CN1229916C - 弹性表面波装置、通信装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供具有平衡性得以改善的具有平衡型一不平衡型变换功能的弹性表面波装置以及使用其的通信装置。沿着弹性表面波的传播方向在压电基板8上设置具有平衡型-不平衡型变换功能的纵耦合谐振器型的各梳型电极部2、1、3。在各梳型电极部2、1、3的至少一个例如梳型电极部2的各电极指21、22内，设置对与梳型电极部1相对面区域附近的电极指21进行交叉加权等的交叉加权电极指22a。

Description

弹性表面波装置、通信装置
技术领域
本发明涉及用于具有不平衡型-平衡型变换功能的滤波器等的弹性表面波装置及其使用其的通信装置。
背景技术
近年来，携带电话机等通信装置的对小型化、轻量化的技术进步是惊人的。作为在这样的通信装置中使用的滤波器，随着使用频带变高，而使用能够实现小型化的弹性表面波装置。而且，由于通信装置中的各构成部件数的削减、小型化，复合多种功能的部件的开发能够进展。
以这样的状况为背景，在携带电话机的RF段上使用的弹性表面波滤波器中设有平衡型-不平衡型变换功能的所谓平衡转换器(balun)的功能的方案在近年来被广泛研究，能够以GSM(Global System for Mobile Communications)等为中心而使用。与包括这样的平衡型-不平衡型变换功能的弹性表面波滤波器相关的专利已申请了几项。
作为输入阻抗和输出阻抗大致相等的，具有平衡型-不平衡型变换功能的弹性表面波滤波器，图67所示那样的构成是公知的。
图67所记载的弹性表面波装置是具有平衡型-不平衡型变换功能的3IDT型的纵耦合型谐振器型的弹性表面波装置，在压电基板100上设置梳型电极部(所谓帘状电极部，Inter-Digital Transducer，以下成为IDT)101，在上述IDT 101的左右(沿着弹性表面波的传播方向)分别配置IDT 102、IDT103。
在上述弹性表面波装置中，进一步分别配置反射器104、反射器105，以便于从左右夹住上述IDT 102、101、103，设置端子106、107作为平衡信号端子，设置端子108作为不平衡信号端子。
而且，作为具有使输入阻抗和输出阻抗相差例如4倍的平衡型-不平衡型变换功能的其他弹性表面波装置，可以例举出日本专利公开公报特开平10-117123号所记载的构成。
上述公报所记载的弹性表面波装置，如图68所示的那样，在压电基板上具有第一弹性表面波滤波器111和输出信号的相位与第一弹性表面波滤波器111相差180度的第二弹性表面波滤波器112。而且，在图68中，压电基板的记载被省略了。由此，上述弹性表面波装置在具有滤波器功能的同时，能够发挥平衡型-不平衡型变换功能。
第一弹性表面波滤波器111是：把3IDT型的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器118和相对于纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器夹着沿着弹性表面波的传播方向的对称线而成为镜象对称的3IDT型的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器124进行级联即2段纵向连接。
纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器118在中央的IDT 113的左右(沿着弹性表面波的传播方向)分别配置IDT 114、115，并且分别配置反射器116、117以便于进一步从左右两侧夹住这些IDT 114、113、105。纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器124同样在中央的IDT 119的左右分别配置IDT 120、121，并且分别配置反射器122、123以便于进一步从左右两侧夹住这些IDT 120、119、121。
第二弹性表面波滤波器112是：把与3IDT型的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器124相同的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器128和设有相对于3IDT型的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器118而使中央的IDT 103的方向反转来使相位反转(即约180°)的IDT 133的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器127进行2段纵向连接。
把第一弹性表面波滤波器111、第二弹性表面波滤波器112的各自的一个端子129、130电气并联连接，把另一个端子131、132电气串联连接，用并联连接的端子构成端子108，用串联连接的端子构成端子106、107。
在具有平衡型-不平衡型变换功能的弹性表面波装置中，对于不平衡端子108和各个平衡端子106、107的各个端子间的通过频带内的传输特性，要求振幅特性相等并且相位特性相互180度反转。这些特性分别被称为振幅平衡度及相位平衡度。
考虑到具有上述平衡型-不平衡型变换功能的弹性表面波装置为3端子器件，例如当使不平衡输入端子为端子1，使各平衡输出端子分别为端子2、端子3时，振幅平衡度及相位平衡度用下式来定义：
振幅平衡度＝|A|、A＝|20log(S21)|-|20log(S31)|   …式(1)
相位平衡度＝|B|、B＝|∠S21-∠S31|               …式(2)
而且，S21表示从端子1到端子2的传输系数，S31表示从端子1到端子3的传输系数。这样的平衡度在理想情况下，弹性表面波装置的滤波器特性中的通过频带内的振幅平衡度为0dB，相位平衡度为180度。
发明内容
但是，在上述那样的具有平衡信号端子的弹性表面波装置中，存在平衡信号端子间的平衡度恶化的问题。平衡度恶化的原因可以举出几个，作为其中之一，连接在平衡信号端子106上的电极指与IDT 102的信号电极指的距离(图67的109)和连接在平衡信号端子107上的电极指与IDT 103的信号电极指的距离(图67的110)相差由电极指的间距决定的波长的0.5倍。
由此，分别连接在各个平衡信号端子106、107上的电极指的总电容量不同，而发生在电信号与弹性表面波之间的变换效率不同的弊端，结果，影响到平衡度的恶化。
因此，测定如图70那样把图67的平衡信号端子107接地而从平衡信号端子106所输出的频率所对应的振幅特性和如图71那样把图67的平衡信号端子106接地而从平衡信号端子107所输出的频率所对应的振幅特性，在图69中表示了作为它们的结果的上述振幅特性之差。两个振幅特性相差较大，该差影响到平衡度的恶化。
而且，在图68所示的级联的弹性表面波装置中，两个相邻的IDT中的相互面对的两处的各电极指的极性为左右不对称的状态，因此，产生了平衡度恶化的问题。
即，IDT 113在相邻的各IDT 114、115和各处(图68的125)上，相邻的各IDT 113、114、115的最外电极指都是接地电极指，与此相对，IDT 133在相邻的各IDT134、135和相邻的各处(图68的126)中，为信号电极指和接地电极。当这样相邻的各IDT的最外电极指中的极性的组合变化时，通过电信号与弹性表面波之间的变换，图72所示的谐振方式的频率和振幅电平变化。
如图68那样，把上述那样的相邻的各IDT中的各最外电极指的组合不同的两个纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器进行组合，来构成具有平衡型-不平衡型变换功能的弹性表面波装置，在此情况下，该谐振方式的偏差成为平衡信号端子间的平衡度恶化的原因。
该现象即使在图73所示那样的使用一个纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器来构成具有平衡型-不平衡型变换功能的弹性表面波装置的情况下，上述谐振方式的偏差同样发生，而成为平衡信号端子间的平衡度恶化的原因。
本发明的目的是通过校正作为平衡信号端子间的平衡度恶化的一个因素的上述平衡信号端子间之差，来提供平衡信号端子间的平衡度良好的具有平衡型-不平衡型变换功能的弹性表面波装置以及使用其的通信装置。
用于解决课题的措施
为了解决上述课题，本发明的弹性表面波装置，包括：至少一个弹性表面波滤波器，具有在压电基板上沿着弹性表面波的传播方向所形成的至少两个IDT；用于上述弹性表面波滤波器的输入信号端子和输出信号端子，其特征在于，输入信号端子和输出信号端子的至少一方连接在平衡信号端子上，并且，上述弹性表面波滤波器的至少一部分的电极指被加权。
根据上述构成，通过对具有至少两个IDT的弹性表面波滤波器的至少一部分的电极指进行加权，能够调整平衡信号端子间的各特性(振幅平衡、相位平衡、传输特性的至少一个)的平衡，因此，能够改善各特性的平衡性。
在上述弹性表面波装置中，最好对上述一部分电极指进行加权，以便于改善成对的上述平衡信号端子间的振幅平衡度和相位平衡度的至少一方。
在上述弹性表面波装置中，上述加权可以对上述弹性表面波滤波器的相邻的IDT中至少一方中的，从上述IDT相邻处的最外电极指开始的几条电极指进行。
在上述弹性表面波装置中，上述加权可以对上述弹性表面波滤波器的相邻的IDT中至少一方中的，位于上述IDT相邻处的最外电极指附近的几条电极指进行。
在上述弹性表面波装置中，上述加权可以对上述弹性表面波滤波器的相邻的IDT中至少一方中的，从上述IDT相邻处的最外电极指到上述IDT的弹性表面波的传播方向的1/2以内的范围的电极指进行。
在上述弹性表面波装置中，上述加权可以对上述弹性表面波滤波器的相邻的IDT中至少一方中的上述IDT相邻处的最外电极指进行。
在上述弹性表面波装置中，上述弹性表面波滤波器的相邻IDT的相邻处的电极指分别是接地电极指和信号电极指，对上述接地电极指和信号电极指的至少一方进行上述加权。
在上述弹性表面波装置中，上述加权的电极指可以是上述弹性表面波滤波器的信号电极指。
在上述弹性表面波装置中，上述加权可以对连接在上述弹性表面波滤波器的平衡信号端子上的IDT的电极指来进行。
在上述弹性表面波装置中，上述弹性表面波滤波器至少具有一个IDT相对于其他的IDT相位反转，上述加权可以对上述相位反转的IDT的电极指来进行。
在上述弹性表面波装置中，上述加权可以是抽取加权。
在上述弹性表面波装置中，最好在与上述抽取加权的电极指所连接的汇流条相对的相对汇流条上设置假电极。
在上述弹性表面波装置中，可以设置通过上述假电极而连接在相邻的IDT的地上所连接的电极指相互间的接地连接部。
在上述弹性表面波装置中，上述加权可以是使电极指的交叉宽度与其他的电极指不同的交叉宽度加权。
在上述弹性表面波装置中，上述交叉宽度加权最好在交叉方向的大致中央部进行。
在上述弹性表面波装置中，与上述交叉宽度加权的电极指相邻的电极指被进行交叉宽度加权，并且，设置弯折形成的假电极，以便于与上述两个交叉宽度加权的电极指分别相对。
在上述弹性表面波装置中，上述交叉宽度加权的电极指是相邻的IDT的一方的最外电极指，并且，在另一方的IDT上设置假电极以便于与上述交叉宽度加权的电极指相对。
在上述弹性表面波装置中，上述假电极可以被接地。
在上述弹性表面波装置中，上述加权可以是使电极指的占空比(duty)与其他的电极指不同的占空比(duty)加权。
在上述弹性表面波装置中，上述弹性表面波滤波器至少具有3个IDT，在相邻的IDT的至少一方上分别进行上述任一种加权，同时，上述加权可以分别不同。
在上述弹性表面波装置中，上述弹性表面波滤波器设置两个，在上述各个弹性表面波滤波器中，分别进行上述任一种加权，同时，上述加权可以分别不同。
在上述弹性表面波装置中，上述弹性表面波滤波器具有分别相邻的至少3个IDT，在相邻的IDT的至少一方中，在上述IDT相邻处的最外区域中对与最外电极指不同的几条电极指进行交叉宽度加权，并且，在不同的相邻的IDT的至少一方中，对上述IDT相邻处的最外电极指进行抽取加权，同时，在上述进行抽取加权处设置与上述抽取加权的电极指所连接的汇流条相对的相对汇流条上所连接的假电极。
在上述弹性表面波装置中，上述弹性表面波滤波器具有分别相邻的至少3个IDT，在相邻的IDT的至少一方中，对上述IDT相邻处的最外电极指的占空比(duty)进行与其他电极指不同的占空比(duty)加权，并且，在不同的相邻的IDT的至少一方中，对上述IDT相邻处的最外电极指进行抽取加权，同时，在上述进行抽取加权处设置与上述抽取加权的电极指所连接的汇流条相对的相对汇流条上所连接的假电极。
在上述弹性表面波装置中，上述弹性表面波滤波器设置两个，在一方的弹性表面波滤波器的相邻IDT的至少一方中，在上述IDT相邻处的最外区域中对与最外电极指不同的几条电极指进行交叉宽度加权，并且，在另一方的弹性表面波滤波器的相邻IDT的至少一方中，对上述IDT相邻处的最外电极指进行抽取加权，同时，在上述进行抽取加权处设置与上述抽取加权的电极指所连接的汇流条相对的相对汇流条上所连接的假电极。
