KR20050067763A

KR20050067763A - Ｓｍｉｆ파드의 이동 방지장치

Info

Publication number: KR20050067763A
Application number: KR1020030098777A
Authority: KR
Inventors: 윤상덕
Original assignee: 동부아남반도체 주식회사
Priority date: 2003-12-29
Filing date: 2003-12-29
Publication date: 2005-07-05

Abstract

본 발명은 SMIF파드의 이동 방지장치에 관한 것으로서, 포트 플레이트(21)의 포드가이드(23) 내측면으로 이동방지부재(40)를 설치하여, 웨이퍼카세트(1)의 로딩시 포드 커버(13)의 위치 이동을 방지하는 것이다. 따라서 파드 커버의 외측면과 포드가이드와의 틈새를 이동방지부재로 채워줌으로서, 웨이퍼카세트의 로딩시 웨이퍼의 파손을 방지하는 효과가 있다.

Description

ＳＭＩＦ파드의 이동 방지장치{TRANSFER PREVENTION DEVICE OF SMIF POD}

본 발명은 스탠더드 메커니컬 인터페이스(Standard Mechanical Interface 이하 SMIF라 약칭함)에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 SMIF에 안착된 SMIF파드의 이동을 방지하기 위한 SMIF 파드의 이동 방지장치에 관한 것이다.

일반적으로 SMIF는 좁은 공간의 청정실 등에서의 대기 컨트롤 및 프로세스 처리시 인위적인 실수 등을 방지하기 위한 것으로, SMIF 시스템은 반도체 제조 공정을 수행하는 반도체 장비의 주변 장치로서 웨이퍼가 저장된 캐리어를 반도체 장비에 장전하거나 인출하는데 이용된다.

이러한 SMIF는 반도체 제조공정실에서 웨이퍼 이동시 웨이퍼가 저장된 캐리어를 기밀이 유지되는 저장 용기에 담아 이동하는 SMIF 파드(POD)와, SMIF 파드를 그 위에 얹는 포트 플레이트와, 포트 플레이트를 지지하는 SMIF 아암을 포함하여 포드 도어와 파드 도어와 캐리어가 함께 움직여 SMIF 아암안으로 내려가거나 포트 위로 올라오도록 동작된다.

도 1은 종래의 기술에 따른 SMIF 장치의 사시도이다. 도시된 바와 같이, SMIF 장치는 웨이퍼 카세트(1)를 수납하기 위한 SMIF 파드(10)와, SMIF 파드(10)를 저장하거나 인출하기 위한 SMIF 포트(20)와, SMIF 포트(20)의 내측에 구비되어 웨이퍼카세트(1)를 수직방향으로 이동시키는 구동부(30)를 포함한다.

SMIF 파드(10)는 그의 하부에 마련된 파드 플레이트(pod plate;11)와, 파드 플레이트(11)의 상부에 탑재되며 웨이퍼들이 정렬된 웨이퍼 카세트(1)를 덮고 있는 파드 커버(13)를 포함한다.

또한, 파드 커버(13)는 파드 플레이트(11)에 탑재시 파드 커버(13) 내부를 밀폐하기 위하여 파드 플레이트(11)와의 결합부위에 고무재질로 이루어지는 밀봉재(15)가 마련되어 있다.

SMIF 포트(20)는 포트 플레이트(port plate;21)와 "ㄴ"자 형상의 포드가이드(23) 및 포트 도어(25)를 포함한다.

포트 플레이트(21)는 SMIF 포트(20) 상에 SMIF 파드(10)가 위치할 때, SMIF 파드(10)의 하면을 수평으로 유지시키기 위한 것이고, 포드가이드(23)는 포트 플레이트(21)의 각 꼭지점을 중심으로 마련되어 SMIF 파드(10)를 소망하는 정위치에 안내하는 역할을 한다.

그리고 포드가이드(23)와 일체의 걸림편(23a)이 설치되어 파드커버(13)의 상부 이탈을 방지하게 된다.

포트 도어(25)는 파드 플레이트(11)와 접촉하여 구동부(30)에 의해 수직방향으로 이송되어 파드 플레이트(11) 상의 웨이퍼 카세트(1)를 운반하는 역할을 한다.

또한, 포트 도어(25)의 상면에는 모터로 구동되는 록킹장치(25a)가 설치되어 SMIF 파드(10)를 고정시킨다.

구동부(30)는 포트 도어(25)의 하측에 결합된 이송부재(31)와, 이송부재(31)에 나사결합되어 이송부재(31)를 수직방향으로 이송시키는 리드스크류(33)와, 리드스크류(33)에 연결되어 리드스크류(33)를 회전시키는 모터(35)를 포함한다.

모터(35)는 그 회전축이 리드스크류(33)에 축결합된 풀리(33a)와 벨트(34)로 연결되며, 모터(35)의 회전에 의해 리드스크류(33)를 회전시킴으로써, SMIF 파드(10)의 파드커버(13)와 밀봉재(15)는 포트 플레이트(21) 상에 밀봉을 유지한 채, 이송부재(31)에 결합된 포트 도어(25)가 파드 플레이트(11)와 같이 리드스크류(33)를 따라 수직방향으로 이동하도록 한다.

그런데 이와 같이 웨이퍼카세트(1)의 로딩이 이루어지는 과정에서 파드 커버(13)는 걸림편(23a)에 의하여 상부로의 이탈을 방지되나, 도 2 에 도시된 바와 같이 파드 커버(13)의 외측면과 포드가이드(23)와의 틈새로 하여 파드 커버(13)가 좌, 우로 위치 이동되었다. 이는 웨이퍼카세트(1)의 언로딩시 위치 이동된 파드 커버(13)로 하여 웨이퍼카세트(1)의 웨이퍼가 파손되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상술한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 파드 커버의 외측면과 포드가이드와의 틈새를 채워줌으로서, 파드 커버의 이동이 방지되는 SMIF파드의 이동 방지장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, SMIF 포트의 포트 플레이트 상에 안착되는 SMIF파드의 이동을 방지하는 장치에 있어서, 포트 플레이트의 포드가이드 내측면으로 이동방지부재를 설치하여, 웨이퍼카세트의 로딩시 포드 커버의 위치 이동을 방지하는 SMIF파드의 이동 방지장치를 제공한다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세하게 설명한다.

도 3은 본 발명에 따른 SMIF파드의 이동 방지장치의 구성도이고, 도 4는 본 발명에 따른 SMIF파드의 이동 방지장치의 로딩 상태도이며, 선행기술에 도시된 실시예와 동일한 구성부재에 대해서는 도 1을 참조하여 동일한 도면 부호로서 설명한다.

본 발명에 따른 SMIF장치는, 도 3에 도시된 바와 같이, SMIF 장치는 웨이퍼 카세트(1)를 수납하기 위한 SMIF 파드(10)와, SMIF 파드(10)를 저장하거나 인출하기 위한 SMIF 포트(20)와, SMIF 포트(20)의 내측에 구비되어 웨이퍼카세트(1)를 수직방향으로 이동시키는 구동부(30)를 포함한다.

포드가이드(23)에는 일체의 걸림편(23a)이 설치되어 파드커버(13)의 상부 이탈을 방지하게 된다.

포트 도어(25)의 상면에는 모터로 구동되는 록킹장치(25a)가 설치되어 SMIF 파드(10)를 고정시킨다.

여기서 본 발명의 특징에 따라 포트 플레이트(21)의 포드가이드(23) 내측면으로 이동방지부재(40)를 설치하였다.

이동방지부재(40)는 고무재나 스테인레스재질이면 가능하며, 포드가이드(23)를 따라 연속적으로 설치가능하며, 몇 개소에 설치할 수도 있다.

위의 이동방지부재(40)는 포드 커버(13)와 밀착되어 웨이퍼카세트의 로딩시 포드 커버(13)의 위치 이동을 방지하게 된다.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 SMIF파드의 이동 방지장치의 작용은 다음과 같다.

도 4를 참조하면, 웨이퍼카세트(1)를 오픈된 상태로 SMIF장치에 로딩하기 위해 SMIF 파드(10)가 SMIF 포트(20)의 포트 플레이트(21)에 장착된다.

이 상태에서 웨이퍼의 로딩이 진행되면, SMIF 파드(10)의 파드커버(13)는 포트 플레이트(21) 상에 밀봉을 유지한 채, 이송부재(31)에 결합된 포트 도어(25)가 파드 플레이트(11)와 같이 리드스크류(33)를 따라 수직방향으로 이동하도록 한다.

이때, 파드커버(13)는 걸림편(23a)에 의하여 상부로의 이탈이 방지된 상태에서 포드가이드(23)의 내측면에 설치된 이동방지부재(40)와 밀착되어 좌, 우로의 이동이 방지된다.

이처럼 위치 고정된 파드커버(13)에는 공정이 완료된 웨이퍼카세트(1)가 로딩될 때, 항상 제위치에 안정적으로 장착을 이룰 수 있다.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시 예에 대하여 도시하고 또한 설명하였으나, 본 발명은 상술한 실시 예에 한정되지 아니하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하 청구범위에 기재된 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 다양한 변경실시가 가능할 것이다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명인 SMIF파드의 이동 방지장치는, 파드 커버의 외측면과 포드가이드와의 틈새를 채워줌으로서, 파드 커버의 이동이 방지되어 웨이퍼카세트의 로딩시 웨이퍼의 파손을 방지하는 효과가 있다.

도 1은 종래의 기술에 따른 SMIF 장치의 사시도이고,

도 2a 및 도 2b는 종래 SMIF장치에서 웨이퍼카세트의 로딩 상태를 도시한 것이고,

도 3은 본 발명에 따른 SMIF파드의 이동 방지장치의 구성도이고,

도 4는 본 발명에 따른 SMIF파드의 이동 방지장치의 로딩 상태도이다.

＜도면의 주요부분에 대한 부호의 설명＞

1 : 웨이퍼카세트 10 : SMIF 파드

11 : 파드 플레이트 13 : 파드커버

20 : SMIF 포트 21 : 포트 플레이트

23 : 포드가이드 23a : 걸림편

25 : 포트 도어 25a : 록킹장치

30 : 구동부 40 : 이동방지부재

Claims

SMIF 포트의 포트 플레이트 상에 안착되는 SMIF파드의 이동을 방지하는 장치에 있어서,

상기 포트 플레이트의 포드가이드 내측면으로 이동방지부재를 설치하여,

웨이퍼카세트의 로딩시 포드 커버의 위치 이동을 방지하는 SMIF파드의 이동 방지장치.