JP2003258595A - 弾性表面波装置 - Google Patents

弾性表面波装置

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JP2003258595A
JP2003258595A JP2002052460A JP2002052460A JP2003258595A JP 2003258595 A JP2003258595 A JP 2003258595A JP 2002052460 A JP2002052460 A JP 2002052460A JP 2002052460 A JP2002052460 A JP 2002052460A JP 2003258595 A JP2003258595 A JP 2003258595A
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Osamu Kawauchi
治 川内
Satoshi Orito
悟士 折戸
Takuya Abe
卓也 阿部
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Fujitsu Media Devices Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 スプリアスの抑制と角形特性(通過帯域の肩
部分の急峻性)とを同時に向上させた弾性表面波装置を
提供する。 【解決手段】 基板と、該基板上に形成された一対の反
射電極と、該一対の反射電極に挟まれるように形成され
た複数の駆動電極とを有し、各反射電極の周期が各々の
所定の変化パターンに従って変化している。また、各反
射電極は複数個のブロックに区分けされ、前記周期は少
なくとも2つのブロックで異なる構成でもよい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は弾性表面波装置に関
し、より詳細には多重モード型弾性表面波装置に関す
る。
【0002】近年、携帯電話やコードレス電話、無線機
は小型かつ軽量化が進み、急速に普及してきている。こ
れらの無線装置の高周波回路にはフィルタが使用され、
重要なキーデバイスとされている。このようなフィルタ
を構成する素子として、弾性表面波装置が用いられてい
る。現在まで、様々なタイプの弾性表面波装置が提案さ
れ、実用化されている。このうち、多重モード型弾性表
面波装置は低周波側で優れた抑圧度を持つものとして知
られている。
【0003】
【従来の技術】このような多重モード型弾性表面波を用
いたフィルタは例えば、特開2001−257556号
公報、特開2000−224003号公報、特開平11
−317643号公報、特開平10−51259号公
報、特開平8−191229号公報、特開平8−125
489号公報、及び特開平7−1355444号公報な
どに記載されている。
【0004】これらの公報に記載の多重モード型弾性表
面波フィルタは、基板と、該基板上に形成された一対の
反射電極と、該一対の反射電極に挟まれるように形成さ
れた複数の駆動電極とを具備している。そして、このよ
うな構成の多重モード型弾性表面波フィルタの特性を改
善するための様々な提案がなされている。特に、上記公
報にはストップバンドを形成する反射器を工夫すること
で、低周波側又は高周波側の通過帯域近傍に現われるス
プリアスを抑制することが記載されている。
【0005】例えば、特開2001−257556号公
報には、励起される表面波の波長あたり3本の電極指を
反射器に形成して、通過帯域近傍の低域側に生ずる高次
縦モードによるスプリアスを抑圧することが記載されて
いる。特開2000−224003号公報には、通過帯
域の低周波側に発生するスプリアスを抑圧するために、
一方の反射器の電極周期を他方の反射器の電極周期と異
ならせることが記載されている。また、特開平11−3
17643号公報には、通過帯域の低周波側に発生する
スプリアスを抑圧するために、一方の反射器の電極ピッ
チを他方の反射器の電極ピッチと異ならせることが記載
されている。更に、特開平10−51259号公報、特
開平8−191229号公報、特開平8−125489
号公報、及び特開平7−1355444号公報には、櫛
形電極と反射器との距離に着目した改善が記載されてい
る。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記公
報に記載の従来技術はスプリアスの抑制と角形特性(通
過帯域の肩部分の急峻性)とを同時に向上させることに
ついては記載されていない。
【0007】従って、本発明は上記従来技術とは異なる
手法により、スプリアスの抑制と角形特性(通過帯域の
肩部分の急峻性)とを同時に向上させた弾性表面波装置
を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は請求項1に記載のように、基板と、該基板
上に形成された一対の反射電極と、該一対の反射電極に
挟まれるように形成された複数の駆動電極とを有し、各
反射電極の周期が各々の所定の変化パターンに従って変
化していることを特徴とする弾性表面波装置である。こ
れにより、スプリアスの抑制と角形特性(通過帯域の肩
部分の急峻性)とを同時に向上させることができる。
【0009】また、上記課題を解決するために、本発明
は請求項2に記載のように、基板上に形成された一対の
反射電極と、該一対の反射電極に挟まれるように形成さ
れた複数の駆動電極とを有し、各反射電極は複数個のブ
ロックに区分けされ、前記周期は少なくとも2つのブロ
ックで異なることを特徴とする弾性表面波装置である。
これにより、スプリアスの抑制と角形特性(通過帯域の
肩部分の急峻性)とを同時に向上させることができる。
【0010】請求項1記載の弾性表面波装置において、
例えば請求項3に記載のように、変化パターンの一例と
して、各反射電極の周期が当該反射電極内で連続的に変
化している。
【0011】請求項1記載の弾性表面波装置において、
例えば請求項4に記載のように、変化パターンの一例と
して、前記各反射電極の周期は、線形的に変化してい
る。
【0012】請求項1記載の弾性表面波装置において、
例えば請求項5に記載のように、変化パターンの一例と
して、前記各反射電極の周期は、非線形的に変化してい
る。
【0013】請求項1記載の弾性表面波装置において、
例えば請求項6に記載のように、前記各反射電極の周期
は、曲線的に変化している。
【0014】請求項1記載の弾性表面波装置において、
例えば請求項7に記載のように、変化パターンの一例と
して、前記各反射電極の変化パターンは、各反射電極の
中間部分においてピークを持つ。
【0015】請求項1記載の弾性表面波装置において、
例えば請求項8に記載のように、変化パターンの一例と
して、前記各反射電極の変化パターンは、前記複数の駆
動電極を中心として対称である。
【0016】請求項1記載の弾性表面波装置において、
例えば請求項9に記載のように、変化パターンの一例と
して、前記各反射電極の変化パターンは、前記複数の駆
動電極を中心として非対称である。
【0017】請求項1記載の弾性表面波装置において、
例えば請求項10に記載のように、前記各反射電極は同
じ変化パターンを持つ。
【0018】請求項1記載の弾性表面波装置において、
例えば請求項11に記載のように、前記各反射電極は異
なる変化パターンを持つ。
【0019】請求項2記載の弾性表面波装置において、
例えば請求項12に記載のように、各反射電極におい
て、前記周期は隣接するブロックで異なる。
【0020】請求項2記載の弾性表面波装置において、
例えば請求項13に記載のように、各反射電極におい
て、前記周期は各ブロック毎に異なる。
【0021】請求項2記載の弾性表面波装置において、
例えば請求項14に記載のように、各反射電極におい
て、前記周期は前記複数のブロックにわたり連続的に変
化している。
【0022】請求項2記載の弾性表面波装置において、
例えば請求項15に記載のように、各反射電極におい
て、前記周期は前記複数のブロックにわたり線形に変化
している。
【0023】請求項2記載の弾性表面波装置において、
例えば請求項16に記載のように、各反射電極におい
て、前記周期は前記複数のブロックにわたり非線形に変
化している。
【0024】請求項2記載の弾性表面波装置において、
例えば請求項17に記載のように、各反射電極におい
て、前記複数のブロックにわたる前記周期の変化は、前
記複数の駆動電極を中心として対称である。
【0025】請求項2記載の弾性表面波装置において、
例えば請求項18に記載のように、各反射電極におい
て、前記複数のブロックにわたる前記周期の変化は、前
記複数の駆動電極を中心として非対称である。
【0026】請求項2記載の弾性表面波装置において、
例えば請求項19に記載のように、各反射電極におい
て、前記複数のブロックのうち中間に位置するブロック
における周期が最大又は最小のいずれかである。
【0027】請求項2記載の弾性表面波装置において、
例えば請求項20に記載のように各反射電極において、
前記複数のブロックのうち最も外側に位置するブロック
における周期が最大又は最小のいずれかである。
【0028】請求項2から20のいずれか一項記載の弾
性表面波装置において、例えば請求項21に記載のよう
に、各ブロック内において、前記周期は一定である。
【0029】請求項2から20のいずれか一項記載の弾
性表面波装置において、例えば請求項22に記載のよう
に、各反射電極は異なる周期を有する。
【0030】請求項2から19のいずれか一項記載の弾
性表面波装置において、例えば請求項23に記載のよう
に、各反射電極は同一の周期を有する。
【0031】また、本発明は請求項24に記載のよう
に、多重モード型の共振器を縦続接続した弾性表面波装
置において、各共振器は共通の基板上に形成された一対
の反射電極と、該一対の反射電極に挟まれるように形成
された複数の駆動電極とを有し、各共振器において、各
反射電極の周期が各々の所定の変化パターンに従って変
