DE3930056A1 - Korb zur behandlung duenner platten - Google Patents

Korb zur behandlung duenner platten

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DE3930056A1
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KAKIZAKI Manufacturing Co Ltd TOKIO/TOKYO JP
Kakizaki Manufacturing Co Ltd
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Description

Hintergrund der Erfindung 1. Technisches Gebiet
Die Erfindung bezieht sich auf einen Korb zur Behandlung dünner Platten, in dem mehrere dünne Platten, die in einem Halbleiterwafer benutzt werden, eine Glasmaske, ein Fadenkreuz und eine Kompaktdisc oder dergleichen angeordnet und parallel zueinander gelagert und dann gewissen Behandlungen ausgesetzt werden, beispielsweise einer Reinigung, einem Ätzverfahren und einer Trocknung und dergleichen, denen diese gespeicherten Platten unterworfen werden müssen.
2. Beschreibung des Standes der Technik
Es sind zahlreiche Körbe dieser Art bekanntgeworden, und ihr typischer Aufbau wird unter Bezugnahme auf Fig. 7 bis 9 beschrieben. Ein Korb (1) ist einstückig aus Plastikmaterial hergestellt und er besitzt hervorragende Wärmewiderstandseigenschaften und ist gegen chemische Angriffe unempfindlich. Beispielsweise besteht er aus einem Fluorkunstharz. Der Korb (1) besitzt rechteckige Gestalt und wird durch jeweils zwei parallele gegenüberliegende Seitenwände (2 und 3) und Stirnwände (4 und 5) umschlossen, welch letztere die beiden seitlichen Enden der Seitenwände (2 und 3) verbinden. Unter den Seitenwänden (2 und 3) sind Lagerblöcke (7 und 8) angeordnet, die nach innen gebogen sind und so geformt und angeordnet sind, daß die parallel zueinander gestapelten dünnen Platten (6) hindurchfallen können. Bogenförmige Oberflächen der dünnen Platten (6) werden von den geneigten Oberflächen der Lagerblöcke (7 und 8) abgestützt und von diesen getragen.
Eine Vielzahl durchgehender Trennwände (11 und 12) wirkt als Abstandshalter, um die dünnen Platten (6) parallel zueinander mit dem gewünschten Abstand dazwischen zu haltern, und diese Trennwände stehen nach innen parallel zu den inneren Oberflächen der Seitenwände (2 und 3) und der Trägerblöcke (7 und 8) vor. Außerdem sind zwischen den Trennwänden (11 und 12) Nuten (9 und 10) vorgesehen, um die dünnen Platten (6) einschieben zu können.
Außerdem sind die Seitenwände (2 und 3) mit langgestreckten rechteckigen Fenstern (13, 14, 15 bzw. 16) versehen und die Wandoberflächen sind durch die Fenster (13, 14, 15 und 16) derart ausgeschnitten, daß jeweils durchgehende Schlitze (17, 18, 19 und 20) geschaffen werden. Jeder dieser Schlitze (17, 18, 19 und 20) kann als Verbindungsloch wirken, um eine Verbindung über die Seitenwände (2 und 3) und die Lagerblöcke (7 und 8) herzustellen, so daß eine Behandlungsflüssigkeit oder Luft die gespeicherten dünnen Platten (6) umströmen kann.
Das Bezugszeichen (21) bezeichnet Vorsprünge geringen Durchmessers und das Bezugszeichen (22) bezeichnet Löcher kleinen Durchmessers, die benutzt werden, wenn die dünnen in einem Korb gespeicherten Platten nach einem anderen Korb übertragen werden. Wenn die beiden Körbe aneinandergefügt werden, dann passen die Vorsprünge (21) in die Löcher (22) ein und dadurch wird die gegenseitige Lage festgelegt. Die Bezugszeichen (23 und 24) bezeichnen Halteausnehmungen, in die Haltewerkzeuge eingefügt werden können, wenn der Korb mit einer Vielzahl dünner darin gespeicherter Platten in die Behandlungsflüssigkeit eingetaucht oder aus dieser herausgenommen wird.
