JPH11108476A - 極低温冷却装置 - Google Patents
極低温冷却装置Info
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- JPH11108476A JPH11108476A JP26959197A JP26959197A JPH11108476A JP H11108476 A JPH11108476 A JP H11108476A JP 26959197 A JP26959197 A JP 26959197A JP 26959197 A JP26959197 A JP 26959197A JP H11108476 A JPH11108476 A JP H11108476A
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- Japan
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- stage
- pressure
- circuit
- cooling
- compressor
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 装置構成が簡素で信頼性が高く、取扱いが容
易で、冷却温度が超流動ヘリウム温度(１.８Ｋ）域とな
る閉サイクル運転の極低温冷却装置を実現することを目
的とする。 【解決手段】 予冷機としてＧＭ冷凍機２１を用い、こ
れにＪＴ回路と組合せた冷凍機ユニットＡに、ＧＭ圧縮
機ユニットＢとＪＴ圧縮機ユニットＣとを管路２３,２
４及び管路２５，２６でそれぞれ接続し、ＪＴ回路の循
環ガスとして 3Ｈeを、又予冷用のＧＭ冷凍機２１の循
環ガスとして 4Ｈeを使用し、前記ＪＴ圧縮機ユニット
Ｃは直列に配置された１段の真空ポンプ９と１段の圧縮
機本体１及びＪＴ回路とＪＴ圧縮機ユニットＣとを接続
する管路２５と２６間に配設された１次圧力調整器６と
２次圧力調整器８とにより、ＪＴ回路の低圧側を負圧保
持し、かつＪＴ回路の高圧側を所定の吐出圧力に保持可
能とし、前記ＪＴ圧縮機ユニットＣの真空ポンプ９と圧
縮機本体１に圧縮比の高いスクロ−ル式を使用した。
易で、冷却温度が超流動ヘリウム温度(１.８Ｋ）域とな
る閉サイクル運転の極低温冷却装置を実現することを目
的とする。 【解決手段】 予冷機としてＧＭ冷凍機２１を用い、こ
れにＪＴ回路と組合せた冷凍機ユニットＡに、ＧＭ圧縮
機ユニットＢとＪＴ圧縮機ユニットＣとを管路２３,２
４及び管路２５，２６でそれぞれ接続し、ＪＴ回路の循
環ガスとして 3Ｈeを、又予冷用のＧＭ冷凍機２１の循
環ガスとして 4Ｈeを使用し、前記ＪＴ圧縮機ユニット
Ｃは直列に配置された１段の真空ポンプ９と１段の圧縮
機本体１及びＪＴ回路とＪＴ圧縮機ユニットＣとを接続
する管路２５と２６間に配設された１次圧力調整器６と
２次圧力調整器８とにより、ＪＴ回路の低圧側を負圧保
持し、かつＪＴ回路の高圧側を所定の吐出圧力に保持可
能とし、前記ＪＴ圧縮機ユニットＣの真空ポンプ９と圧
縮機本体１に圧縮比の高いスクロ−ル式を使用した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は極低温冷却装置に関
するものである。
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の極低温冷却装置として、（１）多
