KR20080098088A - 비접촉 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 패턴전극의 단선및 단락 검사장치 및 그 방법 - Google Patents

비접촉 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 패턴전극의 단선및 단락 검사장치 및 그 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20080098088A
KR20080098088A KR1020070043313A KR20070043313A KR20080098088A KR 20080098088 A KR20080098088 A KR 20080098088A KR 1020070043313 A KR1020070043313 A KR 1020070043313A KR 20070043313 A KR20070043313 A KR 20070043313A KR 20080098088 A KR20080098088 A KR 20080098088A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
electrode
contact
probe
pattern
voltage
Prior art date
Application number
KR1020070043313A
Other languages
English (en)
Inventor
은탁
김성진
이동준
박종인
조우철
Original Assignee
마이크로 인스펙션 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 마이크로 인스펙션 주식회사 filed Critical 마이크로 인스펙션 주식회사
Priority to KR1020070043313A priority Critical patent/KR20080098088A/ko
Publication of KR20080098088A publication Critical patent/KR20080098088A/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/07—Non contact-making probes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R19/00—Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof
    • G01R19/12—Measuring rate of change
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2607—Circuits therefor
    • G01R31/2632—Circuits therefor for testing diodes
    • G01R31/2635—Testing light-emitting diodes, laser diodes or photodiodes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/50—Testing of electric apparatus, lines, cables or components for short-circuits, continuity, leakage current or incorrect line connections

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)

Abstract

본 발명은 비접촉 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치 및 그 방법에 관한 것으로써, 비접촉 탐침전극의 급전전극과 센서전극이 하나의 모듈로 구성된 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용하여 접지기판에 놓인 패턴전극의 일단에서 급전하고 센싱되는 전기적 변화값을 통해 한 번의 스캔으로 해당 패턴전극의 단선 및 단락을 검사할 수 있을 뿐만 아니라 비접촉 프로브를 통해 단선 및 단락을 검사함으로써 접촉불량이나 가압접촉에 의한 패턴전극의 손상을 방지할 뿐만 아니라 접촉방식에 비하여 프로브의 수명을 연장시킬 수 있는 이점이 있다.
비접촉, 싱글사이드 프로브, 급전전극, 센서전극, 단선, 단락, 전극검사, PCB검사, 접지기판

Description

비접촉 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치 및 그 방법{NON-CONTACT TYPE SINGLE SIDE PROBE AND INSPECTION APPARATUS AND METHOD FOR OPEN/SHORT TEST OF PATTERN ELECTRODES USED THEREOF}
도 1은 일반적인 패턴전극의 단선 및 단락 검사방식을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 제 1실시예에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브를 나타낸 구성도이다.
도 3은 본 발명의 제 2실시예에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브를 나타낸 구성도이다.
도 4는 본 발명의 제 3실시예에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브를 나타낸 구성도이다.
도 5는 본 발명의 제 4실시예에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브를 나타낸 구성도이다.
도 6은 본 발명의 제 5실시예에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브를 나타낸 구성도이다.
도 7은 본 발명의 제 6실시예에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브를 나타낸 구 성도이다.
도 8은 본 발명에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 단선 및 단락 검사장치를 나타낸 블록구성도이다.
도 9는 본 발명에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치의 검사 예시도이다.
도 10은 본 발명에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 단선 및 단락 검사장치에 의해 측정되는 파형을 나타낸 도면이다.
도 11은 본 발명에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치의 다른 검사 예시도이다.
- 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 -
15 : 패턴전극 40 : 비접촉 싱글사이드 프로브
42 : 급전부 44 : 비접촉 탐침전극
45 : 접지기판 46 : 감지부
50 : 신호처리부 60 : 키입력부
70 : 표시부 421 : 교류전류원
422 : 교류전압원 441 : 급전전극
443 : 제 1급전전극 444 : 제 2급전전극
442 : 센서전극 445 : 제 1센서전극
446 : 제 2센서전극
본 발명은 비접촉 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치 및 그 방법에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 비접촉 탐침전극의 급전전극과 센서전극이 하나의 모듈로 구성된 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용하여 접지기판에 놓인 패턴전극의 일단에서 급전하고 센싱되는 전기적 변화값을 통해 해당 패턴전극의 단선 및 단락을 검사할 수 있도록 한 비접촉 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치 및 그 방법에 관한 것이다.
일반적으로 데이터 전송선과 같은 다선케이블의 단선 및 단락을 검사하기 위해서는 다른 회로와 분리시킨 뒤 케이블 양단간의 저항을 측정하는 방법으로써 반드시 2인 이상의 작업원인이 필요하게 되며, 케이블의 전선 수가 많은 경우에는 전선번호를 잃어버려 반복 체크해야 하는 경우가 종종 발생되어 신뢰도가 떨어질 뿐만 아니라 작업시간이 많이 소요되는 등의 많은 문제점이 있다.
또한, LCD나 PDP 등과 같은 평판표시소자의 투명전극의 단선 및 단락을 검출하기 위해서는 도 1에 도시된 바와 같이 일일이 하나하나의 패턴전극(15)의 일단에서 전류을 인가한 후 해당 패턴전극(15)의 반대단에서 전압을 측정하여 패턴전극(15)의 단선 및 단락을 검사하거나, 현미경등으로 도선을 추적하여 단선 및 단락을 검출하도록 하였다.
따라서 하나의 패턴전극의 단선 및 단락을 측정하여 이상유무를 체크하기 위해서는 최소 2개 이상의 프로브가 필요하게 되어 많은 수의 프로브가 소요되어 원가상승의 원인이 되는 문제점이 있을 뿐만 아니라 패턴전극의 길이가 길어질 경우에는 서로 다른 위치에서 측정하기 위한 2사람 이상의 측정자가 필요하게 됨에 따라 많은 시간과 많은 인력이 필요한 문제점이 있다.
또한, 접촉식 프로브의 경우 패턴전극에 가압 접촉됨에 따라 접촉불량이 발생할 수 있을 뿐만 아니라 측정대상 패턴전극에 스크래치(scratch)가 발생하여 또 다른 불량요인이 발생되는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창작된 것으로서, 본 발명의 목적은 비접촉 탐침전극의 급전전극과 센서전극이 하나의 모듈로 구성된 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용하여 접지기판에 놓인 패턴전극의 일단에서 급전하고 센싱되는 전기적 변화값을 통해 해당 패턴전극의 단선 및 단락을 검사할 수 있도록 한 비접촉 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치 및 그 방법을 제공함에 있다.
또한, 본 발명의 목적은 비접촉 싱글사이드 프로브의 비접촉 탐침전극의 급전전극과 센서전극을 각각 쌍으로 구성하여, 한 쌍의 급전전극에는 위상이 반대인 전압을 인가하고 한 쌍의 센서전극간의 차전압을 이용함으로써 공간해상도와 잡음대신호비를 높일 수 있도록 한 비접촉 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 패턴전극 의 단선 및 단락 검사장치 및 그 방법을 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브는 접지상태를 유지하며 검사 대상 패턴전극을 놓기 위한 접지기판과, 접지기판에 놓인 검사 대상 패턴전극에 비접촉으로 급전하고 센싱하기 위한 비접촉 탐침전극과, 비접촉 탐침전극으로 교류전원을 급전하기 위한 급전부와, 비접촉 탐침전극에서의 전기적 변화값을 측정하기 위한 감지부로 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 급전부는 교류전류를 급전하기 위한 교류전류원으로 이루어지며, 감지부는 전압변화값을 측정하는 것을 특징으로 한다.
이때 비접촉 탐침전극은 급전부와 연결되어 교류전류를 급전하기 위한 급전전극과, 감지부와 연결되어 전압변화값을 감지하기 위한 센서전극으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 비접촉 탐침전극의 급전전극과 센서전극이 일체형으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 급전부는 교류전압을 급전하기 위한 교류전압원으로 이루어지며, 감지부는 전압변화값을 측정하는 것을 특징으로 한다.
이때 비접촉 탐침전극은 급전부와 연결되어 교류전압을 급전하기 위한 급전전극과, 감지부와 연결되어 전압변화값을 측정하기 위한 센서전극으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 급전부는 교류전압을 급전하기 위한 교류전압원으로 이루어지며, 감지부는 교류전압원과 비접촉 탐침전극 사이에 흐르는 전류변화값을 측정하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 비접촉 탐침전극은 교류전압을 급전하기 위한 제 1내지 제 2급전전극과, 전압변화값을 측정하기 하기 위한 제 1내지 제 2센서전극을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 제 1급전전극과 제 1센서전극 및 제 2급전전극과 제 2센서전극은 각각 패턴전극의 동일 선축상에 배치되며, 제 1내지 제 2급전전극 및 제 1내지 제 2센서전극은 각각 나란하게 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 제 1급전전극과 제 1센서전극 및 제 2급전전극과 제 2센서전극은 각각 패턴전극의 동일 선축상에 배치되며, 제 1내지 제 2급전전극 및 제 1내지 제 2센서전극은 각각 대각으로 대칭되게 배치되는 것을 특징으로 한다.
이때, 급전부는 제 1내지 제 2급전전극으로 각각 동일한 교류전압을 180ㅀ 위상으로 급전하는 것을 특징으로 한다.
또한, 감지부는 제 1내지 제 2센서전극에서 측정된 전압의 차전압값을 측정하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치는 패널상에 형성된 다수개의 패턴전극들을 스캔하면서 단선 및 단락을 검사하는 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치에 있어서, 접지상태를 유지하 며 패턴전극을 놓기 위한 접지기판과, 접지기판에 놓인 패턴전극의 일단에서 비접촉 탐침전극으로 교류전원을 입력하고 비접촉 탐침전극의 전기적 변화값을 측정하는 비접촉 싱글사이드 프로브와, 비접촉 싱글사이드 프로브에서 측정되는 전기적 변화값으로 단선 및 단락을 판단하는 신호처리부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
이때, 비접촉 싱글사이드 프로브는 접지상태를 유지하며 패턴전극을 놓기 위한 접지기판과, 접지기판에 놓인 패턴전극에 비접촉으로 급전하고 센싱하기 위한 비접촉 탐침전극과, 비접촉 탐침전극으로 교류전원을 급전하기 위한 급전부와, 비접촉 탐침전극에서의 전기적 변화값을 측정하기 위한 감지부로 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 급전부는 교류전류를 급전하기 위한 교류전류원으로 이루어지며, 감지부는 전압변화값을 측정하는 것을 특징으로 한다.
