JP3130067B2 - 半導体ウエハ用バスケット - Google Patents
半導体ウエハ用バスケットInfo
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- JP3130067B2 JP3130067B2 JP6235791A JP6235791A JP3130067B2 JP 3130067 B2 JP3130067 B2 JP 3130067B2 JP 6235791 A JP6235791 A JP 6235791A JP 6235791 A JP6235791 A JP 6235791A JP 3130067 B2 JP3130067 B2 JP 3130067B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、多数の半導体ウエハを
所定ピッチ毎に並列状に整列して収納させ、洗浄やエッ
チングおよび乾燥等の処理を行う半導体ウエハ用バスケ
ツトに関し、特に大径の半導体ウエハに適する半導体ウ
エハ用バスケツトに関する。
所定ピッチ毎に並列状に整列して収納させ、洗浄やエッ
チングおよび乾燥等の処理を行う半導体ウエハ用バスケ
ツトに関し、特に大径の半導体ウエハに適する半導体ウ
エハ用バスケツトに関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の半導体ウエハ用バスケツトとし
ては、例えば本件出願人が先に提案した実公平２−２５
２３３号に開示されているものがある。このバスケツト
Ａは、図５乃至図７で示すように全体が弗素樹脂材で一
体成型され、長手方向に沿って平行する両側壁１，３の
両端部間を短手方向に沿う支持板１３，１４で各々連結
すると共に、当該両側壁１，３の下方にはウエハＷを担
持する台部５，６が内側へ対向状に各々突設され、上下
が開口された箱形に形成されている。上記両側壁１，３
の内面には、ウエハＷが挿入される縦方向へ延在する多
数のリブ２，４が当該両側壁１，３の長手方向へ所定ピ
ッチ毎に並列状に設けられ、これらリブ２，４の間には
両側壁１，３の内外を連通させる縦長のスリット７，８
が穿設されている。また、上記台部５，６の傾斜上面５
ａ，６ａにも上記リブ２，４に連続して内向き傾斜状に
延在するリブ９，１０が突設され、これらリブ９，１０
の間にも両側壁１，３の内外を連通させる縦長のスリッ
ト１１，１２が各々穿設され、上記スリット７とスリッ
ト１１またスリット８とスリット１２はウエハＷの挿入
方向に沿って各々上下に整合状態で配設されている。
ては、例えば本件出願人が先に提案した実公平２−２５
２３３号に開示されているものがある。このバスケツト
Ａは、図５乃至図７で示すように全体が弗素樹脂材で一
体成型され、長手方向に沿って平行する両側壁１，３の
両端部間を短手方向に沿う支持板１３，１４で各々連結
すると共に、当該両側壁１，３の下方にはウエハＷを担
持する台部５，６が内側へ対向状に各々突設され、上下
が開口された箱形に形成されている。上記両側壁１，３
の内面には、ウエハＷが挿入される縦方向へ延在する多
数のリブ２，４が当該両側壁１，３の長手方向へ所定ピ
ッチ毎に並列状に設けられ、これらリブ２，４の間には
両側壁１，３の内外を連通させる縦長のスリット７，８
が穿設されている。また、上記台部５，６の傾斜上面５
ａ，６ａにも上記リブ２，４に連続して内向き傾斜状に
延在するリブ９，１０が突設され、これらリブ９，１０
の間にも両側壁１，３の内外を連通させる縦長のスリッ
ト１１，１２が各々穿設され、上記スリット７とスリッ
ト１１またスリット８とスリット１２はウエハＷの挿入
方向に沿って各々上下に整合状態で配設されている。
【０００３】上記のバスケツトＡにウエハＷを収納する
際には、ウエハＷをリブ２，４の間に挿入させると、落
下しながらこれに連続するリブ９，１０の間に達した当
該ウエハＷの下方縁部が上記台部５，６の傾斜上面５
ａ，６ａに担持される。このようにしてバスケツトＡ内
へ収納された多数のウエハＷは、上記リブ２，４および
リブ９，１０によって間隔が保持され、整列状態で隔置
されると共に、上記スリット７，８およびスリット１
１，１２によって処理液の流通や液切れが良くなって均
一で良好な処理を行うことができる。
際には、ウエハＷをリブ２，４の間に挿入させると、落
下しながらこれに連続するリブ９，１０の間に達した当
該ウエハＷの下方縁部が上記台部５，６の傾斜上面５
ａ，６ａに担持される。このようにしてバスケツトＡ内
へ収納された多数のウエハＷは、上記リブ２，４および
リブ９，１０によって間隔が保持され、整列状態で隔置
されると共に、上記スリット７，８およびスリット１
１，１２によって処理液の流通や液切れが良くなって均
一で良好な処理を行うことができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、この種の半
導体ウエハは近年の著しい技術革新によって大径のもの
の製造が可能になり、また出来るだけ大径の半導体ウエ
ハを造ってこれからチップを切り出すようにしたほうが
生産効率が高く経済的である等の理由から次第に大径化
し、最近では直径８インチのものも規格化されている。
この大径化に伴って半導体ウエハは重量が増し、割れや
変形を防止するために厚みも増してくるので、これに適
合するようにバスケツトの形状も大きくしなければなら
ないことは勿論であるが、それだけに止どまらずバスケ
ツトは今迄以上に均一で良好な処理が可能なものを要求
されるので、上記した従来構造のバスケツトを単に形状
だけ大きくしただけでは十分に対応できなくなる。
導体ウエハは近年の著しい技術革新によって大径のもの
の製造が可能になり、また出来るだけ大径の半導体ウエ
ハを造ってこれからチップを切り出すようにしたほうが
生産効率が高く経済的である等の理由から次第に大径化
し、最近では直径８インチのものも規格化されている。
この大径化に伴って半導体ウエハは重量が増し、割れや
変形を防止するために厚みも増してくるので、これに適
合するようにバスケツトの形状も大きくしなければなら
ないことは勿論であるが、それだけに止どまらずバスケ
ツトは今迄以上に均一で良好な処理が可能なものを要求
されるので、上記した従来構造のバスケツトを単に形状
だけ大きくしただけでは十分に対応できなくなる。
【０００５】例えば、大径ウエハを上記した従来構造の
バスケットＡに収納した場合に、ウエハＷの下方縁部を
担持する台部５，６の傾斜上面５ａ，６ａはウエハ重量
の増加によって今迄以上に大きな落下時の衝撃と荷重を
受ける。ところが、この傾斜上面５ａ，６ａはスリット
１１，１２により中間部が切り欠かれているので受圧面
積が少なく、このために単位面積当たり大きな荷重を受
けると共に、特にスリット１１，１２の口縁部はウエハ
Ｗの縁部によって大きな落下衝撃を受ける。このため
に、ウエハＷの出し入れを頻繁に繰り返すうちにこれを
担持する傾斜上面５ａ，６ａが凹んだり、スリット１
１，１２の口縁部が損傷したり、ウエハＷが刺さり込ん
だりしてウエハＷの出し入れが不能となる恐れがあると
共に、削り取られた微細な破片が処理液中に混入してウ
エハＷに付着したり処理液を汚染させて当該ウエハＷの
性能を著しく低下させて使用不能にさせる。
バスケットＡに収納した場合に、ウエハＷの下方縁部を
担持する台部５，６の傾斜上面５ａ，６ａはウエハ重量
の増加によって今迄以上に大きな落下時の衝撃と荷重を
受ける。ところが、この傾斜上面５ａ，６ａはスリット
１１，１２により中間部が切り欠かれているので受圧面
積が少なく、このために単位面積当たり大きな荷重を受
けると共に、特にスリット１１，１２の口縁部はウエハ
Ｗの縁部によって大きな落下衝撃を受ける。このため
に、ウエハＷの出し入れを頻繁に繰り返すうちにこれを
担持する傾斜上面５ａ，６ａが凹んだり、スリット１
１，１２の口縁部が損傷したり、ウエハＷが刺さり込ん
だりしてウエハＷの出し入れが不能となる恐れがあると
共に、削り取られた微細な破片が処理液中に混入してウ
エハＷに付着したり処理液を汚染させて当該ウエハＷの
性能を著しく低下させて使用不能にさせる。
【０００６】また従来構造のバスケットＡでは、上記ス
