JP4237714B2

JP4237714B2 - 駆動部隔離ｆｏｕｐオープナ

Info

Publication number: JP4237714B2
Application number: JP2005064626A
Authority: JP
Inventors: 徹典大田黒
Original assignee: Hirata Corp
Current assignee: Hirata Corp
Priority date: 2005-03-08
Filing date: 2005-03-08
Publication date: 2009-03-11
Anticipated expiration: 2020-11-30
Also published as: JP2005167284A

Description

本願の発明は、半導体ウェハを所定の間隔で、水平に、複数枚収納して搬送する密閉可能な容器を開閉するための容器開閉装置に関し、特に容器がＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod ）である場合に、ＦＯＵＰドアを着脱して保持する着脱機構と保持機構とを有するポートドアとＦＯＵＰ内収納ウェハの有無や収納状態、収納位置等を検出するためのセンサ機構との各駆動部の配置構造を改善したＦＯＵＰ開閉装置（ＦＯＵＰオープナ）に関する。

ＦＯＵＰオープナは、第１制御空間であるＦＯＵＰ内環境と第２制御空間であるウエハ転送空間との間を、外部雰囲気にウェハをさらすことなく、連通させ、ウェハをロボット等で転送することができるようにする役割を担う。ＦＯＵＰオープナの要求仕様は、高精細度の３００ｍｍウェハともなると、きわめて高価なものとなるために、塵埃によるウェハ汚染に対しては、オープナ自体の発塵量を０．１μm 粒子で１個／１０cft 以下、マッピング誤報率（虚報率）を１回／（１０万枚〜１００万枚）以下に抑えることが求められている。また、ウェハを転送するためには、ウェハの有無や収納状態等を検出する必要があり、マッピング手段は、ＦＯＵＰオープナあるいはロボットのいずれか一方に設けられている。一般的には、これら両者ともに、オプション機能としての位置付けとなっている。

従来、ＦＯＵＰ010 の開口部を閉塞するＦＯＵＰドア013 をＦＯＵＰオープナ01により開閉し、昇降せしめる動作は、図５に図示されるように、クリーンルームとしての環境が保たれる第２制御空間200 内で行なわれる動作であったために、ＦＯＵＰドア013 を着脱して保持する着脱機構や保持機構を有するポートドア023 やセンサ070 の進退機構040 および昇降機構050 の各駆動部は、第２制御空間200 内に配置されている（特開平１１−１４５２４４号公報参照）。なお、014 は半導体ウェハ、021 はポートプレート、300 は外部雰囲気である。

このため、これら発塵の要因である駆動部が、クリーンな環境に保持されるべき第２制御空間200 を汚染するという問題が発生していた。例えば、駆動部のモータやシリンダなどを駆動源とする可動部が動作すると、摩擦により塵埃が発生して、クリーンルーム（第２制御空間200 ）内に飛散し、また、可動部に塗布される摺動材や潤滑材の気化による有機物がクリーンルーム200 内に飛散して、クリーンルーム200 の高いクリーン度を維持することができなくなる。さらに、クリーンルーム200 内で駆動部の保守、点検、修理等の作業をする場合には、作業者がクリーンルーム200 に入るために機器の移動や取り外しを行なってスペースを確保する必要があり、必然的にクリーンルーム200 内に塵埃が飛散してしまう。このため、クリーンルーム200 内を正常な高いクリーン度に復旧させるには、かなりの時間と費用とが発生してしまう。加えて、クリーンルーム200 内で人間が作業をするには、作業者の体に付着した塵埃を除去するための設備が必要になり、この面からも、かなりの費用がかかってしまう。

これに対して、ポートドアをクリーンルーム（第２制御空間200 ）の外側に配置して、ＦＯＵＰドアの開閉、昇降をクリーンルーム200 外で行なわせるようにしたＦＯＵＰオープナが提案されている（再公表特許ＷＯ９９／２８９６５号公報参照）。しかしながら、このものにおいては、図６に図示されるように、ポートドア023がＦＯＵＰ010 とポートプレート021 との間に位置することになるので、これらの間に隙間ｇが生じて、この隙間ｇからクリーンルーム200 の外側（外部雰囲気300 ）の塵埃がＦＯＵＰ010 内（第１制御空間100 ）やクリーンルーム200 内に侵入する虞や、クリーンルーム200 の外側の塵埃がＦＯＵＰドア013 の内側やポートドア023 の外側に付着する虞、クリーン度の高いクリーンエアが大量にクリーンルーム200 の外側に流出する虞が発生していた。

また、この公報記載のＦＯＵＰオープナ01においては、ＦＯＵＰ010 とポートプレート021 との間の距離が長くなる（隙間ｇが大きくなる）ため、ＦＯＵＰ010 を載置して位置決めするドックプレート031 と、ドックプレート031 をＦＯＵＰドア013 が着脱される位置まで移動させるドック移動機構030 の構成部品との各加工誤差、組立誤差、摩耗等によるＦＯＵＰ010 の位置決め精度の悪化により、ＦＯＵＰ内収納ウェハ014 の有無や収納状態、収納位置等を高い精度で検出することができず、ウェハ014 の搬送に問題を生じる虞があった。
特開平１１−１４５２４４号公報再公表特許ＷＯ９９／２８９６５号公報

本願の発明は、従来のＦＯＵＰオープナが有する前記のような問題点を解決して、ポートドアの進退機構や昇降機構の各駆動部がクリーンルーム（第２制御空間）の汚染源となることなく、また、クリーンルームの外側（外部雰囲気）の塵埃がＦＯＵＰ内（第１制御空間）やクリーンルーム内に侵入したり、ＦＯＵＰドアの内側やポートドアの外側に付着したりすることなく、また、クリーン度の高いクリーンエアが大量にクリーンルームの外側に流出したりすることもなく、さらに、ＦＯＵＰとポートプレートとの間の距離が長くなることによりドックプレートとドック移動機構の構成部品との各加工誤差、組立誤差、摩耗等が生じてＦＯＵＰの位置決め精度が悪化するというようなこともなく、マッピングセンサの検出精度を高く維持することができて、ウェハの搬送に問題を生じることのない、ＦＯＵＰオープナを提供することを課題とする。

前記のような課題は、本願の特許請求の範囲の各請求項に記載された次のような発明により解決される。
すなわち、その請求項１に記載された発明は、クリーンルームに取り付けられる駆動部隔離ＦＯＵＰオープナであり、前記ＦＯＵＰオープナが、少なくとも、前面開口部がＦＯＵＰドアにより閉塞され、内部に半導体ウェハを所定の間隔で、水平に、複数枚収納してなるＦＯＵＰを載置して位置決めするドックプレートと、前記ドックプレートを前記ＦＯＵＰドアが着脱される位置まで移動させるドック移動機構と、前記ＦＯＵＰドアを着脱して保持する着脱機構と保持機構とを有するポートドアと、前記ポートドアにより閉塞される開口部を有するポートプレートと、前記ポートドアを水平に移動させるためのポートドア進退機構と、前記ＦＯＵＰドアを格納するために、前記ポートドアが前記ＦＯＵＰドアを保持した状態で、前記ポートドアを垂直に移動させるためのポートドア昇降機構とを備えてなり、前記クリーンルームに、クリーンルームの内側および外側を隔離する前記ポートプレートを取り付け、前記ポートプレートの前記クリーンルーム側に、前記ポートドアを配置し、前記ポートプレートの前記クリーンルームとは反対の側に、前記ポートドア進退機構の駆動部および前記ポートドア昇降機構の駆動部を配置するととともに、前記ポートドア昇降機構に、前記ポートドア進退機構を取り付け、前記ポートプレートに設けられる案内溝に挿通してアームを設けるとともに、そのアームにて前記ポートドア進退機構の駆動部と前記ポートドアとを結合し、前記ポートプレートの前記クリーンルームとは反対の側に、前記ポートドア進退機構の駆動部および前記ポートドア昇降機構の駆動部を収容する駆動部収容室を配置したことを特徴とする駆動部隔離ＦＯＵＰオープナである。

請求項１に記載された発明は、前記のように構成されているので、その駆動部隔離ＦＯＵＰオープナにおいては、ポートドア進退機構の駆動部とポートドア昇降機構の駆動部とが、ポートプレートを挟んで、ポートドアが配置されるクリーンルーム側とは反対の側に配置されるとともに、そこに駆動部収容室が設けられて、この駆動部収容室に配置されることにより、これらの駆動部が、クリーンルーム（第２制御空間）から隔離されている。

この結果、これらの駆動部において発生する塵埃は、駆動部収容室内に閉じ込められ、ポートプレートに遮られて、クリーンルーム内に侵入することがない。例えば、駆動部のモータやシリンダなどを駆動源とする可動部において、摩擦により発生する塵埃がクリーンルーム内に飛散することがなくなり、また、可動部に塗布される摺動材や潤滑材の気化による有機物がクリーンルーム内に飛散することがなくなる。また、駆動部の保守、点検、修理等の作業をする場合においても、作業者がクリーンルームに入る必要がないので、クリーンルーム内において作業用スペースを確保するために機器の移動や取り外しをする必要がなく、これらの作業に伴う塵埃の発生がクリーンルームを汚染することがなくなる。これらにより、クリーンルームを高いクリーン度に維持することができる。

また、駆動部の保守、点検、修理等の作業をする場合において、作業者がクリーンルームに入る必要がないので、作業者の体に付着した塵埃を除去するための設備の必要がなくなり、設備費用の低減を図ることができる。

さらに、ポートドアはクリーンルーム側に配置されるので、ＦＯＵＰとポートプレートとの間の距離をなくするか短くすることができ、この間の間隙は微小となるので、クリーンルームの外側（外部雰囲気）の塵埃がＦＯＵＰ内（第１制御空間）やクリーンルーム内に侵入したり、ＦＯＵＰドアの内側やポートドアの外側に付着したりすることがなくなり、また、クリーン度の高いクリーンエアが大量にクリーンルームの外側に流出したりすることもなくなる。これらにより、クリーンルームをさらに高いクリーン度に維持することができる。

加えて、ＦＯＵＰとポートプレートとの間の間隙が微小となるので、ドックプレートとドック移動機構の構成部品との各加工誤差、組立誤差、摩耗等も低減されて、ＦＯＵＰの位置決め精度が向上するので、マッピングセンサの検出精度を高く維持することができて、ウェハの搬送を高い信頼度で行なうことができる。

また、その請求項２に記載された発明は、請求項１に記載の発明において、その案内溝が、上下方向に細長い長孔からなり、ポートプレートの開口部の下方部に設けられる。

この結果、クリーンルームの外側の塵埃が、この案内溝を通ってクリーンルーム内に侵入したり、逆にクリーン度の高いクリーンエアが、この案内溝を通って大量にクリーンルームの外側に流出したりすることが可及的抑制され、クリーンルームを高いクリーン度に維持することに資することができる。また、ポートドアのアームは、この案内溝を移動することになるが、この移動により塵埃が発生しても、クリーンルーム内の気圧をクリーンルームの外側の気圧よりも高く（陽圧に）維持することにより、この塵埃を案内溝からクリーンルームの外側に排出することができ、この面からも、クリーンルームを高いクリーン度に維持することに資することができる。

さらに、その請求項３に記載された発明は、請求項１または請求項２に記載の発明において、その駆動部収容室に、該駆動部収容室内の雰囲気を外部に排出する手段が設けられる。

これにより、これらの駆動部において発生する塵埃が案内溝を通ってクリーンルーム内に侵入するのを完全に防止することができ、クリーンルームをさらに高いクリーン度に維持することができる。

前記のとおり、本願の発明の駆動部隔離ＦＯＵＰオープナは、そのポートドア進退機構の駆動部とポートドア昇降機構の駆動部とが、ポートプレートを挟んで、ポートドアが配置されるクリーンルーム側とは反対の側に配置されるとともに、、そこに駆動部収容室が設けられて、この駆動部収容室に配置されることにより、これらの駆動部が、クリーンルーム（第２制御空間）から隔離されているので、これらの駆動部において発生する塵埃は、駆動部収容室内に閉じ込められ、ポートプレートに遮られて、クリーンルーム内に侵入することがない。また、駆動部の保守、点検、修理等の作業をする場合においても、作業者がクリーンルームに入る必要がないので、クリーンルーム内において作業用スペースを確保するために機器の移動や取り外しをする必要がなく、これらの作業に伴う塵埃の発生がクリーンルームを汚染することがなくなる。これらにより、クリーンルームを高いクリーン度に維持することができる。

また、駆動部収容室に、該駆動部収容室内の雰囲気を外部に排出する手段が設けられる場合には、これらの駆動部において発生する塵埃が案内溝を通ってクリーンルーム内に侵入するのを完全に防止することができ、クリーンルームをさらに高いクリーン度に維持することができる。
その他、前記したような種々の効果を奏することができる。

ＦＯＵＰオープナが、少なくとも、前面開口部がＦＯＵＰドアにより閉塞され、内部に半導体ウェハを所定の間隔で、水平に、複数枚収納してなるＦＯＵＰを載置して位置決めするドックプレートと、該ドックプレートをＦＯＵＰドアが着脱される位置まで移動させるドック移動機構と、ＦＯＵＰドアを着脱して保持する着脱機構と保持機構とを有するポートドアと、該ポートドアにより閉塞される開口部を有するポートプレートと、ポートドアを水平に移動させるためのポートドア進退機構と、ＦＯＵＰドアを格納するために、ポートドアがＦＯＵＰドアを保持した状態で、ポートドアを垂直に移動させるためのポートドア昇降機構とを備えてなる。ポートドア進退機構の駆動部とポートドア昇降機構の駆動部とは、ポートプレートを挟んで、ポートドアが配置されるクリーンルーム側とは反対の側に配置されるとともに、これらの駆動部が配置される駆動部収容室が設けられる。また、該駆動部収容室に、該駆動部収容室内の雰囲気を外部に排出する手段が設けられる。

次に、図１ないし図４に図示される本願の請求項１ないし請求項３に記載された発明の一実施例について説明する。
図１は、本実施例における駆動部隔離ＦＯＵＰオープナのＦＯＵＰドア開放前の概略縦断面図、図２は、図１のＦＯＵＰオープナの駆動部収容室壁を除去して見た概略背面図、図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線矢視断面図、図４は、図１のＦＯＵＰオープナのポートドア側から見た部分斜視図である。

図１に図示されるように、本実施例における駆動部隔離ＦＯＵＰオープナ１は、内部に半導体ウェハ14を所定の間隔で、水平に、複数枚収納したＦＯＵＰ10と、該ＦＯＵＰ10を載置して位置決めするドックプレート31と、該ドックプレート31をＦＯＵＰドア13が着脱される位置まで移動させるドック移動機構30と、ＦＯＵＰドア13を着脱して保持する着脱機構と保持機構と（いずれも図示されず）を有するポートドア23と、該ポートドア23により閉塞される開口部22を有するポートプレート21と、ポートドア23を水平に移動させるポートドア進退機構40と、ＦＯＵＰ内収納ウェハ14の有無や収納状態、収納位置等を検出するマッピングセンサ70を上部に取り付けたセンサ取付部材62を水平に移動させるためのセンサ進退機構60と、ＦＯＵＰドア13をフロントエンド（第２制御空間200 ）に格納するために、ポートドア23がＦＯＵＰドア13を保持した状態で、ポートドア23とセンサ取付部材62とを垂直に移動させるためのポートドア・センサ昇降機構50とを備えている。

ＦＯＵＰ10は、ＦＯＵＰ10の本体をなすＦＯＵＰフレーム11の前面開口部12がＦＯＵＰドア13により閉塞されることにより、密閉容器として構成されている。ポートプレート21とポートドア23とは、フロントエンドのＦＯＵＰ供給側壁体の一部をなしていて、クリーンルームとして構成されてウェハ転送空間をなす第２制御空間200 と外部雰囲気300 とを隔絶する。センサ取付部材62は、図４に図示されるように、矩形状の枠体からなり、ポートドア23と該ポートドア23の下方延設部42とをわずかの間隔を置いて囲んでいる。

ポートドア進退機構40は、ポートドア23の下方延設部42の下端から直角に延設されたアーム部（アーム）44が、後述するポートドア・センサ昇降機構50の昇降基部材51の上面側にリニアガイド41に沿って摺動自在に設けられており、その先端部がポートドア進退機構駆動用モータ43の出力軸に結合されて、該モータ43によって水平方向（図１において左右方向）に進退駆動される。このアーム部44は、ポートプレート21の開口部22の下方部に設けられた細長い長孔状の案内溝52に挿通されていて、この案内溝52内を左右・上下に移動する。

センサ進退機構60は、センサ取付部材62の下端から直角に延設されたアーム部（アーム）64が、後述するポートドア・センサ昇降機構50の昇降基部材51の下面側にリニアガイド61に沿って摺動自在に設けられており、その先端部がセンサ進退機構駆動用モータ63に結合されて、該モータ63によって水平方向に進退駆動される。このアーム部64は、アーム部44と同様に、案内溝52に挿通されていて、アーム部44よりも下方にあって、この案内溝52内を左右・上下に移動する。

昇降基部材51、アーム部44、アーム部64は、図２に図示されるように、ポートプレート21の左右側縁寄りに、それぞれ左右一対設けられていて、左右の昇降基部材51、51は、左右に長い板状の連結部材55により連結されて一体化されている。この連結部材55の左右方向中央部には、ネジ軸54と螺合し合うボールナットを収容したナット収容部56が形成されている。したがって、いま、ネジ軸54がサーボモータ53により回転させられると、該ネジ軸54と螺合し合うボールナットを収容したナット収容部56を一体に有する連結部材55が昇降動する。そして、この連結部材55の昇降動により、左右一対の昇降基部材51、51、同アーム部44、44、同アーム部64、64を介して、ポートドア23とセンサ取付部材62とが一緒になって昇降動する。

この連結部材55の昇降動は、図２および図３に図示されるように、該連結部材55の両端に一体に結合された左右の昇降基部材51、51にそれぞれ形成された案内凹溝58、58が、ポートプレート21の左右側縁寄りの外側面に上下方向に指向してそれぞれ固設された案内レール57、57にそれぞれ嵌合して案内されることにより、ポートプレート21の外側面に沿って案内される。

ポートドア進退機構駆動用モータ43は、図２において右方の昇降基部材51の上面に固設されており、センサ進退機構駆動用モータ63は、図２において左方の昇降基部材51の下面に固設されている。このように、ポートドア進退機構駆動用モータ43とセンサ進退機構駆動用モータ63とを左右に振り分けて設置することにより、連結部材55、左右一対の昇降基部材51、51、両モータ43、63からなる一体組立体の左右重量バランスが図られている。しかしながら、これら両モータ43、63は、左右いずれかの昇降基部材51の上下面にそれぞれ固設されてもよい。

サーボモータ53、ネジ軸54、ナット収容部56を一体に有する連結部材55、昇降基部材51、51は、これらが全体としてポートドア・センサ昇降機構50を構成している。このポートドア・センサ昇降機構50は、図１および図２に図示されるように、ポートプレート21を挟んで、ポートドア23とセンサ取付部材62とが配置されるクリーンルーム（第２制御空間200 ）側とは反対の側に配置されており、同側に設けられた駆動部収容室80内に収容されている。

ポートドア進退機構駆動用モータ43とセンサ進退機構駆動用モータ63とは、いずれも左右の昇降基部材51、51にそれぞれ固設されているので、これら両モータ43、63も、駆動部収容室80内に収容されている。また、ポートドア進退機構40のアーム部44がリニアガイド41に沿って摺動する部分、およびセンサ進退機構60のアーム部64がリニアガイド61に沿って摺動する部分も、駆動部収容室80内に収容されている。

したがって、ポートドア進退機構40の駆動部（ポートドア進退機構駆動用モータ43、リニアガイド41からなる）、センサ進退機構60の駆動部（センサ進退機構駆動用モータ63、リニアガイド61からなる）およびポートドア・センサ昇降機構50の駆動部（サーボモータ53、ネジ軸54、ナット収容部56を一体に有する連結部材55、左右一対の昇降基部材51、51からなる）は、いずれもポートプレート21を挟んで、ポートドア23とセンサ取付部材62とが配置されるクリーンルーム200 側とは反対の側に配置され、クリーンルーム200 から隔離されて、同側に設けられた駆動部収容室80内に収容されていることになる。

駆動部収容室80には、該駆動部収容室80内の雰囲気を外部に排出するファン81が設けられている。これにより、ポートドア進退機構40の駆動部、センサ進退機構60の駆動部およびポートドア・センサ昇降機構50の駆動部から発生する塵埃は外部雰囲気300 中に排出されるので、クリーンルーム200 を汚染することがない。ファン81は、駆動部収容室80のできるだけ下方部の室壁に設置されるのがよい。

次に、本実施例における駆動部隔離ＦＯＵＰオープナの作用について説明する。
図１において、ＦＯＵＰドア13は、ＦＯＵＰフレーム11から離脱開放される直前にあり、ポートドア23とマッピングセンサ70とは待機状態にある。先ず、ポートドア23がＦＯＵＰドア13を吸着保持すると、ポートドア進退機構40が作動して、詳細には図示されないが、ポートドア23が水平方向に後退する。そうすると、センサ取付部材62が、ポートドア・センサ昇降機構50の作動により、ポートドア23とともにマッピングセンサ70がＦＯＵＰ10内に進入する位置まで下降して、マッピングセンサ70が位置決めされる。

次いで、マッピングセンサ70が、センサ進退機構60の作動により、ポートドア23とは独立に前進して、ＦＯＵＰ10内に進入する。次いで、マッピングセンサ70が、ポートドア・センサ昇降機構50の作動により、ポートドア23とともに最下段位置まで下降しながら、ＦＯＵＰ内収納ウェハ14の有無や収納状態（傾き挿入、多重挿入等）、収納位置（高さ）等を検出する。その検出結果は、逐次、図示されないウェハ搬送用ロボットに送信される。

マッピングセンサ70が最下段位置まで下降すると、次いで、マッピングセンサ70が、センサ進退機構60の作動により、ポートドア23とは独立にＦＯＵＰ10内から後退する。最後に、ポートドア・センサ昇降機構50の作動により、ポートドア23とマッピングセンサ70とが一緒になって下降退避して、ＦＯＵＰドア13がフロントエンド（第２制御空間200 ）に格納される。

本実施例は、前記のように構成されており、前記のように作用するので、次のような効果を奏することができる。
駆動部隔離ＦＯＵＰオープナ１において、ポートドア進退機構40の駆動部とポートドア昇降機構50の駆動部とが、ポートプレート21を挟んで、ポートドア23が配置されるクリーンルーム（第２制御空間200 ）側とは反対の側に配置されるとともに、そこに駆動部収容室が設けられて、この駆動部収容室に配置されることにより、これらの駆動部が、クリーンルーム200から隔離されているので、これらの駆動部において発生する塵埃は、駆動部収容室内に閉じ込められ、ポートプレート21に遮られて、クリーンルーム200 内に侵入することがない。例えば、駆動部のモータ（ポートドア進退機構駆動用モータ43、ポートドア昇降機構駆動用サーボモータ（これは、ポートドア・センサ昇降機構駆動用サーボモータ53により兼ねられる。））を駆動源とする可動部において、摩擦により発生する塵埃がクリーンルーム200 内に飛散することがなくなり、また、可動部に塗布される摺動材や潤滑材の気化による有機物がクリーンルーム200 内に飛散することがなくなる。また、駆動部の保守、点検、修理等の作業をする場合においても、作業者がクリーンルーム200 に入る必要がないので、クリーンルーム200 内において作業用スペースを確保するために機器の移動や取り外しをする必要がなく、これらの作業に伴う塵埃の発生がクリーンルーム200 を汚染することがない。これらにより、クリーンルーム200 を高いクリーン度に維持することができる。

また、ポートドア23はクリーンルーム200 側に配置されているので、ＦＯＵＰ10とポートプレート21との間の距離をなくするか短くすることができ、この間の間隙は微小となるので、クリーンルーム200 の外側（外部雰囲気300 ）の塵埃がＦＯＵＰ10内（第１制御空間100 ）やクリーンルーム200 内に侵入したり、ＦＯＵＰドア13の内側やポートドア23の外側に付着したりすることがなくなり、また、クリーン度の高いクリーンエアが大量にクリーンルーム200 の外側に流出したりすることもなくなる。これらにより、クリーンルーム200 をさらに高いクリーン度に維持することができる。

さらに、ポートプレート21には、該ポートプレート21が有する開口部22の下方部に、細長い長孔からなる案内溝52が設けられ、ポートドア進退機構40の駆動部とポートドア昇降機構の駆動部（これは、ポートドア・センサ昇降機構50の駆動部により兼ねられる。）とが、該案内溝52を介して、ポートドア23をそれぞれ水平もしくは垂直に移動させるようにされているので、クリーンルーム200 の外側の塵埃が、この案内溝52を通ってクリーンルーム200 内に侵入したり、逆にクリーン度の高いクリーンエアが、この案内溝52を通って大量にクリーンルーム200 の外側に流出したりすることが可及的抑制され、クリーンルーム200 を高いクリーン度に維持することに資することができる。

また、ポートドア23に連結されるアーム部44は、この案内溝52を左右・上下に移動することになるが、この移動により塵埃が発生しても、クリーンルーム200 内の気圧をクリーンルーム200 の外側の気圧よりも高く（陽圧に）維持することにより、この塵埃を案内溝52からクリーンルーム200 の外側に排出することができ、この面からも、クリーンルーム200 を高いクリーン度に維持することに資することができる。

しかも、駆動部収容室80には、該駆動部収容室80内の雰囲気を外部に排出するファン81が設けられているので、これらの駆動部において発生する塵埃が案内溝52を通ってクリーンルーム200 内に侵入するのを完全に防止することができ、クリーンルーム200 をさらに高いクリーン度に維持することができる。

また、ＦＯＵＰ10とポートプレート21との間の間隙が微小となることにより、ドックプレート31とドック移動機構30の構成部品との各加工誤差、組立誤差、摩耗等も低減されて、ＦＯＵＰ10の位置決め精度が向上するので、マッピングセンサ70の検出精度を高く維持することができて、ウェハ14の搬送を高い信頼度で行なうことができる。

さらに、また、駆動部の保守、点検、修理等の作業をする場合において、作業者がクリーンルーム200 に入る必要がないので、作業者の体に付着した塵埃を除去するための設備の必要がなくなり、設備費用の低減を図ることができる。

本願の発明は、必ずしも前記のような実施例に限定されるものではなく、本願の発明の要旨を変更しない範囲において、種々の変更が可能である。
例えば、連結部材55と左右一対の昇降基部材51、51とを連結するのに、これらの位置関係を上下にずらして相互に連結して、連結部材55の左右端および左右の昇降基部材51、51のそれぞれに案内凹溝58を形成するようにすれば、ポートドア・センサ昇降機構50の昇降動の案内をさらに確実に行なうことができる。また、駆動部の駆動源として、モータ43、53、63に代えて、パワーシリンダが使用されてもよい。

本願の請求項１ないし請求項３に記載された発明の一実施例における駆動部隔離ＦＯＵＰオープナのＦＯＵＰドア開放前の概略縦断面図である。図１のＦＯＵＰオープナの駆動部収容室壁を除去して見た概略背面図である。図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線矢視断面図である。図１のＦＯＵＰオープナのポートドア側から見た部分斜視図である。従来例を示す図である。他の従来例を示す図である。

符号の説明

１…駆動部隔離ＦＯＵＰオープナ、10…ＦＯＵＰ、11…ＦＯＵＰフレーム、12…開口部、13…ＦＯＵＰドア、14…半導体ウェハ、21…ポートプレート、22…開口部、23…ポートドア、30…ドック移動機構、31…ドックプレート、40…ポートドア進退機構、41…リニアガイド、42…下方延設部、43…ポートドア進退機構駆動用モータ、44…アーム部、50…ポートドア・センサ昇降機構、51…昇降基部材、52…案内溝、53…サーボモータ、54…ネジ軸、55…連結部材、56…ナット収容部、57…案内レール、58…案内凹溝、60…センサ進退機構、61…リニアガイド、62…センサ取付部材、63…センサ進退機構駆動用モータ、64…アーム部、70…マッピングセンサ、80…駆動部収容室、81…ファン、100 …第１制御空間、200 …第２制御空間（クリーンルーム）、300 …外部雰囲気（第３空間）。

Claims

クリーンルームに取り付けられる駆動部隔離ＦＯＵＰオープナであり、
前記ＦＯＵＰオープナが、少なくとも、
前面開口部がＦＯＵＰドアにより閉塞され、内部に半導体ウェハを所定の間隔で、水平に、複数枚収納してなるＦＯＵＰを載置して位置決めするドックプレートと、
前記ドックプレートを前記ＦＯＵＰドアが着脱される位置まで移動させるドック移動機構と、
前記ＦＯＵＰドアを着脱して保持する着脱機構と保持機構とを有するポートドアと、
前記ポートドアにより閉塞される開口部を有するポートプレートと、
前記ポートドアを水平に移動させるためのポートドア進退機構と、
前記ＦＯＵＰドアを格納するために、前記ポートドアが前記ＦＯＵＰドアを保持した状態で、前記ポートドアを垂直に移動させるためのポートドア昇降機構と
を備えてなり、
前記クリーンルームに、クリーンルームの内側および外側を隔離する前記ポートプレートを取り付け、
前記ポートプレートの前記クリーンルーム側に、前記ポートドアを配置し、
前記ポートプレートの前記クリーンルームとは反対の側に、前記ポートドア進退機構の駆動部および前記ポートドア昇降機構の駆動部を配置するととともに、前記ポートドア昇降機構に、前記ポートドア進退機構を取り付け、
前記ポートプレートに設けられる案内溝に挿通してアームを設けるとともに、そのアームにて前記ポートドア進退機構の駆動部と前記ポートドアとを結合し、
前記ポートプレートの前記クリーンルームとは反対の側に、前記ポートドア進退機構の駆動部および前記ポートドア昇降機構の駆動部を収容する駆動部収容室を配置した
ことを特徴とする駆動部隔離ＦＯＵＰオープナ。
前記案内溝が、上下方向に細長い長孔からなり、前記ポートプレートの前記開口部の下方部に設けられた、
ことを特徴とする請求項１に記載の駆動部隔離ＦＯＵＰオープナ。
前記駆動部収容室に、前記駆動部収容室内の雰囲気を外部に排出する手段が設けられたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の駆動部隔離ＦＯＵＰオープナ。