JP5738174B2 - クライオポンプシステム、極低温システム、圧縮機ユニットの制御装置及びその制御方法 - Google Patents
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Claims (10)
- クライオポンプシステムであって、
クライオパネルと、該クライオパネルを冷却するための冷凍機と、を備えるクライオポンプと、
前記冷凍機に作動ガスを供給するための圧縮機ユニットと、
共通制御量を用いる前記圧縮機ユニットの少なくとも2種類の運転制御のいずれかを選択的に実行するための制御部と、を備え、
前記少なくとも2種類の運転制御は、供給ガス量に関連する第1制御対象を制御するよう前記共通制御量を用いて前記圧縮機ユニットを運転する第1運転制御と、供給ガス量に関連し前記第1制御対象とは異なる第2制御対象を制御するよう前記共通制御量を用いて前記圧縮機ユニットを運転する第2運転制御と、を含み、
前記制御部は、前記第1運転制御のための前記共通制御量の値と前記第2運転制御のための前記共通制御量の値とを含む少なくとも2つの前記共通制御量の値の比較に基づいて、実行されるべき運転制御を前記少なくとも2種類の運転制御から選択し、
前記第1運転制御は、常態として選択されている運転制御であり、
前記第2運転制御は、前記圧縮機ユニットの保護のために前記第2制御対象について設定された目標値と前記第2制御対象との偏差に基づいて前記共通制御量が決定される圧縮機保護制御であることを特徴とするクライオポンプシステム。 - クライオポンプシステムであって、
クライオパネルと、該クライオパネルを冷却するための冷凍機と、を備えるクライオポンプと、
前記冷凍機に作動ガスを供給するための圧縮機ユニットと、
共通制御量を用いる前記圧縮機ユニットの少なくとも2種類の運転制御のいずれかを選択的に実行するための制御部と、を備え、
前記少なくとも2種類の運転制御は、供給ガス量に関連する第1制御対象を制御するよう前記共通制御量を用いて前記圧縮機ユニットを運転する第1運転制御と、供給ガス量に関連し前記第1制御対象とは異なる第2制御対象を制御するよう前記共通制御量を用いて前記圧縮機ユニットを運転する第2運転制御と、を含み、
前記制御部は、前記第1運転制御のための前記共通制御量の値と前記第2運転制御のための前記共通制御量の値とを含む少なくとも2つの前記共通制御量の値の比較に基づいて、実行されるべき運転制御を前記少なくとも2種類の運転制御から選択し、
前記第1制御対象は、前記圧縮機ユニットの吐出側圧力と吸入側圧力との差圧であり、前記第1運転制御は、当該差圧についての目標値と当該差圧との偏差に基づいて前記共通制御量が決定される差圧制御であり、
前記第2制御対象は、前記圧縮機ユニットの吐出側圧力であり、前記第2運転制御は、当該吐出側圧力についての目標値と当該吐出側圧力との偏差に基づいて前記共通制御量が決定される吐出圧制御であることを特徴とするクライオポンプシステム。 - クライオポンプシステムであって、
クライオパネルと、該クライオパネルを冷却するための冷凍機と、を備えるクライオポンプと、
前記冷凍機に作動ガスを供給するための圧縮機ユニットと、
共通制御量を用いる前記圧縮機ユニットの少なくとも2種類の運転制御のいずれかを選択的に実行するための制御部と、を備え、
前記少なくとも2種類の運転制御は、供給ガス量に関連する第1制御対象を制御するよう前記共通制御量を用いて前記圧縮機ユニットを運転する第1運転制御と、供給ガス量に関連し前記第1制御対象とは異なる第2制御対象を制御するよう前記共通制御量を用いて前記圧縮機ユニットを運転する第2運転制御と、を含み、
前記制御部は、前記第1運転制御のための前記共通制御量の値と前記第2運転制御のための前記共通制御量の値とを含む少なくとも2つの前記共通制御量の値の比較に基づいて、実行されるべき運転制御を前記少なくとも2種類の運転制御から選択し、
前記少なくとも2種類の運転制御は、供給ガス量に関連する第3制御対象を制御するよう前記共通制御量を用いて前記圧縮機ユニットを運転する第3運転制御をさらに含み、
前記制御部は、前記第1運転制御のための前記共通制御量の値と前記第2運転制御のための前記共通制御量の値と前記第3運転制御のための前記共通制御量の値とを含む少なくとも3つの前記共通制御量の値に基づいて、実行されるべき運転制御を前記少なくとも2種類の運転制御から選択し、
前記第3制御対象は、前記圧縮機ユニットの吸入側圧力であり、前記第3運転制御は、当該吸入側圧力についての目標値と当該吸入側圧力との偏差に基づいて前記共通制御量が決定される吸入圧制御であることを特徴とするクライオポンプシステム。 - 前記制御部は、現在選択されている運転制御のための前記共通制御量の値と現在選択されていない運転制御のいずれかのための前記共通制御量の値との大小関係が変化したときに、前記現在選択されている運転制御を前記現在選択されていない運転制御のいずれかに切り替えることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のクライオポンプシステム。
- 少なくとも1つの極低温冷凍機と、
前記少なくとも1つの極低温冷凍機に作動ガスを供給するための少なくとも1つの圧縮機ユニットと、
共通制御量を用いる前記圧縮機ユニットの少なくとも2種類の運転制御のいずれかを選択的に実行するための制御部と、を備え、
前記少なくとも2種類の運転制御は、供給ガス量に関連する第1制御対象を制御するよう前記共通制御量を用いて前記圧縮機ユニットを運転する第1運転制御と、供給ガス量に関連し前記第1制御対象とは異なる第2制御対象を制御するよう前記共通制御量を用いて前記圧縮機ユニットを運転する第2運転制御と、を含み、
前記制御部は、前記第1運転制御のための前記共通制御量の値と前記第2運転制御のための前記共通制御量の値とを含む少なくとも2つの前記共通制御量の値の比較に基づいて、実行されるべき運転制御を前記少なくとも2種類の運転制御から選択し、
前記第1運転制御は、常態として選択されている運転制御であり、
前記第2運転制御は、前記圧縮機ユニットの保護のために前記第2制御対象について設定された目標値と前記第2制御対象との偏差に基づいて前記共通制御量が決定される圧縮機保護制御であることを特徴とする極低温システム。 - 前記少なくとも1つの圧縮機ユニットは、複数の圧縮機ユニットであり、
前記制御部は、前記少なくとも2種類の運転制御の選択を、前記複数の圧縮機ユニットの各々につき個別的に実行することを特徴とする請求項5に記載の極低温システム。 - 極低温装置に寒冷を発生させるための作動ガスを該極低温装置に供給するための圧縮機ユニットの制御装置であって、
前記圧縮機ユニットから前記極低温装置へ供給されるガス量に関連する第1制御対象を制御するための第1制御量と、前記供給されるガス量に関連し前記第1制御対象とは異なる第2制御対象を制御するための、前記第1制御量と共通の第2制御量と、を含む少なくとも2つの制御量を演算する制御量演算部と、
前記少なくとも2つの制御量の比較に基づいて、前記第1制御対象と前記第2制御対象とを含む少なくとも2つの制御対象から、制御されるべき制御対象を選択する選択部と、を備え、
前記選択部は、常態として前記第1制御対象を選択し、
前記制御量演算部は、前記圧縮機ユニットの保護のために前記第2制御対象について設定された目標値と前記第2制御対象との偏差に基づいて前記第2制御量を演算することを特徴とする圧縮機ユニットの制御装置。 - 極低温装置に寒冷を発生させるための作動ガスを該極低温装置に供給するための圧縮機ユニットの制御方法であって、
前記圧縮機ユニットの通常制御が前記圧縮機ユニットのための保護制御よりも前記圧縮機ユニットに高い負荷を与えるか否かを判定することと、
前記通常制御が前記保護制御よりも前記圧縮機ユニットに高い負荷を与えると判定された場合に、前記保護制御に移行することと、
前記保護制御の間に、前記保護制御が前記通常制御よりも前記圧縮機ユニットに高い負荷を与えると判定された場合に、前記保護制御から前記通常制御に復帰することと、を含むことを特徴とする圧縮機ユニットの制御方法。 - 少なくとも1つの極低温冷凍機と、
前記少なくとも1つの極低温冷凍機に作動ガスを供給するための少なくとも1つの圧縮機ユニットと、
前記圧縮機ユニットの制御装置と、を備え、
前記制御装置は、
前記圧縮機ユニットの通常制御が前記圧縮機ユニットのための保護制御よりも前記圧縮機ユニットに高い負荷を与えるか否かを判定し、
前記通常制御が前記保護制御よりも前記圧縮機ユニットに高い負荷を与えると判定された場合に、前記保護制御に移行し、
前記保護制御の間に、前記保護制御が前記通常制御よりも前記圧縮機ユニットに高い負荷を与えると判定された場合に、前記保護制御から前記通常制御に復帰することを特徴とする極低温システム。 - 極低温装置に寒冷を発生させるための作動ガスを該極低温装置に供給するための圧縮機ユニットの制御装置であって、
前記圧縮機ユニットの通常制御が前記圧縮機ユニットのための保護制御よりも前記圧縮機ユニットに高い負荷を与えるか否かを判定する選択部を備え、
前記選択部は、前記通常制御が前記保護制御よりも前記圧縮機ユニットに高い負荷を与えると判定された場合に、前記保護制御に移行し、
前記選択部は、前記保護制御の間に、前記保護制御が前記通常制御よりも前記圧縮機ユニットに高い負荷を与えると判定された場合に、前記保護制御から前記通常制御に復帰することを特徴とする圧縮機ユニットの制御装置。
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