KR100948062B1 - 비접촉 싱글사이드 프로브 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 비접촉 싱글사이드 프로브에 관한 것으로써, 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용하여 패턴전극의 일단에서 급전하고 센싱되는 전기적 변화값을 통해 해당 패턴전극의 단선 및 단락을 검사하는 장치에서 비접촉 싱글사이드 프로브의 급전전극과 센서전극을 각각 서로 다른 패턴전극에 배치함으로써 비접촉 싱글사이드 프로브의 크기를 줄이고 감도를 향상시킬 뿐만 아니라 단락 검출감도를 향상시킬 수 있다.
비접촉, 싱글사이드 프로브, 급전전극, 센서전극, 단선, 단락, 직각방향, 일렬배치
Description
본 발명은 비접촉 싱글사이드 프로브에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용하여 패턴전극의 단선 및 단락을 검사하는 장치에서 비접촉 싱글사이드 프로브의 크기를 줄이고 감도를 향상시킬 뿐만 아니라 단락 검출감도를 향상시킬 수 있도록 한 비접촉 싱글사이드 프로브에 관한 것이다.
일반적으로 데이터 전송선과 같은 다선케이블의 단선 및 단락을 검사하기 위해서는 다른 회로와 분리시킨 뒤 케이블 양단간의 저항을 측정하는 방법으로써 반드시 2인 이상의 작업원인이 필요하게 되며, 케이블의 전선 수가 많은 경우에는 전선번호를 잃어버려 반복 체크해야 하는 경우가 종종 발생되어 신뢰도가 떨어질 뿐만 아니라 작업시간이 많이 소요되는 등의 많은 문제점이 있다.
또한, LCD나 PDP 등과 같은 평판표시소자의 투명전극의 단선 및 단락을 검출하기 위해서는 도 1에 도시된 바와 같이 일일이 하나하나의 패턴전극(15)의 일단에서 전류을 인가한 후 해당 패턴전극(15)의 반대단에서 전압을 측정하여 패턴전 극(15)의 단선 및 단락을 검사하거나, 현미경등으로 도선을 추적하여 단선 및 단락을 검출하도록 하였다.
따라서 하나의 패턴전극의 단선 및 단락을 측정하여 이상유무를 체크하기 위해서는 최소 2개 이상의 프로브가 필요하게 되어 많은 수의 프로브가 소요되어 원가상승의 원인이 될 뿐만 아니라 패턴전극의 길이가 길어질 경우에는 서로 다른 위치에서 측정하기 위한 2사람 이상의 측정자가 필요하게 됨에 따라 많은 시간과 많은 인력이 필요하게 된다.
또한, 접촉식 프로브의 경우 패턴전극에 가압 접촉됨에 따라 접촉불량이 발생할 수 있을 뿐만 아니라 측정대상 패턴전극에 스크래치(scratch)가 발생하여 또 다른 불량요인이 발생된다.
따라서 본 출원인은 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용하여 패턴전극의 일단에서 패턴전극에 접촉하지 않은 상태에서 패턴전극의 단선 및 단락을 검사하는 검사장치에 관해 "비접촉 싱글사이드 프로브와 이를 이용한 패턴전극의 단선 및 단락 검사장치 및 그 방법"으로 2006년 7월 20일 특허출원(10-2006-0068231)하여 등록받은 바 있다.
위에서 설명한 기술은 본 발명이 속하는 기술분야의 배경기술을 의미하며, 종래기술을 의미하는 것은 아니다.
위에서 기재된 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용하여 전극패턴의 단선 및 단락을 검사함에 있어 보다 정확하고 빠른 검사를 위해서는 비접촉 싱글사이드 프로브에서 전기적 변화값을 측정하는 감도가 높아야 될 필요성이 있을 뿐만 아니라 동일한 감도를 갖는다고 하더라도 비접촉 싱글사이드 프로브의 크기가 작을 필요성이 있다.
본 발명은 상기와 같은 필요성에 의해 창작된 것으로서, 본 발명은 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용하여 패턴전극의 일단에서 급전하고 센싱되는 전기적 변화값을 통해 해당 패턴전극의 단선 및 단락을 검사하는 장치에서 비접촉 싱글사이드 프로브의 급전전극과 센서전극을 각각 서로 다른 패턴전극에 배치함으로써 비접촉 싱글사이드 프로브의 크기를 줄이고 감도를 향상시킬 뿐만 아니라 단락 검출감도를 향상시킬 수 있도록 한 비접촉 싱글사이드 프로브를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 비접촉 싱글사이드 프로브는 검사 대상 패턴전극의 일단에서 비접촉으로 급전하고 센싱하기 위한 비접촉 탐침전극과, 비접촉 탐침전극으로 교류전원을 급전하기 위한 급전부와, 비접촉 탐침전극에서의 전기적 변화값을 측정하기 위한 감지부를 포함하는 비접촉 싱글사이드 프로브에 있어서, 비접촉 탐침전극은 교류전류를 급전하기 위한 급전전 극과 전압변화값을 감지하기 위한 센서전극을 포함하되, 급전전극과 센서전극이 각각 서로 다른 패턴전극에 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 급전전극과 센서전극은 패턴전극의 길이방향에 대해 직각방향으로 일렬 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 측면에 따른 비접촉 싱글사이드 프로브는 검사 대상 패턴전극의 일단에서 비접촉으로 급전하고 센싱하기 위한 비접촉 탐침전극과, 비접촉 탐침전극으로 교류전원을 급전하기 위한 급전부와, 비접촉 탐침전극에서의 전기적 변화값을 측정하기 위한 감지부를 포함하는 비접촉 싱글사이드 프로브에 있어서, 비접촉 탐침전극은 교류전류를 급전하기 위한 급전전극과, 전압변화값을 감지하기 위한 제 1내지 제 2센서전극을 포함하되, 급전전극과 제 1내지 제 2센서전극이 각각 서로 다른 패턴전극에 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 급전전극과 제 1내지 제 2센서전극은 패턴전극의 길이방향에 대해 직각방향으로 일렬 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 급전전극과 제 1내지 제 2센서전극은 순차적으로 패턴전극의 길이방향에 대해 직각방향으로 일렬 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 제 1내지 제 2센서전극으로 전압변화값의 차전압값을 감지하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 측면에 따른 비접촉 싱글사이드 프로브는 검사 대상 패 턴전극의 일단에서 비접촉으로 급전하고 센싱하기 위한 비접촉 탐침전극과, 비접촉 탐침전극으로 교류전원을 급전하기 위한 급전부와, 비접촉 탐침전극에서의 전기적 변화값을 측정하기 위한 감지부를 포함하는 비접촉 싱글사이드 프로브에 있어서, 비접촉 탐침전극은 교류전류를 급전하기 위한 제 1내지 제 2급전전극과, 전압변화값을 감지하기 위한 제 1내지 제 2센서전극을 포함하되, 제 1내지 제 2급전전극과 제 1내지 제 2센서전극이 각각 서로 다른 패턴전극에 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 제 1내지 제 2급전전극과 제 1내지 제 2센서전극은 패턴전극의 길이방향에 대해 직각방향으로 일렬 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 제 1내지 제 2급전전극과 제 1내지 제 2센서전극은 제 1급전전극, 제 1센서전극, 제 2센서전극, 제 2급전전극이 순차적으로 패턴전극의 길이방향에 대해 직각방향으로 일렬 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 제 1내지 제 2급전전극으로 각각 동일한 교류전압을 180°위상으로 급전하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 제 1내지 제 2센서전극으로 전압변화값의 차전압값을 감지하는 것을 특징으로 한다.
상기한 바와 같이 본 발명은 비접촉 싱글사이드 프로브를 이용하여 패턴전극의 일단에서 급전하고 센싱되는 전기적 변화값을 통해 해당 패턴전극의 단선 및 단락을 검사하는 장치에서 비접촉 싱글사이드 프로브의 급전전극과 센서전극을 각각 서로 다른 패턴전극에 배치함으로써 비접촉 싱글사이드 프로브의 크기를 줄이고 감도를 향상시킬 뿐만 아니라 단락 검출감도를 향상시킬 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 비접촉 싱글사이드 프로브의 실시예를 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 2는 본 발명의 제 1실시예에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브를 나타낸 구성도이다.
여기에 도시된 바와 같이 제 1실시예에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브는 검사 대상 패턴전극(15)의 일단에서 비접촉으로 급전하고 센싱하기 위한 비접촉 탐침전극(40)과, 비접촉 탐침전극(40)으로 교류전원을 급전하기 위한 급전부(50)와, 비접촉 탐침전극(40)에서의 전기적 변화값을 측정하기 위한 감지부(60)를 포함한다.
이때 비접촉 탐침전극(40)은 교류전류를 급전하기 위한 급전전극(41)과 전압변화값을 감지하기 위한 센서전극(42)을 포함하며, 급전전극(41)과 센서전극(42) 은 각각 서로 다른 패턴전극(15)에 배치된다.
그리고, 급전전극(41)과 센서전극(42)은 패턴전극(15)의 길이방향에 대해 직각방향으로 일렬 배치된다.
따라서, 비접촉 싱글사이드 프로브의 급전부(50)를 통해 급전전극(41)에 교류전압을 급전한 후 센서전극(42)에서 측정되는 전압변화값을 통해 패턴전극(15)의 단선과 단락을 검사할 수 있도록 한다.
도 3은 본 발명의 제 2실시예에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브를 나타낸 구성도이다.
여기에 도시된 바와 같이 제 2실시예에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브는 검사 대상 패턴전극(15)의 일단에서 비접촉으로 급전하고 센싱하기 위한 비접촉 탐침전극(40)과, 비접촉 탐침전극(40)으로 교류전원을 급전하기 위한 급전부(50)와, 비접촉 탐침전극(40)에서의 전기적 변화값을 측정하기 위한 감지부(60)를 포함한다.
이때, 비접촉 탐침전극(40)은 교류전류를 급전하기 위한 급전전극(41)과, 전압변화값을 감지하기 위한 제 1내지 제 2센서전극(422)(424)을 포함하며, 급전전극(41)과 제 1내지 제 2센서전극(422)(424)이 각각 서로 다른 패턴전극(15)에 배치된다.
그리고, 급전전극(41)과 제 1내지 제 2센서전극(422)(424)은 순차적으로 패턴전극(15)의 길이방향에 대해 직각방향으로 일렬 배치된다.
따라서, 비접촉 싱글사이드 프로브의 급전부(50)를 통해 급전전극(41)에 교류전압을 급전한 후 제 1내지 제 2센서전극(422)(424)으로 전압변화값의 차전압값을 감지하여 패턴전극(15)의 단선과 단락을 검사할 수 있도록 한다.
도 4는 본 발명의 제 3실시예에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브를 나타낸 구성도이다.
여기에 도시된 바와 같이 제 3실시예에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브는 검사 대상 패턴전극(15)의 일단에서 비접촉으로 급전하고 센싱하기 위한 비접촉 탐침전극(40)과, 비접촉 탐침전극(40)으로 교류전원을 급전하기 위한 급전부(50)와, 비접촉 탐침전극(40)에서의 전기적 변화값을 측정하기 위한 감지부(60)를 포함한다.
이때, 비접촉 탐침전극(40)은 교류전류를 급전하기 위한 제 1내지 제 2급전전극(412)(414)과, 전압변화값을 감지하기 위한 제 1내지 제 2센서전극(422)(424)을 포함하며, 제 1내지 제 2급전전극(412)(414)과 제 1내지 제 2센서전극(422)(424)이 각각 서로 다른 패턴전극(15)에 배치된다.
그리고, 제 1내지 제 2급전전극(412)(414)과 제 1내지 제 2센서전극(422)(424)은 제 1급전전극(412), 제 1센서전극(422), 제 2센서전극(424), 제 2급전전극(414)이 순차적으로 패턴전극(15)의 길이방향에 대해 직각방향으로 일렬 배치된다.
따라서, 비접촉 싱글사이드 프로브의 급전부(50)를 통해 제 1내지 제 2급 전전극(412)(414)으로 각각 동일한 교류전압을 180°위상으로 급전한 후 제 1내지 제 2센서전극(422)(424)으로 전압변화값의 차전압값을 감지함으로써 날카로운 경계를 형성하여 연속해서 스캔할 때 인접 패턴전극(15)간의 구분을 명확하게 함으로써 공간해상도를 높여 패턴전극(15)의 단선과 단락을 검사할 수 있도록 한다.
이와 같은 비접촉 싱글사이드 프로브는 패턴전극(15)의 길이방향으로 형성되는 급전전극(41)과 센서전극(42)이 패턴전극(15)의 길이방향에 대해 직각방향으로 일렬 배치됨으로써 비접촉 탐침전극(40)의 전체적인 크기가 줄어들며, 서로 다른 패턴전극(15)에 급전전극(41)과 센서전극(42)이 배치됨으로써 패턴전극(10)간 단락 결함에 대한 감도를 향상시킬 수 있다.
또한, 패턴전극(15)의 길이방향으로 급전전극(41)과 센서전극(42)을 배치하는 경우와 대비하여 비접촉 탐침전극(40)의 전체적인 크기가 줄어들었지만 감도가 동일하게 됨에 따라 동일한 크기와 대비하여 감도를 향상시킬 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
도 1은 일반적인 패턴전극의 단선 및 단락 검사방식을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 제 1실시예에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브를 나타낸 구성도이다.
도 3은 본 발명의 제 2실시예에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브를 나타낸 구성도이다.
도 4는 본 발명의 제 3실시예에 의한 비접촉 싱글사이드 프로브를 나타낸 구성도이다.
- 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 -
15 : 패턴전극 40 : 비접촉 탐침전극
41 : 급전전극 42 : 센서전극
50 : 급전부 60 : 센서부
412 : 제 1급전전극 414 : 제 2급전전극
422 : 제 1센서전극 424 : 제 2센서전극
Claims (11)
- 검사 대상 패턴전극의 일단에서 비접촉으로 급전하고 센싱하기 위한 비접촉 탐침전극과, 상기 비접촉 탐침전극으로 교류전원을 급전하기 위한 급전부와, 상기 비접촉 탐침전극에서의 전기적 변화값을 측정하기 위한 감지부를 포함하는 비접촉 싱글사이드 프로브에 있어서,상기 비접촉 탐침전극은 교류전류를 급전하기 위한 급전전극과 전압변화값을 감지하기 위한 센서전극을 포함하되, 상기 급전전극과 상기 센서전극이 각각 서로 다른 패턴전극에 배치되는 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브.
- 제 1항에 있어서, 상기 급전전극과 상기 센서전극은 상기 패턴전극의 길이방향에 대해 직각방향으로 일렬 배치되는 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브.
- 검사 대상 패턴전극의 일단에서 비접촉으로 급전하고 센싱하기 위한 비접촉 탐침전극과, 상기 비접촉 탐침전극으로 교류전원을 급전하기 위한 급전부와, 상기 비접촉 탐침전극에서의 전기적 변화값을 측정하기 위한 감지부를 포함하는 비접촉 싱글사이드 프로브에 있어서,상기 비접촉 탐침전극은 교류전류를 급전하기 위한 급전전극과, 전압변화값을 감지하기 위한 제 1내지 제 2센서전극을 포함하되, 상기 급전전극과 상기 제 1내지 제 2센서전극이 각각 서로 다른 패턴전극에 배치되는 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브.
- 제 3항에 있어서, 상기 급전전극과 상기 제 1내지 제 2센서전극은 상기 패턴전극의 길이방향에 대해 직각방향으로 일렬 배치되는 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브.
- 제 3항에 있어서, 상기 급전전극과 상기 제 1내지 제 2센서전극은 순차적으로 상기 패턴전극의 길이방향에 대해 직각방향으로 일렬 배치되는 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브.
- 제 3항에 있어서, 상기 제 1내지 제 2센서전극으로 전압변화값의 차전압값을 감지하는 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브.
- 검사 대상 패턴전극의 일단에서 비접촉으로 급전하고 센싱하기 위한 비접촉 탐침전극과, 상기 비접촉 탐침전극으로 교류전원을 급전하기 위한 급전부와, 상기 비접촉 탐침전극에서의 전기적 변화값을 측정하기 위한 감지부를 포함하는 비접촉 싱글사이드 프로브에 있어서,상기 비접촉 탐침전극은 교류전류를 급전하기 위한 제 1내지 제 2급전전극과, 전압변화값을 감지하기 위한 제 1내지 제 2센서전극을 포함하되, 상기 제 1내지 제 2급전전극과 상기 제 1내지 제 2센서전극이 각각 서로 다른 패턴전극에 배치되는 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브.
- 제 7항에 있어서, 상기 제 1내지 제 2급전전극과 상기 제 1내지 제 2센서전극은 상기 패턴전극의 길이방향에 대해 직각방향으로 일렬 배치되는 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브.
- 제 7항에 있어서, 상기 제 1내지 제 2급전전극과 상기 제 1내지 제 2센서전극은 상기 제 1급전전극, 상기 제 1센서전극, 상기 제 2센서전극, 상기 제 2급전전극이 순차적으로 상기 패턴전극의 길이방향에 대해 직각방향으로 일렬 배치되는 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브.
- 제 7항에 있어서, 상기 제 1내지 제 2급전전극으로 각각 동일한 교류전압을 180°위상으로 급전하는 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브.
- 제 7항에 있어서, 상기 제 1내지 제 2센서전극으로 전압변화값의 차전압값을 감지하는 것을 특징으로 하는 비접촉 싱글사이드 프로브.
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