TWI247871B - Very low temperature refrigerator - Google Patents
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Description
1247871 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於極低溫冷凍機,特別係關於適宜使用在 低溫泵、超傳導磁鐵、極低溫測量裝置、簡易液化機等之 中,可以進行溫度調節的極低溫冷凍機。 【先前技術】 極低溫冷凍機,一般而言,具備:收容蓄冷材同時在 內部具有膨脹室的膨脹室冷凍機組、及收容壓縮機本體的 壓縮機組;前述冷凍機組,被安裝在必須冷卻的裝置或容 器等處。而且,藉由壓縮機組被壓縮成高壓的冷媒氣體, 送至冷凍機組,在此,該高壓的冷媒氣體藉由蓄冷材冷卻 後,使其膨脹而進一步冷卻,再使該低溫的冷媒氣體回到 壓縮機,而藉由反覆進行該冷凍循環而得到極低溫。 利用如此的冷凍機來進行溫度調節的情形,以往係利 用在冷凍機組內配置電熱器,加入熱負載來調節溫度。 然而,由於是在極低溫的環境下使用,電熱器的可靠 度低,反覆地發生絕緣不良或是由此所導致的漏電而緊急 停止等的情況。 又,作爲其他的方法,如日本特開2000-121192所述 ,考慮以變頻器控制壓縮機本體的旋轉數,調整氣體流量 ,來進行溫度調整。此種方法,以1台壓縮機組來運轉1 台冷凍機組的情況是有效的,但是在以1台或複數台壓縮 機組來運轉複數台的冷凍機組的情況,則會有無法進行各 (2) 1247871 個冷凍機組的溫度調整之問題點。 進而’在以1台或複數台壓縮機組來運轉複數台的冷 凍機組的情況,由於各冷凍機組啓動時的閥動定時(valve timing)仍然一樣,所以在各冷凍機組中流動的氣體流量發 生偏差(當吸氣定時(timing)重疊時,先被吸氣的冷凍機 組的流量大),而會有冷凍機組間的冷凍能力產生偏差的 問題點。 【發明內容】 本發明係爲了解決前述以往的問題點而開發出來,其 第1課題係藉由設在常溫部的溫度控制機構,作成可以調 節溫度。 本發明的第2課題係對於以1台或複數台的壓縮機組 來運轉複數台的冷凍機組之情況,消除冷凍機組之間的偏 差。 本發明的第3課題係更進一步地降低消耗電力。 本發明,針對極低溫冷凍機,藉由具備: 被設置在電源和管理冷凍機組的吸排氣循環時間之吸 排氣閥驅動用馬達之間,用來改變該吸排氣閥驅動用馬達 的頻率之手段; 檢測出冷凍機組的熱負載部之溫度的溫度感測器;及 對應該溫度感測器的輸出訊號,來控制用來改變前述 吸排氣閥驅動用馬達的頻率之手段的控制器,來解決前述 第1課題。 -5- (3) 1247871 又’在以1台或複數台壓縮機組來運轉複數台冷凍機 組的情況,利用構成使用前述手段的冷凍機組,來解決前 述第2課題。 又,本發明,針對一種極低溫冷凍機,藉由使用一種 壓縮機組,該壓縮機組具備: 被設置在電源和壓縮機組的壓縮機本體馬達之間,用 來改變該壓縮機本體馬達的頻率之手段; 被安裝在用來連接前述壓縮機本體的吐出口和冷凍機 組的冷媒供給口之高壓冷媒管中的高壓壓力感測器; 被安裝在用來連接前述壓縮機本體的吸入口和冷凍機 組的冷媒排出口之低壓冷媒管中的低壓壓力感測器;及 對應前述高壓壓力感測器和前述低壓壓力感測器的輸 出訊號,來控制用來改變前述壓縮機本體馬達的頻率之手 段的控制器; 且由複數台申請專利範圍第1項所述的冷凍機組、及 1台或複數台前述壓縮機組所構成,來解決前述第3課題 〇 又,本發明,針對一種極低溫冷凍機,藉由使用一種 壓縮機組,該壓縮機組具備: 被設置在電源和壓縮機組的壓縮機本體馬達之間,用 來改變該壓縮機本體馬達的頻率之手段; 被安裝在用來連接前述壓縮機本體的吐出口和冷凍機 組的冷媒供給口之高壓冷媒管、及用來連接前述壓縮機本 體的吸入口和冷凍機組的冷媒排出口之低壓冷媒管之間的 (4) 1247871 壓差壓力感測器;及 對應該壓差壓力感測器的輸出訊號,來控制用來改變 前述壓縮機本體馬達的頻率之手段的控制器; 且由複數台申請專利範圍第1項所述的冷凍機組、及 1台或複數台前述壓縮機組所構成,來解決前述第3課題 〇 又,本發明利用提供一種具備前述冷凍機組或極低溫 冷凍機的低溫泵,來解決前述第1課題,進而解決前述第 2、3課題。 又,本發明利用提供一種低溫泵,該低溫泵的特徵係 具備= 檢測低溫泵的低溫板的任意位置的溫度之溫度感測器 ;及 對應該溫度感測器的輸出,將用來改變管理冷凍機組 的吸排氣循環時間之吸排氣閥驅動用馬達的頻率之手段, 加以控制的控制器。藉以解決前述第1課題,進而解決前 述第2、3課題。 又,利用提供一種超傳導磁鐵,其特徵爲具備前述冷 凍機組或極低溫冷凍機的超傳導磁鐵,來解決前述第!課 題,進而解決前述第2、3課題。 又’本發明利用提供一種超傳導磁鐵,該超傳導磁鐵 的特徵係具備: 檢測超傳導磁鐵的任意位置的溫度之溫度感測器;及 對應該溫度感測器的輸出,將用來改變管理冷凍機組 (5) 1247871 的吸排氣循環時間之吸排氣閥驅動用馬達的頻率之手段, 加以控制的控制器。藉以解決前述第1課題,進而解決前 述第2、3課題。 又,利用提供一種其特徵爲具備前述冷凍機組或極低 溫冷凍機的極低溫測量裝置,來解決前述第1課題,進而 解決前述第2、3課題。 又,本發明利用提供一種極低溫測量裝置,其特徵爲 具備= 檢測極低溫測量裝置的任意位置的溫度之溫度感測器 ;及 羊寸應該溫度感測益的輸出’將用來改變管理冷凍機組 的吸排氣循環時間之吸排氣閥驅動用馬達的頻率之手段, 加以控制的控制器。藉以解決前述第1課題,進而解決前 述第2、3課題。 又’利用提供一種其特徵爲具備前述冷凍機組或極低 溫冷凍機的簡易液化機,來解決前述第1課題,進而解決 前述第2、3課題。 又,本發明利用提供一種簡易液化機,其特徵爲具備 檢測簡易液化機的任意位置的溫度之溫度感測器;及 對應該溫度感測器的輸出,將用來改變管理冷凍機組 的吸排氣循環時間之吸排氣閥驅動用馬達的頻率之手段, 加以控制的控制器。藉以解決前述第1課題,進而解決前 述第2、3課題。 -8- (6) 1247871 又’利用提供一種簡易液化機,其特徵爲具備: 簡易液化機的蓄液容器內的液面檢測手段;及 對應該液面檢測手段的輸出,將用來改變管理冷凍機 組的吸排氣循環時間之吸排氣閥驅動用馬達的頻率之手段 ,加以控制的控制器。藉以解決前述第1課題,進而解決 前述第2、3課題。 【實施方式】 (實施發明的最佳形態) 以下’參照圖面詳細地說明本發明的實施形態。 本發明的第1實施形態,如第1圖所示,係將本發明 應用在調整2段G-M ( Gifford . MacMahon )循環冷凍機 的冷凍機組1 0的1段低溫部1 1的溫度之情況,而具備: 被設置在電源2 0和管理冷凍機組1 〇的吸排氣循環時間之 吸排氣閥驅動用馬達1 4之間的變頻器22、檢測出冷凍機 組1 0的熱負載部亦即1段低溫部i i的溫度之溫度感測器 24、及對應該溫度感測器24的輸出而反饋控制前述變頻 器22的輸出頻率之控制器26。在圖中,符號12爲前述 冷凍機組1 0的2段低溫部。 在本實施形態中,變頻器22的輸出頻率,係對應由 溫度感測器24所檢測出來的1段低溫部1 1的溫度,而藉 由控制器26進行反饋控制,並藉由吸排氣閥驅動用馬達 1 4,調整冷凍機組1 〇的吸排氣的循環時間。因此,當i 段低溫部1 1的溫度比目標値低時,利用增加冷凍機的吸 -9 - 1247871 (7) 排氣時間的循環時間,能夠提高1段低溫部11的溫度。 相反的,當1段低溫部11的溫度比目標値高時’利用縮 短冷凍機的吸排氣時間的循環時間,能夠降低1段低溫部 1 1的溫度。 第2圖表示使負載由1 5 W變化成5 W、0W時的情況 之1段低溫部的溫度(稱爲1段溫度)的變化狀態。如以 往般地使冷凍機的旋轉數固定在72rpm的情況,1段溫度 ,如虛線所示,隨著負載的減少而從100.9降溫至65 K、 45K ;相對於此,藉由本發明,當使冷凍機的旋轉數在負 載爲 5K、0K的情況下,分別下降至42rpm、30rpm,則 如實線所示,能夠將1段溫度維持在大約爲1 00 K。 接著,說明本發明的第2實施形態。 本實施形態,如第3圖所示,係將本發明應用在以1 台壓縮機組30來運轉3台的2段G-Μ循環冷凍機的冷凍 機組l〇A、10B、10C的情況;在各冷凍機組10A、10B、 10C中,與第1實施形態同樣地,設有:變頻器22A、 22B、 22 C ;溫度感測J器24A、 24B、24C ;及控制J器26A 、26B 、 26C 。 在本實施形態中,各冷凍機組,由於能夠將吸排氣的 循環時間控制成可以使1段低溫部的溫度變成目標値,所 以能夠消除冷凍機組間的偏差。 接著,說明本發明的第3實施形態。 本實施形態,如第4圖所示,係將本發明應用在以1 台壓縮機組30來運轉3台的2段G-Μ循環冷凍機的冷凍 -10- (8) 1247871 機組10A、10B、10C的情況;在各冷凍機組10A、10B、 10C中,與第1實施形態同樣地,設有:變頻器22A、 22B、22C ;溫度感、Μ 器 24Α、24Β、24C ;及控帋[1 器 26Α 、26Β 、 26C 。 在本實施形態中,進而具備:被設置在電源20和壓 縮機組30之間的第2變頻器40 ;分別被配設在用來連結 壓縮機組30和冷凍機組10Α、10Β、10C的作動氣體配管 之高壓氣體配管3 2和低壓氣體配管3 4上的壓力感測器 42、44 ;及根據該壓力感測器42、44的輸出訊號,算出 高壓氣體和低壓氣體之間的壓差,而利用控制第2變頻器 40的輸出頻率,調整壓縮機的旋轉數,來調整壓差的第2 控制器46。 在本實施形態中,首先,冷凍機的冷凍能力,由於係 根據高壓氣體和低壓氣體的壓差來決定,所以藉由壓力感 測器4 2、4 4的輸出來將壓差控制在一定値。此時,熱負 載小的冷凍機組,利用變頻器22Α、22Β或22C來使其吸 排氣的循環時間變長,使氣體流量變少,能夠調整至所要 求的溫度。此時,由於減少在該冷凍機組內流動的氣體量 ,壓差會變大,但是由於爲了使壓差保持一定而藉由第2 變頻器40使壓縮機組3 0的旋轉數下降,能夠降低整體的 消費電力。 若根據本實施形態,能夠同時謀求··藉由設置在各冷 凍機組中的變頻器22Α、22Β、22C來進行各冷凍機組的 溫度調節;及除了藉此消除各個冷凍機組之間的偏差以外 -11 - (9) 1247871 ,藉由設在壓縮機組3 0處的第2變頻器4 0來達成消耗電 力的降低。 接著,說明本發明的第4實施形態。 本實施形態,如第5圖所示,係將本發明應用在以1 台壓縮機組30來運轉3台的2段G-Μ循環冷凍機的冷凍 機組10Α、10Β、10C的情況;在各冷凍機組10Α、10Β、 10C中,與第1實施形態同樣地,設有:變頻器22A、 22B > 22C ;溫度感測J器24A、24B、24C ;及控帋ij器26A 、26B 、 26C 。 在本實施形態中,進而具備:被設置在電源20和壓 縮機組3 0之間的第2變頻器4 0 ;分別被配設在用來連結 壓縮機組30和冷凍機組10A、10B、10C的作動氣體配管 之高壓氣體配管32和低壓氣體配管34上的壓差壓力感測 器48、44 ;及根據該壓差壓力感測器48的輸出訊號,控 制第2變頻器40的輸出頻率,調整壓縮機組3 0的旋轉數 ,來調整壓差的第2控制器46。 在本實施形態中,首先,冷凍機的冷凍能力,由於係 根據高壓氣體和低壓氣體的壓差來決定,所以藉由壓差壓 力感測器48的輸出來將壓差控制在一定値。此時’熱負 載小的冷凍機組,利用變頻器2 2 A、2 2 B或2 2 C來使其吸 排氣的循環時間變長,使氣體流量變少,能夠調整至所要 求的溫度。此時,由於減少在該冷凍機組內流動的氣體量 ,壓差會變大,但是由於爲了使壓差保持一定而藉由第2 變頻器40使壓縮機組3 0的旋轉數下降,能夠降低整體的 -12- (10) 1247871 消費電力。 若根據本實施形態,能夠同時謀求:藉由設置在各冷 凍機組中的變頻器22 A、22 B、22C來進行各冷凍機組的 溫度調節;及除了藉此消除各個冷凍機組之間的偏差以外 ,藉由設在壓縮機組30處的第2變頻器40來達成消耗電 力的降低。 接著,將本發明應用在低溫泵中的第5實施形態表示 於第6圖。 此圖係將本發明的第3實施形態應用在低溫泵;具有 與第4圖所示之相同的構成、作用的部分,以相同的符號 來表示,而省略關於該部分的說明。 在本實施形態中,符號50A、50B、50C係安裝有冷 凍機組l〇A、10B、10C的泵容器;而符號52A、52B、 5 2 C則爲例如在半導體製造設備中被進行真空排氣的處理 室。溫度感測器24A ' 24B、24C,並不限定於冷凍機組 的1段或2段的熱負載部,而被安裝在低溫泵的低溫板的 任意位置。 若根據本實施形態,如第3實施例所述,能夠謀求: 藉由設置在各冷凍機組中的變頻器22A、22B、22C來進 行各冷凍機組的溫度調節;以及除了藉此消除各個冷凍機 組之間的偏差以外,藉由設在壓縮機組3 0處的第2變頻 器4 0來達成消耗電力的降低。 再者,在本實施形態中,低溫泵和冷凍機組,係以! 對1的方式組合;但是,也可以應用在相對於1台低溫泵 •13- (11) 1247871 ,使用複數台冷凍機組的系統。又,也能夠應用第1實施 形態、第2實施形態、及第4實施形態。 接者’將本發明應用在超傳導磁鐵上的第6實施形態 表示於第7圖。此圖係將本發明的第3實施形態應用在超 傳導磁鐵;具有與第4圖所示之相同的構成、作用的部分 ,以相同的符號來表示,而省略關於該部分的說明。 在本實施形態中,符號60A、60B、60C係安裝有冷 凍機組l〇A、10B、10C的超傳導磁鐵;而符號62A、62B 、62C則爲例如爲核磁共振圖像(MRI)裝置。溫度感測器 24A、24B、24C,並不限定於冷凍機組的1段或2段的熱 負載部,而被安裝在超傳導磁鐵的任意位置。 若根據本實施形態,如第3實施例所述,能夠謀求: 藉由設置在各冷凍機組中的變頻器22A、22B、22C來進 行各冷凍機組的溫度調節;以及除了藉此消除各個冷凍機 組之間的偏差以外,藉由設在壓縮機組3 0處的第2變頻 器40來達成消耗電力的降低。 再者,在本實施形態中,超傳導磁鐵和冷凍機組,係 以1對1的方式組合;但是,也可以應用在相對於1台超 傳導磁鐵,使用複數台冷凍機組的系統。又,也能夠應用 第1實施形態、第2實施形態、及第4實施形態。 在此,係以醫療領域中所使用的MRI來說明,但是 本發明也可以應用在其他領域所使用的超傳導磁鐵(例如 MCZ 等)。 接著,將本發明應用在極低溫測量裝置中的第7實施 -14- (12) 1247871 形態表示於第8圖。此圖係將本發明的第3實施形態 在極低溫測量裝置;具有與第4圖所示之相同的構成 用的部分,以相同的符號來表示,而省略關於該部分 明。 在本實施形態中,符號70A、70B、70C係安裝 凍機組1 0A、1 OB、1 0C的極低溫測量裝置(例如X線 測量裝置、光透過測量裝置、光激發測量裝置、超傳 測量裝置、霍耳效應測量裝置等)。溫度感測器24A、 、24C,並不限定於冷凍機組的1段或2段的熱負載 而被安裝在極低溫測量裝置的任意位置。 若根據本實施形態,如第3實施例所述,能夠謀 藉由設置在各冷凍機組中的變頻器22 A、22 B、 來進行各冷凍機組的溫度調節;以及除了藉此消除各 凍機組之間的偏差以外,藉由設在壓縮機組3 0處的 變頻器40來達成消耗電力的降低。 再者,在本實施形態中,極低溫測量裝置和冷凍 ’係以1對1的方式組合;但是,也可以應用在相對 台極低溫測量裝置,使用複數台冷凍機組的系統。又 能夠應用第1實施形態、第2實施形態、及第4實施 〇 接著,將本發明應用在簡易液化機中的第8實施 表示於第9圖。此圖係將本發明的第3實施形態應用 易液化機;具有與第4圖所示之相同的構成、作用的 ’以相同的符號來表示,而省略關於該部分的說明。 應用 、作 的說 有冷 繞射 導體 24B 部, 求: 22C 個冷 第2 機組 於1 ,也 形態 形態 在簡 部分 -15- 1247871 (13) 在本實施形態中,符號80A、80B、80C係安裝有冷 凍機組10A、10B、10C的蓄液容器;而符號82A、82B、 82C則爲氣體管線。溫度感測器24A、24B、24C,並不限 定於冷凍機組的1段或2段的熱負載部,而被安裝在簡易 液化機的任意位置。 若根據本實施形態,如第3實施例所述,能夠謀求: 藉由設置在各冷凍機組中的變頻器22A、22B、22C來進 行各冷凍機組的溫度調節;以及除了藉此消除各個冷凍機 組之間的偏差以外,藉由設在壓縮機組3 0處的第2變頻 器40來達成消耗電力的降低。 在本實施形態中,取代溫度感測器24A、24B、24C ,如第1 0圖所示的第9實施形態,將液面感測器28A、 28B、28C安裝在上述蓄液容器80A、80B、80C的內部, 利用根據該液面感測器的輸出來進行控制,可以得到與第 3實施形態同樣的效果。 再者,在本實施形態中,簡易液化機和冷凍機組,係 以1對1的方式組合;但是,也可以應用在相對於1台簡 易液化機,使用複數台冷凍機組的系統。又,也能夠應用 第1實施形態、第2實施形態、及第4實施形態。 在前述實施形態中,雖然皆是做成控制2段G-Μ循 環冷凍機,但是本發明的適用對象並不被限定於此,當然 能夠普遍地適用在冷凍機(例如單段G-Μ循環冷凍機、3 段G-Μ循環冷凍機、變形蘇爾末循環冷凍機、脈動管式 冷凍機等)的溫度控制。又,管理吸排氣的循環時間的機 -16- (14) 1247871 構,也不限定於吸排氣閥驅動用馬達。 〔發明之效果〕 (產業上的利用可能性) 若根據本發明,由於構成溫度控制機構的變頻器和控 制器等,係位於常溫部,所以與將電熱器設置在低溫部的 情況相比,能夠以可靠度高的方法來進行冷凍機的溫度調 節。又,即使是在以1台或複數台的壓縮機組來運轉複數 台冷凍機組的情況,各個冷凍機組可以進行溫度調節,而 能夠消除冷凍機組間的偏差。 特別是組合壓縮機組的變頻控制的情況,由於將壓縮 機的旋轉數調整成可以得到系統的最佳氣體流量,故能夠 減少消耗電力。 【圖式簡單說明】 第1圖係表示關於本發明的極低溫冷凍機的第1實施 形態的構成之方塊圖。 第2圖係表示將第1實施形態的效果和習知例加以比 較的線圖。 第3圖係表示本發明的第2實施形態的構成的管路圖 〇 第4圖係表示本發明的第3實施形態的構成的管路圖 〇 第5圖係表示本發明的第4實施形態的構成的管路圖 -17- (15) 1247871 第6圖係本發明的第5實施形態亦即低溫泵的槪略構 成圖。 第7圖係本發明的第6實施形態亦即超傳導磁鐵的槪 略構成圖。 第8圖係本發明的第7實施形態亦即極低溫測量裝置 的槪略構成圖。 第9圖係本發明的第8實施形態亦即簡易液化機的槪 略構成圖。 第1 〇圖係在本發明的第9實施形態亦即簡易液化機 中,使用液面計的情況的槪略構成圖。 〔符號說明〕 10、10A、10B、10C :冷凍機組 1 1 : 1段低溫部 1 2 : 2段低溫部 14、14A、14B、14C :吸排氣閥驅動用馬達 20 :電源 22、22A、22B、22C :變頻器 24、24A、24B、24C :溫度感測器 26、26A、26B、26C :控制器 28A、28B、28C :液面感測器 3 0 :壓縮機組 32 :高壓氣體配管 -18- (16) (16)1247871 3 4 :低壓氣體配管 40 :第2變頻器 4 2、4 4 :壓力感測器 46 :第2控制器 4 8 :壓差壓力感測器 50A、50B、50C :泵容器 52A、52B、52C :處理室 60A、60B、60C :超傳導磁鐵 62A、62B、62C:核磁共振圖像(MRI)裝置 70A、70B、70C :極低溫測量裝置 80A、80B、8 0C :蓄液容器 8 2 A、8 2 B、8 2 C :氣體管線
Claims (1)
- (1) 1247871 拾、申請專利範圍 1 · 一種冷凍機組,其特徵爲具備: 被設置在電源和管理冷凍機組的吸排氣循環時間之吸 排氣閥驅動用馬達之間,用來改變該吸排氣閥驅動用馬達 的頻率之手段; 檢測出冷凍機組的熱負載部之溫度的溫度感測器;及 對應該溫度感測器的輸出訊號,來控制用來改變前述 吸排氣閥驅動用馬達的頻率之手段的控制器。 2 · —種低溫泵,其特徵爲: 具備申請專利範圍第1項所述的冷凍機組。 3 · —種極低溫冷凍機,其特徵爲: 使用一種壓縮機組,該壓縮機組具備: 被設置在電源和壓縮機組的壓縮機本體馬達之間,用 來改變該壓縮機本體馬達的頻率之手段; 被安裝在用來連接前述壓縮機本體的吐出口和冷)東機 組的冷媒供給口之高壓冷媒管中的高壓壓力感測器; 被安裝在用來連接前述壓縮機本體的吸入口和冷凍機 組的冷媒排出口之低壓冷媒管中的低壓壓力感測器;及 對應前述高壓壓力感測器和前述低壓壓力感測器的輸 出訊號,來控制用來改變前述壓縮機本體馬達的頻率之手 段的控制器; 且由複數台申請專利範圍第1項所述的冷凍機組、及 1台或複數台前述壓縮機組所構成。 4 . 一種極低溫冷凍機,其特徵爲: -20- (2) 1247871 使用一種壓縮機組,該壓縮機組具備: 被設置在電源和壓縮機組的壓縮機本體馬達之間,用 來改變該壓縮機本體馬達的頻率之手段; 被安裝在用來連接前述壓縮機本體的吐出口和冷凍機 組的冷媒供給口之高壓冷媒管、及用來連接前述壓縮機本 體的吸入口和冷凍機組的冷媒排出口之低壓冷媒管之間的 壓差壓力感測器;及 對應該壓差壓力感測器的輸出訊號,來控制用來改變 則述壓縮機本體馬達的頻率之手段的控制器; 且由複數台申請專利範圍第1項所述的冷凍機組、及 1台或複數台前述壓縮機組所構成。 5 · —種低溫泵,其特徵爲: 具備申請專利範圍第3項或第4項所述的極低溫冷凍 機。 6 ·如申請專利範圍第5項所述的低溫泵,其中具備 檢測低溫泵的低溫板的任意位置的溫度之溫度感測器 ;及 對應該溫度感測器的輸出,將用來改變管理冷凍機組 的吸排氣循環時間之吸排氣閥驅動用馬達的頻率之手段, 加以控制的控制器。 7 · —種超傳導磁鐵,其特徵爲: 具備申請專利範圍第1項所述的冷凍機組。 8 · —種超傳導磁鐵,其特徵爲: •21 - (3) 1247871 具備申請專利範圍第3項或第4項所述的極低溫冷凍 9 ·如申請專利範圍第7項或第8項所述的超傳導磁 鐵,其中具備: 檢測超傳導磁鐵的任意位置的溫度之溫度感測器;及 對應該溫度感測器的輸出,將用來改變管理冷凍機組 的吸排氣循環時間之吸排氣閥驅動用馬達的頻率之手段, 加以控制的控制器。 1 〇 · —種極低溫測量裝置,其特徵爲: 具備申請專利範圍第1項所述的冷凍機組。 1 1 · 一種極低溫測量裝置,其特徵爲: 具備申請專利範圍第3項或第4項所述的極低溫冷凍 機。 1 2 ·如申請專利範圍第1 〇項或第1 1項所述的極低溫 測量裝置,其中具備: 檢測極低溫測量裝置的任意位置的溫度之溫度感測器 ;及 對應該溫度感測器的輸出,將用來改變管理冷凍機組 的吸排氣循環時間之吸排氣閥驅動用馬達的頻率之手段, 加以控制的控制器。 1 3 . —種簡易液化機,其特徵爲: 具備申請專利範圍第1項所述的冷凍機組。 1 4 · 一種簡易液化機,其特徵爲: 具備申請專利範圍第3項或第4項所述的極低溫冷凍 -22- (4) 1247871 機。 1 5 ·如申請專利範圍第1 3項或第1 4項所述的簡易液 化機,其中具備: 檢測簡易液化機的任意位置的溫度之溫度感測器;及 對應該溫度感測器的輸出,將用來改變管理冷凍機組 的吸排氣循環時間之吸排氣閥驅動用馬達的頻率之手段, 加以控制的控制器。 1 6 ·如申請專利範圍第1 3項或第1 4項所述的簡易液 化機,其中具備: 簡易液化機的蓄液容器內的液面檢測手段;及 對應該液面檢測手段的輸出,將用來改變管理冷凍機 組的吸排氣循環時間之吸排氣閥驅動用馬達的頻率之手段 ,加以控制的控制器。 -23-
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002239550A JP4445187B2 (ja) | 2002-04-18 | 2002-08-20 | 極低温冷凍機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW200403418A TW200403418A (en) | 2004-03-01 |
TWI247871B true TWI247871B (en) | 2006-01-21 |
Family
ID=31943859
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW092117465A TWI247871B (en) | 2002-08-20 | 2003-06-26 | Very low temperature refrigerator |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7555911B2 (zh) |
KR (1) | KR20050058363A (zh) |
CN (1) | CN100439819C (zh) |
DE (1) | DE10393146B4 (zh) |
TW (1) | TWI247871B (zh) |
WO (1) | WO2004018947A1 (zh) |
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JP6067423B2 (ja) | 2013-03-04 | 2017-01-25 | 住友重機械工業株式会社 | 極低温冷凍装置、クライオポンプ、核磁気共鳴画像装置、及び極低温冷凍装置の制御方法 |
JP5943865B2 (ja) * | 2013-03-12 | 2016-07-05 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプシステム、クライオポンプシステムの運転方法、及び圧縮機ユニット |
JP6086835B2 (ja) * | 2013-07-23 | 2017-03-01 | 住友重機械工業株式会社 | 圧縮機および冷却システム |
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JP6410589B2 (ja) * | 2014-12-17 | 2018-10-24 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ、クライオポンプの制御方法、及び冷凍機 |
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KR102567685B1 (ko) * | 2022-09-26 | 2023-08-18 | 크라이오에이치앤아이(주) | 크라이오 펌프 시스템 |
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- 2003-06-12 CN CNB038197928A patent/CN100439819C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2003-06-12 US US10/523,977 patent/US7555911B2/en active Active
- 2003-06-12 KR KR1020057002792A patent/KR20050058363A/ko not_active Application Discontinuation
- 2003-06-12 WO PCT/JP2003/007525 patent/WO2004018947A1/ja active Application Filing
- 2003-06-12 DE DE10393146.5T patent/DE10393146B4/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-06-26 TW TW092117465A patent/TWI247871B/zh not_active IP Right Cessation
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Also Published As
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---|---|
DE10393146T5 (de) | 2005-09-15 |
US7555911B2 (en) | 2009-07-07 |
TW200403418A (en) | 2004-03-01 |
US20060101836A1 (en) | 2006-05-18 |
WO2004018947A1 (ja) | 2004-03-04 |
CN100439819C (zh) | 2008-12-03 |
CN1675505A (zh) | 2005-09-28 |
DE10393146B4 (de) | 2015-07-02 |
KR20050058363A (ko) | 2005-06-16 |
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