化している弾性表面波装置である。請求項1に記載の弾
性表面波装置を複数個縦続接続(カスケード接続)する
ことで、スプリアスの抑制と角形特性(通過帯域の肩部
分の急峻性)とを同時に向上させることができる。
【0032】請求項24記載の弾性表面波装置におい
て、例えば請求項25に記載のように、前記各共振器の
うち、第1の共振器の変化パターンと第2の共振器の変
化パターンとは異なる。
【0033】請求項24記載の弾性表面波装置におい
て、例えば請求項26に記載のように、前記各共振器の
うち、第1の共振器の変化パターンと第2の共振器の変
化パターンとは同一である。
【0034】請求項24記載の弾性表面波装置におい
て、例えば請求項27に記載のように、前記各共振器の
うち、第1の共振器と第2の共振器とは異なる周期を持
つ。
【0035】請求項24記載の弾性表面波装置におい
て、例えば請求項28に記載のように、前記各共振器の
うち、第1の共振器と第2の共振器とは同じ周期を持
つ。
【0036】請求項24から26のいずれか一項記載の
弾性表面波装置において、例えば請求項29に記載のよ
うに、入力と出力のすくなくとも一方がバランス型であ
る。
【0037】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を説明す
る。 (第1実施形態)図1は、本発明の第1実施形態による
弾性表面波装置を示す図である。図示する弾性表面波装
置は、1次(基本)モードと、3次のモードを持つダブ
ルモード型弾性表面波装置であって、圧電基板10と、
この上に形成された駆動電極12及び一対の反射電極1
4、16とを有する。圧電基板10はLiTaO3やL
iNbO3などの圧電体で形成されている。駆動電極1
2や反射電極14、16は例えば、アルミを主成分とす
るものである。駆動電極12は、一対の反射電極に挟ま
れるように形成されている。駆動電極12は3つの電極
121、122及び123を有する。3つの電極121、1
2及び123はいわゆるインターディジタルトランスデ
ューサである。電極121のバスバー181と電極123
のバスバー183は、入力(又は出力)端子30に接続
されている。電極121のバスバー20 1と電極123
バスバー203は、グランド端子32に接続されてい
る。電極182のバスバーはグランド端子36に接続さ
れ、電極18のバスバー20は出力(又は入力)端
子34に接続されている。
【0038】反射電極14はグレーティング反射電極で
あって、対向するバスバー22と24を有し、これらか
ら電極指が交互に延びている。駆動電極12と異なり、
反射器14の電極指は対向するバスバーに接続してい
る。同様に、反射電極16もグレーティング反射電極で
あって対向するバスバー26と28を有し、これらから
電極指が交互に延びている。図示する例では反射電極1
6の対数は反射電極14の対数よりも多いが、図3に示
すように同じであってもよい。ここで、反射電極14、
16の周期(波長)を定義する。反射電極14、16の
周期は、駆動電極12と同様に、2つのバスバーから電
極指が交互に延びているとみなし、同一バスバーから延
びる電極指間の距離と定義する。この定義に従って、反
射電極14の周期をλ1、λ2、・・・、λm−1及び
λmとする。ただし、mは任意の自然数である。同様
に、反射電極16の周期をλ´1、λ´2、・・・、λ
´n−1、λ´nとする。ただし、nは任意の自然数
で、図1の場合はn≠mでn>mであるが、図3に示す
ようにn=mであってもよい。
【0039】一般に、図2に示すように、反射電極1
4、16のそれぞれの周期は一定でかつ等しい。一定で
かつ等しい周期をλとすれば、λ=λ1=λ2=・・・
=λm−1=λm=λ´1=λ´2=λ´n−1=λ´
nである。これに対し、本発明の第1実施形態によれ
ば、反射電極14、16の周期が各々の所定の変化パタ
ーンに従って変化している。以下、所定の変化パターン
の例を説明する。
【0040】例えば、反射電極14の周期λ1〜λmが
連続的に変化し、反射電極16の周期λ´1〜λ´nが
連続的に変化する。一例として、λ1<λ2<・・・<
λm、λ´1<λ´2<・・・<λ´nである。また、
λ1>λ2>・・・>λm、λ´1>λ´2>・・・>
λ´nであってもよい。これらの場合において、反射電
極14の周期λ1〜λm及び反射電極16の周期λ´1
〜λ´nは線形的に変化してもよいし、非線形に変化し
てもよい。線形的に変化する例としては、単調に増加す
る場合や単調に減少する場合である。また、途中まで単
調に増加し、その後単調に減少する変化パターンであっ
ても良い。また、非線形に変化する例としては周期が曲
線的に変化する場合である。例えば、反射電極の周期λ
1〜λm、λ´1〜λ´nの変化がサインカーブやコサ
インカーブ又はこれらに類似する曲線や2次曲線を示す
変化パターンである。
【0041】また、反射電極の周期λ1〜λm、λ´1
〜λ´nの変化パターンがそれぞれの反射電極14、1
6の中間部分においてピークを持つものであっても良
い。例えば、反射電極14の周期λi(iは1とm以外
の任意の自然数)が他の周期よりも大きい又は小さい場
合である。同様に、反射電極16の周期λ´i(iは1
とn以外の任意の自然数)が他の周期よりも大きい又は
小さい場合である。更に、反射電極14の変化パターン
と反射電極16の変化パターンとは、駆動電極12を中
心として対称、又は非対称であってもよい。対称な場合
とは例えば、λ1<λ2<・・・<λm、λ´1<λ´
2<・・・<λ´nである。反射電極14と16の対数
が異なる場合には完全な対称にならないが、すくなくと
も変化の傾向が同一であれば対称であると定義する。例
えば、反射電極14の周期λ1〜λmと反射電極16の
周期λ´1〜λ´nとがそれぞれ2次曲線的な変化パタ
ーンを示している場合、サインカーブ自体の形状は異な
っていても、それぞれの変化パターンは駆動電極12を
中心として対称であると言える。上記対称を、反射電極
14と16のそれぞれの変化パターンが略対称であると
いってもよい。非対称な変化パターンとは、例えばλ1
<λ2<・・・<λm、λ´1>λ´2>・・・>λ´
nである。
【0042】また、反射電極14の周期λ1〜λmと反
射電極16の周期λ’1〜λ’nとは、同一の周期を持
つ変化パターンを示すものであってもよい。この場合m
=nとなる。例えば、λ1=λ’1、λ2=λ’2、
…、λm=λ’mである。反射電極14の周期λ1〜λ
mと反射電極16の周期λ’1〜λ’mとは、異なる周
期を持つ変化パターンを示すものであってもよい。例え
ば、λ1≠λ’1、λ2≠λ’2、…、λm≠λ’mで
ある。これらが全て異なるのではなく、一部の周期のみ
が異なる場合も含む。
【0043】以上例示したように、反射電極14、16
の周期が各々の所定の変化パターンに従って変化してい
る構成とすることにより、フィルタ特性に大きく影響す
る反射電極14、16のストップバンド特性の角形特性
を大幅に改善することができ、図4に示すように、通過
帯域特性の低周波側でスプリアスを抑制しつつ角形特性
(通過帯域の肩部分の急峻性)を向上させたフィルタ特
性を持つ弾性表面波装置(弾性表面波フィルタ)を実現
することができる。図4中、比較例は図2に示すλが一
定の構成である。また第1実施形態として図示されてい
る特性は上記様々な変化パターンが共通して示すもので
あり、個々の変化パターンに応じて特性は若干変化す
る。
【0044】(第2実施形態)図5は、本発明の第2実
施形態による弾性表面波装置を示す図である。図5中、
前述した構成要素と同一のものには同一の参照番号を付
してある。
【0045】図5に示す反射電極14は、その周期の特
性に従って複数のブロックに分割(区分け)可能であ
る。図5の例では、反射電極14は3つのブロックBL
K1、BLK2及びBLK3に3分割されている。例え
ば、各ブロックBLK1〜BLK3はそれぞれ一定の電
極周期λ1、λ2及びλ3を持っている。ブロックBL
K1〜BLK3の大きさ(そこに含まれる電極指対数)
は同じであっても異なっていてもよい。そして、これら
の周期は少なくとも2つのブロックで異なっている。つ
まり、λ1≠λ2、λ2≠λ3、λ1≠λ3又はλ1≠
λ2≠λ3のいずれかである。同様に、反射電極16は
3つのブロックBLK´1、BLK´2及びBLK´3
に分割されている。例えば、各ブロックBLK´1〜B
LK´3はそれぞれ一定の電極周期λ´1、λ´2及び
λ´3を持っている。ブロックBLK´1〜BLK´3
の大きさ(そこに含まれる電極指対数)は同じであって
も異なっていてもよい。そして、これらの周期は少なく
とも2つのブロックで異なっている。つまり、λ´1≠
λ´2、λ´2≠λ´3、λ´1≠λ´3又はλ´1≠
λ´2≠λ´3のいずれかである。
【0046】例えば、反射電極14の周期は複数のブロ
ックに渡り連続的に変化している。例えば、λ1<λ2
<λ3で、λ´1<λ´2<λ´3である。また、λ1
>λ2>λ3で、λ´1>λ´2>λ´3であってもよ
い。これらの場合において、反射電極14及び16の周
期λ1〜λ3、λ´1〜λ´3は線形的に変化してもよ
いし、非線形に変化してもよい。線形的に変化する例と
しては、単調に増加する場合や単調に減少する場合であ
る。また、途中まで単調に増加し、その後単調に減少す
る変化パターンであっても良い。また、非線形に変化す
る例としては周期が曲線的に変化する場合である。例え
ば、反射電極の周期λ1〜λ3、λ´1〜λ´3の変化
がサインカーブやコサインカーブ又はこれらに類似する
曲線や2次曲線を示す変化パターンである。
【0047】また、反射電極の周期λ1〜λ3、λ´1
〜λ´3の変化パターンがそれぞれの反射電極14,1
6の中間部分においてピークを持つものであっても良
い。例えば、反射電極14のブロックBLK2の電極周
期λ2が他の周期λ1、λ3よりも大きい又は小さい場
合である。同様に、反射電極16のブロックBLK´2
の電極周期λ´2が他の周期λ´1、λ´3よりも大き
い又は小さい場合である。更に、反射電極14のブロッ
クBLK1〜BLK3にわたる周期の変化(変化パター
ン)と反射電極16のブロックBLK´1〜BLK´3
にわたる周期の変化とは、駆動電極12を中心として対
称、又は非対称であってもよい。対称な場合とは例え
ば、λ1<λ2<λ3、λ´1<λ´2<λ´3であ
る。反射電極14と16のブロック数が異なる場合には
完全な対称にならないが、すくなくとも変化の傾向が同
一であれば対称であると定義する。また、非対称な変化
パターンとは、例えばλ1<λ2<λ3、λ´1>λ´
2>λ´3である。また、非対称は変化パターンとは、
各ブロックの大きさが異なっている場合も含む。ブロッ
クの大きさとは例えば、そこに含まれる対数の数であ
る。図5では、ブロックBLK1〜BLK3とブロック
BLK´1〜BLK´3とはそれぞれ異なる大きさであ
る。一部のブロックが異なっている構成であってもよ
い。
【0048】また、反射電極14の周期λ1〜λ3と反
射電極16の周期λ´1〜λ´3とは、同一の周期を持
つ変化パターンを示すものであってもよい。例えば、λ
1=λ´1、λ2=λ´n、λ3=λ´3である。反射
電極14の周期λ1〜λ3と反射電極16の周期λ´1
〜λ´3とは、異なる周期を持つ変化パターンを示すも
のであってもよい。例えば、λ1≠λ´1、λ2≠λ´
2、λ3≠λ´3の全てか又は少なくとも1つが成り立
つ場合である。更に、反射電極14のブロックBLK1
〜BLK3のうち最も外側に位置するブロックBLK3
における周期λ3が最大又は最小のいずれかであっても
よい。同様に、反射電極16のブロックBLK´1〜B
LK´3のうち最も外側に位置するブロックBLK´3
における周期λ´3が最大又は最小のいずれかであって
もよい。
【0049】図5では反射電極14と16の対数が異な
っているが、図6に示すように同一の反射電極14と1
6が同一の対数を持っている場合も上記と同様である。
また、分割数は3個に限定されず、2個であっても4個
以上であってもよい。反射電極14と16を最大に分割
すると、前述した第1実施形態となる。更に、上記の例
では各ブロックBLK1〜BLK3、BLK´1〜BL
K´3はそれぞれ一定の周期で電極指が配列されていた
が、あるブロックでは連続的に変化する構成であっても
よい。つまり、反射電極14と16はそれぞれ、周期一
定のブロックと周期が連続的に変化するブロックの両方
を備える構成であってもよい。
【0050】以上例示したように、反射電極14、16
の周期が複数のブロックにわたり変化している構成とす
ることにより、フィルタ特性に大きく影響する反射電極
14、16のストップバンド特性の角形特性を大幅に改
善することができ、図4の特性と同様の特性、つまり通
過帯域特性の低周波側でスプリアスを抑制しつつ角形特
性(通過帯域の肩部分の急峻性)を向上させたフィルタ
特性を持つ弾性表面波装置(弾性表面波フィルタ)を実
現することができる。
【0051】(第3実施形態)図7は本発明の第3実施
形態による弾性表面波装置を示す図であり、(A)は通
常出力型、(B)はバランス出力型である。図7
(A)、(B)とも、2つの共振器40、42(以下そ
れぞれ第1及び第2の共振器という)をカスケード接続
したものである。図7(A)の弾性表面波装置は、1つ
の入力端子44と1つの非バランス型出力端子46とを
有している。また、図7(B)の弾性表面波装置は1つ
の入力端子44とバランス型出力端子46、48とを備
えている。出力端子に代えて入力端子をバランス型にし
てもよいし、入力端子と出力端子の両方をバランス型に
してもよい。
【0052】第1及び第2の共振器40、42の各々は
本発明の特徴を具備したもので、例えば前述した第1又
は第2実施形態による弾性表面波装置で構成されてい
る。つまり、第1及び第2の共振器40と42の各々に
おいて、各反射電極の周期が各々の所定の変化パターン
に従って変化している。第1及び第2の共振器40、4
2の各々において、一対の反射電極の変化パターンは同
じであってもよく、異なっていても良い。また、第1及
び第2の共振器40、42の各々において、一対の反射
電極の変化パターンは同じであってもよく、異なってい
ても良い。更に、第1及び第2の共振器40、42の各
々において、一対の反射電極の周期は同じであってもよ
く、異なっていても良い。
【0053】また、第1の共振器40の電極周期の変化
パターンと第2の共振器の電極周期変化パターンとは完
全に異なっていてもよいし、完全に同一であってもよい
し、一部同一であってもよい。一部同一とは、例えば第
1及び第2の共振器40と42の反射電極14同士が同
一の変化パターンを持ち、他方の第2の反射電極16同
士は異なる変化パターンを持っている。更に、第1の共
振器40の周期と第2の共振器42の周期とは完全に異
なっていてもよいし、完全に同一であってもよいし、一
部同一であってもよい。一部同一とは、例えば第1及び
第2の共振器40と42の反射電極14の周期は同じで
あるのに対し、第2の反射電極16は異なる周期を持っ
ている。また、例えば第1の共振器40と第2の共振器
の反射電極14の一部が一致(又は異なる)場合も含
む。これを第2実施形態で言えば、例えば第1及び第2
の共振器の反射電極14のブロックBLK1とBLK´
1とは異なる周期であるが、ブロックBLK2とBLK
´2及びブロックBLK3とBLK´3とは同じ周期で
ある。
【0054】以上説明したカスケード接続を有する弾性
表面波装置は、第1又は第2の実施形態で説明した効果
を奏する弾性表面波装置をカスケード接続した構成なの
で、共振器通過帯域特性の低周波側でスプリアスを一層
抑制しつつ角形特性(通過帯域の肩部分の急峻性)を一
層向上させたフィルタ特性を持つ。
【0055】なお、3段以上のカスケード接続の構成で
あっても、上記2段構成と同様にして反射電極14、1
6を構成することができる。また、2つ以上の共振器を
並列接続し、さらにカスケード接続した構成であって
も、上記2段構成と同様にして反射電極14、16を構
成することができる。
【0056】(第1実施例)第1実施例は、第2の実施
形態において反射電極14と16をそれぞれ3つのブロ
ックに分割したものである。ブロックBLK1とBLK
´1の対数を2、BLK2とBLK´2を25、ブロッ
クBLK3、BLK´3を24とした。そして、ブロッ
クBLK1とBLK´1の波長λ1、λ´1をλ1=λ
´1=4.525μm、ブロックBLK3とBLK´3
の波長λ3、λ´3をλ3=λ´3=4.525μm
(=λ1=λ´1)とし、真中のブロックBLK2とB
LK´2の波長λ2、λ´2(=λ2)を4,515μ
m、4.510μm及び4.505μmの3通りとし
た。圧電基板10はLiTaO3で、駆動電極12や反
射電極14、16はアルミを主成分とするものである。
【0057】図8は、第1実施例の周波数特性図であ
る。λ2とλ´2を変化させても通過帯域のピーク位置
は変わらない(図のIで示す部分)のに対し、λ2とλ
´2を4,515μm、4.510μm、4.505μ
mと周期が短くなる方向に変化させることで、角形特性
が改善されていることが分かる。従って、第1実施例は
通過帯域の低周波側のスプリアスを抑制しつつ、角形特
性が改善された弾性表面波装置と言える。
【0058】(第2実施例)第2実施例は、前述した第
2の実施形態において反射電極14と16をそれぞれ3
つのブロックに分割したものである。ブロックBLK1
とBLK´1の対数を2、BLK2とBLK´2を2
5、ブロックBLK3、BLK´3を24とした。そし
て、ブロックBLK1とBLK´1の波長λ1、λ´1
をλ1=λ´1=4.27μm、ブロックBLK2とB
LK´2の波長λ2、λ´2をλ2=λ´2=4.28
μm、ブロックBLK3とBLK´3の波長λ3、λ´
3をλ3=λ´3=4.29μmとした。本実施例で
は、駆動電極12の3つの電極12 1、122及び123
もそれぞれ3つのブロックに分割し、周期を変化させ
た。電極121の対数を図5の左から12、1、1.5
とし、周期を左から4.21μm、4.08μm、3.
79μmとした。また、電極122の対数を図5の左か
ら1.5、14、1.5とし、周期を左から3.95μ
m、4.22μm、3.95μmとした。更に、電極1
3の対数を図5の左から1.5、1、12とし、周期
を左から3.79μm、4.08μm、4.21μmと
した。圧電基板10はLiTaO3で、駆動電極12や
反射電極14、16はアルミを主成分とするものであ
る。
【0059】図9に、第2実施例の周波数特性を示す。
また、図9には比較例として図2の構成の弾性表面波装
置の周波数特性を示してある。比較例の反射電極14
A,16Aの周期λは4.29μmで一定である。比較
例にくらべ、第2実施例では通過帯域の低周波側のスプ
リアスを抑制しつつ、角形特性が改善されていることが
分かる。
【0060】(第3実施例)第3実施例は、前述した第
2の実施形態において反射電極14と16をそれぞれ3
つのブロックに分割したものである。ブロックBLK1
とBLK´1の対数を2、BLK2とBLK´2を2
5、ブロックBLK3、BLK´3を24とした。そし
て、ブロックBLK1とBLK´1の波長λ1、λ´1
をλ1=λ´1=4.28μm、ブロックBLK2とB
LK´2の波長λ2、λ´2をλ2=λ´2=4.28
μm、ブロックBLK3とBLK´3の波長λ3、λ´
3をλ3=λ´3=4.29μmとした。λ1=λ´1
=λ2=λ´2=4.28μmなので、反射電極14と
16はそれぞれ2分割されていると言える。また、本実
施例では、駆動電極12の3つの電極121、122及び
123もそれぞれ3つのブロックに分割し、周期を変化
させた。電極121の対数を図5の左から12、1、
1.5とし、周期を左から4.21μm、4.08μ
m、3.79μmとした。また、電極122の対数を図
5の左から1.5、14、1.5とし、周期を左から
3.95μm、4.22μm、3.95μmとした。更
に、電極123の対数を図5の左から1.5、1、12
とし、周期を左から3.79μm、4.08μm、4.
21μmとした。圧電基板10はLiTaO3で、駆動
電極12や反射電極14、16はアルミを主成分とする
ものである。
【0061】図9に、第3実施例の周波数特性を示す。
比較例にくらべ、第3実施例では通過帯域の低周波側の
スプリアスを抑制しつつ、角形特性が改善されているこ
とが分かる。
【0062】(第4実施例)第4実施例は、前述した第
2の実施形態において反射電極14と16をそれぞれ3
つのブロックに分割したものである。ブロックBLK1
とBLK´1の対数を2、BLK2とBLK´2を2
5、ブロックBLK3、BLK´3を24とした。そし
て、ブロックBLK1とBLK´1の波長λ1、λ´1
をλ1=λ´1=4.29μm、ブロックBLK2とB
LK´2の波長λ2、λ´2をλ2=λ´2=4.28
μm、ブロックBLK3とBLK´3の波長λ3、λ´
3をλ3=λ´3=4.29μmとした。また、本実施
例でも、駆動電極12の3つの電極121、122及び1
3をそれぞれ3つのブロックに分割し、周期を変化さ
せた。電極121の対数を図5の左から12、1、1.
5とし、周期を左から4.21μm、4.08μm、
3.79μmとした。また、電極122の対数を図5の
左から1.5、14、1.5とし、周期を左から3.9
5μm、4.22μm、3.95μmとした。更に、電
極123の対数を図5の左から1.5、1、12とし、
周期を左から3.79μm、4.08μm、4.21μ
mとした。圧電基板10はLiTaO3で、駆動電極1
2や反射電極14、16はアルミを主成分とするもので
ある。
【0063】図9に、第4実施例の周波数特性を示す。
比較例にくらべ、第4実施例では通過帯域の低周波側の
スプリアスを抑制しつつ、角形特性が改善されているこ
とが分かる。
【0064】なお、上記第1から第4の実施例におい
て、圧電基板10をLiNbO3で形成した場合も同様
の効果を得ることができる。
【0065】以上、本発明の実施の形態及び実施例を説
明した。本発明は上記実施の形態や実施例に限定される
ものではなく、他の様々は実施の形態や実施例を含むも
のである。
【0066】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
スプリアスの抑制と角形特性(通過帯域の肩部分の急峻
性)とを同時に向上させた弾性表面波装置を提供するこ
とができる。本発明の弾性表面波装置は例えば、無線装
置の高周波回路のフィルタとして用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態を示す図である。
【図2】比較例を示す図である。
【図3】本発明の第1実施形態の別の構成例を示す図で
ある。
【図4】本発明の第1実施形態と比較例との周波数特性
を示す図である。
【図5】本発明の第2実施形態を示す図である。
【図6】本発明の第2実施形態の別の構成例を示す図で
ある。
【図7】本発明の第3実施形態を示す図である。
【図8】本発明の第1実施例の周波数特性を示す図であ
る。
【図9】本発明の第2、第3及び第4実施例及び比較例
の特性を示す図である。
【符号の説明】
10 圧電基板 12 駆動電極 121、122、123 駆動電極を構成する3つの電
極 14、14A 反射電極 16、16A 反射電極 181、182、183 バスバー 201、202、203 バスバー 22、24、26、28 バスバー 30 入力(出力)端子 32 グランド端子 34 出力(入力)端子 36 グランド端子 40、42 共振器 44 入力端子 46、48 出力端子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 阿部 卓也 長野県須坂市大字小山460番地 富士通メ ディアデバイス株式会社内 Fターム(参考) 5J097 AA14 AA18 BB17 CC04 DD14 FF03 GG03 GG04 KK04

Claims (29)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板と、該基板上に形成された一対の反
    射電極と、該一対の反射電極に挟まれるように形成され
    た複数の駆動電極とを有し、各反射電極の周期が各々の
    所定の変化パターンに従って変化していることを特徴と
    する弾性表面波装置。
  2. 【請求項2】 基板上に形成された一対の反射電極と、
    該一対の反射電極に挟まれるように形成された複数の駆
    動電極とを有し、各反射電極は複数個のブロックに区分
    けされ、前記周期は少なくとも2つのブロックで異なる
    ことを特徴とする弾性表面波装置。
  3. 【請求項3】 各反射電極の周期が当該反射電極内で連
    続的に変化していることを特徴とする請求項1記載の弾
    性表面波装置。
  4. 【請求項4】 前記各反射電極の周期は、線形的に変化
    していることを特徴とする請求項1記載の弾性表面波装
    置。
  5. 【請求項5】 前記各反射電極の周期は、非線形的に変
    化していることを特徴とする請求項1記載の弾性表面波
    装置。
  6. 【請求項6】 前記各反射電極の周期は、曲線的に変化
    していることを特徴とする請求項1記載の弾性表面波装
    置。
  7. 【請求項7】 前記各反射電極の変化パターンは、各反
    射電極の中間部分においてピークを持つことを特徴とす
    る請求項1記載の弾性表面波装置。
  8. 【請求項8】 前記各反射電極の変化パターンは、前記
    複数の駆動電極を中心として対称であることを特徴とす
    る請求項1記載の弾性表面波装置。
  9. 【請求項9】 前記各反射電極の変化パターンは、前記
    複数の駆動電極を中心として非対称であることを特徴と
    する請求項1記載の弾性表面波装置。
  10. 【請求項10】 前記各反射電極は同じ変化パターンを
    持つことを特徴とする請求項1記載の弾性表面波装置。
  11. 【請求項11】 前記各反射電極は異なる変化パターン
    を持つことを特徴とする請求項1記載の弾性表面波装
    置。
  12. 【請求項12】 各反射電極において、前記周期は隣接
    するブロックで異なることを特徴とする請求項2記載の
    弾性表面波装置。
  13. 【請求項13】 各反射電極において、前記周期は各ブ
    ロック毎に異なることを特徴とする請求項2記載の弾性
    表面波装置。
  14. 【請求項14】 各反射電極において、前記周期は前記
    複数のブロックにわたり連続的に変化していることを特
    徴とする請求項2に記載の弾性表面波装置。
  15. 【請求項15】 各反射電極において、前記周期は前記
    複数のブロックにわたり線形に変化していることを特徴
    とする請求項2に記載の弾性表面波装置。
  16. 【請求項16】 各反射電極において、前記周期は前記
    複数のブロックにわたり非線形に変化していることを特
    徴とする請求項2に記載の弾性表面波装置。
  17. 【請求項17】 各反射電極において、前記複数のブロ
    ックにわたる前記周期の変化は、前記複数の駆動電極を
    中心として対称であることを特徴とする請求項2記載の
    弾性表面波装置。
  18. 【請求項18】 各反射電極において、前記複数のブロ
    ックにわたる前記周期の変化は、前記複数の駆動電極を
    中心として非対称であることを特徴とする請求項2記載
    の弾性表面波装置。
  19. 【請求項19】 各反射電極において、前記複数のブロ
    ックのうち中間に位置するブロックにおける周期が最大
    又は最小のいずれかであることを特徴とする請求項2記
    載の弾性表面波装置。
  20. 【請求項20】 各反射電極において、前記複数のブロ
    ックのうち最も外側に位置するブロックにおける周期が
    最大又は最小のいずれかであることを特徴とする請求項
    2記載の弾性表面波装置。
  21. 【請求項21】 各ブロック内において、前記周期は一
    定であることを特徴とする請求項2から20のいずれか
    一項記載の弾性表面波装置。
  22. 【請求項22】 各反射電極は異なる周期を有すること
    を特徴とする請求項1から19のいずれか一項記載の弾
    性表面波装置。
  23. 【請求項23】 各反射電極は同一の周期を有すること
    を特徴とする請求項1から19のいずれか一項記載の弾
    性表面波装置。
  24. 【請求項24】 多重モード型の共振器を縦続接続した
    弾性表面波装置において、各共振器は共通の基板上に形
    成された一対の反射電極と、該一対の反射電極に挟まれ
    るように形成された複数の駆動電極とを有し、各共振器
    において、各反射電極の周期が各々の所定の変化パター
    ンに従って変化していることを特徴とする弾性表面波装
    置。
  25. 【請求項25】 前記各共振器のうち、第1の共振器の
    変化パターンと第2の共振器の変化パターンとは異なる
    ことを特徴とする請求項24記載の弾性表面波装置。
  26. 【請求項26】 前記各共振器のうち、第1の共振器の
    変化パターンと第2の共振器の変化パターンとは同一で
    あることを特徴とする請求項24記載の弾性表面波装
    置。
  27. 【請求項27】 前記各共振器のうち、第1の共振器と
    第2の共振器とは異なる周期を持つことを特徴とする請
    求項24記載の弾性表面波装置。
  28. 【請求項28】 前記各共振器のうち、第1の共振器と
    第2の共振器とは同じ周期を持つことを特徴とする請求
    項24記載の弾性表面波装置。
  29. 【請求項29】 前記弾性表面波装置は、入力と出力の
    すくなくとも一方がバランス型であることを特徴とする
    請求項24から26のいずれか一項記載の弾性表面波装
    置。
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