DE19648498C1 - Vorrichtung zum Behandeln von Substraten, insbesondere von Halbleiter-Wafern - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Behandeln von Substraten, insbesondere von Halbleiter-Wafern, mit einem ein Behandlungsfluid enthaltenden Behälter und wenigstens einem Substrathalter, wobei die mit dem Behandlungsfluid in Berührung kommenden Teile des Behälters und/oder des Substrathalters eine Schutzschicht aufweisen, und wobei Führungs- und/oder Halterungselemente für die Substrate auf die Schutzschicht aufgeschweißt sind.

Eine Vorrichtung dieser Art ist aus der WO 95/02473 A1 bekannt.

Weitere Vorrichtungen zur Behandlung von Substraten, ins­ besondere von Halbleiter-Wafern, sind darüber hinaus aus den Druckschriften DE 44 13 077 A1, und DE 195 46 990 A1 derselben Anmelderin bekannt und darüber hinaus in der nicht vorveröffentlichten DE 196 16 402 A1 und DE 196 37 875 A1 sowie den deut­ schen Patentanmeldungen DE 196 44 253.2 und DE 196 44 254.0 beschrieben. Aus einem Metall, bei­ spielsweise Edelstahl, bestehende Behälter oder Substrat­ halter sind dabei mit einer Schutzschicht beschichtet, die sowohl die Behälterwand und die Substrathalter gegen­ über aggressivem Behandlungsfluid schützt, als auch ver­ hindert, daß das Behandlungsfluid durch Metallteile kon­ taminiert wird.

Aus der JP 6-28 34 86 A2 und der DE 39 30 056 A1 sind Waferkassetten oder Waferkörbe zum Transportieren und Haltern von Wafern bekannt, bei denen Führungs- und Halterungselemente vorgesehen sind, die eine Form oder Abrundung aufweisen, um beim Ein- und Ausbringen der Wafer Beschädigungen an ihnen zu vermeiden. Die Druck­ schriften JP 4-130 724 A1 und JP 6-204 197 A2 zeigen Wafer-Reinigungsvorrichtungen, bei denen der Behandlungs­ behälter bzw. die Waferhalterung aus Quarz besteht.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrich­ tung zum Behandeln von Substraten zu schaffen, die ins­ besondere im Hinblick auf die Führungs- und Halterungse­ lemente für die Substrate im Behälter optimal ausgebildet und kostengünstig herstellbar ist sowie eine hohe Le­ bensdauer aufweist.

Die gestellte Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch ge­ löst, daß die Führungselemente aus Kunststoff-Schnüren gebildet sind, die mit der Schutzschicht und miteinander verschweißt sind.

Aufgrund der erfindungsgemäßen Maßnahme, Führungs- und/oder Halterungselemente für die Substrate in Form von Schnüren auf die Schutzschicht aufzuschweißen, ist die Fertigung derartiger Vorrichtungen besonders einfach und kostengünstig. Es ist nunmehr auch möglich, Behälter aus Metall zu wählen, die wesentlich kostengünstiger sind als aus hochreinem Quarz hergestellte Behälter. Damit tritt auch das Problem nicht mehr auf, daß das Aufbringen einer Schutzschicht am kantigen oder spitz zulaufenden Berei­ chen nicht zuverlässig möglich ist und dort besonders leicht beschädigt wird.

Vorzugsweise besteht die beispielsweise 1 mm dicke Schutzschicht oder der Schutzfilm aus Perfluor-Alkoxy- Polymeren (PFA).

Vorteilhafterweise sind die auf gegenüberliegenden Innenflä­ chen der beschichteten Behälterwände aus Kunststoff be­ stehenden Führungselemente für die Substrate auf die Schutzschicht aufgeschweißt. Dies ist wesentlich kosten­ günstiger als mit entsprechenden Führungselementen aus­ gestattete Quarzbehälter. Darüberhinaus wird ein parti­ kelträchtiges Reiben der Substrate an dem relativ rauhen Quarz vermieden. Als Grundmaterial für die Behälter kann auch ein Metall, beispielsweise Edelstahl oder Aluminium, verwendet werden.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung bestehen die Führungselemente aus aus Kunststoff-Schnüren gebildeten Kunststoffstreifen, die auf den Innenwänden des Fluidbehälters jeweils einander gegenüberliegend aufgeklebt bzw. aufgeschweißt sind.

Die Kunststoffstreifen weisen dabei vorzugsweise eine Dicke auf, die der Höhe der Führungselemente entspricht.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform weisen die Kunst­ stoff-Schnüre beispielsweise einen Durchmesser von 4 mm auf. Sie werden mit der Schutzschicht und miteinander verschweißt, um entsprechende Führungselemente auszu­ bilden. Die Form der Führungselemente ergibt sich dann durch Abrunden oder Glätten der Schnurkanten.

Sofern Führungsschlitze für die Substrate nicht durch entsprechend zueinander beabstandete Führungselemente ge­ bildet werden, ist es besonders vorteilhaft, in entspre­ chend breite aus Kunststoff­ schnüren gebildete Kunststoffstreifen Führungsschlitze für die Substrate auszubilden. Die Abstände der Führungs­ schlitze sind dabei entsprechend der Packungsdichte der für die Fluidbehandlung vorgesehenen Substratpackungen gewählt und weisen zueinander gleiche Abstände auf.

Die Führungselemente für die Substrate, also die aufge­ schweißten Kunststoffstreifen oder -schnüre, bestehen vorzugsweise aus demselben Material wie die Schutz­ schicht. Vorteilhaft hierfür ist PFA.

Es ist sehr vorteilhaft, die Führungsschlitze im Ein- und Austrittsbereich für die Substrate V-förmig auszubilden, damit die eingeführten Substrate zum eigentlichen Füh­ rungs- und Halterungsbereich hin zentriert werden und im Eintrittsbereich nicht an den Führungselementen ankanten. Die V-förmigen Ein- und Austrittsbereiche für die Sub­ strate haben darüber hinaus auch den Vorteil, daß dadurch die Spülung und Durchströmung mit dem Behandlungsfluid, beispielsweise mit einer Spülflüssigkeit, besser ist.

Auf Grund der Tatsache, daß die mit dem Behandlungsfluid in Berührung kommenden Behälterwände mit einer Schutz­ schicht versehen sind und auf dieser Schutzschicht Füh­ rungs- und Halterungselemente aufgeschweißt sind, ist es möglich, als Grundmaterial für die Behälterwände bzw. für die gesamten Behälter Metall, vorzugsweise Edelstahl oder Aluminium, zu verwenden. Dadurch ergeben sich sowohl we­ sentlich geringere Herstellungskosten als auch eine längere Lebensdauer, weil die Behälter üblicherweise aus Quarz gefertigt sind und die Lebensdauer von Quarz im Zusammen­ hang mit den beispielsweise für Halbleiter-Wafer verwen­ deten Behandlungsfluids begrenzt ist.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist der Behälter trotz einer Schutzschicht und des erfin­ dungsgemäßen Vorsehens, auf die Schutzschicht Führungs- und Halterungselemente für die Substrate aufzuschweißen, aus Quarz hergestellt. Dies ist besonders vorteilhaft, wenn auch dann eine zuverlässige und reibungslose Sub­ stratbehandlung sichergestellt sein soll, wenn die Schutzschicht aus irgendeinem Grunde beschädigt werden sollte, wohingegen im Falle von Stahl- oder Aluminium­ behältern Kontaminationen des Behandlungsfluids eintreten könnten. Bei einem Quarzbehälter besteht diese Gefahr auch bei einer Beschädigung der Schutzschicht nicht. Der Quarzbehälter weist auf Grund der Schutzschicht jedoch eine wesentlich längere Lebensdauer auf als bei herkömm­ lichen Vorrichtungen.

Gemäß einer besonders vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist der Substrathalter ein aus einem Metall be­ stehender Steg, der mit einer Schutz­ schicht beschichtet ist und auf den nach der Beschichtung mit der Schutzschicht ein messerartiges Substrat­ auflageelement aus Kunststoff aufgeschweißt ist. Da gemäß der vorliegenden Erfindung auch ein aus Metall bestehen­ der Steg verwendbar ist, weil das messerartige Substrat­ aufnahmeelement aus Kunststoff trotz einer Beschichtung mit einer Schutzschicht aufschweißbar ist, kann der Sub­ strathalter sehr schmal gefertigt und damit strömungs­ technisch optimiert werden. Es ist daher nicht mehr er­ forderlich, Maßnahmen zur Verbesserung der Strömungsver­ hältnisse um den Substrathalter vorzusehen und auszubil­ den, wie dies in der nicht vorveröffentlichen deutschen Patentanmeldung 196 44 254.0 angegeben ist.

Statt das messerartige Substratauflageelement aus Kunst­ stoff auf den mit einer Schutzschicht beschichteten me­ tallischen Substrathalter aufzuschweißen, ist es gemäß einer weiteren Ausführungsform auch möglich, das Sub­ stratauflageelement dem Substrathalter als Kappe oder Mütze aufzusetzen oder überzustülpen.

Die messerartigen Substratauflageelemente sind vorzugs­ weise mit gleichmäßig beabstandeten Einkerbungen für die Substrate ausgebildet, um diese auf dem Substrathalter in einem gleichmäßigen Abstand zueinander zu halten.

Gemäß einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung des Substrathalters ist wenigstens ein parallel zum Sub­ strathalter angeordneter und mit ihm verbundener Stabi­ lisierungssteg vorgesehen. Dadurch ist es weiterhin mög­ lich, den eigentlichen Substrathalter, auf dem sich die Substrate abstützen, noch schmaler und damit strömungs­ günstiger zu gestalten, da nunmehr der Stabilisierungs­ steg oder die auf beiden Seiten des Substrathalters ange­ ordneten Stabilisierungsstege dafür sorgen, daß der Sub­ strathalter starr ist und nicht schwingt.

Die Stabilisierungsstege sollten dabei aus strömungstech­ nischen Gründen auch möglichst schmal sein und insbeson­ dere an ihrer Oberseite, also im Abreißbereich der Strö­ mung möglichst spitz sein, um möglichst kleine Abreiß­ kanten für die Strömung zu schaffen und damit Turbulenzen möglichst klein zu halten. Es ist jedoch sehr schwer oder gar unmöglich, Kanten oder spitz zulaufende Ränder, wie messerartige Elemente, mit einer Schutzschicht zu be­ schichten, so daß insbesondere an derartigen Kanten die Schutzschicht nicht dicht ist oder haften bleibt. Aus diesem Grunde sind gemäß einer vorteilhaften Ausführungs­ form der Erfindung auch die Stabilisierungsstege, die mit einem bei einer Schutzschicht beschichtet sind, auf ihrer Oberseite nicht messerartig ausgebildet, sondern mit ei­ nem messerartigen Element versehen, das auf die Schutz­ schicht der Stabilisierungsstege aufgeschweißt oder auf­ gesetzt ist.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von bevorzugten Ausführungsbeispielen im einzelnen erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Querschnittsdarstellung durch eine erfindungsgemäße Vorrichtung,

Fig. 2 einen vergrößerten Ausschnitt der in Fig. 1 dar­ gestellten Ausführungsform zur Erläuterung der Führungselemente;

Fig. 3a, 3b und 3c: vergrößerte Querschnittsdarstellungen der Führungselemente zur Erläuterung der Herstel­ lung mit Kunststoffschnüren,

Fig. 4a, 4b und 4c Seitenansichten der in den Fig. 3a, 3b und 3c dargestellten Querschnitte,

Fig. 5 ein vergrößertes Führungselement mit Blickrichtung auf den Führungsschlitz,

Fig. 6 eine vergrößerte Querschnittsdarstellung des Sub­ strathalter-Bereichs und

Fig. 7 eine Seitenansicht des in Fig. 6 im Querschnitt dargestellten Substrathalters.

Ein in Fig. 1 dargestellter Fluidbehälter 1 weist Seiten­ wände 2, 3 sowie einen Behälterboden 4 auf, der der run­ den Form der zu behandelnden Substrate 5 angepaßt ist.

Auf der Innenfläche der Behälterwände 2, 3 sind Führungs­ elemente 6 für die Substrate 5 übereinander angeordnet, in denen die Substrate beim Ein- und Ausführen geführt und während der Fluidbehandlung gehalten werden.

Im Behälterboden 4 ist jeweils ein Schacht 7, 8, 9 für einen Substrathalter 10 und Stabilisierungsstege 11, 12 vorgesehen, in die der Substrathalter 10 und die Stabi­ lisierungsstege 11, 12 absenkbar sind.

Über Querstreben 13 sind die Stabilisierungsstege 11, 12 mit dem Substrathalter 10 verbunden und geben diesen ei­ nen zusätzlichen mechanischen Halt, so daß der Substrat­ halter 10 starr ist und auch beim Auf- und Abfahren nicht schwingt.

Auf der Unterseite des Fluidbehälters befinden sich Fluid-Einlaßdüsen 14, die in einer Düsenplatte 16 mit Fluidkanälen 15 verbunden sind, und über die das Behand­ lungsfluid in einen Fluidbereich 17 zur Beruhigung der Strömungsverhältnisse strömt. Das Behandlungsfluid strömt danach zwischen zueinander äquidistant und parallel an­ geordneten Platten 18 hindurch, die Zwischenräume mit Strömungsschlitzen bilden, durch die das Behandlungsfluid aus dem Behälterboden 4 in den Behälterinnenbereich aus­ tritt. Im unteren Bereich der Behälterwände 2, 3, nämlich im Bereich der Platten 18 sind ebenfalls Führungs- bzw. Halterungelemente 19 für die Platten vorgesehen, die die vorzugsweise in derselben Weise wie die Führungselemente 6 für die Substrate 5, aber auch unterschiedlich ausge­ bildet sein können. Bei dem dargestellten Ausführungsbei­ spiel liegen die einzelnen Platten auf Plattenstegen 20, 21 auf, die sich oberhalb des Strömungsbereichs 17 befin­ den.

An der Außenseite wenigstens einer Seitenwand 3 des Be­ hälters 1 befindet sich ein Ultraschallwandler 22, mit dem das Behälterinnere mit Ultra- oder Megaschall beauf­ schlagt wird.

Um Wiederholungen hinsichtlich weiterer Einzelheiten die­ ser Vorrichtung und des Behandlungsvorgangs für die Sub­ strate 5 zu vermeiden, wird auf die DE 44 13 077 A1, die DE 195 46 990 A1 und die Patentanmeldung DE 196 44 253.2 verwiesen, die in­ sofern zum Inhalt der vorliegenden Anmeldung gemacht wer­ den.

Fig. 2 zeigt einen vergrößerten Ausschnitt der in Fig. 1 dargestellten schematischen Querschnittsdarstellung eines erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiels. Die Seitenwand 2 besteht beispielsweise aus einem Metall, etwa Edelstahl, Aluminium oder dergleichen. Auf der dem Behandlungsfluid ausgesetzten Innenfläche der Seitenwand ist eine Schutz­ schicht 24, beispielsweise eine PFA-Schicht oder ein PFA- Film mit beispielsweise 1 mm Dicke aufgebracht. Auf der Schutzschicht 24 sind Führungs- bzw. Halterungselemente 6 für die Substrate 5 aufgeschweißt. Die Halterungs- und Führungselemente 6 bestehen aus Kunststoff und insbesondere aus dem gleichen Material wie die Schutzschicht 24, im vorliegenden Falle also auch aus PFA. In den Führungs- und Halterungselementen 6 befinden sich Führungsschlitze 25, in denen die Substrate 5 beim Ein- und Ausbringen geführt und während der Behandlung gehalten werden.

Obgleich auch durchgehende Schlitze möglich sind, ist es aus zwei Gründen vorteilhaft, senkrecht zueinander ange­ ordnete und voneinander beabstandete Führungs- und Hal­ terungselemente 6 vorzusehen. Mit einzelnen Führungs- und Halterungselementen 6 können die Berührungsbereiche mit den Substraten 5 klein gehalten werden, und die Strömung und Spülung der dadurch kurzen Führungsschlitze 25 ist besser.

Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung werden die Substrate 5 vorteilhafterweise in ihrer Behandlungslage durch zwei Führungs- bzw. Halte­ rungselemente gehaltert und nicht nur durch Einführungs- und Halterungselemente 6. Dadurch ist es wiederum mög­ lich, den Berührungsbereich des Substrats 5 mit den Füh­ rungselementen 6 zu verkleinern.

