JP5669659B2 - クライオポンプ及び真空排気方法 - Google Patents
クライオポンプ及び真空排気方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5669659B2 JP5669659B2 JP2011090347A JP2011090347A JP5669659B2 JP 5669659 B2 JP5669659 B2 JP 5669659B2 JP 2011090347 A JP2011090347 A JP 2011090347A JP 2011090347 A JP2011090347 A JP 2011090347A JP 5669659 B2 JP5669659 B2 JP 5669659B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- cryopump
- refrigerator
- target
- cryopanel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/02—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by absorption or adsorption
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
- F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B9/00—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point
- F25B9/14—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point characterised by the cycle used, e.g. Stirling cycle
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
Claims (5)
- 目標にビームを照射するためのビーム照射装置の真空チャンバにおけるビーム経路の真空排気をするためのクライオポンプであって、
気体分子を表面に捕捉するためのクライオパネルと、
前記クライオパネルを冷却するための冷凍機と、
前記真空チャンバから前記クライオパネルに向かう前記気体分子を受け入れる開口を有するポンプケースであって、当該開口を通じて前記真空チャンバの内部空間を前記クライオポンプの内部空間に接続するよう前記真空チャンバの壁面の排気用開口に取り付けられるポンプケースと、
前記ビーム照射装置からその運転モードを表す制御信号を受信可能であり、該制御信号に基づいて前記冷凍機を制御するための制御部と、を備え、
前記運転モードは、目標にビームを照射する照射モードと、前記目標からビームを逸らすかまたは該照射モードよりも弱いレベルでビームを存続させるアイドルモードと、を含み、
前記制御部は、前記照射モード及び前記アイドルモードにおいて前記クライオパネルが前記気体分子を保持する冷却温度に冷却されるよう前記冷凍機を制御しており、前記アイドルモードの期間の少なくとも一部において前記冷却温度を前記照射モードよりも高くすることを許容することを特徴とするクライオポンプ。 - 前記制御部は、前記アイドルモードの期間の少なくとも一部において、前記クライオパネルを冷却するために該クライオパネルに熱的に接続される前記冷凍機の冷却ステージを17K以上20K未満に冷却するように前記冷凍機を制御することを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプ。
- 前記クライオパネルは、水素ガスを吸着可能である吸着剤を備え、
前記制御部は、前記照射モードと前記アイドルモードの期間の少なくとも一部とで前記クライオパネルの目標温度を異なる温度に設定し、
前記照射モードにおける目標温度は、第1温度領域から選択され、
前記アイドルモードの期間の少なくとも一部における目標温度は、前記第1温度領域より高温でありかつ前記吸着剤に吸着されている水素ガスを前記吸着剤に保持可能である温度領域から選択されることを特徴とする請求項1または2に記載のクライオポンプ。 - 前記制御部は、前記冷凍機の運転周波数を制御するよう構成され、
前記制御部は、前記運転モードに応じて前記冷凍機の運転周波数の設定を変更することを特徴とする請求項1または2に記載のクライオポンプ。 - クライオポンプを使用するビーム経路のための真空排気方法であって、
前記ビーム経路は、目標にビームを照射するためのビーム照射装置の真空チャンバにおけるビーム経路であり、
前記クライオポンプは、その内部へと前記真空チャンバから気体を受け入れるよう前記真空チャンバの壁面に取り付けられており、
前記方法は、
ビームを目標に照射することと、
ビームを目標に照射することに代えて、該目標からビームを逸らしてビームを保持するかまたは該目標に照射するときよりも低い強度で前記経路にビームを保持することと、を含み、
前記ビームを保持する期間の少なくとも一部において、ビームを目標に照射するときよりも前記クライオポンプの排気速度を低くすることを含むことを特徴とする真空排気方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011090347A JP5669659B2 (ja) | 2011-04-14 | 2011-04-14 | クライオポンプ及び真空排気方法 |
TW101112468A TWI489042B (zh) | 2011-04-14 | 2012-04-09 | Cryogenic pump and vacuum exhaust method |
US13/443,449 US8875523B2 (en) | 2011-04-14 | 2012-04-10 | Cryopump and evacuation method |
KR1020120037720A KR101290543B1 (ko) | 2011-04-14 | 2012-04-12 | 크라이오펌프 및 진공배기방법 |
CN201210108074.8A CN102734124B (zh) | 2011-04-14 | 2012-04-13 | 低温泵及真空排气方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011090347A JP5669659B2 (ja) | 2011-04-14 | 2011-04-14 | クライオポンプ及び真空排気方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012219810A JP2012219810A (ja) | 2012-11-12 |
JP5669659B2 true JP5669659B2 (ja) | 2015-02-12 |
Family
ID=46990234
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011090347A Active JP5669659B2 (ja) | 2011-04-14 | 2011-04-14 | クライオポンプ及び真空排気方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8875523B2 (ja) |
JP (1) | JP5669659B2 (ja) |
KR (1) | KR101290543B1 (ja) |
CN (1) | CN102734124B (ja) |
TW (1) | TWI489042B (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6410590B2 (ja) * | 2014-12-17 | 2018-10-24 | 住友重機械工業株式会社 | コールドトラップ及びコールドトラップの制御方法 |
JP6534358B2 (ja) * | 2016-03-22 | 2019-06-26 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ、クライオポンプ制御装置及びクライオポンプ制御方法 |
CN207111346U (zh) * | 2017-07-03 | 2018-03-16 | 京东方科技集团股份有限公司 | 低温泵 |
CN107489605B (zh) * | 2017-09-18 | 2019-07-12 | 储昕 | 低碳、无油大抽速真空抽气机组 |
JP7472020B2 (ja) * | 2017-11-17 | 2024-04-22 | エドワーズ バキューム リミテッド ライアビリティ カンパニー | 周縁部に設けられた第1及び第2ステージアレイを備えるクライオポンプ |
JP2022083523A (ja) * | 2020-11-25 | 2022-06-06 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプシステムおよびその監視方法 |
KR102541712B1 (ko) * | 2022-10-17 | 2023-06-13 | 크라이오에이치앤아이(주) | 크라이오 펌프를 통한 진공 배기 방법 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5918284A (ja) * | 1982-07-21 | 1984-01-30 | Hitachi Ltd | 排気装置 |
US4446702A (en) * | 1983-02-14 | 1984-05-08 | Helix Technology Corporation | Multiport cryopump |
US4449373A (en) * | 1983-02-28 | 1984-05-22 | Helix Technology Corporation | Reduced vacuum cryopump |
JPH03237276A (ja) * | 1990-02-09 | 1991-10-23 | Japan Steel Works Ltd:The | クライオポンプの運転制御方法 |
JPH0791368A (ja) * | 1993-09-20 | 1995-04-04 | Fujitsu Ltd | クライオポンプの制御方法 |
JPH07293438A (ja) * | 1994-04-28 | 1995-11-07 | Ebara Corp | クライオポンプ |
JPH10183347A (ja) * | 1996-12-25 | 1998-07-14 | Ulvac Japan Ltd | 磁気抵抗ヘッド用成膜装置 |
JPH10184541A (ja) * | 1996-12-27 | 1998-07-14 | Anelva Corp | 真空排気装置 |
JP2000249056A (ja) * | 1999-02-26 | 2000-09-12 | Suzuki Shokan:Kk | クライオポンプの運転制御方法および運転制御装置 |
JP2000294187A (ja) * | 1999-04-09 | 2000-10-20 | Applied Materials Inc | イオン注入装置及びイオン注入方法 |
JP2003074468A (ja) * | 2001-08-31 | 2003-03-12 | Toshiba Corp | 真空排気システム及びその監視・制御方法 |
JP2003097428A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-03 | Aisin Seiki Co Ltd | 真空ポンプ制御装置 |
JP3900917B2 (ja) * | 2001-12-10 | 2007-04-04 | 日新イオン機器株式会社 | イオン注入装置 |
KR20050058363A (ko) * | 2002-08-20 | 2005-06-16 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 극저온 냉동기 |
JP4751377B2 (ja) * | 2007-10-29 | 2011-08-17 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ |
JP2009281363A (ja) * | 2008-05-26 | 2009-12-03 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプ |
US20100011784A1 (en) | 2008-07-17 | 2010-01-21 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryopump louver extension |
JP2010086824A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Nissin Ion Equipment Co Ltd | イオン注入方法及びイオン注入装置 |
CN102171455B (zh) * | 2008-11-14 | 2014-06-25 | 爱发科低温泵株式会社 | 真空排气装置、真空处理装置以及真空处理方法 |
JP5084794B2 (ja) * | 2009-07-22 | 2012-11-28 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ、及びクライオポンプの監視方法 |
-
2011
- 2011-04-14 JP JP2011090347A patent/JP5669659B2/ja active Active
-
2012
- 2012-04-09 TW TW101112468A patent/TWI489042B/zh active
- 2012-04-10 US US13/443,449 patent/US8875523B2/en active Active
- 2012-04-12 KR KR1020120037720A patent/KR101290543B1/ko active IP Right Grant
- 2012-04-13 CN CN201210108074.8A patent/CN102734124B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102734124B (zh) | 2015-01-21 |
TW201307683A (zh) | 2013-02-16 |
US8875523B2 (en) | 2014-11-04 |
US20120260675A1 (en) | 2012-10-18 |
KR20120117657A (ko) | 2012-10-24 |
KR101290543B1 (ko) | 2013-07-31 |
CN102734124A (zh) | 2012-10-17 |
TWI489042B (zh) | 2015-06-21 |
JP2012219810A (ja) | 2012-11-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5669659B2 (ja) | クライオポンプ及び真空排気方法 | |
US10156228B2 (en) | Cryopump and method for regenerating the cryopump | |
JP5084794B2 (ja) | クライオポンプ、及びクライオポンプの監視方法 | |
US10125755B2 (en) | Cryopump, control method of cryopump, and cryocooler | |
JP5634323B2 (ja) | クライオポンプシステム、クライオポンプのための再生方法 | |
US9810208B2 (en) | Cryopump and method for regenerating the cryopump using two-stage discharge process | |
US20140230461A1 (en) | Cryopump and method of operating the cryopump | |
US10001117B2 (en) | Cryopump system, cryopump controller, and method for regenerating the cryopump | |
KR101763249B1 (ko) | 콜드트랩 및 콜드트랩의 제어방법 | |
JP4912438B2 (ja) | クライオポンプ、及びクライオポンプの監視方法 | |
US11078900B2 (en) | Cryopump, cryopump controller, and cryopump control method | |
US11428216B2 (en) | Cryopump and method for controlling cryopump | |
WO2023157586A1 (ja) | クライオポンプおよびクライオポンプの運転方法 | |
JP5404702B2 (ja) | 真空排気システム | |
WO2010097888A1 (ja) | 二段式冷凍機の運転制御方法、二段式冷凍機を有するクライオポンプの運転制御方法、二段式冷凍機、クライオポンプ及び真空基板処理装置 | |
JP2024085232A (ja) | クライオポンプおよびクライオポンプ再生方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130809 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140512 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140520 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140707 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141216 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141216 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5669659 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |