JPH0278246A - 薄板処理用バスケット - Google Patents
薄板処理用バスケットInfo
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- JPH0278246A JPH0278246A JP63228450A JP22845088A JPH0278246A JP H0278246 A JPH0278246 A JP H0278246A JP 63228450 A JP63228450 A JP 63228450A JP 22845088 A JP22845088 A JP 22845088A JP H0278246 A JPH0278246 A JP H0278246A
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/67326—Horizontal carrier comprising wall type elements whereby the substrates are vertically supported, e.g. comprising sidewalls
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D25/00—Details of other kinds or types of rigid or semi-rigid containers
- B65D25/02—Internal fittings
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- B65D25/107—Grooves, ribs, or the like, situated on opposed walls and between which the articles are located
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B23/00—Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture
-
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- G11B23/50—Reconditioning of record carriers; Cleaning of record carriers ; Carrying-off electrostatic charges
- G11B23/505—Reconditioning of record carriers; Cleaning of record carriers ; Carrying-off electrostatic charges of disk carriers
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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- G11B33/0444—Multiple disc containers for discs without cartridge
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、半導体ウェハ、ガラス製マスク、レティクル
、コンパクトディスク等に使用する薄板を多数並列状に
収納し、この収納された薄板に対して洗浄やエツチング
および乾燥等の処理を行う薄板処理用バスケットに関す
るものである。
、コンパクトディスク等に使用する薄板を多数並列状に
収納し、この収納された薄板に対して洗浄やエツチング
および乾燥等の処理を行う薄板処理用バスケットに関す
るものである。
(従来の技術)
従来のこの種バスケットとしては各種の構造が提案され
ているが、その代表的な構造を第7図乃至第9図で説明
する。バスケット1は、耐熱性や耐薬品性等に優れたプ
ラスチック、例えば弗素樹脂材で一体成形されている。
ているが、その代表的な構造を第7図乃至第9図で説明
する。バスケット1は、耐熱性や耐薬品性等に優れたプ
ラスチック、例えば弗素樹脂材で一体成形されている。
該バスケット1は、平行状に対向する各側壁2.3と、
各側壁2.3の両側端部間を各々連結する端壁4,5と
で囲まれた方形状をしている。前記側壁2.3の下側に
は、並列状に収容された多数の各薄板6が脱落しないよ
うに内側へ屈曲して縮径状態にした台部7゜8が各々形
成され、該台部7,8の傾斜面に薄板6の円弧面が係止
して支持される。
各側壁2.3の両側端部間を各々連結する端壁4,5と
で囲まれた方形状をしている。前記側壁2.3の下側に
は、並列状に収容された多数の各薄板6が脱落しないよ
うに内側へ屈曲して縮径状態にした台部7゜8が各々形
成され、該台部7,8の傾斜面に薄板6の円弧面が係止
して支持される。
また側壁2.3と台部7.8の内面には、多数の薄板6
を所定間隔で並列状に整合させて隔置するための間隔保
持部材として連続する多数の隔壁11、.12が並列状
に内側へ突設され、該隔壁11.12の間には薄板6を
収容する挿入溝9.10が形成される。
を所定間隔で並列状に整合させて隔置するための間隔保
持部材として連続する多数の隔壁11、.12が並列状
に内側へ突設され、該隔壁11.12の間には薄板6を
収容する挿入溝9.10が形成される。
更に側壁2,3及び台部7,8には、長手方向に沿った
方形状の窓穴13.14,15.16が各々穿設され、
該窓穴13,14,15.16によって壁面が切り欠か
れて前記挿入溝9,1oの一部には各々スリット17,
18,19.20が形成される。これらの各スリット1
7,18,19.20は、前記側壁2.3及び台部7.
8の内外を連通させて収容した薄板6に対する処理液や
空気の流動を良好にするための連通孔として機能する。
方形状の窓穴13.14,15.16が各々穿設され、
該窓穴13,14,15.16によって壁面が切り欠か
れて前記挿入溝9,1oの一部には各々スリット17,
18,19.20が形成される。これらの各スリット1
7,18,19.20は、前記側壁2.3及び台部7.