段のＧＭ冷凍機やスタ−リング冷凍機にＪＴ回路を組合
せた４Ｋ冷却システム、（２）クロ−ドサイクルにＪＴ
回路を組合せた冷却システム及び、（３）ＪＴ回路に 3
Ｈeを利用し、圧縮機と減圧調整機構を組合せた冷却シ
ステム（特願平８−２２８４３６）が知られている。上
記(１)のシステムは一般には液体ヘリウム温度(４.２
Ｋ）での冷却能力を発生させる装置であり、負圧運転機
構を有しても３Ｋレベルが限界であった。これは、ＪＴ
回路を循環する 4Ｈe(ヘリウム４）の１.８Ｋでの飽和
蒸気圧が１６.６mbarと非常に低いので、ＪＴ回路の低
圧側の圧力を、１６.６mbarにする排気用ポンプ装置が
必要になること、ＪＴ低圧系の圧力損失の許容値が嚴し
くなるためである。このため、装置が複雑となり、コス
トアップとなるという問題がある。
段のＧＭ冷凍機やスタ−リング冷凍機にＪＴ回路を組合
せた４Ｋ冷却システム、（２）クロ−ドサイクルにＪＴ
回路を組合せた冷却システム及び、（３）ＪＴ回路に 3
Ｈeを利用し、圧縮機と減圧調整機構を組合せた冷却シ
ステム（特願平８−２２８４３６）が知られている。上
記(１)のシステムは一般には液体ヘリウム温度(４.２
Ｋ）での冷却能力を発生させる装置であり、負圧運転機
構を有しても３Ｋレベルが限界であった。これは、ＪＴ
回路を循環する 4Ｈe(ヘリウム４）の１.８Ｋでの飽和
蒸気圧が１６.６mbarと非常に低いので、ＪＴ回路の低
圧側の圧力を、１６.６mbarにする排気用ポンプ装置が
必要になること、ＪＴ低圧系の圧力損失の許容値が嚴し
くなるためである。このため、装置が複雑となり、コス
トアップとなるという問題がある。
【０００３】次に、(２)のクロ−ドサイクルにＪＴ回路
を組合せた冷却システムは、超流動ヘリウム温度を生成
させる冷却システムであるが、装置が複数段の排気用ポ
ンプ、複数段の圧縮機、複数個のＪＴバルブ及び５個以
上の熱交換器等で構成され、非常に複雑であるという欠
点がある。又装置構成の複雑さに伴ない信頼性が低下
し、取扱いが容易でなくなってくるという問題がある。
を組合せた冷却システムは、超流動ヘリウム温度を生成
させる冷却システムであるが、装置が複数段の排気用ポ
ンプ、複数段の圧縮機、複数個のＪＴバルブ及び５個以
上の熱交換器等で構成され、非常に複雑であるという欠
点がある。又装置構成の複雑さに伴ない信頼性が低下
し、取扱いが容易でなくなってくるという問題がある。
【０００４】また、(３)の冷却システムは冷却能力を増
加させるためには圧縮機を並列に増加させる必要がある
ため、消費電力が大きくなるという問題がある。
加させるためには圧縮機を並列に増加させる必要がある
ため、消費電力が大きくなるという問題がある。
【０００５】
（１） 装置構成が簡素で信頼性が高く、取扱いが容易
で、冷却温度が１.８Ｋ（超流動ヘリウム温度）域とな
る閉サイクル運転の極低温冷却装置を実現すること、
（２） 効率的なシステムを実現すること、を目的とす
る。
で、冷却温度が１.８Ｋ（超流動ヘリウム温度）域とな
る閉サイクル運転の極低温冷却装置を実現すること、
（２） 効率的なシステムを実現すること、を目的とす
る。
【０００６】
（１） 予冷機としてＧＭ冷凍機２１を用い、これにＪ
Ｔ回路と組合せた冷凍機ユニットＡに、ＧＭ圧縮機ユニ
ットＢとＪＴ圧縮機ユニットＣとを管路２３，２４及び
管路２５，２６でそれぞれ接続し、ＪＴ回路の循環ガス
として 3Ｈeを、又予冷用のＧＭ冷凍機２１の循環ガス
