JP2004043015A - 密閉蓋のパッキン外れ防止装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】密閉蓋の開閉時に発生するシール用パッキンの外れを防止し、密閉蓋の自動開閉が円滑に行われ、自動搬送装置と併せてFOSB(Front Opening Shipping Box)からウエーハの取り出し、収納が確実に行われる密閉蓋のパッキン外れ防止装置を提供する。
【解決手段】収納容器2の密閉蓋3が開いた位置において、パッキン押さえ治具7を駆動シリンダ8を用いて、上下駆動させるか、または、密閉蓋3自体が上下駆動する場合、パッキン押さえ治具7を所定の位置に固定設置し、密閉蓋3の上下駆動により外れかけたパッキンを押さえつけることによりパッキンを元の位置にはめ込み、パッキン外れを防止する。
【選択図】図1
【解決手段】収納容器2の密閉蓋3が開いた位置において、パッキン押さえ治具7を駆動シリンダ8を用いて、上下駆動させるか、または、密閉蓋3自体が上下駆動する場合、パッキン押さえ治具7を所定の位置に固定設置し、密閉蓋3の上下駆動により外れかけたパッキンを押さえつけることによりパッキンを元の位置にはめ込み、パッキン外れを防止する。
【選択図】図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄板基板(以下、「ウエーハ」という。)を密閉収納するウエーハ収納容器FOSB(Front Opening Shipping Box)の密閉蓋を自動開閉する際の密閉用パッキン外れを防止する装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体装置の製造にあたり、ウエーハは、ますます大口径化し、直径300mmウエーハが通常ロットで流されるようになってきている。また高集積化による微細化も進むにつれ、さらに超クリーン搬送が要求されるようになった。それとともにウエーハ収納容器は、ますます大型化し、且つ収納容器内のウエーハのクリーン度を維持するために密閉構造となっている。ウエーハ搬送における自動化の推進により、これに適合するウエーハ収納容器の密閉蓋を開閉する自動開閉装置(以下、「オープナー」という。)が要求されており、ウエーハの自動搬送装置と組み合わさって一連のウエーハ処理プロセスが行なわれている。
【0003】
ウエーハ収納容器としてウエーハメーカーから半導体デバイスメーカーにウエーハを納入するための密閉構造の収納容器としてFOSBがあり,各ウエーハメーカーが出荷用FOSBを使用している。FOSBとして例えば、図3に示す。FOSB本体2とフック11を有する密閉蓋3からなり、FOSB本体2と密閉蓋3の密閉を確保するため密閉蓋3にはシール用パッキンが取り付けられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のFOSBのオープナーでは、密閉蓋を開閉するときに、特に、密閉蓋を開くときに、ウエーハ収納容器を密閉するためのシール用パッキンが密閉蓋から外れることがあり、実用に際して問題が多く、自動化に支障をきたしていた。
【0005】
本発明は、密閉蓋の開閉時に発生する密閉蓋からのシール用パッキンの外れを防止し、密閉蓋の自動開閉が円滑に行われ、自動搬送装置と併せてFOSBからウエーハの取り出し、FOSBへウエーハの収納が確実に行われるように密閉蓋のシール用パッキン外れ防止を行うことを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記問題を解決する手段として本発明は、密閉構造を有する収納容器の密閉蓋が開いた後、パッキン押さえ治具を上下駆動させることにより、密閉蓋から外れかけたシール用パッキンをパッキン押さえ治具により押さえつけ、かつ密閉蓋の元の位置にはめ込み、パッキンが密閉蓋から外れるのを防止することを特徴とする。
また、パッキン押さえ治具を上下駆動させるために駆動シリンダーを用いて、パッキン外れ防止を実現する。
【0007】
密閉構造を有する収納容器の密閉蓋の開閉動作において、密閉蓋自体が上下駆動する場合、パッキン押さえ治具を所定の位置に固定設置し、密閉蓋の上下駆動により、密閉蓋から外れかけたシール用パッキンをパッキン押さえ治具により押さえつけ、かつ密閉蓋の元の位置にはめ込み、パッキンが密閉蓋から外れるのを防止することを特徴とする。
また、パッキン押さえ治具としてパッキンを密閉蓋の元の状態にはめ込みし易くするため、パッキンの押さえこむ先端部をテーパー形状とする。
【0008】
このように、密閉蓋を開くとき、密閉蓋のシール用パッキンが外れかけても、パッキンの外れかけた直後に矯正し、パッキンを元の状態に戻すため、自動化において次工程に移る際、何ら支障なく円滑にウエハー処理プロセスを続行することができる。
【0009】
【発明の実施の形態】
FOSBの密閉蓋3を開閉するためオプナー1を用いて自動開閉を行うのであるが、密閉蓋3を開けるとき密閉のために必要なシール材のパッキン10が密閉蓋3の溝から外れることがある。これはパッキン10がFOSB本体2との密着力が強く、パッキン10が密閉蓋の溝から引き剥がされることによる。そのため、オプナー1により自動的にパッキンの外れることがなく密閉蓋を開閉することが困難であり、従って、オプナーの密閉蓋の開閉の自動化も困難であった。
【0010】
そこで、これらの問題を解決する本発明の実施の形態を図面を参照しながら詳細に説明する。
図1(a),(b),(c),(d)はFOSBの密閉蓋を開く一連の工程を示す図である。FOSBの密閉蓋3を開閉し、FOSB本体2内に収納されたウエーハを取り出し、ウエーハ処理装置に投入、また処理済のウエーハをFOSB本体2内に戻し、収納する一連のハンドリング搬送プロセスを行うためにFOSBの密閉蓋の開閉を自動的に行うオプナー1(自動密閉蓋開閉装置)を用いる。
【0011】
図1(a)は、FOSB本体2に密閉蓋3が閉じられてオプナー支持台5上のスライドテーブル4載置されている状態を示す。
図1(b)は、スライドテーブル4がオープナ1に向かって移動し、FOSB本体2が、密閉蓋3の開かれる位置に到達し、その位置に待機している状態を示す。またこのプロセスのクリーン度を維持するためこれら一連の工程はクリーンゾーンで行われる。
【0012】
そこで、この位置は、クリーンゾーン内にあり、密閉蓋3を開き、FOSB本体2内のウエハーを取り出してもウエハー自体は外気の汚染から保護される。
クリーンゾーンとは、クリーン度を必要とする対象物が存在する周囲に必要なクリーン度をクリーンベンチ等により作り出したクリーン領域をいう。ウエハーが収納容器およびウエーハ処理装置間の大気に晒される領域内(特に、密閉蓋が開き、収納容器の内部およびウエハーが外気に晒される部分)にこのクリーンゾーンを設ける。
数種類のFOSBに対応するFOSB密閉蓋の開閉機構を有し、FOSB内から取り出したウエーハをウエーハ処理装置に投入、取り出す機能を有するものを前記クリーンユニット装置内に組み込み、FOSB内のウエーハのクリーン度を維持しつつウエーハ処理装置に投入、取り出すことができる。
【0013】
図1(c)は、FOSB本体2の密閉蓋3の開かれる位置において、FOSB本体2から密閉蓋3のフック11が外され密閉蓋3の開かれた状態を示す。
図1(d)は、駆動シリンダー8が働き、上部パッキン押さえ治具7が下降し、密閉蓋3の溝から外れかかったパッキン10を押さえつけ元の溝にはめ込むことにより、パッキン10の外れ防止を行う。駆動シリンダーとしてエアーシリンダー、液圧シリンダーまたは電動シリンダーを用いる。
【0014】
また、密閉蓋3は下降し、下部に固定設置された下部パッキン押さえ治具9により密閉蓋3の下降動作により密閉蓋3の下側の外れかかったパッキン10を元の溝にはめ込む。この場合であっても下部パッキン外れ防止治具9を駆動シリンダーを用いて、パッキン10を元の溝にはめ込んでもよい。
【0015】
説明では、上部パッキン押さえ治具7の下降する駆動源として駆動シリンダーを用いた例を示したが、モーターによる駆動でも本発明の目的を達成することができる。
また、上部および下部のパッキン押さえ治具は、その厚さは、5mm〜10mm程度で、樹脂またはステンレスで作られ、図3に示すように、パッキンに触れる先端部はパッキンをよりはめ込みし易くするためテーパー状とする。
【0016】
以上のプロセスにより、密閉蓋3の開くときに生ずるパッキンを元の溝にはめ込み直し、パッキン外れを防止し、自動的にウエハーをFOSB本体2から取り出し、また投入をすることができる。
【0017】
【発明の効果】
パッキン押さえ治具を上下駆動させることにより密閉蓋から外れかけたパッキンを押さえつけ元の位置にはめ込むことにより、パッキン外れを防止し、密閉度を維持したまま自動で密閉蓋の開閉及びFOSB本体内へのウエハーの取り出し、投入が可能となる。
【0018】
収納容器の密閉蓋の開閉動作において、密閉蓋自体が上下駆動する場合において、パッキン押さえ治具を所定の位置に固定設置し、密閉蓋自体が上下動作によりパッキンを押さえつけ密閉蓋から外れかけたパッキンを元の位置にはめ込むことにより、パッキン外れを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるFOSBの密閉蓋を開く工程を示す図。
【図2】本発明によるパッキン外れ防止装置を示す図。
【図3】パッキン押さえ治具の形状を示す図。
【図4】FOSBの外観を示す斜視図。
【符号の説明】
1 オプナー
2 FOSB本体
3 密閉蓋
4 スライドテーブル
5 オプナー支持台
6 キャリアバッファフレーム
7 上部パッキン押さえ治具
8 駆動シリンダー
9 下部パッキン押さえ治具
10 パッキン
11 フック
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄板基板(以下、「ウエーハ」という。)を密閉収納するウエーハ収納容器FOSB(Front Opening Shipping Box)の密閉蓋を自動開閉する際の密閉用パッキン外れを防止する装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体装置の製造にあたり、ウエーハは、ますます大口径化し、直径300mmウエーハが通常ロットで流されるようになってきている。また高集積化による微細化も進むにつれ、さらに超クリーン搬送が要求されるようになった。それとともにウエーハ収納容器は、ますます大型化し、且つ収納容器内のウエーハのクリーン度を維持するために密閉構造となっている。ウエーハ搬送における自動化の推進により、これに適合するウエーハ収納容器の密閉蓋を開閉する自動開閉装置(以下、「オープナー」という。)が要求されており、ウエーハの自動搬送装置と組み合わさって一連のウエーハ処理プロセスが行なわれている。
【0003】
ウエーハ収納容器としてウエーハメーカーから半導体デバイスメーカーにウエーハを納入するための密閉構造の収納容器としてFOSBがあり,各ウエーハメーカーが出荷用FOSBを使用している。FOSBとして例えば、図3に示す。FOSB本体2とフック11を有する密閉蓋3からなり、FOSB本体2と密閉蓋3の密閉を確保するため密閉蓋3にはシール用パッキンが取り付けられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のFOSBのオープナーでは、密閉蓋を開閉するときに、特に、密閉蓋を開くときに、ウエーハ収納容器を密閉するためのシール用パッキンが密閉蓋から外れることがあり、実用に際して問題が多く、自動化に支障をきたしていた。
【0005】
本発明は、密閉蓋の開閉時に発生する密閉蓋からのシール用パッキンの外れを防止し、密閉蓋の自動開閉が円滑に行われ、自動搬送装置と併せてFOSBからウエーハの取り出し、FOSBへウエーハの収納が確実に行われるように密閉蓋のシール用パッキン外れ防止を行うことを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記問題を解決する手段として本発明は、密閉構造を有する収納容器の密閉蓋が開いた後、パッキン押さえ治具を上下駆動させることにより、密閉蓋から外れかけたシール用パッキンをパッキン押さえ治具により押さえつけ、かつ密閉蓋の元の位置にはめ込み、パッキンが密閉蓋から外れるのを防止することを特徴とする。
また、パッキン押さえ治具を上下駆動させるために駆動シリンダーを用いて、パッキン外れ防止を実現する。
【0007】
密閉構造を有する収納容器の密閉蓋の開閉動作において、密閉蓋自体が上下駆動する場合、パッキン押さえ治具を所定の位置に固定設置し、密閉蓋の上下駆動により、密閉蓋から外れかけたシール用パッキンをパッキン押さえ治具により押さえつけ、かつ密閉蓋の元の位置にはめ込み、パッキンが密閉蓋から外れるのを防止することを特徴とする。
また、パッキン押さえ治具としてパッキンを密閉蓋の元の状態にはめ込みし易くするため、パッキンの押さえこむ先端部をテーパー形状とする。
【0008】
このように、密閉蓋を開くとき、密閉蓋のシール用パッキンが外れかけても、パッキンの外れかけた直後に矯正し、パッキンを元の状態に戻すため、自動化において次工程に移る際、何ら支障なく円滑にウエハー処理プロセスを続行することができる。
【0009】
【発明の実施の形態】
FOSBの密閉蓋3を開閉するためオプナー1を用いて自動開閉を行うのであるが、密閉蓋3を開けるとき密閉のために必要なシール材のパッキン10が密閉蓋3の溝から外れることがある。これはパッキン10がFOSB本体2との密着力が強く、パッキン10が密閉蓋の溝から引き剥がされることによる。そのため、オプナー1により自動的にパッキンの外れることがなく密閉蓋を開閉することが困難であり、従って、オプナーの密閉蓋の開閉の自動化も困難であった。
【0010】
そこで、これらの問題を解決する本発明の実施の形態を図面を参照しながら詳細に説明する。
図1(a),(b),(c),(d)はFOSBの密閉蓋を開く一連の工程を示す図である。FOSBの密閉蓋3を開閉し、FOSB本体2内に収納されたウエーハを取り出し、ウエーハ処理装置に投入、また処理済のウエーハをFOSB本体2内に戻し、収納する一連のハンドリング搬送プロセスを行うためにFOSBの密閉蓋の開閉を自動的に行うオプナー1(自動密閉蓋開閉装置)を用いる。
【0011】
図1(a)は、FOSB本体2に密閉蓋3が閉じられてオプナー支持台5上のスライドテーブル4載置されている状態を示す。
図1(b)は、スライドテーブル4がオープナ1に向かって移動し、FOSB本体2が、密閉蓋3の開かれる位置に到達し、その位置に待機している状態を示す。またこのプロセスのクリーン度を維持するためこれら一連の工程はクリーンゾーンで行われる。
【0012】
そこで、この位置は、クリーンゾーン内にあり、密閉蓋3を開き、FOSB本体2内のウエハーを取り出してもウエハー自体は外気の汚染から保護される。
クリーンゾーンとは、クリーン度を必要とする対象物が存在する周囲に必要なクリーン度をクリーンベンチ等により作り出したクリーン領域をいう。ウエハーが収納容器およびウエーハ処理装置間の大気に晒される領域内(特に、密閉蓋が開き、収納容器の内部およびウエハーが外気に晒される部分)にこのクリーンゾーンを設ける。
数種類のFOSBに対応するFOSB密閉蓋の開閉機構を有し、FOSB内から取り出したウエーハをウエーハ処理装置に投入、取り出す機能を有するものを前記クリーンユニット装置内に組み込み、FOSB内のウエーハのクリーン度を維持しつつウエーハ処理装置に投入、取り出すことができる。
【0013】
図1(c)は、FOSB本体2の密閉蓋3の開かれる位置において、FOSB本体2から密閉蓋3のフック11が外され密閉蓋3の開かれた状態を示す。
図1(d)は、駆動シリンダー8が働き、上部パッキン押さえ治具7が下降し、密閉蓋3の溝から外れかかったパッキン10を押さえつけ元の溝にはめ込むことにより、パッキン10の外れ防止を行う。駆動シリンダーとしてエアーシリンダー、液圧シリンダーまたは電動シリンダーを用いる。
【0014】
また、密閉蓋3は下降し、下部に固定設置された下部パッキン押さえ治具9により密閉蓋3の下降動作により密閉蓋3の下側の外れかかったパッキン10を元の溝にはめ込む。この場合であっても下部パッキン外れ防止治具9を駆動シリンダーを用いて、パッキン10を元の溝にはめ込んでもよい。
【0015】
説明では、上部パッキン押さえ治具7の下降する駆動源として駆動シリンダーを用いた例を示したが、モーターによる駆動でも本発明の目的を達成することができる。
また、上部および下部のパッキン押さえ治具は、その厚さは、5mm〜10mm程度で、樹脂またはステンレスで作られ、図3に示すように、パッキンに触れる先端部はパッキンをよりはめ込みし易くするためテーパー状とする。
【0016】
以上のプロセスにより、密閉蓋3の開くときに生ずるパッキンを元の溝にはめ込み直し、パッキン外れを防止し、自動的にウエハーをFOSB本体2から取り出し、また投入をすることができる。
【0017】
【発明の効果】
パッキン押さえ治具を上下駆動させることにより密閉蓋から外れかけたパッキンを押さえつけ元の位置にはめ込むことにより、パッキン外れを防止し、密閉度を維持したまま自動で密閉蓋の開閉及びFOSB本体内へのウエハーの取り出し、投入が可能となる。
【0018】
収納容器の密閉蓋の開閉動作において、密閉蓋自体が上下駆動する場合において、パッキン押さえ治具を所定の位置に固定設置し、密閉蓋自体が上下動作によりパッキンを押さえつけ密閉蓋から外れかけたパッキンを元の位置にはめ込むことにより、パッキン外れを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるFOSBの密閉蓋を開く工程を示す図。
【図2】本発明によるパッキン外れ防止装置を示す図。
【図3】パッキン押さえ治具の形状を示す図。
【図4】FOSBの外観を示す斜視図。
【符号の説明】
1 オプナー
2 FOSB本体
3 密閉蓋
4 スライドテーブル
5 オプナー支持台
6 キャリアバッファフレーム
7 上部パッキン押さえ治具
8 駆動シリンダー
9 下部パッキン押さえ治具
10 パッキン
11 フック
Claims (4)
- 密閉構造を有する収納容器の密閉蓋が開いた後、パッキン押さえ治具を上下駆動させることにより、密閉蓋から外れかけたシール用パッキンを押さえつけ、かつ密閉蓋の元の位置にはめ込み、パッキンが密閉蓋から外れるのを防止することを特徴とする密閉蓋のパッキン外れ防止装置。
- パッキン押さえ治具を上下駆動させるものとして駆動シリンダーを用いた請求項1記載の密閉蓋のパッキン外れ防止装置。
- 密閉構造を有する収納容器の密閉蓋の開閉動作において、密閉蓋自体が上下駆動する場合、パッキン押さえ治具を所定の位置に固定設置し、密閉蓋の上下駆動により、密閉蓋から外れかけたシール用パッキンを押さえつけ、かつ密閉蓋の元の位置にはめ込み、パッキンが密閉蓋から外れるのを防止することを特徴とする密閉蓋のパッキン外れ防止装置。
- パッキン押さえ治具のパッキンを押さえつける先端部をテーパー形状とする請求項1,2,3記載の密閉蓋のパッキン外れ防止装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002237644A JP2004043015A (ja) | 2002-07-15 | 2002-07-15 | 密閉蓋のパッキン外れ防止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002237644A JP2004043015A (ja) | 2002-07-15 | 2002-07-15 | 密閉蓋のパッキン外れ防止装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004043015A true JP2004043015A (ja) | 2004-02-12 |
Family
ID=31712145
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002237644A Pending JP2004043015A (ja) | 2002-07-15 | 2002-07-15 | 密閉蓋のパッキン外れ防止装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004043015A (ja) |
-
2002
- 2002-07-15 JP JP2002237644A patent/JP2004043015A/ja active Pending
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