JP5943865B2 - クライオポンプシステム、クライオポンプシステムの運転方法、及び圧縮機ユニット - Google Patents
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Claims (6)
- クライオポンプと、
前記クライオポンプのための作動ガスの圧縮機と、
前記圧縮機の運転周波数を制御するよう構成されている制御装置と、
前記クライオポンプと前記圧縮機とを接続するガスラインと、
前記ガスラインの作動ガス量を、少なくとも第1ガス量と第2ガス量とに切り換えるよう構成されているガス量調整部と、を備え、
前記ガスラインが第1ガス量を有するとき、前記運転周波数の制御可能範囲は作動ガスの第1流量範囲を与え、前記ガスラインが第2ガス量を有するとき、前記制御可能範囲は作動ガスの第2流量範囲を与え、前記第2流量範囲は前記第1流量範囲と非重複部分を有することを特徴とするクライオポンプシステム。 - 前記第1流量範囲は、前記第2流量範囲と重複部分を有し、
前記制御装置は、前記重複部分に対応する前記制御可能範囲の領域で前記第1ガス量と前記第2ガス量とを切り換えるよう前記ガス量調整部を制御することを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプシステム。 - 前記ガスラインは、前記圧縮機から前記クライオポンプに作動ガスを供給するための高圧ラインを備え、
前記ガス量調整部は、前記高圧ラインから作動ガスを回収するためのストレージタンクと、前記ストレージタンクと前記高圧ラインとの間に設けられている制御弁と、を備え、
前記制御装置は、前記第1ガス量の一部を前記高圧ラインから前記ストレージタンクに回収し前記ガスラインが前記第2ガス量を有するように前記制御弁を制御することを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載のクライオポンプシステム。 - 前記クライオポンプシステムは、複数のクライオポンプを備え、
前記ガスラインは、前記複数のクライオポンプを前記圧縮機に並列に接続することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のクライオポンプシステム。 - クライオポンプの運転中に前記クライオポンプのための圧縮機の運転周波数を制御することと、
前記制御することの間に、前記クライオポンプと前記圧縮機とを循環する作動ガス量を第1ガス量から第2ガス量に調整することと、を備え、
前記第1ガス量の作動ガスが循環するとき、前記運転周波数の制御可能範囲は作動ガスの第1流量範囲を与え、前記第2ガス量の作動ガスが循環するとき、前記制御可能範囲は作動ガスの第2流量範囲を与え、前記第2流量範囲は前記第1流量範囲と非重複部分を有することを特徴とするクライオポンプシステムの運転方法。 - 極低温装置のための作動ガスの圧縮機ユニットであって、
圧縮機と、
前記圧縮機の運転周波数を制御するよう構成されている圧縮機コントローラと、
前記圧縮機と前記極低温装置とを循環する作動ガス量を、少なくとも第1ガス量と第2ガス量とに切り換えるよう構成されているガス量調整部と、を備え、
第1ガス量の作動ガスが循環するとき、前記運転周波数の制御可能範囲は作動ガスの第1流量範囲を与え、第2ガス量の作動ガスが循環するとき、前記制御可能範囲は作動ガスの第2流量範囲を与え、前記第2流量範囲は前記第1流量範囲と非重複部分を有することを特徴とする圧縮機ユニット。
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