として 4Ｈeを使用し、前記ＪＴ圧縮機ユニットＣは直
列に配置された１段の真空ポンプ９と１段の圧縮機本体
１及びＪＴ回路とＪＴ圧縮機ユニットＣとを接続する管
路２５と２６間に配設された１次圧力調整器６と２次圧
力調整器８とにより、ＪＴ回路の低圧側を負圧保持し、
かつＪＴ回路の高圧側を所定の吐出圧力に保持可能と
し、前記ＪＴ圧縮機ユニットＣの真空ポンプ９と圧縮機
本体１に圧縮比の高いスクロ−ル式を使用した。 （２） 冷却能力を増加させるためにはＪＴ流量を増や
す必要がある。この方法の１つとして圧縮機本体を並列
に台数を増やす方法もあるが、真空ポンプを圧縮機本体
と直列に配置して効率的（消費電力が少ない）とした。
Ｔ回路と組合せた冷凍機ユニットＡに、ＧＭ圧縮機ユニ
ットＢとＪＴ圧縮機ユニットＣとを管路２３，２４及び
管路２５，２６でそれぞれ接続し、ＪＴ回路の循環ガス
として 3Ｈeを、又予冷用のＧＭ冷凍機２１の循環ガス
として 4Ｈeを使用し、前記ＪＴ圧縮機ユニットＣは直
列に配置された１段の真空ポンプ９と１段の圧縮機本体
１及びＪＴ回路とＪＴ圧縮機ユニットＣとを接続する管
路２５と２６間に配設された１次圧力調整器６と２次圧
力調整器８とにより、ＪＴ回路の低圧側を負圧保持し、
かつＪＴ回路の高圧側を所定の吐出圧力に保持可能と
し、前記ＪＴ圧縮機ユニットＣの真空ポンプ９と圧縮機
本体１に圧縮比の高いスクロ−ル式を使用した。 （２） 冷却能力を増加させるためにはＪＴ流量を増や
す必要がある。この方法の１つとして圧縮機本体を並列
に台数を増やす方法もあるが、真空ポンプを圧縮機本体
と直列に配置して効率的（消費電力が少ない）とした。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１に基いて説明する。図１は本
発明の２Ｋレベルの冷凍装置のフロ−を示す。Ａは冷凍
機ユニット、Ｂは管路２３と２４で冷凍機ユニットＡを
構成する予冷用ＧＭ冷凍機２１と接続したＧＭ圧縮機ユ
ニット、そしてＣは管路２５と２６で同じくＪ−Ｔ回路
と接続したＪＴ圧縮機ユニットである。
発明の２Ｋレベルの冷凍装置のフロ−を示す。Ａは冷凍
機ユニット、Ｂは管路２３と２４で冷凍機ユニットＡを
構成する予冷用ＧＭ冷凍機２１と接続したＧＭ圧縮機ユ
ニット、そしてＣは管路２５と２６で同じくＪ−Ｔ回路
と接続したＪＴ圧縮機ユニットである。
【０００８】冷凍機ユニットＡとＧＭ圧縮機ユニットＢ
は従来型のものを使用する。冷凍機ユニットＡにおい
て、２１は予冷用ＧＭ（ギフォ−ド・マクマホン）冷凍
機である。ＧＭ圧縮機ユニットＢは、ＧＭ冷凍機専用の
圧縮機である。１１は１段熱負荷フランジ、１２は２段
熱負荷フランジである。１３は１段熱交換器、１４は２
段熱交換器、１５は３段熱交換器である。１６はＪ−Ｔ
弁、１７は７〜１５Ｋステ−ジ、１８は２Ｋステ−ジ、
１９は４０〜６０Ｋシ−ルド、２０は７〜１５Ｋシ−ル
ドである。これらは真空断熱容器２２内に収められてい
る。
は従来型のものを使用する。冷凍機ユニットＡにおい
て、２１は予冷用ＧＭ（ギフォ−ド・マクマホン）冷凍
機である。ＧＭ圧縮機ユニットＢは、ＧＭ冷凍機専用の
圧縮機である。１１は１段熱負荷フランジ、１２は２段
熱負荷フランジである。１３は１段熱交換器、１４は２
段熱交換器、１５は３段熱交換器である。１６はＪ−Ｔ
弁、１７は７〜１５Ｋステ−ジ、１８は２Ｋステ−ジ、
１９は４０〜６０Ｋシ−ルド、２０は７〜１５Ｋシ−ル
ドである。これらは真空断熱容器２２内に収められてい
る。
