分の位置にパッドを形成させてテストを
行い、終わった後にはパターンを互いに連結させる。ま
た、前述したように、特性評価が必ず要求される端子に
は図1のテストパッド120のように別のパッドがベー
スフィルム上に形成されるように具現できる。
して説明されたが、これは例示的なものに過ぎず、当業
者であればこれより多様な変形及び均等な他の実施形態
が可能である。したがって、本発明の真の技術的保護範
囲は特許請求の範囲の技術的思想により決まらねばなら
ない。
多数の受動素子が実装されうるCOFパッケージにおい
て、一つの端子で統合されて外部に引き出されない多数
の内部端子をテストするためのテストパッドを具備する
ことによって電気的な特性評価を容易に行える。また、
受動素子を実装できるCOFパッケージの長所を最大化
しつつ電気的なテスト時に生じた制限点を最小化できる
という効果がある。
のテストパッドを有するCOFパッケージを説明するた
めの図面である。
ッドを説明するための図面である。
造を示す詳細な図面である。
方法を説明するためのフローチャーチである。
Claims (15)
- 【請求項1】 ベースフィルム上に所定の半導体チップ
デバイスが装着されるチップオンフィルムパッケージに
おいて、 外部から所定のデータ及び制御信号を入力して前記半導
体チップデバイスに伝達するための信号入力部と、 前記半導体チップデバイスの該当端子と連結される一つ
以上の受動素子と、 前記ベースフィルム上に形成され、前記受動素子を実装
するための一つ以上の受動素子用パッドと、 前記半導体チップデバイスの各端子のうち前記信号入力
部を通じて外部に引き出されていない端子をテストする
ための一つ以上のテストパッドと、 を具備することを特徴とするチップオンフィルムパッケ
ージ。 - 【請求項2】 前記テストパッドは、 前記半導体チップデバイスのいずれか一つの端子に連結
される第1ソルダパターンと、他の一つの端子に連結さ
れる第2ソルダパターンとを具備することを特徴とする
請求項1に記載のチップオンフィルムパッケージ。 - 【請求項3】 前記テストパッドは、 前記第1ソルダパターンの一側及び前記第2ソルダパタ
ーンの一側に各々交差して連結され、突設される第3突
出型パターンをさらに具備することを特徴とする請求項
2に記載のチップオンフィルムパッケージ。 - 【請求項4】 前記テストパッドは、 電気的特性評価のためのテスト後に、前記第1、第2ソ
ルダパターンが前記第3突出型パターンにより互いに短
絡されることを特徴とする請求項3に記載のチップオン
フィルムパッケージ。 - 【請求項5】 前記テストパッドは、 電気的特性評価のためのテストが要求される各々の端子
と別途に連結される一つのパターンで形成されることを
特徴とする請求項1に記載のチップオンフィルムパッケ
ージ。 - 【請求項6】 前記テストパッドは、 前記半導体チップデバイスのいずれか一つの端子に連結
される第1ソルダパターン及び、他の一つの端子に連結
される第2ソルダパターンを具備する第1パッドと、 テストが要求される各々一つの端子と別途に連結される
一つのパターンで形成される第2パッドとを具備するこ
とを特徴とする請求項1に記載のチップオンフィルムパ
ッケージ。 - 【請求項7】 前記半導体チップデバイスは、 外部の液晶表示装置をドライビングするための液晶表示
装置ドライバチップであることを特徴とする請求項1に
記載のチップオンフィルムパッケージ。 - 【請求項8】 前記テストパッドは、 電源電圧及び前記半導体チップデバイスのクロックイネ
ーブル端子に各々連結される第1、第2ソルダパターン
を形成し、 電気的特性評価テスト後に前記第1、第2ソルダパター
ンは互いに短絡されることを特徴とする請求項7に記載
のチップオンフィルムパッケージ。 - 【請求項9】 ベースフィルム上に所定の半導体チップ
デバイスが装着されるチップオンフィルムパッケージの
形成方法において、 (a)前記ベースフィルム上にパターンを形成する過程
で所定の受動素子を実装するためのパッドと、前記半導
体チップデバイスの相異なる端子と連結されるパターン
を有する少なくとも一つのテストパッドとを形成する段
階と、 (b)前記半導体チップデバイスと、前記ベースフィル
ム上に形成された内部リードとをボンディングする段階
と、 (c)外部のテスト設備を利用して前記テストパッドを
接触し、前記テストパッドと連結された各端子をテスト
する段階と、 (d)前記テストが終わったならば、前記受動素子の実
装のためのパッド及び前記テストパッドにソルダペース
トを覆う段階と、 (e)前記受動素子を所定のパッドに整列させて熱によ
り互いに接合させ、前記テストが終わった前記テストパ
ッドに熱を加えてパターンを互いに短絡させる段階と、 を具備することを特徴とするチップオンフィルムパッケ
ージ形成方法。 - 【請求項10】 前記(a)段階は、 前記テストパッドが前記半導体チップデバイスのいずれ
か一つの端子に連結される第1ソルダパターンと、他の
一つの端子に連結される第2ソルダパターンとを具備す
るように形成する段階を含むことを特徴とする請求項9
に記載のチップオンフィルムパッケージ形成方法。 - 【請求項11】 前記(a)段階は、 前記テストパッドの前記第1、第2パターンの間に交差
して連結される第3突出型パターンを形成する段階を含
むことを特徴とする請求項10に記載のチップオンフィ
ルムパッケージ形成方法。 - 【請求項12】 ベースフィルム上に所定の半導体チッ
プデバイスが装着されるチップオンフィルムパッケージ
において、 前記半導体チップデバイスのターミナルに連結される複
数のターミナルを具備するコネクタと、 前記チップオンフィルムパッケージの内部に装着され、
前記コネクタに連結されていない前記半導体チップデバ
イスのターミナルをテストするための複数のテストパッ
ドとを具備することを特徴とするチップオンフィルムパ
ッケージ。 - 【請求項13】 前記複数のテストパッドは、 前記半導体チップデバイスのいずれか一つの端子に連結
される第1ソルダパターン及び、他の一つの端子に連結
される第2ソルダパターンを具備する共通テストパッド
と、 前記半導体チップデバイスのさらに他の一つの端子に連
結され、前記共通テストパッドから分離されて装着され
る専用テストパッドとを具備することを特徴とする請求
項12に記載のチップオンフィルムパッケージ。 - 【請求項14】 前記共通テストパッドの前記第1及び
第2ソルダパターンは、 前記第1及び第2ソルダパターンの間に装着される突出
型パターンを具備することを特徴とする請求項13に記
載のチップオンフィルムパッケージ。 - 【請求項15】 前記第1及び第2ソルダパターンの間
に装着される突出型パターンは、 前記第1及び第2ソルダパターンに連結される前記半導
体チップデバイスのターミナルをテストした後、前記第
1及び第2ソルダパターンを連結するのに使われること
を特徴とする請求項14に記載のチップオンフィルムパ
ッケージ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR2001-016871 | 2001-03-30 | ||
KR10-2001-0016871A KR100403621B1 (ko) | 2001-03-30 | 2001-03-30 | 전기적 특성 평가를 위한 테스트 패드를 갖는 칩 온 필름패키지 및 칩 온 필름 패키지 형성 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002313847A true JP2002313847A (ja) | 2002-10-25 |
JP4611600B2 JP4611600B2 (ja) | 2011-01-12 |
Family
ID=19707640
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002064194A Expired - Fee Related JP4611600B2 (ja) | 2001-03-30 | 2002-03-08 | 電気的特性評価のためのテストパッドを有するチップオンフィルムパッケージ及びチップオンフィルムパッケージ形成方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7442968B2 (ja) |
JP (1) | JP4611600B2 (ja) |
KR (1) | KR100403621B1 (ja) |
TW (1) | TW523853B (ja) |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100403621B1 (ko) * | 2001-03-30 | 2003-10-30 | 삼성전자주식회사 | 전기적 특성 평가를 위한 테스트 패드를 갖는 칩 온 필름패키지 및 칩 온 필름 패키지 형성 방법 |
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- 2002-02-01 US US10/061,099 patent/US7442968B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-02-25 TW TW091103248A patent/TW523853B/zh not_active IP Right Cessation
- 2002-03-08 JP JP2002064194A patent/JP4611600B2/ja not_active Expired - Fee Related
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- 2008-10-20 US US12/254,255 patent/US20090050887A1/en not_active Abandoned
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Publication number | Publication date |
---|---|
KR20020076764A (ko) | 2002-10-11 |
US20090050887A1 (en) | 2009-02-26 |
US7442968B2 (en) | 2008-10-28 |
TW523853B (en) | 2003-03-11 |
KR100403621B1 (ko) | 2003-10-30 |
JP4611600B2 (ja) | 2011-01-12 |
US20020139567A1 (en) | 2002-10-03 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071120 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
A521 | Written amendment |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100727 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |