JP5370785B2 - ロードポート装置 - Google Patents
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Description
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- 微小空間を区画する壁の一部を構成するサイドベースと前記サイドベースが有する開口部を閉鎖可能なドアとを有し、被収容物が収容される密閉容器の蓋を前記ドアが保持して前記密閉容器の蓋を開閉することにより前記密閉容器に対する前記被収容物の挿脱を可能とするロードポート装置であって、
前記密閉容器を載置可能であると共に前記密閉容器を前記開口部に対して接近及び離間させることが可能な載置台と、
前記載置台の内部の空間に対して前記サイドベースによって前記微小空間から分離された外部空間の気体を導入可能な外気供給装置と、を有することを特徴とするロードポート装置。 - 前記外気供給装置は、前記載置台の内部の空間と連通する位置に配置されることを特徴とする請求項1に記載のロードポート装置。
- 前記サイドベースに設けられた前記開口部とは異なる下部開口部を介して前記ドアを駆動するドア駆動機構を収容し且つ前記サイドベースによって前記微小空間と分離された排気空間を形成する区画カバーと、
前記排気空間内部の気体が排出される経路を構成する排気ダクトと、を有することを特徴とする請求項1或いは2の何れかに記載のロードポート装置。 - 前記微小空間の内部に配置され、前記微小空間の上方から下方に気体が流れる際に、前記気体を前記下部開口部の前に集める導風板を有することを特徴とする請求項3に記載のロードポート装置。
- 前記区画カバーの外側に配置されて前記排気空間を囲む排気用予備空間を形成する筐体カバーを更に有し、
前記排気予備空間の下面が、スリット、メッシ及び多孔の内の少なくとも何れかを有する部材より構成されていることを特徴とする請求項3或いは4の何れかに記載のロードポート装置。 - 前記載置台、前記サイドベース、及び前記ドアの内の何れかは、前記密閉容器の開口を、前記サイドベースに設けられた前記開口部に対して相対的に所定の角度傾けるように配置されることを特徴とする請求項1乃至5の何れか一項に記載のロードポート装置。
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