TWI345060B - Noncontact type single side probe device and apparatus and method for testing open or short circuits of pattern electrodes using the same - Google Patents

Description

1345060 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於一種非接觸式單面探 其之用以測試圖案化電極開路或短路之儀器：以及使用 特別地係有關於一種非接觸式單面探針裝 法，且更 送AC電力至各圖案化電極的-端並且使用包==饋 :::的非接觸探針電極的激發器電極及感測器 ^式單面探針裝置感測電性變化值以測試圖案化電= =方以及使用其之用以測試圖案化電極開路或短路之 儀益和方法。 【先前技術】 通常，在諸如資料傳輸線的多線路電Μ的開路及短 路係經由在各線路與其他線路分開之後測量在電鐵的兩端 之間的電阻而被檢測。因此，必需兩個以上的操作者。在 #包括大量線路的電纜的情況中，有時，線路數目遺失且檢 測須被重複’從而降低檢測可靠度並增加操作時間。 再者，如圖1所示，在平板顯示裝χ 1〇(例如LCD及 )中’開路及短路可經由施加電流至各圖案化電極^的 ―端並且測量在對應的圖案化電極15的另一端上的電壓 而被檢測。又，開路及短路可經由以顯微鏡等檢查導線而 被檢測。在圖丨_，參考數字2〇標示探針方塊，且參考數 字30標示針式探針。 因此，為了檢測在單一圖案化電極中的開路及短路， 6 5151-8989~PF；Ahddub

i JH-JUOU 南要至少兩個探針。如 去.而要淬夕探針且成本增加。再 者’長的圖案化探針為了在 ± 6, ^ . 同位置上的測量需要二個以 的麵作者，從而耗費大量的時間及人力。 圖荦在接觸式探針的情況中，因為探針係按麼接觸 圖案化電極，可能發生接 的圖宏… 1生接觸錯誤。再者’在做為測量對象 圖案化電極上可能產生刮傷’從而導致另-錯誤。 【發明内容】 因此’本發明係有鑑於上述問題而被製造，且本發明 之目的係在於提供一種非# 按觸式早面探針裝置，其可經由 饋送AC電力至各圖案化雷 ’、電極的一鈿並且使用包括做為單 一模組的非接觸探針電極 干 極的激發益電極及感測器電極之非 接觸式早面探針裝置感測雷榀_儿& # > α利電性變化值以測試圖案化電極開 路或短路，以及補用复夕 用八之用以測試圖案化電極開路或短路 之儀器和方法。 本發明之另一目的係在於提供一種非接觸式單面探針 裝置其可經由包括非接觸探針電極的-對激發器電極 ㈣此仏办㈣及一對感測器電極，施加具有相反的 相位之電壓至該對激發器電極，及使用該對感測器電極的 差動電壓’而改善空間解析度及訊雜比’以及使用其之用 以測試圖案化電極開路或短路之儀器和方法。 根據本發明之一特徵’上述及其他目的可經由提供一 種非接觸式單面探針震置而實現’其包括：一非接觸探針 電極’其以非接觸狀態饋送電力至一待測試的圖案化電極 5151-8989-PF;Ahddub 7 ου 、、感測電性變化值；一電力饋送區段，其施加AC電力至 非接觸探針電極；& —感測器’其測量非接觸探針電極的 電性變化值。 的 士最好，電力饋送區段可包括用以施加AC電流的Ac電 机源，且感測器測量電壓的變化。 最好，非接觸探針電極可包括：一激發器電極，其被 連接至電力饋送區段，用以施加AC t流；及-感測器電 極’其被連接至感測器，用以感測電壓的變化。 最好，非接觸探針的激發器電極及感測器電極可為彼 此被整體地形成。 最好，電力饋送區域可包括用以施加AC電壓的AC電 壓源’且感測器測量電壓的變化。 最好，非接觸探針電極可包括：一激發器電極，其被 連接至電力饋送區段，用以施加AC t壓；及—感測器電 極，其被連接至感測器，用以感測電壓的變化。 最好，電力饋送區段可包括用以施加AC電壓的—Μ

電壓源，且感測器測量在AC電壓源及非接觸探針電極之門 流動的電流的變化。 B 最好，非接觸探針電極可包括：第一及第二激發器電 極，其饋送AC電壓；及第一及第二感測器電極，其測量電 壓的變化。 最好，第一激發器電極及第一感測器電極可被排列在 一線性軸上，第二激發器電極及第二感測器電極可被排列 在一線性軸上，第一及第二激發器電極可被平行排列，且 5151-8 98 9-PF;Ahddub 8 1345060 第一及第二感測器電極可被平行排列。 最好，第一激發器電極及第一感測器 一 』命电極可被排列在 線性軸上，第二激發器電極第二 a判态電極可被排列 在一線性軸上，且第一及Μ — $ & 、„。 第一激發器電極與第一及第二感 測器電極可被分別排列以對角地彼此對稱。 最好’電力饋送區域可分別饋送具有相同的振幅與⑽ -相反的相位之AC電壓至第一及第二激發器電極。 最好’感測器可測量在由第一及第-戍 ^ 汉罘一感測器電極測量 的電壓間的差動電壓。 根據本發明之另一特徵，提供有一種用以在使用非接 觸式早面探針裝置料圖案化電極相試形成在面板上的 複數圖案化電極的開路及短路的儀器，該儀器包括：非接 觸式單面探針裝置，其通過-祕觸探針電極料AC電力 至各圖案化電極的—端並且測量非接觸探針電極的電性變 化值，訊號處理區&，其經由由非接觸式單面探針裝置測 量的電性變化值決定開路或短路。 最好，非接觸式單面探針裝置可包括：非接觸探針電 極’其以非接觸狀態饋送電力至—圖案化電極並感測電性 變化值；-電力饋送區段，其施加AC電力至非接觸探針電 極，及一感測器，其測量非接觸探針電極的電性變化值。 最好，電力饋送區段可包括用以施加AC電流的Ac電 流源’且感測器測量電壓的變化。 最好，非接觸探針電極可包括：一激發器電極，其被 連接至電力饋送區段，用以施加AC f流；及-感測器電 9 5151-8989-PF；Ahddub :、被連接至感測器’用以感測電壓的變化。 、最好，非接觸探針的激發器電極及感測器電極可為彼 此被整體地形成。 最好電力饋送區域可包括用以施加AC電壓的電 壓源，且感測器測量電壓的變化。

最好，非接觸探針電極可包括：一激發器電極，其被 連接至電力饋送區段，用以施加AC電壓；及一感測器電 極，其被連接至感測器，用以感測電壓的變化。

最好’電力饋送區段可包括用以施加AC電壓的一 AC 電壓源，且感測器測量在AC電壓源及非接觸探針電極之間 流動的電流的變化。 最好’非接觸探針電極可包括：第一及第二激發器電 極，其饋送AC電壓；及第一及第二感測器電極，其測量電 壓的變化。 最好’第一激發器電極及第一感測器電極可被排列在 • 一線性軸上’第二激發器電極及第二感測器電極可被排列 在一線性軸上，第一及第二激發器電極可被平行排列，且 第一及第二感測器電極可被平行排列。 最好’第一激發器電極及第一感測器電極可被排列在 一線性轴上’第二激發器電極及第二感測器電極可被排列 在一線性軸上，且第一及第二激發器電極與第一及第二感 測器電極可被分別排列以對角地彼此對稱。 最好，電力饋送區域可分別饋送具有相同的振幅與180 度相反的相位之AC電壓至第一及第二激發器電極。 5151-8989-PF;Ahddub 10 1345060 ' ⑼，感測器可測量在由第-及第二感測器電極測量 的電壓間的差動電壓。 …根據本發明之再-特徵’提供有-種用以使用包括做 為單模組的非接觸探針電極的激發器電極及感測器電極 之非接觸式單面探針裝置測試圖案化電極的開路及短路之 方法’該方法包括：通過非接觸單面探針裝置的非接觸探 2電極她加AC電力至被形成在面板上的各圖案化電極的 •:端，使用非接觸探針電極測量一電性變化值，並測試圖 案化電極的開路及短路。 做為：據广發明之再一特徵，提供有一種用以使用各包括 為早一模組的非接觸探針電極的激發器電極及感測器電 ^非接觸式單面探針裝置測試圖案化電極的開路及短路 形成於面板上的圖宰化電極的:探針震置排列在被 热木 八電極的兩％，通過非接觸探針電極 施加不同的頻率至圖 電㈣u 案化電極’使用非接觸探針電極測量 電性變化值，並測試圖案化電極的開路及短路。 根據本發明之再一特徵，提供有一 做為單一耝紐沾非杜如， 1ώ枯 極之非接觸式單面探針的激發器電極及感測器電 之H ' 5式圖案化電極的開路及短路 形成於面板上的圖&觸式早面探針裝置排列在被 案化電極，使得相同」 端’施加相同的頻率至圖 極，使用非接觸° S _被施加至彼此分開的圖案化電 ‘使用非接觸探針電極 電極的開路及短路。 電11 生變化值’並測試圖案化 5l51-8989*PF；Ahddub 11 1345060 根據本發明，因為AC電力被施加至圖案化電極的— 端，其係使用包括做為單-模組的非接觸探針電極的1 :器電極及鄰接於激發器電極的一感測器電極之非接觸式 單面探針裝置而被測試，且電性變化值係通過非接觸探針 電極被測量以決定圖案化電極的開路或短路，_案化電極 的開路及短路均可經由僅掃猫圖案化電極的_端而㈣ 試。因為包括一對激發器電極及一對感測器電極，具有相 反相位的電壓被施加至該對激發器電極且在該對感測号電 極的電虔間的差_被使用，而形成一明顯的邊界二區 別鄰接的圖案化電極以增加空間解析度且由於共模雜訊而 可改善訊雜比》 本發明之上述及其他目的、特點及其他優點由前面詳 細說明配合附圖將更加清楚。 【實施方式】 • 象然本發明已關於較佳實施例加以顯示及說明，孰知 此技藝者理解各種變化及修正 …、 、 不脫離本發明之範疇及精 神被完成。從而，水發明夕玆於土 丰知明之範疇未被限定於本發明之實施 例。與先前技街相同的部分係由 一 屯々日u的參考唬碼及名稱標 示。 圖2係顯示根據本發明笫_ 弟貫施例的非接觸式單面 探針裝置的構成之圖式。 如圖所示，根據本實施例的非接觸式單面探針裝置4〇 包括：一非接觸探針電極44， ，、己枯用以以非接觸狀態饋 12 5151-8989-PF;Ahddub 丄州060 送^電流至待測試的圖案化電極15之激發器電極441與 、感測圖案化電極j 5的電壓的變化之感測器電極4仏; 一 AC電流源421，用辟·、主λρ % α 用以饋送AC電流至非接觸探針電極44 的激發器電極441 · , 感測益4 β ,用以測量由非接觸探 針電極44的感測器電極“2感測的電塵的變化。 。。此時’如圖3所示，非接觸探針電極44可包括一激發 器電極44】及-感測器電極他，二者係彼此被整體地^ 成。 電力饋送區段42包括用以施加AC電流的AC電流源 421。AC電流源421施加AC電流至非接觸探針電極以以 經由由非接觸探針電# 44測量的電遷的變化檢查圖案化 電極15的開路或短路。 圓4係顯示根據本發明之第三實施例的非接觸式單面 探針裝置的構成之圖式。

圖所示，根據本實施例的非接觸式單面探針裝置4 〇 包括：-非接觸探針電極44,其包括用以以非接觸狀態饋 达AC電壓至待測試的圖案化電極i 5之激發器電極44ι與 用以感測圖案化電極15的電壓的變化之感測器電極“2 ; AC電壓源422，用以饋送AC電壓至非接觸探針電極44 的激發器電極441 ;及一感測器46,用以測量由非接觸探 針電極44的感測器電極442感測的電壓的變化。 電力饋送區段42包括用以施加AC電壓的Ac電壓源 杜2。AC電壓源422施加Ac電壓至非接觸探針電極軻以 經由由非接觸探針電極44測量的電壓的變化檢查圖案化 5151-8989-pF；Ahddub 13 U45〇6〇 電極邝的開路或短路。 圖5係顯示根據本發明 探針裝置的構成之圖心第四貫施例的非接觸式單面 如圖:：’根據本實施例的非接觸式單面

n -非接觸探針電極44 直4U 至待硎試的圖宰化電桮& 接觸狀態饋送電力 的變化測圖案化電極15的電壓 變化，-AC電麼源422，用以饋 針電極44;及一感4β Β 电登至非接觸探 非接觸^ 46’用以測量在AC電壓源422及 未十電極44之間流動的電流的變化。 似電力饋送區段42包括用以施加AC電壓的Μ電壓源 “ 測益46測量在AC電壓源422及非接觸探針電極 短路之間流動的電流的變化以檢查圖案化電㈣的開路或 圖6係顯示根據本發明之第五實施例的非接觸式 探針裝置的構成之圖式。 如圖所不，根據本實施例的非接觸式單面探針裝置 包括：一非接觸探針電極44，其包括用以以非接觸狀態饋 送AC電力至待測試的圖案化電極15之第一及第二激發器 電極443及444與用以感測圖案化電極15的電性變化值之 第一及第二感測器電極445及446 ; — AC電壓源422，用 以分別饋送具有相同的振幅與180度相反的相位之AC電壓 至第一及第一激發器電極443及444 ;及一感測器46，用 以測量由第一及第二感測器電極445及446測量的電壓間 的差動電壓。 5151-8989-PF;Ahddub 14 1345060 *' 此時’第一激發器電極443及第一感測器電極445被 排列在一線性軸上，且第二激發器電極444及第二感測器 電極446被排列在一線性軸上。第一及第二激發器電極443 及444被平行排列’且第一及第二感測器電極445及446 被平行排列。 如圖7所示’第一激發器電極443及第一感測器電極 445可被排列在一線性軸上’且第二激發器電極444及第 ^ 二感測器電極446可被排列在一線性軸上。第一及第二激 發器電極443及444與第一及第二感測器電極445及446 可被分別排列以對角地彼此對稱。 具有相反相位的AC電壓通過第一及第二激發器電極 443及444被施加以在第一及第二激發器電極443及444 間形成相位邊界’且在第一及第二感測器電極445及446 的電壓間的差動電壓被測量使得在第一及第二激發器電極 443及444之間與在第一及第二感測器電極445及446之 φ 間形成明顯的邊界。因此，由於移除共模雜訊.，其可改善 空間解析度並改善訊雜比。如此，經由區別鄰接的圖案化 電極15的電壓的變化’其可通過細微的圖案化電極15之 準確的探針效果以較高的空間解析度檢查圖案化電極工5 的開路或短路。 圖8係顯示用以使用根據本發明的非接觸式單面探針 裝置測試圖案化電極的開路及短路之儀器的方塊圖。 如圖所示’儀器包括：一非接觸式單面探針裝置4〇， 用以在由被排列鄰接於激發器電極4 41的感測器電極4 4 2 5151-8989-PF;Ahddub 15 1345060 掃瞄圖案化電極1 5及測量電性變 過激發器電極—c電力至各:^ 端；一訊號處理區段50,用以通過由非接觸式單面探針參 置40測里的電性變化值檢查開路或短路；一顯示區段 用以顯示由非接觸式單面探針裝4 4Q測量的電性變化值 及说號處理區段5〇的操作狀態：及―鍵輸人區段Μ，用 以選擇訊號處理區段50的操作狀態。

圖9係㈣使隸據本發明㈣接觸式單面探針裝置 測試圖案化電極的開路及短路之儀器的例子之圖式。 非接觸式單面探針裝置40包括第—及第/激發器電 極443及444與第一及第二感測器電極祕及描，並且 在掃晦圖案化電極15時以非接觸狀態在各圖案化電極的 一端測試圖案化電極的開路及短路。 此時，第-及第二激發器電極443及4“被平行排列 且第一及第二感測器電極445及446被平行排列。第一激 發器電極443及第一感測器電極445被排列在一線性轴 上，且第二激發器電極444及第二感測器電極446被排列 在一線性軸上。 用以施加AC電壓至非接觸式單面探針裝置4〇的第一 及第二激發器電極443及444之AC電壓源422使用具有範 圍從ΙΚΗζ至小於數十KHz的頻率之200V至300V的電壓。 右由AC電壓源422施加的電壓的頻率小於ikhz，探 針裝置4 0的行進速度被限制，從而其不可能實現。相反 地’若由AC電壓源422施加的電壓的頻率大於數十〖Hz， 5151-8989-PF;Ahddub 16 1345060 ·· 在圖案化電極15間的阻抗減小且檢查解析度變差。 因為用以施加具有範圍從1 KHz至小於數十KHz的頻率 之AC電壓的AC電壓源422被使用，屏蔽同軸電纜或三軸 向電纜被使用在用以連接第一及第二激發器電極443及 444與第—及第二感測器電極445及446的線路中，以防 止訊號洩漏。 因此’當在圖案化電極15上傳播的AC電壓被施加至 φ 非接觸式單面探針裝置40的第一激發器電極443時，對應 於AC電壓的位準之電荷被儲存在圖案化電極15中且電性 變化值係由第一感測器電極445測量，從而檢查圖案化電 極15的開路及短路。 在本發明中，在由第一及第二感測器電極445及 測量的電壓間的差動電壓被讀取且圖案化電極15的開路 或短路係基於電壓的變化被檢查。因此，在電力被饋送圖 案化電極15與電力未被饋送的圖案化電極15間的邊界確 •實地被第一及第二感測器電極445及446間的差動電壓區 別，使得感受度可被改善。因為當開路或短路發生時電壓 的變化增加，故障可被有效地檢測。 經由通過第一及第二激發器電極443及444施加具有 不同相位的電壓至鄰接的圖案化電極15，其可區別圖案化 電極15以改善感受度。 在掃瞒圖案化電極15時於饋送Ac電壓之後被測量的 電壓係被顯示於圖1〇中。 此時，如圖10A所示，由非接觸式單面探針裝置仙在 5151-8989-PF;Ahddub 17 C電壓至正*的圖案化電極15之後測量的電麗值係 :"若圖案化電極15係如圖1〇β所示為開路，圖案化電 的整個面積減小且在圖案化電極】5附近由周圍地面 五成的寄生電容器45的電容減小。因此，在此情況中，因 ‘"、同數量的電荷被形成於小面積中以增加電壓，被測量 :圖案化電極15的電壓值係W其係大於正常的圖案化 電極15的電壓值Vpp_N。 同時，若圖案化電極15係如圖1〇c所 圖案化電们5,圖案化電極15的整個面積增加且在圖案 匕電極15附近由周圍地面形成的寄生電容器^的電容增 因此’在此情況中，因為相同數量的電荷被形成於大 面積中以減小電壓’被測量的圖案化電極15㈣壓值係 V”'S，其係小於正常的圖案化電極15的電壓值Vp"。 當圖案化電極15的電壓值係通過在使用非接觸式單 面探針裝置40㈣各圖案化電極15的—面時施加ac電壓 ㈣量的Μ的變化而高於正常的圖案化電極15的電壓 值時，圖案化電極15 #歧為開路且被決定的結果被顯 不，且若圖案化電们5的電壓值低於正常的圖案化電極 15'的電塵值，圖案化電極15被決定為短路且被決定的結 果被顯示。 一控制命令係通過鍵輸入區段6〇被輸入以控制訊號 處理區段5 〇的處理狀態。 當僅在各圖案化電極】5的一端上掃瞄圖案化電極】5 時電壓的變㈣使时接職單面料裝置4g被測量且 5151-8989»PF;Ahddub 18 1345060 開路發生在靠近圖案化電 η本…u ^的力一竭的位置時， 縮減減小’電壓上升的效果低’ &而開路無法被檢洌。為 了解決此問題’如圖】！所示’圖案化電極15的兩端係使 用非接觸式單面探針裝^ 4G被同時㈣以改善測試的準 確性。

此時，圖案化電極15可使用不同的頻率被測試或者不 同的圖案化電極15可使用相同的頻率被㈣地測試，使得 相同的頻率被施加至彼此分開的非接觸探針電極。 如上所述，根據本發明，圖案化電極的開路及短路可 經由饋送電力至各圖案化電極的一端並且使用包括做為單 -模組的激發器電極及感測器電極之非接觸式單面探針裝 置感測電性變化值而由一個掃晦程序加以測試。 、 因為圆案化電極的開路及短路係使用非接觸式單面探 針裳置被測試，可防止圖案化電極由於接觸故障或加壓接 觸被損壞，且與接觸式探針裝置相比，可增加探針裝置的 焉"命0 因為開路及短路係在掃瞒圖案化電極的一端時被測 试，裝置的構成簡單且測試可經由與相同的圖案化電極比 較而被容易地執行’即使在具有線性形狀以外的形狀之圖 案化電極中也可。 測試敏感度可使用在具有相反相位的一對激發器電極 之間的差動電壓由一對感測器電極改善。 雖然本發明的較佳實施例為了說明已被揭露，熟知此 技藝者理解可不脫離如在伴隨的中請專利範圍中被揭露之 5151-8 98 9-PF;Ahddub 19 本發明的範疇及精神 而進行各種修正、增加及替代。 【圖式簡單說明】 圖1係顯示測試圖案化電極的開路及短路的一般方法 的圖式； 圖2係顯不根據本發明之第一實施例的非接觸式單面 探針裝置的構成之圖式； 圖3係顯不根據本發明之第二實施例的非接觸式單面 探針裝置的構成之圖式； 圖4係顯示根據本發明之第三實施例的非接觸式單面 探針裝置的構成之圖式； 圖5係顯示根據本發明之第四實施例的非接觸式單面 探針裝'置的構成之圖式； 圖6係顯示根據本發明之第五實施例的非接觸式單面 探針裝置的構成之圖式； 圖7係顯示根據本發明之第六實施例的非接觸式單面 探針裝置的構成之圖式； 係顯示用以使用根據本發明的非接觸式單面探金 裝置測試圖案化電極的開路及短路之儀器的方塊圖； 圖9係顯不使用根據本發明的非接觸式單面探針裝遷 測試圖案化電極的開路及短路之儀器的例子之圖式；、 圖10A至圖i〇c係顯示由用以使用根據本發明的非接 觸式單面探針裝置測試圖案化電極的開路及短路之儀器測 量的波型之圖式；及 ° “ 5151-8989-PF;Ahddub 20

圖11 置測試圖索 式。 係顯示使用根據本發明的非接觸式單面探針裝 化電極的開路及短路 儀盗的另一例子之圖

【主要元件符號說明】 10〜平板顯示裝置； 2 0〜探針方塊； 40~非接觸式單面探針裝 44~非接觸探針電極； 46*•感測器； 60〜鍵輸入區段； 421〜AC電流源； 44卜激發器電極； 443〜第一激發器電極； 445~第一感測器電極； 1 5〜圖案化電極； 3 0〜針式探針； 置’ 42〜電力饋送區段； 45~寄生電容器； 50〜訊號處理區段； 7 〇〜顯示區段； 422~AC電壓源； 442〜感測器電極； 444〜第二激發器電極； 446〜第二感測器電極。

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Claims (1)

1345060 . · 第090125197號中文申請專利範圍修正本 修正日期：100.1.10 十、申請專利範圍： 1·-種用以在使用非接觸式單面探針裝置掃晦圖案化 電極時測試形成在面板上的複數圖案化電極的開路及短路 的儀器’該儀器包括： 、，非接觸式單面探針裝置’其通過—非接觸探針電極饋 送AC電力至各圖案化電極的—端並且根據圖案^_ 近由周圍地面形成的寄生電容器的電容變化測量非接觸探 針電極的電性變化值； 訊號處理區段，其經由由非接觸式單面探針裝置測量 的電性變化值決定開路或短路。 2.如申μ專利圍第】項的—種用以在使用非接觸式 單面探針裝置掃晦圖案化電極時測試形成在面板上的複數 圖案化電極的開路及短路的儀器，其中，非接觸式單面探 針裝置包括： 非接觸探針電極，其以非接觸狀態饋送電力至一圖案 化電極並感測電性變化值； 一電力饋送區段，其施加AC電力至非接觸探針電極； 及 感測器’其測量非接觸探針電極的電性變化值。 單二:=利範圍第2項的一種用以在使用非接觸式 ^ 晦圖案化電極時測試形成在面板上的複數 =化電極的開路及短路的儀器，其中，電力饋送區段包 括用以施加A C雷、士 认A广 化。 机的AC電流源，且感测器測量電壓的變 5151-8989-PF2 22 LfUU β專利範圍第3項的—種用以在使用非接觸式 1裝置掃瞄圖案化電極時測試形成在面板上的複數 =化電極的開路及短路的儀器，其中，非接觸探針電極 一激發器電極 AC電流，·及 其被連接至電力饋送區段，用以施加 ，用以感測電壓的 感測器電極，其被連接至感測器 變化。 m 如中⑼專利範圍第3項的—種用以在使用非接觸式 單面探針裝置掃晦圓案化電極時測試形成在面板上的複數 _化電極的開路及短路的儀器，其中，非接觸探針的激 發器電極及感測器電極係彼此被整體地形成。 〇 6.如申请專利範圍第2項的一種用以在使用非接觸式 單面探針裝置掃_案化電極時測試Μ在面板上的複數 圖案化電極的開路及短路的儀器，其中，電力讀送區域包 括用以施加AC電壓的AC電壓源，且感測器測量電壓的變 化。 〇 7.如申請專利範圍第6項的一種用以在使用非接觸式 單面探針裝置掃瞄圖案化電極時測試形成在面板上的複數 圖案化電極的開路及短路的儀器，其中，非接觸探針電極 包括： 一激發器電極，其被連接至電力饋送區段，用以施加 AC電壓；及 一感測器電極，其被連接至感測器，用以感測電壓的 5151-8989-PF2 23 1345060 變化。 8.如申請專利範圍第2項的— 單面探針裝置掃_化電極時測試形成 :案化電極的開路及短路的儀器，其中，電力饋送= 用心加AC電屋的一 Ac電壓源，且感測器測量在 麼源及非接觸探針電極之間流動的電流的變化。 9.如申請專利範圍第 早面探針裝置掃猫圖案化 圖案化電極的開路及短路 包括：

2項的一種用以在使用非接觸式 電極時測試形成在面板上的複數 的儀器，其中，非接觸探針電極 第一及第二激發器電極，其饋送AC電壓；及 第一及第二感測器電極，其測量電壓的變化， 、10·如巾請專利範圍第9項的_種用以在使用非接觸 式單面探針裝置掃猫圖案化電極時測試形成在面板上的複

數圖案化電極的開路及短路的儀器，纟中，第一激發器電 極及第-感測器電極被排列在一線性軸上，第二激發器電 極及第二感測器電極被排列在一線性軸上，第一及第二激 發器電極被平行排列，且第—及第二感測器電極被平行排 列。 11.如申明專利範圍第9項的一種用以在使用非接觸 式單面探針裝置掃關案化f極時職形成在面板上的複 數圖案化電極的開路及短路的儀器H第—激發器電 極及第一感測器電極被排列在一線性軸上，第二激發器電 極及第二感測器電極被排列在一線性軸上，卫第一及第二 5151-8989-PF2 24 uou :=:極與第—及第二感測器電極被分別排列以對角地 /佶田申明專利範圍第9 i 11項中任-項的-種用以 在面姑非接觸式單面探針裝置掃睡圖案化電極時測試形成 上的複數圖案化電極的開路及短路的儀器，其令， 電力饋送區域分則θ 1 θ i 八 』饋送具有相同的振幅與180度相反的相 電塵至第一及第二激發器電極。 式單©ΤΙ專利範圍第9項的—種用以在使用非接觸 數圖宰^裝置掃聪圖案化電極時測試形成在面板上的複 J 電極的開路及短路的儀器，其中，感測器測量在 及第一感測器電極測量的電壓間的差動電壓。 ㈣I4·—種使用非接觸式單面探針裝置測試圖案化電極 一：卩紐路的方法，該非接觸式單面探針裝置，包括： ¥接觸探針電極’其以非接觸狀態饋送電力至一圖案化 ^並感測—電性變化值；—電力饋送區段，其施加AC電 搞至非接觸探針電極’·及-感測器，其測量非接觸探針電 極的電性變化值；該方法包括： ^ 將非接觸式單面探針裝置排列在被形成於面板上的圖 案化電極的兩端，通過非接觸探針電極施加不同的頻率至 圖案化電極’使用非接觸探針電極測量電性變化值，並測 试圖案化電極的開路及短路。 、 15. -種使用非接觸式單面探針裝置測試圖案化電極 二開路及短路的方法，該非接觸式單面探針裝置，包括· 一非接觸探針電極’其以非接觸狀態饋送電力至一圓案化 5151-8989-PF2 25 1345060 電極並感測一電性變化值；一電力饋送區段，其施加Ac電 力至非接觸探針電極；及—感測器’其測量非接觸探 極的電性變化值；該方法包括： =緣式單面探針裝置㈣在被形成於面板上 案化電極的兩端，施加相 同的頻率被施加至彼此分開化電極，使得相 針電極測量電性變化值，並非接觸探 闺茶化電極的開路及短路。

5151-8989-PF2 26 I345Q60 第090125197號中文圖式修正頁修正日期MOO.UO

圖3 I345Q60 li 096125197號中文圖式修正頁 修正日期：100.1.10

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