KR100403621B1 - 전기적 특성 평가를 위한 테스트 패드를 갖는 칩 온 필름패키지 및 칩 온 필름 패키지 형성 방법 - Google Patents

전기적 특성 평가를 위한 테스트 패드를 갖는 칩 온 필름패키지 및 칩 온 필름 패키지 형성 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100403621B1
KR100403621B1 KR10-2001-0016871A KR20010016871A KR100403621B1 KR 100403621 B1 KR100403621 B1 KR 100403621B1 KR 20010016871 A KR20010016871 A KR 20010016871A KR 100403621 B1 KR100403621 B1 KR 100403621B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
test
film
package
terminal
pad
Prior art date
Application number
KR10-2001-0016871A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20020076764A (ko
Inventor
김형호
정예정
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR10-2001-0016871A priority Critical patent/KR100403621B1/ko
Priority to US10/061,099 priority patent/US7442968B2/en
Priority to TW091103248A priority patent/TW523853B/zh
Priority to JP2002064194A priority patent/JP4611600B2/ja
Publication of KR20020076764A publication Critical patent/KR20020076764A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100403621B1 publication Critical patent/KR100403621B1/ko
Priority to US12/254,255 priority patent/US20090050887A1/en
Priority to US13/212,527 priority patent/US8709832B2/en

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/0266Marks, test patterns or identification means
    • H05K1/0268Marks, test patterns or identification means for electrical inspection or testing
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/544Marks applied to semiconductor devices or parts, e.g. registration marks, alignment structures, wafer maps
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • H01L22/20Sequence of activities consisting of a plurality of measurements, corrections, marking or sorting steps
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • H01L22/30Structural arrangements specially adapted for testing or measuring during manufacture or treatment, or specially adapted for reliability measurements
    • H01L22/32Additional lead-in metallisation on a device or substrate, e.g. additional pads or pad portions, lines in the scribe line, sacrificed conductors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/52Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
    • H01L23/538Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames the interconnection structure between a plurality of semiconductor chips being formed on, or in, insulating substrates
    • H01L23/5387Flexible insulating substrates
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/0286Programmable, customizable or modifiable circuits
    • H05K1/0293Individual printed conductors which are adapted for modification, e.g. fusable or breakable conductors, printed switches
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2801Testing of printed circuits, backplanes, motherboards, hybrid circuits or carriers for multichip packages [MCP]
    • G01R31/2818Testing of printed circuits, backplanes, motherboards, hybrid circuits or carriers for multichip packages [MCP] using test structures on, or modifications of, the card under test, made for the purpose of testing, e.g. additional components or connectors
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/006Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/013Alloys
    • H01L2924/014Solder alloys
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/11Printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/18Printed circuits structurally associated with non-printed electric components
    • H05K1/189Printed circuits structurally associated with non-printed electric components characterised by the use of a flexible or folded printed circuit
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/03Conductive materials
    • H05K2201/0302Properties and characteristics in general
    • H05K2201/0305Solder used for other purposes than connections between PCB or components, e.g. for filling vias or for programmable patterns
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/09Shape and layout
    • H05K2201/09209Shape and layout details of conductors
    • H05K2201/09372Pads and lands
    • H05K2201/09381Shape of non-curved single flat metallic pad, land or exposed part thereof; Shape of electrode of leadless component
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/17Post-manufacturing processes
    • H05K2203/173Adding connections between adjacent pads or conductors, e.g. for modifying or repairing

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)
  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)

Abstract

전기적 특성 평가를 위한 테스트 패드를 갖는 칩 온 필름 패키지 및 칩 온 필름 패키지 형성 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 전기적 특성 평가를 위한 테스트 패드를 갖는 칩 온 필름 패키지는, 베이스 필름 위에 소정의 반도체 칩 디바이스가 장착되는 칩 온 필름(COF) 패키지에 있어서, 외부에서 소정의 데이타 및 제어 신호들을 입력하여, 반도체 칩 디바이스로 전달하기 위한 신호 입력부, 반도체 칩 디바이스의 해당 단자들과 연결되는 하나 이상의 수동 소자, 베이스 필름 위에 형성되며, 수동 소자들을 실장하기 위한 하나 이상의 수동 소자용 패드 및 반도체 칩 디바이스의 각 단자들 중에서 신호 입력부를 통하여 외부로 인출되어 있지 않은 단자들을 테스트하기 위한 하나 이상의 테스트 패드를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 칩 디바이스 외에 다수의 수동 소자들이 실장될 수 있는 칩 온 필름 패키지에 있어서, 하나의 단자로 통합되어 외부로 인출되지 않는 여러 개의 내부 단자들을 테스트하기 위한 테스트 패드들을 구비함으로써 전기적인 특성 평가를 용이하게 수행할 수 있다. 또한, 수동 소자를 실장할 수 있다는 COF 패키지의 장점을 최대화하면서 전기적인 테스트 시에 발생되었던 제한점을 최소화할 수 있다는 효과가 있다.

Description

전기적 특성 평가를 위한 테스트 패드를 갖는 칩 온 필름 패키지 및 칩 온 필름 패키지 형성 방법{Chip on film(COF) package having test pad for electric functional test and method of manufacturing the chip on film package}
본 발명은 반도체 장치에 관한 것으로서, 특히, 전기적 특성 평가를 위한 테스트 패드를 갖는 칩 온 필름 패키지 및 칩 온 필름 패키지 형성 방법에 관한 것이다.
근래에는, 액정 표시 장치(Liquid Crystal Device:이하, LCD라 함)를 사용하는 전자 제품들은 경박화 및 단소화를 요구하는 추세에 있다. 즉, LCD 분야에서 IC 패키지는 다양한 기능을 수행하기 위해 입출력 단자가 증가됨과 동시에 박형화가 더욱 요구된다. 이러한 요구에 부응하기 위해, 집적 회로 (Integrated Circuit:이하, IC라 함)를 테이프 형태의 패키지로 형성한 테이프 캐리어 패키지(Tape Carrier Package:이하, TCP이라 함) 기술이 개발되었다. TCP의 종류에는 테이프 자동 본딩(Tape Automated Bonding:이하, TAB) 패키지와 칩 온 필름(COF) 패키지 등의 종류가 있다. TAB 패키지는 베이스 필름으로 이용되는 테이프 위에 접착제를 도포하고, 접착제에 의해 동박(Cu foil)을 접착시킨다. 따라서, 접착된 동박은 설계된 패턴으로 배선되며, 테이프 위에 배선된 리드(lead)와 칩이 연결된다. 이러한 TAB 패키지는 두께가 얇아지고, 굽힘성 (flexibility)이 향상된다는 점에서 유리하다. 따라서, TAB 패키지는 LCD가 부착되는 노트북 컴퓨터, 핸드폰과 같은 통신 기기, 시계 및 계측기 등 여러 분야에서 많이 이용된다.
또한, 최근에는 TAB 패키지보다 더 발전된 단계인 칩 온 필름(Chip On Film:이하, COF 라 함) 패키지가 개발되었다. 이러한 COF 패키지는 폴리이미드(polyimide) 테이프의 두께가 25um로서, 75um의 두께를 갖는 TAB 패키지보다 굽힘성이 더 개선될 수 있다. 또한, COF 패키지에는 저항과 커패시터 등의 수동 소자가 실장될 수 있어 외부 PCB(Printed Circuit Board)의 사이즈를 줄일 수 있다. 이와 같이, COF 패키지는 수동 소자를 실장할 수 있도록 구현됨으로써 노이즈 특성을 향상시킬 수 있고, 외부 PCB와 연결되는 커넥터 부분의 단자 수를 최소화할 수 있다.
그러나, COF 패키지는 전기적 특성 평가 시에 일부 제한적인 요소가 따른다. 즉, COF 패키지 내부에서 반도체 칩 디바이스의 여러 개의 단자들은 커패시터 및 저항들과 연결된 상태에서 하나의 단자로 결합되어 외부와 연결되는 경우가 존재한다. 반면, COF 패키지의 전기적 특성 평가는 외부 PCB와 연결되는 커넥터측의 단자들만으로 테스트가 이루어지는 것이 일반적이다. 따라서, 많은 단자들이 패키지 외부로 인출되어 있지 않고 내부적으로 형성되는 COF 패키지에서는 테스트되는 단자들이 제한되어 있다. 이로 인해, 종래에는 칩의 각 패드들에 대한 전체적인 전기적 특성을 평가하는 것이 어렵다는 문제점이 있다.
본 발명이 이루고자하는 기술적 과제는, 수동 소자들이 실장되는 칩 온 필름(COF) 패키지 내부에 테스트 패드를 구비하여 외부로 인출되지 않는 칩의 단자들을 테스트할 수 있도록 구현된 칩 온 필름 패키지를 제공하는데 있다.
본 발명이 이루고자하는 다른 기술적 과제는, 상기 칩 온 필름(COF) 패키지를 형성하기 위한 방법을 제공하는데 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 전기적 특성 평가를 위한 테스트 패드를 갖는 칩 온 필름(Chip On Film:COF) 패키지를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 COF 패키지에 구비되는 테스트 패드들을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 도 2에 도시된 테스트 패드 중에서 제1패드의 구조를 나타내는 상세한 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 COF 패키지 형성 방법을 설명하기 위한 플로우차트이다.
상기 과제를 이루기위해, 본 발명에 따른 전기적 특성 평가를 위한 테스트 패드를 갖는 칩 온 필름(COF) 패키지는, 베이스 필름 위에 소정의 반도체 칩 디바이스가 장착되는 칩 온 필름(COF) 패키지에 있어서, 외부에서 소정의 데이타 및 제어 신호들을 입력하여, 반도체 칩 디바이스로 전달하기 위한 신호 입력부, 반도체 칩 디바이스의 해당 단자들과 연결되는 하나 이상의 수동 소자, 베이스 필름 위에 형성되며, 수동 소자들을 실장하기 위한 하나 이상의 수동 소자용 패드 및 반도체 칩 디바이스의 각 단자들 중에서 신호 입력부를 통하여 외부로 인출되어 있지 않은 단자들을 테스트하기 위한 하나 이상의 테스트 패드를 구비하고, 상기 테스트 패드는 소정의 패턴들을 구비하며, 테스트 후 상기 패턴들이 단락되는 것을 특징으로 한다.
상기 다른 과제를 이루기위해, 본 발명에 따른 전기적 특성 평가를 위한 테스트 패드를 갖는 칩 온 필름(COF) 패키지 형성 방법은, 베이스 필름 위에 소정의 반도체 칩 디바이스가 장착되는 칩 온 필름(COF) 패키지의 형성 방법에 있어서, (a)베이스 필름 위에 패턴을 형성하는 과정에서 소정의 수동 소자들을 실장하기 위한 패드와, 반도체 칩 디바이스의 서로 다른 단자와 연결되는 패턴들을 갖는 적어도 하나의 테스트 패드를 형성하는 단계, (b)반도체 칩 디바이스와, 베이스 필름 위에 형성된 내부 리드를 본딩하는 단계, (c)외부의 테스트 설비를 이용하여 테스트 패드를 접촉하고, 테스트 패드와 연결된 각 단자를 테스트하는 단계, (d)테스트가 완료되었으면, 수동 소자 실장을 위한 패드와 테스트 패드에 솔더 페이스트를 입히는 단계 및 (e)수동 소자를 정해진 패드에 정렬시켜 열에 의해 서로 접합시키고, 테스트가 완료된 테스트 패드에 열을 가하여 패턴들을 서로 단락(short)시키는 단계를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명에 따른 전기적 특성 평가를 위한 테스트 패드를 갖는 칩 온 필름 패키지 및 칩 온 필름 패키지 형성 방법에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 다음과 같이 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 전기적 특성 평가를 용이하게 하는 COF 패키지를 설명하기 위한 도면이다. 도 1에 도시된 실시예는 액정 표시 장치(LCD) 드라이버 칩을 위한 COF 패키지를 나타낸다.
도 1을 참조하면, LCD드라이버 IC를 위한 COF 패키지(10)는 LCD 드라이버 칩(100), 패터닝된 신호 라인(170), 전기적 특성 평가용 테스트 패드들(110, 120), 수동 소자부(140, 150, 160) 및 신호 입력부(130)로 구성된다.
도 1의 COF 패키지(10)는 폴리이미드 테이프인 베이스 필름 위에 접착제를 도포하지 않고, 테이프 위에 동박(Cu foil)을 접착시켜 설계된 패턴에 따라서 배선된다.
신호 입력부(130)는 외부 PCB와 커넥터에 의해 연결될 수 있도록 커넥터 타입으로 형성되며, 외부의 제어 회로(예를 들어, 마이크로프로세서)로부터 다수의 데이타와, 제어 신호등을 입력하여 신호 라인들(170)을 통하여 LCD드라이버 칩(100)으로 전달한다. 도 1에 도시된 신호 입력부(130)에 관하여 구체적으로 설명하면 다음과 같다. 즉, 신호 입력부(130)는 전원전압(VDD)과 접지 전압(VSS)이 입력되는 단자들을 구비한다. 또한, 신호 입력부(130)는 소정 비트, 예를 들어, 8비트의 데이타를 마이크로프로세서(미도시)로부터 입력 또는 출력하기 위한 단자들(D0~D7)이 구비된다. 신호 입력부(130)의 RD 단자와 WR단자는 각각 독출 인에이블 신호와 기입 인에이블 신호를 받아들이기 위한 단자를 나타낸다. 신호 입력부(130)의 AO단자는 8비트의 데이타 입출력 단자 D0~D7가 디스플레이 데이타를 입력으로 하는지 제어 신호를 입력으로 하는지를 선택하기 위한 단자이다. 또한, 입력 단자 RES는 RESET 신호를 입력으로 하는 단자를 나타내고, CS1은 칩 셀렉트 단자를 나타내며, CS1이 인에이블될 때만 데이타 및 제어 신호등이 인에이블된다.
도 1의 신호 라인들(170)은 COF 패키지(10) 내부에서 신호 입력부(130)와 l LCD 드라이버 칩(100)의 각각의 단자들 사이를 연결하기 위한 신호 라인을 나타낸다.
LCD드라이버 칩(100)은 외부의 LCD패널(미도시)의 화면 디스플레이를 위해, 외부의 신호 입력부(130)와 신호 라인들(170)을 통하여 마이크로프로세서(미도시) 에서 소정의 데이타들과 제어 신호들을 수신하고, LCD 패널(미도시)을 구동하기 위한 구동 신호들을 생성하여 LCD패널로 출력한다. 도 1에는 도면의 간략화를 위해, LCD 패널(미도시)로의 출력 단자는 도시되지 않는다.
도 1의 LCD드라이버 칩(100)을 참조하여 각 입력 단자들의 기능이 간략히 설명된다. 우선, 전원 전압(VDD)과 접지 전압(VSS)을 받아들이기 위한 단자들이 구비된다. TEMPS 단자는 LCD의 온도에 따라서 동작 속도가 달라지므로, 온도 변화에 따라 전압 변화 비율을 조절하기 위한 신호 입력 단자를 나타낸다. INTRS 단자는 LCD 드라이버 칩(100) 내부 연산 증폭기(미도시)의 이득을 결정하기 위한 신호 입력 단자로서, 이득 조정을 위해 내부 저항을 사용할 것인지 아닌지를 선택할 수 있다. HPM 단자는 LCD드라이버의 전원 공급 회로를 위한 파워 제어 단자를 나타내며, 하이 또는 로우 레벨 상태에 따라서 노말 모드인지/고전력 모드인지를 나타낸다. VO~V4 단자는 서로 전압 레벨이 다른 LCD 구동 전압 단자를 나타낸다. 예를 들어, 칩(100) 내부에 전압 발생 회로가 구비되어 있다면 고 전압(V0)으로부터 V1~V4가생성될 수 있고, 외부로부터 인가될 수도 있다. 각 V0~V4 단자는 칩 외부의 수동 소자부(160)와 연결된다. VR단자는 VO 전압 조정을 위한 단자를 나타내며, 내부에 전압 조정을 위한 저항들이 구비되지 않을 때는 도 1에 도시된 바와 같이 수동 소자부(150)에 의해 V0전압이 조정된다. 또한, 도 1의 C2+, C2-, C1+,C1-, C3+, C3-단자들은 각각 내부 전압 부스터(BOOSTER)용 커패시터들, 즉, 수동 소자부(160)의 커패시터들을 연결하기 위한 단자들을 나타낸다. 또한, MI단자는 마이크로프로세서의 타입을 결정하기 위한 단자를 나타낸다. PS단자는 데이타 인터페이스 모드를 결정하기 위한 단자를 나타내며, 병렬 또는 직렬 데이타 입력을 선택하기 위한 단자이다. CLS단자는 테스트 클럭 신호 입력의 인에이블/디스에이블 선택 단자를 나타낸다. 즉, CLS단자가 하이 레벨로 설정되면 인에이블 상태를 나타내며, 내부 클럭 신호가 CL단자를 통하여 출력된다. 또한, CLS단자가 로우 레벨로 설정되면 디스에이블 상태를 나타내며, 외부 클럭 신호가 CL단자를 통하여 입력된다. MS단자는 마스터와 슬레이브 모드를 선택하기 위한 단자를 나타내며, DUTY0, DUTY1단자는 LCD 드라이버의 듀티 비율를 결정하기 위한 단자들이다.
또한, LCD드라이버 칩(100)의 DB0~DB7은 외부 마이크로프로세서(미도시)에서 8비트 병렬 데이타를 입력하거나 마이크로프로세서로 8비트 병렬 데이타를 출력하기 위한 단자를 나타내며, 신호 입력부(130)의 D0~D7단자와 연결된다. E_RD단자는 독출 인에이블 클럭 신호를 입력하기 위한 단자를 나타내고, RW_WR는 독출/기입 제어를 위한 단자를 나타내고, 마이크로프로세서의 타입에 따라서 독출/기입 제어 입력 단자 또는 기입 인에이블 클럭 입력 단자로 사용될 수도 있다. RS 단자는 레지스터 선택 입력 단자를 나타낸다. RS단자가 하이 레벨 또는 로우 레벨로 설정되는지에 따라서 DB0~DB7은 제어 데이타용으로 사용될 수도 있고, 디스플레이 데이타로 사용될 수도 있다. RESETB 단자는 리셋 입력 단자를 나타내고, CS2와 CS1B는 칩 선택 입력 단자를 나타낸다. DISP단자는 LCD 디스플레이 블랭킹 제어 입력/출력 단자를 나타내며, CL단자는 디스플레이 클럭 입/출력 단자를 나타내고, M은 LCD AC 신호 입/출력 단자를 나타내고, FRS는 LCD 패널에 대한 정적(STATIC) 드라이버 세그먼트 출력 단자를 나타낸다.
도 1의 수동 소자부(140)는 COF 패키지(10)에 실장되는 다수의 수동 소자들, 예를 들어, 커패시터와 저항들을 포함한다. 구체적으로, 수동 소자부(140)는 각 전압(V0~V4)을 안정화시키기 위한 목적으로, 커패시터들(C1)이 V0~V4 단자들과 접지 전압(VSS) 사이에 연결되어 리플 성분이 제거된다. 수동 소자부(150)는 VO 전압을 조절하기 위한 소자들, 즉, 저항들(R1, R2)과 커패시터(C3)로 구성된다. 수동 소자부(160)는 전압 부스팅용 커패시터들(C2)로 구성되어 각각 C2-,C2+,C3+,C3-,C1+,C1-단자와 연결되어 있다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 COF 패키지(10)에는 칩(100)의 각 단자들 중에서 신호 입력부(130)를 통해 외부로 인출되지 않은 단자들을 테스트하기 위한 테스트 패드들(110, 120)이 구비된다. 즉, 제1패드(110)는 전원 전압(VDD) 라인(180)과 CLS신호 라인(185) 사이에 각각 연결되는 제1, 제2솔더 패턴을 포함하며, 테스트가 완료된 후 제1, 제2솔더 패턴은 서로 단락(SHORT)된다.
제2패드(120)는 CL 단자에 의해 입/출력되는 클럭 신호를 테스트할 수 있도록, CL 신호 라인(190)과 연결되는 별도의 패턴으로 형성된 예를 나타낸다.
이와 같이, 테스트 패드들(110, 120)은, 외부로 인출되지 않고 내부적으로 하나의 단자로 통합되어 있는 단자들의 전기적 특성을 테스트하는데 유리하다. 예를 들어, 종래에는 CLS단자가 VDD와 항상 연결되어 있어 CLS 단자 자체를 테스트하는 것이 불리했다. 그러나, 이러한 경우에 CLS단자가 하이 레벨 또는 로우 레벨로 설정되어 있는가에 따라서 CL단자에 클럭 신호가 정상적으로 입력되는지 또는 출력되는지가 테스트될 수 없었다. 그러나, 본 발명에서는 제1패드(110)를 통하여 CLS단자가 정상적으로 동작하는지 평가될 수 있고, CL 단자도 제2패드(120)에 의해 평가될 수 있다.
도 2는 도 1에 도시된 테스트 패드들(110,120)을 구체적으로 설명하기 위한 도면이다. 도 2를 참조하면, 제1패드(110)는 제1솔더 패턴(110a), 제2솔더 패턴(110b)으로 구성된다. 제1솔더 패턴(110a)의 일측은 전원 전압(VDD) 라인 (180)과 연결되고, 제2패턴(110b)의 일측은 CLS 신호 라인(185)과 연결된다.
제2패드(120)는 솔더 패턴(120)에 의해 구현되며, CL 신호 라인(190)과 연결되어 있다.
도 2에는 수동 소자부(160)를 위한 패드들이 함께 도시된다. 수동 소자부(160)의 각 수동 소자들(C2)은 각 패드의 제1패턴(160a)과 제2패턴(160b) 사이에 일측과 타측이 솔더링된다. 여기에서, 수동 소자부(160)의 패드에 각 수동 소자들(C2)이 솔더링되기 전에, 테스트용 패드(110, 120)의 전기적 특성 평가가 이루어진다. 따라서, 특성 평가가 완료되면 테스트용 패드(110)의 제1, 제2솔더패턴(110a, 110b)은 서로 단락되고, 수동 소자들(160)이 솔더링된다.
도 3은 도 2에 도시된 테스트 패드(110)를 나타내는 실시예의 도면이다. 도 3을 참조하면, 솔더 패턴들(110a, 110b)의 각 중심부에는 돌출형 패턴들(110c)이 서로 엇갈리게 형성되어 테스트 완료 후 쉽게 단락될 수 있도록 구현된다.
도 4는 본 발명에 따른 전기적 특성 평가를 위한 테스트 패드를 갖는 칩 온 필름 패키지 형성 방법을 설명하기 위한 플로우차트이다. 도 1~도 4를 참조하여 COF 패키지(10) 형성 방법이 구체적으로 설명된다. 우선, 베이스 필름 위의 패턴 형성 과정(patterning)에서 수동 소자들을 실장하기 위한 패드들과, 복수의 테스트 패드들(110,120)이 형성된다(제400단계). 여기에서, 패턴 형성 과정은 베이스 필름인 폴리이미드 테이프 위에 동박(Cu foil)을 접착시키고, 접착된 동박을 미리 설계된 패턴으로 배선하는 과정에 의해 이루어진다. 이 때, 수동 소자 실장을 위한 패드들(예를 들어, 도 2의 160a, 160b)과 복수의 테스트 패드들(110, 120)이 형성됨과 동시에 칩 디바이스(100)를 실장하기 위한 내부 리드들도 형성된다. 따라서, 장착하고자 하는 칩 디바이스, 예를 들어, 도 1의 LCD 드라이버 칩(100)과 내부 리드(inner lead)를 본딩하여 LCD 드라이버 칩(100)이 베이스 필름에 장착되도록 한다(제410단계). 제410단계 후에, 소정의 테스트 설비(미도시)를 이용하여 테스트 패드(110)가 설비와 접촉되도록 한 후, 테스트 패드(110)와 연결된 각 단자를 테스트하여 양품과 불량을 판정한다(제420단계). 이 때, 테스트 가 완료되었는지가 판단된다(제430단계). 만일, 테스트가 완료되지 않았다면, 제420단계가 반복 수행된다. 반면, 테스트가 완료되었다면, 수동 소자를 실장하기 위한 패드들(160a, 160b)과 테스트 패드(110)에 솔더 페이스트(solder paste)를 입힌다(제440단계). 이 때, 솔더 페이스트를 입히는 것은 커패시터와 저항같은 수동 소자를 SMD(Surface Mount Device) 실장 방식으로 필름에 접합하기 위한 과정이라 할 수 있다. 구체적으로, 솔더 페이스트를 입히는 과정에 있어서, 수동 소자가 위치할 패드(160a,160b)에 메탈 마스크를 이용한 스크린 프린팅(screen printing) 방식 또는 솔더 도팅(solder dotting) 방식이 이용된다. 이러한 방식들은 당업자에게 잘 알려져 있는 방식이므로 구체적인 설명은 생략된다. 제440단계 후에, 수동 소자용 패드(160a, 160b)에 각 수동 소자들을 정렬한 후 열을 가하여 패드에 접합시키고, 제430단계에서 테스트가 완료된 테스트 패드에 열을 가하여 각 솔더 패턴들을 서로 단락시킨다(제450단계). 이 때, 수동 소자 실장을 위한 패드(160a, 160b)들에 소자들을 정렬할 때는 SMD 마운트 설비가 이용된다. 또한, 수동 소자들의 접합을 위해 열을 가하는 방식은 리플로우(reflow) 방식과 레이저 조사(laser radiation) 방식이 있을 수 있다. 리플로우 방식은 열이 있는 부분을 통과시켜 패드와 수동 소자들이 접합되도록 하는 방식이다. 또한, 레이저 조사 방식은 레이저 빔을 원하는 부분에 조사하여 수동 소자들이 패드에 접합되도록 하는 방식을 말한다. 마찬가지로, 테스트 패드(110)의 경우에도 리플로우 방식 또는 레이저 조사 방식에 의해 열을 가하여 테스트 패드(110)의 패턴들(110a, 110b, 110c)이 서로 연결되도록 하여 패턴들이 서로 단락되도록 한다. 여기에서, 테스트 패드(110)의 패턴들을 구현하는 방식은 도 3에 도시된 것과 다른 여러 가지의 방식에 의해 구현될 수 있다. 즉, 테스트가 요구되는 칩의 단자들에 대해서는 필름의 적절한 여분의 위치에 패드가 형성되도록 하여테스트를 수행하고, 완료된 후에는 패턴들이 서로 연결되도록 한다.
또한, 전술한 바와 같이, 특성 평가가 반드시 요구되는 단자에는 도 1의 테스트 패드(120)와 같이 별도의 패드가 베이스 필름 위에 형성되도록 구현될 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
본 발명에 따르면, 칩 디바이스 외에 다수의 수동 소자들이 실장될 수 있는 칩 온 필름 패키지에 있어서, 하나의 단자로 통합되어 외부로 인출되지 않는 여러 개의 내부 단자들을 테스트하기 위한 테스트 패드들을 구비함으로써 전기적인 특성 평가를 용이하게 수행할 수 있다. 또한, 수동 소자를 실장할 수 있다는 COF 패키지의 장점을 최대화하면서 전기적인 테스트 시에 발생되었던 제한점을 최소화할 수 있다는 효과가 있다.

Claims (10)

  1. 베이스 필름 위에 소정의 반도체 칩 디바이스가 장착되는 칩 온 필름(COF) 패키지에 있어서,
    외부에서 소정의 데이타 및 제어 신호들을 입력하여, 상기 반도체 칩 디바이스로 전달하기 위한 신호 입력부;
    상기 반도체 칩 디바이스의 해당 단자들과 연결되는 하나 이상의 수동 소자;
    상기 베이스 필름 위에 형성되며, 상기 수동 소자들을 실장하기 위한 하나 이상의 수동 소자용 패드; 및
    상기 반도체 칩 디바이스의 각 단자들 중에서 상기 신호 입력부를 통하여 외부로 인출되어 있지 않은 단자들을 테스트하기 위한 하나 이상의 테스트 패드를 구비하고,
    상기 테스트 패드는,
    소정의 패턴들을 구비하며, 테스트 후 상기 패턴들이 단락되는 것을 특징으로 하는 칩 온 필름 패키지.
  2. 제1항에 있어서, 상기 테스트 패드는,
    상기 반도체 칩 디바이스의 어느 하나의 단자에 연결되는 제1솔더 패턴과, 다른 하나의 단자에 연결되는 제2솔더 패턴을 구비하는 것을 특징으로 하는 칩 온 필름 패키지.
  3. 제2항에 있어서, 상기 테스트 패드는,
    상기 제1솔더 패턴의 일측과 상기 제2솔더 패턴의 일측에 각각 엇갈리게 연결되고, 돌출형으로 형성되는 제3돌출형 패턴을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 칩 온 필름 패키지.
  4. 제3항에 있어서, 상기 테스트 패드는,
    전기적 특성 평가를 위한 테스트 후에 상기 제1, 제2솔더 패턴이 상기 제3돌출형 패턴에 의해 서로 단락(short)되는 것을 특징으로 하는 칩 온 필름 패키지.
  5. 제1항에 있어서, 상기 테스트 패드는,
    전기적 특성 평가를 위한 테스트가 요구되는 각 하나의 단자와 별도로 연결되는 하나의 패턴으로 형성되는 것을 특징으로 하는 칩 온 필름 패키지.
  6. 제1항에 있어서, 상기 테스트 패드는,
    상기 반도체 칩 디바이스의 어느 하나의 단자에 연결되는 제1솔더 패턴과, 다른 하나의 단자에 연결되는 제2솔더 패턴을 구비하는 제1패드; 및
    테스트가 요구되는 각 하나의 단자와 별도로 연결되는 하나의 패턴으로 형성되는 제2패드를 구비하는 것을 특징으로 하는 칩 온 필름 패키지.
  7. 제1항에 있어서, 상기 반도체 칩 디바이스는,
    외부의 액정 표시 장치를 드라이빙하기 위한 액정 표시 장치 드라이버 칩인 것을 특징으로 하는 칩 온 필름 패키지.
  8. 제7항에 있어서, 상기 테스트 패드는,
    전원 전압과 상기 반도체 칩 디바이스의 클럭 인에이블 단자에 각각 연결되는 제1, 제2솔더 패턴을 형성하고,
    전기적 특성 평가 테스트 후에 상기 제1, 제2솔더 패턴은 서로 단락되는 것을 특징으로 하는 칩 온 필름 패키지.
  9. 베이스 필름 위에 소정의 반도체 칩 디바이스가 장착되는 칩 온 필름(COF) 패키지의 형성 방법에 있어서,
    (a)상기 베이스 필름 위에 패턴을 형성하는 과정에서 소정의 수동 소자들을 실장하기 위한 패드와, 상기 반도체 칩 디바이스의 서로 다른 단자와 연결되는 패턴들을 갖는 적어도 하나의 테스트 패드를 형성하는 단계;
    (b)상기 반도체 칩 디바이스와, 상기 베이스 필름 위에 형성된 내부 리드를 본딩하는 단계;
    (c)외부의 테스트 설비를 이용하여 상기 테스트 패드를 접촉하고, 상기 테스트 패드와 연결된 각 단자를 테스트하는 단계;
    (d)상기 테스트가 완료되었으면, 상기 수동 소자 실장을 위한 패드와 상기 테스트 패드에 솔더 페이스트를 입히는 단계; 및
    (e)상기 수동 소자를 정해진 패드에 정렬시켜 열에 의해 서로 접합시키고, 상기 테스트가 완료된 상기 테스트 패드에 열을 가하여 패턴들을 서로 단락(short)시키는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 칩 온 필름 패키지 형성 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 (a) 단계는,
    상기 테스트 패드의 상기 패턴들 사이에 엇갈리게 연결되는 돌출형 패턴을형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 칩 온 필름 패키지 형성 방법.
KR10-2001-0016871A 2001-03-30 2001-03-30 전기적 특성 평가를 위한 테스트 패드를 갖는 칩 온 필름패키지 및 칩 온 필름 패키지 형성 방법 KR100403621B1 (ko)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2001-0016871A KR100403621B1 (ko) 2001-03-30 2001-03-30 전기적 특성 평가를 위한 테스트 패드를 갖는 칩 온 필름패키지 및 칩 온 필름 패키지 형성 방법
US10/061,099 US7442968B2 (en) 2001-03-30 2002-02-01 Chip on film (COF) package having test pad for testing electrical function of chip and method for manufacturing same
TW091103248A TW523853B (en) 2001-03-30 2002-02-25 Chip on film (COF) package having test pad for testing electrical function of chip and method for manufacturing same
JP2002064194A JP4611600B2 (ja) 2001-03-30 2002-03-08 電気的特性評価のためのテストパッドを有するチップオンフィルムパッケージ及びチップオンフィルムパッケージ形成方法
US12/254,255 US20090050887A1 (en) 2001-03-30 2008-10-20 Chip on film (cof) package having test pad for testing electrical function of chip and method for manufacturing same
US13/212,527 US8709832B2 (en) 2001-03-30 2011-08-18 Chip on film (COF) package having test line for testing electrical function of chip and method for manufacturing same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2001-0016871A KR100403621B1 (ko) 2001-03-30 2001-03-30 전기적 특성 평가를 위한 테스트 패드를 갖는 칩 온 필름패키지 및 칩 온 필름 패키지 형성 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20020076764A KR20020076764A (ko) 2002-10-11
KR100403621B1 true KR100403621B1 (ko) 2003-10-30

Family

ID=19707640

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2001-0016871A KR100403621B1 (ko) 2001-03-30 2001-03-30 전기적 특성 평가를 위한 테스트 패드를 갖는 칩 온 필름패키지 및 칩 온 필름 패키지 형성 방법

Country Status (4)

Country Link
US (2) US7442968B2 (ko)
JP (1) JP4611600B2 (ko)
KR (1) KR100403621B1 (ko)
TW (1) TW523853B (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11862548B2 (en) 2020-11-30 2024-01-02 Samsung Electronics Co., Ltd. Package substrate film and semiconductor package including the same

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100403621B1 (ko) * 2001-03-30 2003-10-30 삼성전자주식회사 전기적 특성 평가를 위한 테스트 패드를 갖는 칩 온 필름패키지 및 칩 온 필름 패키지 형성 방법
KR100815913B1 (ko) * 2002-06-28 2008-03-21 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정 표시 장치
JP2005136246A (ja) * 2003-10-31 2005-05-26 Renesas Technology Corp 半導体集積回路装置の製造方法
US7145353B2 (en) * 2004-04-01 2006-12-05 Wentworth Laboratories, Inc. Double side probing of semiconductor devices
TW200735317A (en) * 2006-03-14 2007-09-16 Novatek Microelectronics Corp Tape
JP2007266329A (ja) * 2006-03-29 2007-10-11 Fujitsu Ltd 回路基板及びそれを有する電子装置
DE102006031568A1 (de) * 2006-07-07 2008-01-10 Siemens Ag Verfahren zum elektrischen Testen von Chips
CN101515442B (zh) * 2008-02-21 2012-06-06 中华映管股份有限公司 周边电路
KR101445117B1 (ko) * 2008-06-25 2014-10-01 삼성전자주식회사 테스트 패드 구조물, 반도체 칩 검사용 패드 구조물 및이를 포함하는 테이프 패키지용 배선기판
US8797057B2 (en) * 2011-02-11 2014-08-05 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Testing of semiconductor chips with microbumps
US9030837B2 (en) 2011-06-10 2015-05-12 Scott Moncrieff Injection molded control panel with in-molded decorated plastic film that includes an internal connector
US8532156B2 (en) 2011-09-13 2013-09-10 Seagate Technology Llc Semiconductor laser with test pads
US8923357B2 (en) 2011-09-13 2014-12-30 Seagate Technology Llc Semiconductor laser with cathode metal layer disposed in trench region
KR102017158B1 (ko) 2013-03-04 2019-09-02 삼성전자주식회사 칩 온 필름 패키지 및 이를 갖는 표시 장치
KR102052898B1 (ko) 2013-05-06 2019-12-06 삼성전자주식회사 분산 배치된 비아 플러그들을 포함하는 칩 온 필름 패키지
KR101726262B1 (ko) 2015-01-02 2017-04-13 삼성전자주식회사 패키지 기판용 필름, 이를 사용한 반도체 패키지 및 반도체 패키지를 포함하는 표시 장치
CN106558570B (zh) * 2015-09-24 2019-05-17 联咏科技股份有限公司 覆晶薄膜封装
TWI578487B (zh) 2015-09-24 2017-04-11 聯詠科技股份有限公司 薄膜覆晶封裝
CN106782256B (zh) * 2015-11-18 2020-11-03 上海和辉光电有限公司 一种带有面板测试电路的显示装置
CN106255310A (zh) * 2016-08-17 2016-12-21 京东方科技集团股份有限公司 一种cof柔性电路板、显示装置
JP6818512B2 (ja) * 2016-10-27 2021-01-20 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置及び表示装置の製造方法
DE102018116531A1 (de) 2017-10-23 2019-06-06 Samsung Electronics Co., Ltd. Anzeigevorrichtung, Halbleiterpackage und Film für ein Packagesubstrat
CN109068479A (zh) * 2018-08-24 2018-12-21 武汉佰起科技有限公司 一种柔性软板及其装配夹具
US11374036B2 (en) * 2020-05-14 2022-06-28 Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. Array substrate, manufacturing method thereof, and display device

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06244343A (ja) * 1993-02-16 1994-09-02 Casio Comput Co Ltd 半導体チップ実装装置
KR19990015061A (ko) * 1997-08-01 1999-03-05 윤종용 삼색 데이터 출력 확인이 가능한 테이프 케리어 패키지
KR20000007737A (ko) * 1998-07-07 2000-02-07 윤종용 엘씨디 패널
KR20000012919A (ko) * 1998-08-03 2000-03-06 윤종용 액정 패널
JP2000208717A (ja) * 1999-01-19 2000-07-28 Sharp Corp 半導体チップおよび半導体装置用パッケ―ジ、並びに、プロ―ブカ―ドおよびパッケ―ジのテスト方法
JP2000259091A (ja) * 1999-03-04 2000-09-22 Casio Comput Co Ltd 表示パネル、フレキシブル配線基板及びそれらを備えた表示装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06148669A (ja) * 1992-11-04 1994-05-27 Hitachi Ltd Tcpを実装した機器
JPH06222109A (ja) 1993-01-26 1994-08-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 集積回路
US5382300A (en) * 1994-03-22 1995-01-17 At&T Corp. Solder paste mixture
US5888837A (en) * 1996-04-16 1999-03-30 General Electric Company Chip burn-in and test structure and method
JPH10223679A (ja) * 1997-02-07 1998-08-21 Nippon Motorola Ltd 半導体装置及び製造方法
JP3161357B2 (ja) * 1997-03-14 2001-04-25 日本電気株式会社 半導体集積回路装置
JP2000131393A (ja) * 1998-10-26 2000-05-12 Oki Electric Ind Co Ltd ドライバicのテスト回路及びテスト方法
JP2000294897A (ja) 1998-12-21 2000-10-20 Seiko Epson Corp 回路基板ならびにそれを用いた表示装置および電子機器
JP2000315771A (ja) * 1999-04-30 2000-11-14 Seiko Epson Corp 半導体集積回路
KR100403621B1 (ko) * 2001-03-30 2003-10-30 삼성전자주식회사 전기적 특성 평가를 위한 테스트 패드를 갖는 칩 온 필름패키지 및 칩 온 필름 패키지 형성 방법
DE10305116A1 (de) * 2003-02-07 2004-08-26 Infineon Technologies Ag Verfahren und Vorrichtung zur Zeitmessung auf Halbleiterschaltungsmodulen mit Halbleiterchips in Ball-Grid-Array-Technik
US7032807B2 (en) * 2003-12-23 2006-04-25 Texas Instruments Incorporated Solder contact reworking using a flux plate and squeegee

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06244343A (ja) * 1993-02-16 1994-09-02 Casio Comput Co Ltd 半導体チップ実装装置
KR19990015061A (ko) * 1997-08-01 1999-03-05 윤종용 삼색 데이터 출력 확인이 가능한 테이프 케리어 패키지
KR20000007737A (ko) * 1998-07-07 2000-02-07 윤종용 엘씨디 패널
KR20000012919A (ko) * 1998-08-03 2000-03-06 윤종용 액정 패널
JP2000208717A (ja) * 1999-01-19 2000-07-28 Sharp Corp 半導体チップおよび半導体装置用パッケ―ジ、並びに、プロ―ブカ―ドおよびパッケ―ジのテスト方法
JP2000259091A (ja) * 1999-03-04 2000-09-22 Casio Comput Co Ltd 表示パネル、フレキシブル配線基板及びそれらを備えた表示装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11862548B2 (en) 2020-11-30 2024-01-02 Samsung Electronics Co., Ltd. Package substrate film and semiconductor package including the same

Also Published As

Publication number Publication date
JP4611600B2 (ja) 2011-01-12
JP2002313847A (ja) 2002-10-25
US7442968B2 (en) 2008-10-28
US20020139567A1 (en) 2002-10-03
KR20020076764A (ko) 2002-10-11
US20090050887A1 (en) 2009-02-26
TW523853B (en) 2003-03-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100403621B1 (ko) 전기적 특성 평가를 위한 테스트 패드를 갖는 칩 온 필름패키지 및 칩 온 필름 패키지 형성 방법
US6853092B2 (en) Circuit board, mounting structure for semiconductor device with bumps, and electro-optic device and electronic device
US7268303B2 (en) Circuit board, mounting structure of ball grid array, electro-optic device and electronic device
KR100442728B1 (ko) 반도체장치 및 이를 사용하는 액정모듈
US8709832B2 (en) Chip on film (COF) package having test line for testing electrical function of chip and method for manufacturing same
US5923529A (en) Card slot unit for a personal computer
US6787920B2 (en) Electronic circuit board manufacturing process and associated apparatus
JPH04216589A (ja) 電子回路の接続構造
JP3154810B2 (ja) 液晶表示装置
JP4270210B2 (ja) 回路基板、バンプ付き半導体素子の実装構造、及び電気光学装置、並びに電子機器
JP4518025B2 (ja) 回路基板、バンプ付き半導体素子の実装構造、及び電気光学装置、並びに電子機器
JP3152501B2 (ja) 混成集積回路装置
KR100471781B1 (ko) 구동집적회로
JPH04283722A (ja) 液晶表示装置
JP2002164633A (ja) メモリモジュール
JP2556204B2 (ja) フィルムキャリア半導体装置の実装方法
KR100419085B1 (ko) 탭아이씨실장체
JPH02288292A (ja) 半導体装置
JP3172292B2 (ja) 混成集積回路装置
JPH03297190A (ja) プリント配線板
JP2001042001A (ja) Icソケット
JPH11186435A (ja) 表面実装用集積回路
JPH075486A (ja) 液晶表示装置
KR20000009460U (ko) 탭형 액정디스플레이 구동용 고밀도 집적회로 패키지
JPH0553128A (ja) 液晶表示装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20110930

Year of fee payment: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee