KR100646899B1 - 적어도 두개 이상의 표면 탄성파 구조들을 가지고 있는표면 탄성파 장치 - Google Patents

적어도 두개 이상의 표면 탄성파 구조들을 가지고 있는표면 탄성파 장치 Download PDF

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Abstract

적어도 2개 이상의 표면 탄성파 구조를 가지는 표면 탄성파 장치.
표면 탄성파 신호를 전송하는 동안 분산 손실들을 줄이기 위해 본 발명은 핑거 주기가 접합 영역에서 감소하고, 핑거 주기가 접합 영역에서 계속해서 변화하도록 디자인된 상호 오프셋 표면 탄성파 구조들 사이의 접합부가 제공된다.

Description

적어도 두개 이상의 표면 탄성파 구조들을 가지고 있는 표면 탄성파 장치{SURFACE ACOUSTIC WAVE ARRANGEMENT WITH AT LEAST TWO SURFACE ACOUSTIC WAVE STRUCTURES}
본 발명은 주 파동이 전파되는 방향으로 인접한 표면 탄성파 구조들을 적어도 두 개 이상 가지는 표면 탄성파 장치에 관한 것으로서, 제1 표면 탄성파 구조의 핑거(finger) 주기가 제2 표면 탄성파의 핑거 주기와 상이하고, 서로에 대해서 위상 천이된다.
일반적인 전파 손실뿐만 아니라, 표면 탄성파가 부분적으로 체적파(volume wave)로 전환됨에 기인하여 각각에 대해 상이하거나 위상 천이된 두 개의 표면 탄성파 구조 사이의 접합부에서 광대역 손실이 발생한다. 상기 전환 손실은 이 경우에 금속화의 높이가 증가함에 따라 증가한다. 이는 Yasuo Ebata의 "SUPPRESSION OF BULK-SCATTERING LOSS IN SAW RESONATOR WITH QUASI-CONSTANT ACOUSTIC REFLECTION PERIODICITY" 초음파 심포지엄 1998, 페이지 91-96에서 기술되어 있다.
이러한 상황은 특히,
- 두 개의 격자 요소(표면 탄성파 구조들)의 주기 길이, 금속화율, 및/또는 층 두께가 상이하거나,
- 서로에 대하여 상기 두 개의 격자 요소가 위상 천이되도록 상기 두 개의 표면 탄성파 구조 사이의 거리가 선택되는 경우에 발생한다.
많은 필터 테크닉에 있어서, 완벽한 주기성의 불일치는 필터(예를 들면, DMS필터)를 동작하는 방법에서 본질적인 것이다. 따라서 독일 42 12 517에서 상기 두 개의 표면 탄성파 구조 사이의 접합이 준(quasi) 주기적이 되도록 설계되어야 한다는 것이 제시되었다. 그러나 이런 기술은 표면 탄성파와 간섭 체적파 사이의 상대적인 속도 차이가 상기 필터의 상대적인 유효 대역폭보다 매우 큰 경우, 흔히 예를 들면 협대역 수정(quartz) IF 필터를 사용하는 경우에만 충분히 성공적인 것으로 확인되었다. 이는 전달 함수를 가지는 상기 기생 체적파의 간섭이 상기 필터의 통과 대역 밖에 위치하여 상기 필터의 응답에 간섭을 일으키지 않는 유일한 상황이다.
그러나 EGSM 표준에 기초한 통신 네트워크 또는 PCS/PCN을 위해서는 보다 넓은 대역폭을 가지는 저손실 필터가 요구된다.
DMS 필터들(이중 모드 표면 탄성파 필터들)은 예를 들면 42°적색 YX-LiTaO3 기판 또는 36°적색YX-LiTaO3 기판상에서 RF용으로 높은 선택도를 갖는 저손실 광대역 필터로서 자주 사용된다.
간단한 단일 트랙 DMS 필터들의 한 예가 도1에 제시되어 있다. 이 경우에, 상기 필터는 입력 변환기들(E1, E2) 및 출력 변환기(A)를 가지는 트랙을 포함하고, 상기 입력 변환기들은 두 개의 리플렉터(R1, R2) 사이에 배치되어 있다. 상기 입출력 변환기들의 접속점은 바뀔 수 있고, 그 경우 A는 입력 변환기를 나타내고 E1, E2는 출력 변환기를 나타낸다. 상기 한 트랙의 출력 변환기 또는 다른 출력 변환기들을 제2 병렬 트랙의 입력 변환기 또는 입력 변환기들에 연결하는 것도 가능하다. 이는 상기 필터의 선택도가 향상되게 한다.
DMS 필터들은 전송 대역을 한정하는 하나의 탄성 트랙 내에 2개의 다른 공진 주파수를 가지고 있다. 상기 전송 대역의 좌측 가장자리는 상기 격자의 주기에 의존하고, 우측 가장자리는 두 개의 상호 천이된 표면 탄성파 구조(입력 및 출력 변환기) 사이의 공진으로 인해 발생한다. 주기적 격자와 비교해서, 상기 두 개의 구조는 서로에 대해서 대략 λ/4의 △x만큼 천이된다. 상기 거리 △x는 이 경우에 상기 표면 탄성파 구조들의 인접 (전극) 핑거들의 핑거 중앙과 관련된다. 실제로, 상기 두 개의 입력 변환기(E1, E2)의 접합부에서는 상기 출력 변환기(A)에 대해 도1에서 제시되듯이, 상기 두 개의 종단 핑거 중 하나는 대략 λ/4만큼 확장되는 것이 바람직하다. 임의의 표면 누설파는 금속화된 표면 아래에서 더 잘 전달되기 때문에, 상기 두 개의 구조 사이의 간격을 금속화된 표면으로 채우기 위해 이러한 과정이 이루어진다.
이는 다른 핑거들보다 매우 큰 국부 격자 주기(P)(상기 핑거의 좌, 우측에 대해 두 개의 자유 표면의 중앙점 사이의 거리로 정의됨)를 갖는 상당히 확장된 핑거를 구비하는 구조를 유도한다. 이는 상기 주기적 격자로 인한 상당한 장애를 가져온다. 도2는 표면 탄성파의 전파 방향인 위치 좌표 X 축에 대하여 그려진 상기 두 개의 변환기 구조(표면 탄성파 구조들) 사이의 접합부에서의 핑거 주기(P)의 프로파일을 보여준다.
지금까지 사용되는 이동 무선 시스템(예를 들면, 25MHz의 공칭 대역폭을 가지는 GSM)에 있어서, 상기 구조 접합부들에서 체적파 방사의 형태로 상기 탄성 손실을 확인하는 것이 명백하게 가능했지만, 이는 저손실 필터의 제공이 가능한 경우에는 그렇게 심각하게 두드러지지 않는다. 그러나 더 많은 채널을 제공하기 위해 차후의 이동 무선 시스템들에서는 더 넓은 대역폭들이 사용될 것이다(예를 들면, 35MHz의 공칭 대역폭을 갖는 EGSM).
일반적으로 표면 탄성파 필터의 대역폭은 금속 층의 두께를 증가시키고 핑거 수를 줄임으로써 증가한다. 두 방법 모두 상기 구조들 사이의 접합부에서 손실을 증가시킨다. 실질적으로 이러한 손실들은 오른쪽 대역 끝을 규정하는 상기 변환기/변환기 공진의 Q 인자의 감소를 초래하고, 따라서 상위 통과 대역 범위의 감소를 가져온다.
특히 EGSM 필터의 경우에 있어서, 상기 손실의 영향은 매우 커서 추가적인 외부 매칭 요소들에 의해 상기 상위 통과 대역의 감소가 보상되어야만 한다. 상기 외부 매칭은 상기 통과 대역에서의 리플 크기를 확실히 감소시킬 수 있지만, 상기 접합부들에서의 손실들로부터 야기되는 필터들의 삽입 손실이 증가되는 단점이 여전히 존재한다. EGSM에 요구되는 상기 규격은 부분적으로만 충족될 수 있다. 게다가, 상기 외부 매칭 네트워크들은 추가적인 비용, 무게, 회로 상의 표면 영역, 그리고 생산의 복잡성과 항상 연관되어 대부분의 사용자에게 바람직하지 않다.
따라서 본 발명의 목적은 상기 단점들을 극복할 수 있는 저손실 광대역 필터들을 제공하는 것이다.
본 발명에 따르면, 상기 목적은 청구범위 제1항에서 제시된 표면 탄성파 장치로부터 달성된다. 그리고 본 발명의 추가적인 개선들은 종속항에서 제시된다.
본 발명은 상기 필터의 전송 손실 감소를 유도하는데, 이는 개선된 삽입 손실 특히 통과 대역의 우측 절반에서 명백하다. 따라서 유효한 대역폭이 증대되고, 임의의 외부 매칭 네트워크는 더 이상 필요하지 않게 된다.
광대역, 저손실 표면 탄성파 필터들(예를 들면 42°적색 YX-LiTaO3 상의 EGSM 또는 PCS/PCN용 RF 필터들)을 제조함에 있어서, 상기 접합부에서의 국부 주기가 상기 접합부 양 끝쪽 두 개의 구조에서보다 큰 경우에는 체적파로 변형하는 형태로 추가적인 손실이 준 주기적 격자에서 발생하는 것을 본 발명자는 발견하였다. 그러나 돌발적으로 핑거 주기가 증가하는 하드(hard) 전환과는 대조적으로, 이러한 전환은 상기 격자의 국부 주기(local period)와 반비례하는 특성 개시 주파수(characteristic onset frequency) 이하로는 발생하지 않는다.
따라서, 본 발명에 따르면 인접한 표면 탄성파 구조들의 핑거 주기보다 작은 핑거 주기가 접합점에서 사용되기 때문에 상이한 위상 및/또는 상이한 핑거 주기를 가지는 표면 탄성파 구조들 사이의 접합부에서의 손실은 상당히 감소하거나 완전히 회피된다. 이는 체적파 방사를 위한 상기 개시 주파수가 상기 필터의 원하는 전송 대역 위에 존재하게 한다. 상기 표면 탄성파 구조 사이의 접합부는 준 주기적인데, 즉 준 주기적 구조가 두 개의 표면 탄성파 구조 사이의 파동 접합 영역에서 형성되고, 상기 준 주기적 구조는 상기 제1 표면 탄성파의 핑거 주기(P) 및/또는 위상과 상기 제2 표면 탄성파의 핑거 주기(P) 및/또는 위상 사이에 연속적인 변이를 형성한다.
상기 접합부에서의 불연속성의 정도에 따라, 준 주기적 접합 영역은 충분히 많은 수의 핑거를 가지도록 형성된다. 각 표면 탄성파 구조의 끝에서 총 3~4개의 핑거가 매우 심한 불연속성의 경우에 발생하는 손실들을 억제하기에 충분하다는 것이 확인되었다. 상기 접합 영역은 손실을 피하기 위해 요구되는 것보다 더 크게 선택되어서는 안 되는데, 그렇지 않으면 상기 필터의 전송 응답에 부정적인 영향을 미칠 것이다.
본 발명에 상기 바람직한 접합은 상기 제2 표면 탄성파 구조의 핑거 주기에 도달할 때까지 상기 제1 표면 탄성파 구조의 핑거 주기가 처음에는 계속해서 감소하다가 다시 계속해서 마지막으로 증가하는 경우에 달성된다.
본 발명의 이러한 목적을 위해서, 상기 표면 탄성파 구조라는 어구는 인터디지털 변환기들과 리플렉터들 모두를 포함한다. 따라서 본 발명에 따라, 두 개의 인터디지털 변환기 사이에서뿐만 아니라 인터디지털 변환기와 리플렉터 사이 그리고 두 개의 리플렉터 사이에서 접합이 발생하고 설계된다. 따라서 본 발명은 특히 DMS 필터들 및 단일 포트 공진기에서 유익하게 사용될 수 있다. 후자에서, 상기 리플렉터들은 상기 인터디지털 변환기와 다른 (더 큰) 핑거 주기를 가진다.
상기 핑거 폭과 핑거 간격은 상기 접합 영역에서 핑거 주기를 감소시키기 위해 계속해서 줄어든다.
금속화율 η(η= 상기 표면 탄성파 구조의 한 주기 내에서 비 금속화 표면 영역에 대한 금속화된 표면의 비)을 0.7~0.8 사이에서 선택함으로써 상기 표면 누설파의 속도를 줄일 수 있게 되고, 결과적으로 체적파 변환 개시 주파수와 상기 통과 대역 사이의 거리가 더 증가한다. 따라서 체적파 손실의 영향은 감소한다.
상기 표면 탄성파 장치의 리플렉터들이 접지와 연결되면 상기 리플렉터 내의 전하 손실 교환이 상당히 감소하기 때문에 전송 손실이 감소한다.
본 발명은 아래에서 5개의 도면과 실시예를 참조하여 상세히 설명될 것이다.
도1은 공지된 단일 트랙 DMS 필터이다
도2는 위치 좌표에 따른 상기 공지된 필터(도1)의 핑거 주기의 형태를 보여주는 도이다.
도3은 본 발명에 따른 표면 탄성파 장치의 핑거 주기 형태를 보여주는 도이다.
도4의 a는 하드(hard) 전환을 가지는 두 개의 표면 탄성파 구조를 보여주는 도이다.
도4의 b는 본 발명에 따른 두 개의 표면 탄성파 구조 사이에서 접합을 가지는 표면 탄성파 장치가 비교되어 도시된 도이다.
도5는 측정 곡선에 기반을 둔 본 발명 및 기존 필터에 따른 필터의 통과 특성을 비교하는 도이다.
도1은 공지된 단일 트랙 DMS 필터로서, 출력 변환기(A)를 사이에 가지고 있는 두 개의 병렬 연결된 입력 변환기(E1, E2)가 두 개의 리플렉터(R1, R2) 사이에 배치되어 있다. In과 Out은 상기 입력과 출력에 대한 전기적 연결을 표시한다. 상기 핑거들 사이의 거리 측정치인 상기 핑거 주기(P)는 다음 텍스트에서 두 핑거들 사이의 자유 공간 중앙에서부터 두 개의 인접 핑거들 사이의 다음 자유 공간 중앙으로 확장되는 거리로 정의된다. 상기 예시된 DMS 필터에서, 상기 출력 변환기(A)는 상기 두 개의 입력 변환기(E1, E2)에 대하여 천이되고, 각각의 경우에 상기 핑거 주기는 각각 상호 천이된 변환기 사이의 E1/A 및 A/E2 접합부에서 불연속성을 갖는다.
도2는 변환기(E1)와 변환기(A) 사이의 접합 영역에서 변환기들의 핑거 주기의 프로파일을 보여준다. 서로에 대한 상기 두 개의 변환기의 천이는 돌발적인 핑거 주기의 상승 후 다시 일정한 값으로 다시 돌발적으로 하강하는 것을 보여준다. 동일한 하드 전환이 서로에 대해 이동되는 두 개의 변환기(A, E2) 사이에서 관측된다. 상기 변환기(A)의 두 개의 외부 끝 핑거들은 금속화된 표면을 갖는 두 개의 구조 사이 간격을 채우기 위해 확장된다. 두 개의 표면 탄성파 구조(여기서는 두 개의 변환기) 사이 접합부에서 핑거 주기 형태의 불연속성에서 비롯되는 단점은 도입부에서 이미 설명되었다.
도3은 제1 표면 탄성파 구조(St1)와 제2 표면 탄성파 구조(St2) 사이의 접합 영역에서 본 발명에 따른 표면 탄성파 장치의 핑거 주기(P) 프로파일을 보여준다. 상기 핑거 주기(P)는 접합부에서 연속적으로 변화하고, 그곳에서 상기 두 개의 구조(St1,St2) 중 어느 하나에서 보다 낮은 값을 갖는다. 상기 접합부 지역의 외부, 즉 상기 두 개의 구조(St1, St2) 내부에서는 상기 핑거 주기는 일정한 값을 가정하고, 이 값은 두 표면 탄성파 구조 간에 서로 다를 수도 있다. 상기 표면 탄성파 구조는 이 경우에 인터디지털 변환기 또는 리플렉터일 수도 있고, 이 경우에 상기 접합은 변환기들 사이 또는 변환기와 리플렉터 사이에서 발생할 수도 있다.
도4는 본 발명에 따라 두 개의 상호 천이된 표면 탄성파 구조(St1, St2) 사이의 접합부가 어떻게 구현되는지를 보여주는 실시예이다. 비교를 위해, 도4a는 도1에서 제시된 공지된 하드 전환을 보여준다. 이 경우 두 개의 경계 핑거들 중 하나는 확장되었다. 도4b는 본 발명에 따라 구현된 접합부를 보여준다. 이 경우 상기 핑거 주기(P)는 상기 구조(St1)의 마지막 3개의 핑거에 대해서 계속해서 감소하고, 인접 구조(St2)의 최외부 3개의 핑거에 대해서 계속해서 증가한다. 이러한 구조는 공지된 하드 전환을 갖는 장치와 비교해서 상기 두 개의 구조 사이의 접합부에서의 분산 손실을 상당히 감소시킨다. 게다가, 예를 들어 도4b에서 제시된 본 발명에 따른 접합은 정상 핑거 폭 및 핑거 간격과 비교해서 상기 핑거 폭 및 핑거 간격이 매우 심하게 달라지지 않기 때문에 제조하기가 간단하다.
도5는 서로에 대해 천이된 표면 탄성파 구조들을 가지는 3개의 표면 탄성파 필터들에 대한 전송 곡선들을 보여준다. 도1에서 제시된 DMS 필터는 예시로서 사용되었고, 상기 DMS 필터의 전송 응답은 도5에서 전송 곡선(1)으로 제시된다. 전송 곡선(2)은 도1에서 제시된 DMS 필터로부터 얻어지지만, 연속적인 핑거 주기 프로파일을 가지고 있다. 이 구조에서, 끝에서의 핑거는 확장되지 않지만, 상기 접합의 양 측면에서 상기 두 개의 구조 사이의 더 큰 거리가 각 최외각 3개의 핑거들에 대해서 분배되고, 그 결과 국부적으로 증가한 핑거 주기가 상기 접합부에서 발생한다. 측정 곡선(2)에서 보여지듯이, 이러한 방식으로 디자인된 DMS 필터는 도1에서 제시된 필터보다 나쁜 전송 응답을 가진다. 반면 전송 곡선(3)은 본 발명에 따라 디자인된 DMS 필터로 측정되었고, 상기 두 개의 상호 천이된 변환기(표면 탄성파 구조들)의 접합 영역에서 핑거 주기는 감소하고, 공지된 도1의 SAW 필터와 비교해서 추가적인 핑거가 삽입된다. 이 경우, 양 변환기에 있어서 핑거 폭과 핑거 거리는 접합 부분 방향으로 가면서 계속해서 감소한다. 도5에서 제시되듯이, 본 발명에 따른 필터는 감소한 감쇠와 보다 일정한 전송 곡선으로 표현되는 양호한 전송 응답을 가진다. 상기 감소한 감쇠, 특히 상기 전송 곡선의 오른편 가장자리 영역에서의 감소한 감쇠는 상기 접합 영역에서의 분산 손실의 감소에 의해 달성된다.
DMS 필터를 디자인하는 추가적인 파라미터들은 다음 텍스트에서 예시적으로 구현되고, 이는 중간 주파수 942.5MHz에서 35MHz의 공칭 대역폭을 가지는 EGSM 시스템에 적합하다.
42°적색 YX 크리스털 컷(crystal cut)을 가지는 리듐 텐탈레이트 LiTaO3가 기판으로 사용된다. 상기 표면파 구조들에 대한 금속화는 관련 파장의 9-11% 정도의 두께, 예를 들면 420nm로 적용된다. 이는 35MHz의 요구 대역폭을 제공한다. 서로에 대해서 △x 값만큼 천이된 두 개의 변환기 사이의 공진 결과에서 비롯되는 상기 필터의 전송 곡선의 우측면은 △x = (0.25 ± 0.05)λ를 선택함으로써 상기 EGSM 규격에 맞추어질 수 있다. 상기 두 개의 천이된 변환기 사이의 핑거 주기의 준 주기적 전환은 총 5~8개의 핑거에 대해서 분배된다. 변환기(A)에서의 총 전극 핑거의 수는 바람직하게는 27~35 범위 내에서 선택되고, 변환기(E1) 및 변환기(E2)의 총 핑거 수는 20~24 범위에서 선택된다. 이는 리플 및 측면 기울기의 관점에서 최적화된 필터를 달성하게 한다.
EGSM에 요구되는 선택도는 두 개의 트랙을 가지면서 그 트랙들의 접합부가 본 발명에 따라 디자인된 필터를 통해 달성된다. 개구(aperture)는 50Ω의 입출력 저항값을 획득하기 위해 50 × λ와 70 × λ 사이에서 선택된다.
본 발명에 따른 표면 탄성파 장치를 가지는 완전한 필터는 대칭/비대칭적으로 동작하는 실시예에서 또한 사용될 수 있다. 이는 특히 비대칭적 신호가 입력 또는 출력에서 존재하는, 즉 두 개의 접속 중 하나는 신호를 전달하고 나머지 하나는 접지에 연결되는 필터를 의미한다. 상기 필터의 다른 끝에서, 두 연결부에서 동일한 절대 크기를 가지고 반대의 부호 또는 180°의 위상차이를 가지는 대칭적 신호가 두 연결부에 존재한다.
본 발명은 대칭/비대칭적으로 동작하고 입출력 저항값이 상이한 DMS 필터들에 또한 적용된다. 상기 입력 또는 출력 저항값은 웨이팅(weighting) 또는 수직이나 수평으로 상기 변환기들을 변환기 요소 구조들로 분할함으로써 조절되고, 이는 두 개의 선행 독일 특허 출원(197 24 258.8 및 197 24 259.6)에 제시되어 있다.
상기 중앙 인터 디지털 변환기(A)와 상기 2개의 외부 인터디지털 변환기(E1,E2) 사이의 거리가 상이한 크기를 가지도록 하는 것도 가능하다.
추가적인 개선들은 2-트랙 장치의 형태로 되어있는 필터와 관련되고, 상기 2-트랙의 리플렉터들(R)의 핑거 주기들(P)은 상이한 크기를 가진다.
본 발명은 이와 같이 공진기 필터로 사용되고, 여기서 상호 천이된 변환기와 리플렉터 사이의 결합은 본 발명에 따라 디자인된다. 예를 들면, 병렬 및/또는 직렬 연결된 많은 단일 포트 공진기들을 포함하면서 상기 인터디지털 변환기 및 리플렉터의 상이한 핑거 주기들(P) 사이의 접합부를 가지는 리액턴스 필터가 적어도 하나 이상의 단일 포트 공진기 내에서 형성될 수 있다.

Claims (18)

  1. - 압전 기판을 구비하고,
    - 상기 기판에 고정되며 표면 탄성파의 전파 방향을 따라 차례로 배치되는 제1 및 제2 표면 탄성파 구조(St1, St2)가 금속성 핑거들을 포함하며 각각 제1 및 제2 핑거 주기(P)를 갖고,
    - 상기 두 개의 표면 탄성파 구조는 위상 및 핑거 주기(P) 중 적어도 하나가 서로 다르며,
    - 상기 두 개의 표면 탄성파 구조의 끝 부분에 있는 핑거들은 제1 표면 탄성파 구조로부터 제2 표면 탄성파 구조로의 접합 영역을 형성하며,
    - 상기 접합 영역에서의 국부 핑거 주기(P)는 상기 두 표면 탄성파 구조의 핑거 주기보다 낮게 제공되는, 표면 탄성파 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 접합 영역에서의 제1 표면 탄성파 구조의 국부 핑거 주기(P)는 상기 제2 표면 탄성파 구조의 핑거 주기에 도달할 때까지 처음에는 계속해서 감소하다가 다시 계속해서 증가하는 표면 탄성파 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 접합 영역은 상기 두 표면 탄성파 구조의 끝에 있는 5 내지 8개의 핑거로 형성되는 표면 탄성파 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 두 표면 탄성파 구조 중 적어도 하나는 인터디지털 변환기(A, E)의 형태인 표면 탄성파 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제2 표면 탄성파 구조는 리플렉터(R)의 형태인 표면 탄성파 장치.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 두 개의 표면 탄성파 구조는 리플렉터(R)의 형태인 표면 탄성파 장치.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 표면 탄성파 구조들의 핑거 폭은 처음에는 감소하다가 상기 접합 영역에서 다시 증가하는 표면 탄성파 장치.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 표면 탄성파 구조들은 0.7 내지 0.8의 금속화율(η)을 갖는 표면 탄성파 장치.
  9. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 표면 탄성파 장치는 입력 및 출력 변환기로 사용되는 인터디지털 변환기들이 하나의 탄성 트랙 내의 두 리플렉터 사이에 배치되는 2중 모드 표면 탄성파 필터(DMS 필터)의 형태이며, 상기 표면 탄성파 구조들은 인터디지털 변환기들 및 리플렉터들로부터 선택되는 표면 탄성파 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 리플렉터들은 접지에 연결되는 표면 탄성파 장치.
  11. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 표면 탄성파 구조들의 금속화 높이는 상기 표면 탄성파 구조들과 관련하여 표면 탄성파 파장의 9 내지 11% 범위 내에 있는 표면 탄성파 장치.
  12. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    42°적색 YX-LiTaO3 기판 또는 36°적색 YX-LiTaO3 기판 위에 배치되는 표면 탄성파 장치.
  13. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    두 리플렉터(R1, R2) 사이에 차례로 배치되는 3개의 인터디지털 변환기(A1,E1,E2)를 구비하며, 제1 연결부(OUT)에 연결되는 중앙 인터디지털 변환기(A)는 총 27 내지 35개의 전극 핑거를 구비하는 반면에, 제2 연결부(IN)에 연결되는 두 개의 외부 인터디지털 변환기(E1, E2)는 총 20 내지 24개의 전극 핑거를 구비하는 표면 탄성파 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 중앙 인터디지털 변환기(A)와 상기 두 외부 인터디지털 변환기(E1, E2) 사이의 거리는 크기가 서로 다른 표면 탄성파 장치.
  15. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 표면 탄성파 장치는 2-트랙 장치의 형태이며, 상기 2-트랙 내의 상기 리플렉터들(R)의 핑거 주기(P)는 크기가 서로 다른 표면 탄성파 장치.
  16. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 표면 탄성파 장치는 단일 포트 공진기들을 구비한 리액턴스 필터의 형태이며, 적어도 하나 이상의 단일 포트 공진기에서 서로 다른 핑거 주기(P)의 인터디지털 변환기와 리플렉터 사이에 결합부를 가지는 표면 탄성파 장치.
  17. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    두 개의 리플렉터(R1, R2) 사이에 배치되는 3개의 인터디지털 변환기들(A1,E1,E2)이 표면 탄성파 구조로서 제공되고, 외부 인터디지털 변환기들(E1, E2)과 중앙 인터디지털 변환기(A)간의 거리가 상이한 표면 탄성파 장치.
  18. 제1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 표면 탄성파 장치는 DMS 필터로서 형성되면서, 전극 핑거의 금속화 높이는 파장의 9 내지 11% 범위 내에 있으며, 상기 두 개의 표면 탄성파 구조는 서로에 대해 △x만큼 천이된 인터디지털 변환기이며, 이때 △x=(0.25±0.01)λ가 되는 표면 탄성파 장치.
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