JP2002170860A - 駆動部隔離ｆｏｕｐオープナ - Google Patents
駆動部隔離ｆｏｕｐオープナInfo
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 ポートドアやセンサの進退機構や昇降機構の
各駆動部がクリーンルームの汚染源となることなく、ク
リーンルームのクリーン度を高く維持することができる
ＦＯＵＰオープナを提供する。 【解決手段】 ポートドア進退機構40の駆動部とセンサ
進退機構60の駆動部とポートドア・センサ昇降機構50の
駆動部とが、ポートプレート21を挟んで、ポートドア23
とセンサ取付部材62とが配置されるクリーンルーム200
側とは反対の側に配置されている。
各駆動部がクリーンルームの汚染源となることなく、ク
リーンルームのクリーン度を高く維持することができる
ＦＯＵＰオープナを提供する。 【解決手段】 ポートドア進退機構40の駆動部とセンサ
進退機構60の駆動部とポートドア・センサ昇降機構50の
駆動部とが、ポートプレート21を挟んで、ポートドア23
とセンサ取付部材62とが配置されるクリーンルーム200
側とは反対の側に配置されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本願の発明は、半導体ウェハを所
定の間隔で、水平に、複数枚収納して搬送する密閉可能
な容器を開閉するための容器開閉装置に関し、特に容器
がＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod ）である場合
に、ＦＯＵＰドアを着脱して保持する着脱機構と保持機
構とを有するポートドアとＦＯＵＰ内収納ウェハの有無
や収納状態、収納位置等を検出するためのセンサ機構と
の各駆動部の配置構造を改善したＦＯＵＰ開閉装置（Ｆ
ＯＵＰオープナ）に関する。
定の間隔で、水平に、複数枚収納して搬送する密閉可能
な容器を開閉するための容器開閉装置に関し、特に容器
がＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod ）である場合
に、ＦＯＵＰドアを着脱して保持する着脱機構と保持機
構とを有するポートドアとＦＯＵＰ内収納ウェハの有無
や収納状態、収納位置等を検出するためのセンサ機構と
の各駆動部の配置構造を改善したＦＯＵＰ開閉装置（Ｆ
ＯＵＰオープナ）に関する。
【０００２】
【従来の技術、発明が解決しようとする課題】ＦＯＵＰ
オープナは、第１制御空間であるＦＯＵＰ内環境100 と
第２制御空間であるウェハ転送空間200 との間を、外部
雰囲気300 にウェハをさらすことなく、連通させ、ウェ
ハをロボット等で転送することができるようにする役割
を担う。ＦＯＵＰオープナの要求仕様は、高精細度の３
００ｍｍウェハともなると、きわめて高価なものとなる
ために、塵埃によるウェハ汚染に対しては、オープナ自
体の発塵量を０．１μm 粒子で１個／１０cft 以下、マ
ッピング誤報率（虚報率）を１回／（１０万枚〜１００
万枚）以下に抑えることが求められている。また、ウェ
ハを転送するためには、ウェハの有無や収納状態等を検
出する必要があり、マッピング手段は、ＦＯＵＰオープ
ナあるいはロボットのいずれか一方に設けられている。
一般的には、これら両者ともに、オプション機能として
の位置付けとなっている。
オープナは、第１制御空間であるＦＯＵＰ内環境100 と
第２制御空間であるウェハ転送空間200 との間を、外部
雰囲気300 にウェハをさらすことなく、連通させ、ウェ
ハをロボット等で転送することができるようにする役割
を担う。ＦＯＵＰオープナの要求仕様は、高精細度の３
００ｍｍウェハともなると、きわめて高価なものとなる
ために、塵埃によるウェハ汚染に対しては、オープナ自
体の発塵量を０．１μm 粒子で１個／１０cft 以下、マ
ッピング誤報率（虚報率）を１回／（１０万枚〜１００
万枚）以下に抑えることが求められている。また、ウェ
ハを転送するためには、ウェハの有無や収納状態等を検
出する必要があり、マッピング手段は、ＦＯＵＰオープ
ナあるいはロボットのいずれか一方に設けられている。
一般的には、これら両者ともに、オプション機能として
の位置付けとなっている。
【０００３】従来、ＦＯＵＰ010 の開口部を閉塞するＦ
ＯＵＰドア013 をＦＯＵＰオープナ01により開閉し、昇
降せしめる動作は、図５に図示されるように、クリーン
ルームとしての環境が保たれる第２制御空間200 内で行
なわれる動作であったために、ＦＯＵＰドア013 を着脱
して保持する着脱機構や保持機構を有するポートドア02
3 やセンサ070 の進退機構040 および昇降機構050 の各
駆動部は、第２制御空間200 内に配置されている（特開
平１１−１４５２４４号公報参照）。なお、014 は半導
体ウェハ、021 はポートプレート、300 は外部雰囲気で
ある。
ＯＵＰドア013 をＦＯＵＰオープナ01により開閉し、昇
降せしめる動作は、図５に図示されるように、クリーン
ルームとしての環境が保たれる第２制御空間200 内で行
なわれる動作であったために、ＦＯＵＰドア013 を着脱
して保持する着脱機構や保持機構を有するポートドア02
3 やセンサ070 の進退機構040 および昇降機構050 の各
駆動部は、第２制御空間200 内に配置されている（特開
平１１−１４５２４４号公報参照）。なお、014 は半導
体ウェハ、021 はポートプレート、300 は外部雰囲気で
ある。
【０００４】このため、これら発塵の要因である駆動部
が、クリーンな環境に保持されるべき第２制御空間200
を汚染するという問題が発生していた。例えば、駆動部
のモータやシリンダなどを駆動源とする可動部が動作す
ると、摩擦により塵埃が発生して、クリーンルーム（第
２制御空間200 ）内に飛散し、また、可動部に塗布され
る摺動材や潤滑材の気化による有機物がクリーンルーム
200 内に飛散して、クリーンルーム200 の高いクリーン
度を維持することができなくなる。さらに、クリーンル
ーム200 内で駆動部の保守、点検、修理等の作業をする
場合には、作業者がクリーンルーム200 に入るために機
器の移動や取り外しを行なってスペースを確保する必要
があり、必然的にクリーンルーム200 内に塵埃が飛散し
てしまう。このため、クリーンルーム200 内を正常な高
いクリーン度に復旧させるには、かなりの時間と費用と
が発生してしまう。加えて、クリーンルーム200 内で人
間が作業をするには、作業者の体に付着した塵埃を除去
するための設備が必要になり、この面からも、かなりの
費用がかかってしまう。
が、クリーンな環境に保持されるべき第２制御空間200
を汚染するという問題が発生していた。例えば、駆動部
のモータやシリンダなどを駆動源とする可動部が動作す
ると、摩擦により塵埃が発生して、クリーンルーム（第
２制御空間200 ）内に飛散し、また、可動部に塗布され
る摺動材や潤滑材の気化による有機物がクリーンルーム
200 内に飛散して、クリーンルーム200 の高いクリーン
度を維持することができなくなる。さらに、クリーンル
ーム200 内で駆動部の保守、点検、修理等の作業をする
場合には、作業者がクリーンルーム200 に入るために機
器の移動や取り外しを行なってスペースを確保する必要
があり、必然的にクリーンルーム200 内に塵埃が飛散し
てしまう。このため、クリーンルーム200 内を正常な高
いクリーン度に復旧させるには、かなりの時間と費用と
が発生してしまう。加えて、クリーンルーム200 内で人
間が作業をするには、作業者の体に付着した塵埃を除去
するための設備が必要になり、この面からも、かなりの
費用がかかってしまう。
【０００５】これに対して、ポートドアをクリーンルー
ム（第２制御空間200 ）の外側に配置して、ＦＯＵＰド
アの開閉、昇降をクリーンルーム200 外で行なわせるよ
うにしたＦＯＵＰオープナが提案されている（再公表特
許ＷＯ９９／２８９６５号公報参照）。しかしながら、
このものにおいては、図６に図示されるように、ポート
ドア023がＦＯＵＰ010 とポートプレート021 との間に
位置することになるので、これらの間に隙間ｇが生じ
て、この隙間ｇからクリーンルーム200 の外側（外部雰
囲気300 ）の塵埃がＦＯＵＰ010 内（第１制御空間100
）やクリーンルーム200 内に侵入する虞や、クリーン
ルーム200 の外側の塵埃がＦＯＵＰドア013の内側やポ
ートドア023 の外側に付着する虞、クリーン度の高いク
リーンエアが大量にクリーンルーム200 の外側に流出す
る虞が発生していた。
ム（第２制御空間200 ）の外側に配置して、ＦＯＵＰド
アの開閉、昇降をクリーンルーム200 外で行なわせるよ
うにしたＦＯＵＰオープナが提案されている（再公表特
許ＷＯ９９／２８９６５号公報参照）。しかしながら、
このものにおいては、図６に図示されるように、ポート
ドア023がＦＯＵＰ010 とポートプレート021 との間に
位置することになるので、これらの間に隙間ｇが生じ
て、この隙間ｇからクリーンルーム200 の外側（外部雰
囲気300 ）の塵埃がＦＯＵＰ010 内（第１制御空間100
）やクリーンルーム200 内に侵入する虞や、クリーン
ルーム200 の外側の塵埃がＦＯＵＰドア013の内側やポ
ートドア023 の外側に付着する虞、クリーン度の高いク
リーンエアが大量にクリーンルーム200 の外側に流出す
る虞が発生していた。
【０００６】また、この公報記載のＦＯＵＰオープナ01
においては、ＦＯＵＰ010 とポートプレート021 との間
の距離が長くなる（隙間ｇが大きくなる）ため、ＦＯＵ
Ｐ010 を載置して位置決めするドックプレート031 と、
ドックプレート031 をＦＯＵＰドア013 が着脱される位
置まで移動させるドック移動機構030 の構成部品との各
加工誤差、組立誤差、摩耗等によるＦＯＵＰ010 の位置
決め精度の悪化により、ＦＯＵＰ内収納ウェハ014 の有
無や収納状態、収納位置等を高い精度で検出することが
できず、ウェハ014 の搬送に問題を生じる虞があった。
においては、ＦＯＵＰ010 とポートプレート021 との間
の距離が長くなる（隙間ｇが大きくなる）ため、ＦＯＵ
Ｐ010 を載置して位置決めするドックプレート031 と、
ドックプレート031 をＦＯＵＰドア013 が着脱される位
置まで移動させるドック移動機構030 の構成部品との各
加工誤差、組立誤差、摩耗等によるＦＯＵＰ010 の位置
決め精度の悪化により、ＦＯＵＰ内収納ウェハ014 の有
無や収納状態、収納位置等を高い精度で検出することが
できず、ウェハ014 の搬送に問題を生じる虞があった。
【０００７】本願の発明は、従来のＦＯＵＰオープナが
有する前記のような問題点を解決して、ポートドアやセ
ンサの進退機構や昇降機構の各駆動部がクリーンルーム
（第２制御空間200 ）の汚染源となることなく、また、
クリーンルームの外側（外部雰囲気300 ）の塵埃がＦＯ
ＵＰ内（第１制御空間100 ）やクリーンルーム内に侵入
したり、ＦＯＵＰドアの内側やポートドアの外側に付着
したりすることなく、また、クリーン度の高いクリーン
エアが大量にクリーンルームの外側に流出したりするこ
ともなく、さらに、ＦＯＵＰとポートプレートとの間の
距離が長くなることによりドックプレートとドック移動
機構の構成部品との各加工誤差、組立誤差、摩耗等が生
じてＦＯＵＰの位置決め精度が悪化するというようなこ
ともなく、マッピングセンサの検出精度を高く維持する
ことができて、ウェハの搬送に問題を生じることのな
い、ＦＯＵＰオープナを提供することを課題とする。
有する前記のような問題点を解決して、ポートドアやセ
ンサの進退機構や昇降機構の各駆動部がクリーンルーム
（第２制御空間200 ）の汚染源となることなく、また、
クリーンルームの外側（外部雰囲気300 ）の塵埃がＦＯ
ＵＰ内（第１制御空間100 ）やクリーンルーム内に侵入
したり、ＦＯＵＰドアの内側やポートドアの外側に付着
したりすることなく、また、クリーン度の高いクリーン
エアが大量にクリーンルームの外側に流出したりするこ
ともなく、さらに、ＦＯＵＰとポートプレートとの間の
距離が長くなることによりドックプレートとドック移動
機構の構成部品との各加工誤差、組立誤差、摩耗等が生
じてＦＯＵＰの位置決め精度が悪化するというようなこ
ともなく、マッピングセンサの検出精度を高く維持する
ことができて、ウェハの搬送に問題を生じることのな
い、ＦＯＵＰオープナを提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段および効果】本願の発明
は、前記のような課題を解決した駆動部隔離ＦＯＵＰオ
ープナに係り、その請求項１に記載された発明は、ＦＯ
ＵＰオープナが、少なくとも、前面開口部がＦＯＵＰド
アにより閉塞され、内部に半導体ウェハを所定の間隔
で、水平に、複数枚収納してなるＦＯＵＰを載置して位
置決めするドックプレートと、前記ドックプレートを前
記ＦＯＵＰドアが着脱される位置まで移動させるドック
移動機構と、前記ＦＯＵＰドアを着脱して保持する着脱
機構と保持機構とを有するポートドアと、前記ポートド
アにより閉塞される開口部を有するポートプレートと前
記ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構
と、前記ＦＯＵＰ内収納ウェハの有無や収納状態を検出
するためのマッピングセンサを上部に取り付けたセンサ
取付部材を水平に移動させるためのセンサ進退機構と、
前記ＦＯＵＰドアを格納するために、前記ポートドアが
前記ＦＯＵＰドアを保持した状態で、前記ポートドアと
前記マッピングセンサとを垂直に移動させるためのポー
トドア・センサ昇降機構とを備えてなり、前記ポートド
ア進退機構の駆動部と前記センサ進退機構の駆動部と前
記ポートドア・センサ昇降機構の駆動部とが、前記ポー
トプレートを挟んで、前記ポートドアと前記センサ取付
部材とが配置されるクリーンルーム側とは反対の側に配
置されてなることを特徴とする駆動部隔離ＦＯＵＰオー
プナである。
は、前記のような課題を解決した駆動部隔離ＦＯＵＰオ
ープナに係り、その請求項１に記載された発明は、ＦＯ
ＵＰオープナが、少なくとも、前面開口部がＦＯＵＰド
アにより閉塞され、内部に半導体ウェハを所定の間隔
で、水平に、複数枚収納してなるＦＯＵＰを載置して位
置決めするドックプレートと、前記ドックプレートを前
記ＦＯＵＰドアが着脱される位置まで移動させるドック
移動機構と、前記ＦＯＵＰドアを着脱して保持する着脱
機構と保持機構とを有するポートドアと、前記ポートド
アにより閉塞される開口部を有するポートプレートと前
記ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構
と、前記ＦＯＵＰ内収納ウェハの有無や収納状態を検出
するためのマッピングセンサを上部に取り付けたセンサ
取付部材を水平に移動させるためのセンサ進退機構と、
前記ＦＯＵＰドアを格納するために、前記ポートドアが
前記ＦＯＵＰドアを保持した状態で、前記ポートドアと
前記マッピングセンサとを垂直に移動させるためのポー
トドア・センサ昇降機構とを備えてなり、前記ポートド
ア進退機構の駆動部と前記センサ進退機構の駆動部と前
記ポートドア・センサ昇降機構の駆動部とが、前記ポー
トプレートを挟んで、前記ポートドアと前記センサ取付
部材とが配置されるクリーンルーム側とは反対の側に配
置されてなることを特徴とする駆動部隔離ＦＯＵＰオー
プナである。
【０００９】請求項１に記載された発明は、前記のよう
に構成されているので、その駆動部隔離ＦＯＵＰオープ
ナにおいては、ポートドア進退機構の駆動部とセンサ進
退機構の駆動部とポートドア・センサ昇降機構の駆動部
とが、ポートプレートを挟んで、ポートドアとセンサ取
付部材とが配置されるクリーンルーム側とは反対の側に
配置されて、クリーンルーム（第２制御空間200 ）から
隔離されている。
に構成されているので、その駆動部隔離ＦＯＵＰオープ
ナにおいては、ポートドア進退機構の駆動部とセンサ進
退機構の駆動部とポートドア・センサ昇降機構の駆動部
とが、ポートプレートを挟んで、ポートドアとセンサ取
付部材とが配置されるクリーンルーム側とは反対の側に
配置されて、クリーンルーム（第２制御空間200 ）から
隔離されている。
【００１０】この結果、これらの駆動部において発生す
る塵埃は、ポートプレートに遮られて、クリーンルーム
内に侵入することがない。例えば、駆動部のモータやシ
リンダなどを駆動源とする可動部において、摩擦により
発生する塵埃がクリーンルーム内に飛散することがなく
なり、また、可動部に塗布される摺動材や潤滑材の気化
による有機物がクリーンルーム内に飛散することがなく
なる。また、駆動部の保守、点検、修理等の作業をする
場合においても、作業者がクリーンルームに入る必要が
ないので、クリーンルーム内において作業用スペースを
確保するために機器の移動や取り外しをする必要がな
く、これらの作業に伴う塵埃の発生がクリーンルームを
汚染することがなくなる。これらにより、クリーンルー
ムを高いクリーン度に維持することができる。
る塵埃は、ポートプレートに遮られて、クリーンルーム
内に侵入することがない。例えば、駆動部のモータやシ
リンダなどを駆動源とする可動部において、摩擦により
発生する塵埃がクリーンルーム内に飛散することがなく
なり、また、可動部に塗布される摺動材や潤滑材の気化
による有機物がクリーンルーム内に飛散することがなく
なる。また、駆動部の保守、点検、修理等の作業をする
場合においても、作業者がクリーンルームに入る必要が
ないので、クリーンルーム内において作業用スペースを
確保するために機器の移動や取り外しをする必要がな
く、これらの作業に伴う塵埃の発生がクリーンルームを
汚染することがなくなる。これらにより、クリーンルー
ムを高いクリーン度に維持することができる。
【００１１】また、駆動部の保守、点検、修理等の作業
をする場合において、作業者がクリーンルームに入る必
要がないので、作業者の体に付着した塵埃を除去するた
めの設備の必要がなくなり、設備費用の低減を図ること
ができる。
をする場合において、作業者がクリーンルームに入る必
要がないので、作業者の体に付着した塵埃を除去するた
めの設備の必要がなくなり、設備費用の低減を図ること
ができる。
【００１２】さらに、ポートドアはクリーンルーム側に
配置されるので、ＦＯＵＰとポートプレートとの間の距
離をなくするか短くすることができ、この間の間隙は微
小となるので、クリーンルームの外側（外部雰囲気300
）の塵埃がＦＯＵＰ内（第１制御空間100 ）やクリー
ンルーム内に侵入したり、ＦＯＵＰドアの内側やポート
ドアの外側に付着したりすることがなくなり、また、ク
リーン度の高いクリーンエアが大量にクリーンルームの
外側に流出したりすることもなくなる。これにより、ク
リーンルームをさらに高いクリーン度に維持することが
できる。
配置されるので、ＦＯＵＰとポートプレートとの間の距
離をなくするか短くすることができ、この間の間隙は微
小となるので、クリーンルームの外側（外部雰囲気300
）の塵埃がＦＯＵＰ内（第１制御空間100 ）やクリー
ンルーム内に侵入したり、ＦＯＵＰドアの内側やポート
ドアの外側に付着したりすることがなくなり、また、ク
リーン度の高いクリーンエアが大量にクリーンルームの
外側に流出したりすることもなくなる。これにより、ク
リーンルームをさらに高いクリーン度に維持することが
できる。
【００１３】加えて、ＦＯＵＰとポートプレートとの間
の間隙が微小となるので、ドックプレートとドック移動
機構の構成部品との各加工誤差、組立誤差、摩耗等も低
減されて、ＦＯＵＰの位置決め精度が向上するので、マ
ッピングセンサの検出精度を高く維持することができ
て、ウェハの搬送を高い信頼度で行なうことができる。
の間隙が微小となるので、ドックプレートとドック移動
機構の構成部品との各加工誤差、組立誤差、摩耗等も低
減されて、ＦＯＵＰの位置決め精度が向上するので、マ
ッピングセンサの検出精度を高く維持することができ
て、ウェハの搬送を高い信頼度で行なうことができる。
【００１４】また、請求項２に記載のように請求項１に
記載の発明を構成することにより、ポートプレートに
は、該ポートプレートが有する開口部の下方部に、細長
い長孔からなる案内溝が設けられ、ポートドア進退機構
の駆動部とセンサ進退機構の駆動部とポートドア・セン
サ昇降機構の駆動部とが、該案内溝を介して、ポートド
アとセンサ取付部材とをそれぞれ水平もしくは垂直に移
動させるようにされる。
記載の発明を構成することにより、ポートプレートに
は、該ポートプレートが有する開口部の下方部に、細長
い長孔からなる案内溝が設けられ、ポートドア進退機構
の駆動部とセンサ進退機構の駆動部とポートドア・セン
サ昇降機構の駆動部とが、該案内溝を介して、ポートド
アとセンサ取付部材とをそれぞれ水平もしくは垂直に移
動させるようにされる。
【００１５】この結果、クリーンルームの外側の塵埃
が、この案内溝を通ってクリーンルーム内に侵入した
り、逆にクリーン度の高いクリーンエアが、この案内溝
を通って大量にクリーンルームの外側に流出したりする
ことが可及的抑制され、クリーンルームを高いクリーン
度に維持することに資することができる。また、ポート
ドアおよびセンサ取付部材の各アームは、この案内溝を
移動することになるが、この移動により塵埃が発生して
も、クリーンルーム内の気圧をクリーンルームの外側の
気圧よりも高く（陽圧に）維持することにより、この塵
埃を案内溝からクリーンルームの外側に排出することが
でき、この面からも、クリーンルームを高いクリーン度
に維持することに資することができる。
が、この案内溝を通ってクリーンルーム内に侵入した
り、逆にクリーン度の高いクリーンエアが、この案内溝
を通って大量にクリーンルームの外側に流出したりする
ことが可及的抑制され、クリーンルームを高いクリーン
度に維持することに資することができる。また、ポート
ドアおよびセンサ取付部材の各アームは、この案内溝を
移動することになるが、この移動により塵埃が発生して
も、クリーンルーム内の気圧をクリーンルームの外側の
気圧よりも高く（陽圧に）維持することにより、この塵
埃を案内溝からクリーンルームの外側に排出することが
でき、この面からも、クリーンルームを高いクリーン度
に維持することに資することができる。
【００１６】また、請求項３に記載のように請求項２に
記載の発明を構成することにより、案内溝は、ポートド
アとセンサ取付部材とを移動させるために共通に使用さ
れる。
記載の発明を構成することにより、案内溝は、ポートド
アとセンサ取付部材とを移動させるために共通に使用さ
れる。
【００１７】この結果、案内溝の数を可能な限り減らし
て、請求項２に記載の発明が奏する前記のような効果を
さらに高めることができる。
て、請求項２に記載の発明が奏する前記のような効果を
さらに高めることができる。
【００１８】さらに、請求項４に記載のように請求項１
ないし請求項３のいずれかに記載の発明を構成すること
により、ポートドア進退機構の駆動部とセンサ進退機構
の駆動部とポートドア・センサ昇降機構の駆動部とが配
置される駆動部収容室が設けられ、該駆動部収容室に、
該駆動部収容室内の雰囲気を外部に排出する手段が設け
られる。
ないし請求項３のいずれかに記載の発明を構成すること
により、ポートドア進退機構の駆動部とセンサ進退機構
の駆動部とポートドア・センサ昇降機構の駆動部とが配
置される駆動部収容室が設けられ、該駆動部収容室に、
該駆動部収容室内の雰囲気を外部に排出する手段が設け
られる。
【００１９】この結果、これらの駆動部において発生す
る塵埃が案内溝を通ってクリーンルーム内に侵入するの
を完全に防止することができ、クリーンルームをさらに
高いクリーン度に維持することができる。
る塵埃が案内溝を通ってクリーンルーム内に侵入するの
を完全に防止することができ、クリーンルームをさらに
高いクリーン度に維持することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】次に、図１ないし図４に図示され
る本願の請求項１ないし請求項４に記載された発明の一
実施形態について説明する。図１は、本実施形態におけ
る駆動部隔離ＦＯＵＰオープナのＦＯＵＰドア開放前の
概略縦断面図、図２は、図１のＦＯＵＰオープナの駆動
部収容室壁を除去して見た概略背面図、図３は、図２の
ＩＩＩ−ＩＩＩ線矢視断面図、図４は、図１のＦＯＵＰ
オープナのポートドア側から見た部分斜視図である。
る本願の請求項１ないし請求項４に記載された発明の一
実施形態について説明する。図１は、本実施形態におけ
る駆動部隔離ＦＯＵＰオープナのＦＯＵＰドア開放前の
概略縦断面図、図２は、図１のＦＯＵＰオープナの駆動
部収容室壁を除去して見た概略背面図、図３は、図２の
ＩＩＩ−ＩＩＩ線矢視断面図、図４は、図１のＦＯＵＰ
オープナのポートドア側から見た部分斜視図である。
【００２１】図１に図示されるように、本実施形態にお
ける駆動部隔離ＦＯＵＰオープナ１は、内部に半導体ウ
ェハ14を所定の間隔で、水平に、複数枚収納したＦＯＵ
Ｐ10と、該ＦＯＵＰ10を載置して位置決めするドックプ
レート31と、該ドックプレート31をＦＯＵＰドア13が着
脱される位置まで移動させるドック移動機構30と、ＦＯ
ＵＰドア13を着脱して保持する着脱機構と保持機構と
（いずれも図示されず）を有するポートドア23と、該ポ
ートドア23により閉塞される開口部22を有するポートプ
レート21と、ポートドア23を水平に移動させるポートド
ア進退機構40と、ＦＯＵＰ内収納ウェハ14の有無や収納
状態、収納位置等を検出するマッピングセンサ70を上部
に取り付けたセンサ取付部材62を水平に移動させるため
のセンサ進退機構60と、ＦＯＵＰドア13をフロントエン
ド（第２制御空間200 ）に格納するために、ポートドア
23がＦＯＵＰドア13を保持した状態で、ポートドア23と
マッピングセンサ70とを垂直に移動させるためのポート
ドア・センサ昇降機構50とを備えている。
ける駆動部隔離ＦＯＵＰオープナ１は、内部に半導体ウ
ェハ14を所定の間隔で、水平に、複数枚収納したＦＯＵ
Ｐ10と、該ＦＯＵＰ10を載置して位置決めするドックプ
レート31と、該ドックプレート31をＦＯＵＰドア13が着
脱される位置まで移動させるドック移動機構30と、ＦＯ
ＵＰドア13を着脱して保持する着脱機構と保持機構と
（いずれも図示されず）を有するポートドア23と、該ポ
ートドア23により閉塞される開口部22を有するポートプ
レート21と、ポートドア23を水平に移動させるポートド
ア進退機構40と、ＦＯＵＰ内収納ウェハ14の有無や収納
状態、収納位置等を検出するマッピングセンサ70を上部
に取り付けたセンサ取付部材62を水平に移動させるため
のセンサ進退機構60と、ＦＯＵＰドア13をフロントエン
ド（第２制御空間200 ）に格納するために、ポートドア
23がＦＯＵＰドア13を保持した状態で、ポートドア23と
マッピングセンサ70とを垂直に移動させるためのポート
ドア・センサ昇降機構50とを備えている。
【００２２】ＦＯＵＰ10は、ＦＯＵＰ10の本体をなすＦ
ＯＵＰフレーム11の前面開口部12がＦＯＵＰドア13によ
り閉塞されることにより、密閉容器として構成されてい
る。ポートプレート21とポートドア23とは、フロントエ
ンドのＦＯＵＰ供給側壁体の一部をなしていて、クリー
ンルームとして構成されてウェハ転送空間をなす第２制
御空間200 と外部雰囲気300 とを隔絶する。センサ取付
部材62は、図４に図示されるように、矩形状の枠体から
なり、ポートドア23をわずかの間隔を置いて囲んでい
る。
ＯＵＰフレーム11の前面開口部12がＦＯＵＰドア13によ
り閉塞されることにより、密閉容器として構成されてい
る。ポートプレート21とポートドア23とは、フロントエ
ンドのＦＯＵＰ供給側壁体の一部をなしていて、クリー
ンルームとして構成されてウェハ転送空間をなす第２制
御空間200 と外部雰囲気300 とを隔絶する。センサ取付
部材62は、図４に図示されるように、矩形状の枠体から
なり、ポートドア23をわずかの間隔を置いて囲んでい
る。
【００２３】ポートドア進退機構40は、ポートドア23の
下方延設部42の下端から直角に延設されたアーム部44
が、後述するポートドア・センサ昇降機構50の昇降基部
材51の上面側にリニアガイド41に沿って摺動自在に設け
られており、その先端部がポートドア進退機構駆動用モ
ータ43の出力軸に結合されて、該モータ43によって水平
方向（図１において左右方向）に進退駆動される。この
アーム部44は、ポートプレート21の開口部22の下方部に
設けられた細長い長孔状の案内溝52に挿通されていて、
この案内溝52内を左右・上下に移動する。
下方延設部42の下端から直角に延設されたアーム部44
が、後述するポートドア・センサ昇降機構50の昇降基部
材51の上面側にリニアガイド41に沿って摺動自在に設け
られており、その先端部がポートドア進退機構駆動用モ
ータ43の出力軸に結合されて、該モータ43によって水平
方向（図１において左右方向）に進退駆動される。この
アーム部44は、ポートプレート21の開口部22の下方部に
設けられた細長い長孔状の案内溝52に挿通されていて、
この案内溝52内を左右・上下に移動する。
【００２４】センサ進退機構60は、センサ取付部材62の
下端から直角に延設されたアーム部64が、後述するポー
トドア・センサ昇降機構50の昇降基部材51の下面側にリ
ニアガイド61に沿って摺動自在に設けられており、その
先端部がセンサ進退機構駆動用モータ63に結合されて、
該モータ63によって水平方向に進退駆動される。このア
ーム部64は、アーム部44と同様に、案内溝52に挿通され
ていて、アーム部44よりも下方にあって、この案内溝52
内を左右・上下に移動する。
下端から直角に延設されたアーム部64が、後述するポー
トドア・センサ昇降機構50の昇降基部材51の下面側にリ
ニアガイド61に沿って摺動自在に設けられており、その
先端部がセンサ進退機構駆動用モータ63に結合されて、
該モータ63によって水平方向に進退駆動される。このア
ーム部64は、アーム部44と同様に、案内溝52に挿通され
ていて、アーム部44よりも下方にあって、この案内溝52
内を左右・上下に移動する。
【００２５】昇降基部材51、アーム部44、アーム部64
は、図２に図示されるように、ポートプレート21の左右
側縁寄りに、それぞれ左右一対設けられていて、左右の
昇降基部材51、51は、左右に長い板状の連結部材55によ
り連結されて一体化されている。この連結部材55の左右
方向中央部には、ネジ軸54と螺合し合うボールナットを
収容したナット収容部56が形成されている。したがっ
て、いま、ネジ軸54がサーボモータ53により回転させら
れると、該ネジ軸54と螺合し合うボールナットを収容し
たナット収容部56を一体に有する連結部材55が昇降動す
る。そして、この連結部材55の昇降動により、左右一対
の昇降基部材51、51、同アーム部44、44、同アーム部6
4、64を介して、ポートドア23とセンサ取付部材62とが
一緒になって昇降動する。
は、図２に図示されるように、ポートプレート21の左右
側縁寄りに、それぞれ左右一対設けられていて、左右の
昇降基部材51、51は、左右に長い板状の連結部材55によ
り連結されて一体化されている。この連結部材55の左右
方向中央部には、ネジ軸54と螺合し合うボールナットを
収容したナット収容部56が形成されている。したがっ
て、いま、ネジ軸54がサーボモータ53により回転させら
れると、該ネジ軸54と螺合し合うボールナットを収容し
たナット収容部56を一体に有する連結部材55が昇降動す
る。そして、この連結部材55の昇降動により、左右一対
の昇降基部材51、51、同アーム部44、44、同アーム部6
4、64を介して、ポートドア23とセンサ取付部材62とが
一緒になって昇降動する。
【００２６】この連結部材55の昇降動は、図２および図
３に図示されるように、該連結部材55の両端に一体に結
合された左右の昇降基部材51、51にそれぞれ形成された
案内凹溝58、58が、ポートプレート21の左右側縁寄りの
外側面に上下方向に指向してそれぞれ固設された案内レ
ール57、57にそれぞれ嵌合して案内されることにより、
ポートプレート21の外側面に沿って案内される。
３に図示されるように、該連結部材55の両端に一体に結
合された左右の昇降基部材51、51にそれぞれ形成された
案内凹溝58、58が、ポートプレート21の左右側縁寄りの
外側面に上下方向に指向してそれぞれ固設された案内レ
ール57、57にそれぞれ嵌合して案内されることにより、
ポートプレート21の外側面に沿って案内される。
【００２７】ポートドア進退機構駆動用モータ43は、図
２において右方の昇降基部材51の上面に固設されてお
り、センサ進退機構駆動用モータ63は、図２において左
方の昇降基部材51の下面に固設されている。このよう
に、ポートドア進退機構駆動用モータ43とセンサ進退機
構駆動用モータ63とを左右に振り分けて設置することに
より、連結部材55、左右一対の昇降基部材51、51、両モ
ータ43、63からなる一体組立体の左右重量バランスが図
られている。しかしながら、これら両モータ43、63は、
左右いずれかの昇降基部材51の上下面にそれぞれ固設さ
れてもよい。
２において右方の昇降基部材51の上面に固設されてお
り、センサ進退機構駆動用モータ63は、図２において左
方の昇降基部材51の下面に固設されている。このよう
に、ポートドア進退機構駆動用モータ43とセンサ進退機
構駆動用モータ63とを左右に振り分けて設置することに
より、連結部材55、左右一対の昇降基部材51、51、両モ
ータ43、63からなる一体組立体の左右重量バランスが図
られている。しかしながら、これら両モータ43、63は、
左右いずれかの昇降基部材51の上下面にそれぞれ固設さ
れてもよい。
【００２８】サーボモータ53、ネジ軸54、ナット収容部
56を一体に有する連結部材55、昇降基部材51、51は、こ
れらが全体としてポートドア・センサ昇降機構50を構成
している。このポートドア・センサ昇降機構50は、図１
および図２に図示されるように、ポートプレート21を挟
んで、ポートドア23とセンサ取付部材62とが配置される
クリーンルーム（第２制御空間200 ）側とは反対の側に
配置されており、同側に設けられた駆動部収容室80内に
収容されている。
56を一体に有する連結部材55、昇降基部材51、51は、こ
れらが全体としてポートドア・センサ昇降機構50を構成
している。このポートドア・センサ昇降機構50は、図１
および図２に図示されるように、ポートプレート21を挟
んで、ポートドア23とセンサ取付部材62とが配置される
クリーンルーム（第２制御空間200 ）側とは反対の側に
配置されており、同側に設けられた駆動部収容室80内に
収容されている。
【００２９】ポートドア進退機構駆動用モータ43とセン
サ進退機構駆動用モータ63とは、いずれも左右の昇降基
部材51、51にそれぞれ固設されているので、これら両モ
ータ43、63も、駆動部収容室80内に収容されている。ま
た、ポートドア進退機構40のアーム部44がリニアガイド
41に沿って摺動する部分、およびセンサ進退機構60のア
ーム部64がリニアガイド61に沿って摺動する部分も、駆
動部収容室80内に収容されている。
サ進退機構駆動用モータ63とは、いずれも左右の昇降基
部材51、51にそれぞれ固設されているので、これら両モ
ータ43、63も、駆動部収容室80内に収容されている。ま
た、ポートドア進退機構40のアーム部44がリニアガイド
41に沿って摺動する部分、およびセンサ進退機構60のア
ーム部64がリニアガイド61に沿って摺動する部分も、駆
動部収容室80内に収容されている。
【００３０】したがって、ポートドア進退機構40の駆動
部（ポートドア進退機構駆動用モータ43、リニアガイド
41からなる）、センサ進退機構60の駆動部（センサ進退
機構駆動用モータ63、リニアガイド61からなる）および
ポートドア・センサ昇降機構の駆動部（サーボモータ5
3、ネジ軸54、ナット収容部56を一体に有する連結部材5
5、左右一対の昇降基部材51、51からなる）は、いずれ
もポートプレート21を挟んで、ポートドア23とセンサ取
付部材62とが配置されるクリーンルーム200 側とは反対
の側に配置され、クリーンルーム200 から隔離されて、
同側に設けられた駆動部収容室80内に収容されているこ
とになる。
部（ポートドア進退機構駆動用モータ43、リニアガイド
41からなる）、センサ進退機構60の駆動部（センサ進退
機構駆動用モータ63、リニアガイド61からなる）および
ポートドア・センサ昇降機構の駆動部（サーボモータ5
3、ネジ軸54、ナット収容部56を一体に有する連結部材5
5、左右一対の昇降基部材51、51からなる）は、いずれ
もポートプレート21を挟んで、ポートドア23とセンサ取
付部材62とが配置されるクリーンルーム200 側とは反対
の側に配置され、クリーンルーム200 から隔離されて、
同側に設けられた駆動部収容室80内に収容されているこ
とになる。
【００３１】駆動部収容室80には、該駆動部収容室80内
の雰囲気を外部に排出するファン81が設けられている。
これにより、ポートドア進退機構40の駆動部、センサ進
退機構60の駆動部およびポートドア・センサ昇降機構の
駆動部から発生する塵埃は外部雰囲気300 中に排出され
るので、クリーンルーム200 を汚染することがない。フ
ァン81は、駆動部収容室80のできるだけ下方部の室壁に
設置されるのがよい。
の雰囲気を外部に排出するファン81が設けられている。
これにより、ポートドア進退機構40の駆動部、センサ進
退機構60の駆動部およびポートドア・センサ昇降機構の
駆動部から発生する塵埃は外部雰囲気300 中に排出され
るので、クリーンルーム200 を汚染することがない。フ
ァン81は、駆動部収容室80のできるだけ下方部の室壁に
設置されるのがよい。
【００３２】次に、本実施形態における駆動部隔離ＦＯ
ＵＰオープナ１の作用について説明する。図１におい
て、ＦＯＵＰドア13は、ＦＯＵＰフレーム11から離脱開
放される直前にあり、ポートドア23とマッピングセンサ
70とは待機状態にある。先ず、ポートドア23がＦＯＵＰ
ドア13を吸着保持すると、ポートドア進退機構40が作動
して、詳細には図示されないが、ポートドア23が水平方
向に後退する。そうすると、センサ取付部材62が、ポー
トドア・センサ昇降機構50の作動により、ポートドア23
とともにマッピングセンサ70がＦＯＵＰ10内に進入する
位置まで下降して、マッピングセンサ70が位置決めされ
る。
ＵＰオープナ１の作用について説明する。図１におい
て、ＦＯＵＰドア13は、ＦＯＵＰフレーム11から離脱開
放される直前にあり、ポートドア23とマッピングセンサ
70とは待機状態にある。先ず、ポートドア23がＦＯＵＰ
ドア13を吸着保持すると、ポートドア進退機構40が作動
して、詳細には図示されないが、ポートドア23が水平方
向に後退する。そうすると、センサ取付部材62が、ポー
トドア・センサ昇降機構50の作動により、ポートドア23
とともにマッピングセンサ70がＦＯＵＰ10内に進入する
位置まで下降して、マッピングセンサ70が位置決めされ
る。
【００３３】次いで、マッピングセンサ70が、センサ進
退機構60の作動により、ポートドア23とは独立に前進し
て、ＦＯＵＰ10内に進入する。次いで、マッピングセン
サ70が、ポートドア・センサ昇降機構50の作動により、
ポートドア23とともに最下段位置まで下降しながら、Ｆ
ＯＵＰ内収納ウェハ14の有無や収納状態（傾き挿入、多
重挿入等）、収納位置（高さ）等を検出する。その検出
結果は、逐次、図示されないウェハ搬送用ロボットに送
信される。
退機構60の作動により、ポートドア23とは独立に前進し
て、ＦＯＵＰ10内に進入する。次いで、マッピングセン
サ70が、ポートドア・センサ昇降機構50の作動により、
ポートドア23とともに最下段位置まで下降しながら、Ｆ
ＯＵＰ内収納ウェハ14の有無や収納状態（傾き挿入、多
重挿入等）、収納位置（高さ）等を検出する。その検出
結果は、逐次、図示されないウェハ搬送用ロボットに送
信される。
【００３４】マッピングセンサ70が最下段位置まで下降
すると、次いで、マッピングセンサ70が、センサ進退機
構60の作動により、ポートドア23とは独立にＦＯＵＰ10
内から後退する。最後に、ポートドア・センサ昇降機構
50の作動により、ポートドア23とマッピングセンサ70と
が一緒になって下降退避して、ＦＯＵＰドア13がフロン
トエンド（第２制御空間200 ）に格納される。
すると、次いで、マッピングセンサ70が、センサ進退機
構60の作動により、ポートドア23とは独立にＦＯＵＰ10
内から後退する。最後に、ポートドア・センサ昇降機構
50の作動により、ポートドア23とマッピングセンサ70と
が一緒になって下降退避して、ＦＯＵＰドア13がフロン
トエンド（第２制御空間200 ）に格納される。
【００３５】本実施形態は、前記のように構成されてお
り、前記のように作用するので、次のような効果を奏す
ることができる。駆動部隔離ＦＯＵＰオープナ１におい
て、ポートドア進退機構40の駆動部とセンサ進退機構60
の駆動部とポートドア・センサ昇降機構50の駆動部と
が、ポートプレート21を挟んで、ポートドア23とセンサ
取付部材62とが配置されるクリーンルーム（第２制御空
間200 ）側とは反対の側に配置されて、クリーンルーム
200から隔離されているので、これらの駆動部において
発生する塵埃は、ポートプレート21に遮られて、クリー
ンルーム200 内に侵入することがない。例えば、駆動部
のモータ（ポートドア進退機構駆動用モータ43、センサ
進退機構駆動用モータ63、ポートドア・センサ昇降機構
駆動用サーボモータ53）を駆動源とする可動部におい
て、摩擦により発生する塵埃がクリーンルーム200 内に
飛散することがなくなり、また、可動部に塗布される摺
動材や潤滑材の気化による有機物がクリーンルーム200
内に飛散することがなくなる。また、駆動部の保守、点
検、修理等の作業をする場合においても、作業者がクリ
ーンルーム200 に入る必要がないので、クリーンルーム
200 内において作業用スペースを確保するために機器の
移動や取り外しをする必要がなく、これらの作業に伴う
塵埃の発生がクリーンルーム200 を汚染することがな
い。これらにより、クリーンルーム200 を高いクリーン
度に維持することができる。
り、前記のように作用するので、次のような効果を奏す
ることができる。駆動部隔離ＦＯＵＰオープナ１におい
て、ポートドア進退機構40の駆動部とセンサ進退機構60
の駆動部とポートドア・センサ昇降機構50の駆動部と
が、ポートプレート21を挟んで、ポートドア23とセンサ
取付部材62とが配置されるクリーンルーム（第２制御空
間200 ）側とは反対の側に配置されて、クリーンルーム
200から隔離されているので、これらの駆動部において
発生する塵埃は、ポートプレート21に遮られて、クリー
ンルーム200 内に侵入することがない。例えば、駆動部
のモータ（ポートドア進退機構駆動用モータ43、センサ
進退機構駆動用モータ63、ポートドア・センサ昇降機構
駆動用サーボモータ53）を駆動源とする可動部におい
て、摩擦により発生する塵埃がクリーンルーム200 内に
飛散することがなくなり、また、可動部に塗布される摺
動材や潤滑材の気化による有機物がクリーンルーム200
内に飛散することがなくなる。また、駆動部の保守、点
検、修理等の作業をする場合においても、作業者がクリ
ーンルーム200 に入る必要がないので、クリーンルーム
200 内において作業用スペースを確保するために機器の
移動や取り外しをする必要がなく、これらの作業に伴う
塵埃の発生がクリーンルーム200 を汚染することがな
い。これらにより、クリーンルーム200 を高いクリーン
度に維持することができる。
【００３６】また、ポートドア23はクリーンルーム200
側に配置されているので、ＦＯＵＰ10とポートプレート
21との間の距離をなくするか短くすることができ、この
間の間隙は微小となるので、クリーンルーム200 の外側
（外部雰囲気300 ）の塵埃がＦＯＵＰ10内（第１制御空
間100 ）やクリーンルーム200 内に侵入したり、ＦＯＵ
Ｐドア13の内側やポートドア23の外側に付着したりする
ことがなくなり、また、クリーン度の高いクリーンエア
が大量にクリーンルーム200 の外側に流出したりするこ
ともなくなる。これらにより、クリーンルーム200 をさ
らに高いクリーン度に維持することができる。
側に配置されているので、ＦＯＵＰ10とポートプレート
21との間の距離をなくするか短くすることができ、この
間の間隙は微小となるので、クリーンルーム200 の外側
（外部雰囲気300 ）の塵埃がＦＯＵＰ10内（第１制御空
間100 ）やクリーンルーム200 内に侵入したり、ＦＯＵ
Ｐドア13の内側やポートドア23の外側に付着したりする
ことがなくなり、また、クリーン度の高いクリーンエア
が大量にクリーンルーム200 の外側に流出したりするこ
ともなくなる。これらにより、クリーンルーム200 をさ
らに高いクリーン度に維持することができる。
【００３７】さらに、ポートプレート21には、該ポート
プレート21が有する開口部22の下方部に、細長い長孔か
らなる案内溝52が設けられ、ポートドア進退機構40の駆
動部とセンサ進退機構60の駆動部とポートドア・センサ
昇降機構50の駆動部とが、該案内溝52を介して、ポート
ドア23とセンサ取付部材62とをそれぞれ水平もしくは垂
直に移動させるようにされているので、クリーンルーム
200 の外側の塵埃が、この案内溝52を通ってクリーンル
ーム200 内に侵入したり、逆にクリーン度の高いクリー
ンエアが、この案内溝52を通って大量にクリーンルーム
200 の外側に流出したりすることが可及的抑制され、ク
リーンルーム200 を高いクリーン度に維持することに資
することができる。
プレート21が有する開口部22の下方部に、細長い長孔か
らなる案内溝52が設けられ、ポートドア進退機構40の駆
動部とセンサ進退機構60の駆動部とポートドア・センサ
昇降機構50の駆動部とが、該案内溝52を介して、ポート
ドア23とセンサ取付部材62とをそれぞれ水平もしくは垂
直に移動させるようにされているので、クリーンルーム
200 の外側の塵埃が、この案内溝52を通ってクリーンル
ーム200 内に侵入したり、逆にクリーン度の高いクリー
ンエアが、この案内溝52を通って大量にクリーンルーム
200 の外側に流出したりすることが可及的抑制され、ク
リーンルーム200 を高いクリーン度に維持することに資
することができる。
【００３８】また、ポートドア23およびセンサ取付部材
62の各アーム部44、64は、この案内溝52を左右・上下に
移動することになるが、この移動により塵埃が発生して
も、クリーンルーム200 内の気圧をクリーンルーム200
の外側の気圧よりも高く（陽圧に）維持することによ
り、この塵埃を案内溝52からクリーンルーム200 の外側
に排出することができ、この面からも、クリーンルーム
200 を高いクリーン度に維持することに資することがで
きる。
62の各アーム部44、64は、この案内溝52を左右・上下に
移動することになるが、この移動により塵埃が発生して
も、クリーンルーム200 内の気圧をクリーンルーム200
の外側の気圧よりも高く（陽圧に）維持することによ
り、この塵埃を案内溝52からクリーンルーム200 の外側
に排出することができ、この面からも、クリーンルーム
200 を高いクリーン度に維持することに資することがで
きる。
【００３９】しかも、この案内溝52は、左右に一対設け
られ、ポートドア23とセンサ取付部材62とを移動させる
ために共通に使用されているので、案内溝52の数を可能
な限り減らすことができて、前記のような効果をさらに
高めることができるとともに、駆動部収容室80には、該
駆動部収容室80内の雰囲気を外部に排出するファン81が
設けられているので、これらの駆動部において発生する
塵埃が案内溝52を通ってクリーンルーム200 内に侵入す
るのを完全に防止することができ、クリーンルーム200
をさらに高いクリーン度に維持することができる。
られ、ポートドア23とセンサ取付部材62とを移動させる
ために共通に使用されているので、案内溝52の数を可能
な限り減らすことができて、前記のような効果をさらに
高めることができるとともに、駆動部収容室80には、該
駆動部収容室80内の雰囲気を外部に排出するファン81が
設けられているので、これらの駆動部において発生する
塵埃が案内溝52を通ってクリーンルーム200 内に侵入す
るのを完全に防止することができ、クリーンルーム200
をさらに高いクリーン度に維持することができる。
【００４０】また、ＦＯＵＰ10とポートプレート21との
間の間隙が微小となることにより、ドックプレート31と
ドック移動機構30の構成部品との各加工誤差、組立誤
差、摩耗等も低減されて、ＦＯＵＰ10の位置決め精度が
向上するので、マッピングセンサ70の検出精度を高く維
持することができて、ウェハ14の搬送を高い信頼度で行
なうことができる。
間の間隙が微小となることにより、ドックプレート31と
ドック移動機構30の構成部品との各加工誤差、組立誤
差、摩耗等も低減されて、ＦＯＵＰ10の位置決め精度が
向上するので、マッピングセンサ70の検出精度を高く維
持することができて、ウェハ14の搬送を高い信頼度で行
なうことができる。
【００４１】さらにまた、駆動部の保守、点検、修理等
の作業をする場合において、作業者がクリーンルーム20
0 に入る必要がないので、作業者の体に付着した塵埃を
除去するための設備の必要がなくなり、設備費用の低減
を図ることができる。
の作業をする場合において、作業者がクリーンルーム20
0 に入る必要がないので、作業者の体に付着した塵埃を
除去するための設備の必要がなくなり、設備費用の低減
を図ることができる。
【００４２】本願の発明は、必ずしも前記のような実施
形態に限定されるものではなく、本願の発明の要旨を変
更しない範囲において、種々の変更が可能である。例え
ば、連結部材55と左右一対の昇降基部材51、51とを連結
するのに、これらの位置関係を上下にずらして相互に連
結して、連結部材55の左右端および左右の昇降基部材5
1、51のそれぞれに案内凹溝58を形成するようにすれ
ば、ポートドア・センサ昇降機構50の昇降動の案内をさ
らに確実に行なうことができる。また、駆動部の駆動源
として、モータ43、53、63に代えて、パワーシリンダが
使用されてもよい。
形態に限定されるものではなく、本願の発明の要旨を変
更しない範囲において、種々の変更が可能である。例え
ば、連結部材55と左右一対の昇降基部材51、51とを連結
するのに、これらの位置関係を上下にずらして相互に連
結して、連結部材55の左右端および左右の昇降基部材5
1、51のそれぞれに案内凹溝58を形成するようにすれ
ば、ポートドア・センサ昇降機構50の昇降動の案内をさ
らに確実に行なうことができる。また、駆動部の駆動源
として、モータ43、53、63に代えて、パワーシリンダが
使用されてもよい。
【図１】本願の請求項１ないし請求項４に記載された発
明の一実施形態における駆動部隔離ＦＯＵＰオープナの
ＦＯＵＰドア開放前の概略縦断面図である。
明の一実施形態における駆動部隔離ＦＯＵＰオープナの
ＦＯＵＰドア開放前の概略縦断面図である。
【図２】図１のＦＯＵＰオープナの駆動部収容室壁を除
去して見た概略背面図である。
去して見た概略背面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線矢視断面図である。
【図４】図１のＦＯＵＰオープナのポートドア側から見
た部分斜視図である。
た部分斜視図である。
【図５】従来例を示す図である。
【図６】他の従来例を示す図である。
１…駆動部隔離ＦＯＵＰオープナ、10…ＦＯＵＰ、11…
ＦＯＵＰフレーム、12…開口部、13…ＦＯＵＰドア、14
…半導体ウェハ、21…ポートプレート、22…開口部、23
…ポートドア、30…ドック移動機構、31…ドックプレー
ト、40…ポートドア進退機構、41…リニアガイド、42…
下方延設部、43…ポートドア進退機構駆動用モータ、44
…アーム部、50…ポートドア・センサ昇降機構、51…昇
降基部材、52…案内溝、53…サーボモータ、54…ネジ
軸、55…連結部材、56…ナット収容部、57…案内レー
ル、58…案内凹溝、60…センサ進退機構、61…リニアガ
イド、62…センサ取付部材、63…センサ進退機構駆動用
モータ、64…アーム部、70…マッピングセンサ、80…駆
動部収容室、81…ファン、100 …第１制御空間、200 …
第２制御空間（クリーンルーム）、300 …外部雰囲気
（第３空間）。
ＦＯＵＰフレーム、12…開口部、13…ＦＯＵＰドア、14
…半導体ウェハ、21…ポートプレート、22…開口部、23
…ポートドア、30…ドック移動機構、31…ドックプレー
ト、40…ポートドア進退機構、41…リニアガイド、42…
下方延設部、43…ポートドア進退機構駆動用モータ、44
…アーム部、50…ポートドア・センサ昇降機構、51…昇
降基部材、52…案内溝、53…サーボモータ、54…ネジ
軸、55…連結部材、56…ナット収容部、57…案内レー
ル、58…案内凹溝、60…センサ進退機構、61…リニアガ
イド、62…センサ取付部材、63…センサ進退機構駆動用
モータ、64…アーム部、70…マッピングセンサ、80…駆
動部収容室、81…ファン、100 …第１制御空間、200 …
第２制御空間（クリーンルーム）、300 …外部雰囲気
（第３空間）。
Claims (4)
- 【請求項１】 ＦＯＵＰオープナが、少なくとも、 前面開口部がＦＯＵＰドアにより閉塞され、内部に半導
体ウェハを所定の間隔で、水平に、複数枚収納してなる
ＦＯＵＰを載置して位置決めするドックプレートと、 前記ドックプレートを前記ＦＯＵＰドアが着脱される位
置まで移動させるドック移動機構と、 前記ＦＯＵＰドアを着脱して保持する着脱機構と保持機
構とを有するポートドアと、 前記ポートドアにより閉塞される開口部を有するポート
プレートと前記ポートドアを水平に移動させるポートド
ア進退機構と、 前記ＦＯＵＰ内収納ウェハの有無や収納状態、収納位置
等を検出するマッピングセンサを上部に取り付けたセン
サ取付部材を水平に移動させるためのセンサ進退機構
と、 前記ＦＯＵＰドアを格納するために、前記ポートドアが
前記ＦＯＵＰドアを保持した状態で、前記ポートドアと
前記マッピングセンサとを垂直に移動させるためのポー
トドア・センサ昇降機構とを備えてなり、 前記ポートドア進退機構の駆動部と前記センサ進退機構
の駆動部と前記ポートドア・センサ昇降機構の駆動部と
が、前記ポートプレートを挟んで、前記ポートドアと前
記センサ取付部材とが配置されるクリーンルーム側とは
反対の側に配置されてなることを特徴とする駆動部隔離
ＦＯＵＰオープナ。 - 【請求項２】 前記ポートプレートには、前記ポートプ
レートが有する前記開口部の下方部に、細長い長孔から
なる案内溝が設けられ、 前記ポートドア進退機構の駆動部と前記センサ進退機構
の駆動部と前記ポートドア・センサ昇降機構の駆動部と
が、前記案内溝を介して、前記ポートドアと前記センサ
取付部材とをそれぞれ水平もしくは垂直に移動させるよ
うにされたことを特徴とする請求項１に記載の駆動部隔
離ＦＯＵＰオープナ。 - 【請求項３】 前記案内溝は、前記ポートドアと前記セ
ンサ取付部材とを移動させるために共通に使用されるこ
とを特徴とする請求項２に記載の駆動部隔離ＦＯＵＰオ
ープナ。 - 【請求項４】 前記ポートドア進退機構の駆動部と前記
センサ進退機構の駆動部と前記ポートドア・センサ昇降
機構の駆動部とが配置される駆動部収容室が設けられ、 前記駆動部収容室に、前記駆動部収容室内の雰囲気を外
部に排出する手段が設けられたことを特徴とする請求項
１ないし請求項３のいずれかに記載の駆動部隔離ＦＯＵ
Ｐオープナ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000364239A JP3699348B2 (ja) | 2000-11-30 | 2000-11-30 | 駆動部隔離ｆｏｕｐオープナ |
| US09/977,394 US6824344B2 (en) | 2000-11-30 | 2001-10-16 | Drive-section-isolated FOUP opener |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000364239A JP3699348B2 (ja) | 2000-11-30 | 2000-11-30 | 駆動部隔離ｆｏｕｐオープナ |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2005064626A Division JP4237714B2 (ja) | 2005-03-08 | 2005-03-08 | 駆動部隔離ｆｏｕｐオープナ |
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|---|---|
| JP2002170860A true JP2002170860A (ja) | 2002-06-14 |
| JP2002170860A5 JP2002170860A5 (ja) | 2005-07-28 |
| JP3699348B2 JP3699348B2 (ja) | 2005-09-28 |
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ID=18835220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000364239A Expired - Fee Related JP3699348B2 (ja) | 2000-11-30 | 2000-11-30 | 駆動部隔離ｆｏｕｐオープナ |
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| KR100468437B1 (ko) * | 2002-08-23 | 2005-01-27 | 코리아테크노(주) | 후프 오프너의 후프도어 개폐장치 |
| US7651311B2 (en) | 2006-08-24 | 2010-01-26 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Substrate container opener and opener-side door drive mechanism thereof |
| KR101404621B1 (ko) | 2012-11-05 | 2014-06-09 | 우범제 | 밀폐형 도어장치와 흄 제거장치를 갖춘 사이드 스토레이지 |
| WO2020170671A1 (ja) * | 2019-02-22 | 2020-08-27 | 村田機械株式会社 | 蓋開閉装置 |
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| US8348583B2 (en) * | 1999-10-19 | 2013-01-08 | Rorze Corporation | Container and loader for substrate |
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| DE10250353B4 (de) * | 2002-10-25 | 2008-04-30 | Brooks Automation (Germany) Gmbh | Einrichtung zur Detektion von übereinander mit einem bestimmten Abstand angeordneten Substraten |
| US7614840B2 (en) * | 2002-12-30 | 2009-11-10 | Tdk Corporation | Wafer processing apparatus having dust proof function |
| US7255524B2 (en) * | 2003-04-14 | 2007-08-14 | Brooks Automation, Inc. | Substrate cassette mapper |
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| JP2013143425A (ja) * | 2012-01-10 | 2013-07-22 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理システム及び基板位置矯正方法 |
| AT13194U1 (de) * | 2012-03-21 | 2013-08-15 | Vat Holding Ag | Ventil |
| JP6260109B2 (ja) * | 2013-05-16 | 2018-01-17 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | ロードポート装置 |
| WO2019194327A1 (ko) * | 2018-04-02 | 2019-10-10 | 우범제 | 웨이퍼 수납용기 |
| CN110931406B (zh) * | 2019-11-18 | 2022-10-21 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 升降门及槽式清洗机 |
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| JP3380147B2 (ja) | 1997-11-13 | 2003-02-24 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
| WO1999028952A2 (en) * | 1997-11-28 | 1999-06-10 | Fortrend Engineering Corporation | Wafer-mapping load port interface |
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-
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- 2000-11-30 JP JP2000364239A patent/JP3699348B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-10-16 US US09/977,394 patent/US6824344B2/en not_active Expired - Lifetime
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| US11961752B2 (en) | 2019-02-22 | 2024-04-16 | Murata Machinery, Ltd. | Lid opening-and-closing device |
Also Published As
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