JP4562358B2 - 導電パターン検査装置 - Google Patents
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- 基板上に複数配設された導電パターンの状態を検査する導電パターン検査装置であって、
検査対象の導電パターンである対象パターンとその両側の導電パターンとを含む少なくとも3以上の導電パターンの両端と電気的に接続された一対の第1電極と、
前記対象パターンの両側の導電パターン上に配される一対の電極であって、両側の導電パターンにそれぞれ静電結合された一対の第2電極と、
前記一対の第1電極を介して導電パターンに第1周波数の交流信号を印加する第1印加手段と、
前記第1印加手段による信号印加と並行して前記一対の第2電極を介して導電パターンに第2周波数の交流信号を印加する第2印加手段と、
前記対象パターン上に設けられた電極であって、前記対象パターンに静電結合されたセンサ電極と、
前記センサ電極における周波数毎の電圧値を検出する電圧検出手段と、
検出された第1周波数の電圧値に基づいて断線の有無を、検出された第2周波数の電圧値に基づいて短絡の有無を、それぞれ検出する欠陥検出手段と、
を有することを特徴とする導電パターン検査装置。 - 請求項1に記載の導電パターン検査装置であって、
電圧検出手段は、センサ電極の電位を周波数で弁別して検出する弁別手段を有することを特徴とする導電パターン検査装置。 - 請求項1または2に記載の導電パターン検査装置であって、
第1印加手段と第2印加手段のうち少なくとも一方の電源は、中点アースされており、
センサ電極は、対象パターンの中心からずれた位置にあることを特徴とする導電パターン検出装置。 - 請求項1ないし3のいずれか1に記載の導電パターン検査装置であって、さらに、
断線または短絡が検出された導電パターンに沿ってセンサ電極を移動させる移動手段と、
移動における電圧値の変化から断線または短絡の位置を検出する位置検出手段と、
を有することを特徴とする導電パターン検査装置。 - 基板上に列状に配設された複数のゲートパターンと、
ゲートパターンに隣接して列状に配設された複数のCsパターンであって、その一端をCs用コモンバーで接続された複数のCsパターンと、
を検査する導電パターン検査装置であって、
検査対象のゲートパターンである対象ゲートパターンを含む少なくとも1以上のゲートパターンの両端と電気的に接続される一対のゲート用電極と、
前記一対のゲート用電極を介して前記対象ゲートパターンに第1周波数の交流信号を印加するゲート用印加手段と、
前記対象ゲートパターンに隣接する検査対象のCsパターンである対象Csパターンを含む少なくとも1以上のCsパターンの他端と静電結合されたCs用電極と、
前記ゲート用印加手段による信号印加と並行して、Cs用コモンバーと前記Cs用電極とを介して前記対象Csパターンに第2周波数の交流信号を印加するCs用印加手段と、
前記対象ゲートパターンまたは前記対象Csパターンと静電結合されたセンサ電極と、
一つのセンサ電極における第1周波数の電圧値および第2周波数の電圧値をそれぞれ弁別して検出する電圧値検出手段と、
検出された電圧値に基づいてゲートパターンおよびCsパターンの欠陥を検出する欠陥検出手段と、
を有することを特徴とする導電パターン検査装置。 - 請求項5に記載の導電パターン検査装置であって、さらに、
断線または短絡が検出された対象パターンに沿ってセンサ電極を移動させる移動手段と、
移動における電圧値の変化から断線または短絡の位置を検出する位置検出手段と、
を有することを特徴とする導電パターン検査装置。 - 請求項5または6に記載の導電パターン検査装置であって、
ゲート用印加手段およびCs用印加手段の電源は、中点アースされており、
センサ用電極は、対象パターンの中心位置からずれた位置にあることを特徴とする導電パターン検査装置。 - 基板上に列状に配設された複数のゲートパターンと、
ゲートパターンに隣接して列状に配設された複数のCsパターンであって、その一端をCs用コモンバーで接続された複数のCsパターンと、
を検査する導電パターン検査装置であって、
検査対象のゲートパターンである対象ゲートパターンを含む少なくとも1以上のゲートパターンの両端と電気的に接続される一対のゲート用電極と、
前記一対のゲート用電極を介して前記対象ゲートパターンに交流信号を印加するゲート用印加手段と、
前記対象ゲートパターンに隣接する検査対象のCsパターンである対象Csパターンを含む少なくとも1以上のCsパターンの他端と静電結合されたCs用電極と、
前記ゲート用印加手段による信号印加と並行して、Cs用コモンバーと前記Cs用電極とを介して前記対象Csパターンに交流信号を印加するCs用印加手段と、
前記対象ゲートパターンまたは前記対象Csパターンと静電結合された電極であって、前記ゲート用印加手段および前記Cs用印加手段の電源と接続されたセンサ電極と、
前記ゲート用印加手段と前記センサ電極との間に流れる電流値を検出する第一電流値検出手段と、
前記Cs用印加手段と前記センサ電極との間に流れる電流値を検出する第二電流値検出手段と、
前記第一電流値検出手段および前記第二電流値検出手段で検出された電流値に基づいてCsパターンおよびゲートパターンの欠陥を検出する欠陥検出手段と、
を有し、
前記センサ電極は、前記ゲート用印加手段およびCs用印加手段の電源の中点に接続され、前記対象ゲートパターンまたは前記対象Csパターンのほぼ中心にある、
ことを特徴とする導電パターン検査装置。 - 請求項5乃至8のいずれか1に記載の導電パターン検査装置であって、
一対のゲート用電極のうち、一方は、ゲート用コモンバーであることを特徴とする導電パターン検査装置。 - 請求項5乃至8のいずれか1に記載の導電パターン検査装置であって、
一対のゲート用電極のうち、少なくとも一方は、ゲートパターンと静電結合により接続されていることを特徴とする導電パターン検査装置。
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