在上述弹性表面波装置中，上述弹性表面波滤波器可以设置成具有平衡信号输入-平衡信号输出滤波器功能。
在上述弹性表面波装置中，上述弹性表面波滤波器可以设置成具有平衡信号输入-不平衡信号输出滤波器功能或者不平衡信号输入-平衡信号输出滤波器功能。
在上述弹性表面波装置中，上述IDT的至少一个在交叉宽度方向上被分成两部分。
在上述弹性表面波装置中，上述成对的平衡信号端子分别连接在一个IDT中的两极的梳齿状电极上。
在上述弹性表面波装置中，上述IDT的至少一个在弹性表面波的传播方向上被分成两部分。
在上述弹性表面波装置中，在上述成对的平衡信号端子间具有接地的电气中性点。
在上述弹性表面波装置中，上述弹性表面波滤波器可以为两个，设置成具有平衡信号输入-平衡信号输出滤波器功能。
在上述弹性表面波装置中，上述弹性表面波滤波器为两个，设置成使输入信号相对于输出信号的相位相差约180度，上述各弹性表面波滤波器设置成具有平衡信号输入-不平衡信号输出滤波器功能或者不平衡信号输入-平衡信号输出滤波器功能。
在上述弹性表面波装置中，在不平衡信号端子侧进一步级联弹性表面波滤波器。
在上述弹性表面波装置中，上述弹性表面波滤波器是纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器。
在上述弹性表面波装置中，上述纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器具有奇数个IDT。
在上述弹性表面波装置中，上述纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器具有3个IDT。
在上述弹性表面波装置中，上述纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器的至少一个IDT的总电极指条数为偶数条。
在上述弹性表面波装置中，纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器的3个或3个以上的IDT中，至少连接在平衡信号端子上的IDT的电极指的总条数为偶数条。
在上述弹性表面波装置中，纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器的3个或3个以上的IDT中，至少位于中央部的IDT的电极指的总条数为偶数条。
在上述弹性表面波装置中，在上述弹性表面波滤波器中，在串联或并联的至少一方上至少连接一个弹性表面波谐振器。
在上述弹性表面波装置中，上述弹性表面波滤波器级联两个以上的弹性表面波滤波器部。
为了解决上述课题，本发明的另一种弹性表面波装置，其特征在于，在压电基板上具有多个电极指的输入用IDT和具有多个电极指的输出用IDT沿着弹性表面波的传播方向设置，以便于形成纵耦合谐振器型，在与该输入用IDT和输出用IDT的至少一方的各电极指的最外电极指不同的内侧电极指上具有进行了加权的加权电极指。
在上述弹性表面波装置中，上述输入用IDT和输出用IDT的一方为平衡用的，在平衡侧的各IDT的至少一方上具有加权电极指。在上述弹性表面波装置中，具有不平衡型-平衡型变换。
根据上述构成，通过在输入用IDT和输出用IDT的至少一方的各电极指上设置加权电极指，能够调整输出信号特别是平衡用的各输出信号间的各特性(振幅平衡、相位平衡、传输特性)的平衡，因此，能够改善各特性的平衡性。
在上述弹性表面波装置中，上述加权电极指最好设置在一个IDT中的从最外电极指的下一个到全部电极指的1/2以内的范围内。在上述弹性表面波装置中，上述加权电极指最好被设定为短于其他电极指。
在上述弹性表面波装置中，在上述输入用IDT和输出用IDT的至少一方的各电极指上包含两条以上的与其他IDT相对位置的最外电极指，形成连续的接地电极指。
根据上述构成，在一方的各电极指上包含两个以上相对位置的最外电极指，形成连续的接地电极指，由此，能够通过简单的构成来确实地象平衡用的各输出信号那样把相位差设定在180°附近。
在上述弹性表面波装置中，上述加权电极指被设定成：控制在作为上述输入用IDT及输出用IDT的至少一方的接地电极指的各接地电极指的相邻之间所形成的无电场部的大小。
在上述弹性表面波装置中，上述输入用IDT或输出用IDT是平衡用的，在平衡用的两个IDT中，上述无电场部的大小被设定成大致相同。
根据上述构成，设定加权电极指，以便于控制无电场部的大小，最好在平衡用的两个IDT中，使上述无电场部的大小大致相同，由此，能够调整各IDT特别是从输出用IDT中的弹性能量向电气能量的变换的平衡，因此，能够提高平衡性。
在上述弹性表面波装置中，形成为：向着上述加权电极指，接地的第一平衡用电极指重合延长到上述上述加权电极指的长度上。
根据上述构成，通过设定得较短的加权电极指所形成的无电极指部分可以通过第一平衡用电极指在某种程度上进行覆盖，因此，能够避免由上述无电极指部分所产生的平衡性的劣化。
在上述弹性表面波装置中，形成为：向着与上述加权电极指不同的位置，接地的第二平衡用电极指与上述上述加权电极指的长度重合形成，设置上述第二平衡用电极指和弯折成与加权电极指相对而形成的假电极。
根据上述构成，通过设置假电极，能够维持良好的平衡性，而且，能够进一步提高传输特性。
为了解决上述课题，本发明的通信装置，其特征在于，使用上述任一种弹性表面波装置。根据上述构成，使用包括优良平衡性的弹性表面波装置，能够提高上述构成的性能。
附图说明
图1是本发明的第一实施例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图2是表示第一比较例的弹性表面波装置的主要部分构成的示意图；
图3是本发明的第一实施例的一个变形例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图4是用于说明上述第一实施例的弹性表面波装置中的加权区域的主要部分构成图；
图5是表示上述弹性表面波装置的振幅平衡度(振幅平衡)的曲线图；
图6是表示上述弹性表面波装置的相位平衡度(相位平衡)的曲线图；
图7是表示上述第一比较例的弹性表面波装置的振幅平衡度(振幅平衡)的曲线图；
图8是表示上述第一比较例的弹性表面波装置的相位平衡度(相位平衡)的曲线图；
图9是本发明的第一实施例的另一个变形例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图10是本发明的第一实施例的又一个变形例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图11是本发明的第一实施例的又一个变形例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图12是本发明的第一实施例的又一个变形例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图13是本发明的第一实施例的又一个变形例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图14是本发明的第一实施例的又一个变形例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图15是本发明的第一实施例的又一个变形例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图16是本发明的第一实施例的又一个变形例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图17是本发明的第一实施例的又一个变形例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图18是本发明的第一实施例的又一个变形例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图19是本发明的第一实施例的又一个变形例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图20是本发明的第一实施例的又一个变形例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图21是本发明的第一实施例的又一个变形例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图22是本发明的第一实施例的又一个变形例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图23是本发明的第一实施例的又一个变形例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图24是本发明的第二实施例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图25是表示上述弹性表面波装置的振幅平衡度(振幅平衡)的曲线图；
图26是表示上述弹性表面波装置的相位平衡度(相位平衡)的曲线图；
图27是表示上述第一实施例所涉及的弹性表面波装置的传输特性的曲线图；
图28是表示上述第二实施例所涉及的弹性表面波装置的传输特性的曲线图；
图29是本发明的第三实施例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图30是表示上述第三实施例和第二比较例所涉及的弹性表面波装置的振幅平衡度(振幅平衡)的曲线图；
图31是表示上述第三实施例和第二比较例所涉及的弹性表面波装置的相位平衡度(相位平衡)的曲线图；
图32是本发明的第二比较例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图33是本发明的第四实施例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图34是表示上述第四实施例和第二比较例所涉及的弹性表面波装置的振幅平衡度(振幅平衡)的曲线图；
图35是用于表示上述第二现有例中的平衡恶化的主要部分构成图；
图36是用于表示上述第四实施例中的平衡改善的主要部分构成图；
图37是本发明的第四实施例的一个变形例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图38是用于表示上述第四实施例的一个变形例中的平衡改善的主要部分构成图；
图39是本发明的第四实施例的另一个变形例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图40是用于表示上述第四实施例的另一个变形例中的平衡改善的主要部分构成图；
图41是本发明的第四实施例的又一个变形例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图42是本发明的第五实施例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图43是表示上述第五实施例和第三比较例所涉及的弹性表面波装置的振幅平衡度(振幅平衡)的曲线图；
图44是上述第三比较例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图45是用于表示上述第三比较例中的平衡恶化的主要部分构成图；
图46是用于表示上述第五实施例中的平衡改善的主要部分构成图；
图47是本发明的第六实施例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图48是本发明的第六实施例所涉及的弹性表面波装置的主要部分放大构成图；
图49是表示上述第六实施例和第四比较例所涉及的弹性表面波装置的振幅平衡度(振幅平衡)的曲线图；
图50是上述第四比较例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图51是表示上述第六实施例所涉及的弹性表面波装置中的伴随着交叉宽度的变化的振幅平衡度(振幅平衡)的变化的曲线图；
图52是本发明的第六实施例的一个变形例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图53是本发明的第六实施例的另一个变形例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图54是本发明的第六实施例的又一个变形例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图55是本发明的第七实施例的一个变形例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图56是表示上述第七实施例和第二比较例所涉及的弹性表面波装置的振幅平衡度(振幅平衡)的曲线图；
图57是表示上述第七实施例和第二比较例所涉及的弹性表面波装置的相位平衡的曲线图；
图58是本发明的第七实施例的一个变形例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图59是本发明的第七实施例的另一个变形例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图60是表示上述第四实施例中的另一个变形例和第二比较例所涉及的弹性表面波装置的振幅平衡度(振幅平衡)的曲线图；
图61是表示上述第四实施例中的另一个变形例和第二比较例所涉及的弹性表面波装置的相位平衡的曲线图；
图62是本发明的第八实施例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图63是表示上述第八实施例和第二比较例所涉及的弹性表面波装置的振幅平衡度(振幅平衡)的曲线图；
图64是表示上述第八实施例和第二比较例所涉及的弹性表面波装置的相位平衡的曲线图；
图65是本发明的第九实施例所涉及的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图66是本发明的通信装置的主要部分方框图；
图67是第一现有例的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图68是第二现有例的弹性表面波装置的主要部分构成图；
图69是用于表示现有的平衡信号端子间的***损失的不同的曲线图；
图70是用于表示上述现有的平衡信号端子间的***损失的不同的一方的弹性表面波装置的曲线图；
图71是用于表示上述现有的平衡信号端子间的***损失的不同的另一方的弹性表面波装置的曲线图；
图72是说明弹性表面波装置中的谐振方式的图，图72(a)是表示谐振方式的频率关系的曲线图，图72(b)是表示谐振方式的有效电流分布的简要构成图及与其对应的电流分布的曲线图；
图73是第三现有例的弹性表面波装置的主要部分构成图；
具体实施方式
下面根据图1至图65来对本发明的各个实施例进行说明。
(第一实施例)
本发明第一实施例所涉及的弹性表面波装置，如图1所示的那样，具有不平衡型-平衡型变换功能和滤波器功能，在压电基板8是具有输入用IDT 1、分别配置在其两侧(沿着弹性表面波的传播方向)的输出用IDT 2，3、接着在它们的外侧分别配置的反射器4。而且，上述输入和输出可以相互转换。
即，输出用IDT 2，3配置成在它们之间夹着输入用IDT 1。而且，各个反射器4配置成在它们之间夹着IDT2、IDT1及IDT3，来反射传输的弹性表面波。上述压电基板8例如由40±5°YcutX传播LiTaO3构成。
IDT1、2、3具有两个电极指部，该电极指部包括带状的基端部(汇流条)和从该基端部的一方的侧部在正交方向上延伸的多个相互平行的等间隔的带状的电极指，以在相互的电极指之间交错的状态来设置上述各电极指部，以使上述各电极指部的电极指的侧部相互面对。
在这样的IDT 1、2、3中，通过分别设定各电极指的长度和宽度、相邻各电极指的间隔、表示相互的电极指间的交错状态的相对长度的交叉宽度，能够进行信号变换特性和通过频带的设定。在该第一实施例中，IDT 1的电极指的条数被设定为39条，IDT2、3的电极指的条数被设定为23条。
上述各电极指和汇流条及各反射器4由通过光刻法等形成在压电基板8上的例如铝(Al)电极(箔)而形成。
而且，在本第一实施例中，为了输入不平衡型信号并输出平衡型信号，在输入用IDT 1中，连接在不平衡用的输入端子5上的各个信号电极指11和接地的各个接地电极指12按上述那样以相互交错的状态来设置。
而且，在上述IDT1中，设定接地电极指12，以使处于弹性表面波的传播方向上的两端部的最外电极指分别成为接地电极指。上述最外电极指位于分别与IDT2、3的各自最外电极指的一方相对的位置上。
另一方面，在IDT2中，各个接地电极指21和来自平衡用的输出端子6上的信号电极指22按上述那样以相互交错的状态来设置。而且，与各个接地电极指21相连接的汇流条23配置成相对于与输入用IDT 1的各个信号电极指11相连接的汇流条13成为大致直线状。而且，在IDT2中，成为弹性表面波的传播方向上的两端部的各电极指的各最外电极指分别为接地电极指21。
在IDT3中，各个接地电极指31和连接在平衡用的输出端子7上的信号电极指32以上述的相互交错状态来设置。连接在各接地电极指31上的汇流条33配置成相对于与输入用IDT 1的各信号电极指11相连接的汇流条13成大致直线状。
而且，IDT1的各接地电极指12的汇流条14设定为使IDT2的各信号电极指22的汇流条24和IDT3的各信号电极指32的汇流条34分别为直线状。
而且，在本第一实施例中，输出用IDT2，3设置成在结构上相互反转。即，在IDT2中，从接近IDT1的一方，从接地电极指开始，交替设置信号电极指、接地电极指，另一方面，在IDT3中，从接近IDT1的一方，从信号电极指开始，交替设置接地电极指、信号电极指。
由此，在本第一实施例中，被设定为：各IDT2，3之间的振幅差为0，相位差为180°，因此，能够发挥平衡型-不平衡型变换功能。
而且，在本第一实施例中，在IDT1和IDT3相邻处，IDT3的最外电极指进行抽取加权。在进行了抽取加权的电极指的位置上形成接地的假电极31a。由此，在成为IDT1和IDT3之间的附近的IDT3中，接地电极指象假电极31a和接地电极指31b那样来进行两条并联连接。
而且，在本第一实施例中，在输出用IDT 2中的信号电极指22中，在成为输入用IDT 1附近侧(最外电极指)的接地电极指21的下一个的信号电极指22的位置上设定交叉加权电极指22a。在上述交叉加权电极指22a中，交叉加权电极指22a的长度相对于其他的信号电极指22的长度约为二分之一，即，设定为调节交叉宽度的交叉加权。
在此基础上，为了填充由设定得较短的交叉加权电极指22a所产生的空间，而形成从接地的汇流条23延伸的作为偏置电极指的带状的假电极(第一平衡用电极指)21a。假电极21a相对于相邻的各接地电极指21，以等间隔大致平行地向着交叉加权电极指22a的顶端部延伸。
下面对本第一实施例的作用·效果进行说明。首先，作为比较，在图2中表示了没有进行上述抽取加权和交叉加权的第一比较例的具有平衡型-不平衡型变换功能的弹性表面波装置的各IDT的简要构成图。在第一比较例的构成中，在IDT1和IDT40的相邻处接地电极相互并排，与此相对，在IDT1与IDT41之间，信号电极和接地电极并排。这样，在IDT1与IDT40之间，存在没有进行电气和弹性表面波的变换的无电场部9，与此相对，在IDT1与IDT41之间，进行电气信号(信号)和弹性表面波之间的变换。因此，从平衡输出端子6，7所输出的信号的频率和振幅电平不同，而且，相位完全没有进行180度反转，结果，平衡信号端子间的平衡度恶化。
在本第一实施例中，首先，按图3所示的那样，对第一比较例所示的信号电极和接地电极并排的IDT1、IDT41相邻处的电极指进行抽取加权，而且，在进行了抽取加权的电极指的位置上形成假电极31a。即，在IDT1与IDT3之间附近的IDT3中，使两条接地电极指并排起来。由此，在IDT1与IDT3之间、IDT1与IDT40之间的电气信号与弹性表面波之间的变换效率之差被纠正，而得到平衡信号端子6、7之间的平衡度被改善的弹性表面波装置。
而且，通过形成假电极31a，防止了弹性表面波被变换成大波所产生的损失的增加，而得到通过频带内的***损失良好的弹性表面波装置。而且，假电极31a可以不接地而作为悬浮电极，但由于悬浮电极成为平衡信号端子6、7之间的平衡度恶化的原因，因此接地的方案较好。
但是，在图3的构成中，通过进行抽取加权，无电场部9的IDT1与IDT3并排侧大于IDT1与IDT40并排侧。由此，还不能得到充分的平衡信号端子6、7之间的平衡度。因此，如图4所示的那样，设定对IDT1和IDT2并排侧的信号电极指22进行交叉宽度加权的交叉加权电极指22a，而且，设置假电极21a。由此，IDT1与IDT1之间的边界部X1以及IDT1与IDT3之间的边界部X2中的各个无电场部9，9的大小相互大致一致，而得到进一步改善了平衡信号端子间的平衡度的弹性表面波装置。
而且，通过形成假电极21a，防止了弹性表面波被变换成大波所产生的损失的增加，而得到通过频带内的***损失良好的弹性表面波装置。
这样接地的假电极21a、31a在相邻的各接地电极指21、31之间分别形成无电场部9，如后述那样，能够控制上述各无电场部9的形成区域(电容的形成区域)的大小。
上述那样的交叉加权能够通过对信号电极进行的较少的加权来调整无电场部，因此是有效的，但是，当然也可以对接地电极进行加权。
而且，加权在本第一实施例中是用输入用IDT 1和输出用IDT 2，3相邻处的电极指以及距该电极指第二条的电极指来进行的，但是，其也可以用IDT的某一部分来进行。但是，由于IDT相邻的电极指的极性之差，而使影响较大，处于通过频带的最高频率侧的谐振方式(图72的C的谐振方式)，如图72(b)所示的那样，在IDT相邻处，电流的分布较大，因此，如图4所示的那样，从各IDT1、2相邻处到IDT2中的弹性表面波的传播方向长度a的1/2范围内来进行是有效的。
而且，交叉宽度加权，在第一实施例中，通过设定使信号电极指22短至大致中央部的交叉加权电极指22a来实施，但是，交叉宽度加权的量可以根据需要来调整。例如，对IDT1侧的信号电极指22进行约1/4的交叉宽度加权，而且，即使对下一个信号电极指22进行约1/4的交叉宽度加权，也能得到同样的效果。
在图5中表示了本第一实施例的构成中的与频率相对应的平衡信号端子6、7之间的振幅平衡度，在图6中表示了相位平衡度。而且，作为比较，在图7中表示了在图2所示的第一比较例的构成中的与频率相对应的平衡信号端子间的振幅平衡度，在图8中表示了相位平衡度。EGSM发射用滤波器的通过频带的频率范围是880MHz～915MHz。
该范围中的与频率相对应的平衡信号端子6、7之间的振幅平衡度，在第一比较例中，是-1.6dB～+1.5dB(偏差3.1dB，如果偏差小，则振幅平衡度良好)，与此相对，在本第一实施例中，为-0.7dB～+1.2dB(偏差1.9dB)，改善了约1.2dB。平衡信号端子6、7之间的相位平衡度，在第一比较例中，是172度～189(偏差17度，如果偏差小，则相位平衡度良好)，与此相对，在本第一实施例中，178度～184度(偏差6度)，改善了约1.1度。
如上述那样，在本第一实施例中，使用一个纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器来对具有平衡型-不平衡型变换功能的弹性表面波装置的构成进行加权，由此，与现有的弹性表面波装置相比，得到了平衡信号端子6、7之间的平衡度得以改善的弹性表面波装置。
在本第一实施例中，用使用一个具有3个IDT的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器的构成来进行说明，但是，本发明并不仅限于该构成，如果是使用具有平衡信号端子6、7的弹性表面波滤波器的弹性表面波装置，即使在哪种构成中，能够得到同样的效果。
例如，图9是使用具有5个IDT的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器的具有平衡型-不平衡型变换功能的弹性表面波装置(平衡信号端子401，402、不平衡信号端子403)，但是，即使在按这样使用具有3个以上的IDT的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器的构成和使用具有2个IDT的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器的构成中，能够得到本发明的效果。当然，并不仅限于纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器，即使在使用横向型的弹性表面波滤波器和横耦合谐振器型弹性表面波滤波器的弹性表面波装置中，也能得到同样的效果。
而且，在本第一实施例中，用具有平衡型-不平衡型变换功能的弹性表面波装置进行了说明，但是，即使在例如图10(平衡信号端子501和平衡信号端子502成对，平衡信号端子503和平衡信号端子504成对)和图11(平衡信号端子601和平衡信号端子602成对，平衡信号端子603和平衡信号端子604成对)所示的平衡信号输入-平衡信号输出的弹性表面波装置中，也能得到同样的效果。
而且，在本第一实施例中，以用一个纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器来构成具有平衡型-不平衡型变换功能的弹性表面波装置的例子进行了说明，但是，本发明并不仅限于该构成，在具有所有的平衡型-不平衡型变换功能的弹性表面波装置中，能够得到效果。
例如，如图12那样，在一个纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器中的一个IDT的两极的梳齿状电极上分别连接平衡信号端子701、702(703是不平衡信号端子)而没有接地的电气中性点的构成；以及，如图13那样，任一个IDT在交叉宽度方向上被分割，来使阻抗变更的构成(801、802是平衡信号端子，803是不平衡信号端子)；以及，如图14那样，在弹性表面波的传播方向上被分割，在分割的梳齿状电极的各个上连接平衡信号端子901、902的构成(903是不平衡信号端子)中，能够得到本发明的效果。
此时，如图15所示的那样，通过把不平衡信号端子1003在左右的IDT中分别连接在其他方向的梳齿状电极上，能够得到使通过频带为的衰减量进一步被改善的弹性表面波装置(1001、1002是平衡信号端子)。
而且，即使在把多个纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器进行组合的，具有平衡型-不平衡型变换功能的弹性表面波装置的构成中，能够得到本发明的效果。
例如，如图16那样，在相对于纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器1104，使纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器1105的输入信号对输出信号的相位相差约180度，并且，把连接在平衡信号端子1101、1102上的IDT串联连接，把连接在不平衡信号端子1103上的IDT并联连接，而具有平衡型-不平衡型变换功能的弹性表面波装置的构成中；以及，如图17那样，在图16的构成中，级联一个纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器的构成中；并且，如图18那样，对图68的构成进行加权，也能得到本发明的效果。
这样，在进一步级联了纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器的构成中，不仅使平衡信号端子间的平衡度被改善，而且，得到了通过频带外的衰减量较大的弹性表面波装置。此时，如图19那样，把各个IDT 1303、1304相互反转，以使分别连接级联的两个纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器的传输信号线1301、1302的电信号的相位相差约180度，同样，使各个IDT 1307、1308相互反转，以使传输各个信号线1305、1306的电信号的相位相差约180度，由此，得到进一步改善了平衡信号端子间的平衡度的弹性表面波装置。
而且，如图20那样，即使在图12的弹性表面波装置上进一步级联一个纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器1401的构成中，也能得到本发明的效果。在该构成中，不仅使平衡信号端子间的平衡度被改善，而且，得到了通过频带外的衰减量较大的弹性表面波装置。此时，如图21那样，与图19的构成相同，把各个IDT 1503、1504相互反转，以使传输各个信号线1501、1502的电信号的相位相差约180度，由此，得到进一步改善了平衡信号端子间的平衡度的弹性表面波装置。
而且，在级联两个以上纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器的情况下，不需要专门使用相同构成的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器，例如在输入输出中，调整阻抗时，调整交叉宽度，或者，当增大通过频带外的衰减量时，使IDT的对数和相邻IDT相互的中心间距、IDT和反射器的中心间距不同，等等，就能在各个弹性表面波滤波器中使设计不同。
而且，在本第一实施例中，在任一个纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器中，使各IDT的电极指总条数为奇数条，但是，也可以使其为偶数条，特别是，如图22那样，使位于具有3个的IDT的中央部，进一步连接在平衡信号端子上的IDT的电极指的总条数为偶数条，也能得到本发明的效果。
在此情况下，相对于纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器的中心，提高了左右对称性，进而，连接在平衡信号端子上的电极指的条数变得相等，因此，得到进一步改善了平衡信号端子间的平衡度的弹性表面波装置。
而且，如图23所示的那样，在串联连接弹性表面波谐振器1601、1602的构成和未图示的并联连接弹性表面波谐振器的构成或者连接其两方的构成中，能够得到本发明的效果。在该构成的情况下，不仅使平衡信号端子间的平衡度被改善，而且得到了通过频带附近的衰减量较大的弹性表面波装置。
(第二实施例)
对于本第二实施例，根据图24至图28进行说明。而且，在本第二实施例中，对于具有与图1所示的弹性表面波装置相同的功能的部件，使用相同的部件标号，而省略其说明。
在本第二实施例所涉及的弹性表面波装置中，作为加权的方法，如图24所示的那样，使用串联加权来取代上述第一实施例中的抽取加权和交叉宽度上的交叉加权。即，设置IDT 25来取代上述第一实施例中记载的IDT 2。
在IDT25中，设置与交叉加权电极指22a同样缩短了交叉加权电极指22a的内侧的(下一个)接地电极指21的交叉加权电极指21b，来取代上述的IDT2的假电极21a，而且，设置与上述两者隔开(即悬浮状态)的假电极(第二平衡用电极指)25a
上述假电极25a是这样的电极指：与交叉加权电极指22a具有相同宽度，在交叉加权电极指22a与下一个信号电极指22之间与它们大致平行地延伸，接着，通过交叉加权电极指22a的顶端部和交叉加权电极指21b的顶端部，在交叉加权电极指21b与最外的接地电极指21之间，被弯折成与它们大致平行地延伸。
对于具有这样的IDT 25的弹性表面波装置，分别测定通过频带附近的振幅平衡度和相位平衡度。在图25和图26中分别表示了它们的结果。如从它们的结果所看到的那样，EGSM发射用滤波器的通过频带的频率范围中的频率-平衡信号端子间的振幅平衡度为-0.7dB～+1.2dB(偏差1.9dB)，与第一实施例相同，但是，平衡信号端子间的相位平衡度为177度～182度(偏差5度)，比第一实施例改善了1度。
而且，在图27中表示了第一实施例中的相对于频率的通过频带内的传输特性，在图28中表示了第二实施例中的相对于频率的通过频带内的传输特性。若比较上述两者，在第一实施例中，在通过频带内发生了波纹A(参照图27)，但是，在第二实施例中，没有发生上述波纵(参照图28)，而得到了通过频带内的偏差小于第一实施例的弹性表面波装置。
如上述那样，通过实施进一步扩展了交叉宽度加权的串联加权，而得到进一步改善了平衡信号端子间的平衡度以及通过频带内的偏差的弹性表面波装置。
在此基础上，在本第二实施例中，与上述第一实施例相比，在传输特性上，使波纹的发生被抑制，而具有更优良的传输特性。
(第三实施例)
对于本本发明的第三实施例，根据图29至图32进行说明。在图29中表示了本发明的第一实施例所涉及的构成。而且，在本第三实施例中，以PCS接收用滤波器为例进行说明。
在本第三实施例的弹性表面波装置中，在压电基板200上，3IDT的纵耦合谐振器型的弹性表面波滤波器201和与弹性表面波滤波器201串联连接的各个弹性表面波谐振器202、203由通过光刻法等所形成的铝(Al)电极(箔)来形成。作为上述压电基板200的材料，可以列举出40±5°YcutX传播LiTaO3。这样的弹性表面波滤波器201与上述图10所示的大致相同。
在弹性表面波滤波器201中，作为中心，分别形成各个IDT204、206，以便于从左右夹入成为平衡信号端子侧的IDT205(沿着弹性表面波的传播方向)。而且，在各个IDT204、206的两个外侧(沿着弹性表面波的传播方向)，分别形成反射来自上述各个IDT204～206的弹性表面波的各个反射器207、208。即，各个IDT和反射器设在上述弹性表面波的传输路径上，以使各电极指的宽度方向沿着弹性表面波的传播方向。
而且，在弹性表面波滤波器201中，如从图29所看到的那样，与上述相同，把IDT204和IDT205相邻处和它们的附近以及IDT205和IDT206相邻处和它们的附近的几条电极指(窄间距电极指)设定为小于上述各个IDT的其他部分(图29的213和214处)。
在上述弹性表面波装置中，各个端子210、211为平衡信号端子，端子209为不平衡信号端子。这样，IDT204、IDT206为不平衡信号侧，分别具有信号电极指204a和接地电极指204b、信号电极指206a和接地电极指206b。另一方面，IDT205为平衡信号端子侧，具有各个信号电极指205a、205b。这样，本第三实施例是对具有接地的电气中性点的构成进行加权的例子。
各个弹性表面波谐振器202、203通过信号线212串联连接在不平衡信号端子209与各个IDT204、206之间。弹性表面波谐振器202具有IDT202a和沿着弹性表面波的传播方向夹着其的各个反射器202b、202c。弹性表面波谐振器203具有IDT203a和沿着弹性表面波的传播方向夹着其的各个反射器203b、203c。
本第三实施例的特征点是：IDT205和IDT206相邻，在弹性表面波的传播方向上对面处的IDT206的电极指219处进行加权。
在本第三实施例中，作为上述抽取加权，对IDT206的信号电极指206a中的与IDT205相邻处(最近处)的电极指进行抽取加权。
并且，在本第三实施例中，为了确保各电极指的间距，维持相邻的各个IDT即各IDT205、206之间的间距，在接地电极指206b上以与窄间距侧的接地电极指206b相同的交叉宽度、相同间距、相同duyt和相同线宽来设置电极指219。由此，在IDT1206中，在与IDT205相邻处，存在多个例如2条相邻的接地电极指206b。
弹性表面波滤波器201的详细的设计，当由窄间距电极指的间距所决定的波长为λI2(图29的213、214处)，由其他的电极指的间距所决定的波长为λI1时，为：
交叉宽度W：60.6λI1
IDT条数(按204、205、206的次序)：29(4)/(4)44(4)/(4)29条(括号内表示减小了间距的电极指的条数)
IDT波长λI1：2.06μm，λI2：1.88μm
反射器波长λR：2.07μm
反射器条数：100条
IDT-IDT间隔：0.50λI2
由波长λI1和波长λI2的各电极指所夹着处的间隔(图29的215，216，217，218)：0.25λI1+0.25λI2
IDT-反射器间隔：0.47λR
占空比(duty)：0.60(IDT、反射器共同)
电极膜厚：0.080λI1
下面表示弹性表面波谐振器202的详细设计：
交叉宽度W：40.6λ
IDT条数：241条
波长λ(IDT、反射器共同)：1.97μm
反射器条数：30条
IDT-反射器间隔：0.50λ
占空比(duty)：0.60(IDT、反射器共同)
电极膜厚：0.084λ
下面表示弹性表面波谐振器203的详细设计：
交叉宽度W：49.1λ
IDT条数：401条
波长λ(IDT、反射器共同)：2.04μm
反射器条数：30条
IDT-反射器间隔：0.50λ
占空比(duty)：0.60(IDT、反射器共同)
电极膜厚：0.080λ
上述「间隔」表示相邻的两条电极指的中心(宽度方向的中心)之间的距离。
下面，测定本第三实施例的各特性，在图30和图31中表示它们的结果。在图30中表示了本第三实施例的构成中的与频率相对应的平衡信号端子间的振幅平衡度的测定结果的曲线图，在图31中表示相位平衡度的曲线图。
作为比较，在图30和图31中配合表示了：把图32所示的在两个IDT相邻处没有进行抽取加权的IDT206c取代为IDT206的第二比较例的构成的振幅平衡度、相位平衡度。
图32的第二比较例的构成相对于第三实施例，是除了把没有进行抽取加权的IDT206c取代为IDT206之外完全相同的构成。PCS接收用滤波器中的通过频带的频率范围是1930MHz～1990MHz。
该范围中的最大的振幅平衡度，在第二比较例中为-1.6dB～+0.7dB(偏差2.3dB)，与此相对，在第三实施例中为-1.5dB～+0.7dB(偏差2.2dB)，振幅平衡度改善0.1dB。而且，相位平衡度在第二比较例中为162度～182度(偏差20度)，与此相对，在第三实施例中为162度～181度(偏差19度)，相位平衡度改善了约1度。
通过进行抽取加权，IDT205和IDT206相邻处的电极指的极性在第二实施例中，+和+都是信号电极指，而在本第三实施例中，与IDT204和IDT205相邻处的极性相同，为-和+，具有左右的非对称性得以改善的效果。
如以上说明的那样，在本第三实施例中，在具有平衡型-不平衡型变换功能的弹性表面波滤波器中，通过对两个IDT相邻处的电极指进行抽取加权，与现有的弹性表面波滤波器相比，能够得到平衡信号端子间的平衡度得以改善的弹性表面波滤波器。
(第四实施例)
根据图33至图41来说明本发明的第四实施例。在第四实施例中，以EGSM接收用滤波器为例进行说明。
第四实施例所涉及的弹性表面波装置，把图18所示的输入信号对输出信号的相位相差约180度的两个纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器1918、1920串联连接在平衡信号端子1906、1907侧，并联连接在不平衡信号端子1905侧，而具有平衡型-不平衡型变换功能，而且，在两个纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器1918、1920上分别逐个级联新的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器1918、1918，在上述纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器1920上进行抽取加权，具有假电极1901b。
在第四实施例中，在压电基板8上通过Al电极形成4个纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器1918、1920。4个纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器1918、1920除了输入信号对输出信号的相位相差约180度这点以及被加权这点之外，所有都是相同设计。而且，在第四实施例中，与第三实施例相同，在两个IDT相邻之间设置几条窄间距电极指。第四实施例的构成除了加权这点之外，基本上与图68所示的第二实施例的构成相同。
纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器1918的详细设计，当由窄间距电极指的间距所决定的波长为λI2，由其他的电极指的间距所决定的波长为λI1时，为：
交叉宽度W：25.2λI1
IDT条数(按1902、1901、1903的次序)：23(4)/(4)26(4)/23(4)条(括号内表示缩窄了间距的电极指的条数)
IDT波长λI1：4.204μm，λI2：3.854μm
反射器波长λR：4.279μm
反射器条数：90条
IDT-IDT间隔：
由波长λI1和波长λI2的电极指所夹着处：0.25λI1+0.25λI2
由波长λI2的电极指所夹着处：0.50λI2
IDT-反射器间隔：0.470λR
IDT占空比(duty)：0.720
反射器占空比(duty)：0.55
电极膜厚：0.08λI1
第四实施例的特征在于：相对于纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器1918，在为了使纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器1920的输入信号对输出信号的相位相差约180度而被反转的IDT1901a的两端，设置与不平衡信号端子1905相连接的电极指的一方被抽去而在该部分上接地的假电极1901b。
下面对本第四实施例的作用·效果进行说明。在图34中表示了第四实施例的构成中的相对于频率的平衡信号端子间的振幅平衡度。作为比较，在图34中表示了图68的第二现有例子中的相对于频率的平衡信号端子间的振幅平衡度。图68的第二现有例子的构成相对于第四实施例，除了不进行抽取加权之外，具有完全相同的构成。EGSM接收用滤波器中的通过频带的频率范围为925MHz～960MHz。
该范围中的平衡信号端子间的振幅平衡度，在第二现有例子中为-0.2dB～+1.3dB(偏差1.5dB)，与此相对，在第四实施例中为-0.7dB～+0.2dB(偏差0.9dB)，振幅平衡度改善约0.6dB。
下面说明得到第四实施例的效果的原因。弹性表面波的励振，在极性不同的电极指相邻的情况下，在该电极指间进行。在图35中表示了图68中记载的各弹性表面波滤波器118、127中的IDT相邻的周边(图68中用○围住的部分)上的弹性表面波的励振状态。
在图35中，仅表示了距IDT相邻部分的端部的3条电极指。而省略了其他部分。图68的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器118、127在图35中分别对应于纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2007、2008，图68的IDT113、114、115在图35中分别对应于IDT2001、2002、2003，图68的IDT133、134、135分别对应于图35的IDT2004、2005、2006。用图中带有○的部分，表示弹性表面波被励振，用带有×的部分，表示弹性表面波未被励振。
在第二现有例子的情况下，在纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2007中，由于IDT2001、2002、2003各自的最外电极指是接地电极，在各自的相邻的电极指之间，不进行弹性表面波的励振。
另一方面，在纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2008中，通过使纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2007的IDT2001和方向反转的IDT2004，使与纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2007的输入信号对输出信号的相位相差约180度，因此，IDT2004的最外电极指是信号电极，IDT2005、IDT2006的最外电极指是接地电极。
因此，在纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2008中，与纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2007的情况不同，即使在各自相邻的电极指间也进行弹性表面波的励振，若在整体上进行比较，与纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2007相比，在纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2008中，弹性表面波的励振进行的位置变多而具有两处。
由此，在第二现有例子中，在纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2007和纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2008中，相邻的电极指间隔部中的弹性表面波的有效电流的强度分布不同，其结果，在图72所示的3个谐振方式中，位于中央的谐振方式与位于最高频带侧的谐振方式的间隔不同，平衡信号端子间的平衡度恶化。
下面在图36中表示了图33所示的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器1918、1920中的IDT相邻的周边(图中用○围住的部分)上的弹性表面波的励振状态。在图36中，与图35相同，仅表示了距IDT相邻的部分的端部的3条电极指，而省略了其他的。
图33中的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器1918、1920分别对应于图36的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2107、2108，而且，图33中的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器1918的IDT1902、1901、1903分别对应于图36的IDT2102、2101、2103，图33中的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器1920的IDT1901a、1902、1903分别对应于图36的IDT2104、2105、2106。
在第四实施例的情况下，通过把连接在输入侧的IDT的方向反转，在把纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2107和使输入信号对输出信号的相位相差约180度的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2108中，对IDT2104的最外电极指进行抽取加权，在该部分设置假电极2109(图33的假电极1901b)，并接地。
因此，在纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2108中，在一方的两个IDT相邻的部分2110中，由于信号电极指和接地电极指交替排列，弹性表面波被励振，与此相对，在另一方的两个IDT相邻的部分2111中，由于三条接地电极指并排，则弹性表面波未被励振的部分产生了两处。
其结果，在纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2107和纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2108中，在电极指间弹性表面波未被励振处的总数即在电极指间弹性表面波被励振处的总数变得相等，因此，与第二现有例子相比，谐振方式的间隔的差变小，平衡信号端子间的振幅平衡度得以改善。
例如，通过把两段串联图37所示那样的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2201的第一纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2202和相对于第一纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2202而连接在第二段的输出侧上的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2201a的IDT2203的方向反转，而具有第一纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2202和使输入信号对输出信号的相位相差约180度的第二纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2204，并联连接第一段的各纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2201中的中央的IDT而构成不平衡信号端子2205，串联连接第二段的各纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2201、2201a的中央的IDT而构成平衡信号端子2206。
在上述情况下，对IDT2203的最外电极指进行抽取加权，在该部分设置假电极2207并接地，由此，输出侧的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器中的2个IDT相邻的周边(图37中的○围住的部分)上的弹性表面波的励振状态成为图38那样，在第一纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2202和第二纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2204中，在电极指间弹性表面波未被励振处的总数即在电极指间弹性表面波被励振处的总数变得相等，因此，平衡信号端子间的振幅平衡度得以改善。
而且，如图39所示的那样，不是在第二段的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器的中央IDT，而是把外侧的IDT的方向进行反转，由此，使输入信号对输出信号的相位相差约180度。
即使在上述情况下，对方向被反转的IDT2301的一方的IDT的最外电极指进行抽取加权，在该部分设置假的电极指2302，并接地，由此，输出侧的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器中的两个IDT相邻的周边(图39的用○围住的部分)上的弹性表面波的励振状态，如图40所示的那样，在第一纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2303和第二纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2304中，在电极指间弹性表面波未被励振处的总数即在电极指间弹性表面波被励振处的总数变得相等，因此，平衡信号端子间的振幅平衡度得以改善。
而且，如图41所示的那样，即使在使用5IDT型的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器来取代图33中的3IDT型的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器的情况下，对方向被反转的IDT2401的IDT的一侧的最外电极指进行抽取加权，在该部分设置假的电极指2402，并接地，由此，在第一纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2403和第二纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2404中，在电极指间弹性表面波未被励振处的总数即在电极指间弹性表面波被励振处的总数变得相等，因此，平衡信号端子间的振幅平衡度得以改善。
以上，在所述的第四实施例中，把输入信号对输出信号的相位相差约180度的两个弹性表面波滤波器串联连接在平衡信号端子侧，并联连接在不平衡信号端子侧，而具有平衡型-不平衡型变换功能，而且，在两个弹性表面波滤波器上逐一级联弹性表面波滤波器，对该构成进行抽取加权，由此，与现有的弹性表面波装置相比，能够得到平衡信号端子间的平衡度得以改善的弹性表面波装置。
(第五实施例)
根据图42至图46来说明本发明的第五实施例。在本第五实施例中，以DCS接收用滤波器为例进行说明。
第五实施例是对图16所示的把输入信号对输出信号的相位相差约180度的两个纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器串联连接在平衡信号端子侧，并联连接在不平衡信号端子侧，而具有平衡型-不平衡型变换功能的构成进行加权的例子。
在第五实施例中，在上述压电基板8上由Al电极形成纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2501和与纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2501串联连接的弹性表面波谐振器2502及2503。两个纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器除了输入信号对输出信号的相位相差约180度之外，所有都是相同的设计。而且，在第五实施例中，与第三实施例相同，在两个IDT相邻之间设置几条窄间距电极指。
纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器的详细的设计，当由窄间距电极指的间距所决定的波长为λI2，由其他的电极指的间距所决定的波长为λI1时，为：
交叉宽度：37.12λI1
IDT条数(按2504、2505、2506的次序)：(4)19/(4)31(4)/19(4)条(括号内表示减小了间距的电极指的条数)
IDT波长λI1：2.156μm，λI2：1.926μm
反射器波长λR：2.177μm
反射器条数：150条
IDT-IDT间隔：由波长λI1和波长λI2的各电极指所夹着处：0.25λI1+0.25λI2，由波长λI2的电极指所夹处：0.50λI2
IDT-反射器间隔：0.50λR
IDT占空比(duty)：0.63
反射器占空比(duty)：0.60
电极膜厚：0.09λI1
下面表示弹性表面波谐振器2502的详细设计：
交叉宽度：14.3λI
IDT条数：241条
IDT波长及反射器波长：2.102μm
反射器条数：30条
IDT-反射器间隔：0.50λR
下面表示弹性表面波谐振器2503的详细设计：
交叉宽度：37.1λI
IDT条数：241条
IDT波长及反射器波长：2.023μm
反射器条数：30条
IDT-反射器间隔：0.50λR
第五实施例的特征在于：为了相对于弹性表面波滤波器2507，使弹性表面波滤波器2508的输入信号对输出信号的相位相差约180度，而把反转的位于IDT2509的端部的信号电极指的一方抽去，在该部分设置接地的假电极2510，而且，通过假电极2510来使3个IDT的接地电极共同化。
下面对本第五实施例的作用·效果进行说明。首先，在图43中表示了第五实施例的构成中的相对于频率的平衡信号端子间的振幅平衡度。作为比较，在图44中与图43相配合表示了第三比较例中的相对于频率的平衡信号端子间的振幅平衡度。图44的第三比较例的构成相对于第五实施例，除了不进行抽取加权之外，具有完全相同的构成。
DCS接收用滤波器中的通过频带的频率范围为1805MHz～1880MHz。该范围中的平衡信号端子间的振幅平衡度，在第三比较例中为-1.0dB～+3.2dB(偏差4.2dB)，与此相对，在第五实施例中为-0.5dB～+1.5dB(偏差2.0dB)，振幅平衡度改善约2.2dB。
下面说明得到第五实施例的效果的原因，在图44所示的第三比较例中，如图45所示的那样，IDT相邻的周边(图44中用○围住的部分)上的弹性表面波被励振处的数量在第一弹性表面波滤波器2601和第二弹性表面波滤波器2602中是不同的，与此相对，在第五实施例的情况下，如图46所示的那样，IDT相邻的周边(图42中用○围住的部分)上的弹性表面波被励振处的数量在第一纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2511和第二纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2512中是相同的。因此，在图72所示的的3个谐振方式中的在频带中央所见到的谐振方式和在频带高频侧所见到的谐振方式的间隔，在从两个平衡信号端子所输出的信号间，与第三比较例相比，是一致的。
如以上那样，在第五实施例中，把输入信号对输出信号的相位相差约180度的2个纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器串联连接在平衡信号端子侧，并联连接在不平衡信号端子侧，而具有平衡型-不平衡型变换功能，对该构成进行加权，由此，与现有的弹性表面波装置相比，得到了平衡信号端子间的平衡度得以改善的弹性表面波装置。
而且，通过包含设在被抽去位置上的假电极2510而使3个IDT的接地共同化，使弹性表面波装置的接地被强化，使通过频带内的***损失和通过频带外的衰减量得以改善。而且，能够省略中央部的IDT的接地端子。
(第六实施例)
根据图47至图54来说明本发明所涉及的第六实施例。在本第六实施例中，以DCS接收用滤波器为例进行说明。
第六实施例与第三实施例相同，在成为一个纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2701中的一个IDT2704的两极的梳齿状电极上分别连接平衡信号端子2711、2712，在各平衡信号端子2711、2712中，对没有接地的电气中性点的构成进行加权。
在第六实施例中，在上述压电基板8上由Al电极形成纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2701和与纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2701串联连接的弹性表面波谐振器2702及2703。
纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2701的构成是：在IDT2704的左右配置IDT2705、2706，并形成反射器2707、2708以便于夹着这些IDT。
在第六实施例中，与第三实施例相同，在两个IDT相邻之间设置几条窄间距电极指(图47的2709和2710处)。端子2711和2712是平衡信号端子，2713是不平衡信号端子。在图48中，表示了放大图47的IDT2704和2705之间的图。
连接在平衡信号端子2711上的IDT2704的最外电极指2704a被进行交叉宽度加权，并且在被进行加权、消除的位置上设置假电极2705a，进行接地。
纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2701的详细的设计，当由窄间距电极指的间距所决定的波长为λI2，由其他的电极指的间距所决定的波长为λI1时，为：
交叉宽度：没有进行交叉宽度加权的部分(图48的2805)：71.2λI1
进行了交叉宽度加权的部分(图48的2806)：35.6λI1
IDT条数(按2705、2704、2706的次序)：21(4)/(4)35(4)/(4)21条(括号内表示减小了间距的电极指的条数)
IDT波长λI1：2.18μm，λI2：1.96μm
反射器波长λR：2.18μm
反射器条数：150条
IDT-IDT间隔：由波长λI1和波长λI2的各电极指所夹着处(图47的2714)：0.25λI1+0.25λI2
由波长λI2的电极指所夹处(图47的2715)：0.50λI2
IDT-反射器间隔：0.460λR
IDT占空比(duty)：没有缩窄间距的部分：0.63，缩窄了间距的部分：0.60
反射器占空比(duty)：0.57
电极膜厚：0.09λI1
下面表示弹性表面波谐振器2702的详细设计：
交叉宽度：23.6λI
IDT条数：241条
IDT波长及反射器波长：2.12μm
反射器条数：30条
IDT-反射器间隔：0.50λR
下面表示弹性表面波谐振器2703的详细设计：
交叉宽度：58.5λI
IDT条数：241条
IDT波长及反射器波长：2.04μm
反射器条数：30条
IDT-反射器间隔：0.50λR
第六实施例的特征在于：与接地电极指相邻，形成对位于连接在平衡信号端子上的中央的IDT2704的两端的电极指分别进行交叉宽度加权的交叉加权电极指2704a，接着，在进行了交叉宽度加权处分别设置假电极2705a、2706a，并进行接地。
下面对本第六实施例的作用·效果进行说明。在图49中表示了第六实施例的构成中的相对于频率的平衡信号端子间的振幅平衡度。作为比较，在图50中与图49相配合表示了第四比较例中的相对于频率的平衡信号端子间的振幅平衡度。图50的第四比较例的构成相对于第六实施例，除了使用中央IDT的两端的电极指未被交叉宽度加权的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2701a之外，具有完全相同的构成。DCS接收用滤波器中的通过频带的频率范围为1805MHz～1880MHz。
该范围中的平衡信号端子间的振幅平衡度，在第四比较例中为-1.3dB～+3.3dB(偏差4.6dB)，与此相对，在第六实施例中为-2.0dB～+1.9dB(偏差3.9dB)，振幅平衡度改善约0.7dB。
而且，在第四实施例中，平衡信号端子间的振幅平衡度大大偏向+侧，但是，在第六实施例中，+方向和-方向的偏差大致均等。如第六实施例那样，+方向和-方向的偏差大致均等的方案与大大偏向+侧或-侧任一方相比，存在同相信号的噪声电平变小的优点，第六实施例的方案在这点是优越的。
得到第六实施例的效果的原因是：对与接地电极指相邻的中央IDT2704的两端的电极指进行交叉宽度加权，接着在进行了交叉宽度加权处设置假电极，并进行接地，由此，与平衡信号端子2711相连接的IDT和与平衡端子2712相连接的IDT的两端的电极指变为同接地电极指相邻，因此，与相邻的电极指的极性的关系变为相同的。
下面对调查交叉宽度加权的最佳值的结果进行说明。调查的方法是：在图47、图48的构成中，使没有进行交叉宽度加权的部分的交叉宽度2805对进行了加权的部分的交叉宽度2806的比例(以后称为交叉宽度加权之比)变化，调查随之在通过频带内平衡信号端子间的振幅平衡度的变化。
交叉宽度加权之比，在没有进行加权的图50的情况下为1，在图47的情况下为1/2，对于交叉宽度加权之比为1/4、1/2、3/4的情况，分析平衡信号端子间的振幅平衡度。在图51中表示了当使交叉宽度加权之比变化时的平衡信号端子间的振幅平衡度的结果值。在图51中，平衡信号端子间的振幅平衡度描绘了+侧的偏差情况。
根据图51，在交叉宽度加权之比为约0.5的情况下，即，在电极指的大致中央的位置上进行加权的情况下，通过频带内的平衡信号端子间的振幅平衡度变为最小。这就具有这样的效果：在大致中央的位置上对中央IDT的两端的电极指进行加权，把被加权的电极指接地，由此，在连接在平衡信号端子2711上的IDT和连接在平衡信号端子2712上的IDT的两端的电极指上，由于接地电极指分别以全体的交叉宽度的约二分之一相邻，因此，与相邻的电极指的极性的关系变为相同。
如上述那样，在第六实施例中，在一个纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器中的一个IDT(最好为中央的IDT)的两极的梳齿状电极上分别连接平衡信号端子，二没有接地的电气中性点，在这样的构成中，在大致中央的位置上对中央IDT的两端的电极指进行交叉宽度加权，把设置在通过加权而削除的位置上的假电极接地，由此，与现有的弹性表面波装置相比，能够得到平衡信号端子间的振幅平衡度得以改善的弹性表面波装置。