Insbesondere dann, wenn die Behälterwand 2 aus Metall be­ steht, muß sichergestellt sein, daß die Substrate 5 bei ihrer Auf- und Abbewegung die Schutzschicht 24 nicht be­ rühren können, um jegliche Verletzung der Schutzschicht 24 zu vermeiden. Daher soll der kleinste Abstand 26 zwi­ schem dem Substrat 5 und der Seitenwand 2 bzw. der Schutzschicht 24 1 mm nicht unterschreiten.

Anhand der Fig. 3 und 4 wird nachfolgend erläutert, wie die Füh­ rungs- und Halterungselemente 6 auf der Schutzschicht 24 gebildet werden. In einer ersten Lage 31 werden PFA- Schnüre 32 nebeneinander auf die Schutzschicht 24 aufge­ schweißt und auch miteinander verschweißt. In entspre­ chender Abstufung werden in einer zweiten Schicht 33 wei­ tere Schnüre 32 auf die erste Schicht 31 aufgeschweißt. Um eine im wesentlichen trapezförmige Form des Führungs- und Halterungselements 6 zu schaffen, werden die Seiten der aufgeschweißten PFA-Schnüre 32 abgeschrägt und ge­ glättet, wie dies in den Fig. 3a und 3b dargestellt ist.

Die Fig. 3c und 4c zeigen das Führungs- und Halterungs element 6 nach dem Ausschneiden oder -fräsen von äquidi­ stanten Führungsschlitzen 25.

Als Alternative zu der zuvor erläuterten Ausbildung der Führungs- und Halterungselemente 6 ist es auch möglich, in vertikaler oder horizontaler Richtung aus PFA-Schnüren gebildete PFA-Streifen auf die Schutzschicht 24 aufzuschweißen.

Wie Fig. 5 zeigt, sind die Führungsschlitze 25 in den Führungs- und Halterungselementen 6 oben und unten V-för­ mig erweitert, so daß die in die Schlitze 25 eingeführten Substrate 5 zentriert und geführt werden, um danach in dem schmaleren, an die Dicke der Substrate 5 angepaßten Bereich sicher und zuverlässig geführt und gehaltert zu werden.

In Fig. 6 ist der Querschnitt des in Fig. 1 bereits ge­ zeigten Substrathalters 10 vergrößert dargestellt, wäh­ rend Fig. 7 die Seitenansicht wiedergibt. Der Substrat­ halter 10 umfaßt einen aus einem Metall bestehenden Steg 61, der mit einer Schutzschicht versehen ist. Auf einer nach oben weisenden Fläche 62 ist ein messerartiges Sub­ strataufnahmeelement 63 auf den mit einer Schutzschicht versehenen Steg 61 aufgeschweißt. Wie insbesondere aus Fig. 7 zu ersehen ist, weist eine messerartige Kante 64 des Substratauflageelements Einkerbungen 65 auf, in denen die Substrate 5 voneinander äquidistant beabstandet ge­ halten sind.

Da die Stege 61 aus einem beliebigen Material, beispiels­ weise auch aus einem sehr stabilen, starren Edelstahl hergestellt sein können, ist es möglich, die Stege 61 sehr schmal und den optimalen Strömungsverhältnissen für das Behandlungsfluid angepaßt auszubilden. Insbesondere kann der Substrathalter 10 dadurch sehr schmal ausgebil­ det werden und stellt nur einen geringen Widerstand für das von unten nach oben strömende Behandlungsfluid dar.

Parallel und zu beiden Seiten des Substrathalters 10 be­ finden sich im jeweils gleichen Abstand je ein Stabili­ sierungssteg 11, 12, die aus einem beliebigen Material hergestellt sein können und ebenfalls mit einer Schutz­ schicht versehen sind. Über nicht dargestellte Querver­ bindungen sind diese Stabilisierungsstege 11, 12 mit dem Substrathalter 10 verbunden und erhöhen dessen Steifig­ keit.

Der obere Bereich der Stabilisierungsstege 11, 12 beste­ hen aus jeweils einem messerartigen Element 66, 67 aus Kunststoff, vorzugsweise demselben Material wie die Schutzschicht. Sie sind auf den oberen Flächen 68, 69 an der Schutzschicht angeschweißt. Durch die messerartige scharfe Kante ergibt sich wie beim Substrathalter 10 ebenfalls eine kleine Abrißkante, wodurch die Strömungs­ verhältnisse im Fluidbehälter 1, wenn überhaupt, nur ge­ ring gestört werden. Das Aufschweißen der messerartigen Elemente 66, 67 aus Kunststoff für die Messerkante ist deshalb erforderlich, weil die Beschichtung derartiger Kanten nicht zuverlässig möglich ist bzw. nicht hält.

Die Erfindung wurde anhand bevorzugter Ausführungsbei­ spiele beschrieben. Dem Fachmann sind zahlreiche Ausfüh­ rungen und Abwandlungen bekannt, ohne daß dadurch der Er­ findungsgedanke verlassen wird. Die erfindungsgemäßen Merkmale wurden bei den dargestellten Ausführungsbei­ spielen jeweils nur im Zusammenhang mit Elementen der Be­ hälterwand 2, 3 und mit den Substrathaltern 10 in Form von Substratauflageelementen 63 beschrieben. Die erfin­ dungsgemäßen Prinzipien sind jedoch auch im Zusammenhang mit anderen dem Behandlungsfluid ausgesetzten Bauteilen und Elementen anwendbar, beispielsweise bei den Führungs- und Halterungselementen, wie sie in der DE 195 46 990 A1 beschrieben sind.

Claims (15)

1. Vorrichtung zum Behandeln von Substraten, insbeson­ dere Halbleiter-Wafern (5), mit einem ein Behand­ lungsfluid enthaltenden Behälter (1) und wenigstens einem Substrathalter (10), wobei die mit dem Behand­ lungsfluid in Berührung kommenden Teile des Behäl­ ters (1) und/oder des Substrathalters (10) eine Schutzschicht (24) aufweisen, und wobei Führungs- und/oder Halterungselemente (6, 63) für die Substra­ te (5) auf die Schutzschicht (24) aufgeschweißt sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungsele­ mente (6) aus Kunststoff-Schnüren (32) gebildet sind, die mit der Schutzschicht (24) und miteinander verschweißt sind.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzschicht (24) aus Perfluor-Alkoxy-Poly­ meren (PFA) besteht.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die aus Kunststoff bestehenden Füh­ rungselemente (6) für die Substrate (5) auf gegen­ überliegenden Innenflächen der beschichteten Behäl­ terwände (2, 3) auf der Schutzschicht (24) aufge­ schweißt sind.

4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungselemente (6) aus aus Kunststoff-Schnüren (32) gebildeten Kunst­ stoffstreifen bestehen.

5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungselemente (6, 63) aus PFA bestehen.

6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungselemente (6) Führungsschlitze (25) für die Substrate (5) aufwei­ sen.

7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungsschlitze (25) V-förmige Ein- und Austrittsbereiche für die Substrate (5) aufweisen.

8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die mit der Schutz­ schicht (24) beschichteten Behälterwände (2, 3) aus einem Metall, vorzugsweise aus einem Edelstahl oder Aluminium, bestehen.

9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, da­ durch gekennzeichnet, daß die mit der Schutzschicht (24) beschichteten Behälterwände (2, 3) aus Quarz bestehen.

10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Substrathalter (10) einen mit einer Schutzschicht beschichteten Steg (61) aufweist, auf dem ein messerartiges Substrat­ auflageelement (63) aus Kunststoff aufgeschweißt ist.

11. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Substrathalter (10) einen mit einer Schutzschicht beschichteten Steg aufweist, auf bzw. über den ein messerartiges Sub­ stratauflageelement aus Kunststoff als Kappe auf­ gesetzt ist.

12. Vorrichtung nach Anspruch 10 oder 11, dadurch ge­ kennzeichnet, daß eine messerartige Kante (64) des Auflageelements gleichmäßig beabstandete Einkerbun­ gen (65) für die Substrate aufweist.

13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 12, da­ durch gekennzeichnet, daß wenigstens ein parallel zum Substrathalter (10) angeordneter und mit ihm verbundener Stabilisierungssteg (11, 12) vorgesehen ist.

14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeich­ net, daß auf beiden Seiten des Substrathalters (10) ein Stabilisierungssteg (11, 12) vorgesehen ist.

15. Vorrichtung nach Anspruch 13 oder 14, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Stabilisierungsstege (11, 12) aus einem mit einer Schutzschicht bestehenden Metall bestehen, auf die ein messerartiges Element (66, 67) aufgeschweißt oder aufgesetzt ist.