DE4212517C2 - Oberflächenwellenanordnung mit mindestens zwei in Richtung der Hauptwellenausbreitung benachbarten Oberflächenwellen-Strukturen - Google Patents
Oberflächenwellenanordnung mit mindestens zwei in Richtung der Hauptwellenausbreitung benachbarten Oberflächenwellen-StrukturenInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Oberflächen
wellenanordnung mit mindestens zwei in Richtung der
Hauptwellenausbreitung benachbarten Oberflächenwellen-Struk
turen nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Beispielsweise aus der US-PS 4,965,479 bekannte Oberflächen
wellenanordnungen der gattungsgemäßen Art besitzen mindestens
zwei Oberflächenwellen-Strukturen, die (wenigstens zwei)
Oberflächenwellenwandler für z. B. ein einfaches Filter bzw.
die (wenigstens) eine Wandler- und (wenigstens) eine Reflek
torstruktur für einen einfachen Resonator sind. Eine (Filter-)
Anordnung mit zwei Wandlern kann auch zusätzlich noch einen
oder mehrere Reflektoren und ggf. auch weitere Wandler haben
und ein Resonator kann auch mehrere Wandler und/oder mehrere
Reflektoren besitzen.
Solche Oberflächenwellen-Strukturen einer Oberflächenwellen
anordnung sind auf einem piezoelektrischen Substrat vielfach
in einer Achse bzw. einer Spur angeordnet. Diese Achse ist
dann auch die Hauptwellenausbreitungsrichtung in einer sol
chen Anordnung. Die Oberflächenwellen-Strukturen bestehen
beim einen Wandler aus interdigital angeordneten Elektroden
streifen mit zugehörigen Sammelschienen und beim einen Re
flektor aus lediglich Streifen, die jedoch auch mit Sammel
schienen kurzgeschlossen sein können. Bei einem einfachen
Entwurf bzw. Design einer solchen Oberflächenwellenanordnung
kann die Periodizität zweier benachbarter Oberflächenwellen-
Strukturen bzw. können die Streifenpositionen derselben der
art sein, daß keine Störung zwischen diesen vorliegt. Das
heißt, daß zwei benachbarte Oberflächenwellen-Strukturen
beispielsweise gleiche Periodizität haben und diese beiden
Perioden auch phasenangepaßt ineinander übergehen.
Abweichend davon kann jedoch der sich aus vorgebbaren zu
erfüllenden Eigenschaften einer solchen Oberflächenwellen
anordnung ergebende Entwurf zwei oder mehrere benachbarte
Oberflächenwellen-Strukturen vorsehen bzw. fordern, die keine
solche Anpassung haben, also unterschiedliche Streifenposi
tionen aufweisen. Solche unterschiedlichen Streifenpositionen
ergeben sich aus einem solchen Abstand zwischen den jeweils
endständigen Streifen von zwei benachbarten Oberflächenwel
len-Strukturen, die verschieden ist von der Wellenlängenhal
ben der Periodizität beider Strukturen. Der Abstand kann
dabei ein Bruchteil nur einer halben Wellenlänge oder gleich
der Summe mehrerer halber Wellenlängen plus einem solchen
Bruchteil sein. Im allgemeinen ist der Oberflächenbereich des
Substrats zwischen solchen benachbarten Oberflächenwellen-
Strukturen frei von weiterer Oberflächenbelegung. Es kann
dort aber auch eine großflächige, unstrukturierte Belegung
vorhanden sein, die durch die Erfindung ersetzt wird.
Für verlustarme Oberflächenwellenanordnungen wird niedrige
Einfügungsdämpfung auch bei hohem Selektionsvermögen gefor
dert. Die Fig. 1 bis 6 zeigen in schematischer Darstellung
bekannte einschlägige Oberflächenwellenanordnungen.
Fig. 1 zeigt ein auch aus der bereits genannten
US-PS 4,965,479 bekannten Resonatorfilter, das für besonders
schmalbandige Übertragungsfunktion zu verwenden ist.
Die Fig. 2 und 3 zeigen Ausführungsformen eines aus der
DE-OS 38 32 944 bekannten Zweispurfilters mit Kopplung der
beiden Spuren durch spezielle Koppelwandler. Solche Anord
nungen haben extreme Flankensteilheit sowie niedrige Einfü
gungsdämpfung.
Fig. 4 zeigt ein aus der DE-OS 39 42 148 bekanntes Reflek
torfilter, das insbesondere auf Quarz eine besonders geringe
Substratoberfläche trotz geringen Verlustes benötigt.
Die Fig. 5 zeigt ein Filter mit zwei Einphasen-Unidirektio
nalwandlern. In die beiden Wandler sind Reflektoren einge
fügt, um eine optimale Unterdrückung des Triple-Transit-
Signals zu erzielen.
Fig. 6 zeigt bin Filter, das aus zwei Phasenwandlern
besteht. Bei einem solchen Wandler wird mit Hilfe eines
Phasennetzwerkes eine unidirektionale Abstrahlung der
akustischen Welle erreicht und gleichzeitig das Triple-
Transit-Signal minimiert.
Unidirektionalwandler der vorgenannten Art sind beispielswei
se aus 1983 Ultrasonics Symposium, S. 104-108 entnehmbar.
Verlustarmer Betrieb einer Oberflächenwellenanordnung ist
bisher durch elektrische Fehlanpassung des Filters erzielt
worden. Bei elektrischer Anpassung reflektiert nämlich der
prinzipiell aus zwei akustischen und einem elektrischen Tor
bestehende elektroakustische (Ausgangs-)Interdigitalwandler
ein Viertel der Signalenergie des einlaufenden akustischen
Signals. Es kommt damit zu einer starken Welligkeit im Durch
laßbereich der Filterübertragungsfunktion. Aus diesem Grunde
werden für die bekannten verlustarmen Oberflächenwellen-
Strukturen solche Techniken angewendet, die das Dreitor-
Wandlerprinzip durch spezielle Maßnahmen umgehen.
Auch bei elektrischer Anpassung besitzen verlustarme Ober
flächenwellenfilter eine Einfügungsdämpfung von einigen dB.
Grund dafür sind unter anderem Ohm′sche Effekte, akustische
Fehlanpassung durch die Wandlerwichtung und/oder Ausbrei
tungsverluste. Ein besonders störender Verlustmechanismus
beruht auf Effekten, die von endständigen Wander- bzw. Re
flektorstreifen ausgehen. Sie treten an denjenigen Stellen
auf, wo die Streifenperiodizität gestört ist und sie führen
außerdem zu Abstrahlung von Volumenmoden.
Alle Oberflächenwellenanordnungen der Fig. 1 bis 5 umfas
sen eine Anzahl Oberflächenwellen-Strukturen, die jede für
sich genommen eine Einheit ist. Abgesehen von Spezialfällen
ergeben sich bei Erstellung eines Entwurfs für zwei jeweils
benachbarte Strukturen zueinander unterschiedliche Streifen
positionen. Das heißt, daß die Periodizität in der einen
Struktur verschieden ist von derjenigen in der (jeweils)
benachbarten Struktur. Dieser Unterschied ist eine hier rele
vante Störung. Entsprechendes gilt für die Streifenpositionen
benachbarten Strukturen. Soweit gefordert ist, daß solche
Störungen nicht vorliegen, sind bisher bei bekannten Anord
nungen zwangsläufig Änderungen der Streifenperiode und/oder
Verschiebungen der betreffenden benachbarten Strukturen
zueinander vorgenommen worden. Diese beiden Methoden reduzie
ren beim Resonator der Fig. 1 die Kopplung und begrenzen den
Freiraum für den Entwurf. Bei den Anordnungen der Fig. 2
und 3 tritt das gleiche Problem zwischen einem jeweiligen
Wandler und Reflektor auf. Ebenfalls tritt ein solches Pro
blem der Störung innerhalb eines Koppelwandlers der Anordnung
der Fig. 2 und 3 auf, wenn diese Koppelwandler partiell
gesplitterte Koppelwandler sind, nämlich wo Bereiche mit λ/4-
breite Streifen und λ/8-Streifen aneinanderstoßen. Entspre
chendes gilt auch für Anordnungen der Fig. 5. Stets treten
an den Übergangsstellen hohe Abstrahlungsverluste auf. Das
gleiche gilt für den Zweiphasenwandler nach Fig. 6, nämlich
durch die die elektrischen Phasenverschiebungen entsprechende
Verschiebung der Teilwandler zueinander.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine wirkungs
vollere Methode zur Behebung der voranstehend zitierten
Mängel anzugeben.
Diese Aufgabe wird bei einer Oberflächenwellenanordnung der
eingangs genannten Art erfindungsgemäß durch die Merkmale des
kennzeichnenden Teils des Patentanspruchs 1 gelöst.
Bei der erfindungsgemäßen Oberflächenwellenanordnung ist zwi
schen jeweils benachbarten Oberflächenwellen-Strukturen (mit
ansonsten wie oben beschrieben auftretender Störung des Wel
lenübergangs) eine quasi-periodische Struktur aus weiteren
Streifen eingefügt. "Zwischen" den Oberflächenwellen-Struktu
ren schließt auch ein, daß sich der Bereich einer solchen
eingefügten quasi-periodischen Struktur auch in wenigstens
eine der beiden benachbarten Oberflächenwellen-Strukturen
merkbar hinein erstreckt. Dies ist besonders dann der Fall,
wenn der geometrische Abstand zwischen den beiden einander
gegenüberliegenden endständigen Streifen der zwei benachbar
ten Oberflächenwellen-Strukturen innerhalb der Oberflächen
wellenanordnung sehr klein ist, z. B. nur in der Größenord
nung einer halben Wellenlänge dieser Oberflächenwellen-Struk
turen liegt.
Erfindungsgemäß läßt sich eine vorhandene "Stoßstelle" in
einen "weichen Übergang" zwischen den beiden Oberflächen
wellen-Strukturen modifizieren. Dazu sind die jeweiligen
Streifenperioden und Streifenpositionen dieser benachbarten
Oberflächenwellen-Strukturen zu berücksichtigen und aneinan
der anzupassen. Die Anwendung der Erfindung erspart es dem
Designer bei der Erstellung seines Filterentwurfs Maßnahmen
zu treffen, die auch die Störungen eines solchen Stoßes be
rücksichtigen. Vielmehr wird die erfindungsgemäße Maßnahme,
das ist das Einfügen der erfindungsgemäß vorgesehenen und
bemessenen quasi-periodischen Streifenanordnung zwischen zwei
benachbarte Oberflächenwellen-Strukturen nachträglich ausge
führt. Der Filterentwurf erfüllt als solcher die vorgegebenen
Bedingungen und die Erfindung beseitigt an einer solchen
Oberflächenwellenanordnung auftretende, auf den Stoßstellen
beruhende Störungen. Die Erfindung hat bis auf die gewollte
Reduktion der Abstrahlungseffekte nur noch vernachlässigbaren
Einfluß auf die vorgegebene Filterfunktion. Insbesondere bei
Volumenschnitten des Substrats ist mit der Erfindung eine
erhebliche Abnahme der Abstrahlungsverluste zu erzielen.
Eine wie erfindungsgemäß eingefügte Streifenstruktur ist dem
Prinzip nach eine reflektionsfrei Streifenstruktur. Verwendet
werden hierfür vorzugsweise Streifen mit breiten Abmessungen
von λ/3, λ/6 oder λ/8. Um elektromagnetisches Übersprechen
durch eine solche zwischen zwei benachbarten Oberflächenwel
len-Strukturen erfindungsgemäß zusätzlich eingefügte Struktur
zu vermeiden, ist zu empfehlen, die Streifen einer solchen
eingefügten Struktur außerdem mit wenigstens einer Sammel
schiene untereinander kurz zu schließen und die Struktur
vorzugsweise auch mit Masse zu verbinden.
Wie anhand von Fig. 7 noch näher erläutert wird, ist die
eingefügte, nicht reflektierende Struktur derart modifiziert,
daß sie mit ihren jeweiligen Enden an die nunmehr dieser ein
gefügten Struktur benachbarten Oberflächenwellen-Struktur
hinsichtlich der Periodizität angepaßt ist. Die Streifen
dieser eingefügten Struktur sind in ihrer Positionierung
zueinander und zu den Oberflächenwellen-Strukturen so modifi
ziert, daß beim Übergang und in der eingefügten Struktur ein
"gleitender" Übergang von der Periodizität der einen Oberflä
chenwellen-Struktur in die der anderen der zwei benachbarten
Oberflächenwellen-Strukturen vorliegt. Das gleiche gilt für
die Phasenanpassung von der einen zur anderen der zwei Ober
flächenwellen-Strukturen. Die erfindungsgemäß vorgesehen
quasi-periodische Struktur ist gegenüber eine wie oben ange
gebenen unmodifizierten, nicht reflektierenden Struktur hin
sichtlich der Streifenabstände und Streifenbreiten angepaßt
verändert.
Für den Fall, daß die Periodizität der beiden mit der erfin
dungsgemäßen quasi-periodischen Struktur zu "verbindenden"
Oberflächenwellen-Strukturen gleich groß ist, bedarf es hin
sichtlich dieser physikalischen Größe keiner Modifizierung
der nicht reflektierenden, eingefügten Struktur, die dann nur
noch hinsichtlich der Anpassung der jeweiligen Phase der bei
den Oberflächenwellen-Strukturen zu modifizieren ist. Die
Streifen der erfindungsgemäßen quasi-periodischen Struktur
werden dann derart einander angenähert oder voneinander ent
fernt positioniert, daß ein "verschmierter" Phasenübergang
ohne abrupten Stoß vorliegt.
Sind sogar Periode und Phase der beiden Oberflächenwellen-
Strukturen zueinander passend, so geht die erfindungsgemäß
quasi-periodische Struktur in eine periodische Struktur (mit
der Periode der Oberflächenwellen-Struktur) über und es tritt
auch keine Fehlanpassung der Phase auf. In diesem speziellen
Fall geht die erfindungsgemäß vorgesehene Struktur in eine
einfache nicht reflektierende Streifenstruktur über, die den
Zwischenraum zwischen den einander benachbarten Oberflächen
wellen-Strukturen ausfüllt.
Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand von Unteran
sprüchen.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispie
len gemäß den Fig. 7 bis 10 der Zeichnung näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 7 eine Oberflächenwellenanordnung mit einer
erfindungsgemäßen quasi-periodischen
Struktur; und
Fig. 8 bis 10 weitere Ausführungsformen der erfindungsge
mäßen Oberflächenwellenanordnung.
Fig. 7 zeigt das Prinzip der Realisation eines erfindungs
gemäßen "weichen Überganges". Die Streifen a, a, ae sind die
drei letzten Streifen einer Oberflächenwellen-Struktur A
(z. B. die drei letzten Elektroden eines Wandlers), deren in
der Figur rechtes Ende dargestellt ist. Der Streifen ae ist
der endständige Streifen be, b, b einer (in der Hauptwellen
ausbreitungsrichtung nach rechts) benachbarten Oberflächen
wellen-Struktur gezeigt. Es sind dies die Streifen des linken
Endes dieser Struktur B und der Streifen be ist der endstän
dige Streifen. Zu erkennen ist, daß die Streifen a, ae einer
seits und die Streifen b, be andererseits voneinander ver
schieden große Streifenbreiten haben und auch die Periodizi
tät pa und pb der beiden Strukturen A und B voneinander
unterschiedlich sind.
Für die Anwendung der Erfindung können die Größen pa, pb und
der in der Fig. 7 angegebene Abstand xe sowie die Streifen
breiten der Streifen der beiden Oberflächenwellen-Strukturen
A, B beliebig sein. Der Abstand xe ist eine Größe, die für
die mathematische Erfassung und erfindungsgemäße Bemessung
der erfindungsgemäß vorzusehenden, einzufügenden quasi-perio
dischen Struktur C zu berücksichtigen ist. Die Abmessung xe
erstreckt sich zwischen der Innenkante des gegenüberliegenden
endständigen Streifens be. Die Abmessung xe ist damit die
Längenabmessung der erfindungsgemäß vorzusehenden Struktur C
mit Einbeziehung der jeweiligen endständigen Streifen ab, be.
Es lassen sich die Wellenzahlen für die beiden Oberflächen
wellen-Strukturen A (Gl 1) und B (Gl 2) angeben:
kga = 2pπ·λ/pa (1)
kgb = 2pπ·λ/pb (2)
Die erfindungsgemäß im Bereich "zwischen" den beiden dem Ent
wurf entsprechenden Oberflächenwellen-Strukturen A, B mit den
Periodizitäten pa, pb eingefügte Struktur ist die den "wei
chen" Übergang bewirkende quasi-periodische Streifenstruktur
(die im oben angegebenen Sonderfall auch zu einer periodi
schen Struktur "degeneriert" sein kann). Mit der Fig. 7 ist
ein Fall dargestellt, bei dem wegen des geringen Abstandes
der beiden Oberflächenwellen-Strukturen A und B die endstän
digen Streifen ae, be wesentlicher Bestandteil der erfin
dungsgemäß eingefügten Struktur 1 sind und wie aus der Fig.
7 ersichtlich, der Streifen ae in seiner Breite gegenüber dem
Streifen a modifiziert ist. Da die Streifen b der Struktur B
breiter als die Streifen ae in seiner Breite gegenüber den
Streifen b der Struktur B breiter als die Streifen ae, der
Struktur ae, der Struktur A sind, besteht die Modifikation
des Streifens ae in einer Verbreiterung desselben. Als erster
Streifen der eingefügten Struktur C ist dieser verbreiterte
Streifen außerdem auch mit u bezeichnet. Die weiteren Streifen
der Struktur C sind mit v und w bezeichnet.
Diese erfindungsgemäß eingefügte quasi-periodische Struktur C
ist hinsichtlich Position und Breite der Streifen u v w so
bemessen, wie sich dies aus einer Chirp-Funktion v(x)
bestimmen läßt. Die Chirp-Funktion hat folgende Form:
v(x) = sin {R (x)} (3)
Es handelt sich um eine Sinusfunktion, deren Argument R (x)
nicht-linear ansteigt. Damit eine Anpassung der zwei be
nachbarten Strukturen A und B erzielt, ist folgende Beziehung
zu erfüllen:
2xe/(pa + pb) < 1,5 (4)
Ist diese Gleichung nicht erfüllt, dann liegen die zwei
Strukturen A und B so nah beieinander, daß keine vollständige
erfindungsgemäße Anpassung realisierbar ist.
Zunächst wird die Anzahl der zusätzlichen Streifen bestimmt.
Sie hängt von der Anzahl N der vollen Perioden von R (x) im
Bereiche x = 0 bis x = xe ab. Für N gilt:
N = INT {xe/(pa + pb)-0,5} (5)
wobei INT die Funktion zum Runden auf die nächst kleinere
ganze Zahl ist. Ist die Bedingung (4) erfüllt, dann ist stets
N = 1. Die Anzahl der zusätzlichen Streifen Nz beträgt:
Nz = N-1.
Um die erfindungsgemäße Bemessungsmethode noch näher zu er
läutern, wird im weiteren ohne Einschränkung der Erfindung
eine lineare Chirp-Funktion zugrundegelegt. Bei der Erfindung
können jedoch beliebige Chirp-Funktionen zum Einsatz kommen.
Die Funktion R (x) wird wie folgt festgelegt:
R(x=0) = 0 und R(x=x ) = Π(2N + 1) (7)
Damit ist gewährleistet, daß die schon oben angesprochenen
inneren Kanten der beiden endständigen Streifen ae und be im
vorgegebenen Entwurf gegenüber unverändert positioniert
bleiben. Für v(x) ergibt sich:
Der Parameter a ist für die Anpassung der Streifenpositionen
notwendig:
in den Gleichungen (4 bis 9) sind die endständigen Streifen
ae, be der Oberflächenwellen-Strukturen A, B einbezogen.
Für Streifenkanten werden dann nach der bekannten Methode für
den Entwurf einer gechirpten Struktur, z. B. eines Wandlers
an diejenigen Stellen positioniert, wo die Funktion v(x) eine
jeweilige 0-Stelle besitzt.
In Fig. 7 ist die quasi-periodische Funktion v(x) darge
stellt. Auf die modifizierte Breite des endständigen Strei
fens ae als breiterer Streifen u ist oben bereits hingewie
sen. Mit S ist das Substrat bezeichnet.
In den Fig. 8 bis 10 sind jeweils in den Fig. 8a, 9a,
10a allein nur die Oberflächenwellen-Strukturen A und B dar
gestellt. Die Fig. 8b, 9b und 10b zeigen die Strukturen A
und B mit zusätzlicher erfindungsgemäß Struktur C.
Fig. 8 zeigt einen Fall mit unterschiedlichen Perioden pa, pb
und Streifenbreiten der Oberflächenwellen-Strukturen A und B,
jedoch mit größerem Abstand derselben voneinander. Die Einbe
ziehung der Streifen ae und be macht sich hier wegen zusätz
licher Streifen v′ v′′ der eingefügten Struktur kaum noch
bemerkbar. Die Struktur C hat somit die Streifen u, v, v′,
v′′, w.
Fig. 9 zeigt eine erfindungsgemäße Struktur C′ für wiederum
einen breiteren Abstand zwischen den Oberflächenwellen-Struk
turen A und B. Diese beiden Strukturen A und B haben hier
aber dieselbe Periodizität p und die gleiche Breite der
Streifen a und b. Es ist hier die Phase Δϕ anzupassen. Dies
ist in diesem Falle mit etwas breiteren Streifen u, v, v′, w
und mit deren etwas größerer Quasi-Periodenlänge erzielt.
Dabei ist diese Struktur C′ tatsächlich periodisch.
Die Fig. 10 zeigt einen Fall, bei dem die quasi-periodische
Struktur C′′ wegen des äußerst geringen Abstandes zwischen
den Strukturen A und B nur noch aus Streifen u, u′, w′, w
besteht, wobei je zwei Streifen (u, u′ bzw. w, w′) gleich
zeitig Streifen der Strukturen A bzw. B sind. Die Funktion
v(x) und die ihr entsprechende Verschiebungs-Positionierung
der Streifen u, u′, w, w′ ist aus der Figur ersichtlich.
Claims (6)
1. Oberflächenwellenanordnung mit mindestens zwei in Richtung
der Hauptwellenausbreitung benachbarten Oberflä
chenwellen-Strukturen, bei denen die Streifen der einen Ober
flächenwellen-Struktur in Bezug auf die Streifen der anderen
Oberflächenwellen-Struktur hinsichtlich ihrer Periode und/
oder räumlichen Phase zueinander unterschiedlich angeordnet
sind,
dadurch gekennzeichnet,
daß im Bereich des Wellenübergangs zwischen zwei solchen
Oberflächenwellen-Strukturen eine quasi-periodische Struktur
(C) ausgebildet ist, die einen stetigen Übergang der Periode
(P) und/oder räumlichen Phase der einen dieser Oberflächen
wellen-Strukturen (A) in diejenige(n) der anderen Oberflä
chenwellen-Struktur(en) (B) bildet.
2. Oberflächenwellenanordnung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die quasi-periodische Struktur (c) in dem Zwischenraum
zwischen die beiden benachbarten Oberflächenwellen-Strukturen
(A, B) eingefügt ist.
3. Oberflächenwellenanordnung nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß die quasi-periodische Struktur (c) einen Anteil der we
nigstens einen der beiden Oberflächenwellen-Strukturen (A, B)
erfaßt, der der anderen Oberflächenwellen-Strukturen (B, A)
benachbart ist.
4. Oberflächenwellenanordnung nach Anspruch 1, 2 oder 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß für den Übergang zwischen zwei verschiedenen Periodizitä
ten (pa, pb) der beiden benachbarten Oberflächenwellen-Struk
turen (A, B) für die quasi-periodische Struktur (C) Streifen
vorgesehen sind, die einen Übergang der Periodizität der
einen Oberflächenwellen-Struktur in diejenige der anderen
bilden.
5. Oberflächenwellenanordnung nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß Streifen der quasi-periodischen Struktur (C) von der
einen Oberflächenwellen-Struktur (A) zur benachbarten Ober
flächenwellen-Struktur (B) von Streifen zu Streifen der
quasi-periodischen Struktur zunehmende Breite haben.
6. Oberflächenwellenanordnung nach Anspruch 1 oder 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß bei gleicher Periodizität (P) der beiden Oberflächen
wellen-Strukturen (A, B) die Streifen der quasi-periodischen
Struktur (C) derart veränderte Abstände voneinander haben,
daß eine zwischen diesen beiden Oberflächenwellen-Strukturen
vorhandene Unstetigkeit der räumlichen Phase ausgeglichen
wird.
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