JP3298251B2 - 弾性表面波装置 - Google Patents
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Description
た弾性表面波装置に関し、特に、IDTの両側にグレー
ティング反射器を配置してなる構造を有する弾性表面波
装置の改良に関する。
ているが、このようなシステムにおける周波数帯及び必
要帯域幅(通過帯域幅/中心周波数)は下記の表1に示
す通りである。
容は以下のとおりである。 JDC:Japan degital cellula
r PHP:Personal handy phone DECT:Degital European cor
dless telephone 表1から明らかなように、何れの通信システムにおいて
も、比帯域幅は1%以上である。従って、これらのシス
テム端末に用いられるRF段用フィルタでは、比帯域幅
が1%であることが要求され、かつ帯域内における挿入
損失は数dB程度とかなり小さいことが要求されてい
る。
として、多電極型弾性表面波フィルタが広く用いられて
きている。多電極型弾性表面波フィルタが、広く用いら
れている理由は、以下のとおりである。
型弾性表面波フィルタでは、入力側インターデジタルト
ランスデューサ(以下、IDTと略す。)1で励振され
た表面波が出力側IDT2へ伝播し、出力側のIDT2
において出力が取り出される。しかしながら、表面波は
IDT1,2から双方向に放射される。従って、図示の
破線で示す漏れ信号が双方向性損失として発生し、この
損失は6dB程度とかなり大きかった。
性表面波フィルタでは、入力側IDT3の両側に出力側
IDT4,5が配置されている。従って、入力側IDT
3における双方向性損失は生じない。しかしながら、出
力側IDT4,5の外側方向に破線の矢印で示すように
やはり漏れ信号が発生し、このような漏れ信号による双
方向性損失は、約3dB程度と依然として大きい。
多電極型弾性表面波フィルタ6では、圧電基板7上に多
数のIDT8が表面波伝播方向に沿って配置されてい
る。ここでは、表面波伝播方向に沿って交互にIDTの
一方のくし歯電極が入力端(IN)または出力端(OU
T)に接続されている。多電極型弾性表面波フィルタで
は、IDT8の個数Nを増加させることにより、双方向
性損失を低減することができ、それによって表面波伝播
方向外側に漏洩するエネルギーを減少させることができ
る。
び(N+1)/2個の出力側IDTを形成した場合、す
なわち合計N個のIDTからなる多電極型弾性表面波フ
ィルタを構成したとすると、この双方向性損失は、下記
の式(1)で表される。
極型フィルタでは、双方向性損失は0.97dB程度ま
で低減することができる。しかしながら、上記のように
多電極型弾性表面波フィルタでは、双方向性損失を2電
極型あるいは3電極型弾性表面波フィルタに比べて非常
に小さくし得るものの、依然として0.97dB程度の
損失が存在し、これをさらに低減することが要求されて
いる。
8の表面波伝播方向外側に、反射器9,10を配置し、
それによって表面波伝播方向においてもっとも外側に配
置されたIDTからの表面波エネルギーの漏れをほぼ完
全になくすとが試みられている。このような反射器9,
10を配置することにより、双方向性損失は理論的には
ゼロとすることができる。
5に示す縦結合型表面波共振子フィルタ11が存在す
る。ここでは、電極構造のみを模式的平面図で示すが、
入力側IDT11の両側に出力側IDT12,13が配
置されている。また、IDT11〜13の両側に反射器
14,15が配置されている。この縦結合型表面波共振
子フィルタでは、上記反射器9,10を有する多電極型
弾性表面波フィルタと同様に、帯域の拡大及び損失の低
減が果たされる。
ける広帯域化及び低損失化を果たすために、何らかの形
で反射器を表面波伝播方向においてIDTの両側に配置
した構造が増加してきている。
は、しばしば、電気機械結合係数の大きな基板材料が用
いられている。代表的なものとしては、36°Y−X
LyTaO3 基板や64°Y−X LiNbO3 基板が
挙げられる。これらの基板の材料定数を下記の表2に示
す。
気機械結合係数、αは金属グレーティング部における減
衰定数(1GHzで測定したもの、バルク波の放射によ
る減衰分も含む。)を示す。
LiTaO3 基板及び64°Y−XLiNbO3 基板
は、電気機械結合係数K2 が非常に大きいため、これら
を用いることにより広帯域化を図ることができる。しか
しながら、減衰定数αが比較的大きいため、より一層の
低損失化を阻む原因となっている。
ー1,1,1]α−Al2 O3 基板上に(1,1,バー
2,0)面[0,0,0,1]ZnO圧電薄膜を形成し
てなる圧電基板(以下、ZnO/α−Al2 O3 基板と
略す。)の材料定数も表2に併せて示す。ZnO/α−
Al2 O3 基板は、表2から明らかなように、VP が大
きく、K2 も大きい。従って、高音速及び高結合性を満
たすものであるが、さらに、減衰定数αも非常に小さ
い。従って、フィルタの低損失化も容易であると考えら
れる。
各移動体通信装置における端末機のRF段用フィルタと
して、ZnO/α−Al2 O3 基板を用いた反射器付き
の多電極型弾性表面波フィルタや、縦結合型表面波共振
子フィルタを用いることが好ましいと考えられる。
のことながら、反射器のストップバンドを広くしなけれ
ばならない。表1においては、各移動体通信装置におけ
る通過帯域における比帯域幅を示したが、この比帯域幅
は最小限必要な値に過ぎない。量産に際しては、中心周
波数や比帯域幅のばらつきは避けられず、かつ周囲温度
による周波数変動なども考慮しなければならないため、
反射器のストップバンドの比帯域幅は、上述した表1の
比帯域幅の1.5倍以上は必要であると考えられる。参
考までに、各移動体通信装置における比帯域幅を1.5
倍した値を、表1に併せて示す。
ような基板材料を用いて弾性表面波フィルタを構成する
にしても、反射器のストップバンドの比帯域幅は、少な
くとも1.5%程度あることが望ましい。
を拡大するには、反射器のアドミッタンス比を上げれば
よい。すなわち、反射器の厚みを増大させればよい。し
かしながら、反射器の厚みを増大していくと、表面波と
直交する方向に延びている反射器の金属ストリップ部分
におけるバルク波放射が増大し、バルク波変換損失が増
大する。
ンス比の増大と、バルク波放射の増大との兼ね合いによ
り、ストップバンドの比帯域幅は制約を受けざるを得な
い。すなわち、反射器を広帯域化するには、挿入損失を
ある程度犠牲にせざるを得なかった。
いることにより、他の基板材料を用いた場合に比べて低
損失の弾性表面波装置を構成し得ると考えられるが、そ
のような弾性表面波装置を実現し得る具体的な条件は、
従来明らかではなかった。
nO/α−Al2 O3 基板を用い、しかも反射器におけ
るストップバンドの比帯域幅を効果的に拡大することが
でき、従って低損失かつ広帯域の弾性表面波装置を提供
することにある。
は、(0,1,バー1,2)面α−Al2O3基板上に
(1,1,バー2,0)面ZnO圧電薄膜を形成してな
る圧電基板と、前記圧電基板上に形成された少なくとも
1個のインターデジタルトランスデューサと、前記少な
くとも1個のインターデジタルトランスデューサの表面
波伝播方向両側に配置された反射器とを備え、前記反射
器の厚みHの表面波の波長λに対する比H/λが0.0
15〜0.041の範囲となるように前記反射器が形成
され、かつ前記反射器におけるリフレクターの本数は反
射係数が0.97以上となるように選択したことを特徴
とする。
して、ZnO/α−Al2 O3 基板を用い、かつ反射器
を上記特定の厚みを有するように構成したことに特徴を
有するものである。従って、その他の構成、例えば反射
器間に配置されるIDTの構成等については、従来より
公知の2電極型、3電極型もしくは多電極型弾性表面波
フィルタや縦結合表面波共振子フィルタなどのように適
宜変更し得るものである。
板の低損失性に着目し、該圧電基板を用いて種々の弾性
表面波フィルタを構成し、鋭意検討した。その結果、I
DTの両側に構成される反射器において、その反射器の
厚みを特定の範囲に制御すれば、挿入損失を犠牲にする
ことなく、ストップバンドの比帯域幅を大幅に拡大し得
ることを見出した。すなわち、本発明は、上記のように
反射器の厚みHの表面波の波長λに対する比H/λを
0.015〜0.041の範囲とすることにより、挿入
損失の低減及びストップバンドの比帯域幅の拡大の双方
を実現することを可能としたものであり、このような構
成は、本願発明者らの実験により初めて確かめられたも
のである。
うに反射器の厚みの表面波の波長λに対する比H/λが
上記特定の範囲内とされているため、後述の実施例から
明らかなように、ストップバンドの比帯域幅が1.5〜
4.2%と広帯域であり、かつ減衰定数が0.003n
eper/λ以下という低損失の弾性表面波装置が提供
される。
損失性を犠牲にすることなく、帯域幅を拡大し得る弾性
表面波装置を実現し得るので、各種移動体無線通信シス
テムのRF段用フィルタとして最適な弾性表面波装置を
提供することが可能となる。
することにより、本発明を明らかにする。
2)面上にスパッタリングにより(1,1,バー2,
0)面ZnO薄膜をエピタキシャル成長より形成した。
この場合、両者の結晶学的方位関係は、
Al2 O3 基板が構成される。上記圧電基板上に、図6
(a)に示すように、アルミニウムからなる電極を形成
することにより、1ポート型表面波共振子を構成した。
図6(a)において、1ポート型表面波共振子21は、
上記ZnO/α−Al2 O3 基板よりなる圧電基板22
を用いて構成されており、22aはα−Al2 O3 基
板、22bはZnO圧電薄膜を示す。ZnO/α−Al
2 O3 圧電基板22の上面には、1個のインターデジタ
ルトランスデューサ23が形成されており、該インター
デジタルトランスデューサ23の表面波伝播方向両側に
反射器24,25が配置されている。インターデジタル
トランスデューサ23は、互いに間挿し合う複数本の電
極指を有する一対のくし歯電極23a,23bを有す
る。また、反射器24,25は、グレーティング型の反
射器と称されているものであり、IDT23と同様に、
アルミニウムからなり、図6(a),(b)に図示のよ
うに格子状に形成されている。
る表面波の波長λに対するZnO薄膜の厚みhの比h/
λは約0.3とした。また、表面波の波長λは3.52
μm、IDT23における電極指の対数は10対とし
た。また、反射器24,25におけるリフレクター24
a(表面波伝播方向に直交する方向に延びる金属ストリ
ップ部分)の本数は反射係数が0.97以上となるよう
に選択した。
面波共振子21を用い、反射器24,25の反射特性
を、反射器24,25の厚みを変化させて測定した。結
果を図7〜図10に示す。
反射器24,25の厚みHの表面波の波長λに対する比
H/λ×100(%)=3.37%(図7の特性)、
2.81%(図8の特性)、2.24%(図9に示した
特性)及び1.68%(図10に示した特性)とした時
の反射特性を示す。なお、図7〜図10における横軸は
中心周波数を用いて規格化した規格化周波数であり、縦
軸は反射係数を示す。
における反射特性が、上記比H/λを変化させることに
より変化することがわかる。次に、上記結果から、反射
器24,25におけるストップバンド幅を求め、さらに
該ストップバンド幅からストップバンドの比帯域幅を算
出した。他方、反射器24,25における減衰定数も別
途測定した。図11に、上記比H/λと、減衰定数α、
及びストップバンドの比帯域幅との関係を示す。
°Y−X LiTaO3 基板や64°Y−X LiNb
O3 基板よりも明らかに低損失とするための反射器付き
の弾性表面波フィルタを構成するのに必要な減衰定数α
を0.003neper/λ以下とすると、図11から
明らかなように、ストップバンドの比帯域幅が1.5%
以上となるH/λ×100(%)の範囲は、1.5〜
4.1%となる。すなわち、H/λは、0.015〜
0.041の範囲となることが必要であり、0.041
ではストップバンドの比帯域幅は約4.2%となり、表
1に示したほとんどの移動体通信装置に好適に用いる弾
性表面波フィルタの得られることがわかる。
3neper/λ以下であるため、ZnO/α−Al2
O3 の優れた長所である低損失性も損なわれない。よっ
て、上記比H/λの範囲を0.015〜0.041とす
ることにより、ZnO/α−Al2 O3 基板の低損失性
を損なうことなく、ストップバンドの比帯域幅を拡大す
ることができるため、低損失かつ広帯域の弾性表面波フ
ィルタを提供することができるなお、上記実施例の説明
では、図6に示した1ポート型表面波共振子21を構成
してなるフィルタを例にとり説明したが、本発明は、反
射器付きの他の弾性表面波フィルタ、例えば2電極型、
3電極型もしくは多電極型弾性表面波フィルタや縦結合
型表面波共振子フィルタ等の適宜の構造の弾性表面波フ
ィルタに適用することができる。
ための略図的平面図。
ための略図的平面図。
ための模式的平面図。
を説明するための模式的平面図。
式的平面図。
て用意した1ポート型表面波共振子フィルタを示す模式
的平面図及び(a)のB−B線に沿う部分を示す部分切
欠断面図。
器の反射特性を示す図。
の反射特性を示す図。
の反射特性を示す図。
器の反射特性を示す図。
バンドの比帯域幅(%)との関係を示す図。
Claims (1)
- 【請求項1】 (0,1,バー1,2)面α−Al2O3
基板上に(1,1,バー2,0)面ZnO圧電薄膜を形
成してなる圧電基板と、 前記圧電基板上に形成された少なくとも1個のインター
デジタルトランスデューサと、 前記少なくとも1個のインターデジタルトランスデュー
サの表面波伝播方向両側に配置された反射器とを備え、 前記反射器の厚みHの表面波の波長λに対する比H/λ
が0.015〜0.041の範囲となるように前記反射
器が形成され、かつ前記反射器におけるリフレクターの
本数は反射係数が0.97以上となるように選択したこ
とを特徴とする、弾性表面波装置。
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Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5790000A (en) * | 1995-06-16 | 1998-08-04 | Northern Telecom Limited | Cascaded surface wave device filters providing balanced and unbalanced signal connections |
WO1998018204A1 (fr) * | 1996-10-18 | 1998-04-30 | Tdk Corporation | Dispositif de traitement des ondes acoustiques de surface |
JPH10276062A (ja) * | 1997-03-31 | 1998-10-13 | Sanyo Electric Co Ltd | 弾性表面波デバイス |
JPH11205071A (ja) * | 1998-01-13 | 1999-07-30 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置 |
JP3280617B2 (ja) | 1998-02-27 | 2002-05-13 | 東洋通信機株式会社 | 広帯域表面波フィルタ |
FR2779290B1 (fr) * | 1998-05-29 | 2000-08-18 | Thomson Csf | Transducteur a ondes acoustiques de surface a faible gap |
US6759789B2 (en) * | 2002-10-18 | 2004-07-06 | Rf Saw Components, Inc. | Surface acoustic wave identification tag having an interdigital transducer adapted for code discrimination and methods of operation and manufacture thereof |
CN100445873C (zh) * | 2005-11-30 | 2008-12-24 | 中国科学院微电子研究所 | 纳米压印和光学光刻匹配混合的声表面波器件制备方法 |
FR2932334B1 (fr) * | 2008-06-04 | 2010-07-30 | Centre Nat Rech Scient | Resonateur hbar a integration elevee |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5797214A (en) * | 1980-12-08 | 1982-06-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Transducer for surface wave |
JPH0773177B2 (ja) * | 1984-12-17 | 1995-08-02 | 株式会社東芝 | 弾性表面波共振子 |
US4978879A (en) * | 1988-07-27 | 1990-12-18 | Fujitsu Limited | Acoustic surface wave element |
DE3942148A1 (de) * | 1989-12-20 | 1991-06-27 | Siemens Ag | Oberflaechenwellen-reflektorfilter |
US5287036A (en) * | 1992-03-02 | 1994-02-15 | Motorola, Inc. | Method and apparatus for acoustic wave inductance |
-
1993
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-
1994
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Also Published As
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