8の内外を連通させて収容した薄板6に対する処理液や
空気の流動を良好にするための連通孔として機能する。
尚、符号21は小径突起、符号22は小径孔であり、薄
板が収容された一方のバスケットがら空の他方のバスケ
ットへ薄板を移し替えする際に使用され、二個のバスケ
ットを突き合わせすると小径突起21と小径孔22が相
互に嵌合して位置決めされる。符号23.24は、薄板
が収容されたバスケットを処理液に浸漬したり引き上げ
る際に、掴持用工具が係合される掴持用切欠き部である
。
板が収容された一方のバスケットがら空の他方のバスケ
ットへ薄板を移し替えする際に使用され、二個のバスケ
ットを突き合わせすると小径突起21と小径孔22が相
互に嵌合して位置決めされる。符号23.24は、薄板
が収容されたバスケットを処理液に浸漬したり引き上げ
る際に、掴持用工具が係合される掴持用切欠き部である
。
また符号25.26はコンベア等でバスケットを次工程
に搬送する際に、当該コンベアの送り機構が係合する係
合用切欠き部である。
に搬送する際に、当該コンベアの送り機構が係合する係
合用切欠き部である。
(発明が解決しようとする課題)
前記バスケット1に収容された多数の薄板6は、スプレ
ィ法や浸漬法による処理液中に浸されてエツチングや洗
浄処理が行われたり、遠心乾燥機中で乾燥処理が行われ
るが、その際に処理液や乾燥空気が薄板6の表面全体に
均一に接触すると共に、通過する流速が均一であること
が望ましい。
ィ法や浸漬法による処理液中に浸されてエツチングや洗
浄処理が行われたり、遠心乾燥機中で乾燥処理が行われ
るが、その際に処理液や乾燥空気が薄板6の表面全体に
均一に接触すると共に、通過する流速が均一であること
が望ましい。
しかしながら、前記した従来の技術のように薄板6を整
合させるために、側壁2.3から台部7゜8に亘って連
続する隔壁11.12によって形成された挿入溝9,1
0内に収容する間隔保持構造では、次のような問題点が
あった。すなわち、前記隔壁11.12は、処理液や空
気の流動を妨げて澱み現象や気泡が発生しやすいと共に
、薄板6と広い面で接触して処理後の液切れを悪くして
均一な処理が得られず且つ乾燥ムラを生じてミスト状の
微粒子が薄板6に付着し易い構造である。
合させるために、側壁2.3から台部7゜8に亘って連
続する隔壁11.12によって形成された挿入溝9,1
0内に収容する間隔保持構造では、次のような問題点が
あった。すなわち、前記隔壁11.12は、処理液や空
気の流動を妨げて澱み現象や気泡が発生しやすいと共に
、薄板6と広い面で接触して処理後の液切れを悪くして
均一な処理が得られず且つ乾燥ムラを生じてミスト状の
微粒子が薄板6に付着し易い構造である。
そこで本発明は、前記した従来技術の課題を解決して均
一で良好な処理を可能にした薄板処理用バスケットの提
供を目的とするものである。
一で良好な処理を可能にした薄板処理用バスケットの提
供を目的とするものである。
(課題を解決するための手段)
本発明の第1の要旨は、薄板処理用バスケットの各側壁
の内面には間隔保持部材として内向き対向状に多数の棒
状突起が突設され、これらの棒状突起は薄板の挿入方向
に沿って間隔をおいて複数個が配列されて棒状突起群を
形成し、当該棒状突起群は薄板の隔置される間隔毎に一
定のピッチで並設され、隣接する各棒状突起群の間に薄
板が挿入されるようにしたことである。これにより、従
来の連続した隔壁による間隔保持部材に比べて処理液や
空気の流通が良好になって、収納した薄板に対するエツ
チングや遠心乾燥等の処理を良好に行うことができる。
の内面には間隔保持部材として内向き対向状に多数の棒
状突起が突設され、これらの棒状突起は薄板の挿入方向
に沿って間隔をおいて複数個が配列されて棒状突起群を
形成し、当該棒状突起群は薄板の隔置される間隔毎に一
定のピッチで並設され、隣接する各棒状突起群の間に薄
板が挿入されるようにしたことである。これにより、従
来の連続した隔壁による間隔保持部材に比べて処理液や
空気の流通が良好になって、収納した薄板に対するエツ
チングや遠心乾燥等の処理を良好に行うことができる。
本発明の第2の要旨は、前記間隔保持部材である棒状突
起を先端側が次第に縮径されるように形成したことであ
る。これにより、収納した薄板に対する接触面が少なく
なって処理液や空気の流通が更に良好になる。
起を先端側が次第に縮径されるように形成したことであ
る。これにより、収納した薄板に対する接触面が少なく
なって処理液や空気の流通が更に良好になる。
本発明の第3の要旨は、前記棒状突起の断面形状を円形
又は縦長の楕円形としたことである。これにより、収納
した薄板に対する接触面が少なくなって処理液や空気の
流通が更に良好になる。
又は縦長の楕円形としたことである。これにより、収納
した薄板に対する接触面が少なくなって処理液や空気の
流通が更に良好になる。
本発明の第4の要旨は、前記棒状突起群は基部側の径が
一定の各棒状突起によって構成され、前記薄板の挿入側
入口に位置する棒状突起の高さが最も高く形成されると
共に、底部側に移行するに従って順次高さを減するよう
に形成したことである。これにより、薄板の挿入や位置
決めの精度を高めると共に、収納した薄板に対する接触
面が少なくなり処理液や空気の流通が更に良好になる。
一定の各棒状突起によって構成され、前記薄板の挿入側
入口に位置する棒状突起の高さが最も高く形成されると
共に、底部側に移行するに従って順次高さを減するよう
に形成したことである。これにより、薄板の挿入や位置
決めの精度を高めると共に、収納した薄板に対する接触
面が少なくなり処理液や空気の流通が更に良好になる。
本発明の第5の要旨は、前記棒状突起群は高さが一定の
各棒状突起によって構成され、前記薄板の挿入側入口に
位置する棒状突起の基部側の径が最も小さく形成される
と共に、底部側に移行するに従って順次基部側の径を大
きく形成したことである。これにより、薄板の挿入や位
置決めの精度を高めると共に、収納した薄板に対する接
触面が少なくなり処理液や空気の流通が更に良好になる
。
各棒状突起によって構成され、前記薄板の挿入側入口に
位置する棒状突起の基部側の径が最も小さく形成される
と共に、底部側に移行するに従って順次基部側の径を大
きく形成したことである。これにより、薄板の挿入や位
置決めの精度を高めると共に、収納した薄板に対する接
触面が少なくなり処理液や空気の流通が更に良好になる
。
本発明の第6の要旨は、前記棒状突起群は高さと径が異
なる各棒状突起によって構成され、前記薄板の挿入側入
口に位置する棒状突起は基部側の径が最も小さく且つ高
さが最も高く形成されると共に、底部側に移行するに従
って順次基部側の径を大きくし且つ高さを減するように
形成したことである。これにより、薄板の挿入や位置決
めの精度を高めると共に、収納した薄板に対する接触面
が少なくなり処理液や空気の流通が更に良好になる。
なる各棒状突起によって構成され、前記薄板の挿入側入
口に位置する棒状突起は基部側の径が最も小さく且つ高
さが最も高く形成されると共に、底部側に移行するに従
って順次基部側の径を大きくし且つ高さを減するように
形成したことである。これにより、薄板の挿入や位置決
めの精度を高めると共に、収納した薄板に対する接触面
が少なくなり処理液や空気の流通が更に良好になる。
本発明の第7の要旨は、隣接する棒状突起群の各棒状突
起は、交互にずらせた位置に配設したことである。これ
により、少ない棒状突起の数で収納した薄板に対する保
持を行うことができると共に、接触面が少なくなり処理
液や空気の流通が更に良好になる。
起は、交互にずらせた位置に配設したことである。これ
により、少ない棒状突起の数で収納した薄板に対する保
持を行うことができると共に、接触面が少なくなり処理
液や空気の流通が更に良好になる。
本発明の第8の要旨は、前記薄板の挿入側入口には、棒
状突起又は隔壁を並設して形成された案内空間が設けら
れ、前記棒状突起群が形成する各薄板の挿入空間へ案内
させるようにしたことである。これにより、薄板の挿入
や位置決めの精度を高めることができる。
状突起又は隔壁を並設して形成された案内空間が設けら
れ、前記棒状突起群が形成する各薄板の挿入空間へ案内
させるようにしたことである。これにより、薄板の挿入
や位置決めの精度を高めることができる。
(実施例)
以下に本発明を第1図乃至第6図で図示の実施例に基づ
いて説明する。バスケット31は、従来例と同様に耐熱
性や耐薬品性等に優れたプラスチック、例えば弗素樹脂
材で一体成形され、平行状に対向する各側壁32.33
の両側端部間を各端壁34,35で各々連結した方形状
をしている。
いて説明する。バスケット31は、従来例と同様に耐熱
性や耐薬品性等に優れたプラスチック、例えば弗素樹脂
材で一体成形され、平行状に対向する各側壁32.33
の両側端部間を各端壁34,35で各々連結した方形状
をしている。
側壁32.33の下側には、処理液や空気の流動を良く
するための連通孔としてバスケット31の長手方向に沿
って方形状の窓孔36,37が各々穿設されており、更
にその下側には収容される薄板38が脱落しないように
内側へ屈曲して縮径状態にした台部39,40が各々形
成されている。
するための連通孔としてバスケット31の長手方向に沿
って方形状の窓孔36,37が各々穿設されており、更
にその下側には収容される薄板38が脱落しないように
内側へ屈曲して縮径状態にした台部39,40が各々形
成されている。
また前記各側壁32.33には、処理液や空気の流動を
良くするための連通孔として縦長形状をした多数の並列
するスリット41.42が、バスケット31の長手方向
に沿って所定間隔で穿設されていると共に、各スリット
41.42間の側壁面には薄板38を並列に一定のピッ
チで整合させて隔置するための間隔保持部材として、多
数の棒状突起43.44が内向き対向状に突設されてい
る。
良くするための連通孔として縦長形状をした多数の並列
するスリット41.42が、バスケット31の長手方向
に沿って所定間隔で穿設されていると共に、各スリット
41.42間の側壁面には薄板38を並列に一定のピッ
チで整合させて隔置するための間隔保持部材として、多
数の棒状突起43.44が内向き対向状に突設されてい
る。
前記棒状突起43.44は、薄板38の挿入方向に沿っ
て複数個が間隔をおいて配列されて一組の棒状突起群を
構成し、該棒状突起群はバスケット31の長手方向に一
定のピッチで隣接する他の棒状突起群と協動して薄板3
8の挿入空間45゜46が形成される。
て複数個が間隔をおいて配列されて一組の棒状突起群を
構成し、該棒状突起群はバスケット31の長手方向に一
定のピッチで隣接する他の棒状突起群と協動して薄板3
8の挿入空間45゜46が形成される。
前記の棒状突起43.44は各種の形状と配列を採り得
るものである。例えば、基端部と先端部の径を一定にし
た断面方形状でも良いが、薄板38との接触面積を少な
くして処理液や空気の流動を良くするするためには断面
を円形又は楕円形にした円柱状の方が望ましく、更には
本実施例で図示したように先端側が次第に縮径した円錐
形状の方がより望ましい。
るものである。例えば、基端部と先端部の径を一定にし
た断面方形状でも良いが、薄板38との接触面積を少な
くして処理液や空気の流動を良くするするためには断面
を円形又は楕円形にした円柱状の方が望ましく、更には
本実施例で図示したように先端側が次第に縮径した円錐
形状の方がより望ましい。
また前記棒状突起群を、基部側の径が一定で且つ高さを
等しくした同形の各棒状突起によって構成しても良いが
、更に処理液や空気の流動を良くし且つ薄板の挿入や位
置決めの精度を向上するために、前記棒状突起群を構成
する各棒状突起の形状と配列を任意に設定することがで
きる。例えば第5図のように、前記薄板の挿入側入口に
位置する棒状突起43a、44aの高さを最も高く形成
して底部側に移行するに従って各棒状突起43b。
等しくした同形の各棒状突起によって構成しても良いが
、更に処理液や空気の流動を良くし且つ薄板の挿入や位
置決めの精度を向上するために、前記棒状突起群を構成
する各棒状突起の形状と配列を任意に設定することがで
きる。例えば第5図のように、前記薄板の挿入側入口に
位置する棒状突起43a、44aの高さを最も高く形成
して底部側に移行するに従って各棒状突起43b。
43c、43d及び各棒状突起44b、44c。
44dの高さを順次低くするよう形成しても良い。
他の例としては第6図のように、前記薄板の挿入側入口
に位置する棒状突起43a、44aは基部側の径S1が
最も小さく且つ高さHlが最も高く形成すると共に、底
部側に移行するに従って各棒状突起43b、43c、4
3d及び各棒状突起44b、44c、44dの各々の基
部側の径S2゜S3.S4を順次大きくし且つ高さH2
、H3。
に位置する棒状突起43a、44aは基部側の径S1が
最も小さく且つ高さHlが最も高く形成すると共に、底
部側に移行するに従って各棒状突起43b、43c、4
3d及び各棒状突起44b、44c、44dの各々の基
部側の径S2゜S3.S4を順次大きくし且つ高さH2
、H3。
H4を順次低くするように形成しても良い。この場合の
ように高さHと径Sが異なる各棒状突起によって構成す
ると、薄板の挿入側入口では一定のピッチPの間隔を有
する隣接した各棒状突起の基部側の間隔W は広く且つ
開口角度A1は緩やかでしかも高さHlが高いので薄板
38の挿入が容易であり、底部側では間隔Wは狭くなり
且つ開口角度Aは急になってしかも高さHが低くなって
いるで収納された薄板38は安定保持され且つ接触面積
が少なくて処理液や空気の流動性が一段と改善され極め
て効果的である。
ように高さHと径Sが異なる各棒状突起によって構成す
ると、薄板の挿入側入口では一定のピッチPの間隔を有
する隣接した各棒状突起の基部側の間隔W は広く且つ
開口角度A1は緩やかでしかも高さHlが高いので薄板
38の挿入が容易であり、底部側では間隔Wは狭くなり
且つ開口角度Aは急になってしかも高さHが低くなって
いるで収納された薄板38は安定保持され且つ接触面積
が少なくて処理液や空気の流動性が一段と改善され極め
て効果的である。
尚、図示を省略するが前記薄板の挿入側入口に位置する
棒状突起の基部側の径を最も小さく形成して底部側に移
行するに従って順次基部側の径を大きく形成するように
した高さが一定の各棒状突起で構成することもできる。
棒状突起の基部側の径を最も小さく形成して底部側に移
行するに従って順次基部側の径を大きく形成するように
した高さが一定の各棒状突起で構成することもできる。
更に、隣接する各棒状突起群の棒状突起43又は棒状突
起44は、同じ配列にして挿入された薄板38の表裏か
ら同じ位置を挟持するようにしても良いが、処理液の流
動や液切れあるいは乾燥空気の流通をより良好にするた
めには交互にずらせた位置に配設するのが望ましい。こ
のように隣接する各棒状突起群を交互にずらせた位置に
配設すると、棒状突起群を構成する棒状突起の数を半分
に減らしても薄板38の挿入性や挿入後の整合性は低下
しない。また、薄板38の挿入性と挿入後の整合性を良
好にするためには、側壁32側の棒状突起群に対する側
壁33側の棒状突起群の配列も第4図のように交互にず
らせた位置で対向するように配設するようにしても良い
。
起44は、同じ配列にして挿入された薄板38の表裏か
ら同じ位置を挟持するようにしても良いが、処理液の流
動や液切れあるいは乾燥空気の流通をより良好にするた
めには交互にずらせた位置に配設するのが望ましい。こ
のように隣接する各棒状突起群を交互にずらせた位置に
配設すると、棒状突起群を構成する棒状突起の数を半分
に減らしても薄板38の挿入性や挿入後の整合性は低下
しない。また、薄板38の挿入性と挿入後の整合性を良
好にするためには、側壁32側の棒状突起群に対する側
壁33側の棒状突起群の配列も第4図のように交互にず
らせた位置で対向するように配設するようにしても良い
。
前記薄板38が挿入される入口側の各側壁32゜33に
は、前記棒状突起43.44と同様の棒状突起47.4
8を並設して案内空間49.50が各々形成され、この
案内空間49.50を介して挿入された各薄板38を前
記棒状突起群が形成する各挿入空間45.46へ案内さ
せるようにしている。尚、前記棒状突起47.48の代
わりに短かい隔壁を並設して各案内空間を形成するよう
にしても良いし、前記のように交互にずらせて配設した
棒状突起43.44による棒状突起群を、薄板38が挿
入される各側壁32.33の入口側まで延長させて配列
する態様もある。
は、前記棒状突起43.44と同様の棒状突起47.4
8を並設して案内空間49.50が各々形成され、この
案内空間49.50を介して挿入された各薄板38を前
記棒状突起群が形成する各挿入空間45.46へ案内さ
せるようにしている。尚、前記棒状突起47.48の代
わりに短かい隔壁を並設して各案内空間を形成するよう
にしても良いし、前記のように交互にずらせて配設した
棒状突起43.44による棒状突起群を、薄板38が挿
入される各側壁32.33の入口側まで延長させて配列
する態様もある。
前記のように各挿入空間45.46に挿入された各薄板
38は、前記台部39.40の傾斜面に円弧面が係止状
態で載置されるが、該台部39゜40には傾斜面から三
角状の係止突片51,52が突設されている。この係止
突片51,52は、前記棒状突起43.44と同じ間隔
でバスケット31の長手方向に沿って並設され、隣接す
る係止突片間には各薄板38を挿入する挿入溝53,5
4が形成される。尚、前記の係止突片51.52に代え
て前記棒状突起43.44と同様の棒状突起を台部39
,40の傾斜面から並列状に突設させて各薄板38、を
挿入する挿入空間を形成する態様もある。
38は、前記台部39.40の傾斜面に円弧面が係止状
態で載置されるが、該台部39゜40には傾斜面から三
角状の係止突片51,52が突設されている。この係止
突片51,52は、前記棒状突起43.44と同じ間隔
でバスケット31の長手方向に沿って並設され、隣接す
る係止突片間には各薄板38を挿入する挿入溝53,5
4が形成される。尚、前記の係止突片51.52に代え
て前記棒状突起43.44と同様の棒状突起を台部39
,40の傾斜面から並列状に突設させて各薄板38、を
挿入する挿入空間を形成する態様もある。
更に、前記バスケット31には必要に応じて前記した従
来例の場合と同様に、薄板移し替え時の位置決め用の小
径突起55と小径孔56、掴持用工具が係合される掴持
用切欠き部57,58、コンベアの送り機構が係合する
係合用切欠き部59゜60が設けられる。
来例の場合と同様に、薄板移し替え時の位置決め用の小
径突起55と小径孔56、掴持用工具が係合される掴持
用切欠き部57,58、コンベアの送り機構が係合する
係合用切欠き部59゜60が設けられる。
以上の構成によるバスケット31には、多数の薄板38
が前記案内空間49.50を介して挿入空間45.46
及び挿入溝53.54に挿入されて整合状態で収容され
、その際に前記各棒状突起43.44による間隔保持部
材が当該各薄板38の安定保持を行い且つ均一な洗浄や
エツチングあるいは遠心乾燥等の処理を行うのに寄与す
る。
が前記案内空間49.50を介して挿入空間45.46
及び挿入溝53.54に挿入されて整合状態で収容され
、その際に前記各棒状突起43.44による間隔保持部
材が当該各薄板38の安定保持を行い且つ均一な洗浄や
エツチングあるいは遠心乾燥等の処理を行うのに寄与す
る。
(発明の効果)
前記した実施例でも明らかなとおり、本発明では側壁面
に間隔をおいて配置された棒状突起群の間に薄板が挿入
されるので、連続する隔壁間に形成された講に挿入され
る従来の構造に比べて、処理液の澱み現象や気泡の発生
が少なくなって処理液の流動を良好にすると共に、当該
棒状突起は薄板と点接触に近い状態で接触するので処理
後の液切れも良く、均一な処理が得られる構造である。
に間隔をおいて配置された棒状突起群の間に薄板が挿入
されるので、連続する隔壁間に形成された講に挿入され
る従来の構造に比べて、処理液の澱み現象や気泡の発生
が少なくなって処理液の流動を良好にすると共に、当該
棒状突起は薄板と点接触に近い状態で接触するので処理
後の液切れも良く、均一な処理が得られる構造である。
また間隔保持部材に前記棒状突起を用いたことによって
、収納した薄板のエツチングや洗浄及び乾燥に最も適し
た形状や配列に構成することが可能である。
、収納した薄板のエツチングや洗浄及び乾燥に最も適し
た形状や配列に構成することが可能である。
更に、前記薄板の挿入側入口に、棒状突起又は隔壁を並
設して形成された案内空間又は案内溝を設けて各薄板を
前記棒状突起群で形成される挿入空間へ案内させること
によって、薄板の挿入を容易にし且つ整合性を良くする
ことができる。
設して形成された案内空間又は案内溝を設けて各薄板を
前記棒状突起群で形成される挿入空間へ案内させること
によって、薄板の挿入を容易にし且つ整合性を良くする
ことができる。
第1図は本発明の実施例による薄板処理用バスケットの
全体斜視図、第2図は同バスケットの一部を省略して示
す第1図の■−■線に沿った縦断面図、第3図は同バス
ケットの第1図のIII−III線に沿った縦断面図、
第4図は同バスケットの部分横断面図、第5図は他の実
施例によるバスケットの縦断面図、第6図は同バスケッ
トの棒状突起を更に改善した第5図の部分断面図、第7
図は従来例による薄板処理用バスケットの全体斜視図、
第8図は同バスケットの一部を省略して示す第7図の■
−■線に沿った縦断面図、第9図は同バスケットの第7
図のIX −IX線に沿った縦断面図、第10図は同パ
スゲットの部分横断面図である。 [符号の説明] 31・・・バスケット 32.33・・・側壁34
.35・・・端壁 36,37・・・窓孔38・・
・薄板 −39,40・・・台部41.42・
・・スリット 43.44,47.48・・・棒状突起45.46・・
・挿入空間 49.50・・・案内空間、51.52・
・・係止突片 53,54・・・挿入溝c″j 町 !卜 区 の 派
全体斜視図、第2図は同バスケットの一部を省略して示
す第1図の■−■線に沿った縦断面図、第3図は同バス
ケットの第1図のIII−III線に沿った縦断面図、
第4図は同バスケットの部分横断面図、第5図は他の実
施例によるバスケットの縦断面図、第6図は同バスケッ
トの棒状突起を更に改善した第5図の部分断面図、第7
図は従来例による薄板処理用バスケットの全体斜視図、
第8図は同バスケットの一部を省略して示す第7図の■
−■線に沿った縦断面図、第9図は同バスケットの第7
図のIX −IX線に沿った縦断面図、第10図は同パ
スゲットの部分横断面図である。 [符号の説明] 31・・・バスケット 32.33・・・側壁34
.35・・・端壁 36,37・・・窓孔38・・
・薄板 −39,40・・・台部41.42・
・・スリット 43.44,47.48・・・棒状突起45.46・・
・挿入空間 49.50・・・案内空間、51.52・
・・係止突片 53,54・・・挿入溝c″j 町 !卜 区 の 派
Claims (8)
- (1)多数の薄板を収容する上下に開口した方形状の容
器で、該容器の平行する各側壁には各薄板の両側端部に
係合して当該薄板を並列状に整合させて隔置する間隔保
持部材と、薄板に対する処理液や空気の流動を良好にす
るための連通孔が設けられると共に、前記各側壁の下側
には薄板が係止される台部が内向き対向状に突設された
薄板処理用バスケットにおいて、 前記各側壁の内面には間隔保持部材として内向き対向状
に多数の棒状突起が突設され、これらの棒状突起は薄板
の挿入方向に沿つて間隔をおいて複数個が配列されて棒
状突起群を形成し、当該棒状突起群は薄板の隔置される
間隔毎に一定のピッチで並設され、隣接する各棒状突起
群の間に薄板が挿入されるようにしたことを特徴とする
薄板処理用バスケット。 - (2)前記棒状突起は、先端側が次第に縮径されるよう
に形成した請求項(1)記載の薄板処理用バスケット。 - (3)前記棒状突起は断面形状が円形又は縦長の楕円形
である請求項(1)又は(2)記載の薄板処理用バスケ
ット。 - (4)前記棒状突起群は基部側の径が一定の各棒状突起
によって構成され、前記薄板の挿入側入口に位置する棒
状突起の高さが最も高く形成されると共に、底部側に移
行するに従って順次高さを減するように形成した請求項
(1)乃至(3)のいずれかに記載の薄板処理用バスケ
ット。 - (5)前記棒状突起群は高さが一定の各棒状突起によっ
て構成され、前記薄板の挿入側入口に位置する棒状突起
の基部側の径が最も小さく形成されると共に、底部側に
移行するに従って順次基部側の径を大きく形成した請求
項(1)乃至(3)のいずれかに記載の薄板処理用バス
ケット。 - (6)前記棒状突起群は高さと径が異なる各棒状突起に
よって構成され、前記薄板の挿入側入口に位置する棒状
突起は基部側の径が最も小さく且つ高さが最も高く形成
されると共に、底部側に移行するに従って順次基部側の
径を大きくし且つ高さを低くするように形成した請求項
(1)乃至(3)のいずれかに記載の薄板処理用バスケ
ット。 - (7)隣接する棒状突起群の各棒状突起は、交互にずら
せた位置に配設した請求項(1)乃至(6)のいずれか
に記載の薄板処理用バスケット。 - (8)前記薄板の挿入側入口には、棒状突起又は隔壁を
並設して形成された案内空間が設けられ、前記棒状突起
群が形成する各薄板の挿入空間へ案内させるようにした
請求項(1)乃至(7)のいずれかに記載の薄板処理用
バスケット。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63228450A JPH0278246A (ja) | 1988-09-14 | 1988-09-14 | 薄板処理用バスケット |
DE3930056A DE3930056C2 (de) | 1988-09-14 | 1989-09-08 | Behandlungskorb zur Aufnahme dünner Platten, insbesondere von Halbleiterwafern |
US07/406,569 US5011041A (en) | 1988-09-14 | 1989-09-13 | Basket for processing thin plates |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63228450A JPH0278246A (ja) | 1988-09-14 | 1988-09-14 | 薄板処理用バスケット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0278246A true JPH0278246A (ja) | 1990-03-19 |
Family
ID=16876684
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63228450A Pending JPH0278246A (ja) | 1988-09-14 | 1988-09-14 | 薄板処理用バスケット |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5011041A (ja) |
JP (1) | JPH0278246A (ja) |
DE (1) | DE3930056C2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007115785A (ja) * | 2005-10-18 | 2007-05-10 | Oki Electric Ind Co Ltd | 薄板用支持容器 |
CN115231130A (zh) * | 2022-07-05 | 2022-10-25 | 宜昌武星材料科技股份有限公司 | 一种肤感面装饰板用养护装置及其使用方法 |
CN116461831A (zh) * | 2023-06-19 | 2023-07-21 | 山东省地质科学研究院 | 一种地质土壤样品存储装置 |
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