リット７とスリット１１またスリット８とスリット１２
が、各々ウエハＷの挿入方向に沿って各々整合状態で上
下に配設されているので、厚いウエハＷを隣接する各リ
ブ２，２間と各リブ９，９間および各リブ４，４間と各
リブ１０，１０間に各々挿入されると、当該ウエハＷで
全ての各スリット７，８，１１，１２の一部が今迄以上
に内側から閉塞され、処理液の流動が悪くなってしまう
ことになる。しかし、これを防ぐために各リブ間のピッ
チを大きくして間隔を広げると、ウエハＷの収納枚数が
少なくなって処理能力が低下すると共に、各リブ間でウ
エハＷが揺動する遊び空間が大きくなって隣接するウエ
ハＷが相互に接触して損傷する恐れもあるので、むやみ
にピッチを大きくすることはできない。
リット７とスリット１１またスリット８とスリット１２
が、各々ウエハＷの挿入方向に沿って各々整合状態で上
下に配設されているので、厚いウエハＷを隣接する各リ
ブ２，２間と各リブ９，９間および各リブ４，４間と各
リブ１０，１０間に各々挿入されると、当該ウエハＷで
全ての各スリット７，８，１１，１２の一部が今迄以上
に内側から閉塞され、処理液の流動が悪くなってしまう
ことになる。しかし、これを防ぐために各リブ間のピッ
チを大きくして間隔を広げると、ウエハＷの収納枚数が
少なくなって処理能力が低下すると共に、各リブ間でウ
エハＷが揺動する遊び空間が大きくなって隣接するウエ
ハＷが相互に接触して損傷する恐れもあるので、むやみ
にピッチを大きくすることはできない。
【０００７】更に、上記した各スリット７，８，１１，
１２のうちで特に台部５，６に穿設された傾斜状のスリ
ット１１，１２は、上下方向へ連通されて最後の液切れ
を行う極めて重要な個所であり、このスリット１１，１
２が上記のようにウエハＷで閉塞されたり、落下したウ
エハＷの衝撃等でスリット１１，１２の口縁部が損傷し
て滑面が毛羽立つた状態になると、この部分で処理液の
澱みを生じて均一な処理ができなくなる。そこで本発明
では、これらの課題を解決して大径で重量や厚みの増加
したウエハに適合し得る半導体ウエハ用バスケットの提
供を目的とするものである。
１２のうちで特に台部５，６に穿設された傾斜状のスリ
ット１１，１２は、上下方向へ連通されて最後の液切れ
を行う極めて重要な個所であり、このスリット１１，１
２が上記のようにウエハＷで閉塞されたり、落下したウ
エハＷの衝撃等でスリット１１，１２の口縁部が損傷し
て滑面が毛羽立つた状態になると、この部分で処理液の
澱みを生じて均一な処理ができなくなる。そこで本発明
では、これらの課題を解決して大径で重量や厚みの増加
したウエハに適合し得る半導体ウエハ用バスケットの提
供を目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、長手方
向に沿って平行する両側壁と、この両側壁の両端部間を
各々連結する左右の支持板と、両側壁の下方に連続状態
で延在されると共に、当該両側壁の内側へ対向状に各々
突設されてウエハの下方縁部を担持する内面が傾斜状の
受台部を備えた上下が開口する箱形のバスケツトに形成
され、上記両側壁の内面にはウエハの挿入通路を形成す
る縦方向へ延在した多数のリブが当該両側壁の長手方向
へ所定ピッチ毎に並列状に設けられ、これらの各リブ間
にはバスケツトの内外を連通させる縦長の上部スリット
が穿設されており、当該各リブを含む両側壁は上部側が
ほぼ垂直状で下部側は内側へ傾斜状に延在されて各リブ
は上記受台部との連結部分で終端されており、上記受台
部には上記上部スリットの延長線上で挿入されたウエハ
の下方縁部を担持する傾斜状担持面が形成され、当該傾
斜状担持面の両側にはバスケツトの内外を連通させる傾
斜状の下部スリットと、ウエハの下方縁部に係合して隔
置させる間隔保持部材とが各々上記リブの延長線上に整
合する態様で所定ピッチ毎に並列状に配設されている半
導体ウエハ用バスケットである。また本発明の他の要旨
は、上記した間隔保持部材の隣接相互間が形成する挿通
幅に対して上記した上部スリットの幅を広く形成した半
導体ウエハ用バスケットである。
向に沿って平行する両側壁と、この両側壁の両端部間を