在第六实施例中，用连接在平衡信号端子上的IDT的两端的电极指在两侧与接地电极指相邻的构成来进行了说明，但是，即使在例如图52那样的接地电极指和在某一侧与信号电极指相邻的构成中，仅对与接地电极指相邻侧的信号电极指进行交叉宽度加权，把设置在通过加权而削除的位置上的假电极通过IDT来接地，由此，能够得到平衡信号端子间的振幅平衡度得以改善的弹性表面波装置。
而且，如图53那样，即使在从2个以上的IDT的两极取出平衡信号的构成中，对两个IDT的各自的最外电极指进行交叉宽度加权，把所加权的电极指通过IDT和反射器接地，由此，能够改善平衡信号端子间的振幅平衡度。
在第六实施例中，用纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器为3IDT型的构成来进行了说明，但是，即使在例如具有4个以上的纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器的情况下，如图54那样，对取出平衡信号的IDT的两端的电极指进行交叉宽度加权，把设置在通过加权而削除的位置上的假电极通过IDT来接地，由此，能够改善平衡信号端子间的振幅平衡度。
(第七实施例)
根据图55至图61来说明本发明所涉及的第七实施例。在本第七实施例中，以PCS接收用滤波器为例进行说明。
第七实施例与第三实施例相同，在成为一个纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器中的一个IDT的两极的梳齿状电极上分别连接平衡信号端子，对没有接地的电气中性点的构成进行加权。
在第七实施例中，在上述压电基板8上由Al电极形成纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2901和与纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器2901串联连接的各弹性表面波谐振器2902及2903。第七实施例的构成基本上是与第三实施例的图29相同的构成。
第七实施例的特征是：电极指2919、2920的占空比(duty)为0.40。而且，在第七实施例中，在信号线2912和平衡信号端子间2910之间***接地的屏蔽线2921。这样，在信号电极相邻处，***接地的屏蔽线，由此，信号电极间的桥络电容被降低，而且，能够得到平衡信号端子间的平衡度得以改善的弹性表面波装置。
下面对本第七实施例的作用·效果进行说明。在图56中表示了第七实施例的构成中的相对于频率的平衡信号端子间的振幅平衡度。在图57中表示了相位平衡度。作为比较，在图32中与图56和图57相配合表示了第二比较例中的平衡信号端子间的振幅平衡度、相位平衡度。图32的第二比较例的构成相对于第七实施例，除了没有改变IDT2905的与IDT2904、2906相邻的电极指的占空比(duty)之外，具有完全相同的构成。PCS接收用滤波器中的通过频带的频率范围为1930MHz～1990MHz。
该范围中的平衡信号端子间的相位平衡度的偏差在第七实施例和第二比较例中几乎没有变化，但是，平衡信号端子间的振幅平衡度，在第二比较例中为-0.5dB～+2.3dB(偏差2.8dB)，与此相对，在第七实施例中为-0.6dB～+2.0dB(偏差2.6dB)，振幅平衡度改善约0.2dB。
而且，在第二比较例中，平衡信号端子间的振幅平衡度及相位平衡度大大偏向+侧或-侧任一方，但是，在第七实施例中，+方向和-方向的偏差之差变小。如第七实施例那样，+方向和-方向的偏差之差较小的方案与大大偏向+侧或-侧任一方相比，存在同相信号的噪声电平变小的优点，第七实施例的方案在这点是优越的。
得到第七实施例的效果的原因是：通过使IDT2905的与各IDT2904、2906相邻的电极指的占空比(duty)小于其他电极指的占空比(duty)，校正了与各平衡信号端子间2910、2911相连接的电极指的总电容量和电信号与弹性表面波之间的变换效率。
该电极指的总电容量等的不同，特别是在两个IDT相邻处较大，因此，如第七实施例那样，通过调整该部分的电极指的占空比(duty)，能够得到最大的效果。为了进一步得到效果，如图58那样，可以调整接近两个IDT相邻处的几条电极指的占空比(duty)。
下面，作为第七实施例的另一种构成，在图60中表示了如图59那样使IDT2904a和IDT2906a的与IDT2905b相邻的电极指(图59的3001和3002)的占空比(duty)小于其他电极指的占空比(duty)时的相对于频率的平衡信号端子间的振幅平衡度，在图61中表示了相位平衡度。此时，电极指3001和电极指3002的占空比(duty)为0.40。
作为比较，在图60和图61中配合表示了图32的第二比较例的构成中的平衡信号端子间的振幅平衡度、相位平衡度。该范围中的平衡信号端子间的相位平衡度的偏差在第七实施例的变形例和第二比较例中几乎没有变化，但是，平衡信号端子间的振幅平衡度，在第二比较例中为-0.5dB～+2.3dB(偏差2.8dB)，与此相对，在第七实施例的变形例中为-0.5dB～+2.0dB(偏差2.5dB)，振幅平衡度改善约0.3dB。
这样，如图59那样，通过调整连接在不平衡信号端子上的IDT的电极指的占空比(duty)，能够得到本发明的效果。当然，在此基础上，在IDT2905b上增加占空比(duty)的调整，也能得到本发明的效果。
如上述那样，在第七实施例中，在成为一个纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器中的一个IDT的两极的梳齿状电极上分别连接平衡信号端子，而没有接地的电气中性点，在该构成中，通过对IDT的一部分特别是两个IDT相邻处进行占空比(duty)加权，与现有的弹性表面波装置相比，能够得到平衡信号端子间的振幅平衡度得以改善的弹性表面波装置。
(第八实施例)
根据图62至图64来对本发明所涉及的第八实施例进行说明。第八实施例的构成不象第七实施例那样仅使IDT2905的与IDT2904、IDT2906相邻的电极指的占空比(duty)为0.40，在第八实施例中，把连接在平衡信号端子2910上的IDT2905的电极指的占空比(duty)与其他的电极指一起都变为例如更小，而成为0.40。其他的构成都与第七实施例的构成相同。
下面对本第八实施例的作用·效果进行说明。在图63中表示了第八实施例的构成中的相对于频率的平衡信号端子间的振幅平衡度。在图64中表示了相位平衡度。作为比较，在图32中与图63和图64相配合表示了第二比较例中的平衡信号端子间的振幅平衡度、相位平衡度。在PCS接收用滤波器中的通过频带的频率范围内，平衡信号端子间的相位平衡度比第二比较例稍稍恶化，但是，平衡信号端子间的振幅平衡度比第二比较例改善了约0.5dB。
而且，在第二比较例中，平衡信号端子间的振幅平衡度及相位平衡度大大偏向+侧或-侧任一方，但是，在第八实施例中，+方向和-方向的偏差之差变小。如第八实施例那样，+方向和-方向的偏差之差较小的方案与大大偏向+侧或-侧任一方相比，存在同相信号的噪声电平变小的优点，第八实施例的方案在这点是优越的。
如上述那样，在第八实施例中，在一个纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器中的一个IDT的两极的梳齿状电极上分别连接平衡信号端子，而没有接地的电气中性点，在该构成中，通过对连接在平衡信号端子的一方上的电极指都进行占空比(duty)加权，与现有的弹性表面波装置相比，能够得到平衡信号端子间的振幅平衡度得以改善的弹性表面波装置。
如图62那样，当全部调整连接在平衡信号端子2910上的IDT2905c的电极指的占空比(duty)时，能够进一步改善平衡信号端子间的振幅平衡度，但是，相位平衡度反而恶化。但是，如图55和图58那样，不需要调整所有的电极指，通过仅调整必要的几条或者使每个电极指上的占空比(duty)的调整量不同，不会使平衡信号端子间的相位平衡度恶化，而能够改善振幅平衡度。
(第九实施例)
根据图65来说明本发明所涉及的第九实施例。第九实施例基本上具有与第七实施例相同的构成，但是，在IDT2904和IDT2905d相邻处，减小了IDT2905d的电极指3003的占空比(duty)，而且，在IDT2905d和IDT2906b相邻处，IDT2906b的最外的信号电极指被抽去，进行在该抽去的位置上设置接地的假电极3004的抽取加权。
下面对本第九实施例的作用·效果进行说明。通过这样来在一个纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器内混杂两种加权方法，或者混杂多种加权方法，提高了平衡信号端子间的平衡度的调整自由度，而得到具有所需要的平衡信号端子间的平衡度的具有平衡信号端子的弹性表面波装置。
在以上各个实施例中，作为压电基板，使用40±5°YcutX传播LiTaO3基板，但是，按照能够得到效果的原理，本发明并不仅限于该基板，用64～72°YcutX传播LiNbO3、41°YcutX传播LiNbO3等基板，也能得到同样的效果。
而且，在使用两个包括3个以上的IDT的弹性表面波滤波器而具有平衡型-不平衡型变换功能的弹性表面波装置中，对于弹性表面波滤波器的电极指，最好在弹性表面波的励振变强的方向上进行加权。由此，能够抑制通过频带宽度变窄，并且，改善了通过频带内的振幅平衡度。
作为这样的弹性表面波的励振变强方向的加权的例子，不对一方的弹性表面波装置(第一弹性表面波装置)进行加权，对于另一方的弹性表面波装置(第二弹性表面波装置)的中央的IDT的最外电极指(最好是信号电极指)双方，进行抽取加权、交叉加权(包含假电极的形成)或者串联加权(最好)。
而且，在上述各个实施例中，分别对各种加权进行了说明，但是，它们具有相互独立的作用·效果，即使任意地组合两个以上来使用它们，也能得到本申请发明的效果。
对于本发明所涉及的装载了上述各实施例所记载的弹性表面波装置的通信装置，下面根据图66来进行说明。如图66所示的那样，装载了第一至第九实施例所记载的弹性表面波装置的通信机3100，作为进行接收的接收机侧(Rx侧)，包括：天线3101、天线共用部/RFTop滤波器3102、放大器3103、Rx级间滤波器3104、混频器3105、1stIF滤波器3106、混频器3107、2ndIF滤波器3108、1st+2nd本机合成器3111、TCXO(Temperature Compensated CrystalOscillator(温度补偿型石英振荡器))3112、分频器3113、本机滤波器3114。从Rx级间滤波器3104到混频器3105，在图66中，如用双线所示的那样，为了确保平衡信号端子间的平衡度，最好用各个平衡信号来进行发送。
而且，上述通信装置3100，作为进行发送的无线电收发报机侧(Tx侧)，在共用上述天线3101和上述天线共用部/RFTop滤波器3102的同时，还包括：TxIF滤波器3121、混频器3122、Tx级间滤波器3123、放大器3124、耦合器3125、绝缘体3126、APC(AutomaticPowerControl(自动输出控制))3127。
而且，在上述Rx级间滤波器3104中可以使用上述第一至第九实施例所述的弹性表面波装置。
这样，上述通信装置3100在谋求使用的弹性表面波装置的小型化的同时，提高了传输特性，因此，能够谋求小型化，特别是GHz频带以上中谋求小型化，并且，实现了优良的传输特性(通信特性)。
发明的效果
本发明的弹性表面波装置，如上述那样，使用至少一个弹性表面波滤波器，该弹性表面波滤波器具有在压电基板上沿着弹性表面波的传播方向所形成的至少两个IDT；上述弹性表面波装置的输入和输出信号端子的至少一方连接在平衡信号端子上，并且，上述弹性表面波滤波器的至少一部分的电极指被加权。
在上述构成中，通过进行加权，具有能够改善各平衡信号端子间的平衡度的效果。
本发明的弹性表面波装置，如上述那样，在压电基板上具有加权电极指，具有多个电极指的输入用IDT和具有多个电极指的输出用IDT沿着弹性表面波的传播方向所形成，在与该输入用IDT及输出用IDT的至少一方的各电极指的最外电极指不同的各内侧电极指上进行加权。
在上述构成中，通过通过设置加权电极指，例如，起到能够改善各平衡端子间的平衡度(平衡性)的效果。
本发明的通信装置，如上述那样，其特征在于，使用上述弹性表面波装置。
上述构成，能够谋求小型化，特别是GHz频带以上中谋求小型化，并且，实现了优良的传输特性(通信特性)。

Claims (54)

1.一种弹性表面波装置，包括：至少一个弹性表面波滤波器，具有在压电基板上沿着弹性表面波的传播方向所形成的至少两个梳型电极部；用于上述弹性表面波滤波器的输入信号端子和输出信号端子，其特征在于，
输入信号端子和输出信号端子的至少一方连接在平衡信号端子上，并且，上述弹性表面波滤波器的至少一部分的电极指被加权。
2.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，对上述一部分电极指进行加权，以便于改善成对的上述平衡信号端子间的振幅平衡度和相位平衡度的至少一方。
3.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，上述加权对上述弹性表面波滤波器的相邻的梳型电极部中至少一方中的，从上述梳型电极部相邻处的最外电极指开始的几条电极指进行。
4.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，上述加权对上述弹性表面波滤波器的相邻的梳型电极部中至少一方中的，位于上述梳型电极部相邻处的最外电极指附近的几条电极指进行。
5.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，上述加权对上述弹性表面波滤波器的相邻的梳型电极部中至少一方中的，从上述梳型电极部相邻处的最外电极指到上述梳型电极部的弹性表面波的传播方向的1/2以内的范围的电极指进行。
6.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，上述加权对上述弹性表面波滤波器的相邻的梳型电极部中至少一方中的上述梳型电极部相邻处的最外电极指进行。
7.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，
上述弹性表面波滤波器的相邻梳型电极部的相邻处的电极指分别是接地电极指和信号电极指，
对上述接地电极指和信号电极指的至少一方进行上述加权。
8.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，上述加权的电极指是上述弹性表面波滤波器的信号电极指。
9.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，上述加权对连接在上述弹性表面波滤波器的平衡信号端子上的梳型电极部的电极指来进行。
10.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，
上述弹性表面波滤波器至少具有一个梳型电极部相对于其他的梳型电极部相位反转，
上述加权对上述相位反转的梳型电极部的电极指来进行。
11.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，上述加权是抽取加权。
12.根据权利要求11所述的弹性表面波装置，其特征在于，在与上述抽取加权的电极指所连接的汇流条相对的相对汇流条上设置假电极。
13.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，在连接在上述输入信号端子上的梳型电极部及连接在输出信号端子上的梳型电极部的至少一方的各电极指上包含两条以上的与其他梳型电极部相对位置的最外电极指，形成连续的接地电极指作为加权。
14.根据权利要求12所述的弹性表面波装置，其特征在于，设置有连接电极指相互间的接地连接部，上述电极指通过上述假电极而连接在相邻的梳型电极部的地上。
15.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，上述加权是使电极指的交叉宽度与其他的电极指不同的交叉宽度加权。
16.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，上述加权是把电极指设定得短于其他电极指来进行。
17.根据权利要求15所述的弹性表面波装置，其特征在于，上述交叉宽度加权在交叉方向的中央部进行。
18.根据权利要求15所述的弹性表面波装置，其特征在于，与上述交叉宽度加权的电极指相邻的电极指被进行交叉宽度加权，并且，设置弯折形成的假电极，以便于与上述两个交叉宽度加权的电极指分别相对。
19.根据权利要求15所述的弹性表面波装置，其特征在于，上述交叉宽度加权的电极指是相邻的梳型电极部的一方的最外电极指，并且，在另一方的梳型电极部上设置假电极以便于与上述交叉宽度加权的电极指相对。
20.根据权利要求19所述的弹性表面波装置，其特征在于，上述假电极被接地。
21.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，上述加权是使电极指的占空比与其他的电极指不同的占空比加权。
22.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，
上述弹性表面波滤波器至少具有3个梳型电极部，
在相邻的梳型电极部的至少一方上分别进行抽取加权，同时，上述加权分别不同。
23.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，
上述弹性表面波滤波器设置两个，
在上述各个弹性表面波滤波器中，分别进行抽取加权，同时，上述加权互不相同。
24.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，
上述弹性表面波滤波器具有分别相邻的至少3个梳型电极部，
在相邻的梳型电极部的至少一方中，在上述梳型电极部相邻处的最外区域中对与最外电极指不同的几条电极指进行交叉宽度加权，
并且，在不同的相邻的梳型电极部的至少一方中，对上述梳型电极部相邻处的最外电极指进行抽取加权，同时，
在上述进行抽取加权处设置与上述抽取加权的电极指所连接的汇流条相对的相对汇流条上所连接的假电极。
25.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，
上述弹性表面波滤波器具有分别相邻的至少3个梳型电极部，
在相邻的梳型电极部的至少一方中，对上述梳型电极部相邻处的最外电极指的占空比进行与其他电极指不同的占空比加权，
并且，在不同的相邻的梳型电极部的至少一方中，对上述梳型电极部相邻处的最外电极指进行抽取加权，同时，
在上述进行抽取加权处设置与上述抽取加权的电极指所连接的汇流条相对的相对汇流条上所连接的假电极。
26.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，
上述弹性表面波滤波器设置两个，
在一方的弹性表面波滤波器的相邻梳型电极部的至少一方中，在上述梳型电极部相邻处的最外区域中对与最外电极指不同的几条电极指进行交叉宽度加权，
并且，在另一方的弹性表面波滤波器的相邻梳型电极部的至少一方中，对上述梳型电极部相邻处的最外电极指进行抽取加权，同时，
在上述进行抽取加权处设置与上述抽取加权的电极指所连接的汇流条相对的相对汇流条上所连接的假电极。
27.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，上述弹性表面波滤波器设置成具有平衡信号输入-平衡信号输出滤波器功能。
28.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，上述弹性表面波滤波器设置成具有平衡信号输入-不平衡信号输出滤波器功能或者不平衡信号输入-平衡信号输出滤波器功能。
29.根据权利要求27所述的弹性表面波装置，其特征在于，上述梳型电极部的至少一个在交叉宽度方向上被分成两部分。
30.根据权利要求27所述的弹性表面波装置，其特征在于，上述弹性表面波滤波器的平衡信号输入端子和平衡信号输出端子分别连接在一个梳型电极部中的两极的梳齿状电极上。
31.根据权利要求27所述的弹性表面波装置，其特征在于，上述梳型电极部的至少一个在弹性表面波的传播方向上被分成两部分。
32.根据权利要求27所述的弹性表面波装置，其特征在于，在上述弹性表面波滤波器的平衡信号输入端子和平衡信号输出端子间具有接地的电气中性点。
33.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，上述弹性表面波滤波器为两个，设置成具有平衡信号输入-平衡信号输出滤波器功能。
34.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，
上述弹性表面波滤波器为两个，设置成使输入信号相对于输出信号的相位相差180度，
上述各弹性表面波滤波器设置成具有平衡信号输入-不平衡信号输出滤波器功能或者不平衡信号输入-平衡信号输出滤波器功能。
35.根据权利要求34所述的弹性表面波装置，其特征在于，在不平衡信号端子侧进一步级联弹性表面波滤波器。
36.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，上述弹性表面波滤波器是纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器。
37.根据权利要求36所述的弹性表面波装置，其特征在于，上述纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器具有奇数个梳型电极部。
38.根据权利要求37所述的弹性表面波装置，其特征在于，上述纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器具有3个梳型电极部。
39.根据权利要求36所述的弹性表面波装置，其特征在于，上述纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器的至少一个梳型电极部的总电极指条数为偶数条。
40.根据权利要求39所述的弹性表面波装置，其特征在于，纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器的3个或3个以上的梳型电极部中，至少连接在平衡信号端子上的梳型电极部的电极指的总条数为偶数条。
41.根据权利要求39所述的弹性表面波装置，其特征在于，纵耦合谐振器型弹性表面波滤波器的3个或3个以上的梳型电极部中，至少位于中央部的梳型电极部的电极指的总条数为偶数条。
42.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，在上述弹性表面波滤波器中，在串联或并联的至少一方上至少连接一个弹性表面波谐振器。
43.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，上述弹性表面波滤波器级联两个以上的弹性表面波滤波器部。
44.如权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，
在与该输入用梳型电极部和输出用梳型电极部的至少一方的各电极指的最外电极指不同的内侧电极指上具有进行了加权的加权电极指。
45.根据权利要求44所述的弹性表面波装置，其特征在于，上述输入用梳型电极部和输出用梳型电极部的一方为平衡用的，在平衡侧的各梳型电极部的至少一方上具有加权电极指。
46.根据权利要求44所述的弹性表面波装置，其特征在于，上述加权电极指设置在一个梳型电极部中的从最外电极指的下一个到全部电极指的1/2以内的范围内。
47.根据权利要求44所述的弹性表面波装置，其特征在于，在上述输入用梳型电极部和输出用梳型电极部的至少一方的各电极指上包含两条以上的与其他梳型电极部相对位置的最外电极指，形成连续的接地电极指。
48.根据权利要求44所述的弹性表面波装置，其特征在于，上述加权电极指被设定成：控制在作为上述输入用梳型电极部及输出用梳型电极部的至少一方的接地电极指的各接地电极指的相邻之间所形成的无电场部的大小。
49.根据权利要求48所述的弹性表面波装置，其特征在于，
上述输入用梳型电极部或输出用梳型电极部是平衡用的，
在平衡用的两个梳型电极部中，上述无电场部的大小被设定成相同。
50.根据权利要求44所述的弹性表面波装置，其特征在于，上述加权电极指被设定为短于其他电极指。
51.根据权利要求44所述的弹性表面波装置，其特征在于，形成为：向着上述加权电极指，接地的第一平衡用电极指重合延长到上述加权电极指的长度上。
52.根据权利要求44所述的弹性表面波装置，其特征在于，
形成为：向着与上述加权电极指不同的位置，接地的第二平衡用电极指与上述加权电极指的长度重合形成，
设置上述第二平衡用电极指和弯折成与加权电极指相对而形成的假电极。
53.根据权利要求44所述的弹性表面波装置，其特征在于，具有不平衡型-平衡型变换功能。
54.一种通信装置，其特征在于，使用弹性表面波装置，该弹性表面波装置包括：至少一个弹性表面波滤波器，具有在压电基板上沿着弹性表面波的传播方向所形成的至少两个梳型电极部；用于上述弹性表面波滤波器的输入信号端子和输出信号端子，输入信号端子和输出信号端子的至少一方连接在平衡信号端子上，并且，上述弹性表面波滤波器的至少一部分的电极指被加权。
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