【０００９】ＪＴ圧縮機ユニットＣは圧縮機本体１と真
空ポンプ９に吸込弁及び吐出弁のないスクロ−ル式を用
いている。２は油分離器、３は吸着器である。逆止弁
５、一次圧力調整器６、バッファタンク７、２次圧力調
整器８は管路２５と真空ポンプ９と圧縮機本体１間の管
路２６との間に配設されている。
空ポンプ９に吸込弁及び吐出弁のないスクロ−ル式を用
いている。２は油分離器、３は吸着器である。逆止弁
５、一次圧力調整器６、バッファタンク７、２次圧力調
整器８は管路２５と真空ポンプ９と圧縮機本体１間の管
路２６との間に配設されている。
【００１０】従来は循環ガスは全て 4Ｈe（ヘリウム
４）であったが、本発明では、予冷用のＧＭ冷凍機２１
とＧＭ圧縮機ユニットＢは 4Ｈe（ヘリウム４）が循環
ガスであり、ＪＴ回路とＪＴ圧縮機ユニットＣは 3Ｈe
（ヘリウム３）を循環ガスとして用いている。
４）であったが、本発明では、予冷用のＧＭ冷凍機２１
とＧＭ圧縮機ユニットＢは 4Ｈe（ヘリウム４）が循環
ガスであり、ＪＴ回路とＪＴ圧縮機ユニットＣは 3Ｈe
（ヘリウム３）を循環ガスとして用いている。
【００１１】以上の構成であって、作用は次の如くであ
る。運転前の 3Ｈeガス系内は高圧側、低圧側共に 3Ｈe
を所定の同じ圧力で封入してある。制御回路(図示しな
い）の運転スイッチをＯＮにすると、ＧＭ圧縮機ユニッ
トＢとＪＴ圧縮機ユニットＣの圧縮機本体１及び予冷用
ＧＭ冷凍機２１が起動する。
る。運転前の 3Ｈeガス系内は高圧側、低圧側共に 3Ｈe
を所定の同じ圧力で封入してある。制御回路(図示しな
い）の運転スイッチをＯＮにすると、ＧＭ圧縮機ユニッ
トＢとＪＴ圧縮機ユニットＣの圧縮機本体１及び予冷用
ＧＭ冷凍機２１が起動する。
【００１２】ＧＭ圧縮機ユニットＢで約２０kg／cm2Ｇ
まで圧縮された 4Ｈe（ヘリウム４）ガスは、管路２３
を経て冷凍機ユニットＡの予冷用ＧＭ冷凍機２１へ流入
する。予冷用ＧＭ冷凍機２１へ流入した 4Ｈeは低温を
発生させ、１段熱負荷フランジ１１、２段熱負荷フラン
ジ１２を冷却して管路２４を経てＧＭ圧縮機ユニットＢ
内へ吸入される。
まで圧縮された 4Ｈe（ヘリウム４）ガスは、管路２３
を経て冷凍機ユニットＡの予冷用ＧＭ冷凍機２１へ流入
する。予冷用ＧＭ冷凍機２１へ流入した 4Ｈeは低温を
発生させ、１段熱負荷フランジ１１、２段熱負荷フラン
ジ１２を冷却して管路２４を経てＧＭ圧縮機ユニットＢ
内へ吸入される。
【００１３】ＪＴ圧縮機ユニットＣ内の圧縮機本体１で
圧縮された 3Ｈe（ヘリウム３）ガスは、約５kg／cm2Ｇ
となり、油分離器２と吸着器３を通ってクリ−ンな 3Ｈ
eとなり、管路２５を経て冷凍機ユニットＡのＪＴ回路
へ流入する。
圧縮された 3Ｈe（ヘリウム３）ガスは、約５kg／cm2Ｇ
となり、油分離器２と吸着器３を通ってクリ−ンな 3Ｈ
eとなり、管路２５を経て冷凍機ユニットＡのＪＴ回路
へ流入する。
【００１４】ＪＴ回路の 3Ｈeは１段熱交換器１３を通
って、１段熱負荷フランジ１１で冷却され、２段熱交換
器１４を通り、さらに２段熱負荷フランジ１２で冷却さ
れ、３段熱交換器１５、Ｊ−Ｔ弁１６を出たのち、０kg
／cm2Ｇ以下に膨張して２Ｋステ−ジ１８を冷却する。
２Ｋステ−ジ１８を冷却した低圧 3Ｈeは、３段熱交換
器１５、２段熱交換器１４、１段熱交換器１３を通っ
て、高圧で流入する 3Ｈeと熱交換して昇温し、ＪＴ圧
縮機ユニットＣの圧縮機本体１に管路２６を経て吸入さ
れる。
って、１段熱負荷フランジ１１で冷却され、２段熱交換
器１４を通り、さらに２段熱負荷フランジ１２で冷却さ
れ、３段熱交換器１５、Ｊ−Ｔ弁１６を出たのち、０kg
／cm2Ｇ以下に膨張して２Ｋステ−ジ１８を冷却する。
２Ｋステ−ジ１８を冷却した低圧 3Ｈeは、３段熱交換
器１５、２段熱交換器１４、１段熱交換器１３を通っ
て、高圧で流入する 3Ｈeと熱交換して昇温し、ＪＴ圧
縮機ユニットＣの圧縮機本体１に管路２６を経て吸入さ
れる。
【００１５】その後の運転で、予冷用ＧＭ冷凍機２１の
１段，２段熱負荷フランジ１１，１２が冷却され、１
段，２段，３段熱交換器１３，１４，１５とＪ−Ｔ弁１
６のジュ−ルトムソン効果によって、２Ｋステ−ジ１８
は定常温度に冷却される。この時の定常温度はＪ−Ｔ弁
１６後の圧力に対する飽和温度となり、Ｊ−Ｔ弁１６後
の圧力を０kg／cm2Ｇ以下に減圧することによって、
３．２Ｋ以下の温度が得られる。たとえば、約−０.９k
g／cm2Ｇまで減圧すれば超流動ヘリウム温度（１．８
Ｋ）域の温度が得られる。
１段，２段熱負荷フランジ１１，１２が冷却され、１
段，２段，３段熱交換器１３，１４，１５とＪ−Ｔ弁１
６のジュ−ルトムソン効果によって、２Ｋステ−ジ１８
は定常温度に冷却される。この時の定常温度はＪ−Ｔ弁
１６後の圧力に対する飽和温度となり、Ｊ−Ｔ弁１６後
の圧力を０kg／cm2Ｇ以下に減圧することによって、
３．２Ｋ以下の温度が得られる。たとえば、約−０.９k
g／cm2Ｇまで減圧すれば超流動ヘリウム温度（１．８
Ｋ）域の温度が得られる。
【００１６】ＪＴ圧縮機ユニットＣの圧力制御の作用
は、吸着器３の部分の 3Ｈeが６kg／cm2Ｇ以上になる
と、１次圧力調整器６が作動し、吐出 3Ｈeガスの一部
をバッファタンク７へ保持し、圧縮機本体１の吸入圧力
が低下すると、２次圧力調整器８が作動し、バッファタ
ンク７の 3Ｈeが供給される。
は、吸着器３の部分の 3Ｈeが６kg／cm2Ｇ以上になる
と、１次圧力調整器６が作動し、吐出 3Ｈeガスの一部
をバッファタンク７へ保持し、圧縮機本体１の吸入圧力
が低下すると、２次圧力調整器８が作動し、バッファタ
ンク７の 3Ｈeが供給される。
【００１７】この２次圧力調整器８を約１kg／cm2Ｇに
設定し、真空ポンプ９を所定の吸込圧力になるようＪＴ
弁開度によるＪＴ流量を調整すれば約３．２Ｋから約
１．５Ｋまでの任意の冷却温度を得ることができる。
設定し、真空ポンプ９を所定の吸込圧力になるようＪＴ
弁開度によるＪＴ流量を調整すれば約３．２Ｋから約
１．５Ｋまでの任意の冷却温度を得ることができる。
【００１８】また、別な吸込圧力設定方法として、ＪＴ
弁開度によるＪＴ流量に対し、所定の吸込圧力になるよ
うに、ＪＴ圧縮機ユニットＣの運転周波数をインバ−タ
で制御することもできる。
弁開度によるＪＴ流量に対し、所定の吸込圧力になるよ
うに、ＪＴ圧縮機ユニットＣの運転周波数をインバ−タ
で制御することもできる。
【００１９】
【発明の効果】冷凍機ユニットＡ、ＧＭ圧縮機ユニット
Ｂ、ＪＴ圧縮機ユニットＣの組合せという簡単な構成か
らなる極低温冷却装置で、ＪＴ回路の循環ガスとして 3
Ｈe（ヘリウム３）を使用し、ＪＴ圧縮機ユニットＣに
真空ポンプと圧縮機本体をシリ−ズに設けて、超流動ヘ
リウム温度（１．８Ｋ）域まで冷却可能となった。特
に、ＪＴ圧縮機ユニットＣの圧力制御において、吸着器
３の所の 3Ｈeが６kg／cm2Ｇ以上になると、１次圧力調
整器６が作動し、吐出 3Ｈeガスの一部をバッファタン
ク７へ保持し、圧縮機本体１の吸入圧力が低下すると、
２次圧力調整器８が作動し、バッファタンク７の 3Ｈe
が供給されるようにし、この２次圧力調整器８を約１kg
／cm2Ｇに設定し、真空ポンプ９を所定の吸込圧力にな
るよう、ＪＴ弁開度によるＪＴ流量を調整することによ
り約３．２Ｋから約１．５Ｋまでの任意の冷却温度を容
易に、また、低消費電力にて得ることができるようにな
った。
Ｂ、ＪＴ圧縮機ユニットＣの組合せという簡単な構成か
らなる極低温冷却装置で、ＪＴ回路の循環ガスとして 3
Ｈe（ヘリウム３）を使用し、ＪＴ圧縮機ユニットＣに
真空ポンプと圧縮機本体をシリ−ズに設けて、超流動ヘ
リウム温度（１．８Ｋ）域まで冷却可能となった。特
に、ＪＴ圧縮機ユニットＣの圧力制御において、吸着器
３の所の 3Ｈeが６kg／cm2Ｇ以上になると、１次圧力調
整器６が作動し、吐出 3Ｈeガスの一部をバッファタン
ク７へ保持し、圧縮機本体１の吸入圧力が低下すると、
２次圧力調整器８が作動し、バッファタンク７の 3Ｈe
が供給されるようにし、この２次圧力調整器８を約１kg
／cm2Ｇに設定し、真空ポンプ９を所定の吸込圧力にな
るよう、ＪＴ弁開度によるＪＴ流量を調整することによ
り約３．２Ｋから約１．５Ｋまでの任意の冷却温度を容
易に、また、低消費電力にて得ることができるようにな
った。
【図１】本発明の 3Ｈe・ＳＴ方式による２Ｋ冷却装置
のフロ−図を示す。
のフロ−図を示す。
Ａ 冷凍機ユニット Ｂ ＧＭ圧縮機ユニ
ット Ｃ ＪＴ圧縮機ユニット １ 圧縮機本体 ２ 油分離器 ３ 吸着器 ４ 圧力計 ５ 逆止弁 ６ １次圧力調整器 ７ バッファタンク ８ ２次圧力調整器 ９ 真空ポンプ 10 圧力計 11 １段熱負荷フランジ 12 ２段熱負荷フラ
ンジ 13 １段熱交換器 14 ２段熱交換器 15 ３段熱交換器 16 Ｊ−Ｔ弁 17 ７〜１５Ｋステ−ジ 18 ２Ｋステ−ジ 19 ４０〜６０Ｋシ−ルド 20 ７〜１５Ｋシ−
ルド 21 予冷用ＧＭ冷凍機 22 真空断熱容器 23，24，25，26 管路
ット Ｃ ＪＴ圧縮機ユニット １ 圧縮機本体 ２ 油分離器 ３ 吸着器 ４ 圧力計 ５ 逆止弁 ６ １次圧力調整器 ７ バッファタンク ８ ２次圧力調整器 ９ 真空ポンプ 10 圧力計 11 １段熱負荷フランジ 12 ２段熱負荷フラ
ンジ 13 １段熱交換器 14 ２段熱交換器 15 ３段熱交換器 16 Ｊ−Ｔ弁 17 ７〜１５Ｋステ−ジ 18 ２Ｋステ−ジ 19 ４０〜６０Ｋシ−ルド 20 ７〜１５Ｋシ−
ルド 21 予冷用ＧＭ冷凍機 22 真空断熱容器 23，24，25，26 管路
Claims (1)
- 【請求項１】 予冷機としてＧＭ冷凍機(21)を用い、こ
れにＪＴ回路と組合せた冷凍機ユニット(Ａ)に、ＧＭ圧
縮機ユニット(Ｂ)とＪＴ圧縮機ユニット(Ｃ)とを管路(2
3，24)及び管路(25，26)でそれぞれ接続し、 ＪＴ回路の循環ガスとして 3Ｈeを、又予冷用のＧＭ冷
凍機(21)の循環ガスとして 4Ｈeを使用し、 前記ＪＴ圧縮機ユニット(Ｃ)は直列に配置された１段の
真空ポンプ(９)と１段の圧縮機本体(１)及びＪＴ回路と
ＪＴ圧縮機ユニット(Ｃ)とを接続する管路（25と26）間
に配設された１次圧力調整器(６)と２次圧力調整器(８)
とにより、ＪＴ回路の低圧側を負圧保持し、かつＪＴ回
路の高圧側を所定の吐出圧力に保持可能とし、 前記ＪＴ圧縮機ユニット(Ｃ)の真空ポンプ(９)と圧縮機
本体(１)に圧縮比の高いスクロ−ル式を使用したことを
特徴とする極低温冷却装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26959197A JPH11108476A (ja) | 1997-10-02 | 1997-10-02 | 極低温冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26959197A JPH11108476A (ja) | 1997-10-02 | 1997-10-02 | 極低温冷却装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11108476A true JPH11108476A (ja) | 1999-04-23 |
Family
ID=17474501
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26959197A Pending JPH11108476A (ja) | 1997-10-02 | 1997-10-02 | 極低温冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11108476A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007333273A (ja) * | 2006-06-14 | 2007-12-27 | Taiyo Nippon Sanso Corp | 希釈冷凍機 |
| JP2013024554A (ja) * | 2011-07-21 | 2013-02-04 | Coldedge Technologies Inc | 電子常磁性共鳴スペクトロメータに対する寒剤を使用しない冷却システム |
| CN104236153A (zh) * | 2013-06-09 | 2014-12-24 | 中国科学院理化技术研究所 | 一种液氦温区小型节流制冷*** |
-
1997
- 1997-10-02 JP JP26959197A patent/JPH11108476A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007333273A (ja) * | 2006-06-14 | 2007-12-27 | Taiyo Nippon Sanso Corp | 希釈冷凍機 |
| JP2013024554A (ja) * | 2011-07-21 | 2013-02-04 | Coldedge Technologies Inc | 電子常磁性共鳴スペクトロメータに対する寒剤を使用しない冷却システム |
| CN104236153A (zh) * | 2013-06-09 | 2014-12-24 | 中国科学院理化技术研究所 | 一种液氦温区小型节流制冷*** |
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Legal Events
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| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20051206 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |