KR101223930B1 - 접촉식 전극패턴 검사장치 - Google Patents

접촉식 전극패턴 검사장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101223930B1
KR101223930B1 KR1020120011917A KR20120011917A KR101223930B1 KR 101223930 B1 KR101223930 B1 KR 101223930B1 KR 1020120011917 A KR1020120011917 A KR 1020120011917A KR 20120011917 A KR20120011917 A KR 20120011917A KR 101223930 B1 KR101223930 B1 KR 101223930B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
electrode pattern
probe
sensor unit
contact
electrical signal
Prior art date
Application number
KR1020120011917A
Other languages
English (en)
Inventor
김철주
박지군
박준희
김진열
슈지 야마오카
Original Assignee
로체 시스템즈(주)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 로체 시스템즈(주) filed Critical 로체 시스템즈(주)
Priority to KR1020120011917A priority Critical patent/KR101223930B1/ko
Application granted granted Critical
Priority to PCT/KR2013/000906 priority patent/WO2013119014A1/ko
Priority to CN201380008145.XA priority patent/CN104105975B/zh
Publication of KR101223930B1 publication Critical patent/KR101223930B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2832—Specific tests of electronic circuits not provided for elsewhere
    • G01R31/2836—Fault-finding or characterising
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/282—Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2865—Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
    • G01R31/2867—Handlers or transport devices, e.g. loaders, carriers, trays
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/2872—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation
    • G01R31/2879—Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation related to electrical aspects, e.g. to voltage or current supply or stimuli or to electrical loads
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2887—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks involving moving the probe head or the IC under test; docking stations

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)

Abstract

고해상도 글래스 패널에 형성되는 전극패턴의 전기적 검사를 안정적이고 신속하게 수행할 수 있는 접촉식 전극패턴 검사장치가 개시된다. 상기 접촉식 전극패턴 검사장치는 글래스 패널의 전극패턴에 접촉되어 상기 전극패턴에 전기적 신호를 인가하는 제 1 프로브와, 상기 제 1 프로브로부터 인가되어 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 전극패턴의 액티브 에어리어의 오픈 및 쇼트여부와 위치를 검출할 수 있는 제 1 센서부와, 상기 글래스 패널의 전극패턴에 접촉되어 상기 전극패턴에 전기적 신호를 인가하는 제 2 프로브 및, 상기 제 2 프로브로부터 인가되어 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 상기 전극패턴의 팬 아웃 에어리어의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있는 제 2 센서부를 포함한다.

Description

접촉식 전극패턴 검사장치{CONTACT TYPE ELECTRODE PATTERN INSPECTION APPARATUS}
본 발명은 접촉식 전극패턴 검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평면 TV용 글래스(GLASS) 패널에 형성된 전극패턴의 전기적 검사, 즉 오픈(OPEN) 및 쇼트(SHORT)여부를 검사할 수 있는 스캔식 접촉식 전극패턴 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로 PDP, LED 등과 같은 평면 TV용 글래스 패널의 표면에는 데이터 라인과 게이트 라인으로 형성된 전극 패턴이 형성되어 있다.
통상, 42인치 PDP의 경우 전극패턴 하나의 선폭과 피치는 각각 50㎛ 및 300㎛인 반면, 선 길이는 1m에 달하기 때문에 전극패턴을 형성하는 공정에서 뿐만 아니라 그 후에 반복되는 가열처리와 같은 제조과정에서 선이 끊어지거나(Open) 인접한 선과 연결되는(Short) 경우가 빈번히 발생한다. 따라서, 형성된 전극패턴의 단락여부를 제조공정의 중간 중간에 검사하는 것이 완성품의 수율을 높이기 위해서는 필수적인 과정이 된다.
상기와 같은 전극패턴에 대한 전기적 특성을 검사하기 위해서는 통상 테스트 핀 블록이 사용되며, 이를 이용한 검사는 테스트 핀 블록에 구비된 다수개의 프로브를 전극패턴의 양단에 접속시켜 검사대상 전극 패턴 및 인접 패턴과의 도통 검사를 실시하여 전극패턴의 오픈 및 단락여부를 검사하는 접촉식 방식과, 일측은 전극패턴에 프로브를 접촉시켜 전원을 인가하고 타측은 프로브를 접촉시키지 않고 인가된 전원을 받아들이는 비접촉식 방식이 사용된다.
그러나, 상기와 같은 종래의 전극패턴 검사 장치는 전극패턴의 오픈 및 단락여부에 대해서는 검출할 수는 있으나 오픈 또는 단락된 전극패턴의 위치까지는 검출할 수 없다는 문제점이 있었다.
도 1을 참조하여 글래스 패널에 형성된 일반적인 전극패턴의 구조를 설명하면 다음과 같다.
도 1은 일반적인 글래스 패널에 형성된 전극패턴을 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 일반적인 전극패턴(200)은 프로브의 접촉을 위한 복수개의 패드부(210)와, 상기 패드부(210)와 연결되는 액티브 에어리어(220 : Active area)와, 상기 액티브 에어리어(220)와 연결되어 출력을 다른 곳으로 배분하는 팬 아웃 에어리어(230 : Fan out area)를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 액티브 에어리어(220)에 형성된 복수개의 전극패턴(200)은 서로 수평하게 형성되나 상기 팬 아웃 에어리어(230)에 형성된 전극패턴(200)은 출력을 다른 곳으로 배분하기 위하여 글래스 패널(20)의 끝단부 측으로 소정의 거리만큼 서로 이웃하는 전극패턴(200)의 간격이 점차적으로 줄어들도록 형성된 후, 다시 서로 이웃하는 전극패턴(200)이 서로 수평하게 형성된다.
상기와 같이 일반적인 글래스 패널(20)의 전극패턴(200)은 액티브 에어리어(220)와 팬 아웃 에어리어(230)로 구분되도록 형성됨으로써 일반적인 전극 패턴 검사장치를 사용하여 전극패턴(200)의 전기적 검사를 수행하기 위해서는 상기 액티브 에어리어(220)와 팬 아웃 에어리어(230)를 전기적 검사를 각각 별도로 수행해야만 하였다. 그리하여, 상기와 같은 종래의 전극패턴 검사장치는 전극패턴 검사시간이 오래 걸린다는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부와 더불어 오픈 및 쇼트 위치까지도 동시에 검출할 수 있는 접촉식 전극패턴 검사장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 전극패턴의 액티브 에어리어의 전기적 검사와 팬 아웃 에어리어의 전기적 검사를 동시에 수행할 수 있는 접촉식 전극패턴 검사장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 예시적인 일실시예에 따른 접촉식 전극패턴 검사장치는, 글래스 패널의 전극패턴에 접촉되어 상기 전극패턴에 전기적 신호를 인가하는 제 1 프로브와, 상기 제 1 프로브로부터 인가되어 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트여부와 위치를 검출할 수 있는 제 1 센서부와, 상기 글래스 패널의 전극패턴에 접촉되어 상기 전극패턴에 전기적 신호를 인가하는 제 2 프로브 및, 상기 제 2 프로브로부터 인가되어 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있는 제 2 센서부를 포함한다.
일예를 들면, 상기 액티브 에어리어 검출용 센서부는 다수개의 센서가 상기 전극패턴의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어, 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴의 위치별로 전달받아 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출함과 동시에 전극패턴의 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수도 있다.
일예를 들면, 상기 제 1 센서부는 상기 전극패턴을 따라 이동 가능하도록 설치된다.
일예를 들면, 상기 제 2 센서부는 스캔 방향과 수직한 방향으로 이동 가능하도록 설치된다.
일예를 들면, 상기 제 2 센서부는 어레이 센서에 의해 형성된다.
상술한 바와 같이 본 발명의 일실시예에 의한 접촉식 전극패턴 검사장치는, 한 번의 스캔작업으로 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부의 검출은 물론 액티브 에어리어에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 위치까지도 신속하고 정확하게 검출할 수 있도록 함으로써 전극패턴 검사시간을 단축하여 글래스 패널의 생산효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
이에 더하여, 본 발명의 일실시예에 의한 접촉식 전극패턴 검사장치는, 한 번의 스캔작업으로 전극패턴의 액티브 에어리어의 전기적 검사와 팬 아웃 에어리어의 전기적 검사를 동시에 수행할 수 있도록 하여 전극패턴 검사시간을 더욱 단축하여 글래스 패널의 생산효율을 한층 더 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 일반적인 글래스 패널에 형성된 전극패턴을 도시한 도면
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 전극패턴 검사장치를 설명하기 위한 개략도
도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 검사장치에 의해 전극패턴의 전기적 검사를 수행하는 일예를 도시한 도면
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제 1, 제 2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제 1 구성 요소는 제 2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제 2 구성 요소도 제 1 구성 요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다.
일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 전극패턴 검사장치를 설명하기 위한 개략도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 접촉식 전극패턴 검사장치(100)는 이동블록(110), 제 1 프로브(120), 제 1 센서부(130), 제 2 프로브(140), 제 2 센서부(150)를 포함한다.
상기 이동블록(110)은 글래스 패널(20 : 도 3참조)의 상부에 위치할 수 있도록 설치된다. 여기서, 상기 이동블록(110)은 3축 방향으로 이동 가능한 3축 이동수단에 설치될 수 있다. 상기 이동블록(110)을 3축 방향으로 이동시킬 수 있는 3축 이동수단은 전극패턴 검사장치에 일반적으로 적용되는 것으로서 설명의 편의를 위하여 도면과 상세한 설명에서 그 구성에 대한 도식과 설명은 생략한다.
상기 제 1 프로브(120)는 상기 글래스 패널(20)의 전극패턴에 접촉되어 상기 전극패턴(200)에 전기적 신호를 인가할 수 있도록 상기 이동블록(110)에 설치된다. 상기 제 1 프로브로(120)는 예를 들면, 상기 글래스 패널(20)의 전극패턴(200)에 직접적으로 접촉되어 상기 전극패턴(200)에 전기적 신호를 직접적으로 인가할 수 있는 접촉 방식의 프로브를 사용할 수 있다. 상기 제 1 프로브(120)는 글래스 패널(20)의 전극패턴(200)과 접촉되어 상기 전극패턴(200)에 전기적 신호를 인가한다. 여기서, 상기 제 1 프로브(120)는 상기 이동블록(110)과 연동되어 이동될 수 있도록 상술한 바와 같이 상기 이동블록(110)에 직접적으로 설치되는 것이 바람직하나, 이와 다르게, 상기 제 1 프로브(120)는 상기 이동블록(110) 일측 옆에 3축 방향으로 이동가능하게 설치된 테스트 핀 블록(도시되지 않음)에 설치될 수도 있다. 예컨대, 상기 제 1 프로브(120)는 상기 테스트 핀 블록 또는 상기 이동블록(110)에 와이어 본딩 방식에 의해 부착될 수 있다. 또한, 상기 제 1 프로브(120)는 상기 테스트 핀 블록 또는 상기 이동블록(110)에 다수개의 고정부재에 의해 고정될 수도 있다.
상기 제 1 센서부(130)는 상기 제 1 프로브(120)로부터 인가되어 상기 전극패턴(200)을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 상기 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있다. 상기 제 1 센서부(130)는 상기 전극패턴(200) 따라 이동 가능하도록 이동수단(131)에 의해 상기 이동블록(110)에 설치될 수 있다. 상기 제 1 센서부(130)를 상기 전극패턴(200)을 따라 이동시킬 수 있는 이동수단(131)은 통상적인 기계장치에 일반적으로 적용되는 것으로서 설명의 편의를 위하여 그 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 한편, 상기 제 1 센서부(130)는 다수개의 센서가 상기 전극패턴(200 : 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴)의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성된다. 그리하여, 상기 제 1 센서부(130)는 상기 전극패턴(200)을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴(200)의 위치별로 전달받아 상기 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출함은 물론 상기 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있다.
상기 제 1 센서부(130)는 다수개의 센서가 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 상기 전극패턴(200)의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성됨으로써 상기 전극패턴(200)을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴(200)의 위치별로 전달받을 수 있다. 그러므로, 본 발명의 일실시예에 의한 접촉식 전극패턴 검사장치는 한 번의 검출 작업만으로 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부의 검출과 더불어 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 위치까지도 신속하고 정확하게 검출할 수 있다. 예를 들면, 상기 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴(200)이 쇼트 되었을 경우에는 상기 전극패턴(200)의 쇼트된 위치에서부터는 더 이상 전기적 신호가 전극패턴(200)을 따라 인가되지 않는다. 그러므로, 상기 제 1 프로브(120)가 접촉된 전극패턴(200)에서부터 상기 전극패턴(200)의 쇼트되기 전의 위치까지 구비된 센서에서는 전기적 신호를 감지할 수 있으나 쇼트된 위치에 구비된 센서에서부터는 전기적 신호가 감지되지 않는다. 이에 따라 처음으로 전기적 신호가 감지되지 않은 센서가 위치한 전극패턴(200)의 위치가 쇼트된 부분으로 검출되어 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트된 위치까지도 신속하고 정확하게 검출할 수 있도록 한다.
상기 제 2 프로브(140)는 상기 글래스 패널(20)의 전극패턴(200)에 접촉되어 상기 전극패턴(200)에 전기적 신호를 인가할 수 있도록 상기 이동블록(110)에 설치된다. 상기 제 2 프로브로(140)는 상기 제 1 프로브(120)와 마찬가지로 상기 글래스 패널(20)의 전극패턴(200)에 직접적으로 접촉되어 상기 전극패턴(200)에 전기적 신호를 직접적으로 인가할 수 있는 접촉 방식의 프로브를 사용할 수 있다. 상기 제 2 프로브(140)는 글래스 패널(20)의 전극패턴(200)과 접촉되어 상기 전극패턴(200)에 전기적 신호를 인가한다. 여기서, 상기 제 2 프로브(140)는 상기 이동블록(110)과 연동되어 이동될 수 있도록 상기 이동블록(110)에 직접적으로 설치되는 것이 바람직하나, 이와 다르게, 상기 제 2 프로브(140)는 상기 이동블록(110) 일측 옆에 3축 방향으로 이동가능하게 설치된 테스트 핀 블록(도시되지 않음)에 설치될 수도 있다. 예컨대, 상기 제 2 프로브(140)는 상기 테스트 핀 블록 또는 상기 이동블록에 와이어 본딩 방식에 의해 부착될 수 있다. 또한, 상기 제 2 프로브(140)는 상기 테스트 핀 블록 또는 상기 이동블록(110)에 다수개의 고정부재에 의해 고정될 수도 있다.
상기 제 2 센서부(150)는 상기 제 2 프로브(140)로부터 인가되어 상기 전극패턴(200)을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 팬 아웃 에어리어(230) 내에 형성된 상기 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있다. 상기 제 2 센서부(150)는 본 발명의 일실시예에 의한 접촉식 전극패턴 검사장치의 스캔 방향과 수직한 방향으로 이동 가능하도록 이동수단(151)에 의해 상기 이동블록(110)에 설치될 수 있다. 여기서, 상기 제 2 센서부(150)를 상기 스캔 방향과 수직한 방향으로 이동시킬 수 있는 이동수단(151)은 상기 제 1 센서부(130)를 전극패턴(200)을 따라 이동시킬 수 있는 이동수단(131)과 마찬가지로 통상적인 기계장치에 일반적으로 적용되는 것으로서 설명의 편의를 위하여 상세한 설명에서 그 구성에 대한 설명은 생략한다. 한편, 상기 제 2 센서부(150)는 다수개의 센서가 스캔 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성된다.
또한, 본 발명의 일실시예에 의한 접촉식 전극패턴 검사장치는, 도면에는 도시되지 않았지만 상기 제 1, 2 프로브(120, 140)의 일측에 위치하도록 카메라가 더 설치되어 상기 제 1, 2 프로브(120, 140)가 글래스 패널(20)에 형성된 전극패턴(200)에 제대로 접촉되었는지를 확인할 수도 있다.
도 2 및 도 3을 참조하여 본 발명의 일실시예에 의한 접촉식 전극패턴 검사장치를 사용하여 전극패턴의 오픈 및 쇼트 검사를 하는 과정과 작용 효과에 대하여 설명하면 다음과 같다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 검사장치에 의해 전극패턴의 전기적 검사를 수행하는 일예를 도시한 도면이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 의한 접촉식 전극패턴 검사장치를 사용하여 글래스 패널(20)에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 검사를 수행하기 위해서는 먼저, 이동블록(110)을 이동시켜 상기 이동블록(110)에 설치된 제 1, 2 프로브(120, 140)가 상기 전극패턴(200)에 접촉되도록 하여 상기 전극패턴(200)에 전기적 신호를 인가할 수 있도록 한다. 여기서, 상기 제 1 프로브(120)는 액티브 에어리어(220)에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 검사를 위한 전기적 신호를 상기 전극패턴(200)에 인가하며, 상기 제 2 프로브(140)는 팬 아웃 에어리어(230)에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 검사를 위한 전기적 신호를 상기 전극패턴(200)에 인가한다.
상기와 같이 제 1 프로브(120)에 의해 전극패턴(200)에 인가된 전기적 신호는 제 1 센서부(130)에 의해 비접촉식 방식으로 받아들여지게 됨으로써 액티브 에어리어(220)에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있도록 한다. 이때, 상기 제 1 센서부(120)는 상기 전극패턴(200)의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어 상기 제 1 프로브(120)에 의해 인가되어 상기 전극패턴(200)을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴(200)의 위치별로 전달받아 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 상기 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부의 검출과 동시에 상기 액티브 에어리어(220) 내에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있다. 그러므로, 상기 액티브 에어리어(220)에 형성된 상기 전극패턴(200)의 오픈 또는 쇼트 여부가 검출되었다 하더라도 상기 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 위치를 검출하기 위한 별도의 검사작업을 수행할 필요가 없으므로 전극패턴(200)의 전기적 검사시간을 단축시킬 수 있다.
이와 동시에, 상기 제 2 프로브(140)에 의해 전극패턴(200)에 인가된 전기적 신호는 제 2 센서부(150)에 의해 비접촉식 방식으로 받아들여져 팬 아웃 에어리어(230)에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있도록 한다.
따라서, 본 발명의 일실시예에 의한 접촉식 전극패턴 검사장치는 상기와 같은 상태로 이동블록(110)이 상기 액티브 에어리어(230)에 형성된 전극패턴(200)과 수직한 방향으로 이동하면서 액티브 에어리어(220)와 팬 아웃 에어리어(230)에 형성된 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 여부의 검출을 동시해 수행할 수 있을 뿐만 아니라, 상기 액티브 에어리어(220)에 형성된 상기 전극패턴(200)의 오픈 또는 쇼트 여부가 검출되었다 하더라도 상기 전극패턴(200)의 오픈 및 쇼트 위치를 검출하기 위한 별도의 검사작업을 수행할 필요가 없으므로 전극패턴(200)의 전기적 검사시간을 대폭 단축시킬 수 있도록 하여 글래스 패널(20)의 생산효율을 한층 더 향상시킬 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
(100) : 전극패턴 검사장치 (110) : 이동블록
(120) : 제 1 프로브 (130) : 제 1 센서부
(140) : 제 2 프로브 (150) : 제 2 센서부

Claims (5)

  1. 글래스 패널에 형성된 전극패턴의 전기적 검사를 수행하는 검사 장치에 있어서,
    상기 글래스 패널의 전극패턴에 접촉되어 상기 전극패턴에 전기적 신호를 인가하는 제 1 프로브;
    상기 제 1 프로브로부터 인가되어 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트여부와 위치를 검출할 수 있는 제 1 센서부;
    상기 글래스 패널의 전극패턴에 접촉되어 상기 전극패턴에 전기적 신호를 인가하는 제 2 프로브; 및
    상기 제 2 프로브로부터 인가되어 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 비접촉 방식으로 받아들여 팬 아웃 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출할 수 있는 제 2 센서부를 포함하는 접촉식 전극패턴 검사장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 센서부는,
    다수개의 센서가 상기 전극패턴의 길이 방향을 따라 배치된 어레이 센서에 의해 형성되어, 상기 전극패턴을 통해 전달되는 전기적 신호를 각각의 센서가 전극패턴의 위치별로 전달받아 액티브 에어리어 내에 형성된 전극패턴의 오픈 및 쇼트 여부를 검출함과 동시에 오픈 및 쇼트 위치까지도 검출할 수 있는 것을 특징으로 하는 접촉식 전극패턴 검사장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 센서부는,
    상기 전극패턴을 따라 이동 가능하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 접촉식 전극패턴 검사장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 센서부는,
    스캔 방향과 수직한 방향으로 이동 가능하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 접촉식 전극패턴 검사장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 센서부는 어레이 센서에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 접촉식 전극패턴 검사장치.
KR1020120011917A 2012-02-06 2012-02-06 접촉식 전극패턴 검사장치 KR101223930B1 (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120011917A KR101223930B1 (ko) 2012-02-06 2012-02-06 접촉식 전극패턴 검사장치
PCT/KR2013/000906 WO2013119014A1 (ko) 2012-02-06 2013-02-05 전극패턴 검사장치
CN201380008145.XA CN104105975B (zh) 2012-02-06 2013-02-05 电极图案测试装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120011917A KR101223930B1 (ko) 2012-02-06 2012-02-06 접촉식 전극패턴 검사장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101223930B1 true KR101223930B1 (ko) 2013-02-05

Family

ID=47898568

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120011917A KR101223930B1 (ko) 2012-02-06 2012-02-06 접촉식 전극패턴 검사장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101223930B1 (ko)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050064964A (ko) * 2003-12-24 2005-06-29 엘지전자 주식회사 평판 디스플레이 패널 전극 검사 장치 및 그 방법
KR20080008689A (ko) * 2006-07-20 2008-01-24 마이크로 인스펙션 주식회사 비접촉 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 패턴전극의 단선및 단락 검사장치 및 그 방법
KR20100028275A (ko) * 2008-09-04 2010-03-12 엘지전자 주식회사 평판 디스플레이의 전극라인 검사 장치 및 방법

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050064964A (ko) * 2003-12-24 2005-06-29 엘지전자 주식회사 평판 디스플레이 패널 전극 검사 장치 및 그 방법
KR20080008689A (ko) * 2006-07-20 2008-01-24 마이크로 인스펙션 주식회사 비접촉 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 패턴전극의 단선및 단락 검사장치 및 그 방법
KR20100028275A (ko) * 2008-09-04 2010-03-12 엘지전자 주식회사 평판 디스플레이의 전극라인 검사 장치 및 방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101421051B1 (ko) 반도체 검사장치
WO2008056627A1 (fr) Carte de sonde permettant d'inspecter un capteur d'image à l'état solide
KR102081815B1 (ko) Tft 패널 테스트 방법 및 장치
TWI474012B (zh) 導電圖案檢查裝置及檢查方法
TW202206833A (zh) 晶圓檢測系統及其晶圓檢測設備
WO2018171187A1 (zh) 面板测试装置
CN203350556U (zh) 一种阵列基板母板、阵列基板引线检测装置
KR101259350B1 (ko) Ｔ형 센서를 가지는 전극패턴 검사장치
TWI427302B (zh) 電路圖案檢查裝置
TW201514520A (zh) 電性檢查裝置
KR101223930B1 (ko) 접촉식 전극패턴 검사장치
CN104105975B (zh) 电极图案测试装置
KR101300465B1 (ko) 비접촉식 전극패턴 검사장치
KR101380375B1 (ko) 평판 디스플레이 패널 검사용 프로브장치
KR101823317B1 (ko) 패널의 배선패턴 검사장치 및 배선패턴 검사방법
KR101316537B1 (ko) 비접촉식 어레이형 전극패턴 검사장치
US20150084659A1 (en) Contact arrangements and methods for detecting incorrect mechanical contacting of contact structures
JP2017084958A (ja) 半導体装置の評価装置及び評価方法
KR102292880B1 (ko) 경사진 전도성 접점을 갖는 복수의 피측정 유닛에 적용되는 프로브 모듈
KR20200004137A (ko) 온도센서의 검사장치
KR101312079B1 (ko) 프로브 유니트 조립체 및 이를 이용한 평판 표시 장치의검사 방법
JP6058325B2 (ja) 基板検査装置および基板検査方法
JP5146109B2 (ja) 検査装置
KR20160090415A (ko) 표시판 검사 장치, 표시판 검사 필름 및 이를 이용한 표시판 검사 방법
KR101670482B1 (ko) 표시판 검사 장치, 구동 필름 및 이를 이용한 표시판 검사 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151208

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161208

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171221

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181218

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191219

Year of fee payment: 8