이때 비접촉 탐침전극은 급전부와 연결되어 교류전류를 급전하기 위한 급전전극과, 감지부와 연결되어 전압변화값을 측정하기 위한 센서전극으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 비접촉 탐침전극의 급전전극과 센서전극이 일체형으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 급전부는 교류전압을 급전하기 위한 교류전압원으로 이루어지며, 감지부는 전압변화값을 측정하는 것을 특징으로 한다.
이때 비접촉 탐침전극은 급전부와 연결되어 교류전압을 급전하기 위한 급전 전극과, 감지부와 연결되어 전압변화값을 감지하기 위한 센서전극으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 급전부는 교류전압을 급전하기 위한 교류전압원으로 이루어지며, 감지부는 교류전압원과 비접촉 탐침전극 사이에 흐르는 전류변화값을 측정하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 비접촉 탐침전극은 교류전압을 급전하기 위한 제 1내지 제 2급전전극과, 전압변화값을 측정하기 하기 위한 제 1내지 제 2센서전극을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 제 1급전전극과 제 1센서전극 및 제 2급전전극과 제 2센서전극은 각각 패턴전극의 동일 선축상에 배치되며, 제 1내지 제 2급전전극 및 제 1내지 제 2센서전극은 각각 나란하게 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 제 1급전전극과 제 1센서전극 및 제 2급전전극과 제 2센서전극은 각각 패턴전극의 동일 선축상에 배치되며, 제 1내지 제 2급전전극 및 제 1내지 제 2센서전극은 각각 대각으로 대칭되게 배치되는 것을 특징으로 한다.
이때, 급전부는 제 1내지 제 2급전전극으로 각각 동일한 교류전압을 180ㅀ 위상으로 급전하는 것을 특징으로 한다.
또한, 감지부는 제 1내지 제 2센서전극에서 측정된 전압의 차전압값을 측정하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 검사 방법은 접지기판을 구비하고 접지기판에 놓인 패널에 형성된 패턴전극의 일단에서 전기적 변화를 측정하는 비접촉 탐침전극의 급전전극과 센서전극이 하나의 모듈로 형성된 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치에 있어서, 패널에 형성된 패턴전극의 일단에서 비접촉 싱글사이드 프로브의 비접촉 탐침전극을 통해 교류전원을 인가하면서 비접촉 탐침전극을 통해 전기적 변화값을 측정하여 패턴전극의 단선과 단락을 검사하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 검사방법은 접지기판을 구비하고 접지기판에 놓인 패널에 형성된 패턴전극의 일단에서 전기적 변화를 측정하는 비접촉 탐침전극의 급전전극과 센서전극이 하나의 모듈로 형성된 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치에 있어서, 패널에 형성된 패턴전극의 양단에 각각 비접촉 싱글사이드 프로브를 위치하고 각각의 비접촉 탐침전극에 서로 다른 주파수를 인가하면서 각각의 비접촉 탐침전극을 통해 전기적 변화값을 측정하여 패턴전극의 단선과 단락을 검사하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 검사방법은 접지기판을 구비하고 접지기판에 놓인 패널에 형성된 패턴전극의 일단에서 전기적 변화를 측정하는 비접촉 탐침전극의 급전전극과 센서전극이 하나의 모듈로 형성된 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치에 있어서, 패널에 형성된 패턴전극의 양단에 각각 비접촉 싱글사이드 프로브를 위치하고 동일 주파수가 인가되는 각각의 비접촉 탐침전극을 서로 어긋나도록 스캔하면서 각각의 비접촉 탐침전극을 통해 전기적 변화값을 측정하여 패턴전극의 단선과 단락을 검사하는 것을 특징으로 한다.
이와 같이 이루어진 본 발명은 비접촉 탐침전극의 급전전극과 인접하게 센서전극이 배치되어 하나의 모듈로 형성된 비접촉 싱글사이드 프로브를 접지기판에 놓인 검사 대상물인 패턴전극의 일단에서 비접촉 탐침전극으로 교류전원을 인가한 후 비접촉 탐침전극을 통해 전기적 변화값을 측정하여 패턴전극의 단선과 단락을 판단함으로써 패턴전극의 일단에서만 스캔함으로써 단선과 단락을 모두 판단할 수 있으며, 비접촉 탐침전극의 급전전극과 센서전극을 각각 쌍으로 구성하여, 한 쌍의 급전전극에는 위상이 반대인 전압을 인가하고 한 쌍의 센서전극간의 차전압을 이용함으로써 날카로운 경계를 형성하여 연속해서 스캔할 때 인접 패턴전극간의 구분을 명확하게 함으로써 공간해상도를 높일 수 있으며, 커먼모드노이즈를 제거하는 효과로 잡음대신호비를 높일 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하며 종래 구성과 동일한 부분은 동일한 부호 및 명칭을 사용한다. 또한 본 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것은 아니고, 단지 예시로 제시된 것이며 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상 내에서 많은 변형이 가능할 것이 다.
도 2는 본 발명의 제 1실시예에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브를 나타낸 구성도이다.
여기에 도시된 바와 같이 본 실시예에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브(40)는 접지상태를 유지하며 검사 대상 패턴전극(15)을 놓기 위한 접지기판(45)과, 접지기판(45)에 놓인 검사 대상 패턴전극(15)에 비접촉으로 교류전류를 급전하기 위한 급전전극(441)과, 패턴전극(15)의 전압변화값을 감지하기 위한 센서전극(442)으로 이루어진 비접촉 탐침전극(44)과, 비접촉 탐침전극(44)의 급전전극(441)으로 교류전류를 급전하기 위한 교류전류원(421)과, 비접촉 탐침전극(44)의 센서전극(442)에서 감지되는 전압변화값을 측정하기 위한 감지부(46)로 이루어진다.
이때 비접촉 탐침전극(44)을 도 3에 도시된 바와 같이 급전전극(441)과 센서전극(442)이 일체형으로 형성할 수도 있다.
이와 같이 급전부(42)가 교류전류를 인가하기 위한 교류전류원(421)으로 이루어져 비접촉 탐침전극(44)으로 교류전류를 급전한 후 비접촉 탐침전극(44)에서 측정되는 전압변화값을 통해 패턴전극(15)의 단선과 단락을 판단할 수 있도록 한다.
도 4는 본 발명의 제 3실시예에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브를 나타낸 구성도이다.
여기에 도시된 바와 같이 본 실시예에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브(40)는 접지상태를 유지하며 검사 대상 패턴전극(15)을 놓기 위한 접지기판(45)과, 접지기판(45)에 놓인 검사 대상 패턴전극(15)에 비접촉으로 교류전압를 급전하기 위한 급전전극(441)과, 패턴전극(15)의 전압변화값을 감지하기 위한 센서전극(442)으로 이루어진 비접촉 탐침전극(44)과, 비접촉 탐침전극(44)의 급전전극(441)으로 교류전압를 급전하기 위한 교류전압원(422)과, 비접촉 탐침전극(44)의 센서전극(442)에서 감지되는 전압변화값을 측정하기 위한 감지부(46)로 이루어진다.
이와 같이 급전부(42)가 교류전압을 인가하기 위한 교류전압원(422)으로 이루어져 비접촉 탐침전극(44)으로 교류전압를 급전한 후 비접촉 탐침전극(44)에서 측정되는 전압변화값을 통해 패턴전극(15)의 단선과 단락을 판단할 수 있도록 한다.
도 5는 본 발명의 제 4실시예에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브를 나타낸 구성도이다.
여기에 도시된 바와 같이 본 실시예에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브(40)는 접지상태를 유지하며 검사 대상 패턴전극(15)을 놓기 위한 접지기판(45)과, 접지기판(45)에 놓인 검사 대상 패턴전극(15)에 비접촉으로 급전하고 센싱하기 위한 비접촉 탐침전극(44)과, 비접촉 탐침전극(44)으로 교류전압을 급전하기 위한 교류전압원(422)과, 교류전압원(422)과 비접촉 탐침전극(44) 사이에 흐르는 전류변화값을 측정하기 위한 감지부(46)로 이루어진다.
이와 같이 급전부(42)가 교류전압을 인가하기 위한 교류전압원(422)으로 이 루어져, 교류전압원(422)과 비접촉 탐침전극(44) 사이에 흐르는 전류변화값을 측정하여 패턴전극(15)의 단선과 단락을 판단할 수 있도록 한다.
도 6은 본 발명의 제 5실시예에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브를 나타낸 구성도이다.
여기에 도시된 바와 같이 본 실시예에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브(40)는 접지상태를 유지하며 검사 대상 패턴전극(15)을 놓기 위한 접지기판(45)과, 접지기판(45)에 놓인 검사 대상 패턴전극(15)에 비접촉으로 교류전원를 급전하기 위한 제 1내지 제 2급전전극(443)(444)과 패턴전극(15)의 전기적 변화값을 감지하기 위한 제 1내지 제 2센서전극(445)(446)으로 이루어진 비접촉 탐침전극(44)과, 제 1내지 제 2급전전극(443)(444)으로 각각 동일한 교류전압을 180ㅀ 위상으로 급전하는 교류전압원(422)과, 제 1내지 제 2센서전극(445)(446)에서 측정된 전압의 차전압값을 측정하는 감지부(46)로 이루어진다.
이때 제 1급전전극(443)과 제 1센서전극(445) 및 제 2급전전극(444)과 제 2센서전극(446)은 각각 패턴전극(15)의 동일 선축상에 배치되며, 제 1내지 제 2급전전극(443)(444) 및 제 1내지 제 2센서전극(445)(446)은 각각 나란하게 배치된다.
또한, 도 7에 도시된 바와 같이 제 1급전전극(443)과 제 1센서전극(445) 및 제 2급전전극(444)과 제 2센서전극(446)은 접지기판(45)에 놓인 각각 패턴전극(15)의 동일 선축상에 배치되며, 제 1내지 제 2급전전극(443)(444) 및 제 1내지 제 2센 서전극(445)(446)은 각각 대각으로 대칭되도록 배치할 수도 있다.
이와 같이 제 1내지 제 2급전전극(443)(444)을 통해 반대 위상의 교류전압을 인가하여 제 1내지 제 2급전전극(443)(444)간 위상 경계를 형성하고 제 1내지 제 2센서전극(445)(446)의 차전압을 측정함으로써 제 1내지 제 2급전전극(443)(444)사이와 제 1내지 제 2센서전극(445)(446)사이에 날카로운 경계를 형성하여 공간해상도를 높이고, 커먼모드노이즈를 제거하는 효과로 잡음대신호비를 높일 수 있다. 이러한 효과로 인접한 패턴전극(15)에서 전압변화를 명확하게 함으로써 미세한 패턴전극(15)에 대해 미세한 탐침효과를 통해 패턴전극(15)의 단선과 단락을 더 높은 공간해상도로 판단할 수 있도록 한다.
도 8은 본 발명에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치를 나타낸 블록구성도이다.
여기에 도시된 바와 같이 접지상태를 유지하며 패턴전극(15)을 놓기 위한 접지기판(45)과, 접지기판(45)에 놓인 패턴전극(15)의 일단에서 비접촉식으로 스캔하면서 패턴전극(15)에 급전전극(441)에 의해 교류전원을 인가하면서 급전전극(441)과 인접하게 설치된 센서전극(442)에 의해 전기적 변화값을 측정하는 비접촉 싱글사이드 프로브(40)와, 비접촉 싱글사이드 프로브(40)로부터 측정되는 전기적 변화값을 통해 단선 및 단락을 판단하는 신호처리부(50)와, 신호처리부(50)의 작동상태 및 비접촉 싱글사이드 프로브(40)에서 측정되는 전기적 변화값을 표시하기 위한 표시부(70)와, 신호처리부(50)의 작동상태를 선택하기 위한 키입력부(60)로 이루어진 다.
도 9는 본 발명에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치의 검사 예시도이다.
여기에 도시된 비접촉 싱글사이드 프로브(40)는 제 1내지 제 2급전전극(443)(444)과 제 1내지 제 2센서전극(445)(446)으로 이루어졌으며, 접지기판(45)에 놓인 패턴전극(15)의 일단에서 비접촉으로 스캔하면서 단선 및 단락을 검사하게 된다.
이때, 제 1내지 제 2급전전극(443)(444) 및 제 1내지 제 2센서전극(445)(446)은 각각 나란하게 배치되며 제 1급전전극(443)과 제 1센서전극(445) 및 제 2급전전극(444)과 제 2센서전극(446)은 동일 선축상에 각각 배치된다.
이와 같은 비접촉 싱글사이드 프로브(40)의 제 1급전전극(443)과 제 2급전전극(444)에 인가되는 교류전압원(422)은 1KHz이상 수십 KHz 미만의 200V내지 300V 이내의 전압이 사용된다.
만약, 교류전압원(422)으로써 1KHz 미만의 낮은 주파수를 사용할 경우에는 프로브(40)의 주행속도에 제한을 받기 때문에 현실적으로 어려우며, 수십 KHz 이상의 높은 주파수를 사용할 경우에는 패턴전극(15)간의 임피던스가 낮아져 검사 해상도를 해치는 문제가 발생한다.
또한, 1KHz 이상 수십 KHz 미만의 교류전압원(422)을 사용함에 따라 제 1내지 제 2급전전극(443)(444)과 제 1내지 제 2센서전극(445)(446)을 연결하는 선은 쉴드된 동축선(coaxial cable)이나 tri-axial cable을 사용하여 신호가 외부로 방출되는 것을 방지하도록 한다.
따라서, 접지기판(45)에 놓인 패턴전극(15)을 주행하는 비접촉 싱글사이드 프로브(40)의 제 1급전전극(443)에 교류전압을 인가하게 되면 교류전압의 크기에 상응하는 전하들이 패턴전극(15) 상에 대전되고 이를 제 1센서전극(445)에 의해 전기적 변화값을 측정하여 패턴전극(15)의 단선과 단락을 판단하게 된다.
그런데, 본 발명에서는 제 1내지 제 2센서전극(445)(446)을 사용하여 제 1내지 제 2센서전극(445)(446)에서 각각 측정된 전압의 차전압을 읽어 전압변화를 근거로 전극패턴(15)의 단선과 단락을 판단함에 따라 제 1내지 제 2센서전극(445)(446)의 차전압을 통해 급전되는 패턴전극(15)과 급전되지 않는 인접한 패턴전극(15)간의 경계가 확실하게 구분됨으로써 감도를 향상시킬 수 있어 단선과 단락 발생시 전압변화의 폭이 커져서 불량발생을 더욱 효과적으로 감지할 수 있게 된다.
한편, 제 1내지 제 2급전전극(443)(444)을 통해 각각 동일한 전압을 180ㅀ 위상으로 인접한 패턴전극(15)과 다른 위상의 전압을 인가함으로써 패턴전극(15)간 구분을 명확하게 하여 감도를 향상시킬 수도 있다.
이와 같은 패턴전극(15)을 스캔하면서 단선 및 단락에 따라 교류전압을 급전하고 측정되는 전압을 도 10에 도시하였다.
이때, (가)와 같이 정상적인 패턴전극(15)에 비접촉 싱글사이드 프로브(40) 에 의해 교류전압을 인가한 후 측정되는 전압값 VPP_N 이 정상값일 경우 (나)와 같이 패턴전극(15)이 단선된 경우에는 패턴전극(15)의 전체적인 면적이 작아지게 됨으로써 패턴전극(15) 주위의 접지기판(45)에 의해 생성되는 가상 커패시터의 정전용량이 작게 형성됨에 따라 같은 량의 전하가 좁은 면적에 형성되어 전압상승 효과가 발생하여 정상값보다 높은 VPP_O 값이 측정된다.
반면에, (다)와 같이 패턴전극(15)이 인접한 패턴전극(15)과 단락된 경우에는 패턴전극(15)의 전체적인 면적이 증가하게 됨으로써 패턴전극(15) 주위의 접지기판(45)에 의해 생성되는 가상 커패시터의 정전용량이 크게 형성됨에 따라 같은 량의 전하가 넓은 면적에 형성되어 전압하강 효과가 발생하여 정상값보다 낮은 VPP_S 값이 측정된다.
이와 같이 접지기판(45)에 놓인 패턴전극(15)의 일단에서 비접촉 싱글사이드 프로브(40)를 스캔하면서 교류전압을 인가한 후 측정되는 전압변화를 통해 정상적인 패턴전극(15)에서 측정된 전압값보다 높을 경우에는 단선된 것으로 판단하여 표시하고 낮을 경우에는 단락된 것으로 판단하여 표시하게 된다.
또한, 키입력부(60)를 통해 제어 명령을 입력하여 신호처리부(50)의 처리상태를 제어하게 된다.
한편, 패턴전극(15)의 일단에서만 비접촉 싱글사이드 프로브(40)를 통해 스캔하면서 전압변화를 측정할 때 단선이 발생한 위치가 반대단에 가까운 곳에서 발생하여 면적감소가 적어 전압상승 효과가 작게 나타날 경우 단선을 감지할 수 없는 문제점을 해결하기 위해 도 11에 도시된 바와 같이 접지기판(45)에 놓인 패턴전극(15)의 일단과 반대단에서 각각 비접촉 싱글사이드 프로브(40)를 동시에 스캔하면서 패턴전극(15)에 대한 단선 및 단락검사를 실시함으로써 검사의 정확도를 높일 수도 있다.
이때는 동일 패턴전극(15)에 다른 주파수를 사용하여 검사할 수도 있으며 동일 주파수를 사용하되 위치를 조금 어긋나도록 배치하여 동시에 다른 패턴전극(15)을 검사할 수도 있다.
상술한 바와 같이 본 발명은 급전전극과 센서전극이 하나의 모듈로 구성된 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용하여 접지기판에 놓인 패턴전극의 일단에서 급전하고 센싱되는 전기적 변화값을 통해 한 번의 스캔으로 해당 패턴전극의 단선 및 단락을 검사할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명은 비접촉 싱글사이드 프로브를 통해 패턴전극의 단선 및 단락을 검사함으로써 접촉불량이나 가압접촉에 의한 패턴전극의 손상을 방지할 뿐만 아니라 접촉방식에 비하여 프로브의 수명을 연장시킬 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명은 패턴전극의 일단에서 스캔함으로써 단선 및 단락을 검사함으로써 장치의 구성이 용이할 뿐만 아니라 직선이 아닌 패턴전극에 대해서도 동일한 패턴전극과의 비교를 통해 용이하게 검사할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명은 반대 위상을 갖는 한 쌍의 급전전극과 차전압을 이용하는 한 쌍의 센서전극을 통해서 검사감도를 높일 수 있는 이점이 있다.

Claims (28)

  1. 접지상태를 유지하며 검사 대상 패턴전극을 놓기 위한 접지기판과,
    상기 접지기판에 놓인 상기 검사 대상 패턴전극에 비접촉으로 급전하고 센싱하기 위한 비접촉 탐침전극과,
    상기 비접촉 탐침전극으로 교류전원을 급전하기 위한 급전부와,
    상기 비접촉 탐침전극에서의 전기적 변화값을 측정하기 위한 감지부
    를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 급전부는 교류전류를 급전하기 위한 교류전류원으로 이루어지며, 상기 감지부는 전압변화값을 측정하는 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 비접촉 탐침전극은
    상기 급전부와 연결되어 교류전류를 급전하기 위한 급전전극과,
    상기 감지부와 연결되어 전압변화값을 감지하기 위한 센서전극
    으로 이루어진 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브.
  4. 제 2항에 있어서, 상기 비접촉 탐침전극의 급전전극과 센서전극이 일체형으로 이루어진 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 급전부는 교류전압을 급전하기 위한 교류전압원으로 이루어지며, 상기 감지부는 전압변화값을 측정하는 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 비접촉 탐침전극은
    상기 급전부와 연결되어 교류전압을 급전하기 위한 급전전극과,
    상기 감지부와 연결되어 전압변화값을 측정하기 위한 센서전극
    으로 이루어진 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 급전부는 교류전압을 급전하기 위한 교류전압원으로 이루어지며, 상기 감지부는 상기 교류전압원과 상기 비접촉 탐침전극 사이에 흐르는 전류변화값을 측정하는 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브.
  8. 제 1항에 있어서, 상기 비접촉 탐침전극은
    교류전압을 급전하기 위한 제 1내지 제 2급전전극과,
    전압변화값을 측정하기 하기 위한 제 1내지 제 2센서전극
    을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브.
  9. 제 8항에 있어서, 상기 제 1급전전극과 제 1센서전극 및 상기 제 2급전전극과 제 2센서전극은 각각 상기 패턴전극의 동일 선축상에 배치되며, 상기 제 1내지 제 2급전전극 및 상기 제 1내지 제 2센서전극은 각각 나란하게 배치되는 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브.
  10. 제 8항에 있어서, 상기 제 1급전전극과 제 1센서전극 및 상기 제 2급전전극과 제 2센서전극은 각각 상기 패턴전극의 동일 선축상에 배치되며, 상기 제 1내지 제 2급전전극 및 상기 제 1내지 제 2센서전극은 각각 대각으로 대칭되게 배치되는 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브.
  11. 제 8항 내지 제 10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 급전부는 상기 제 1내지 제 2급전전극으로 각각 동일한 교류전압을 180ㅀ 위상으로 급전하는 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브.
  12. 제 8항에 있어서, 상기 감지부는 상기 제 1내지 제 2센서전극에서 측정된 전압의 차전압값을 측정하는 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브.
  13. 패널상에 형성된 다수개의 패턴전극들을 스캔하면서 단선 및 단락을 검사하는 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치에 있어서,
    접지상태를 유지하며 상기 패턴전극을 놓기 위한 접지기판과,
    상기 접지기판에 놓인 상기 패턴전극의 일단에서 비접촉 탐침전극으로 교류전원을 입력하고 비접촉 탐침전극의 전기적 변화값을 측정하는 비접촉 싱글사이드 프로브와,
    상기 비접촉 싱글사이드 프로브에서 측정되는 전기적 변화값으로 단선 및 단락을 판단하는 신호처리부
    를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치.
  14. 제 13항에 있어서, 상기 비접촉 싱글사이드 프로브는
    접지상태를 유지하며 상기 패턴전극을 놓기 위한 접지기판과,
    상기 접지기판에 놓인 상기 패턴전극에 비접촉으로 급전하고 센싱하기 위한 비접촉 탐침전극과,
    상기 비접촉 탐침전극으로 교류전원을 급전하기 위한 급전부와,
    상기 비접촉 탐침전극에서의 전기적 변화값을 측정하기 위한 감지부
    로 이루어진 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치.
  15. 제 14항에 있어서, 상기 급전부는 교류전류를 급전하기 위한 교류전류원으로 이루어지며, 상기 감지부는 전압변화값을 측정하는 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치.
  16. 제 15항에 있어서, 상기 비접촉 탐침전극은
    상기 급전부와 연결되어 교류전류를 급전하기 위한 급전전극과,
    상기 감지부와 연결되어 전압변화값을 감지하기 위한 센서전극
    으로 이루어진 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치.
  17. 제 15항에 있어서, 상기 비접촉 탐침전극의 급전전극과 센서전극이 일체형으로 이루어진 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치.
  18. 제 14항에 있어서, 상기 급전부는 교류전압을 급전하기 위한 교류전압원으로 이루어지며, 상기 감지부는 전압변화값을 측정하는 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치.
  19. 제 18항에 있어서, 상기 비접촉 탐침전극은
    상기 급전부와 연결되어 교류전압을 급전하기 위한 급전전극과,
    상기 감지부와 연결되어 전압변화값을 측정하기 위한 센서전극
    으로 이루어진 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치.
  20. 제 14항에 있어서, 상기 급전부는 교류전압을 급전하기 위한 교류전압원으로 이루어지며, 상기 감지부는 상기 교류전압원과 상기 비접촉 탐침전극 사이에 흐르는 전류변화값을 측정하는 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치.
  21. 제 14항에 있어서, 상기 비접촉 탐침전극은
    교류전압을 급전하기 위한 제 1내지 제 2급전전극과,
    전압변화값을 측정하기 하기 위한 제 1내지 제 2센서전극
    을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치.
  22. 제 21항에 있어서, 상기 제 1급전전극과 제 1센서전극 및 상기 제 2급전전극과 제 2센서전극은 각각 상기 패턴전극의 동일 선축상에 배치되며, 상기 제 1내지 제 2급전전극 및 상기 제 1내지 제 2센서전극은 각각 나란하게 배치되는 것을 특징으로 하는 하는 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치.
  23. 제 21항에 있어서, 상기 제 1급전전극과 제 1센서전극 및 상기 제 2급전전극 과 제 2센서전극은 각각 상기 패턴전극의 동일 선축상에 배치되며, 상기 제 1내지 제 2급전전극 및 상기 제 1내지 제 2센서전극은 각각 대각으로 대칭되게 배치되는 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치.
  24. 제 21항 내지 제 23항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 급전부는 상기 제 1내지 제 2급전전극으로 각각 동일한 교류전압을 180ㅀ 위상으로 급전하는 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치.
  25. 제 21항에 있어서, 상기 감지부는 상기 제 1내지 제 2센서전극에서 측정된 전압의 차전압값을 측정하는 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치.
  26. 접지기판을 구비하고 접지기판에 놓인 패널에 형성된 패턴전극의 일단에서 전기적 변화를 측정하는 비접촉 탐침전극의 급전전극과 센서전극이 하나의 모듈로 형성된 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치에 있어서,
    패널에 형성된 패턴전극의 일단에서 상기 비접촉 싱글사이드 프로브의 상기 비접촉 탐침전극을 통해 교류전원을 인가하면서 상기 비접촉 탐침전극을 통해 전기적 변화값을 측정하여 상기 패턴전극의 단선과 단락을 검사하는 것
    을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 검사방법.
  27. 접지기판을 구비하고 접지기판에 놓인 패널에 형성된 패턴전극의 일단에서 전기적 변화를 측정하는 비접촉 탐침전극의 급전전극과 센서전극이 하나의 모듈로 형성된 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치에 있어서,
    패널에 형성된 상기 패턴전극의 양단에 각각 상기 비접촉 싱글사이드 프로브를 위치하고 각각의 상기 비접촉 탐침전극에 서로 다른 주파수를 인가하면서 각각의 상기 비접촉 탐침전극을 통해 전기적 변화값을 측정하여 상기 패턴전극의 단선과 단락을 검사하는 것
    을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 검사방법.
  28. 접지기판을 구비하고 접지기판에 놓인 패널에 형성된 패턴전극의 일단에서 전기적 변화를 측정하는 비접촉 탐침전극의 급전전극과 센서전극이 하나의 모듈로 형성된 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치에 있어서,
    패널에 형성된 패턴전극의 양단에 각각 상기 비접촉 싱글사이드 프로브를 위치하고 동일 주파수가 인가되는 각각의 상기 비접촉 탐침전극을 서로 어긋나도록 스캔하면서 각각의 상기 비접촉 탐침전극을 통해 전기적 변화값을 측정하여 상기 패턴전극의 단선과 단락을 검사하는 것
    을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용한 패턴전극의 검사방법.
KR1020070043313A 2007-05-04 2007-05-04 비접촉 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 패턴전극의 단선및 단락 검사장치 및 그 방법 KR20080098088A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070043313A KR20080098088A (ko) 2007-05-04 2007-05-04 비접촉 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 패턴전극의 단선및 단락 검사장치 및 그 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070043313A KR20080098088A (ko) 2007-05-04 2007-05-04 비접촉 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 패턴전극의 단선및 단락 검사장치 및 그 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20080098088A true KR20080098088A (ko) 2008-11-07

Family

ID=40285676

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070043313A KR20080098088A (ko) 2007-05-04 2007-05-04 비접촉 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 패턴전극의 단선및 단락 검사장치 및 그 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20080098088A (ko)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101016627B1 (ko) * 2010-09-15 2011-02-23 박인호 고밀도 플렉시블 피씨비의 전기신호 검사장치
CN103033719A (zh) * 2011-09-30 2013-04-10 微探测株式会社 非接触型探测器
US8901577B2 (en) 2011-08-26 2014-12-02 Samsung Display Co., Ltd. Organic light-emitting display device and method of manufacturing the same
KR20150015156A (ko) * 2013-07-31 2015-02-10 주식회사 엘지화학 전기전도도 연속 측정 장치
KR20160064425A (ko) * 2014-11-28 2016-06-08 한국과학기술원 잉크 도포 장치 및 방법

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101016627B1 (ko) * 2010-09-15 2011-02-23 박인호 고밀도 플렉시블 피씨비의 전기신호 검사장치
US8901577B2 (en) 2011-08-26 2014-12-02 Samsung Display Co., Ltd. Organic light-emitting display device and method of manufacturing the same
CN103033719A (zh) * 2011-09-30 2013-04-10 微探测株式会社 非接触型探测器
KR20150015156A (ko) * 2013-07-31 2015-02-10 주식회사 엘지화학 전기전도도 연속 측정 장치
KR20160064425A (ko) * 2014-11-28 2016-06-08 한국과학기술원 잉크 도포 장치 및 방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100799161B1 (ko) 비접촉 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 패턴전극의 단선및 단락 검사장치 및 그 방법
KR100796171B1 (ko) 접촉식 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 도선의 단선 및단락 검사장치 및 그 방법
KR100599499B1 (ko) 기판검사 장치 및 기판검사 방법
KR101101848B1 (ko) 터치패널 검사장치
JP4889833B2 (ja) 静電容量式タッチパネルの検査装置、及び検査方法
TWI401452B (zh) Circuit pattern inspection device and inspection method
JP4562358B2 (ja) 導電パターン検査装置
JP2006200993A (ja) 回路パターン検査装置およびその方法
TWI474012B (zh) 導電圖案檢查裝置及檢查方法
KR20080098088A (ko) 비접촉 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 패턴전극의 단선및 단락 검사장치 및 그 방법
KR101233070B1 (ko) 비접촉 프로브
KR20070111330A (ko) 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법
WO2004057350A1 (ja) 回路パターン検査装置及びパターン検査方法
KR101039049B1 (ko) 비접촉 검사방식을 적용한 단선 및 단락 검출용 칩 스케일 패키지 기판 및 그 검사장치
TW200537112A (en) Circuit pattern testing apparatus and circuit pattern testing method
KR20130121400A (ko) 비접촉 저항 검사기
KR100948062B1 (ko) 비접촉 싱글사이드 프로브
JP5122512B2 (ja) 回路パターン検査装置
JP4856120B2 (ja) 導電パターン検査装置
KR20080092523A (ko) 접촉식 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 도선의 단선 및단락 검사장치 및 그 방법
KR101271439B1 (ko) 정전용량형 차동센서모듈 및 이를 이용한 디스플레이 패널의 검사장치
JP4369002B2 (ja) 回路基板検査装置
JP2013217841A (ja) 導電パターン検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination