JP2002184831A - Ｆｏｕｐオープナ - Google Patents
ＦｏｕｐオープナInfo
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- JP2002184831A JP2002184831A JP2000375589A JP2000375589A JP2002184831A JP 2002184831 A JP2002184831 A JP 2002184831A JP 2000375589 A JP2000375589 A JP 2000375589A JP 2000375589 A JP2000375589 A JP 2000375589A JP 2002184831 A JP2002184831 A JP 2002184831A
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- port door
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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- H01L21/67772—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving removal of lid, door, cover
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 ＦＯＵＰドアやＦＯＵＰオープナが外部雰囲
気に曝される部分に付着する塵埃がクリーン環境を汚染
するのを防止して、ウェハが塵埃により汚染される要因
を最小限に食い止めることができるＦＯＵＰオープナを
提供する。 【解決手段】 ＦＯＵＰオープナ１が、閉塞した内部に
半導体ウェハ14を複数枚収納してなるＦＯＵＰ10のＦＯ
ＵＰドア13を着脱して保持する着脱機構と保持機構とを
有するポートドア23を備えてなり、ポートドア23には、
ＦＯＵＰドア13の外壁を封止する封止手段26が設けられ
ている。封止手段26は、ポートドア23の外周縁に沿って
設けられ、ＦＯＵＰドア13側に凸の形状をなし、ＦＯＵ
Ｐドア13の全周を蓋うようにされている。封止手段26
は、パッキング手段を備えることができる。また、ＦＯ
ＵＰドア13の外壁の封止空間90から汚染雰囲気を排気す
る排気手段が設けられてもよい。
気に曝される部分に付着する塵埃がクリーン環境を汚染
するのを防止して、ウェハが塵埃により汚染される要因
を最小限に食い止めることができるＦＯＵＰオープナを
提供する。 【解決手段】 ＦＯＵＰオープナ１が、閉塞した内部に
半導体ウェハ14を複数枚収納してなるＦＯＵＰ10のＦＯ
ＵＰドア13を着脱して保持する着脱機構と保持機構とを
有するポートドア23を備えてなり、ポートドア23には、
ＦＯＵＰドア13の外壁を封止する封止手段26が設けられ
ている。封止手段26は、ポートドア23の外周縁に沿って
設けられ、ＦＯＵＰドア13側に凸の形状をなし、ＦＯＵ
Ｐドア13の全周を蓋うようにされている。封止手段26
は、パッキング手段を備えることができる。また、ＦＯ
ＵＰドア13の外壁の封止空間90から汚染雰囲気を排気す
る排気手段が設けられてもよい。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本願の発明は、半導体ウェハを所
定の間隔で、水平に、複数枚収納して搬送する密閉可能
な容器を開閉するための容器開閉装置に関し、特に容器
がＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod ）である場合
に、ＦＯＵＰドアや容器開閉装置が外部雰囲気に曝され
る部分に付着する塵埃がクリーン環境を汚染することの
ないようにしたＦＯＵＰ開閉装置（ＦＯＵＰオープナ）
に関する。
定の間隔で、水平に、複数枚収納して搬送する密閉可能
な容器を開閉するための容器開閉装置に関し、特に容器
がＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod ）である場合
に、ＦＯＵＰドアや容器開閉装置が外部雰囲気に曝され
る部分に付着する塵埃がクリーン環境を汚染することの
ないようにしたＦＯＵＰ開閉装置（ＦＯＵＰオープナ）
に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェハの表面に塵埃や気化した有
機物など（以下、単に「塵埃」という。）が付着する
と、ウェハは汚染されて、製品の生産歩留り、すなわ
ち、良品率を低下させる。したがって、ウェハは、高い
クリーン度に保持することが必要な製品であり、ウェハ
を搬送したり処理したりする場合には、その周囲をクリ
ーン度の高い環境に維持することが重要である。
機物など（以下、単に「塵埃」という。）が付着する
と、ウェハは汚染されて、製品の生産歩留り、すなわ
ち、良品率を低下させる。したがって、ウェハは、高い
クリーン度に保持することが必要な製品であり、ウェハ
を搬送したり処理したりする場合には、その周囲をクリ
ーン度の高い環境に維持することが重要である。
【０００３】ウェハの処理は、一般に、クリーン度の高
いクリーンルーム内で行なわれる。また、ウェハの搬送
は、密閉されたクリーン度の高いＦＯＵＰにウェハを収
納して、ＦＯＵＰごと搬送される。ＦＯＵＰを使用する
ことにより、ウェハをクリーン度の低い部屋や屋外を経
由して搬送することができるので、ウェハを搬送する際
に、ウェハが塵埃によって汚染されることがない。
いクリーンルーム内で行なわれる。また、ウェハの搬送
は、密閉されたクリーン度の高いＦＯＵＰにウェハを収
納して、ＦＯＵＰごと搬送される。ＦＯＵＰを使用する
ことにより、ウェハをクリーン度の低い部屋や屋外を経
由して搬送することができるので、ウェハを搬送する際
に、ウェハが塵埃によって汚染されることがない。
【０００４】クリーンルームの内側と外側との境界に
は、ＦＯＵＰオープナが設置される。このＦＯＵＰオー
プナは、開閉可能な開口部を備えたポートプレートと、
この開口部を開閉するポートドアとを備えている。ＦＯ
ＵＰは、そのドア（ＦＯＵＰドア）をポートプレートの
開口部側に備えていて、ウェハの処理のためにウェハが
ＦＯＵＰ内部のクリーン度の高い空間（第１制御空間10
0 ）から取り出される際には、このＦＯＵＰドアが開け
られる。そして、処理室と同様に高いクリーン度に保持
されたウェハ転送空間（第２制御空間200 ）をロボット
により搬送されて、処理室としてのクリーンルーム内に
転送される。また、処理されたウェハを次の工程に移す
ために、処理室としてのクリーンルームからウェハ転送
空間を経てＦＯＵＰ内部のクリーン度の高い空間に戻さ
れる。したがって、ウェハは、ポートプレートの開口部
を経由して移動することになる。
は、ＦＯＵＰオープナが設置される。このＦＯＵＰオー
プナは、開閉可能な開口部を備えたポートプレートと、
この開口部を開閉するポートドアとを備えている。ＦＯ
ＵＰは、そのドア（ＦＯＵＰドア）をポートプレートの
開口部側に備えていて、ウェハの処理のためにウェハが
ＦＯＵＰ内部のクリーン度の高い空間（第１制御空間10
0 ）から取り出される際には、このＦＯＵＰドアが開け
られる。そして、処理室と同様に高いクリーン度に保持
されたウェハ転送空間（第２制御空間200 ）をロボット
により搬送されて、処理室としてのクリーンルーム内に
転送される。また、処理されたウェハを次の工程に移す
ために、処理室としてのクリーンルームからウェハ転送
空間を経てＦＯＵＰ内部のクリーン度の高い空間に戻さ
れる。したがって、ウェハは、ポートプレートの開口部
を経由して移動することになる。
【０００５】ウェハの移動を行なわないときには、ポー
トプレートの開口部は、ポートドアにより閉鎖されてい
る。ポートドアには、ＦＯＵＰドアをＦＯＵＰ本体（Ｆ
ＯＵＰフレーム）に対して着脱可能に装着するラッチ機
構を作動させたり、解除したりするための着脱機構と、
ＦＯＵＰドアを保持する保持機構とが設けられている。
着脱機構は着脱用ラッチキーを備え、保持機構は保持用
吸着パッドを備えている。
トプレートの開口部は、ポートドアにより閉鎖されてい
る。ポートドアには、ＦＯＵＰドアをＦＯＵＰ本体（Ｆ
ＯＵＰフレーム）に対して着脱可能に装着するラッチ機
構を作動させたり、解除したりするための着脱機構と、
ＦＯＵＰドアを保持する保持機構とが設けられている。
着脱機構は着脱用ラッチキーを備え、保持機構は保持用
吸着パッドを備えている。
【０００６】ウェハは、前記のとおり、ＦＯＵＰと処理
室としてのクリーンルームとの間をポートプレートの開
口部およびウェハ転送空間を経由して移動することにな
るが、この間、高いクリーン度の環境を保持することが
必要であり、ウェハが塵埃によって汚染されることのな
いようにしなければならない。そのためには、ウェハ転
送空間としてのクリーンルームの外側のクリーン度の低
い空間（外部雰囲気300 ）に浮遊する塵埃、ＦＯＵＰ
（特にＦＯＵＰドア外壁面）に付着している塵埃、クリ
ーンルームの外側に面したポートドアの外表面に付着し
ている塵埃、ポートドアの開閉に伴って発生する塵埃
（着脱用ラッチキーや保持用吸着パッドなどの作動によ
り発生する塵埃）などがクリーンルーム内に流入しない
ようにしなければならない。
室としてのクリーンルームとの間をポートプレートの開
口部およびウェハ転送空間を経由して移動することにな
るが、この間、高いクリーン度の環境を保持することが
必要であり、ウェハが塵埃によって汚染されることのな
いようにしなければならない。そのためには、ウェハ転
送空間としてのクリーンルームの外側のクリーン度の低
い空間（外部雰囲気300 ）に浮遊する塵埃、ＦＯＵＰ
（特にＦＯＵＰドア外壁面）に付着している塵埃、クリ
ーンルームの外側に面したポートドアの外表面に付着し
ている塵埃、ポートドアの開閉に伴って発生する塵埃
（着脱用ラッチキーや保持用吸着パッドなどの作動によ
り発生する塵埃）などがクリーンルーム内に流入しない
ようにしなければならない。
【０００７】従来のＦＯＵＰオープナにあっては、図６
に図示されるように、ＦＯＵＰドア013 を単にポートド
ア023 のＦＯＵＰ装置側（すなわち、クリーンルームの
外側）外表面に設けられた上下２個所の吸着パッド024
により吸着・保持して、ＦＯＵＰドア013 の外壁面とポ
ートドア023 のＦＯＵＰ装置側外表面との間の空間090
に塵埃を挟み込んだまま、ＦＯＵＰドア013 を開閉（Ｆ
ＯＵＰフレームに対して着脱）している。なお、025 は
ポートドア023 側に設けられる着脱用ラッチキー、015
はラッチキー025 が挿入されるキー溝である。
に図示されるように、ＦＯＵＰドア013 を単にポートド
ア023 のＦＯＵＰ装置側（すなわち、クリーンルームの
外側）外表面に設けられた上下２個所の吸着パッド024
により吸着・保持して、ＦＯＵＰドア013 の外壁面とポ
ートドア023 のＦＯＵＰ装置側外表面との間の空間090
に塵埃を挟み込んだまま、ＦＯＵＰドア013 を開閉（Ｆ
ＯＵＰフレームに対して着脱）している。なお、025 は
ポートドア023 側に設けられる着脱用ラッチキー、015
はラッチキー025 が挿入されるキー溝である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の間の空間090 は封止構造にされていないため、この空
間090 内に存在する汚染空気（閉じ込められた外部雰囲
気300 の空気）、ＦＯＵＰドア013 の外壁面に付着して
いる塵埃、ポートドア023 の外表面に付着している塵
埃、ポートドア023 の開閉に伴って発生する塵埃（着脱
用ラッチキー025 や保持用吸着パッド024 などの作動に
より発生する塵埃）などがクリーンルーム内に飛散し
て、周辺のクリーンな空気を汚染し、牽いてはウェハを
汚染して、ウェハの塵埃による汚染の増加の要因となっ
ていた。そして、このようにしてクリーンルームが汚染
された場合、クリーンルーム内を正常な高いクリーン度
に復旧させるのには、かなりの時間と費用とが発生して
いた。
の間の空間090 は封止構造にされていないため、この空
間090 内に存在する汚染空気（閉じ込められた外部雰囲
気300 の空気）、ＦＯＵＰドア013 の外壁面に付着して
いる塵埃、ポートドア023 の外表面に付着している塵
埃、ポートドア023 の開閉に伴って発生する塵埃（着脱
用ラッチキー025 や保持用吸着パッド024 などの作動に
より発生する塵埃）などがクリーンルーム内に飛散し
て、周辺のクリーンな空気を汚染し、牽いてはウェハを
汚染して、ウェハの塵埃による汚染の増加の要因となっ
ていた。そして、このようにしてクリーンルームが汚染
された場合、クリーンルーム内を正常な高いクリーン度
に復旧させるのには、かなりの時間と費用とが発生して
いた。
【０００９】本願の発明は、ＦＯＵＰ内収納ウェハを取
り出して各種処理を施すためにＦＯＵＰを開放するに際
して、ポートドアがＦＯＵＰドアを吸着・保持したと
き、ＦＯＵＰドアの外壁面とポートドアのＦＯＵＰ装置
側（クリーンルームの外側）外表面との間の空間に存在
する汚染空気、ＦＯＵＰドア外壁面に付着している塵
埃、ポートドアのＦＯＵＰ装置側外表面に付着している
塵埃、ＦＯＵＰドアの開閉に伴って発生する塵埃（着脱
用ラッチキーや保持用吸着パッドなどの作動により発生
する塵埃）などがクリーンルーム内に流入しないように
して、ウェハが塵埃により汚染される要因を最小限に食
い止めることができるＦＯＵＰオープナを提供すること
を課題とする。
り出して各種処理を施すためにＦＯＵＰを開放するに際
して、ポートドアがＦＯＵＰドアを吸着・保持したと
き、ＦＯＵＰドアの外壁面とポートドアのＦＯＵＰ装置
側（クリーンルームの外側）外表面との間の空間に存在
する汚染空気、ＦＯＵＰドア外壁面に付着している塵
埃、ポートドアのＦＯＵＰ装置側外表面に付着している
塵埃、ＦＯＵＰドアの開閉に伴って発生する塵埃（着脱
用ラッチキーや保持用吸着パッドなどの作動により発生
する塵埃）などがクリーンルーム内に流入しないように
して、ウェハが塵埃により汚染される要因を最小限に食
い止めることができるＦＯＵＰオープナを提供すること
を課題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段および効果】本願の発明
は、前記のような課題を解決したＦＯＵＰオープナに係
り、その請求項１に記載された発明は、ＦＯＵＰオープ
ナが、少なくとも、前面開口部がＦＯＵＰドアにより閉
塞され、内部に半導体ウェハを所定の間隔で、水平に、
複数枚収納してなるＦＯＵＰを載置して位置決めするド
ックプレートと、前記ドックプレートを前記ＦＯＵＰド
アが着脱される位置まで移動させるドック移動機構と、
前記ＦＯＵＰドアを着脱して保持する着脱機構と保持機
構とを有するポートドアと、前記ポートドアにより閉塞
される開口部を有するポートプレートと、前記ポートド
アを水平に移動させるポートドア進退機構と、前記ＦＯ
ＵＰドアを格納するために、前記ポートドアが前記ＦＯ
ＵＰドアを保持した状態で、前記ポートドアを垂直に移
動させるポートドア昇降機構とを備えてなり、前記ポー
トドアには、前記ＦＯＵＰドアの外壁を封止する封止手
段が設けられたことを特徴とするＦＯＵＰオープナであ
る。
は、前記のような課題を解決したＦＯＵＰオープナに係
り、その請求項１に記載された発明は、ＦＯＵＰオープ
ナが、少なくとも、前面開口部がＦＯＵＰドアにより閉
塞され、内部に半導体ウェハを所定の間隔で、水平に、
複数枚収納してなるＦＯＵＰを載置して位置決めするド
ックプレートと、前記ドックプレートを前記ＦＯＵＰド
アが着脱される位置まで移動させるドック移動機構と、
前記ＦＯＵＰドアを着脱して保持する着脱機構と保持機
構とを有するポートドアと、前記ポートドアにより閉塞
される開口部を有するポートプレートと、前記ポートド
アを水平に移動させるポートドア進退機構と、前記ＦＯ
ＵＰドアを格納するために、前記ポートドアが前記ＦＯ
ＵＰドアを保持した状態で、前記ポートドアを垂直に移
動させるポートドア昇降機構とを備えてなり、前記ポー
トドアには、前記ＦＯＵＰドアの外壁を封止する封止手
段が設けられたことを特徴とするＦＯＵＰオープナであ
る。
【００１１】請求項１に記載された発明は、前記のよう
に構成されているので、ポートドアに設けられる封止手
段が、ＦＯＵＰドア外壁面とポートドアのＦＯＵＰ装置
側（クリーンルームの外側）外表面との間に形成される
空間を、ＦＯＵＰドア外壁面の略全体の広がりにわたっ
て、封止することができる。
に構成されているので、ポートドアに設けられる封止手
段が、ＦＯＵＰドア外壁面とポートドアのＦＯＵＰ装置
側（クリーンルームの外側）外表面との間に形成される
空間を、ＦＯＵＰドア外壁面の略全体の広がりにわたっ
て、封止することができる。
【００１２】この結果、ＦＯＵＰ内収納ウェハを取り出
して各種処理を施すためにＦＯＵＰを開放するに際し
て、ポートドアがＦＯＵＰドアを吸着・保持したとき、
ＦＯＵＰドアの外壁面とポートドアのＦＯＵＰ装置側外
表面との間の空間に存在する汚染空気（閉じ込められた
外部雰囲気300 の空気）、ＦＯＵＰドア外壁面に付着し
ている塵埃、ポートドアのＦＯＵＰ装置側外表面に付着
している塵埃、ＦＯＵＰドアの開閉に伴って発生する塵
埃（着脱用ラッチキーや保持用吸着パッドなどの作動に
より発生する塵埃）などがクリーンルーム内に流入しな
いので、ウェハが塵埃により汚染される要因を最小限に
食い止めることができる。また、これにより、クリーン
ルーム内のクリーン度の維持が容易になり、維持のため
に必要な時間と費用とを節減することができる。
して各種処理を施すためにＦＯＵＰを開放するに際し
て、ポートドアがＦＯＵＰドアを吸着・保持したとき、
ＦＯＵＰドアの外壁面とポートドアのＦＯＵＰ装置側外
表面との間の空間に存在する汚染空気（閉じ込められた
外部雰囲気300 の空気）、ＦＯＵＰドア外壁面に付着し
ている塵埃、ポートドアのＦＯＵＰ装置側外表面に付着
している塵埃、ＦＯＵＰドアの開閉に伴って発生する塵
埃（着脱用ラッチキーや保持用吸着パッドなどの作動に
より発生する塵埃）などがクリーンルーム内に流入しな
いので、ウェハが塵埃により汚染される要因を最小限に
食い止めることができる。また、これにより、クリーン
ルーム内のクリーン度の維持が容易になり、維持のため
に必要な時間と費用とを節減することができる。
【００１３】また、ＦＯＵＰドアは一般に樹脂製であ
り、ポートドアは一般に金属製であるので、ＦＯＵＰド
ア外壁面とポートドアのＦＯＵＰ装置側外表面との間に
封止空間が形成されることにより、ポートドアに設けら
れる保持用吸着パッドに吸着・保持される樹脂製のＦＯ
ＵＰドアは、封止手段部に馴染んでより強固に保持され
ることになり、封止空間の封止度が向上する。これによ
り、ウェハの塵埃による汚染がさらに低減されて、クリ
ーンルーム内のクリーン度の維持がさらに容易になる。
り、ポートドアは一般に金属製であるので、ＦＯＵＰド
ア外壁面とポートドアのＦＯＵＰ装置側外表面との間に
封止空間が形成されることにより、ポートドアに設けら
れる保持用吸着パッドに吸着・保持される樹脂製のＦＯ
ＵＰドアは、封止手段部に馴染んでより強固に保持され
ることになり、封止空間の封止度が向上する。これによ
り、ウェハの塵埃による汚染がさらに低減されて、クリ
ーンルーム内のクリーン度の維持がさらに容易になる。
【００１４】また、請求項２に記載のように請求項１に
記載の発明を構成することにより、封止手段は、ポート
ドアの外周縁に沿って設けられ、ＦＯＵＰドア側に凸の
形状をなし、ＦＯＵＰドアの全周を蓋うようにされてい
る。
記載の発明を構成することにより、封止手段は、ポート
ドアの外周縁に沿って設けられ、ＦＯＵＰドア側に凸の
形状をなし、ＦＯＵＰドアの全周を蓋うようにされてい
る。
【００１５】この結果、比較的簡単な構造により、ＦＯ
ＵＰドア外壁面とポートドアのＦＯＵＰ装置側外表面と
の間に形成される空間を、ＦＯＵＰドア外壁面の略全体
の広がりにわたって、効果的に封止することができる。
ＵＰドア外壁面とポートドアのＦＯＵＰ装置側外表面と
の間に形成される空間を、ＦＯＵＰドア外壁面の略全体
の広がりにわたって、効果的に封止することができる。
【００１６】さらに、請求項３に記載のように請求項１
または請求項２に記載の発明を構成することにより、封
止手段は、パッキング手段を備えるようにされる。
または請求項２に記載の発明を構成することにより、封
止手段は、パッキング手段を備えるようにされる。
【００１７】この結果、ＦＯＵＰドア外壁面とＦＯＵＰ
装置側のポートドア外表面との間に形成される封止空間
の封止度がさらに向上する。これにより、ウェハの塵埃
による汚染がさらに低減されて、クリーンルーム内のク
リーン度の維持がさらに容易になる。
装置側のポートドア外表面との間に形成される封止空間
の封止度がさらに向上する。これにより、ウェハの塵埃
による汚染がさらに低減されて、クリーンルーム内のク
リーン度の維持がさらに容易になる。
【００１８】また、請求項４に記載のように請求項１な
いし請求項３のいずれかに記載の発明を構成することに
より、ＦＯＵＰドアの外壁の封止空間から汚染雰囲気を
排気する排気手段が設けられる。
いし請求項３のいずれかに記載の発明を構成することに
より、ＦＯＵＰドアの外壁の封止空間から汚染雰囲気を
排気する排気手段が設けられる。
【００１９】この結果、ＦＯＵＰドア外壁面とポートド
アのＦＯＵＰ装置側外表面との間に形成される封止空間
から汚染空気や塵埃を強制的にクリーンルームの外側に
排出することができるので、封止空間の封止度がさらに
向上する。これにより、封止空間内の汚染空気や塵埃が
クリーンルーム内に流入するのを完全に防止することが
でき、ウェハの塵埃による汚染がさらに低減されて、ク
リーンルーム内のクリーン度の維持がさらに容易にな
る。
アのＦＯＵＰ装置側外表面との間に形成される封止空間
から汚染空気や塵埃を強制的にクリーンルームの外側に
排出することができるので、封止空間の封止度がさらに
向上する。これにより、封止空間内の汚染空気や塵埃が
クリーンルーム内に流入するのを完全に防止することが
でき、ウェハの塵埃による汚染がさらに低減されて、ク
リーンルーム内のクリーン度の維持がさらに容易にな
る。
【００２０】
【発明の実施の形態】次に、図１ないし図４に図示され
る本願の請求項１および請求項２に記載された発明の一
実施形態（実施形態１）について説明する。図１は、本
実施形態１におけるＦＯＵＰオープナのＦＯＵＰドア開
放前の概略縦断面図、図２は、同ＦＯＵＰオープナのＦ
ＯＵＰドア開放直後の概略部分縦断面図、図３は、同Ｆ
ＯＵＰオープナを構成するポートドアの正面図、図４
は、図２のＦＯＵＰドアおよびポートドア部分の拡大図
である。
る本願の請求項１および請求項２に記載された発明の一
実施形態（実施形態１）について説明する。図１は、本
実施形態１におけるＦＯＵＰオープナのＦＯＵＰドア開
放前の概略縦断面図、図２は、同ＦＯＵＰオープナのＦ
ＯＵＰドア開放直後の概略部分縦断面図、図３は、同Ｆ
ＯＵＰオープナを構成するポートドアの正面図、図４
は、図２のＦＯＵＰドアおよびポートドア部分の拡大図
である。
【００２１】先ず、本実施形態１におけるＦＯＵＰオー
プナの全体構造について説明する。図１に図示されるよ
うに、本実施形態１におけるＦＯＵＰオープナ１は、内
部に半導体ウェハ14を所定の間隔で、水平に、複数枚収
納したＦＯＵＰ10と、該ＦＯＵＰ10を載置して位置決め
するドックプレート31と、該ドックプレート31をＦＯＵ
Ｐ10のドア（ＦＯＵＰドア）13が着脱される位置まで移
動させるドック移動機構30と、ＦＯＵＰドア13を着脱し
て保持する着脱機構と保持機構とを有するポートドア23
と、該ポートドア23により閉塞される開口部22を有する
ポートプレート21と、ポートドア23を水平に移動させる
ポートドア進退機構40と、ＦＯＵＰ内収納ウェハ14の有
無や収納状態、収納位置等を検出するマッピングセンサ
70を上部に取り付けたセンサ取付部材62を水平に移動さ
せるセンサ進退機構60と、ＦＯＵＰドア13をフロントエ
ンド（第２制御空間200 ）に格納するために、ポートド
ア23がＦＯＵＰドア13を保持した状態で、ポートドア23
とマッピングセンサ70とを垂直に移動させるポートドア
・センサ昇降機構50とを備えている。
プナの全体構造について説明する。図１に図示されるよ
うに、本実施形態１におけるＦＯＵＰオープナ１は、内
部に半導体ウェハ14を所定の間隔で、水平に、複数枚収
納したＦＯＵＰ10と、該ＦＯＵＰ10を載置して位置決め
するドックプレート31と、該ドックプレート31をＦＯＵ
Ｐ10のドア（ＦＯＵＰドア）13が着脱される位置まで移
動させるドック移動機構30と、ＦＯＵＰドア13を着脱し
て保持する着脱機構と保持機構とを有するポートドア23
と、該ポートドア23により閉塞される開口部22を有する
ポートプレート21と、ポートドア23を水平に移動させる
ポートドア進退機構40と、ＦＯＵＰ内収納ウェハ14の有
無や収納状態、収納位置等を検出するマッピングセンサ
70を上部に取り付けたセンサ取付部材62を水平に移動さ
せるセンサ進退機構60と、ＦＯＵＰドア13をフロントエ
ンド（第２制御空間200 ）に格納するために、ポートド
ア23がＦＯＵＰドア13を保持した状態で、ポートドア23
とマッピングセンサ70とを垂直に移動させるポートドア
・センサ昇降機構50とを備えている。
【００２２】ＦＯＵＰ10は、ＦＯＵＰ10の本体をなすＦ
ＯＵＰフレーム11の前面開口部12がＦＯＵＰドア13によ
り閉塞されることにより、密閉容器として構成されてい
る。ポートプレート21とポートドア23とは、フロントエ
ンドのＦＯＵＰ供給側壁体の一部をなしていて、クリー
ンルームとして構成されてウェハ転送空間をなす第２制
御空間200 と外部雰囲気300 とを隔絶する。センサ取付
部材62は、詳細には図示されないが、矩形状の枠体から
なり、ポートドア23をわずかの間隔を置いて囲んでい
る。
ＯＵＰフレーム11の前面開口部12がＦＯＵＰドア13によ
り閉塞されることにより、密閉容器として構成されてい
る。ポートプレート21とポートドア23とは、フロントエ
ンドのＦＯＵＰ供給側壁体の一部をなしていて、クリー
ンルームとして構成されてウェハ転送空間をなす第２制
御空間200 と外部雰囲気300 とを隔絶する。センサ取付
部材62は、詳細には図示されないが、矩形状の枠体から
なり、ポートドア23をわずかの間隔を置いて囲んでい
る。
【００２３】図２ないし図４に図示されるように、ポー
トドア23に設けられるＦＯＵＰドア13の着脱機構は、Ｆ
ＯＵＰドア13をＦＯＵＰフレーム11の前面開口部12に着
脱可能に装着するラッチ機構を作動させたり、解除した
りするためのラッチキー25をポートドア23の正面視（図
３参照）左右２個所に備えており、また、ポートドア23
に設けられるＦＯＵＰドア13の保持機構は、真空源に連
通する吸着パッド24をポートドア23の正面視（図３参
照）左上と右下の２個所に備えている。ＦＯＵＰドア13
には、ラッチキー25が挿入されるキー溝15が形成されて
いる。このキー溝15は、詳細には図示されない前記ラッ
チ機構の操作端をなしている。
トドア23に設けられるＦＯＵＰドア13の着脱機構は、Ｆ
ＯＵＰドア13をＦＯＵＰフレーム11の前面開口部12に着
脱可能に装着するラッチ機構を作動させたり、解除した
りするためのラッチキー25をポートドア23の正面視（図
３参照）左右２個所に備えており、また、ポートドア23
に設けられるＦＯＵＰドア13の保持機構は、真空源に連
通する吸着パッド24をポートドア23の正面視（図３参
照）左上と右下の２個所に備えている。ＦＯＵＰドア13
には、ラッチキー25が挿入されるキー溝15が形成されて
いる。このキー溝15は、詳細には図示されない前記ラッ
チ機構の操作端をなしている。
【００２４】ポートドア進退機構40は、ポートドア23の
下方延設部42の下端から直角に延設されたアーム部44
が、後述するポートドア・センサ昇降機構50の昇降基部
材51の上面側にリニアガイド41に沿って摺動自在に設け
られており、その先端部がポートドア進退機構駆動用モ
ータ43の出力軸に結合されて、該モータ43によって水平
方向（図１において左右方向）に進退駆動される。この
アーム部44は、ポートプレート21の開口部22の下方部に
設けられた細長い長孔状の案内溝52に挿通されていて、
この案内溝52内を左右・上下に移動する。
下方延設部42の下端から直角に延設されたアーム部44
が、後述するポートドア・センサ昇降機構50の昇降基部
材51の上面側にリニアガイド41に沿って摺動自在に設け
られており、その先端部がポートドア進退機構駆動用モ
ータ43の出力軸に結合されて、該モータ43によって水平
方向（図１において左右方向）に進退駆動される。この
アーム部44は、ポートプレート21の開口部22の下方部に
設けられた細長い長孔状の案内溝52に挿通されていて、
この案内溝52内を左右・上下に移動する。
【００２５】センサ進退機構60は、センサ取付部材62の
下端から直角に延設されたアーム部64が、後述するポー
トドア・センサ昇降機構50の昇降基部材51の下面側にリ
ニアガイド61に沿って摺動自在に設けられており、その
先端部がセンサ進退機構駆動用モータ63に結合されて、
該モータ63によって水平方向に進退駆動される。このア
ーム部64は、アーム部44と同様に、案内溝52に挿通され
ていて、アーム部44よりも下方にあって、この案内溝52
内を左右・上下に移動する。
下端から直角に延設されたアーム部64が、後述するポー
トドア・センサ昇降機構50の昇降基部材51の下面側にリ
ニアガイド61に沿って摺動自在に設けられており、その
先端部がセンサ進退機構駆動用モータ63に結合されて、
該モータ63によって水平方向に進退駆動される。このア
ーム部64は、アーム部44と同様に、案内溝52に挿通され
ていて、アーム部44よりも下方にあって、この案内溝52
内を左右・上下に移動する。
【００２６】昇降基部材51、アーム部44、アーム部64
は、詳細には図示されないが、ポートプレート21の左右
（図１において紙面の向こう側と手前側）側縁寄りにそ
れぞれ左右一対設けられていて、左右の昇降基部材51、
51は、左右に長い板状の連結部材55により連結されて一
体化されている。この連結部材55の左右方向中央部に
は、ネジ軸54と螺合し合うボールナットを収容したナッ
ト収容部が形成されている。したがって、いま、ネジ軸
54がサーボモータ53により回転させられると、該ネジ軸
54と螺合し合うボールナットを収容したナット収容部を
一体に有する連結部材55が昇降動する。そして、この連
結部材55の昇降動により、左右一対の昇降基部材51、5
1、同アーム部44、44、同アーム部64、64を介して、ポ
ートドア23とセンサ取付部材62とが一緒になって昇降動
する。
は、詳細には図示されないが、ポートプレート21の左右
（図１において紙面の向こう側と手前側）側縁寄りにそ
れぞれ左右一対設けられていて、左右の昇降基部材51、
51は、左右に長い板状の連結部材55により連結されて一
体化されている。この連結部材55の左右方向中央部に
は、ネジ軸54と螺合し合うボールナットを収容したナッ
ト収容部が形成されている。したがって、いま、ネジ軸
54がサーボモータ53により回転させられると、該ネジ軸
54と螺合し合うボールナットを収容したナット収容部を
一体に有する連結部材55が昇降動する。そして、この連
結部材55の昇降動により、左右一対の昇降基部材51、5
1、同アーム部44、44、同アーム部64、64を介して、ポ
ートドア23とセンサ取付部材62とが一緒になって昇降動
する。
【００２７】ポートドア進退機構駆動用モータ43は、詳
細には図示されないが、右方の昇降基部材51の上面に固
設されており、センサ進退機構駆動用モータ63は、左方
の昇降基部材51の下面に固設されている。このように、
ポートドア進退機構駆動用モータ43とセンサ進退機構駆
動用モータ63とを左右に振り分けて設置することによ
り、連結部材55、左右一対の昇降基部材51、51、両モー
タ43、63からなる一体組立体の左右重量バランスが図ら
れている。しかしながら、これら両モータ43、63は、左
右いずれかの昇降基部材51の上下面にそれぞれ固設され
てもよい。
細には図示されないが、右方の昇降基部材51の上面に固
設されており、センサ進退機構駆動用モータ63は、左方
の昇降基部材51の下面に固設されている。このように、
ポートドア進退機構駆動用モータ43とセンサ進退機構駆
動用モータ63とを左右に振り分けて設置することによ
り、連結部材55、左右一対の昇降基部材51、51、両モー
タ43、63からなる一体組立体の左右重量バランスが図ら
れている。しかしながら、これら両モータ43、63は、左
右いずれかの昇降基部材51の上下面にそれぞれ固設され
てもよい。
【００２８】サーボモータ53、ネジ軸54、ナット収容部
を一体に有する連結部材55、昇降基部材51、51は、これ
らが全体としてポートドア・センサ昇降機構50を構成し
ている。このポートドア・センサ昇降機構50は、図１に
図示されるように、ポートプレート21を挟んで、ポート
ドア23とセンサ取付部材62とが配置されるクリーンルー
ム（第２制御空間200 ）側とは反対の側に配置されてお
り、同側に設けられた駆動部収容室80内に収容されてい
る。
を一体に有する連結部材55、昇降基部材51、51は、これ
らが全体としてポートドア・センサ昇降機構50を構成し
ている。このポートドア・センサ昇降機構50は、図１に
図示されるように、ポートプレート21を挟んで、ポート
ドア23とセンサ取付部材62とが配置されるクリーンルー
ム（第２制御空間200 ）側とは反対の側に配置されてお
り、同側に設けられた駆動部収容室80内に収容されてい
る。
【００２９】ポートドア進退機構駆動用モータ43とセン
サ進退機構駆動用モータ63とは、いずれも左右の昇降基
部材51、51にそれぞれ固設されているので、これら両モ
ータ43、63も、駆動部収容室80内に収容されている。ま
た、ポートドア進退機構40のアーム部44がリニアガイド
41に沿って摺動する部分、およびセンサ進退機構60のア
ーム部64がリニアガイド61に沿って摺動する部分も、駆
動部収容室80内に収容されている。
サ進退機構駆動用モータ63とは、いずれも左右の昇降基
部材51、51にそれぞれ固設されているので、これら両モ
ータ43、63も、駆動部収容室80内に収容されている。ま
た、ポートドア進退機構40のアーム部44がリニアガイド
41に沿って摺動する部分、およびセンサ進退機構60のア
ーム部64がリニアガイド61に沿って摺動する部分も、駆
動部収容室80内に収容されている。
【００３０】したがって、ポートドア進退機構40の駆動
部（ポートドア進退機構駆動用モータ43、リニアガイド
41からなる）、センサ進退機構60の駆動部（センサ進退
機構駆動用モータ63、リニアガイド61からなる）および
ポートドア・センサ昇降機構の駆動部（サーボモータ5
3、ネジ軸54、ナット収容部を一体に有する連結部材5
5、左右一対の昇降基部材51、51からなる）は、いずれ
もポートプレート21を挟んで、ポートドア23とセンサ取
付部材62とが配置されるクリーンルーム200 側とは反対
の側に配置され、クリーンルーム200 から隔離されて、
同側に設けられた駆動部収容室80内に収容されているこ
とになる。
部（ポートドア進退機構駆動用モータ43、リニアガイド
41からなる）、センサ進退機構60の駆動部（センサ進退
機構駆動用モータ63、リニアガイド61からなる）および
ポートドア・センサ昇降機構の駆動部（サーボモータ5
3、ネジ軸54、ナット収容部を一体に有する連結部材5
5、左右一対の昇降基部材51、51からなる）は、いずれ
もポートプレート21を挟んで、ポートドア23とセンサ取
付部材62とが配置されるクリーンルーム200 側とは反対
の側に配置され、クリーンルーム200 から隔離されて、
同側に設けられた駆動部収容室80内に収容されているこ
とになる。
【００３１】駆動部収容室80には、該駆動部収容室80内
の雰囲気を外部に排出するファン81が設けられている。
これにより、ポートドア進退機構40の駆動部、センサ進
退機構60の駆動部およびポートドア・センサ昇降機構の
駆動部から発生する塵埃は外部雰囲気300 中に排出され
るので、クリーンルーム200 を汚染することがない。フ
ァン81は、駆動部収容室80のできるだけ下方部の室壁に
設置されるのがよい。
の雰囲気を外部に排出するファン81が設けられている。
これにより、ポートドア進退機構40の駆動部、センサ進
退機構60の駆動部およびポートドア・センサ昇降機構の
駆動部から発生する塵埃は外部雰囲気300 中に排出され
るので、クリーンルーム200 を汚染することがない。フ
ァン81は、駆動部収容室80のできるだけ下方部の室壁に
設置されるのがよい。
【００３２】次に、ポートドア23に設けられるＦＯＵＰ
ドア13の保持機構について、さらに詳細に説明する。前
記のとおり、ポートドア23は、ＦＯＵＰドア13を保持す
る保持機構を備えている。この保持機構は、真空源に連
通する吸着パッド24がＦＯＵＰドア13の外壁面を吸着す
ることにより、ポートドア23がＦＯＵＰドア13を保持す
ることができるようにしたものである。ＦＯＵＰ内収納
ウェハ14を取り出して各種処理を施すためにＦＯＵＰ10
を開放するに際して、同じくポートドア23に設けられる
ＦＯＵＰドア13の着脱機構が作動して、ＦＯＵＰドア13
をＦＯＵＰフレーム11の開口部12に着脱可能に装着して
いるラッチ機構を解除すると、ＦＯＵＰドア13がＦＯＵ
Ｐフレーム11から離脱される。そうすると、次に、この
保持機構が作動して、ＦＯＵＰドア13がポートドア23に
より保持される。
ドア13の保持機構について、さらに詳細に説明する。前
記のとおり、ポートドア23は、ＦＯＵＰドア13を保持す
る保持機構を備えている。この保持機構は、真空源に連
通する吸着パッド24がＦＯＵＰドア13の外壁面を吸着す
ることにより、ポートドア23がＦＯＵＰドア13を保持す
ることができるようにしたものである。ＦＯＵＰ内収納
ウェハ14を取り出して各種処理を施すためにＦＯＵＰ10
を開放するに際して、同じくポートドア23に設けられる
ＦＯＵＰドア13の着脱機構が作動して、ＦＯＵＰドア13
をＦＯＵＰフレーム11の開口部12に着脱可能に装着して
いるラッチ機構を解除すると、ＦＯＵＰドア13がＦＯＵ
Ｐフレーム11から離脱される。そうすると、次に、この
保持機構が作動して、ＦＯＵＰドア13がポートドア23に
より保持される。
【００３３】このようにしてＦＯＵＰドア13がポートド
ア23により保持されたとき、ＦＯＵＰドア13の外壁面と
ポートドア23のＦＯＵＰ装置側（クリーンルーム200 の
外側）外表面との間に形成される空間90は、ポートドア
23に設けられた封止手段26により、ＦＯＵＰドア13の外
壁面の略全体の広がりにわたって封止される。
ア23により保持されたとき、ＦＯＵＰドア13の外壁面と
ポートドア23のＦＯＵＰ装置側（クリーンルーム200 の
外側）外表面との間に形成される空間90は、ポートドア
23に設けられた封止手段26により、ＦＯＵＰドア13の外
壁面の略全体の広がりにわたって封止される。
【００３４】この封止手段26は、図１ないし図４に図示
されるように、ポートドア23の外表面の外周縁に沿って
設けられており、ＦＯＵＰドア13側に凸の形状をなして
いて、ＦＯＵＰドア13の全周を蓋うようにされている。
この凸形状は、平坦な頂面を有し、細長い帯が矩形に閉
じた形状に形成されているが、必ずしも平坦な頂面に限
定されるものではなく、例えば、中央部がやや尖った形
状にされていてもよい。いずれの場合においても、ＦＯ
ＵＰドア13は、この頂面と接触する部分において、ポー
トドア23に設けられるＦＯＵＰドア13の保持機構による
吸着力を全面的に受けるので、この部分における接触面
圧は高くなり、封止空間90の封止効果を高めることがで
きる。このようにして、ＦＯＵＰドア13の外壁（ＦＯＵ
Ｐドア13がＦＯＵＰ10を密閉している状態において、外
部雰囲気300 に曝される側の壁)が封止される。
されるように、ポートドア23の外表面の外周縁に沿って
設けられており、ＦＯＵＰドア13側に凸の形状をなして
いて、ＦＯＵＰドア13の全周を蓋うようにされている。
この凸形状は、平坦な頂面を有し、細長い帯が矩形に閉
じた形状に形成されているが、必ずしも平坦な頂面に限
定されるものではなく、例えば、中央部がやや尖った形
状にされていてもよい。いずれの場合においても、ＦＯ
ＵＰドア13は、この頂面と接触する部分において、ポー
トドア23に設けられるＦＯＵＰドア13の保持機構による
吸着力を全面的に受けるので、この部分における接触面
圧は高くなり、封止空間90の封止効果を高めることがで
きる。このようにして、ＦＯＵＰドア13の外壁（ＦＯＵ
Ｐドア13がＦＯＵＰ10を密閉している状態において、外
部雰囲気300 に曝される側の壁)が封止される。
【００３５】次に、本実施形態１における駆動部隔離Ｆ
ＯＵＰオープナ１の作用について説明する。図１におい
て、ＦＯＵＰドア13は、ＦＯＵＰフレーム11から離脱開
放される直前にあり、ポートドア23とマッピングセンサ
70とは待機状態にある。先ず、ポートドア23がＦＯＵＰ
ドア13を吸着保持すると、ポートドア進退機構40が作動
して、ポートドア23が、ＦＯＵＰドア13を保持した状態
のまま、水平方向に後退する（図２参照）。そうする
と、センサ取付部材62が、ポートドア・センサ昇降機構
50の作動により、ポートドア23とともにマッピングセン
サ70がＦＯＵＰ10内に進入する位置まで下降して、マッ
ピングセンサ70が位置決めされる。
ＯＵＰオープナ１の作用について説明する。図１におい
て、ＦＯＵＰドア13は、ＦＯＵＰフレーム11から離脱開
放される直前にあり、ポートドア23とマッピングセンサ
70とは待機状態にある。先ず、ポートドア23がＦＯＵＰ
ドア13を吸着保持すると、ポートドア進退機構40が作動
して、ポートドア23が、ＦＯＵＰドア13を保持した状態
のまま、水平方向に後退する（図２参照）。そうする
と、センサ取付部材62が、ポートドア・センサ昇降機構
50の作動により、ポートドア23とともにマッピングセン
サ70がＦＯＵＰ10内に進入する位置まで下降して、マッ
ピングセンサ70が位置決めされる。
【００３６】次いで、マッピングセンサ70が、センサ進
退機構60の作動により、ポートドア23とは独立に前進し
て、ＦＯＵＰ10内に進入する。次いで、マッピングセン
サ70が、ポートドア・センサ昇降機構50の作動により、
ポートドア23とともに最下段位置まで下降しながら、Ｆ
ＯＵＰ内収納ウェハ14の有無や収納状態（傾き挿入、多
重挿入等）、収納位置（高さ）等を検出する。その検出
結果は、逐次、図示されないウェハ搬送用ロボットに送
信される。
退機構60の作動により、ポートドア23とは独立に前進し
て、ＦＯＵＰ10内に進入する。次いで、マッピングセン
サ70が、ポートドア・センサ昇降機構50の作動により、
ポートドア23とともに最下段位置まで下降しながら、Ｆ
ＯＵＰ内収納ウェハ14の有無や収納状態（傾き挿入、多
重挿入等）、収納位置（高さ）等を検出する。その検出
結果は、逐次、図示されないウェハ搬送用ロボットに送
信される。
【００３７】マッピングセンサ70が最下段位置まで下降
すると、次いで、マッピングセンサ70が、センサ進退機
構60の作動により、ポートドア23とは独立にＦＯＵＰ10
内から後退する。最後に、ポートドア・センサ昇降機構
50の作動により、ポートドア23とマッピングセンサ70と
が一緒になって下降退避して、ＦＯＵＰドア13がフロン
トエンド（第２制御空間200 ）に格納される。
すると、次いで、マッピングセンサ70が、センサ進退機
構60の作動により、ポートドア23とは独立にＦＯＵＰ10
内から後退する。最後に、ポートドア・センサ昇降機構
50の作動により、ポートドア23とマッピングセンサ70と
が一緒になって下降退避して、ＦＯＵＰドア13がフロン
トエンド（第２制御空間200 ）に格納される。
【００３８】本実施形態１は、前記のように構成されて
いるので、次のような効果を奏することができる。ポー
トドア23に設けられる封止手段26が、ＦＯＵＰドア13の
外壁面とポートドア23のＦＯＵＰ装置側（クリーンルー
ム200 の外側）外表面との間に形成される空間90を、Ｆ
ＯＵＰドア13の外壁面の略全体の広がりにわたって、封
止することができるので、ＦＯＵＰ内収納ウェハ14を取
り出して各種処理を施すためにＦＯＵＰ10を開放するに
際して、ポートドア23がＦＯＵＰドア13を吸着・保持し
たとき、ＦＯＵＰドア13の外壁面とポートドア23のＦＯ
ＵＰ装置側外表面との間の空間90に存在する汚染空気
（閉じ込められた外部雰囲気300 の空気）、ＦＯＵＰド
ア13の外壁面に付着している塵埃、ポートドア23のＦＯ
ＵＰ装置側外表面に付着している塵埃、ＦＯＵＰドア13
の開閉に伴って発生する塵埃（着脱用ラッチキー25や保
持用吸着パッド24などの作動により発生する塵埃）など
がクリーンルーム200 内に流入しないので、ウェハ14が
塵埃により汚染される要因を最小限に食い止めることが
できる。また、これにより、クリーンルーム200 内のク
リーン度の維持が容易になり、維持のために必要な時間
と費用とを節減することができる。
いるので、次のような効果を奏することができる。ポー
トドア23に設けられる封止手段26が、ＦＯＵＰドア13の
外壁面とポートドア23のＦＯＵＰ装置側（クリーンルー
ム200 の外側）外表面との間に形成される空間90を、Ｆ
ＯＵＰドア13の外壁面の略全体の広がりにわたって、封
止することができるので、ＦＯＵＰ内収納ウェハ14を取
り出して各種処理を施すためにＦＯＵＰ10を開放するに
際して、ポートドア23がＦＯＵＰドア13を吸着・保持し
たとき、ＦＯＵＰドア13の外壁面とポートドア23のＦＯ
ＵＰ装置側外表面との間の空間90に存在する汚染空気
（閉じ込められた外部雰囲気300 の空気）、ＦＯＵＰド
ア13の外壁面に付着している塵埃、ポートドア23のＦＯ
ＵＰ装置側外表面に付着している塵埃、ＦＯＵＰドア13
の開閉に伴って発生する塵埃（着脱用ラッチキー25や保
持用吸着パッド24などの作動により発生する塵埃）など
がクリーンルーム200 内に流入しないので、ウェハ14が
塵埃により汚染される要因を最小限に食い止めることが
できる。また、これにより、クリーンルーム200 内のク
リーン度の維持が容易になり、維持のために必要な時間
と費用とを節減することができる。
【００３９】また、ＦＯＵＰドア13は一般に樹脂製であ
り、ポートドア23は一般に金属製であるので、ＦＯＵＰ
ドア13の外壁面とポートドア23のＦＯＵＰ装置側外表面
との間に封止空間90が形成されることにより、ポートド
ア23に設けられる保持用吸着パッド24に吸着・保持され
る樹脂製のＦＯＵＰドア13は、封止手段26の部分に馴染
んでより強固に保持されることになり、封止空間90の封
止度が向上する。これにより、ウェハ14の塵埃による汚
染がさらに低減されて、クリーンルーム200 内のクリー
ン度の維持がさらに容易になる。
り、ポートドア23は一般に金属製であるので、ＦＯＵＰ
ドア13の外壁面とポートドア23のＦＯＵＰ装置側外表面
との間に封止空間90が形成されることにより、ポートド
ア23に設けられる保持用吸着パッド24に吸着・保持され
る樹脂製のＦＯＵＰドア13は、封止手段26の部分に馴染
んでより強固に保持されることになり、封止空間90の封
止度が向上する。これにより、ウェハ14の塵埃による汚
染がさらに低減されて、クリーンルーム200 内のクリー
ン度の維持がさらに容易になる。
【００４０】また、封止手段26は、ポートドア23の外周
縁に沿って設けられ、ＦＯＵＰドア13側に凸の形状をな
し、ＦＯＵＰドア13の全周を蓋うようにされているの
で、比較的簡単な構造により、ＦＯＵＰドア13の外壁面
とポートドア23のＦＯＵＰ装置側外表面との間に形成さ
れる空間90を、ＦＯＵＰドア13の外壁面の略全体の広が
りにわたって、効果的に封止することができる。
縁に沿って設けられ、ＦＯＵＰドア13側に凸の形状をな
し、ＦＯＵＰドア13の全周を蓋うようにされているの
で、比較的簡単な構造により、ＦＯＵＰドア13の外壁面
とポートドア23のＦＯＵＰ装置側外表面との間に形成さ
れる空間90を、ＦＯＵＰドア13の外壁面の略全体の広が
りにわたって、効果的に封止することができる。
【００４１】次に、図５に図示される本願の請求項３に
記載された発明の一実施形態（実施形態２）について説
明する。図５は、本実施形態２におけるＦＯＵＰオープ
ナのＦＯＵＰドア外壁の封止構造の縦断面図であって、
実施形態１における図４に対応する図である。なお、実
施形態１におけるＦＯＵＰオープナのＦＯＵＰドア外壁
の封止構造と対応する部分には、同一の符号を付してい
る。
記載された発明の一実施形態（実施形態２）について説
明する。図５は、本実施形態２におけるＦＯＵＰオープ
ナのＦＯＵＰドア外壁の封止構造の縦断面図であって、
実施形態１における図４に対応する図である。なお、実
施形態１におけるＦＯＵＰオープナのＦＯＵＰドア外壁
の封止構造と対応する部分には、同一の符号を付してい
る。
【００４２】本実施形態２におけるＦＯＵＰオープナ１
のＦＯＵＰドア13の外壁の封止構造は、実施形態１にお
けるＦＯＵＰオープナ１のＦＯＵＰドア13の外壁の封止
構造と比較して、凸形状からなる封止手段26の平坦な頂
面上に、その全周に沿って断面円形状のパッキン27が埋
設されている点において異なっている。そして、その他
の点において異なるところはないので、詳細な説明を省
略する。
のＦＯＵＰドア13の外壁の封止構造は、実施形態１にお
けるＦＯＵＰオープナ１のＦＯＵＰドア13の外壁の封止
構造と比較して、凸形状からなる封止手段26の平坦な頂
面上に、その全周に沿って断面円形状のパッキン27が埋
設されている点において異なっている。そして、その他
の点において異なるところはないので、詳細な説明を省
略する。
【００４３】このパッキン27は、ゴム材もしくは合成樹
脂材からなり、弾力性があるので、ＦＯＵＰドア13がポ
ートドア23に設けられた保持用吸着パッド24に吸着・保
持されるとき、ＦＯＵＰドア13は、パッキン27にさらに
よく馴染んで、より強固に保持されることになり、封止
空間90の封止度がさらに向上する。これにより、ウェハ
14の塵埃による汚染がさらに低減されて、クリーンルー
ム200 内のクリーン度の維持がさらに容易になる。その
他、実施形態１と同様の効果を奏することができる。
脂材からなり、弾力性があるので、ＦＯＵＰドア13がポ
ートドア23に設けられた保持用吸着パッド24に吸着・保
持されるとき、ＦＯＵＰドア13は、パッキン27にさらに
よく馴染んで、より強固に保持されることになり、封止
空間90の封止度がさらに向上する。これにより、ウェハ
14の塵埃による汚染がさらに低減されて、クリーンルー
ム200 内のクリーン度の維持がさらに容易になる。その
他、実施形態１と同様の効果を奏することができる。
【００４４】次に、図４に図示される本願の請求項４に
記載された発明の一実施形態（実施形態３）について説
明する。図４は、実施形態１におけるＦＯＵＰオープナ
のＦＯＵＰドア開放直後のＦＯＵＰドアおよびポートド
ア部分の拡大縦断面図であるとともに、本実施形態３に
おけるＦＯＵＰオープナのＦＯＵＰドア外壁の封止構造
の縦断面図である。
記載された発明の一実施形態（実施形態３）について説
明する。図４は、実施形態１におけるＦＯＵＰオープナ
のＦＯＵＰドア開放直後のＦＯＵＰドアおよびポートド
ア部分の拡大縦断面図であるとともに、本実施形態３に
おけるＦＯＵＰオープナのＦＯＵＰドア外壁の封止構造
の縦断面図である。
【００４５】本実施形態３におけるＦＯＵＰオープナ１
のＦＯＵＰドア13の外壁の封止構造は、実施形態１にお
けるＦＯＵＰオープナ１のＦＯＵＰドア13の外壁の封止
構造と比較して、ＦＯＵＰドア13の外壁の封止空間90か
ら汚染雰囲気を排気する排気手段91が設けられている点
において異なっている。
のＦＯＵＰドア13の外壁の封止構造は、実施形態１にお
けるＦＯＵＰオープナ１のＦＯＵＰドア13の外壁の封止
構造と比較して、ＦＯＵＰドア13の外壁の封止空間90か
ら汚染雰囲気を排気する排気手段91が設けられている点
において異なっている。
【００４６】この排気手段91は、ポートドア23とその下
方延設部42とを貫通する通孔として形成されていて、そ
の一端は封止空間90に開口するとともに、その他端は、
詳細には図示されないが、駆動部収容室80に開口してい
る。したがって、封止空間90内の汚染空気や塵埃は、こ
の通孔を介してファン81もしくは他の排気ファンなどに
より吸引される。本実施形態３は、以上の点において実
施形態１と異なっているが、その他の点において異なる
ところはないので、詳細な説明を省略する。
方延設部42とを貫通する通孔として形成されていて、そ
の一端は封止空間90に開口するとともに、その他端は、
詳細には図示されないが、駆動部収容室80に開口してい
る。したがって、封止空間90内の汚染空気や塵埃は、こ
の通孔を介してファン81もしくは他の排気ファンなどに
より吸引される。本実施形態３は、以上の点において実
施形態１と異なっているが、その他の点において異なる
ところはないので、詳細な説明を省略する。
【００４７】本実施形態３は、前記のように構成されて
いるので、ＦＯＵＰドア13の外壁面とポートドア23のＦ
ＯＵＰ装置側外表面との間に形成される封止空間90から
汚染空気や塵埃を強制的にクリーンルーム200 の外側に
排出することができ、封止空間90の封止度がさらに向上
する。これにより、封止空間90内の汚染空気や塵埃がク
リーンルーム200 内に流入するのを完全に防止すること
ができ、ウェハ14の塵埃による汚染がさらに低減され
て、クリーンルーム200 内のクリーン度の維持がさらに
容易になる。その他、実施形態１と同様の効果を奏する
ことができる。
いるので、ＦＯＵＰドア13の外壁面とポートドア23のＦ
ＯＵＰ装置側外表面との間に形成される封止空間90から
汚染空気や塵埃を強制的にクリーンルーム200 の外側に
排出することができ、封止空間90の封止度がさらに向上
する。これにより、封止空間90内の汚染空気や塵埃がク
リーンルーム200 内に流入するのを完全に防止すること
ができ、ウェハ14の塵埃による汚染がさらに低減され
て、クリーンルーム200 内のクリーン度の維持がさらに
容易になる。その他、実施形態１と同様の効果を奏する
ことができる。
【００４８】次に、図５に図示される本願の請求項４に
記載された発明の他の実施形態（実施形態４）について
説明する。図５は、実施形態２におけるＦＯＵＰオープ
ナのＦＯＵＰドア外壁の封止構造の縦断面図であるとと
もに、本実施形態４におけるＦＯＵＰオープナのＦＯＵ
Ｐドア外壁の封止構造の縦断面図である。
記載された発明の他の実施形態（実施形態４）について
説明する。図５は、実施形態２におけるＦＯＵＰオープ
ナのＦＯＵＰドア外壁の封止構造の縦断面図であるとと
もに、本実施形態４におけるＦＯＵＰオープナのＦＯＵ
Ｐドア外壁の封止構造の縦断面図である。
【００４９】本実施形態４におけるＦＯＵＰオープナ１
のＦＯＵＰドア13の外壁の封止構造は、実施形態３にお
ける排気手段91を実施形態２におけるＦＯＵＰオープナ
１のＦＯＵＰドア13の外壁の封止構造に重畳的に適用し
たものであって、この点が実施形態２と異なっている
が、その他の点において異なるところはないので、詳細
な説明を省略する。
のＦＯＵＰドア13の外壁の封止構造は、実施形態３にお
ける排気手段91を実施形態２におけるＦＯＵＰオープナ
１のＦＯＵＰドア13の外壁の封止構造に重畳的に適用し
たものであって、この点が実施形態２と異なっている
が、その他の点において異なるところはないので、詳細
な説明を省略する。
【００５０】本実施形態４は、前記のように構成されて
いるので、実施形態３における排気手段91が奏する効果
と同様の効果を奏することができる。その他、実施形態
２と同様の効果を奏することができる。
いるので、実施形態３における排気手段91が奏する効果
と同様の効果を奏することができる。その他、実施形態
２と同様の効果を奏することができる。
【図１】本願の請求項１および請求項２に記載された発
明の一実施形態（実施形態１）におけるＦＯＵＰオープ
ナのＦＯＵＰドア開放前の概略縦断面図である。
明の一実施形態（実施形態１）におけるＦＯＵＰオープ
ナのＦＯＵＰドア開放前の概略縦断面図である。
【図２】同ＦＯＵＰオープナのＦＯＵＰドア開放直後の
概略部分縦断面図である。
概略部分縦断面図である。
【図３】同ＦＯＵＰオープナを構成するポートドアの正
面図である。
面図である。
【図４】図２のＦＯＵＰドアおよびポートドア部分の拡
大図であるとともに、本願の請求項４に記載された発明
の一実施形態（実施形態３）におけるＦＯＵＰオープナ
のＦＯＵＰドア外壁の封止構造の縦断面図である。
大図であるとともに、本願の請求項４に記載された発明
の一実施形態（実施形態３）におけるＦＯＵＰオープナ
のＦＯＵＰドア外壁の封止構造の縦断面図である。
【図５】本願の請求項３に記載された発明の一実施形態
（実施形態２）におけるＦＯＵＰオープナのＦＯＵＰド
ア外壁の封止構造の縦断面図であって、実施形態１にお
ける図４に対応する図であるとともに、本願の請求項４
に記載された発明の他の実施形態（実施形態４）におけ
るＦＯＵＰオープナのＦＯＵＰドア外壁の封止構造の縦
断面図である。
（実施形態２）におけるＦＯＵＰオープナのＦＯＵＰド
ア外壁の封止構造の縦断面図であって、実施形態１にお
ける図４に対応する図であるとともに、本願の請求項４
に記載された発明の他の実施形態（実施形態４）におけ
るＦＯＵＰオープナのＦＯＵＰドア外壁の封止構造の縦
断面図である。
【図６】従来例を示す図である。
１…駆動部隔離ＦＯＵＰオープナ、10…ＦＯＵＰ、11…
ＦＯＵＰフレーム、12…開口部、13…ＦＯＵＰドア、14
…半導体ウェハ、15…キー溝、21…ポートプレート、22
…開口部、23…ポートドア、24…吸着パッド、25…ラッ
チキー、26…凸形状、27…パッキン、30…ドック移動機
構、31…ドックプレート、40…ポートドア進退機構、41
…リニアガイド、42…下方延設部、43…ポートドア進退
機構駆動用モータ、44…アーム部、50…ポートドア・セ
ンサ昇降機構、51…昇降基部材、52…案内溝、53…サー
ボモータ、54…ネジ軸、55…連結部材、60…センサ進退
機構、61…リニアガイド、62…センサ取付部材、63…セ
ンサ進退機構駆動用モータ、64…アーム部、70…マッピ
ングセンサ、80…駆動部収容室、81…ファン、90…（封
止）空間、91…通孔、100 …第１制御空間、200 …第２
制御空間（ウェハ転送空間、クリーンルーム）、300 …
外部雰囲気（第３空間）。
ＦＯＵＰフレーム、12…開口部、13…ＦＯＵＰドア、14
…半導体ウェハ、15…キー溝、21…ポートプレート、22
…開口部、23…ポートドア、24…吸着パッド、25…ラッ
チキー、26…凸形状、27…パッキン、30…ドック移動機
構、31…ドックプレート、40…ポートドア進退機構、41
…リニアガイド、42…下方延設部、43…ポートドア進退
機構駆動用モータ、44…アーム部、50…ポートドア・セ
ンサ昇降機構、51…昇降基部材、52…案内溝、53…サー
ボモータ、54…ネジ軸、55…連結部材、60…センサ進退
機構、61…リニアガイド、62…センサ取付部材、63…セ
ンサ進退機構駆動用モータ、64…アーム部、70…マッピ
ングセンサ、80…駆動部収容室、81…ファン、90…（封
止）空間、91…通孔、100 …第１制御空間、200 …第２
制御空間（ウェハ転送空間、クリーンルーム）、300 …
外部雰囲気（第３空間）。
【手続補正書】
【提出日】平成１２年１２月２０日（２０００．１２．
２０）
２０）
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正内容】
【図４】
Claims (4)
- 【請求項１】 ＦＯＵＰオープナが、少なくとも、 前面開口部がＦＯＵＰドアにより閉塞され、内部に半導
体ウェハを所定の間隔で、水平に、複数枚収納してなる
ＦＯＵＰを載置して位置決めするドックプレートと、 前記ドックプレートを前記ＦＯＵＰドアが着脱される位
置まで移動させるドック移動機構と、 前記ＦＯＵＰドアを着脱して保持する着脱機構と保持機
構とを有するポートドアと、 前記ポートドアにより閉塞される開口部を有するポート
プレートと前記ポートドアを水平に移動させるポートド
ア進退機構と、 前記ＦＯＵＰドアを格納するために、前記ポートドアが
前記ＦＯＵＰドアを保持した状態で、前記ポートドアを
垂直に移動させるポートドア昇降機構とを備えてなり、 前記ポートドアには、前記ＦＯＵＰドアの外壁を封止す
る封止手段が設けられたことを特徴とするＦＯＵＰオー
プナ。 - 【請求項２】 前記封止手段は、前記ポートドアの外周
縁に沿って設けられ、前記ＦＯＵＰドア側に凸の形状を
なし、前記ＦＯＵＰドアの全周を蓋うようにされている
ことを特徴とする請求項１に記載のＦＯＵＰオープナ。 - 【請求項３】 前記封止手段は、パッキング手段を備え
ることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のＦ
ＯＵＰオープナ。 - 【請求項４】 前記ＦＯＵＰドアの外壁の封止空間から
汚染雰囲気を排気する排気手段が設けられたことを特徴
とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のＦＯ
ＵＰオープナ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000375589A JP2002184831A (ja) | 2000-12-11 | 2000-12-11 | Ｆｏｕｐオープナ |
| US09/983,443 US6470927B2 (en) | 2000-12-11 | 2001-10-24 | Foup opener |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000375589A JP2002184831A (ja) | 2000-12-11 | 2000-12-11 | Ｆｏｕｐオープナ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002184831A true JP2002184831A (ja) | 2002-06-28 |
Family
ID=18844584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000375589A Pending JP2002184831A (ja) | 2000-12-11 | 2000-12-11 | Ｆｏｕｐオープナ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6470927B2 (ja) |
| JP (1) | JP2002184831A (ja) |
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