各々連結する左右の支持板と、両側壁の下方に連続状態
で延在されると共に、当該両側壁の内側へ対向状に各々
突設されてウエハの下方縁部を担持する内面が傾斜状の
受台部を備えた上下が開口する箱形のバスケツトに形成
され、上記両側壁の内面にはウエハの挿入通路を形成す
る縦方向へ延在した多数のリブが当該両側壁の長手方向
へ所定ピッチ毎に並列状に設けられ、これらの各リブ間
にはバスケツトの内外を連通させる縦長の上部スリット
が穿設されており、当該各リブを含む両側壁は上部側が
ほぼ垂直状で下部側は内側へ傾斜状に延在されて各リブ
は上記受台部との連結部分で終端されており、上記受台
部には上記上部スリットの延長線上で挿入されたウエハ
の下方縁部を担持する傾斜状担持面が形成され、当該傾
斜状担持面の両側にはバスケツトの内外を連通させる傾
斜状の下部スリットと、ウエハの下方縁部に係合して隔
置させる間隔保持部材とが各々上記リブの延長線上に整
合する態様で所定ピッチ毎に並列状に配設されている半
導体ウエハ用バスケットである。また本発明の他の要旨
は、上記した間隔保持部材の隣接相互間が形成する挿通
幅に対して上記した上部スリットの幅を広く形成した半
導体ウエハ用バスケットである。
【０００９】
【実施例】以下に、本発明を図１乃至図４で図示の実施
例に基づいて詳細に説明する。このバスケツト３０は、
長手方向に沿って平行する両側壁３１，３２と、この両
側壁３１，３２の両端部間を各々連結する左右の支持板
３３，３４と、両側壁３１，３２の下方に連続状態で延
在されると共に、当該両側壁３１，３２内側へ対向状に
各々突設されたウエハＷを下方縁部を担持する傾斜状の
受台部３５，３６と、この受台部３５，３６の下方に設
けられた脚部３７，３８とで上下が開口する箱形に形成
され、全体が弗素樹脂材で一体成型されている。
例に基づいて詳細に説明する。このバスケツト３０は、
長手方向に沿って平行する両側壁３１，３２と、この両
側壁３１，３２の両端部間を各々連結する左右の支持板
３３，３４と、両側壁３１，３２の下方に連続状態で延
在されると共に、当該両側壁３１，３２内側へ対向状に
各々突設されたウエハＷを下方縁部を担持する傾斜状の
受台部３５，３６と、この受台部３５，３６の下方に設
けられた脚部３７，３８とで上下が開口する箱形に形成
され、全体が弗素樹脂材で一体成型されている。
【００１０】上記両側壁３１，３２の内面には、隣接相
互間でウエハＷの挿入通路を形成する縦方向へ延在した
多数のリブ３９，４０が当該両側壁３１，３２の長手方
向へ所定ピッチ毎に並列状に設けられ、これらリブ３
９，４０の間にはバスケツト３０の内外を連通させる縦
長の上部スリット４１，４２が穿設されている。また、
上記両側壁３１，３２と各リブ３９，４０は上部側がほ
ぼ垂直状で下部側は内側へ傾斜状に延在されていると共
に、各リブ３９，４０は互いに対向状に突設されてい
る。またこれらの各リブ３９，４０は、中間部において
隣接する相互間が補強リブ４３，４４によって連結さ
れ、当該各リブ３９，４０は上記受台部３５，３６との
連結部分のところで終端されている。
互間でウエハＷの挿入通路を形成する縦方向へ延在した
多数のリブ３９，４０が当該両側壁３１，３２の長手方
向へ所定ピッチ毎に並列状に設けられ、これらリブ３
９，４０の間にはバスケツト３０の内外を連通させる縦
長の上部スリット４１，４２が穿設されている。また、
上記両側壁３１，３２と各リブ３９，４０は上部側がほ
ぼ垂直状で下部側は内側へ傾斜状に延在されていると共
に、各リブ３９，４０は互いに対向状に突設されてい
る。またこれらの各リブ３９，４０は、中間部において
隣接する相互間が補強リブ４３，４４によって連結さ
れ、当該各リブ３９，４０は上記受台部３５，３６との
連結部分のところで終端されている。
【００１１】次に、上記受台部３５，３６にはバスケツ
ト３０の内外を連通させる短尺で傾斜状をした各下部ス
リット４５，４６と、ウエハＷを係止して隔置させる間
隔保持部材としての位置決め突起４７，４８とが設けら
れている。上記下部スリット４５，４６と位置決め突起
４７，４８は、上記各リブ３９，４０の延長線上に整合
する態様で所定ピッチ毎に並列状に配設されており、当
該位置決め突起４７，４８は円錐台形状で隣接する位置
決め突起の基部側相互間に形成される間隔が、上記各リ
ブ３９，４０の隣接相互間の間隔よりも僅かに狭くなる
ようにしている。また、上記下部スリット４５，４６の
隣接相互間から位置決め突起４７，４８の隣接相互間に
渡って形成された傾斜状担持面３５ａ，３６ａはウエハ
Ｗの外周面に適合する円弧状面に形成されている。
ト３０の内外を連通させる短尺で傾斜状をした各下部ス
リット４５，４６と、ウエハＷを係止して隔置させる間
隔保持部材としての位置決め突起４７，４８とが設けら
れている。上記下部スリット４５，４６と位置決め突起
４７，４８は、上記各リブ３９，４０の延長線上に整合
する態様で所定ピッチ毎に並列状に配設されており、当
該位置決め突起４７，４８は円錐台形状で隣接する位置
決め突起の基部側相互間に形成される間隔が、上記各リ
ブ３９，４０の隣接相互間の間隔よりも僅かに狭くなる
ようにしている。また、上記下部スリット４５，４６の
隣接相互間から位置決め突起４７，４８の隣接相互間に
渡って形成された傾斜状担持面３５ａ，３６ａはウエハ
Ｗの外周面に適合する円弧状面に形成されている。
【００１２】上記のバスケツト３０にウエハＷを収納す
る際に、ウエハＷをリブ３９，４０の隣接相互間に形成
された上部スリット４１，４２に挿入させると、落下し
たウエハＷは下方縁部を受台部３５，３６の傾斜状担持
面３５ａ，３６ａによって担持される。この傾斜状担持
面３５ａ，３６ａは開口部がなくて広い受圧面積を有し
ているので、ウエハＷの落下衝撃による損傷や変形が少
ない。またバスケツト３０内に収納された多数のウエハ
Ｗは、両面に各々係合する上記リブ３９，４０および位
置決め突起４７，４８の隣接相互間で間隔が保持されて
整列状態で隔置されるが、当該リブ３９，４０と位置決
め突起４７，４８との隣接相互間が形成する挿通幅は、
従来構造の一連のリブの場合のように一定ではなく異な
った所望幅に設定させることができる。従って、例えば
上記実施例のようにリブ３９，４０側ではウエハＷの挿
入が容易で且つ挿入されたウエハＷによる上部スリット
４１，４２の閉塞を少なくするために上部側が揺動可能
なように挿通幅を広くし、位置決め突起４７，４８側で
は揺動した隣接するウエハＷ相互が接触しないように挿
通幅を狭くして間隔保持を計るようにすることができ
る。尚、上記した位置決め突起４７，４８の代わりに、
リブ３９，４０とは分離された短尺のリブを間隔保持部
材とするようにしても良い。更に、上記した下部スリッ
ト４５，４６は上部スリット４１，４２と整合しないよ
うに配設され、ウエハＷを担持する傾斜状担持面３５
ａ，３６ａの両側に開口されているので、ウエハＷによ
って全く閉塞されることがなく然も当該ウエハＷの両面
に対して効果的に処理液を流動させることができる。
る際に、ウエハＷをリブ３９，４０の隣接相互間に形成
された上部スリット４１，４２に挿入させると、落下し
たウエハＷは下方縁部を受台部３５，３６の傾斜状担持
面３５ａ，３６ａによって担持される。この傾斜状担持
面３５ａ，３６ａは開口部がなくて広い受圧面積を有し
ているので、ウエハＷの落下衝撃による損傷や変形が少
ない。またバスケツト３０内に収納された多数のウエハ
Ｗは、両面に各々係合する上記リブ３９，４０および位
置決め突起４７，４８の隣接相互間で間隔が保持されて
整列状態で隔置されるが、当該リブ３９，４０と位置決
め突起４７，４８との隣接相互間が形成する挿通幅は、
従来構造の一連のリブの場合のように一定ではなく異な
った所望幅に設定させることができる。従って、例えば
上記実施例のようにリブ３９，４０側ではウエハＷの挿
入が容易で且つ挿入されたウエハＷによる上部スリット
４１，４２の閉塞を少なくするために上部側が揺動可能
なように挿通幅を広くし、位置決め突起４７，４８側で
は揺動した隣接するウエハＷ相互が接触しないように挿
通幅を狭くして間隔保持を計るようにすることができ
る。尚、上記した位置決め突起４７，４８の代わりに、
リブ３９，４０とは分離された短尺のリブを間隔保持部
材とするようにしても良い。更に、上記した下部スリッ
ト４５，４６は上部スリット４１，４２と整合しないよ
うに配設され、ウエハＷを担持する傾斜状担持面３５
ａ，３６ａの両側に開口されているので、ウエハＷによ
って全く閉塞されることがなく然も当該ウエハＷの両面
に対して効果的に処理液を流動させることができる。
【００１３】
【発明の効果】上記した実施例でも明らかなように、本
発明による半導体ウエハ用バスケットでは次のような効
果を奏する。このバスケツトでは、収納されるウエハの
下方縁部を受台部に形成された開口部のない広い受圧面
積の傾斜状担持面によって担持するようにしているの
で、ウエハの落下衝撃による損傷や変形が少ない。また
バスケツトに収納されたウエハは、上部側の両面に各々
係合するリブと、当該リブと分離形成された下部側の両
面に各々係合する位置決め突起または短尺のリブによる
間隔保持部材の隣接相互間で間隔保持されて整列状態で
隔置されるので、従来構造の一連のリブの場合のように
ウエハの挿入される挿通幅が一定に規制されずに、ウエ
ハの挿入並びに当該ウエハに対する処理液の流動に適し
た所望の挿通幅に個別に設定させることができる。従っ
て、例えばリブ間の挿通幅を広く間隔保持部材間の挿通
幅を狭く設定し、ウエハの挿入が容易で且つリブ間に形
成された上部スリットの閉塞を少なくするようにウエハ
の上部側が揺動可能にすると共に、隣接するウエハ相互
が接触しないように当該間隔保持部材間でウエハの下部
側の揺動を規制することができる。更に、受台部に形成
された下部スリットはリブ間に形成された上部スリット
と整合しないように配設され、この受台部の下部スリッ
トはウエハを担持する傾斜状担持面の両側に開口されて
いるので、ウエハによって全く閉塞されることがなく然
も当該ウエハの両面に対して効果的に処理液を流動させ
ることができる。
発明による半導体ウエハ用バスケットでは次のような効
果を奏する。このバスケツトでは、収納されるウエハの
下方縁部を受台部に形成された開口部のない広い受圧面
積の傾斜状担持面によって担持するようにしているの
で、ウエハの落下衝撃による損傷や変形が少ない。また
バスケツトに収納されたウエハは、上部側の両面に各々
係合するリブと、当該リブと分離形成された下部側の両
面に各々係合する位置決め突起または短尺のリブによる
間隔保持部材の隣接相互間で間隔保持されて整列状態で
隔置されるので、従来構造の一連のリブの場合のように
ウエハの挿入される挿通幅が一定に規制されずに、ウエ
ハの挿入並びに当該ウエハに対する処理液の流動に適し
た所望の挿通幅に個別に設定させることができる。従っ
て、例えばリブ間の挿通幅を広く間隔保持部材間の挿通
幅を狭く設定し、ウエハの挿入が容易で且つリブ間に形
成された上部スリットの閉塞を少なくするようにウエハ
の上部側が揺動可能にすると共に、隣接するウエハ相互
が接触しないように当該間隔保持部材間でウエハの下部
側の揺動を規制することができる。更に、受台部に形成
された下部スリットはリブ間に形成された上部スリット
と整合しないように配設され、この受台部の下部スリッ
トはウエハを担持する傾斜状担持面の両側に開口されて
いるので、ウエハによって全く閉塞されることがなく然
も当該ウエハの両面に対して効果的に処理液を流動させ
ることができる。
【図１】本発明の実施例による半導体ウエハ用バスケッ
トの一部を破断して示す要部斜視図。
トの一部を破断して示す要部斜視図。
【図２】同バスケットの全体を示す平面図。
【図３】同バスケットの全体を示す正面図。
【図４】図２のＢ−Ｃ線に沿った縦断面図。
【図５】従来例による半導体ウエハ用バスケットの全体
斜視図。
斜視図。
【図６】同バスケットの正面図。
【図７】図６のＢ−Ｂ線に沿った縦断面図。
３０ バスケツト ３１，３２ 側壁 ３３，３４ 支持板 ３５，３６ 受台
部 ３５ａ，３６ａ 傾斜状担持面 ３７，３８ 脚部 ３９，４０ リブ ４１，４２ 上部
スリット ４３，４４ 補強リブ ４５，４６ 下部
スリット ４７，４８ 位置決め突起 Ｗ ウエハ
部 ３５ａ，３６ａ 傾斜状担持面 ３７，３８ 脚部 ３９，４０ リブ ４１，４２ 上部
スリット ４３，４４ 補強リブ ４５，４６ 下部
スリット ４７，４８ 位置決め突起 Ｗ ウエハ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68 H01L 21/304 H01L 21/306
Claims (2)
- 【請求項１】 長手方向に沿って平行する両側壁と、こ
の両側壁の両端部間を各々連結する左右の支持板と、両
側壁の下方に連続状態で延在されると共に、当該両側壁
の内側へ対向状に各々突設されてウエハの下方縁部を担
持する内面が傾斜状の受台部を備えた上下が開口する箱
形のバスケツトに形成され、上記両側壁の内面にはウエ
ハの挿入通路を形成する縦方向へ延在した多数のリブが
当該両側壁の長手方向へ所定ピッチ毎に並列状に設けら
れ、これらの各リブ間にはバスケツトの内外を連通させ
る縦長の上部スリットが穿設されており、当該各リブを
含む両側壁は上部側がほぼ垂直状で下部側は内側へ傾斜
状に延在されて各リブは上記受台部との連結部分で終端
されており、上記受台部には上記上部スリットの延長線
上で挿入されたウエハの下方縁部を担持する傾斜状担持
面が形成され、当該傾斜状担持面の両側にはバスケツト
の内外を連通させる傾斜状の下部スリットと、ウエハの
下方縁部に係合して隔置させる間隔保持部材とが各々上
記リブの延長線上に整合する態様で所定ピッチ毎に並列
状に配設されていることを特徴とした半導体ウエハ用バ
スケット。 - 【請求項２】 上記した間隔保持部材の隣接相互間が形
成する挿通幅に対して上記した上部スリットの幅を広く
形成した請求項１に記載した半導体ウエハ用バスケッ
ト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6235791A JP3130067B2 (ja) | 1991-03-05 | 1991-03-05 | 半導体ウエハ用バスケット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6235791A JP3130067B2 (ja) | 1991-03-05 | 1991-03-05 | 半導体ウエハ用バスケット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04276644A JPH04276644A (ja) | 1992-10-01 |
| JP3130067B2 true JP3130067B2 (ja) | 2001-01-31 |
Family
ID=13197785
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6235791A Expired - Fee Related JP3130067B2 (ja) | 1991-03-05 | 1991-03-05 | 半導体ウエハ用バスケット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3130067B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2665148B2 (ja) * | 1994-05-10 | 1997-10-22 | 山口日本電気株式会社 | ウェット処理用キャリア |
| JP2007019238A (ja) * | 2005-07-07 | 2007-01-25 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
-
1991
- 1991-03-05 JP JP6235791A patent/JP3130067B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04276644A (ja) | 1992-10-01 |
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