Die Bezugszeichen (25 und 26) bezeichnen Eingriffsausnehmungen, mit denen ein Transportmechanismus einer Fördereinrichtung zusammenwirkt, wenn der Korb durch eine Fördereinrichtung oder dergleichen nach der nächsten Station gefördert werden soll.
Mehrere dünne, im Korb (1) gespeicherte Platten (6) werden durch einen Sprühprozeß geätzt oder gereinigt oder in eine Behandlungsflüssigkeit in einem Tauchprozeß eingetaucht oder in einem Zentrifugaltrockner getrocknet. Während dieser Verfahren ist es zweckmäßig, daß die Behandlungsflüssigkeit oder die Trockenluft gleichmäßig mit den gesamten Oberflächen der dünnen Platten (6) in Berührung gelangt, und gleichzeitig soll eine gleichmäßige Flüssigkeits- oder Luftströmung erfolgen.
Der Halteaufbau zur Speicherung der Platten in den Einsatznuten (9 und 10), welche durch die durchgehenden Trennwände (11 und 12) der Seitenwände (2 und 3) gebildet werden, die nach den Lagerblöcken (7 und 8) verlaufen, um die dünnen Platten (6) auszurichten, hat jedoch die folgenden Nachteile. Die Trennwände (11 und 12) sind so gestaltet, daß die Behandlungsflüssigkeit oder Luft an einer Strömung gehindert wird, wodurch die Strömung zur Ruhe kommt oder Luftblasen gebildet werden, die mit den dünnen Platten (6) über weite Bereiche in Berührung gelangen, und das Auswaschen von Flüssigkeit nach der Behandlung wird behindert, und es kann keine gleichmäßige Behandlung erlangt werden, und es ergeben sich unregelmäßig getrocknete Abschnitte und feine nebelartige Partikel können leicht an den dünnen Platten (6) anhaften.
Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, die erwähnten Probleme des Standes der Technik zu vermeiden und einen Korb zur Behandlung dünner Platten zu schaffen, mit dem eine gleichförmige und verbesserte Behandlung erlangt werden kann.
Weiter bezweckt die Erfindung die Schaffung eines Korbes zur Behandlung dünner Platten, bei dem eine Trennwand wegfällt.
Weiter bezweckt die Erfindung die Schaffung eines Korbes zur Behandlung dünner Platten, bei dem keine Flüssigkeit mehr stagniert, veranlaßt durch die Nuten zwischen den Trennwänden, und wobei auch keine Luftblasen erzeugt werden.
Die Erfindung bezweckt außerdem die Schaffung eines Korbes zur Behandlung dünner Platten, wobei eine verbesserte Flüssigkeitsauswaschung nach der Behandlung dünner Platten erlangt wird und unregelmäßig getrocknete Oberflächen nicht auftreten, sondern eine gleichförmige Behandlung gewährleistet wird.
Der Erfindung liegt ferner die Aufgabe zugrunde, einen Korb zur Behandlung dünner Platten zu schaffen, bei dem die Behandlungsflüssigkeit oder die Trockenluft gleichförmig die gesamten Oberflächen der dünnen Platten in einem Ätzverfahren oder einem Reinigungsverfahren oder einem Trockenprozeß berührt.
Weiter bezweckt die Erfindung die Schaffung eines Korbes zur Behandlung dünner Platten, bei dem Abstandshalter vorgesehen sind, die eine solche Form oder Anordnung haben, daß sie geeignet sind zum Ätzen, Reinigen und Trocknen dünner Platten, die im Korb gelagert sind.
Schließlich bezweckt die Erfindung die Schaffung eines Korbes zur Behandlung dünner Platten, bei dem die dünnen Platten leicht in den Korb eingesetzt und ausgerichtet werden können, wobei die Halterung der Platten verbessert ist.
Wesen der Erfindung
Ein erstes Merkmal der Erfindung besteht in der Anordnung mehrerer stangenartiger Vorsprünge, die nach innen aufeinander zu gerichtet vorstehen und Abstandshalter an den inneren Oberflächen jeder Seitenwand des Korbes bilden, um dünne Platten behandeln zu können, wobei diese stabartigen Vorsprünge längs einer Einschubrichtung der dünnen Platten verlaufen, so daß eine Gruppe stabartiger Vorsprünge gebildet wird, die seitlich gestaffelt angeordnet sind, wo die dünnen Platten im Abstand liegen und zwischen benachbarte Gruppen stabartiger Vorsprünge eingefügt werden können. Durch diese Anordnung wird eine verbesserte Strömungsverbindung der Behandlungsflüssigkeit oder Luft im Vergleich mit dem Stande der Technik erreicht, bei dem durchgehende Trennwände vorgesehen werden, so daß mit der Erfindung ein verbessertes Ätzverfahren oder eine verbesserte Zentrifugaltrocknung der darin befindlichen Platten erfolgen kann.
Ein zweites Merkmal der Erfindung besteht in der Anordnung der stabförmigen Vorsprünge, die als Abstandshalter wirken und so geformt sind, daß sie sich in ihrem Durchmesser nach den freien Enden graduell verjüngen. Auf diese Weise wird die Berührungsfläche bezüglich der gespeicherten dünnen Platten vermindert, so daß eine durchgehende Strömung der Behandlungsflüssigkeit und Luft verbessert wird.
Ein drittes Merkmal der Erfindung besteht in einer Anordnung, bei welcher die Querschnittsgestalt der erwähnten stabförmigen Vorsprünge entweder kreisförmig oder elliptisch ist. Auf diese Weise wird die Berührungsfläche mit den gespeicherten dünnen Platten weiter vermindert, so daß die Strömungsverbindung und die Flüssigkeitsbehandlung oder die Lufttrocknung verbessert werden.
Ein viertes Merkmal der Erfindung besteht in einer Anordnung, bei welcher die erwähnten stabförmigen Vorsprünge jeweils aus Vorsprüngen bestehen, die einen bestimmten Durchmesser an der Basis besitzen, wobei die Höhe der stabförmigen Vorsprünge am Einsatzende der erwähnten dünnen Platten am größten ist und wobei ihre Höhe graduell abnimmt, wenn sie nach den Bodenabschnitten übertragen werden. Auf diese Weise wird die Genauigkeit der Einfügung oder Positionierung der dünnen Platten verbessert und gleichzeitig wird die Berührungsfläche mit den dünnen Platten vermindert und die Strömungsverbindung für die Behandlungsflüssigkeit oder die Luft verbessert.
Ein fünftes Merkmal der Erfindung besteht in einer Anordnung, bei der die erwähnten stabförmigen Vorsprünge so ausgebildet und angeordnet sind, daß sie eine spezifische Höhe und einen speziellen Durchmesser an der Basis am Einsatzende der dünnen Platten besitzen, wobei die geringste Größe und der kleinste Durchmesser der Basisteile der Vorsprünge graduell nach dem Bodenteil hin expandieren. Durch diese Anordnung wird die Genauigkeit der Einfügung der dünnen Platten bzw. ihre Positionierung verbessert, und gleichzeitig wird die Berührungsfläche mit den dünnen Platten vermindert und die Strömungsverbindung der Behandlungsflüssigkeit oder der Luft verbessert.
Ein sechstes Merkmal der Erfindung besteht in einer Anordnung, bei der eine Gruppe der erwähnten stabförmigen Vorsprünge durch je einen stabförmigen Vorsprung gebildet wird, der eine von den übrigen abweichende Höhe und einen abweichenden Durchmesser besitzt, wobei die stabförmigen Vorsprünge, die am Einsatz der dünnen Platten ausgebildet sind, den kleinsten Durchmesser an der Basis und die größte Höhe besitzen, wobei die Durchmesser der Basisenden graduell ansteigen und die Höhe graduell nach der Bodenseite hin vermindert wird. Durch diese Anordnung wird die Genauigkeit der Einfügung der dünnen Platten bzw. ihre Positionierung verbessert und es wird die Berührungsfläche mit den dünnen Platten vermindert und eine Strömungsverbindung der Behandlungsflüssigkeit oder der Luft verbessert.
Ein siebentes Merkmal der Erfindung besteht in einer Anordnung, bei der jeder stabförmige Vorsprung benachbarter Gruppen abwechselnd versetzt ist. Auf diese Weise können die gestapelten dünnen Platten durch eine geringere Zahl stabförmiger Vorsprünge gehaltert werden, und gleichzeitig wird die Berührungsfläche vermindert und die Strömungsverbindung der Behandlungsflüssigkeit oder der Luft verbessert.
Ein achtes Merkmal der Erfindung besteht in einer Anordnung, bei der an der Einsatzseite der dünnen Platten ein Führungsraum vorgesehen ist, in dem die stabförmigen Vorsprünge oder die Trennwände seitlich so zueinander angeordnet sind, daß die dünnen Platten in den Einsatzraum für jede dünne Platte geführt werden, der durch die erwähnte Gruppe von Vorsprüngen gebildet wird. Durch diese Anordnung wird die Genauigkeit des Einsatzes der dünnen Platten und ihre Positionierung verbessert.
Beschreibung der Zeichnungen
Nachstehend wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnung beschrieben. In der Zeichnung zeigt
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht eines Korbes zur Behandlung dünner Platten gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung,
Fig. 2 einen Längsschnitt nach der Linie II-II gemäß Fig. 1, wobei ein Teil des Korbes gemäß Fig. 1 weggelassen ist,
Fig. 3 einen Längsschnitt nach der Linie III-III gemäß Fig. 1,
Fig. 4 einen Teilschnitt des Korbes nach Fig. 1,
Fig. 5 einen Längsschnitt des Korbes gemäß einem zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung,
Fig. 6 einen Teilschnitt eines Ausführungsbeispiels, bei dem die stabförmigen Vorsprünge des Korbes nach Fig. 5 verbessert sind.
Nachstehend wird ein den Stand der Technik repräsentierendes Ausführungsbeispiel beschrieben.
Fig. 7 zeigt eine perspektivische Ansicht eines bekannten Korbes zur Behandlung dünner Platten.
Fig. 8 ist ein Längsschnitt nach der Linie VIII-VIII gemäß Fig. 7, wobei ein Teil des Korbes weggelassen ist,
Fig. 9 ein Schnitt nach der Linie IX-IX gemäß Fig. 7,
Fig. 10 ein Teilschnitt des Korbes gemäß Fig. 7.
Beschreibung des bevorzugten Ausführungsbeispiels
Anhand der Fig. 1 bis 6 wird ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung beschrieben. Ein Korb (31) ist einstückig aus Plastikmaterial, beispielsweise einem Fluor enthaltenden Kunstharzmaterial, hergestellt, das eine gute Hitzebeständigkeit besitzt und chemisch nicht angreifbar ist. Insoweit entspricht der Korb dem Stand der Technik. Er besitzt rechteckige Gestalt, wobei die Seitenenden der Seitenwände (32 und 33) durch Stirnwände (34 bzw. 35) verbunden sind.
Jedes der rechteckigen Fensteröffnungen (36 und 37) ist in Längsrichtung des Korbes (31) unter den Seitenwänden (32 und 33) offen, um eine Strömungsverbindung zur Verbesserung der Strömung der Behandlungsflüssigkeit oder Luft zu schaffen. Außerdem ist unter den Fensteröffnungen jeweils ein Lagerblock (39 und 40) ausgebildet, der nach innen gebogen ist, und diese sind in ihrem gegenseitigen Abstand vermindert, so daß verhindert wird, daß die gespeicherten dünnen Platten (38) hindurchfallen. Jede der erwähnten Seitenwände (32 und 33) ist mit mehreren vertikalen Schlitzen (41 und 42) versehen, die seitlich im Abstand zueinander derart angeordnet sind, daß sie als Verbindungsöffnung wirken, wodurch die Strömung der Behandlungsflüssigkeit oder der Luft verbessert wird. Die Schlitze sind in einem bestimmten Abstand in Längsrichtung des Korbes (31) angeordnet. Die Seitenwandoberflächen zwischen den Schlitzen (41 und 42) sind mit mehreren stabförmigen Vorsprüngen (43 und 44) versehen, die nach innen vorspringen und aufeinander zu gerichtet sind, derart, daß sie als Abstandshalter wirken und die dünnen Platten (38) ausrichten und diese parallel zueinander in einer vorbestimmten Neigungslage im Abstand halten.
Mehrere der erwähnten stabförmigen Vorsprünge (43 und 44) sind entlang einer Einführrichtung der dünnen Platten (38) und im Abstand zueinander angeordnet, um eine Gruppe stabförmiger Vorsprünge zu bilden. Die Gruppe stabförmiger Vorsprünge kann mit einer weiteren Gruppe stabförmiger Vorsprünge zusammenwirken, die unter einer vorbestimmten Neigung in Längsrichtung des Korbes (31) anschließen, um Einführräume (45 und 46) für die dünnen Platten (38) zu schaffen.
Die stabförmigen Vorsprünge (43 und 44) können unterschiedliche Gestalt haben und sie können unterschiedlich angeordnet sein. Beispielsweise können sie einen rechteckigen Querschnitt aufweisen, wobei ihre Basisenden und ihre freien Enden einen bestimmten Durchmesser besitzen. Um die Berührungsfläche mit den dünnen Platten (38) zu vermindern und die Strömung von Behandlungsflüssigkeit oder Luft zu verbessern, ist es zweckmäßig, säulenförmige Vorsprünge vorzusehen, die einen kreisförmigen oder elliptischen Querschnitt besitzen, und außerdem ist es zweckmäßig, diese Vorsprünge konisch auszubilden, wobei sich der Querschnitt nach dem freien Ende hin vermindert, wie dies aus der Zeichnung ersichtlich ist.
Obgleich die stabförmigen Vorsprünge die gleiche Form haben können mit gleichen Durchmessern und gleicher Höhe, können Gestalt und Anordnung auch modifiziert werden, um die Strömung der Behandlungsflüssigkeit oder Luft noch weiter zu verbessern und um die Genauigkeit beim Einsetzen der dünnen Platten zu verbessern. Beispielsweise kann es, wie aus Fig. 5 ersichtlich, zweckmäßig sein, die Höhen der stabförmigen Vorsprünge (43 a und 44 a) unterschiedlich zu gestalten, wobei die Länge bzw. Höhe der Vorsprünge (43 a und 44 a) am Einsatzende (oben) am größten ist, während die Vorsprünge (43 b, 43 c, 43 d; und 44 b, 44 c, 44 d) in ihrer Länge nach dem Bodenteil hin abnehmen.
Ein weiteres Ausführungsbeispiel ist in Fig. 6 gezeigt. Die stabförmigen Vorsprünge (43 a und 44 a) am Einsatz der dünnen Platten können so gestaltet sein, daß ihre Basisabschnitte den kleinsten Durchmesser (S 1) und die größte Höhe (H 1) aufweisen. Die Durchmesser (S 2, S 3 und S 4) der in Einsatzrichtung folgenden stabförmigen Vorsprünge (43 b, 43 c, 43 d bzw. 44 b, 44 c, 44 d) können sich in Einsatzrichtung nach dem Boden hin vergrößern. Die Höhen (H 2, H 3 und H 4) können in Einsatzrichtung verkürzt werden. Eine solche Anordnung, bei der der Korb mit stabförmigen Vorsprüngen versehen ist, deren Höhe (H) und Durchmesser (S) sich ändern, ermöglicht ein einfacheres Einsetzen der dünnen Platten (38) infolge der Tatsache, daß der Abstand (W 1) am Basisteil benachbarter stabförmiger Vorsprünge einen Abstand am Einsatz mit einer Teilung (P) hat, d. h. der Einsatz für die dünnen Platten ist breit, und es ist ein Öffnungswinkel (A 1) vorhanden, der flach ist, und die Höhe (H 1) ist groß. Da im unteren Teil nur ein schmaler Abstand (W) besteht, ergibt sich ein spitzer Öffnungswinkel (A) und eine geringe Höhe (H). Dadurch werden die eingelegten dünnen Platten (38) in stabiler Weise festgehalten, wobei nur eine geringe Berührungsfläche besteht, so daß die Strömungscharakteristik der Behandlungsflüssigkeit oder Luft weiter verbessert ist, um eine wirksame Arbeitsweise zu gewährleisten.
Obgleich nicht in der Zeichnung dargestellt, kann der erfindungsgemäße Korb auch stabförmige Vorsprünge besitzen, die eine bestimmte Höhe haben, wobei die Durchmesser am Basisteil am Einsatzende am kleinsten sind und der Durchmesser sich nach dem Bodenteil hin vergrößert.
Obgleich sowohl der stabförmige Vorsprung (43) als auch der stabförmige Vorsprung (44) einer Gruppe benachbarter Vorsprünge in gleicher Weise angeordnet sein können, um die gleiche Lage an den vorderen und hinteren Oberflächen der dünnen Platten (38) einzunehmen, ist es doch zweckmäßig, abwechselnd die stabförmigen Vorsprünge zu staffeln bzw. zu versetzen, um eine verbesserte Strömungswirkung der Behandlungsflüssigkeit, der Waschflüssigkeit oder der Trockenluft zu gewährleisten. Auf diese Weise kann, wenn die Gruppe jeder benachbarten stabförmigen Vorsprünge gegenüber der benachbarten versetzt angeordnet ist, eine Einführcharakteristik für die dünnen Platten (38) oder eine Ausrichtcharakteristik erreicht werden, die genauso gut ist, selbst wenn die Zahl der stabförmigen Vorsprünge, die die Gruppen bilden, auf die Hälfte vermindert wird. Um die Einführcharakteristik der dünnen Platten (38) zu verbessern und um die Ausrichtung zu erleichtern, kann die Anordnung der Gruppen stabförmiger Elemente an der Seitenwand (33) versetzt zu den Gruppen der stabförmigen Vorsprünge an der Seitenwand (32) sein, wie dies in Fig. 4 dargestellt ist.
Jede der Seitenwände (32 und 33) besitzt eine Einlaßseite, wo die erwähnte dünne Platte (38) eingefügt wird, und an dieser stabförmige Vorsprünge (47 und 48), ähnlich den stabförmigen Vorsprüngen (43 und 44), die seitlich benachbart sind, um Führungsräume (49 und 50) zu schaffen. Jede der dünnen Platten (38) wird durch die Führungsräume (49 und 50) in die Einsatzräume (45 und 46) eingefügt, die durch die Gruppen stabförmiger Vorsprünge gebildet werden. Anstelle der stabförmigen Vorsprünge (47 und 48) können kurze Trennwände seitlich nebeneinander angeordnet werden, um Führungsräume zu bilden, oder es können Gruppen stabförmiger Vorsprünge (43 und 44) abwechselnd gegeneinander versetzt nach der Einlaßöffnung jeder Seitenwand (32 und 33) hin angeordnet sein, wo die dünnen Platten (38) eingefügt werden.
Jede der dünnen Platten (38), die in die Einsatzräume (45 und 46) wie oben beschrieben eingefügt wird, wird über die abgeschrägten Flächen der Trägerblöcke (39 und 40) mit ihren kreisförmigen Oberflächen eingeführt. Statt dessen können dreieckige Eingriffsvorsprünge (51 und 52) vorgesehen sein, die von den geneigten Oberflächen der Lagerblöcke (39 und 40) vorstehen. Diese Eingriffsvorsprünge (51 und 52) liegen seitlich in Längsrichtung des Korbes (31) mit dem gleichen Abstand wie die stabförmigen Vorsprünge (43 und 44) zueinander, und dann werden dazwischen benachbarte Eingriffsvorsprünge gebildet in Gestalt von Einsatznuten (53 und 54) zum Einsatz der dünnen Platten (38). Anstelle der erwähnten Eingriffsvorsprünge (51 und 52) können stabförmige Vorsprünge ähnlich den Vorsprüngen (43 und 44) seitlich zueinander von den geneigten Oberflächen der Lagerblöcke (39 und 40) vorstehen, um Einsatzräume zum Einsatz der dünnen Platten (38) zu schaffen.
Außerdem ist der Korb (31) mit Paßstiften (55) und Paßlöchern (56) versehen, um die Positionierung beim Auswechseln der dünnen Platten zu erleichtern, und es sind Halteausnehmungen (57 und 58) vorgesehen, in denen die Haltewerkzeuge eingreifen, und es sind ferner Ausnehmungen (59 und 60) vorgesehen, in die ein Übertragungsmechanismus einer Fördereinrichtung erforderlichenfalls in der gleichen Weise eingreifen kann, wie dies beim Stande der Technik der Fall ist.
Innerhalb des Korbes (31) sind mehrere dünne Platten (38) gestapelt, die in die Einsatzräume (45 und 46) und die Einsatznuten (53 und 54) über die Führungsräume (49 und 50) eingesetzt und dabei relativ zueinander ausgerichtet wurden. Die Abstandshalter der stabförmigen Vorsprünge (43 und 44) bilden eine stabile Halterung für jede dünne Platte (38) und sie tragen dazu bei, eine gleichförmige Reinigung oder ein Ätzen oder eine Zentrifugaltrocknung durchzuführen.
Wie aus dem beschriebenen Ausführungsbeispiel ersichtlich, ist der erfindungsgemäße Korb so gestaltet, daß die dünnen Platten zwischen den Gruppen stabförmiger Elemente im Abstand zueinander zwischen den Seitenwänden eingefügt werden können, wobei ein Stagnieren der Behandlungsflüssigkeit oder die Erzeugung von Luftblasen im Vergleich mit herkömmlichen Aufbauten vermindert wird, bei denen die dünnen Platten in die Nuten eingesetzt werden, die zwischen durchgehenden Trennwänden gebildet sind, so daß die Strömungscharakteristik der Behandlungsflüssigkeit verbessert wird und gleichzeitig die stabförmigen Vorsprünge von den dünnen Platten nahezu punktförmig berührt werden, so daß die Flüssigkeitsabfuhr nach der Behandlung wesentlich verbessert ist und eine gleichmäßige Behandlung erlangt werden kann.
Die Benutzung stabförmiger Vorsprünge als Abstandshalter bewirkt, daß der Korb eine höchst zweckmäßige Gestalt und Anordnung zum Ätzen, Reinigen oder Trocknen der gespeicherten dünnen Platten aufweist.
Sowohl der Führungsraum, der durch die stabförmigen Vorsprünge oder Trennwände gebildet wird, als auch die Führungsnuten schaffen eine Einsatzöffnung für die dünnen Platten, wodurch die dünnen Platten in den Einsatzraum geleitet werden, der durch die Gruppe von stabförmigen Vorsprüngen gebildet wird, so daß das Einsetzen der dünnen Platten leicht durchgeführt werden kann, wobei die Ausrichtcharakteristik verbessert ist.
Es können verschiedene Abwandlungen und Verbesserungen getroffen werden, ohne den Rahmen der Erfindung zu verlassen.

Claims (10)

1. Korb zur Behandlung dünner Platten in Gestalt eines rechteckigen Behälters, der obere und untere Öffnungen aufweist, um mehrere dünne Platten aufzunehmen, wobei jede Seitenwand des Behälters mit Abstandshaltern versehen ist, die an den beiden Seiten der dünnen Platten angreifen, um diese seitlich nebeneinander mit Abstand auszurichten, und wobei Lagerblocks von gegenüberliegenden Seiten unter den Seitenwänden nach innen vorstehen, um die dünnen Platten abzustützen, dadurch gekennzeichnet, daß die innere Oberfläche jeder Seitenwand mit mehreren nach innen weisenden stabförmigen Vorsprüngen versehen ist, die aufeinander hin gerichtet sind und als Abstandshalter dienen, daß mehrere dieser stabförmigen Vorsprünge im Abstand zueinander längs einer Einsatzrichtung der dünnen Platten derart angeordnet sind, daß eine Gruppe stabförmiger Vorsprünge gebildet wird, und daß die Gruppen der stabförmigen Vorsprünge seitlich längs der Längsrichtung des Korbes mit einer gewissen Anstellung angeordnet sind, um die dünnen Platten zwischen benachbarten Gruppen stabförmiger Vorsprünge aufzunehmen.
2. Korb nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die stabförmigen Vorsprünge derart ausgebildet sind, daß der Durchmesser graduell nach ihren freien Enden hin abnimmt.
3. Korb nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die stabförmigen Vorsprünge einen kreisförmigen oder länglichen elliptischen Querschnitt besitzen.
4. Korb nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Gruppe stabförmiger Vorsprünge durch stabförmige Vorsprünge mit vorbestimmtem Durchmesser am Basisteil gebildet wird, wobei die Länge der stabförmigen Vorsprünge am Einsatzende der dünnen Platten am größten ist und die Länge nach dem Bodenteil hin abnimmt.
5. Korb nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Gruppe stabförmiger Vorsprünge durch die stabförmigen Vorsprünge bestimmter Höhe gebildet ist und der Durchmesser am Basisteil am Einsatzende der dünnen Platten am kleinsten ist und dieser Durchmesser am Basisteil nach dem Boden des Korbes hin zunimmt.
6. Korb nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Gruppe stabförmiger Vorsprünge von den stabförmigen Vorsprüngen unterschiedlicher Höhe und unterschiedlichen Durchmessers gebildet ist, wobei die stabförmigen Vorsprünge am Einsatzende der dünnen Platten derart ausgebildet sind, daß die Durchmesser der Basisteile am kleinsten sind, während die Höhe am größten ist, und die Durchmesser am Basisteil nach dem Boden hin zunehmen und die Länge der Vorsprünge abnimmt.
7. Korb nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß jeder stabförmige Vorsprung benachbarter Gruppen gegenüber dem benachbarten Vorsprung versetzt bzw. gestaffelt angeordnet ist.
8. Korb nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Einsatzöffnung für die dünnen Platten mit einem Führungsraum versehen ist, der dadurch gebildet ist, daß die stabförmigen Vorsprünge oder Trennwände seitlich so nebeneinander angeordnet sind, daß die dünnen Platten in den Raum eingeführt werden können, der durch benachbarte Gruppen stabförmiger Vorsprünge gebildet ist.
9. Korb nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß eine Fensterausnehmung in Längsrichtung des Korbes an einem Teil zwischen der Seitenwand und dem Trägerblock vorgesehen ist.
10. Korb nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Seitenwand mit vertikalen Schlitzen zwischen benachbarten Gruppen stabförmiger Vorsprünge versehen ist.
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